KR100373596B1 - 극저온냉선반 - Google Patents

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Abstract

극저온 유체를 냉선반의 선반 부피로 다른 속도로 유입시키기 위한 한제 분배기를 가져 선반 전체에 균일한 냉기를 제공하고, 그 결과 냉선반이 균일한 온도가 되는 동결건조 시스템용 극저온 냉선반.

Description

극저온 냉선반{CRYOGENIC COLD SHELF}
본 발명은 일반적으로 동결건조, 보다 구체적으로 동결건조를 수행하기 위해 사용되는 냉선반에 관한 것이다.
동결건조는 유리수(free water)를 얼음의 형태로 제거하는 승화 공정이다. 동결건조는 제약산업에서 생물학적 제품으로부터 물을 제거하는데 특히 유용한데, 이것은 동결건조가 생물학적 제품을 완전히 보존하기 때문이다. 동결건조에서 수분함유 제품이 동결되고, 물의 삼중점 미만으로 감소된 수증기 분압을 가진 진공하에서 동결수가 승화되며, 승화된 얼음이 건조기로부터 제거된다.
수분함유 제품은 건조 단계 전에 완전히 동결되는 것이 중요하다. 더욱이,수분함유 제품은 일반적으로 다른 용매 및/또는 용해성 고체를 포함하기 때문에, 소위 최저 공융 온도라고 불리우는 제품의 어는점은 일반적으로 물의 어느점보다 훨씬 낮다. 가령, 당(sugar)을 기본으로 하는 생물학적 제품의 최저 공융 온도는 -65℃ 정도로 낮을 수 있다. 따라서, 동결건조는 짧은 시간 동안 충분한 냉기의 제공을 필요로 한다.
지금까지, 동결건조는 통상적으로 기계적 동결 시스템을 사용하여 실행되어 왔다. 그러나, 이러한 기게적 장치에서 일반적으로 사용되는 프레온과 같은 냉매는 환경에 유해한 것으로 간주되어 왔고, 통상적인 사용에서 제외되고 있다. 대체 냉매는 열학적으로 그만큼 효과적이지 않아, 동결건조의 응용을 요구하는 분야에서 사용하는데 문제가 있다. 더욱이, 기계적 냉동 장치용 대체 냉매는 일반적으로 부식성이 강하며 다른 압축비를 요구하여, 조작상의 관점에서 그들의 사용에 고가의 비용이 든다. 더욱이, 중간의 열전달 유체를 추가로 필요로 하므로, 도달될 수 있는 온도 범위가 심각하게 제한된다.
액체 및 기체 질소와 같은 극저온 유체는 상당한 저온이고, 상당한 양의 냉기를 수송할 수 있는 것으로 알려져 있다. 그러나, 지금까지 동결건조기의 냉선반을 냉각시키기 위해 극저온 유체가 사용된 적은 없었다. 냉선반은 수분함유 제품이 동결건조를 위해 놓이는 플랫폼이다. 동결건조를 실행하는데 있어서, 제품 특성을 유지시키기 위해 내선반 전체에 걸쳐 온도가 균일하게 유지되는 것이 중요하다. 극저온 유체로부터 냉기의 방출을 조절하는 것이 매우 어려웠다. 지금까지, 극저온 유체를 사용하여 동결건조기의 냉선반 전체에 걸쳐 거의 균일한 온도 분포를 제공하는 것은 불가능하였다.
따라서, 본 발명의 목적은 극저온 유체가 냉각원으로서 사용될 수 있고 냉선반 전체에 걸쳐 냉온을 비교적 균일하게 제공할 수 있는 동결건조 시스템용 냉선반을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 극저온 유체가 냉각원으로서 사용되어, 중간 열전달 유체에 대한 필요성 및 이에 수반되는 온도 범위에 있어서의 제한을 제거한 동결건조 시스템용 냉선반을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에서 사용될 수 있는 동결건조용 극저온 유체를 제공하기 위한 한 장치의 단순화된 개략도이다.
도 2는 상부 패널이 제거된 본 발명의 극저온 냉선반의 일 실시태양의 단순화된 평면도이다.
도 3은 상부 패널이 제거된 본 발명의 극저온 냉선반의 다른 실시태양의 단순화된 평면도이다.
도 4는 본 발명의 극저온 냉선반의 수직 운동을 더 용이하게 하는 바람직한 조인트의 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
2,12 : 벤츄리관 3 : 액체 질소
6 : 인라인식 혼합기8 : 동결 건조기
16 : 응축기20 : 가열기
25,45 : 냉선반(부피)26 : 패널
27,46 : 한제 분배기28 : 극저온 유체원
49 : 극저온 유체 입구29 : 제 1 각부
30 : 제 2 각부31 : 제 1 지부
32 : 제 2 지부33 : 극저온 유체 유량이 가장 큰 지부
34 : 극저온 유체 유량이 가장 작은 지부
35 ; 방출관47 : 주흐름 경로
50,51,53,55,56 : 지부52 : 회수 라인
54 : 배출구65 : 이송관
66,67 : 극저온관68 : 조인트
69 : 패킹 글랜드70 : 가열 글랜드
71 : 패킹 너트72 : 기체 입구
73 : 기체 출구
본 개시를 통해 당업자가 분명하게 이해할 수 있는 상술한 목적 및 다른 목적이 본 발명에 의해 달성된다. 이 중 하나의 양상에 있어서의 극저온 냉선반은,
선반 부피를 한정하는 이격된 패널과, 상기 선반 부피 내부에서 극저온 유체원과 유체흐름 소통되고 극저온 유체의 유동이 통과할 수 있는 한제 분배기(cryogen distributor)를 포함하며, 상기 한제 분배기는 제 1 각부(leg) 및 제 1 각부의 하류에 위치하는 제 2 각부를 구비하는 주흐름 경로를 포함하고, 상기 제 1 각부는 제 1 각부로부터 연장된 복수의 제 1 지부(branch)를 가지며, 상기 제 2 각부는 제 2 각부로부터 연장되고 상기 제 1 지부들 사이에 배향된 복수의 제 2 지부를 가지고, 상기 제 1 및 제 2 지부의 자유단에 구멍들이 각각 구비되어 있다.
본 발명의 다른 양상에 있어서의 극저온 냉선반은,
선반 부피를 한정하는 이격된 패널과, 상기 선반 부피 내부에서 극저온 유체원과 유체흐름 소통되고 극저온 유체의 유동이 통과할 수 있는 한제 분배기를 포함하며, 상기 한제 분배기는, 극저온 유체 입구를 가지며 선반 부피를 통해 연장되는 길이를 가지고 복수의 지부를 가지는 주흐름 경로를 포함하며, 상기 지부는 주흐름 경로의 길이를 따라 주흐름 경로와 소통되고 그리고 한제 분배기로부터 선반 부피로 극저온 유체를 회수하기 위한 구멍을 가지며, 극저온 유체 입구에 보다 근접하게 위치한 하나 이상의 지부가 극저온 유체 입구로부터 보다 멀리 위치한 하나 이상의 지부보다 작은 구멍을 가진다.
본 발명에서 사용되는 "극저온 유체"란 온도가 -80℃ 이하인 유체를 의미한다.
본 발명은 도면을 참조하고 극저온 유체로서 기화된 액체 질소를 사용하여 상세하게 설명될 것이다. 임의의 유효한 극저온 유체도 본 발명의 실시에서 사용될 수 있다. 극저온 유체는 액체, 기체 또는 기체/액체 혼합물의 형태로 존재할 수 있다. 본 발명의 실시에서 극저온 유체로서 또는 극저온 유체 내에서 사용될 수 있는 성분으로는 질소, 아르곤, 산소, 헬륨 및 공기가 있다.
도 1은 극저온 유체를 사용하는 동결건조 시스템을 위한 하나의 전체 구성을 단순화된 형태로 도시하고 있다. 이제 도 1에서 볼 수 있듯이, 액체 질소는 벤츄리관(2)으로의 스트림(1)에 제공된다. 벤츄리관은 압축 코운(cone) 및 팽창 코운을 가진다. 가압된 극저온 유체가 통과할 때, 이것은 벤츄리관의 중심에서 사용된 저압의 질소가스(15)를 동반할 것이다. 따라서, 필요에 따라, 사용된 질소가스(9)의 일부는 유입되는 극저온 유체(1)의 일부를 혼합하거나 기화시키기 위해 재순환될 수 있다.
액체 질소(3)는 벤츄리관(2)으로부터 회수되고 스트림(4)에 있는 가온된 질소가스와 함께 결합하여, 인라인식(in-line) 혼합기(6)에서 혼합되는 스트림(5)을 형성한다. 인라인식 혼합기(6)에서의 혼합 작용은 액체 질소를 기화시켜서 라인(7)을 통해 동결 건조기(8)로 유입되는 극저온 가스를 형성하도록 한다. 동결 건조기(8)는 수직으로 배치된 복수의 냉선반을 가지고, 동결건조를 위해 수분함유 제품이 냉선반 위에 놓여진다. 극저온 가스를 동결건조를 위한 냉선반에서 사용된 후, 라인(9)으로 도시된 바와 같이 동결 건조기(8)의 냉선반으로부터 회수된다. 사용된 질소가스는 세 부분으로 분기된다. 라인(9)에 있는 사용된 질소가스의 일부분(10)은 시스템으로부터 회수된다. 다른 일부분(11)은 벤츄리관(12)으로 유입되고, 이 안으로 스트림(13) 내의 추가의 액체 질소가 또한 유입된다. 질소 유체는 벤츄리관(12)으로부터 스트림(14)으로 회수된다. 통상적으로 응축기(16)는 동결 건조기(8)의 냉선반 보다 10℃ 낮은 온도에서 작동하고 있다. 스트림(14)은 응축기(16)에 직접 사용될 수 있다. 스트림(9)의 세 번째 부분(15)은 상술한 바와 같이 벤츄리관(2)으로 유입되고, 상기 스트림(3)을 형성하도록 사용된다. 필요에 따라, 스트림(19) 중의 질소가스는 가열기(20)를 통과함으로써 가열되어, 상술한 바와 같이 스트림(3)과 혼합되는 스트림(4)을 형성한다.
냉각 및 동결 사이클 동안에 가열기(20)로부터 요구되는 열은 매우 적다. 동결 건조기 내의 온도를 측정하는 온도 프로그래머는 스트림(19)에 열을 제공할 것이다. 수분함유 제품이 완전히 동결되고 진공 사이클이 시작되었을 때, 온도 프로그래머는 점차로 가열기(20)로의 열부하를 증가시킬 것이다. 두 번째 온도 프로그램은 극저온 유체(1)의 온도를 점차로 증가시키거나, 상온의 질소가스에서 혼합될 수 있다. 스트림(1)이 상온의 질소가스를 공급하는 동안, 사이클의 끝에서 스트림(7)은 60℃의 고온에 도달할 수 있다. 극저온 유체(13)는 스토퍼(stopper)가 수분함유 제품을 차단할 때까지 차가운 온도를 유지한다.
도 2는 도 1에 도시된 동결 건조기(8)와 같은 동결 건조기에서 사용될 수 있는 본 발명의 극저온 냉선반의 평면도를 도시한다. 이제 도 2에서 볼 수 있듯이, 냉선반(25)은 그 사이에 선반 부피를 한정하는 이격된 패널을 포함한다. 도 2의 도시에서, 냉선반(25)의 상부 패널은 한제 분배기를 설명하기 위해 도시되어 있지 않다. 냉선반(25)의 하부 패널은 패널(26)로서 도시되어 있다.
냉선반(25)의 선반 부피 내에, 예컨대 도 1에 도시된 시스템의 라인(7)이 되는, 극저온 유체원(28)과 흐름 소통이 되는 한제 분배기(27)가 설치되어 있다. 한제 분배기(27)는 이를 통과하는 극저온 유체 흐름을 가질 수 있다. 통상적으로 한제 분배기(27)는 0.125 내지 3인치 범위의 내부 직경을 가지는 관을 포함한다.
한제 분배기(27)는 주흐름 경로 및 분지 흐름 경로를 포함한다. 주흐름 경로는 첫 번째 부분 또는 제 1 각부(29)와, 그리고 두 번째 부분 또는 제 1 각부 하류의 제 2 각부(30)를 포함한다. 제 1 각부(29)는 제 1 각부로부터 바람직하게는 90°각도로 연장된 복수의 제 1 지부(31)를 가지고, 제 2 각부는 제 2 각부로부터 바람직하게는 90°각도로 연장된 복수의 제 2 지부(32)를 가진다. 제 2 지부(32) 중 적어도 하나는 제 1 지부(31) 사이에 배향된다. 한제 분배기(27)의 주흐름 경로를 통한 압력 강하 때문에 제 1 각부(29)로부터 연장된 제 1 지부(31)는 하부의 제 2 각부(30)로부터 연장된 제 2 지부(32) 보다 약간 많은 극저온 유체를 받는다. 이러한 방식으로, 예컨대, 흐름에 있어서 극저온 유체 입구(28)에 가장 근접하고 이를 통과하는 극저온 유체 유량이 가장 큰 지부(33)는 흐름에 있어서 극저온 유체 입구(28)로부터 가장 멀어서 이를 통해 흐르는 극저온 유체가 가장 작은 지부(34)와 조화를 이룬다. 이 결과, 냉선반 부피 전체에 걸쳐 극저온 유체의 균일한 분포가 달성된다.
제 1 지부 및 제 2 지부에는 구멍이 천공되는데, 그 구멍은 일반적으로 1/64 내지 1/4인치 내의 직경을 가진다. 극저온 유체는 제 1 지부 및 제 2 지부의 구멍으로부터 냉선반 부피 안으로 회수되는데, 여기서 극저온 유체는 상부 및 하부 패널로 그리고 거기서부터 동결건조용 수분함유 제품에 냉기를 전달하는 역할을 한다. 극저온 유체의 부피가 냉선반 부피 전체에 걸쳐 일정하기 때문에, 온도가 냉선반의 전 영역에서 균일하다. 사용된 극저온 유체는 냉선반 부피로부터 예컨대 도 1에 도시된 장치의 라인(9)에 해당하는 도 2의 방출관(35)을 통해 회수된다.
도 2에 도시된 발명의 실시태양에서 주흐름 경로의 제 1 각부(29)는 냉선반 부피의 중앙 영역에 배치되고, 주흐름 경로의 제 2 각부(30)는 냉선반 부피의 주변 영역에 배치된다. 당업계에서 통상의 지식을 가진 자는 다른 구성도 역시 유효하다는 것을 인정할 것이다. 예컨대, 제 1 각부가 한 주변 영역에 배치되고, 제 2 각부가 다른 주변 영역에 배치될 수 있다. 또 다른 장치에서는 제 1 각부 및 제 2 각부 모두가 냉선반 부피의 중앙 영역에 배치될 수도 있다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시태양을 도시한다. 도 3에 도시된 냉선반(45)은 몇 가지 점에서 도 2에 도시된 것과 유사하고 이러한 공통적인 특징, 즉 상부 및 하부 패널, 선반 부피, 관 크기 및 극저온 유체원과의 연결은 다시 상세하게 설명하지 않는다.
이제 도 3에서 보듯이, 한제 분배기(46)는 주흐름 경로(47) 및 주흐름 경로의 길이를 따라 연장된 지부(48)를 포함한다. 주흐름 경로(47)가 실질적으로 냉선반 부피의 전체 길이에 걸쳐 연장되는 것이 바람직하다. 주흐름 경로의 일단부(one end)에는 한제 분배기로의 극저온 유체를 수용하기 위한 극저온 유체 입구(49)가 있다. 극저온 유체 입구(49)에 보다 가깝게 위치한 지부, 예컨대 지부(50)는 극저온 유체 입구(49)로부터 보다 먼 지부, 에컨대 지부(51)에 있는 구멍 보다 작은 구멍을 가진다. 이러한 방식으로, 극저온 유체는 주흐름 경로(47)의 길이를 따라 압력이 하강함에도 불구하고, 입구(49)에서 보다 가까운 지부를 통해 선반 부피로 유입되는 극저온 유체와 거의 같은 유량으로 입구(49)로부터 보다 멀리 떨어진 지부를 통해 선반 부피로 유입된다. 통상적으로 지부(51)와 같이 극저온 유체 입구(49)에서 보다 멀리 떨어진 지부에 있는 구멍은 1/48 내지 1/4인치 범위 내의 평균 직경을 가지고, 지부(50)와 같이 극저온 유체 입구(49)에서 보다 가까운 지부에 있는 구멍은 1/64 내지 1/5인치 범위 내의 평균 직경을 가질 수 있다. 이러한 방식으로 극저온 유체에 의해 냉선반에 제공되는 냉기는 냉선반의 전체 표면에 걸쳐 균일하게 분포되어, 도 2에 도시된 본 발명의 실시태양에서와 유사한 효과를 얻는다.
사용된 극저온 유체는 선반(25)과 관련하여 설명된 것과 같은 방식으로 냉선반(45)의 선반 부피로부터 회수될 수 있다. 도 3은 사용된 유체가 선반 부피로부터 균일하게 회수되도록 하며 아울러 냉선반의 영역에 걸쳐서 어떠한 온도 구배도 생성되지 않도록 하는 사용된 극저온 유체를 선반 부피로부터 회수하기 위한 바람직한 시스템을 도시한다. 이제 다시 도 3에서 보듯이, 회수 라인(52)은 냉선반(45) 전체에 걸쳐 연장된 길이를 가지며, 그 길이를 따라 외부로 복수의 지부(53)가 연장되고 그 길이의 말단에 유체 배출구(54)가 위치한다. 배출구(54)로부터 보다 멀리 떨어진 지부, 예컨대 지부(55)는 지부(51)와 유사한 구멍을 가지며, 배출구(54)에 보다 가까운 지부, 예컨대 지부(56)는 지부(50)와 유사한 구멍을 가지는데, 지부(55)의 구멍은 지부(56)의 구멍보다 크다. 이 때, 배출구(54)를 통해 회수되는 사용된 유체는 도 1의 라인(9)으로 표시된 것처럼 동결건조기(8)로부터 회수될 수 있다.
동결건조에서, 제품을 포함한 플라스크(flask) 또는 기타 용기를 마개를 막거나 또는 기타 다른 처리를 하기 위해, 수직으로 적층된 극저온 냉선반을 상하로 이동시키는 것이 바람직할 수 있다. 냉선반은 도 4에 도시된 조인트를 사용하여 극저온 유체관을 손상시키지 않고 압착될 수 있다. 이제 도 4에서 보듯이, 극저온 유체는 극저온 이송관(65) 및 이 안에서 이동가능한 극저온관(67)에 의해 한제 분배기로 제공된다. 극저온관(66)은 그 길이를 따라 진공 단열재(67)를 구비하고, 극저온 이송관(65)과 극저온관(66)의 연결부에 불화탄소, 흑연 또는 기타 저온 패킹 물질로 구성된 패킹 글랜드(packing gland)(69) 및 기체 가열 글랜드(70)를 포함하는 조인트(68)가 있는데, 두 글랜드는 패킹 너트(71)에 의해 제자리에 고정된다. 패킹 글랜드는 극저온 유체가 새어 동결 건조기의 진공 챔버로 들어가지 못하도록 패킹 글랜드에 대해 이동할 수 있는 한제 분배기의 관들을 둘러싸고 있다. 패킹 물질을 그 유리 전이 온도(glass transition temperature) 또는 취화 온도(embrittlement temperature) 보다 높게 유지시키기 위해 더운 공기가 기체 입구(72) 및 기체 출구(73)에 의해 도시된 바와 같이 기체 가열 글랜드(70) 내부에서 순환된다. 패킹 글랜드 및 기체 가열 글랜드의 길이는 극저온 냉선반의 수직 이동 거리에 의존할 것이다. 도 4에 도시된 조인트는 본 발명의 극저온 냉선반이 이와 결합된 단단한 극저온 이송관과 함께 수직으로 용이하게 이동하도록 하여, 본 발명의 이용가능성을 더욱 증진시킬 것이다. 만약 선반이 상온으로 데워지기 전에는 어떠한 선반 이동도 필요하지 않다면, 도 4에 도시된 조인트는 필요하지 않고 연결용의 유연한 극저온 호스면 충분한다.
본 발명이 어떤 바람직한 실시태양을 참고로 상세하게 설명되었을 지라도, 당업자는 특허청구범위의 요지 및 범위 내에서 본 발명의 다른 실시태양이 있다는 것을 이해할 것이다.
본 발명의 동결건조 시스템용 냉선반에 따르면, 극저온 유체가 냉각원으로서 사용될 수 있고 비교적 균일하게 냉기를 냉선반 전체에 걸쳐 제공할 수 있다. 또한, 극저온 유체가 냉각원으로서 사용되어, 중간의 열전달 유체에 대한 필요성 및 수반되는 온도 범위에 있어서의 제한을 제거할 수 있다.

Claims (10)

  1. 선반 부피를 한정하는 이격된 패널과, 상기 선반 부피 내부에서 극저온 유체원과 유체흐름 소통되고 극저온 유체의 유동이 통과할 수 있는 한제 분배기를 포함하는 극저온 냉선반으로서,
    상기 한제 분배기는 제 1 각부 및 상기 제 1 각부의 하류에 위치하는 제 2 각부를 구비하는 주흐름 경로를 포함하고, 상기 제 1 각부는 상기 제 1 각부로부터 연장된 복수의 제 1 지부를 가지며, 상기 제 2 각부는 상기 제 2 각부로부터 연장되고 상기 제 1 지부들 사이에 배향된 복수의 제 2 지부를 가지며, 상기 제 1 및 제 2 지부의 자유단에 구멍들이 각각 구비되어 있는 극저온 냉선반.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제 1 각부가 상기 선반 부피의 중앙 영역에 위치하고, 상기 제 2 각부가 상기 선반 부피의 주변 영역에 위치하는 극저온 냉선반.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 선반 부피로부터 극저온 유체를 회수하기 위한 회수 수단을 더 포함하며, 상기 회수 수단은 일정한 길이를 갖는 회수 라인 및 배출구를 포함하고 그 길이를 따라서 복수의 회수 지부를 가지며, 상기 배출구로부터 보다 멀리 위치한 하나 이상의 회수 지부는 상기 배출구에 보다 가까운 하나 이상의 회수 지부에 있는 구멍보다 큰 구멍을 가지는 극저온 냉선반.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 한제 분배기를 상기 극저온 유체원에 연결시키기 위한 조인트를 더 포함하며, 상기 조인트는 패킹 글랜드 및 패킹 글랜드 주위의 기체 가열 글랜드를 포함하고, 상기 기체 가열 글랜드는 더운 공기를 수용하기 위한 수단 및 더운 공기를 배출시키기 위한 수단을 가지며, 상기 패킹 글랜드는 상기 패킹 글랜드에 대해 이동할 수 있는 상기 한제 분배기의 관을 둘러싸고 있는 극저온 냉선반.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 극저온 유체원이 질소원인 극저온 냉선반.
  6. 선반 부피를 한정하는 이격된 패널과, 상기 선반 부피 내부에서 극저온 유체원과 유체흐름 소통되고 극저온 유체의 유동이 통과할 수 있는 한제 분배기를 포함하는 극저온 냉선반으로서,
    상기 한제 분배기가 주흐름 경로를 포함하며, 상기 주흐름 경로는 극저온 유체 입구를 구비하며 상기 선반 부피를 통해 연장되는 길이를 가지고 이러한 길이를 따라 상기 주흐름 경로와 소통되는 복수의 지부를 구비하며, 상기 지부들은 상기 한제 분배기로부터상기 선반 부피로 극저온 유체를 회수하기 위한 구멍을 가지며, 상기 극저온 유체 입구에 보다 근접하게 위치한 하나 이상의 상기 지부가 상기 극저온 유체 입구로부터 보다 멀리 위치한 하나 이상의 상기 지부보다 작은 구멍을 가지는 극저온 냉선반.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 주흐름 경로가 상기 선반 부피의 중앙 영역에 위치하는 극저온 냉선반.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 선반 부피로부터 극저온 유체를 회수하기 위한 회수 수단을 더 포함하며, 상기 회수 수단은 일정한 길이를 갖는 회수 라인 및 배출구를 포함하고 그 길이를 따라 복수의 회수 지부를 가지며, 상기 배출구로부터 보다 멀리 위치한 하나 이상의 상기 회수 지부는 상기 배출구에 보다 가까운 하나 이상의 상기 회수 지부에 있는 구멍보다 큰 구멍을 가지는 극저온 냉선반.
  9. 제 6항에 있어서, 상기 한제 분배기를 극저온 유체원에 연결시키기 위한 조인트를 더 포함하며, 상기 조인트는 패킹 글랜드 및 상기 패킹 글랜드 주위의 기체 가열 글랜드를 포함하고, 상기 기체 가열 글랜드는 더운 공기를 수용하기 위한 수단 및 더운 공기를 배출시키기 위한 수단을 구비하며, 상기 패킹 글랜드는 상기 패킹 글랜드에 대해 이동할 수 있는 상기 한제 분배기의 관을 둘러싸고 있는 극저온 냉선반.
  10. 제 6항에 있어서, 상기 극저온 유체원이 질소원인 극저온 냉선반.
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