KR100366837B1 - A biaxial actuator - Google Patents
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Abstract
베이스판을 견고히 지지하고, 구조가 간단하고, 조립공정이 간소화되고, 조정하기가 쉽고, 비용도 저감되고, 대물렌즈의 광축조정을 행할 수 있는 이축 액츄에이터를 제공한다.Provided is a biaxial actuator that firmly supports the base plate, has a simple structure, simplifies the assembly process, is easy to adjust, reduces the cost, and can perform optical axis adjustment of the objective lens.
대물렌즈 (11) 가 고착된 렌즈홀더 (12) 와, 렌즈홀더 (12) 를 서스펜션 와이어 (13) 를 통하여 포커싱방향 (F) 및 트랙킹방향 (T) 의 이축방향으로 가동지지하는 고정부재 (15) 와, 렌즈홀더 (12) 를 구동하는 포커싱코일 (17) 과 트랙킹코일 (18) 과 요크 (14c) 와 그 요크 (14c) 에 고착된 마그네트 (19a, 19b) 로 이루어지는 구동부를 적어도 베이스판 (14) 에 배열설치함과 동시에, 베이스판 (14) 의 대물렌즈 (11) 측에서 상기 트랙킹방향 (T) 을 따른 한쪽의 단부는 나사 (21, 21) 에 의해 픽업 섀시 (22) 에 캔틸레버 형상으로 지지되고, 다른 쪽 단부의 양측은 나사 (23a, 23b) 에 의해 가동지지된다.A lens holder 12 to which the objective lens 11 is fixed, and a fixing member 15 for supporting the lens holder 12 in the biaxial direction of the focusing direction F and the tracking direction T via the suspension wire 13. ), And a driving unit made of a focusing coil 17 for driving the lens holder 12, a tracking coil 18, a yoke 14c, and magnets 19a and 19b fixed to the yoke 14c, at least a base plate ( At the same time, the one end along the tracking direction T on the objective lens 11 side of the base plate 14 is cantilevered in the pickup chassis 22 by screws 21 and 21. And both sides of the other end are movable supported by screws 23a and 23b.
Description
본 발명은 예를 들면, 광디스크에 대해 신호를 기록 또는 재생하기 위해 사용되는 광픽업용의 이축 액츄에이터에 관한 것이다.The present invention relates to, for example, a biaxial actuator for optical pickup used for recording or reproducing a signal on an optical disc.
종래, CD (콤팩트ㆍ디스크) 및 DVD (디지털ㆍ비디오ㆍ디스크 또는 디지털ㆍ버서타일ㆍ디스크) 등의 광디스크에 정보신호의 기록 또는 재생을 행하기 위해 광픽업이 사용되고 있다. 광픽업은, 레이저빔을 발광하는 발광소자, 레이저빔을 수광하는 수광소자, 레이저빔이 유도되는 광학계, 레이저빔을 집광하는 대물렌즈를 갖고 있다.Background Art Conventionally, optical pickups have been used to record or reproduce information signals on optical discs such as CDs (compact discs) and DVDs (digital video discs or digital buffer tiles). The optical pickup has a light emitting element for emitting a laser beam, a light receiving element for receiving a laser beam, an optical system for inducing a laser beam, and an objective lens for condensing a laser beam.
발광소자로부터 출사한 레이저빔은 광학계에 의해 대물렌즈로 유도되고, 대물렌즈에 의해 집광된다. 이 집광빔이 광디스크의 면진동에 대해 광디스크의 정보기록면에 항상 초점이 맞춰지도록, 대물렌즈의 광축방향 (포커싱방향) 으로 대물렌즈가 구동되고, 또 정보기록 트랙에 추종하도록 광디스크의 반경방향 (트랙킹방향) 으로 대물렌즈가 구동됨으로써, 광디스크의 정보기록면으로부터 정보신호에 따라 변화한 레이저빔의 반사광인 되돌림광이 재차 대물렌즈와 광학계를 지나 광학소자에 의해 수광되고, 출력신호로 변환되어 정보신호가 재생되거나, 또는 정보신호의 기록이 행해진다.The laser beam emitted from the light emitting element is guided to the objective lens by the optical system and condensed by the objective lens. The objective lens is driven in the optical axis direction (focusing direction) of the objective lens so that this condensing beam is always focused on the information recording surface of the optical disk with respect to the surface vibration of the optical disk, and the radial direction (tracking) of the optical disk so as to follow the information recording track. Direction), the return light, which is the reflected light of the laser beam changed in accordance with the information signal from the information recording surface of the optical disk, is received by the optical element again through the objective lens and the optical system, and converted into an output signal to convert the information signal. Playback or recording of the information signal is performed.
상기한 대물렌즈의 구동장치로서, 전자(電磁)구동형의 포커싱방향과 트랙킹방향의 이축에 구동하는 액츄에이터, 즉 이축 액츄에이터가 사용된다. 이축 액츄에이터는, 대물렌즈가 부착되는 렌즈홀더와, 가동부가 되는 렌즈홀더를 지지하기 위한 고정부가 되는 고정부재와, 구동력을 발생시키기 위한 구동부를 포함하고 있다.As the above-described driving device of the objective lens, an actuator for driving in two axes of the electronic driving focusing direction and the tracking direction, i.e., a biaxial actuator, is used. The biaxial actuator includes a lens holder to which an objective lens is attached, a fixing member serving as a fixing portion for supporting a lens holder serving as a movable portion, and a driving portion for generating driving force.
이하, 종래의 이축 액츄에이터의 일례를 도 5, 도 6, 도 7 에 각각 나타낸 이축 액츄에이터 (100) 의 평면도, 일부단면 측면도, 도 5 의 S2 방향에서 바라본 일부단면 정면도에 의해 설명한다. 도 5, 도 6 에 있어서, 대물렌즈 (101) 가 고착된 렌즈홀더 (102) 의 양측의 암(arm)부 (102a, 102a) 에는, 각각 2 개의 서스펜션 와이어 (103, 103) 의 일단이 고정되어 있다. 또한, 서스펜션 와이어 (103) 의 각각의 타단은 베이스판 (104) 에 고정된 고정부재 (105) 에 캔틸레버 형상으로 지지됨으로써, 렌즈홀더 (102) 는 트랙킹방향 (T) 과 포커싱방향 (F) 의 이축으로 이동이 가능하게 지지되어 있다.Hereinafter, an example of the conventional biaxial actuator is demonstrated with the top view, partial cross section side view of the biaxial actuator 100 shown to FIG. 5, FIG. 6, and FIG. 7, respectively, and the partial cross section front view seen from the S2 direction of FIG. 5 and 6, one end of each of the two suspension wires 103 and 103 is fixed to the arm portions 102a and 102a on both sides of the lens holder 102 to which the objective lens 101 is fixed. It is. In addition, each other end of the suspension wire 103 is supported in a cantilever shape by a fixing member 105 fixed to the base plate 104, whereby the lens holder 102 has a tracking direction T and a focusing direction F. As shown in FIG. It is supported to be able to move in biaxial direction.
또, 렌즈홀더 (102) 에는, 포커싱코일 (106) 과, 이 포커싱코일 (106) 과 대물렌즈 (101) 측에 인접한 2 개의 트랙킹코일 (107, 107) 이 고착되어 있다. 또한, 베이스판 (104) 에는, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 대략 U 자 형상으로 상부가 개방되어 있는 요크 (108) 가 그 절곡편 (108a) 이 렌즈홀더 (102) 에 형성된 구멍부 (102b) 에 삽입되고, 또 마그네트 (109) 가 절곡편 (108a) 에 대향하도록 고착된 절곡편 (108b) 이 포커싱코일 (106) 의 공심(空芯)구멍 (106a) 에 삽입됨으로써, 절곡편 (108a 와 108b) 이 트랙킹코일 (107, 107) 과, 포커싱코일 (106) 의 일측면을 사이에 끼우도록 부착고정되어 있다. 또, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 요크 (108) 의 개방부를 닫도록, 톱 요크 (115) 가 요크 (108) 에 고정되어 있다 (도 5 에서는 생략함).Further, the focusing coil 106 and two tracking coils 107 and 107 adjacent to the focusing coil 106 and the objective lens 101 side are fixed to the lens holder 102. In addition, in the base plate 104, as shown in Fig. 6, a yoke 108 having an upper portion opened in a substantially U-shape has a hole 102b in which the bent piece 108a is formed in the lens holder 102. Is inserted into the hollow core hole 106a of the focusing coil 106 so that the bending piece 108b fixed to the bending piece 108a and the magnet 109 is opposed to the bending piece 108a. 108b) The tracking coils 107, 107 and one side of the focusing coil 106 are attached and fixed to each other. 6, the top yoke 115 is fixed to the yoke 108 so as to close the opening of the yoke 108 (omitted in FIG. 5).
이에 따라, 트랙킹코일 (107, 107) 에 통전하면, 이 코일에 발생한 자계가, 요크 (108) 와 그 절곡편 (108b) 에 고착한 마그네트 (109) 에 의해 발생하는 자계와 상호 작용함으로써, 각 코일을 고착시켜 둔 렌즈홀더 (102) 는 도 5 중의 T 방향으로 구동된다. 동일하게, 포커싱코일 (106) 에 통전하면, 렌즈홀더 (102) 는 도 6 중의 F 방향으로 구동된다. 따라서, 렌즈홀더 (102) 에 고착한 대물렌즈 (101) 는 트랙킹방향 (T) 및 포커싱방향 (F) 으로 구동되게 된다.As a result, when the tracking coils 107 and 107 are energized, the magnetic field generated in this coil interacts with the magnetic field generated by the magnet 109 fixed to the yoke 108 and the bent piece 108b. The lens holder 102 having the coil fixed thereto is driven in the T direction in FIG. Similarly, when energizing the focusing coil 106, the lens holder 102 is driven in the F direction in FIG. Therefore, the objective lens 101 fixed to the lens holder 102 is driven in the tracking direction T and the focusing direction F. FIG.
한편, 베이스판 (104) 에는, 구면 형상의 돌출부 (104a) 가 픽업 섀시 (110) 측에 형성되어 있고, 그 돌출부 (104a) 가 픽업 섀시 (110) 에 형성된 구면 형상의 오목부 (110a) 에 접접(摺接)하도록 되어 있다. 또한, 상기 구면 형상의 돌출부 (104a) 대신에, 도 8 에 나타낸 바와 같이, 둥근 송곳대 형상의 돌출부 (114) 가 베이스판 (104) 에 형성되어 있는 경우도 있다.On the other hand, in the base plate 104, a spherical protrusion 104a is formed on the pickup chassis 110 side, and the protrusion 104a is formed on a spherical recess 110a formed in the pickup chassis 110. It is made to contact. In addition, instead of the spherical protrusion 104a, as shown in FIG. 8, a round awl-shaped protrusion 114 may be formed in the base plate 104 in some cases.
또, 베이스판 (104) 의 대물렌즈 (101) 측의 T 방향을 따른 일단부의 편측에는 절곡부 (104b) 가 절곡되어 형성되어 있고, 그 하나의 면인 누름면 (104c) 은, 픽업 섀시 (110) 에 일단부가 나사 (111) 에 의해 고정된 판스프링 (112) 의 타단부에 의해 도 6 에 나타낸 A 방향으로 탄성적으로 힘이 가해지고 있다.Moreover, the bent part 104b is bent and formed in the one side part of the one end part along the T direction of the objective lens 101 side of the base plate 104, The press surface 104c which is one surface is the pickup chassis 110 ) Is elastically applied in the A direction shown in FIG. 6 by the other end of the leaf spring 112 whose one end is fixed by the screw 111.
또, 베이스판 (104) 의 대물렌즈 (101) 와는 반대측인 타단부의 양측에는, 지지부 (104d, 104e) 가 형성되어 있고, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 픽업 섀시 (110) 의 하방으로부터 상방으로 삽입통과시킨 나사부재 (113a, 113b) 의 선단부가, 각각 지지부 (104d, 104e) 에 형성한 나사구멍 (104f, 104g) 에 끼워 맞춰짐으로써, 베이스판 (104) 의 타단부가 지지되고 있다.Moreover, support parts 104d and 104e are formed in the both sides of the other end part on the opposite side to the objective lens 101 of the base plate 104, and as shown in FIG. 6, from the lower side of the pickup chassis 110 upwards. The other end of the base plate 104 is supported by fitting the leading ends of the inserted screw members 113a and 113b into the screw holes 104f and 104g formed in the support portions 104d and 104e, respectively.
이와 같은 구성에 의해, 베이스판 (104) 이 도 6, 도 7 에 나타낸 광디스크 (도시하지 않음) 의 접선방향, 즉 탄젠셜 (TAN) 방향, 및 동 반경방향, 즉 라디알 (RAD) 방향으로 회동이 조정됨으로써, 대물렌즈 (101) 의 광축 (B) 이 광디스크면에 대해 대략 수직이 되어 최적의 기록 또는 재생을 행할 수 있도록 광축조정이 행해진다. 구체적으로는, 도 6 에 나타낸 나사부재 (113a 와 113b) 를 회동시키고, 지지부 (104d 와 104e) 를 도 중의 C 방향의 어느 쪽이든 동일한 방향으로 동일한 거리만큼 이동시킴으로써, TAN 방향의 조정을 행할 수 있다.With such a configuration, the base plate 104 is tangential to the optical disc (not shown) shown in FIGS. 6 and 7, that is, in the tangential (TAN) direction and in the same radial direction, that is, the radial (RAD) direction. By adjusting the rotation, the optical axis B of the objective lens 101 is substantially perpendicular to the optical disk surface, and the optical axis adjustment is performed so that optimal recording or reproduction can be performed. Specifically, the TAN direction can be adjusted by rotating the screw members 113a and 113b shown in FIG. 6 and moving the support portions 104d and 104e by the same distance in either direction in the C direction in the figure. .
또, 도 7 에 있어서, 나사부재 (113a) 를 회동시키지 않고, 나사부재 (113b) 만을 회동시키고, 지지부 (104e) 를 도 중의 D 방향으로 이동시킴으로써, RAD 방향의 조정을 행할 수 있다. 이와는 반대로, 나사부재 (113b) 를 회동시키지 않고, 나사부재 (113a) 만을 회동시키거나, 또는 나사부재 (113a 와 113b) 를 서로 반대방향으로 회동시킴으로써 RAD 방향의 조정을 행할 수 있다.In addition, in FIG. 7, the RAD direction can be adjusted by rotating only the screw member 113b, and moving the support part 104e to the D direction in the figure, without rotating the screw member 113a. On the contrary, the RAD direction can be adjusted by rotating only the screw member 113a or rotating the screw members 113a and 113b in opposite directions without rotating the screw member 113b.
이상과 같이 하여, 픽업 섀시 (110) 에 대한 베이스판 (104) 의 회동조정에 의해 대물렌즈 (101) 의 광축조정이 행해지고, 픽업 섀시 (110) 로의 이축 액츄에이터 (100) 의 부착이 완료한다.As described above, the optical axis adjustment of the objective lens 101 is performed by the rotation adjustment of the base plate 104 with respect to the pickup chassis 110, and the attachment of the biaxial actuator 100 to the pickup chassis 110 is completed.
그러나, 상기한 종래의 이축 액츄에이터 (100) 에서는, 베이스부재 (104) 를 누르기 위한 판스프링 (112) 및, 구면 형상 또는 둥근 송곳대 형상의 돌출부 (104a, 114) 가 필요하며 비용이 증대한다. 또한, 구조도 복잡해진다.However, in the conventional biaxial actuator 100 described above, the leaf spring 112 for pressing the base member 104 and the spherical or round awl-shaped protrusions 104a and 114 are required and the cost increases. In addition, the structure is complicated.
한편, 베이스부재 (104) 의 누름면 (104c) 을 판스프링 (112) 에 의해 탄성적으로 힘을 가하고 있기 때문에, 대물렌즈 (101) 로부터 출사되는 집광빔이 광디스크의 정보기록면에 추종하도록 이축 액츄에이터 (100) 를 서보제어할 때에, 상기 판스프링 (112) 의 탄성성분이 외란하여 불필요한 공진이 발생하고, 정보기록면의 면진동 및 정보기록 트랙의 기복에 추종하기 위한, 또는 광디스크면의 더러워짐, 흠집 등이 있어도 정보기록 트랙에 추종하기 위한 이축 액츄에이터의 주파수 특성이 악화되어, 정보신호를 판독할 수 없게 되는 경우가 있다.On the other hand, since the pressing surface 104c of the base member 104 is elastically applied by the leaf spring 112, the biaxial actuator so that the condensing beam emitted from the objective lens 101 can follow the information recording surface of the optical disk. When servo control 100, the elastic component of the leaf spring 112 is disturbed and unnecessary resonance occurs, so as to follow the surface vibration of the information recording surface and the undulation of the information recording track or the surface of the optical disk, Even if there are scratches or the like, the frequency characteristics of the biaxial actuator for tracking the information recording track may deteriorate, making it impossible to read the information signal.
이것을 방지하기 위해, 베이스판 (104) 의 누름면 (104c) 상에서 판스프링 (112) 을 접착제 등에 의해 고착하는 방법이 있었지만, 판스프링 (112) 의 일부를 고착하기 때문에, 베이스판 (104) 을 픽업 섀시 (110) 에 대해 견고히 고정할 수 없고, 상기 주파수 특성의 개선은 불충분하며, 또 접착을 위한 조립공정의 추가가 필요해졌다.In order to prevent this, there has been a method of fixing the leaf spring 112 on the pressing surface 104c of the base plate 104 with an adhesive or the like, but since the portion of the leaf spring 112 is fixed, the base plate 104 is fixed. It cannot be fixed firmly with respect to the pickup chassis 110, the improvement of the frequency characteristic is insufficient, and the addition of an assembly process for adhesion has been required.
또, 상기 누름면 (104c) 을 포함하여 판스프링 (112) 전체를 접착고정함으로써, 베이스판 (104) 을 픽업 섀시 (110) 에 대해 견고히 고정하는 방법을 생각할 수 있지만, 판스프링 (112) 을 포위하도록 접착하기 위한 치구 등이 필요해지며, 또 작업시간도 장시간을 필요로 하는 등, 실용적인 방법은 아니다.Moreover, although the method of fixing the base plate 104 firmly with respect to the pickup chassis 110 can be considered by adhesively fixing the whole leaf spring 112 including the said pressing surface 104c, the leaf spring 112 can be considered. It is not a practical method, such as a jig for bonding so as to enclose it, and a long working time is required.
또, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 베이스판 (104) 의 지지부 (104d, 104e) 에 형성된 나사구멍 (104f, 104g) 에 나사부재 (113a 와 113b) 를 박을 때에, 지지부 (104d, 104e) 의 조정방향 (C) 의 초기위치로서, 통상은 베이스부재 (104) 와 픽업 섀시 (110) 를 개략적으로 평행이 되도록 설정해 두지만, 개략적으로 평행인지에대한 확인을 예를 들면 육안으로 실시하려 해도 베이스부재 (104) 가 픽업 섀시 (110) 의 바닥에 가까운 곳에 있기 때문에 어려워진다. 따라서, 조정방향 (C) 의 초기위치를 알기 위한 검출수단을 형성하지 않는 한, 광축조정은 그 범위가 애매하기 때문에 곤란한 것으로 되었다. 상기 검출수단을 형성하는 것은 비용증가로 연결되기 때문에 실용적인 방법은 아니다.In addition, as shown in Fig. 6, when the screw members 113a and 113b are screwed into the screw holes 104f and 104g formed in the support portions 104d and 104e of the base plate 104, the support portions 104d and 104e are formed. As the initial position of the adjustment direction C, the base member 104 and the pick-up chassis 110 are usually set to be substantially parallel, but the base member 104 and the pick-up chassis 110 are generally parallel. This is difficult because the member 104 is close to the bottom of the pickup chassis 110. Therefore, unless the detection means for knowing the initial position of the adjustment direction C is provided, the optical axis adjustment is difficult because the range is ambiguous. Forming the detection means is not practical because it leads to increased costs.
본 발명의 목적은, 베이스판을 견고히 지지하고, 구조가 간단하고, 조립공정이 간소화되고, 조정하기가 쉽고, 비용도 저감되며, 대물렌즈의 광축조정을 행할 수 있는 이축 액츄에이터를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a biaxial actuator capable of firmly supporting a base plate, having a simple structure, simplifying an assembling process, making it easy to adjust, reducing costs, and adjusting an optical axis of an objective lens. .
도 1 은 본 발명의 실시형태인 이축 액츄에이터의 사시도이다.1 is a perspective view of a biaxial actuator that is an embodiment of the present invention.
도 2 는 본 발명의 실시형태인 이축 액츄에이터의 평면도이다.2 is a plan view of a biaxial actuator that is an embodiment of the present invention.
도 3 은 본 발명의 실시형태인 이축 액츄에이터의 일부단면 측면도이다.3 is a partial cross-sectional side view of a biaxial actuator according to an embodiment of the present invention.
도 4 는 본 발명의 실시형태인 이축 액츄에이터에 관한 것으로, 도 2 의 S1 방향에서 바라본 정면도이다.It is a front view seen from the S1 direction of FIG. 2 with respect to the biaxial actuator which is embodiment of this invention.
도 5 는 종래의 이축 액츄에이터의 평면도이다.5 is a plan view of a conventional biaxial actuator.
도 6 은 종래의 이축 액츄에이터의 일부단면 측면도이다.6 is a partial cross-sectional side view of a conventional biaxial actuator.
도 7 은 종래의 이축 액츄에이터에 관한 것으로, 도 5 의 S2 방향에서 바라본 일부단면 정면도이다.FIG. 7 relates to a conventional biaxial actuator, and is a partial sectional front view seen from the direction S2 of FIG. 5.
도 8 은 종래의 다른 예인 이축 액츄에이터의 일부단면 측면도이다.8 is a partial cross-sectional side view of another conventional biaxial actuator.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10: 이축 액츄에이터 11: 대물렌즈10: biaxial actuator 11: objective lens
12: 렌즈홀더 13: 서스펜션 와이어12: lens holder 13: suspension wire
14: 베이스판 14c: 요크14: base plate 14c: yoke
15: 고정부재 16: 기판15: fixing member 16: substrate
21, 23a, 23b: 나사 22: 픽업 섀시21, 23a, 23b: screw 22: pickup chassis
상기 과제를 해결하기 위한 제 1 해결수단으로서, 대물렌즈가 고착된 렌즈홀더와, 그 렌즈홀더를 포커싱방향 및 트랙킹방향의 이축방향으로 가동지지하는 고정부재와, 상기 렌즈홀더를 구동하는 포커싱코일과 트랙킹코일과 요크와 그 요크에 고착된 마그네트로 이루어지는 구동부를 적어도 베이스부재에 배열설치함과 동시에, 그 베이스부재의 상기 트랙킹방향을 따른 한쪽의 단부는 캔틸레버 형상으로 고정적으로 지지되고, 다른 쪽의 단부는 상기 포커싱방향으로 가동지지되는 것을 특징으로 하는 것이다.As a first solution for solving the above problems, there is provided a lens holder having an objective lens fixed thereto, a fixing member for supporting the lens holder in a biaxial direction in a focusing direction and a tracking direction, a focusing coil for driving the lens holder, While at least a driving unit comprising a tracking coil and a yoke and a magnet fixed to the yoke is arranged at least in the base member, one end along the tracking direction of the base member is fixedly supported in a cantilever shape, and the other end is provided. It is characterized in that the movable support in the focusing direction.
또한, 제 2 해결수단으로서, 상기 베이스부재의 한쪽의 단부는 섀시의 배치면에 배치되어 제 1 나사부재에 의해 그 배치면에 고정되고, 다른 쪽 단부의 양측은 각각 제 2 나사부재에 의해 지지됨과 동시에, 상기 대물렌즈는 한쪽의 단부측에 배열설치되고, 상기 고정부재는 다른 쪽의 단부측에 배열설치되는 것을 특징으로하는 것이다.Further, as a second solution, one end of the base member is disposed on the mounting surface of the chassis and is fixed to the mounting surface by the first screw member, and both sides of the other end are respectively supported by the second screw member. At the same time, the objective lens is arranged on one end side, and the fixing member is arranged on the other end side.
또한, 제 3 해결수단으로서, 상기 배치면은 경사면인 것을 특징으로 하는 것이다.Further, as a third solution means, the arrangement surface is characterized in that the inclined surface.
또한, 제 4 해결수단으로서, 상기 베이스부재는 강판임과 동시에, 상기 요크는 상기 베이스부재의 일부를 절곡하여 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.In addition, as a fourth solution, the base member is a steel sheet, and the yoke is integrally formed by bending a part of the base member.
(발명의 실시형태)Embodiment of the Invention
본 발명의 실시형태인 이축 액츄에이터 (10) 에 대해, 도 1, 도 2, 도 3, 도 4 에 각각 나타낸 사시도, 평면도, 일부단면 측면도, 도 2 의 S1 방향에서 바라본 정면도를 사용하여 이하에 설명한다.The biaxial actuator 10 which is embodiment of this invention is demonstrated below using the perspective view, top view, partial cross section side view, and the front view which looked at S1 direction of FIG. 2, respectively, shown in FIG. 1, FIG. 2, FIG. 3, FIG. do.
도 1 내지 도 3 에 나타낸 바와 같이, 대물렌즈 (11) 가 고착된 렌즈홀더 (12) 의 도 중 T 방향의 양측에 형성한 지지부 (12a, 12a) 에는, 서스펜션 와이어 (13, 13) 의 일단이 각각 고정되어 있다. 또한, 각 서스펜션 와이어 (13, 13) 의 타단은 베이스부재인 베이스판 (14) 에 부착한 고정부재 (15) 의 대물렌즈 (11) 측과는 반대측에 부착한 기판 (16) 에 납땜됨으로써, 렌즈홀더 (12) 는 고정부재 (15) 에 대해 트랙킹방향 (T) 과 포커싱방향 (F) 의 이축방향으로 이동이 가능하게 지지되어 있다. 또한, 베이스판 (14) 은 강판으로 형성되어 있다.1 to 3, one end of the suspension wires 13 and 13 is provided on the support portions 12a and 12a formed on both sides in the T direction of the lens holder 12 to which the objective lens 11 is fixed. Are fixed respectively. In addition, the other ends of the respective suspension wires 13 and 13 are soldered to the substrate 16 attached to the side opposite to the objective lens 11 side of the fixing member 15 attached to the base plate 14 serving as the base member. The lens holder 12 is supported so as to be movable in the biaxial direction of the tracking direction T and the focusing direction F with respect to the fixing member 15. The base plate 14 is formed of a steel sheet.
또, 렌즈홀더 (12) 에는, 포커싱코일 (17) 과, 이 포커싱코일 (17) 의 권선방향과 직교하는 방향으로 권선하여 형성하고 포커싱코일 (17) 의 대물렌즈 (11) 측에 인접시킨 2 개의 트랙킹코일 (18, 18) 이 고착되어 있다. 또한, 베이스판(14) 에는, 도 3 에 나타낸 바와 같이 베이스판 (14) 의 일부를 절곡한 절곡편 (14a 와 14b) 을 형성하고, U 자 형상으로 상부가 개방되어 있는 요크 (14c) 를 구성하고 있다. 또, 절곡편 (14a 와 14b) 에는, 서로 상이한 극으로 대향하도록, 각각 마그네트 (19a, 19b) 가 고착되어 있다. 또한, 요크 (14c) 의 개방한 상부를 닫도록 톱 요크 (20) 가 고착되어 있다.The lens holder 12 is formed by winding the focusing coil 17 and the winding coil in the direction orthogonal to the winding direction of the focusing coil 17 and adjoining the objective lens 11 side of the focusing coil 17. Tracking coils 18 and 18 are fixed. Moreover, in the base board 14, as shown in FIG. 3, the bending piece 14a and 14b which bent the part of the base board 14 are formed, and the yoke 14c which the upper part is opened in U shape is opened. It consists. In addition, magnets 19a and 19b are fixed to the bent pieces 14a and 14b so as to face each other with different poles. Moreover, the top yoke 20 is fixed so that the open upper part of the yoke 14c may be closed.
마그네트 (19a) 가 고착된 절곡편 (14a) 은 렌즈홀더 (12) 에 형성된 구멍부 (12b) 에 삽입되고, 또 마그네트 (19b) 가 고착된 절곡편 (14b) 은 포커싱코일 (17) 의 공심구멍에 삽입됨으로써, 마그네트 (19a, 19b) 가 트랙킹코일 (18, 18) 과, 포커싱코일 (17) 의 일측면을 사이에 끼우도록 요크 (14c) 가 배치된다.The bending piece 14a to which the magnet 19a is fixed is inserted into the hole 12b formed in the lens holder 12, and the bending piece 14b to which the magnet 19b is fixed is the air core of the focusing coil 17. By being inserted into the hole, the yoke 14c is arranged so that the magnets 19a and 19b sandwich the tracking coils 18 and 18 and one side of the focusing coil 17.
이에 따라, 트랙킹코일 (18, 18) 에 통전하면, 이 코일에 발생한 자계가, 요크 (14c) 와 그 절곡편 (14a, 14b) 에 각각 고착된 마그네트 (19a, 19b) 에 의해 발생하는 자계와 상호 작용함으로써, 각 코일을 고착하고 있는 렌즈홀더 (12) 는 도 2 중의 T 방향으로 구동된다. 동일하게, 포커싱코일 (17) 에 통전하면, 렌즈홀더 (12) 는 도 3 중의 F 방향으로 구동된다. 따라서, 렌즈홀더 (12) 에 고착한 대물렌즈 (11) 는, 트랙킹방향 (T) 및 포커싱방향 (F) 으로 구동되게 된다.As a result, when the tracking coils 18 and 18 are energized, the magnetic field generated in the coil is generated by the magnets 19a and 19b fixed to the yoke 14c and the bent pieces 14a and 14b, respectively. By interacting, the lens holder 12 fixing the respective coils is driven in the T direction in FIG. Similarly, when energizing the focusing coil 17, the lens holder 12 is driven in the F direction in FIG. Therefore, the objective lens 11 fixed to the lens holder 12 is driven in the tracking direction T and the focusing direction F. As shown in FIG.
이상의 구성에 의해, 광픽업 (도시하지 않음) 의 발광소자로부터 출사한 레이저빔이 대물렌즈 (11) 를 통하여 광디스크의 정보기록면에 결상된다. 그리고, 상기 광디스크의 정보기록면으로부터의 되돌림광이 다시 대물렌즈 (11) 를 통과하여, 광픽업의 광검출기에 입사함으로써, 정보기록면에 기록된 정보가 판독된다. 그때, 렌즈홀더 (12) 에 고착된 포커싱코일 (17) 및 트랙킹코일 (18, 18)에의 통전이 적절히 제어됨으로써, 대물렌즈 (11) 의 포커싱 및 트랙킹 동작이 행해지도록 되어 있다.With the above configuration, the laser beam emitted from the light emitting element of the optical pickup (not shown) is imaged on the information recording surface of the optical disc via the objective lens 11. The returned light from the information recording surface of the optical disc passes through the objective lens 11 again and enters the photodetector of the optical pickup, whereby the information recorded on the information recording surface is read. At that time, the energization of the focusing coil 17 and the tracking coils 18 and 18 fixed to the lens holder 12 is properly controlled, so that the focusing and tracking operations of the objective lens 11 are performed.
한편, 도 2 에 나타낸 바와 같이, 베이스판 (14) 의 대물렌즈 (11) 측에서 T 방향을 따른 한쪽 단부의 양측에는 부착부 (14d, 14d) 가 형성되어 있다. 그리고, 그 부착부 (14d, 14d) 가 제 1 나사부재인 나사 (21, 21) 에 의해, 섀시인 픽업 섀시 (22) 의 배치면인 경사면 (22a) (도 3 참조) 에 고정됨으로써, 베이스판 (14) 은 픽업 섀시 (22) 에 대해 캔틸레버 형상으로 견고히 지지되어 있다.On the other hand, as shown in FIG. 2, attachment portions 14d and 14d are formed on both sides of one end portion along the T direction on the objective lens 11 side of the base plate 14. And the attachment part 14d, 14d is fixed to the inclined surface 22a (refer FIG. 3) which is an arrangement surface of the pickup chassis 22 which is a chassis by the screws 21 and 21 which are 1st screw members, and a base The plate 14 is firmly supported in the cantilever shape with respect to the pickup chassis 22.
또, 베이스판 (14) 의 다른 쪽 단부의 양측에 형성한 지지부 (14e, 14f) 에는 각각 나사구멍 (14g, 14h) 이 형성되어 있고, 도 3 에 나타낸 바와 같이, 픽업 섀시 (22) 의 하방으로부터 상방으로 삽입통과시킨 제 2 나사부재인 나사 (23a, 23b) 의 선단부가 각각 나사구멍 (14g, 14h) 에 끼워 맞춰짐으로써, 베이스판 (14) 의 다른 쪽의 단부가 지지되고 있다.Moreover, the screw holes 14g and 14h are formed in the support parts 14e and 14f formed in the both sides of the other end part of the base board 14, respectively, and as shown in FIG. The other end of the base plate 14 is supported by fitting the distal end portions of the screws 23a and 23b, which are second screw members inserted through from above, into the screw holes 14g and 14h, respectively.
이와 같은 구성에 의해, 베이스판 (14) 이 도 3, 도 4 에 각각 나타낸 광디스크 (30) 의 접선방향, 즉 탄젠셜 (TAN) 방향, 및 동 반경방향, 즉 라디알 (RAD) 방향으로 회동이 조정됨으로써, 대물렌즈 (11) 의 광축 (B) 이 광디스크 (30) 면에 대해 대략 수직이 되고, 최적의 집광빔에 의한 기록 또는 재생을 행할 수 있도록 광축조정이 실시된다.With this configuration, the base plate 14 is rotated in the tangential direction of the optical disc 30 shown in Figs. 3 and 4, respectively, in the tangential (TAN) direction, and in the same radial direction, that is, the radial (RAD) direction. By this adjustment, the optical axis B of the objective lens 11 becomes substantially perpendicular to the plane of the optical disc 30, and the optical axis adjustment is performed so that recording or reproduction by the optimal condensing beam can be performed.
다음으로, 광축조정의 구체적인 방법에 대해 설명한다.Next, the specific method of optical axis adjustment is demonstrated.
우선, 도 3 에 나타낸 바와 같이, 수평선 H 에 대해 각도θ만큼 지지부 (14e, 14f) 가 픽업 섀시 (22) 와 이간하는 방향으로 경사진 베이스판 (14) 에 있어서, 나사부재 (23a 와 23b) 를 회동시키고, 경사면 (22a) 의 고정부재 (15) 방향의 단부에 있어서의 베이스부재 (14) 의 근본부 (14i, 14i) (도 2 참조) 를 탄성변형시키도록, 지지부 (14e 와 14f) 를 위치 P 에서 Q 까지 동일한 방향으로 동일한 거리만큼 이동시킴으로써, 베이스판 (14) 의 대략 2θ의 회동각도를 확보할 수 있도록 해 둔다. 또한, 베이스판 (14) 은 탄성변형이 가능한 것이 아니더라도 되며, 소성변형이 가능한 것이라도 된다.First, as shown in FIG. 3, in the base plate 14 inclined in the direction in which the support portions 14e and 14f are separated from the pickup chassis 22 by an angle θ with respect to the horizontal line H, the screw members 23a and 23b. And the support portions 14e and 14f to elastically deform the root portions 14i and 14i (see FIG. 2) of the base member 14 at the end portion in the direction of the fixing member 15 of the inclined surface 22a. Is moved by the same distance from the position P to Q by the same distance, so that the rotation angle of approximately 2θ of the base plate 14 can be secured. The base plate 14 may not be elastically deformable, or may be plastically deformable.
이때, 고정부재 (15) 는 베이스판 (14) 의 지지부 (14e, 14f) 측에 접근하여 배치되어 있기 때문에, 베이스판 (14) 의 회동에 따라 고정부재 (15) 의 저면 (15a) 도 거의 동일한 각도가 되도록 회동한다. 따라서, 고정부재 (15) 와 서스펜션 와이어 (13) 를 통하여 연결되는 렌즈홀더 (12) 에 고착된 대물렌즈 (11) 의 광축 (B) 도 동일하게, 베이스판 (14) 의 위치 P 에서 Q 로의 각도 2θ의 회동에 따라, 거의 동일한 각도인θ' 가 되도록 P' 에서 Q' 으로 회동한다. 이와 같이, TAN 방향의 조정범위를 확보할 수 있다. 또한, 상기 각도θ' 는 미리 이축 액츄에이터 (10) 를 구성하는 부재 등의 치수공차 등에 의한 광축 (B) 의 초기의 각도 불균일을 고려하여 소정의 값을 정해두면 좋다. 또, 베이스부재 (14) 의 조정범위를 2θ로 하였지만, 이에 한정되지 않고, 필요에 따라 변경해도 된다. 또, 상기 각도 2θ는 도 3 에서는, 알기 쉽게 하기 위하여 극단적으로 크게 그렸지만, 실제로는 미세한 각도이기 때문에, 상기 조정범위에서는 트랙킹코일 (18, 18) 및 포커싱코일 (17) 등이 마그네트 (19a, 19b) 에 접촉하는 경우는 없다.At this time, since the fixing member 15 is disposed close to the supporting portions 14e and 14f of the base plate 14, the bottom surface 15a of the fixing member 15 is also almost in accordance with the rotation of the base plate 14. Rotate to be at the same angle. Therefore, the optical axis B of the objective lens 11 fixed to the lens holder 12 connected through the fixing member 15 and the suspension wire 13 is similarly moved from position P to Q of the base plate 14. In accordance with the rotation of the angle 2θ , it rotates from P 'to Q' such that it is approximately the same angle θ '. In this manner, the adjustment range in the TAN direction can be secured. In addition, the angle θ 'may be determined in advance by taking into consideration the initial angle unevenness of the optical axis B due to the dimensional tolerance of the member constituting the biaxial actuator 10 or the like. In addition, although the adjustment range of the base member 14 was 2 ( theta) , it is not limited to this, You may change as needed. In addition, although the said angle 2 ( theta) was drawn in extremely large in order to make it easy to understand in FIG. 3, since it is actually a minute angle, in the said adjustment range, the tracking coils 18, 18, the focusing coil 17, etc. are a magnet 19a, There is no contact with 19b).
그리고, 예를 들면 광픽업으로 광디스크 (30) 를 재생하면서, 나사 (23a 와 23b) 를 회동시키고, 지지부 (14e 와 14f) 를 위치 P 에서 Q 로 향하여 동일한 방향으로 동일한 거리만큼 서서히 이동시키고, 재생신호가 가장 양호하도록 조정함으로써, TAN 방향에 있어서의 대물렌즈 (11) 의 광축조정이 가능해진다.Then, for example, while reproducing the optical disc 30 by optical pickup, the screws 23a and 23b are rotated, the support portions 14e and 14f are gradually moved by the same distance in the same direction from the position P to Q, and the reproduction is performed. By adjusting the signal so that it is best, the optical axis of the objective lens 11 in the TAN direction can be adjusted.
다음으로, 도 4 에 나타낸 바와 같이, 나사 (23a) 를 회동시키지 않고, 나사부재 (23b) 만을 회동시켜 지지부 (14f) 를 도 중의 M 방향으로 이동시킴으로써, 또는 나사 (23b) 를 회동시키지 않고, 나사 (23a) 만을 회동시켜 지지부 (14e) 를 도 중의 N 방향으로 이동시킴으로써, RAD 방향의 광축조정을 행할 수 있다.Next, as shown in FIG. 4, by rotating only the screw member 23b without moving the screw 23a and moving the support part 14f in the M direction in the figure, or without rotating the screw 23b, By rotating only the screw 23a and moving the support part 14e in the N direction in the figure, the optical axis adjustment in the RAD direction can be performed.
이상과 같이 하여, 픽업 섀시 (22) 에 대한 베이스판 (14) 의 회동조정에 의해, 대물렌즈 (11) 의 광축조정이 행해지고, 픽업 섀시 (22) 로의 이축 액츄에이터 (10) 의 부착고정이 완료한다.As described above, the optical axis adjustment of the objective lens 11 is performed by adjusting the rotation of the base plate 14 with respect to the pickup chassis 22, and the attachment fixing of the biaxial actuator 10 to the pickup chassis 22 is completed. do.
이상과 같이, 본 실시형태의 이축 액츄에이터 (10) 에 의하면, 베이스판 (14) 을 픽업 섀시 (22) 에 캔틸레버 형상으로 고정적으로 지지하기 때문에, 픽업 섀시 (22) 에 대해 베이스판 (14) 을 견고히 지지할 수 있고, 따라서, 탄성성분인 외란을 대폭으로 저감할 수 있고, 광디스크의 면진동 및 정보기록 트랙의 기복에 추종하기 위한, 또는 광디스크면의 더러워짐, 흠집 등이 있어도 정보기록 트랙에 추종하기 위한 이축 액츄에이터의 주파수 특성이 향상되고, 광디스크의 정보신호를 에러없이 판독하는 것이 가능해진다. 또, 베이스판 (14) 을 캔틸레버 형상으로 고정적으로 지지하기 때문에, 판스프링 및 베이스부재에 구면 형상 또는 둥근 송곳대 형상의 돌출부를 형성할 필요가 없어서 구조가 간단해진다. 또, 그에 따라비용도 절감시킬 수 있다.As described above, according to the biaxial actuator 10 of the present embodiment, since the base plate 14 is fixedly supported by the pickup chassis 22 in a cantilever shape, the base plate 14 is mounted on the pickup chassis 22. It can be firmly supported, and therefore, the disturbance which is an elastic component can be greatly reduced, and even if there is dirt, scratches, or the like on the surface of the optical disk, or to track the surface vibration of the optical disk and the undulation of the information recording track, The frequency characteristic of the biaxial actuator for tracking is improved, and the information signal of the optical disc can be read without errors. In addition, since the base plate 14 is fixedly supported in a cantilever shape, it is not necessary to form spherical or round awl-shaped protrusions on the leaf spring and the base member, thereby simplifying the structure. In addition, the cost can be reduced accordingly.
또, 베이스판 (14) 을 나사 (21, 21) 에 의해 픽업 섀시 (22) 에 나사고정하는 것만으로 되기 때문에, 접착공정이 불필요해지고, 조립공정이 간소화된다.Moreover, since only the base plate 14 is screwed to the pickup chassis 22 by the screws 21 and 21, the bonding process is unnecessary and the assembly process is simplified.
또, 도 3 에 나타낸 바와 같이, 대물렌즈 (11) 의 광축 (B) 조정을 할 경우에, 베이스판 (14) 의 지지부 (14e 또는 14f) 를 위치 P 에서 Q 까지 서서히 일방향으로 이동시키는 것만으로 되고, 또 초기위치인 위치 P 는 픽업 섀시 (22) 의 경사면 (22a) 에 베이스판 (14) 의 부착부 (14d, 14d) 를 나사 (21, 21) 에 의해 고정한 시점에서 결정되기 때문에, 광축조정이 쉽다는 효과가 있다.In addition, as shown in FIG. 3, when adjusting the optical axis B of the objective lens 11, only the support part 14e or 14f of the base board 14 is gradually moved to one direction from the position P to Q. Since the position P, which is the initial position, is determined at the time when the attachment portions 14d and 14d of the base plate 14 are fixed by the screws 21 and 21 to the inclined surface 22a of the pickup chassis 22, the optical axis The effect is easy to adjust.
또, 베이스판 (14) 을 강판으로 하였기 때문에, 재료가 저렴하고, 또 베이스판 (14) 의 일부를 절곡한 절곡편 (14a, 14b) 에 의해 일체로 요크 (14c) 를 형성하였기 때문에, 베이스판에 별개로 요크를 부착고정할 필요가 없고, 또 베이스판 (14) 의 가공시에 절곡편 (14a, 14b) 을 동시에 가공할 수 있기 때문에 비용을 절감시킬 수 있다.In addition, since the base plate 14 is made of steel sheet, the material is inexpensive, and since the yoke 14c is integrally formed by the bent pieces 14a, 14b in which a part of the base plate 14 is bent, the base is It is not necessary to attach and fix the yoke separately to the plate, and the bending pieces 14a and 14b can be processed simultaneously when the base plate 14 is processed, thereby reducing the cost.
그리고 또한, 본 실시형태에서는, 픽업 섀시 (22) 의 경사면 (22a) 에 대해, 베이스판 (14) 을 부착하기 위한 부착부 (14d, 14d) 를 도 2 에 나타낸 바와 같이 베이스판 (14) 에 일체로 형성한 요크 (14c) 의 양측에 형성할 수 있기 때문에, 종래의 이축 액츄에이터 (100) (도 5 참조) 에 있어서의 베이스판 (110) 의 길이 (L2) 에 비해, 본 실시형태의 베이스판 (14) 의 길이 (L1) 를 짧게 할 수 있으므로, 동일한 판두께이며 강성이 거의 동일하면 베이스판의 단부에 하중이 걸렸을 경우에 단부에서의 휨량을 작게 할 수 있으므로, 베이스판이 갖는 탄성성분을 보다저감시킬 수 있으며 이축 액츄에이터의 주파수 특성을 보다 향상시킬 수 있다.In addition, in this embodiment, attachment parts 14d and 14d for attaching the base plate 14 to the inclined surface 22a of the pickup chassis 22 are attached to the base plate 14 as shown in FIG. 2. Since it can be formed on both sides of the yoke 14c integrally formed, the base of this embodiment compared with the length L2 of the base board 110 in the conventional biaxial actuator 100 (refer FIG. 5). Since the length L1 of the plate 14 can be shortened, if the same plate thickness and rigidity are substantially the same, the amount of warpage at the end can be reduced when a load is applied to the end of the base plate. It can reduce the frequency and improve the frequency characteristic of biaxial actuator.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 관한 이축 액츄에이터는, 대물렌즈가 고착된 렌즈홀더와, 그 렌즈홀더를 포커싱방향 및 트랙킹방향의 이축방향으로 가동지지하는 고정부재와, 상기 렌즈홀더를 구동하는 포커싱코일과 트랙킹코일과 요크와 그 요크에 고착된 마그네트로 이루어지는 구동부를 적어도 베이스부재에 배열설치함과 동시에, 그 베이스부재의 상기 트랙킹방향을 따른 한쪽의 단부는 캔틸레버 형상으로 고정적으로 지지되고, 다른 쪽의 단부는 상기 포커싱방향으로 가동지지되기 때문에, 판스프링 등의 개재가 없어져 베이스부재를 견고히 지지할 수 있고, 또 베이스부재에 힘을 가하는 판스프링 및, 베이스부재에 형성하는 구면 형상 또는 둥근 송곳대 형상의 돌출부를 형성할 필요가 없기 때문에 구조를 간단하게 할 수 있으며, 그에 따라 비용도 저감할 수 있다.As described above, the biaxial actuator according to the present invention includes a lens holder to which an objective lens is fixed, a fixing member for supporting the lens holder in a biaxial direction in a focusing direction and a tracking direction, and a focusing coil for driving the lens holder. And a driving unit comprising at least a tracking coil, a yoke and a magnet fixed to the yoke, is arranged at least on the base member, and one end of the base member along the tracking direction is fixedly supported in a cantilever shape, and Since the end is movable in the focusing direction, the interposition such as the leaf spring is eliminated, so that the base member can be firmly supported, and the leaf spring for applying the force to the base member and the spherical or round awl formed on the base member. The structure can be simplified because there is no need to form protrusions of Use can be reduced.
또한, 베이스부재의 한쪽의 단부는 섀시의 배치면에 배치되어 제 1 나사부재에 의해 그 배치면에 고정되고, 다른 쪽 단부의 양측은 각각 제 2 나사부재에 의해 지지됨과 동시에, 대물렌즈는 한쪽의 단부측에 배열설치되고, 고정부재는 다른 쪽의 단부측에 배열설치되기 때문에, 접착공정이 불필요해지고, 조립공정을 간소화할 수 있다.One end of the base member is disposed on the mounting surface of the chassis and is fixed to the mounting surface by the first screw member, and both sides of the other end are respectively supported by the second screw member, and the objective lens is one side. Since the fixing member is arranged on the other end side, the fixing member is arranged on the other end side, so that the bonding step is unnecessary and the assembly step can be simplified.
또한, 배치면은 경사면이기 때문에, 대물렌즈의 광축조정을 할 경우에, 베이스부재의 다른 쪽 단부의 양측을 일방향으로 서서히 이동시키는 것만으로 되고, 또 베이스부재의 다른 쪽 단부의 초기위치는 섀시의 배치면에 베이스부재의 한쪽의 단부를 고정한 시점에서 결정되기 때문에, 광축조정이 쉽다는 효과가 있다.In addition, since the mounting surface is an inclined surface, when adjusting the optical axis of the objective lens, only the two sides of the other end of the base member are gradually moved in one direction, and the initial position of the other end of the base member is Since it is determined when the end of one end of the base member is fixed to the placement surface, there is an effect that the optical axis adjustment is easy.
또한, 베이스부재는 강판임과 동시에, 요크는 상기 베이스부재의 일부를 절곡하여 일체로 형성되어 있기 때문에, 재료가 저렴함과 동시에, 베이스부재에 별개로 요크를 부착고정할 필요가 없어져, 베이스부재의 가공시에 요크를 동시에 가공할 수 있기 때문에, 비용을 저감시킬 수 있다.In addition, since the base member is a steel plate and the yoke is integrally formed by bending a part of the base member, the material is inexpensive and there is no need to attach and fix the yoke separately to the base member. Since the yoke can be processed simultaneously during processing, the cost can be reduced.
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