KR100361082B1 - Semiconductor device with malfunction control circuit and control method therefore - Google Patents

Semiconductor device with malfunction control circuit and control method therefore Download PDF

Info

Publication number
KR100361082B1
KR100361082B1 KR1019990023426A KR19990023426A KR100361082B1 KR 100361082 B1 KR100361082 B1 KR 100361082B1 KR 1019990023426 A KR1019990023426 A KR 1019990023426A KR 19990023426 A KR19990023426 A KR 19990023426A KR 100361082 B1 KR100361082 B1 KR 100361082B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chip
fuse
signal
integrated circuit
semiconductor integrated
Prior art date
Application number
KR1019990023426A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20010003220A (en
Inventor
강상석
신경선
강기상
Original Assignee
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자 주식회사 filed Critical 삼성전자 주식회사
Priority to KR1019990023426A priority Critical patent/KR100361082B1/en
Priority to JP2000172463A priority patent/JP2001014886A/en
Priority to TW089111722A priority patent/TW502427B/en
Publication of KR20010003220A publication Critical patent/KR20010003220A/en
Priority to US10/277,573 priority patent/US6972612B2/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100361082B1 publication Critical patent/KR100361082B1/en

Links

Classifications

    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E05LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05DHINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
    • E05D7/00Hinges or pivots of special construction
    • E05D7/04Hinges adjustable relative to the wing or the frame
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47BTABLES; DESKS; OFFICE FURNITURE; CABINETS; DRAWERS; GENERAL DETAILS OF FURNITURE
    • A47B2220/00General furniture construction, e.g. fittings
    • A47B2220/0061Accessories
    • A47B2220/0069Hinges
    • A47B2220/0072Hinges for furniture
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E05LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05DHINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
    • E05D7/00Hinges or pivots of special construction
    • E05D7/04Hinges adjustable relative to the wing or the frame
    • E05D2007/0469Hinges adjustable relative to the wing or the frame in an axial direction
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E05LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05YINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
    • E05Y2900/00Application of doors, windows, wings or fittings thereof
    • E05Y2900/20Application of doors, windows, wings or fittings thereof for furniture, e.g. cabinets

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Abstract

불량 칩의 노말 동작을 근본적으로 방지하기 위해, 칩 동작불능 제어회로를 구비한 반도체 소자 및 그에 따른 칩 동작불능 제어방법이 개시된다. 그러한 반도체 소자는, 칩의 불량판명 유무에 따라 제조공정에서 커팅유무가 결정되어지며 제1전원에 일단이 연결된 퓨징부와, 상기 퓨징부의 타단과 제2전원간에 연결되어 상기 퓨징부의 커팅유무에 따라 불량 칩임을 판정하는 판정신호를 생성하여 칩 내부 기능회로들중 적어도 하나 이상의 칩 내부 기능회로에 공급하는 신호발생부를 포함하는 칩 동작불능 제어회로를 상기 칩 내부에 구비하여, 상기 칩 내부 기능회로들이 상기 판정신호의 값에 따라 활성화 또는 비활성화되도록 함을 특징으로 한다.In order to fundamentally prevent normal operation of a defective chip, a semiconductor device having a chip inoperable control circuit and a chip inoperable control method thereof are disclosed. Such a semiconductor device has a cutting part determined in a manufacturing process according to whether a chip is found to be defective or not, and one end is connected to a first power source, and the other end is connected between the other end of the fusing part and a second power source, depending on whether the cutting part is cut or not. The chip internal function circuits are provided with a chip inoperation control circuit inside the chip, the chip generating unit including a signal generator for generating a determination signal for determining a bad chip and supplying the at least one chip internal function circuit. Characterized in that it is activated or deactivated according to the value of the determination signal.

Description

칩 동작불능 제어회로를 구비한 반도체 소자 및 칩 동작불능 제어방법{Semiconductor device with malfunction control circuit and control method therefore}Semiconductor device with malfunction control circuit and control method therefore

본 발명은 반도체 소자에 관한 것으로, 특히 불량 칩에 대해서는 근본적으로 칩의 동작이 금지되도록 하는 회로를 구비한 반도체 집적회로 장치 및 그에 따른 칩 동작불능 제어방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly, to a semiconductor integrated circuit device having a circuit which essentially prevents operation of a chip, and a method of controlling chip inoperability.

통상적으로, 반도체 소자 메이커는, 웨이퍼 상태에서의 집적회로 칩들 및 패키지 상태에서의 칩들이 각기 설정된 동작을 신뢰성있게 수행하는 가를 알아보기 위해 각 칩에 대하여 전기적 테스트를 수행하고 있다. 그러한 전기적 테스트에는 소자의 전류나 전압등의 특성을 검사하는 DC파라메타 테스트와 소자의 실제의 동작기능을 테스트하는 다이나믹 테스트가 포함된다.Typically, semiconductor device manufacturers are conducting electrical tests on each chip to see if the integrated circuit chips in the wafer state and the chips in the package state reliably perform their respective set operations. Such electrical tests include DC parameter tests, which check the characteristics of the device's current and voltage, and dynamic tests, which test the device's actual operating functions.

웨이퍼 상태에서 테스트된 각 칩들은 테스트의 결과에 따라 양품과 불량품으로 선별된다. 여기서, 불량품중 스페어로서 제조된 리던던시 부품을 사용하는 것에 의해 리페어 가능한 불량품은 수율의 향상을 위해 리페어된다. 이후 리페어된 칩에 대해서만 재차로 테스트가 수행된 후, 불량 칩이 최종적으로 스크리닝된다. 이와 같이, 칩을 테스트하고 리페어를 행하는 반도체 제조공정을 이디에스(EDS: Electrical Die Sorting)공정이라 하는데, 이 제조공정은 리페어 가능한 칩을 재생하기 위하여, 그리고 이상이 있는 로트를 조기에 피이드백 조치하기 위하여, 또한 불량 칩을 조기에 제거함으로써 후속되는 조립공정에서의 팩키징 비용 및 팩키지 검사라인의 테스트 비용을 절감하기 위하여 수행되는 필수적 공정이다. 상기 이디에스 공정이 완료된 후, 각 칩들은 웨이퍼의 절단선을 따라 절단하는 쇼잉작업에 의해 서로 분리되어지고 그 분리된 칩들은 조립공정을 통해 각기 조립된다. 그 후, 이디에스나 조립공정에서 발생되었을 수 있는 배선결함을 검사하는 온/오프 테스트, 그리고 초기 불량제거를 위해 칩에 스트레스를 인가하여 전기적 특성검사를 행하는 번인 테스트를 포함하는 패키지 테스트가 통상적으로 행하여진다. 패키지 테스트의 결과에 따라 칩동작에 기능부전(malfunction)을 가지는 칩은 불량 칩으로서 스크리닝된다.Each chip tested in the wafer state is classified as good or bad according to the test results. Here, the defective products which can be repaired by using the redundancy parts manufactured as spares among the defective products are repaired for improving the yield. After the test is performed again only on the repaired chip, the bad chip is finally screened. In this way, a semiconductor manufacturing process for testing and repairing chips is called an electrical die sorting (EDS) process, which is designed to recover a repairable chip and to feed back an abnormal lot early. In order to do so, it is also an essential process performed to reduce the packaging cost in the subsequent assembly process and the test cost of the package inspection line by removing the defective chip early. After the die process is completed, the chips are separated from each other by a shoring operation that cuts along the cutting line of the wafer, and the separated chips are assembled by the assembly process. Subsequently, package tests, including on / off tests to check for wiring defects that may have occurred in the dies or assembly process, and burn-in tests that apply electrical characteristics to stress the chip to eliminate initial defects, are typically performed. Is done. According to the result of the package test, a chip having a malfunction in chip operation is screened as a defective chip.

한편, 리페어된 칩을 선호하지 않으며 고신뢰성의 집적회로를 요구하는 일부 사용자들을 위하여, 리페어된 칩인지 아닌지를 사용자에게 인식시켜주는 기능을 가지며, 집적회로 칩내에 설치되는 인식신호 제공회로가 바쉬니(Varshney)외 다수에게 1984년 10월 30일자로 특허허여된 미국특허번호 4,480,199호의 제목 "IDENTIFICATION OF REPAIRED INTEGRATED CIRCUITS"하에 개시되어 있다. 도 1은 상기 선행특허의 회로도들 중 대표적 회로도를 보여주는 것으로서, 핀(10)과 전원전압 Vcc간에 설치된 트랜지스터들(T1,T2) 및 퓨즈 (F1)로 구성된다. 여기서, 상기 전원전압 Vcc과 상기 트랜지스터들(T1,T2)의 문턱전압을 합한 전압이상을 핀(10)에 인가시 상기 퓨즈(F1)의 절단유무에 따라 상기 트랜지스터들(T1,T2)은 턴오프 또는 턴온된다. 퓨즈(F1)가 절단된 경우에는 상기 트랜지스터들(T1,T2)은 턴오프 상태이므로 상기 핀(10)과 전원전압 Vcc간에는 전류의 흐름이 감지되지 않는다. 퓨즈(F1)가 절단되지 아니한 경우에는 상기 트랜지스터들(T1,T2)은 턴 온상태이므로 상기 핀(10)과 전원전압 Vcc간에는 전류의 흐름이 감지된다. 따라서, 상기 퓨즈(F1)를 절단하거나 절단하지 않음에 따라 칩의 리페어 유무를 사용자에게 알릴 수 있게 된다. 예컨대, 칩이 리페어된 경우 퓨즈(F1)를 커팅하기로 제조메이커가 정의하였다면, 칩의 사용자는 전류 흐름의 감지유무에 따라 리페어된 칩을 체크할 수 있다.On the other hand, for some users who do not prefer a repaired chip and require a high reliability integrated circuit, the user has a function to recognize whether the repaired chip is a repaired chip, and a recognition signal providing circuit installed in the integrated circuit chip is washed out. (Varshney) et al., Are incorporated under the title "IDENTIFICATION OF REPAIRED INTEGRATED CIRCUITS" of US Pat. No. 4,480,199, issued October 30, 1984. FIG. 1 shows a representative circuit diagram of the circuit diagram of the prior patent, and is composed of transistors T1 and T2 and a fuse F1 installed between the pin 10 and the power supply voltage Vcc. The transistors T1 and T2 are turned on according to whether the fuse F1 is cut when a voltage equal to or greater than the sum of the power voltage Vcc and the threshold voltages of the transistors T1 and T2 is applied to the pin 10. Turned off or turned on. When the fuse F1 is cut off, since the transistors T1 and T2 are turned off, no current flow is detected between the pin 10 and the power supply voltage Vcc. When the fuse F1 is not cut, since the transistors T1 and T2 are turned on, a current flow is detected between the pin 10 and the power supply voltage Vcc. Therefore, as the fuse F1 is not cut or not cut, the presence or absence of a chip repair can be notified to the user. For example, if the manufacturer has defined to cut the fuse F1 when the chip is repaired, the user of the chip may check the repaired chip according to whether the current flow is detected.

그러나, 상기한 회로를 이용 또는 응용하여 불량 칩을 동작불능으로 되게 하기는 매우 어렵다. 왜냐하면, 상기 선행특허의 회로는 칩의 노말 동작에는 아무런 영향을 주지 않기 때문이다. 즉, 회로내의 퓨즈(F1)의 커팅 유무에 상관없이 리페어된 칩, 리페어되지 않은 양품 칩, 리페어되지 않은 불량칩, 정상동작되기 어려운불량 칩, 정상동작되었다가 정상동작 되지않았다가를 비주기적으로 반복하는 칩 및 리페어 불가한 불량 칩에 대하여 모두 정상적인 칩처럼 동작될 수 있는 여지를 제공하기 때문이다. 불량 칩이 정상적인 칩으로서 출하되어 동작되는 경우, 정상적인 기능을 수행하지 못하므로 그 칩이 채용된 시스템 전체의 성능을 저하시키며 치명적 오류를 발생시킬 수 있다.However, it is very difficult to make a bad chip inoperable by using or applying the above circuit. This is because the circuit of the prior patent does not affect the normal operation of the chip. That is, a repaired chip, an unrepaired good chip, an unrepaired defective chip, a defective chip that is difficult to operate normally, and a non-repaired chip, regardless of whether the fuse F1 in the circuit is cut or not, aperiodically This is because both repeated chips and non-repairable defective chips provide room for operation as a normal chip. If a bad chip is shipped and operated as a normal chip, it may not perform a normal function, thereby degrading the performance of the entire system employing the chip and causing a fatal error.

웨이퍼 상태에서 또는 패키지 상태에서 리페어 불가능하게 스크리닝된 불량 칩이, 관리소홀에 기인하여 또는 칩들이 제조된 웨이퍼를 제조메이커에서 제공받아 후 가공하여 완성품을 만드는 제조업자 또는 제조 메이커의 이미지를 고의로 훼손하려는 의도를 가진 자 또는 가진 집단에 의하여, 양품 칩으로서 분류되어 제조되거나 양품 칩으로서 출하되는 경우에 제조 메이커는 비용 및 메이커의 이미지 측면에서 디메지(demage)를 받을 수 있다. 따라서, 불량 칩에 대해서는 후 공정에서 또는 제품출하 후에도 근본적으로 칩의 동작이 영구적으로 금지되도록 할 필요가 있다.A defective chip that is unrepairably screened in the wafer state or in the package state is intended to intentionally undermine the image of the manufacturer or manufacturer making the finished product due to management negligence or after receiving the wafer from which the chip was manufactured by the manufacturer. A manufacturer may receive a demage in terms of cost and image of the manufacturer when the product is classified and manufactured as a good chip or shipped as a good chip by an intentional party or group of intent. Therefore, it is necessary for the defective chip to be essentially prohibited from the operation of the chip even in the post-process or after shipping.

상기한 바와 같은 선행기술은 칩의 양호 또는 불량에 무관하게 노말 동작조건을 칩에 제공하기 때문에 불량 칩에 대해 후 공정에서 또는 제품출하 후에도 영구적으로 근본적으로 칩의 동작이 금지되도록 할 필요가 있는 경우에 사용하기가 어려운 문제점이 있다. 그러므로, 제조 메이커는 비용 및 메이커의 이미지 측면에서의 디메지를 방지하기 위하여 그에 따른 별도의 관리를 엄격히 해야하는 부담을 가져왔다.Since the prior art as described above provides the chip with normal operating conditions irrespective of whether the chip is good or bad, it is necessary to permanently prohibit the operation of the chip permanently even in the post-process or after the product is shipped. There is a problem that is difficult to use. Therefore, the manufacturer has been burdened with strictly managing accordingly in order to prevent de-magination in terms of cost and image of the maker.

따라서, 본 발명의 목적은 불량 칩에 대해서는 근본적으로 칩의 동작이 금지되도록 하는 회로를 가지는 반도체 집적회로 소자를 제공함에 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a semiconductor integrated circuit device having a circuit which essentially prohibits the operation of the chip for a defective chip.

본 발명의 다른 목적은 리페어 불가한 불량 칩에 대해 후 공정에서 또는 제품출하 후에도 칩의 노말 동작을 영구적으로 금지시킬 수 있는 방법을 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide a method for permanently prohibiting normal operation of a chip, which can not be repaired, even in a post-process or after shipment.

본 발명의 또 다른 목적은 비용 및 메이커의 이미지 측면에서의 디메지를 방지하기 위하여 불량 칩에 대한 관리를 엄격히 해야하는 제조 메이커의 부담을 경감시킬 수 있는 반도체 메모리 소자 및 칩 동작불능 제어방법을 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to provide a semiconductor memory device and a chip inoperation control method that can alleviate the burden of a manufacturer who must strictly manage a defective chip in order to prevent de-magnetization in terms of cost and image of a maker. have.

본 발명의 또 다른 목적도 칩들이 제조된 웨이퍼 상태 그대로를 2차적 가공업자에게 판매 또는 제공하여도 리페어 불가한 불량 칩이 고객에게 출하되는 것을 실질적으로 막을 수 있는 반도체 메모리 또는 비메모리 및 그에 따른 칩 동작불능 제어방법을 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to provide a semiconductor memory or non-memory and thus a chip which can substantially prevent a non-repairable defective chip from being shipped to a customer even if the chip is sold or provided to a secondary processor as it is. An operation control method is provided.

상기한 목적들 및 타의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 아스팩트에 따른 반도체 소자는, 칩의 불량판명 유무에 따라 제조공정에서 커팅유무가 결정되어지며 제1전원에 일단이 연결된 퓨징부와; 상기 퓨징부의 타단과 제2전원간에 연결되어 상기 퓨징부의 커팅유무에 따라 불량 칩임을 판정하는 판정신호를 생성하여 칩 내부 기능회로들중 적어도 하나이상의 칩 내부 기능회로에 동작금지 유무를 가리키는 신호로서 공급하는 신호발생부: 를 포함하는 칩 동작불능 제어회로를 상기 칩 내부에 구비하여, 상기 칩 내부 기능회로들이 상기 판정신호의 값에 따라 활성화 또는 비활성화되도록 한다.In order to achieve the above objects and other objects, the semiconductor device according to an aspect of the present invention comprises a fusing portion having one end connected to a first power source and whether or not cutting is determined in a manufacturing process according to whether chips are found to be defective; It is connected between the other end of the fusing unit and the second power supply to generate a determination signal for determining whether the chip is bad according to the cutting state of the fusing unit and supplied as a signal indicating the operation prohibition to at least one of the internal chip functional circuit of the chip A signal generation unit comprising: a chip inoperable control circuit including a chip inside the chip, so that the chip internal functional circuits are activated or deactivated according to the value of the determination signal.

또한, 칩 동작불능 제어방법은, 칩의 불량판명 유무에 따라 제조공정에서 퓨즈의 커팅유무를 결정하는 단계와, 노말동작 조건하에서 상기 퓨즈의 커팅유무에 따른 상태신호를 생성하는 단계와, 상기 생성된 상태신호를 칩내부 기능회로들의 제어단들중 적어도 하나의 제어단에 동작금지 유무를 가리키는 신호로서 제공하는 단계를 가짐에 의해 불량판명된 칩에 한해서만 동작불능상태에 있도록 함을 특징으로 한다.The method of controlling chip inoperation may include determining whether a fuse is cut in a manufacturing process according to whether a chip is found to be defective, generating a status signal according to whether the fuse is cut under normal operating conditions, and generating the chip. And providing a status signal as a signal indicating the operation prohibition to at least one of the control terminals of the chip internal function circuits, so that only a chip that is found to be inoperable is in an inoperable state.

상기한 반도체 소자 및 방법에 따르면, 리페어 불가한 불량 칩에 대해 후 공정에서 또는 제품출하 후에도 칩의 노말 동작을 영구적으로 금지시킬 수 있으므로, 비용 및 메이커의 이미지 측면에서의 디메지를 방지하고자 불량 칩에 대한 관리를 엄격히 해야하는 제조 메이커의 부담이 경감된다.According to the above-described semiconductor device and method, the normal operation of the chip can be permanently prohibited in the post-process or even after the product is released for the non-repairable defective chip. The burden on the manufacturer, who must strictly control the product, is reduced.

도 1은 리페어된 집적회로 칩의 인식을 위해 반도체 소자내에 채용된 종래기술에 따른 인식신호 생성회로도,1 is a recognition signal generation circuit diagram according to the related art employed in a semiconductor device for recognizing a repaired integrated circuit chip;

도 2는 본 발명에 일실시예에 따른 칩 동작불능 제어회로를 구비한 반도체 소자의 블록도, 및2 is a block diagram of a semiconductor device having a chip inoperable control circuit according to an embodiment of the present invention; and

도 3a 내지 도 7은 도 2의 각부에 대한 구체적 회로도.3A to 7 are detailed circuit diagrams of respective parts of FIG. 2.

상기한 본 발명의 목적들 및 타의 목적들, 특징, 그리고 이점들은, 첨부된 도면들을 참조하여 이하에서 기술되는 본 발명의 상세하고 바람직한 실시예의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다. 도면들 내에서 서로 동일 내지 유사한 부분들은 설명 및 이해의 편의상 동일 내지 유사한 참조부호들로 기재됨을 주목하여야 한다.The above and other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the preferred embodiments of the present invention described below with reference to the accompanying drawings. It should be noted that in the drawings, the same or similar parts to each other are described with the same or similar reference numerals for convenience of description and understanding.

먼저, 도 2는 본 발명에 일실시예에 따른 칩 동작불능 제어회로(10)를 구비한 반도체 소자의 블록도로서, 칩 동작불능 제어회로(10)에서 제공되는 포텐셜 신호(또는 상태신호라고도 칭하여짐) PMF가 입력버퍼(11), 출력버퍼(12), 칩 내부 회로부(13), 및 칩 내부 DC전압 발생부(14)에 인가되도록 구성된 연결구조가 보여진다. 여기서, 상기 포텐셜 신호는 상기 입력버퍼(11), 출력버퍼(12), 칩 내부 회로부(13), 및 칩 내부 DC전압 발생부(14)중의 적어도 어느 하나에만 제공될 수 있다. 왜냐하면, 노말 동작하에서 상기한 블록들중 어느 하나라도 기능이 제대로 되지 않으면 칩 동작은 불가능한 상태로 되어버리기 때문이다.First, FIG. 2 is a block diagram of a semiconductor device including a chip inoperable control circuit 10 according to an exemplary embodiment of the present invention, which is also referred to as a potential signal (or a state signal provided by the chip inoperable control circuit 10). Jim) The connection structure is shown so that the PMF is applied to the input buffer 11, the output buffer 12, the chip internal circuitry 13, and the chip internal DC voltage generator 14. The potential signal may be provided only to at least one of the input buffer 11, the output buffer 12, the chip internal circuit 13, and the chip internal DC voltage generator 14. This is because, under normal operation, if any one of the above blocks does not function properly, the chip operation becomes impossible.

상기 도 2의 칩 동작불능 제어회로(10)에 대한 구체적 실시예들은 도 3a 및 도 3b에 각기 나타나 있다. 도 3a를 참조하면, 퓨징부로서 기능하는 퓨즈(F10)의 일단은 제1전원, 예컨대 전원전압 VCC에 연결되고 그의 타단은 다이오드(D1)의 애노드에 연결된 것이 보여진다. 상기 다이오드(D1)의 캐소드 단자와 제2전원, 예컨대 접지전압 VSS사이에는 저항 (R1)이 연결된다. 상기 다이오드(D1)의 캐소드 단자인 노드 (N21)에서는 상태신호라고도 불리우는 상기 포텐셜 신호가 얻어진다. 상기 상태신호는 상기 퓨즈(F10)의 커팅 유무에 따른 응답신호로서 전압신호의 형태로 제공된다. 예를 들어, 웨이퍼 상태 테스트에서 임의의 칩이 리페어 불가한 칩으로서 판명된 경우, 상기 퓨즈(F10)는 커팅된다. 그러면, 상기 다이오드(D1)는 비도통 상태로 되어 노드(N21)에는 로우 레벨의 전압이 생성된다. 반대로, 웨이퍼 상태 테스트에서 임의의 칩이 정상적인 양품 칩으로서 판명된 경우, 상기 퓨즈(F10)는 커팅되지 않는다. 그러면, 전원전압 VCC이 인가될 시 상기 다이오드(D1)는 도통 상태로 되어 노드(N21)에는 하이 레벨의 전압이 생성된다. 도면에서, 상기 퓨즈(F10)는 폴리실리콘 또는 메탈로 제조될 수 있으며, 퓨즈의 커팅은 레이저, 고전류, 또는 본 분야에 잘 알려진 또 다른 기술에 의해 행해질 수 있다. 바람직하기로는 도프드된 폴리실리콘 퓨즈를 사용시 레이저(LASER)에 의해 블로잉(blowing)하는 것이 좋다.Specific embodiments of the chip inoperable control circuit 10 of FIG. 2 are shown in FIGS. 3A and 3B, respectively. Referring to FIG. 3A, it is shown that one end of the fuse F10 serving as a fusing part is connected to a first power source, for example, a power supply voltage VCC and the other end thereof is connected to an anode of the diode D1. A resistor R1 is connected between the cathode terminal of the diode D1 and a second power supply, for example, the ground voltage VSS. At the node N21, which is the cathode terminal of the diode D1, the potential signal, also called a state signal, is obtained. The state signal is provided in the form of a voltage signal as a response signal according to whether the fuse F10 is cut. For example, if any chip in the wafer condition test turns out to be a non-repairable chip, the fuse F10 is cut. Then, the diode D1 is in a non-conducting state, and a low level voltage is generated at the node N21. Conversely, if any chip is found to be a good good chip in a wafer condition test, the fuse F10 is not cut. Then, when the power supply voltage VCC is applied, the diode D1 is in a conductive state, and a high level voltage is generated at the node N21. In the drawing, the fuse F10 may be made of polysilicon or metal, and the cutting of the fuse may be performed by laser, high current, or another technique well known in the art. Preferably, blown by a laser when using a doped polysilicon fuse.

도 3b를 참조하면, 도 3a와 유사하게, 퓨징부로서 기능하는 퓨즈(F10)의 일단은 전원전압 VCC에 연결되고 그의 타단은 피 채널 모오스 트랜지스터 (PMOS, Q21)의 소오스에 연결된 것이 보여진다. 상기 트랜지스터(Q21)의 드레인은 또 다른 피 채널 모오스 트랜지스터 (Q22)의 소오스에 연결되며, 상기 트랜지스터 (Q22)의 드레인은 상기 트랜지스터들(Q21,Q22)의 게이트들과 공통으로 접속되어 있다. 따라서, 상기 트랜지스터들(Q21,Q22)은 다이오드로서 기능하므로 도 3a에서의 다이오드(D1)에 대응될 수 있다. 상기 트랜지스터(Q22)의 드레인단자와 접지전압 VSS사이에는 저항(R1)이 연결된다. 상기 트랜지스터(Q22)의 드레인 단자인 노드 (N21)에서는 실질적으로 상기 포텐셜 신호가 얻어진다. 상기 노드(N21)에서 얻어지는 포텐셜 신호의 파형을 정형화하기 위해 인버터들 (Q23,Q24~Q26)로 이루어진 버퍼(10-1)가 상기 노드(N21)에 연결될 수 있다. 도 3a의 경우와 마찬가지로, 상기 포텐셜 신호인 상태신호는 상기 퓨즈(F10)의 커팅 유무를 가리킨다. 상기 도 3b의 회로를 채용한 칩이 불량 칩으로서 판명된 경우, 상기 퓨즈(F10)는 레이저에 의해 블로운(blown)된다. 그러면, 전원전압 VCC이 인가되어도 다이오드로서 기능하는 상기 두 트랜지스터(Q21,Q22)는 턴 오프상태로 되어 노드(N21)에는 로우 레벨의 전압이 생성된다. 상기 로우 레벨의 전압은 상기 버퍼(10-1)에 의해 버퍼링된 후 정형화된 로우 레벨로서 출력된다. 상기 정형화된 로우 레벨은 불량 칩을 가리키는 상기 상태신호이다. 반대로, 도 3b의 회로를 채용한 칩이 정상적인 양품 칩으로서 판명된 경우, 상기 퓨즈(F10)는 커팅되지 않는다. 그러면, 전원전압 VCC이 인가될 시 상기 두 트랜지스터(Q21,Q22)는 턴 온상태로 되어 노드(N21)에는 하이 레벨의 전압이 나타난다. 상기 하이 레벨의 전압은 상기 버퍼(10-1)에 의해 버퍼링된 후 정형화된 하이 레벨로서 출력된다. 상기 정형화된 하이 레벨은 양품 칩을 가리키는 상기 상태신호이다. 상기 상태신호 PMF는 칩내부 기능회로들 예컨대 상기 입력버퍼(11), 출력버퍼(12), 칩 내부 회로부(13), 및 칩 내부 DC전압 발생부(14)중의 제어단들중 적어도 하나의 제어단에 제공된다. 상기 칩 동작불능 회로는 반도체 기판상에 공지의 씨모오스 제조공정을 사용하여 만들어 질 수 있으며, 반도체 메모리의 제조시에 함께 제조하는 것이 코스트 측면에서 유리하다.Referring to FIG. 3B, similarly to FIG. 3A, it is shown that one end of the fuse F10 serving as the fusing part is connected to the power supply voltage VCC and the other end thereof is connected to the source of the channel channel transistor (PMOS) Q21. The drain of the transistor Q21 is connected to the source of another channeled transistor Q22, and the drain of the transistor Q22 is connected in common with the gates of the transistors Q21 and Q22. Thus, since the transistors Q21 and Q22 function as diodes, they may correspond to the diode D1 in FIG. 3A. A resistor R1 is connected between the drain terminal of the transistor Q22 and the ground voltage VSS. The potential signal is substantially obtained at the node N21 which is the drain terminal of the transistor Q22. In order to shape the waveform of the potential signal obtained at the node N21, a buffer 10-1 consisting of inverters Q23, Q24 to Q26 may be connected to the node N21. As in the case of FIG. 3A, the status signal as the potential signal indicates whether the fuse F10 is cut. When the chip employing the circuit of Fig. 3B is found to be a bad chip, the fuse F10 is blown by the laser. Then, even when the power supply voltage VCC is applied, the two transistors Q21 and Q22 functioning as diodes are turned off, and a low level voltage is generated at the node N21. The low level voltage is buffered by the buffer 10-1 and then output as a standardized low level. The normalized low level is the status signal indicating a bad chip. In contrast, when the chip employing the circuit of Fig. 3B is found to be a normal good chip, the fuse F10 is not cut. Then, when the power supply voltage VCC is applied, the two transistors Q21 and Q22 are turned on so that a high level voltage appears at the node N21. The high level voltage is output as a formatted high level after being buffered by the buffer 10-1. The standardized high level is the status signal indicating a good chip. The state signal PMF controls at least one of chip internal function circuits such as at least one of control terminals among the input buffer 11, the output buffer 12, the chip internal circuit 13, and the chip internal DC voltage generator 14. Are provided at the end. The chip inoperable circuit can be made on a semiconductor substrate using a known CMOS manufacturing process, and it is advantageous in terms of cost to manufacture together the semiconductor memory.

상기 퓨즈(F10)에 대응되는 퓨징부와, 상기 다이오드(D1) 및 저항(R1)에 대응되는 신호발생부를 포함하는 칩 동작불능 제어회로(10)가 어떻게 상기 입력버퍼(11), 출력버퍼(12), 칩 내부 회로부(13), 또는 칩 내부 DC전압 발생부(14)의 동작을 구동상태(인에이블)또는 불능상태(디세이블)로 제어하는 가는 이하의 설명에서 보다 명확해질 것이다.How the chip inoperable control circuit 10 including the fusing part corresponding to the fuse (F10) and the signal generating part corresponding to the diode (D1) and the resistor (R1) is how the input buffer 11, the output buffer ( 12), the operation of controlling the operation of the chip internal circuit unit 13 or the chip internal DC voltage generation unit 14 to a driving state (enabled) or disabled state (disabled) will become more apparent in the following description.

먼저, 도 4를 참조하면, 도 2내의 입력버퍼(11)의 구성예가 보여진다. 도면에서, 외부 입력신호는 반도체 소자의 입력핀 (11-1)을 통해 클럭드 인버터를 구성하는 트랜지스터들 (Q32,Q33)의 게이트에 공통으로 인가되어, 상기 클럭드 인버터의 인버팅 동작에 의해 위상 반전된 후 버퍼링용 인버터(Q37)를 거쳐 출력용 인버터 (Q38)에서 출력된다. 여기서, 상기 외부 입력신호가 칩을 선택하는 칩 셀렉트 신호일 경우에 상기 입력핀(11-1)은 칩 셀렉트 /CS 핀이 되며, 상기 인버터(Q38)에서 얻어지는 신호 Pint는 칩 내부에서 칩 선택을 제어하는 콘트롤 신호 발생회로에 인가된다. 상기 클럭드 인버터는 트랜지스터 (Q31,Q34) 및 제어신호 반전용 인버터(Q35)를 더 포함하며, 엔채널 모오스 트랜지스터(Q36)는 제어신호가 제1상태 예컨대 로우 레벨인 경우에 출력단의 전위를 접지레벨로 방전하는 역할을 한다. 상기한 구성을 가지는 통상의 입력버퍼(11)에 상기 도 3a 또는 도 3b와 같은 칩 동작불능 제어회로(10)로부터 생성된 상기 포텐셜 신호 또는 상태신호 PMF가 제어신호로서 인가되면, 칩이 불량 칩인 경우 상기 입력버퍼(11)의 동작은 디세이블 상태로 되어버린다. 즉, 칩이 불량칩으로서 판명되어 상기 상태신호 PMF가 로우레벨로서 제공되면 상기 트랜지스터 (Q31,Q34)가 턴 오프 상태를 항상 유지하게 된다. 그럼에 의해 트랜지스터(Q32,Q33)는 인버팅 기능을 영구적으로 수행할 수 없게 되므로 결국 입력 버퍼의 구실을 못한다. 반대로 칩이 양품 칩으로 판명되어 상기 상태신호 PMF가 하이레벨로서 제공되면 상기 트랜지스터 (Q31,Q34)가 턴 온 상태를 유지하게 된다. 그럼에 의해 입력되는 신호에 대한 반전동작을 수행할 수 있게 되어 입력버퍼로서의 기능을 다하게 된다. 비록, 도면에서는 상기 상태신호 PMF하나만이 상기 입력버퍼(11)의 제어단에 인가되는 것으로 나타나 있지만, 실제로 상기 입력버퍼를 인에이블 및 디세이블을 제어하는 제어신호와 함께 머지드(merged)하여 인가하는 것이 바람직하다. 상기 상태신호 PMF와 상기 제어신호를 합체시킬 경우에 조합 논리는 앤드 또는 낸드 응답을 생성하는 논리 게이트를 사용하는 것이 바람직하다. 결국, 퓨징부의 커팅유무에 따라 서로 다른 제1,2상태중의 하나를 나타내는 포텐셜 신호를 발생하는 칩 동작불능 제어회로(10)내의 신호발생부는 상기 입력버퍼(11)의 인에이블 또는 디세이블을 제어하므로, 혹시라도 출하되는 불량 칩은 입력버퍼가 동작불능상태로 되어버리므로 칩 전체가 동작불능으로 됨을 알 수 있다.First, referring to FIG. 4, an example of the configuration of the input buffer 11 in FIG. 2 is shown. In the drawing, an external input signal is commonly applied to the gates of the transistors Q32 and Q33 constituting the clocked inverter through the input pin 11-1 of the semiconductor device, and is driven by the inverting operation of the clocked inverter. After the phase is inverted, it is output from the output inverter Q38 via the buffering inverter Q37. Here, when the external input signal is a chip select signal for selecting a chip, the input pin 11-1 becomes a chip select / CS pin, and the signal Pint obtained from the inverter Q38 controls chip selection within the chip. Is applied to the control signal generating circuit. The clocked inverter further includes transistors Q31 and Q34 and a control signal inverting inverter Q35, and the N-channel MOS transistor Q36 grounds the potential of the output terminal when the control signal is in a first state, for example, a low level. Discharge to the level. When the potential signal or the state signal PMF generated from the chip inoperable control circuit 10 as shown in FIG. 3A or 3B is applied as a control signal to the conventional input buffer 11 having the above-described configuration, the chip is a bad chip. In this case, the operation of the input buffer 11 is disabled. That is, when the chip is found to be a bad chip and the state signal PMF is provided at the low level, the transistors Q31 and Q34 always maintain the turn-off state. As a result, the transistors Q32 and Q33 cannot permanently perform the inverting function and thus do not serve as an input buffer. On the contrary, when the chip turns out to be a good chip and the state signal PMF is provided as a high level, the transistors Q31 and Q34 are kept turned on. Thus, the inverting operation can be performed on the input signal, thereby fulfilling the function of the input buffer. Although only one state signal PMF is shown to be applied to the control terminal of the input buffer 11 in the drawing, the input buffer is actually applied by merging with the control signal for controlling enable and disable. It is desirable to. In the case of integrating the state signal PMF and the control signal, the combinational logic preferably uses a logic gate that generates an end or a NAND response. As a result, the signal generator in the chip inoperable control circuit 10 that generates a potential signal representing one of the first and second states, depending on whether the fusing unit is cut or not, disables or disables the input buffer 11. As a result of the control, it can be seen that the defective chip that is shipped even if the input buffer becomes inoperable, the entire chip becomes inoperable.

상기 입력버퍼(11)와는 내부적 회로구성은 다르지만 기술적 제어원리는 유사하게, 상기 상태신호 PMF는 출력버퍼에도 인가될 수 있다. 이 경우에는 불량 칩의 경우에 출력버퍼가 동작불능상태로 된다. 도 5를 참조하면, 출력 드라이버용 트랜지스터들(Q41,Q42)과, 출력 제어신호 A에 대한 클럭드 인버터를 구성하는 트랜지스터 들(Q43a, Q44a, Q45a, Q46c, Q47a)과, 출력 제어신호 B에 대한 클럭드 인버터를 구성하는 트랜지스터들(Q43b, Q44b, Q45b, Q46b, Q47b)와, 방전용 트랜지스터들(Q48a,Q48b)는 출력버퍼(12)를 구성한다. 상기 출력 드라이버용 트랜지스터들(Q41,Q42)의 공통 드레인에는 출력핀(12-1)이 접속되어 노말동작시 하이 또는 로우의 레벨이 외부로 제공된다. 상기한 구성을 가지는 통상의 출력버퍼(12)에 상기 상태신호 PMF가 제어신호로서 인가되면, 칩이 불량 칩인 경우 상기 출력버퍼(12)의 동작은 디세이블 상태로 되어버린다. 즉, 칩이 불량칩으로서 판명되어 상기 상태신호 PMF가 로우레벨로서 제공되면 상기 트랜지스터 (Q43a,Q46a,Q43b,Q46b)가 턴 오프 상태를 항상 유지하게 된다. 그럼에 의해 두 개의 클럭드 인버터는 각기 인버팅 기능을 영구적으로 수행할 수 없게 되므로 결국 출력 버퍼의 동작이 제대로 되지 않는다. 반대로, 칩이 양품 칩으로 판명되어 상기 상태신호 PMF가 하이레벨로서 제공되면 상기 트랜지스터들(Q43a,Q46a,Q43b,Q46b)이 턴 온 상태를 유지하게 된다. 그럼에 의해 인가되는 신호 A,B에 대한 반전동작을 수행할 수 있게 되어 출력버퍼로서의 기능을 다하게 된다. 마찬가지로, 도면에서는 상기 상태신호 PMF하나만이 상기 출력버퍼(12)의 제어단에 인가되는 것으로 나타나 있지만, 실제로 상기 출력버퍼를 인에이블 및 디세이블을 제어하는 제어신호와 함께 머지드하여인가하는 것이 바람직하다. 상기 상태신호 PMF와 상기 제어신호의 합체는 앤드 또는 낸드 응답을 생성하는 논리 게이트를 사용한다. 결국, 칩 동작불능 제어회로(10)내의 신호발생부는 상기 출력버퍼(12)의 인에이블 또는 디세이블을 제어하므로, 혹시라도 출하되는 불량 칩에서의 출력버퍼는 동작불능상태로 되어버린다.Although the internal circuit configuration is different from that of the input buffer 11, the technical control principle is similar, and the state signal PMF may be applied to the output buffer. In this case, the output buffer becomes inoperable in the case of a bad chip. 5, the output driver transistors Q41 and Q42, the transistors Q43a, Q44a, Q45a, Q46c and Q47a constituting the clocked inverter for the output control signal A and the output control signal B The transistors Q43b, Q44b, Q45b, Q46b, and Q47b constituting the clocked inverter and the discharge transistors Q48a and Q48b constitute the output buffer 12. An output pin 12-1 is connected to the common drain of the output driver transistors Q41 and Q42 to provide a high or low level to the outside during normal operation. When the status signal PMF is applied as a control signal to the normal output buffer 12 having the above-described configuration, when the chip is a bad chip, the operation of the output buffer 12 is disabled. That is, when the chip is found to be a bad chip and the state signal PMF is provided at the low level, the transistors Q43a, Q46a, Q43b, and Q46b always maintain the turn-off state. As a result, the two clocked inverters will not be able to perform their respective inverting functions permanently, resulting in an incorrect output buffer. On the contrary, when the chip is found to be a good chip and the state signal PMF is provided at a high level, the transistors Q43a, Q46a, Q43b, and Q46b remain turned on. Thus, it is possible to perform the inverting operation on the signals A and B applied, thereby fulfilling its function as an output buffer. Similarly, although only one state signal PMF is shown to be applied to the control terminal of the output buffer 12, it is preferable to actually apply the output buffer with a control signal for controlling the enable and disable. Do. The combination of the state signal PMF and the control signal uses a logic gate to generate an end or NAND response. As a result, the signal generator in the chip inoperable control circuit 10 controls the enable or disable of the output buffer 12, so that the output buffer in a defective chip shipped out of the device becomes inoperable.

유사하게, 상기 상태신호 PMF는 칩 내부 회로부(13)에도 인가되어 불량 칩인 경우에 칩 내부 회로부를 동작불능상태로 제어할 수 있다. 도 6을 참조하면, 낸드 게이트(Q51)와, 차례로 연결된 지연 및 위상반전을 위한 인버터들(Q52, Q53~Q56)은 반도체 메모리 디바이스의 주변회로에 위치되는 통상적인 칩 내부 회로부(13)를 구성한다. 여기서, 제1클럭신호(P1)가 제대로 전달되어야만 칩 내부동작을 제어하는 제2클럭신호(P2)가 정상적으로 생성된다. 상기한 구성을 가지는 통상의 칩 내부 회로부(13)에 상기 상태신호 PMF가 제어신호로서 인가되면, 칩이 불량 칩인 경우 상기 칩 내부 회로부(13)의 동작은 디세이블 상태로 되어버린다. 즉, 칩이 불량칩으로서 판명되어 상기 상태신호 PMF가 로우레벨로서 제공되면 상기 낸드 게이트(Q51)의 출력은 상기 제1클럭신호(P1)의 논리레벨에 상관없이 언제나 하이상태로 유지된다. 그럼에 의해, 최종단에 연결된 인버터 (Q56)의 출력은 로우레벨로 고정되어, 결국, 상기 제1클럭신호(P1)의 논리에 응답된 출력을 생성하지 못한다. 반대로, 칩이 양품 칩으로 판명되어 상기 상태신호 PMF가 하이레벨로서 제공되면 상기 낸드 게이트(Q51)의 출력은 상기 제1클럭신호(P1)의 논리레벨을 반전한 논리가 된다. 즉, 이 경우에 상기 낸드 게이트(Q51)는 인버터로서 동작된다. 따라서, 인가되는상기 제1클럭신호(P1)가 제대로 전달 및 처리되어 칩 내부 회로부(13)로서의 기능을 다하게 된다.Similarly, the state signal PMF is also applied to the chip internal circuitry 13 to control the chip internal circuitry to an inoperable state in the case of a bad chip. Referring to FIG. 6, the NAND gate Q51 and the inverters Q52 and Q53 to Q56 which are sequentially connected to each other constitute a conventional chip internal circuit 13 positioned in a peripheral circuit of a semiconductor memory device. do. Here, the second clock signal P2 for controlling the internal operation of the chip is normally generated only when the first clock signal P1 is properly transmitted. When the state signal PMF is applied as a control signal to the normal chip internal circuitry 13 having the above-described configuration, when the chip is a bad chip, the operation of the chip internal circuitry 13 becomes disabled. That is, when a chip is found to be a bad chip and the state signal PMF is provided at a low level, the output of the NAND gate Q51 is always kept high regardless of the logic level of the first clock signal P1. As a result, the output of the inverter Q56 connected to the last stage is fixed at a low level, which in turn does not produce an output in response to the logic of the first clock signal P1. On the contrary, when a chip is found to be a good chip and the state signal PMF is provided as a high level, the output of the NAND gate Q51 becomes logic inverting the logic level of the first clock signal P1. That is, in this case, the NAND gate Q51 is operated as an inverter. Accordingly, the applied first clock signal P1 is properly transmitted and processed to fulfill the function of the chip internal circuit unit 13.

비록 회로구성은 다르지만 기술적 제어원리는 유사하게, 상기 상태신호 PMF는 칩 내부 DC(직류) 전압 발생부(14)에도 인가될 수 있다. 이 경우에는 불량 칩의 경우에 칩 내부 DC 전압 발생부(14)가 동작불능상태로 된다. 상기 칩 내부 DC 전압 발생부(14)의 종류로서는 내부 전원전압 IVCC을 발생하는 내부 전원전압 발생기, 승압된 전압 VPP을 발생하는 승압전압 발생기, 네거티브 전압 VBB을 발생하는 음전압 발생기, 및 하프(half) 전원전압(1/2VCC) VBL을 발생하는 절반 전원전압 발생기 등 이 있다. 본 실시예에서는 다양한 종류들중 대표적으로, 내부 전원전압 IVCC을 발생하는 내부 전원전압 발생기(14')만을 도 7에 도시하고 이에 대한 제어를 설명한다. 도 7을 참조하면, 전류-미러회로(current-mirror circuit)를 이루는 트랜지스터들 (Q61,Q62,Q63,Q64)과, 인가되는 제어신호의 상태에 응답하여 상기 전류-미러회로의 동작을 인에이블 또는 디세이블시키는 제어용 트랜지스터(Q65)와, 출력노드(N61) 및 내부전원전압 단 IVCC에 드레인이 각기 연결된 구동용 트랜지스터들(Q66,Q67)은 통상적인 내부 전원전압 발생기(14')를 구성한다. 상기한 내부 전원전압 발생기(14')에 상기 상태신호 PMF가 제어신호로서 인가되면, 칩이 불량 칩인 경우 상기 내부 전원전압 발생기(14')의 동작은 디세이블 상태로 되어버린다. 즉, 칩이 불량칩으로서 판명되어 상기 상태신호 PMF가 로우레벨로서 제공되면 상기 트랜지스터 (Q65)가 턴 오프 상태가 되고 트랜지스터 (Q56)가 턴 온 되어 노드 (N61)는 하이 상태를 유지하여 결국 구동용 트랜지스터 (Q67)이 턴 오프상태를 항상 유지하게 된다. 그럼에 의해 내부 전원전압 발생기(14')는 전류미러 방식에 의한 내부전원전압 발생동작을 영구적으로 수행할 수 없게 되므로 기준전압(Vref)에 추종하는 내부 전원전압 IVCC을 결코 생성하지 못한다. 결국, 내부 전원전압 발생기(14')는 동작불능이 된다. 반대로, 칩이 양품 칩으로 판명되어 상기 상태신호 PMF가 하이레벨로서 제공되면 상기 트랜지스터(Q65)는 턴 온 상태로 가서 전류패스를 형성하므로 전류 미러동작이 수행되도록 한다. 이 경우에 상기 트랜지스터(Q56)는 턴오프 상태이다. 그럼에 의해 기준전압(Vref)에 추종하는 내부 전원전압을 생성할 수 있게 되어 내부 전원전압 발생기(14')로서의 기능을 다하게 된다. 마찬가지로, 도면에서는 상기 상태신호 PMF하나만이 상기 내부 전원전압 발생기(14')의 제어단에 인가되는 것으로 나타나 있지만, 실제로 상기 내부 전원전압 발생기(14')의 인에이블 및 디세이블을 제어하는 제어신호와 함께 머지드하여 인가하는 것이 바람직하다. 이 경우에 상기 상태신호 PMF와 상기 제어신호의 합체는 앤드 게이트 또는 낸드 게이트를 사용한다. 결국, 칩 동작불능 제어회로(10)내의 신호발생부는 내부 전원전압 발생기(14')의 인에이블 또는 디세이블을 제어하므로, 혹시라도 출하되는 불량 칩에서의 내부 전원전압 발생기(14')는 동작불능상태로 되어버린다.Although the circuit configuration is different, the technical control principle similarly, the state signal PMF may be applied to the internal DC (direct current) voltage generator 14. In this case, in the case of a defective chip, the internal DC voltage generator 14 becomes inoperable. Examples of the internal DC voltage generator 14 include an internal power supply voltage generator for generating an internal power supply voltage IVCC, a boosted voltage generator for generating a boosted voltage VPP, a negative voltage generator for generating a negative voltage VBB, and a half. ) Half power voltage generator to generate power supply voltage (1 / 2VCC) VBL. In the present exemplary embodiment, only the internal power supply voltage generator 14 ′ that generates the internal power supply voltage IVCC is shown in FIG. 7 and the control thereof will be described. Referring to FIG. 7, the operation of the current-mirror circuit is enabled in response to the states of the transistors Q61, Q62, Q63, and Q64 and a control signal applied to constitute a current-mirror circuit. Alternatively, the control transistor Q65 for disabling and the driving transistors Q66 and Q67 having drains connected to the output node N61 and the internal power supply voltage stage IVCC, respectively, constitute a conventional internal power supply voltage generator 14 '. . When the status signal PMF is applied as the control signal to the internal power supply voltage generator 14 ', the operation of the internal power supply voltage generator 14' becomes disabled when the chip is a bad chip. That is, when a chip is found to be a bad chip and the state signal PMF is provided at a low level, the transistor Q65 is turned off and the transistor Q56 is turned on so that the node N61 remains high and eventually drives. The transistor Q67 is always kept turned off. Therefore, since the internal power supply voltage generator 14 'cannot permanently perform the internal power supply voltage generation operation by the current mirror method, the internal power supply voltage generator 14' never generates the internal power supply voltage IVCC following the reference voltage Vref. As a result, the internal power supply voltage generator 14 'becomes inoperable. On the contrary, when the chip is found to be a good chip and the state signal PMF is provided as the high level, the transistor Q65 goes to the turn-on state to form a current path, so that the current mirror operation is performed. In this case, the transistor Q56 is turned off. This makes it possible to generate an internal power supply voltage that follows the reference voltage Vref, thus fulfilling the function as the internal power supply voltage generator 14 '. Similarly, although only one state signal PMF is shown to be applied to the control terminal of the internal power supply voltage generator 14 ', the control signal actually controls the enable and disable of the internal power supply voltage generator 14'. It is preferable to merge with and apply. In this case, the integration of the state signal PMF and the control signal uses an AND gate or a NAND gate. As a result, the signal generator in the chip inoperable control circuit 10 controls the enable or disable of the internal power supply voltage generator 14 ', so that the internal power supply voltage generator 14' in a defective chip that is shipped out of operation operates. It becomes impossible.

상기한 바와 같이, 본 발명은 도면을 기준으로 예를들어 기술되었지만 이에 한정되지 않으며 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에 의해 다양한 변화와 변경이 가능함은 물론이다. 예를 들어, 사안에 따라 퓨징부 및 신호발생부의 내부 구성을 달리하거나다이오드로서 기능하는 트랜지스터의 개수를 가감하거나, 불량 칩인 경우에 퓨즈 커팅을 하지 않거나, 발생되는 상태신호로써 칩 내부 기능회로들 이외에 외부 디바이스 예컨대 마이크로프로세서 또는 메모리 콘트롤러의 제어기능을 금지시키거나 상태신호를 마이크로프로세서가 인지할 수 있도록 하여 불량 칩이라는 내용이 문자로써 화면상에 디스플레이되게 하는 것도 가능함을 밝혀둔다.As described above, the present invention has been described by way of example only with reference to the drawings, but is not limited thereto and various changes and modifications by those skilled in the art to which the present invention pertains without departing from the technical spirit of the invention. Of course this is possible. For example, depending on the case, the internal structure of the fusing unit and the signal generating unit may be changed or the number of transistors functioning as a diode may be decreased, or the fuse may not be cut in the case of a bad chip, or as a generated state signal, in addition to the internal circuits of the chip. It is also noted that it is possible to disable the control function of an external device such as a microprocessor or a memory controller or to make the microprocessor recognize the status signal so that the content of the bad chip is displayed on the screen as text.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 리페어 불가한 불량 칩에 대해 후 공정에서 또는 제품출하 후에도 칩의 노말 동작을 영구적으로 금지시킬 수 있는 효과가 있다. 그러므로, 불량 칩에 대한 사후 관리를 엄격히 해야하는 제조 메이커의 부담을 경감시키므로 비용 및 이미지 측면에서의 디메지를 감소시키는 이점을 갖는다. 또한, 불량 칩의 출하가 사실상 방지되므로 웨이퍼 비즈니스시의 활성화에 기여를 하게 되는 장점이 얻어진다.As described above, according to the present invention, there is an effect that the normal operation of the chip can be permanently inhibited even in the post-process or after shipping the defective chip that cannot be repaired. Therefore, the burden on the manufacturer to strictly follow-up on the defective chip is reduced, which has the advantage of reducing the de-magination in terms of cost and image. In addition, since the shipment of defective chips is virtually prevented, the advantage of contributing to the activation of the wafer business is obtained.

Claims (18)

칩의 불량판명 유무에 따라 제조공정에서 커팅유무가 결정되어지며 제1전원에 일단이 연결된 퓨징부와;A fusing unit in which a cutting part is determined in a manufacturing process according to whether a chip is found to be defective and one end is connected to a first power source; 상기 퓨징부의 타단과 제2전원간에 연결되어 상기 퓨징부의 커팅유무에 따라 불량 칩임을 판정하는 판정신호를 생성하여 칩 내부 기능회로들중 적어도 하나 이상의 칩 내부 기능회로에 동작금지 유무를 가리키는 신호로서 공급하는 신호발생부:It is connected between the other end of the fusing unit and the second power supply to generate a determination signal for determining whether the chip is bad according to the cutting state of the fusing unit and supplied as a signal indicating the operation prohibition to at least one of the internal chip functional circuits Signal generator: 를 포함하는 칩 동작불능 제어회로를 상기 칩 내부에 구비하여, 상기 칩 내부 기능회로들이 상기 판정신호의 레벨에 따라 활성화 또는 비활성화되어 비활성화시 상기 칩의 동작이 원천적으로 금지되도록 함을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.And a chip inoperable control circuit inside the chip, wherein the chip internal function circuits are activated or deactivated according to the level of the determination signal so that the operation of the chip is inherently prohibited when the chip is deactivated. Integrated circuit devices. 제1항에 있어서, 상기 칩 내부 기능회로들은 적어도 하나의 입력 버퍼를 포함함을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.The semiconductor integrated circuit device of claim 1, wherein the chip internal functional circuits include at least one input buffer. 제1항에 있어서, 상기 칩 내부 기능회로들은 적어도 하나의 출력 버퍼를 포함함을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.2. The semiconductor integrated circuit device of claim 1, wherein the chip internal functional circuits comprise at least one output buffer. 제1항에 있어서, 상기 칩 내부 기능회로들은 적어도 하나의 직류전압 발생부를 포함함을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.The semiconductor integrated circuit device of claim 1, wherein the chip internal functional circuits include at least one DC voltage generator. 제1항에 있어서, 상기 제1전원은 전원전압이고 상기 제2전원은 접지전압임을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.2. The semiconductor integrated circuit device according to claim 1, wherein the first power source is a power source voltage and the second power source is a ground voltage. 제1항에 있어서, 상기 신호발생부와 상기 칩 내부 기능회로와의 사이에 신호파형 정형용 버퍼를 더 구비함을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.The semiconductor integrated circuit device according to claim 1, further comprising a signal waveform shaping buffer between the signal generator and the chip internal function circuit. 제1항에 있어서, 상기 칩은 반도체 메모리 디바이스임을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.The semiconductor integrated circuit device according to claim 1, wherein the chip is a semiconductor memory device. 제7항에 있어서, 상기 퓨징부는 레이저 광에 의한 절단이 가능한 퓨즈임을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.8. The semiconductor integrated circuit device according to claim 7, wherein the fuse is a fuse capable of cutting by laser light. 제7항에 있어서, 상기 퓨징부는 전류에 의해 절단이 가능한 퓨즈임을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.8. The semiconductor integrated circuit device according to claim 7, wherein the fuse part is a fuse that can be cut by a current. 제1항에 있어서, 상기 신호발생부는, 상기 퓨징부의 타단에 애노드 대응단이 연결되어 상기 퓨징부의 퓨즈미절단시 전류패스를 형성하는 다이오드 등가소자와 상기 다이오드 등가소자의 캐소드 대응단과 상기 제2전원간에 연결된 저항을 포함함을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.The method of claim 1, wherein the signal generating unit, the anode corresponding terminal is connected to the other end of the fusing unit to form a current path when the fuse is not blown fuse unit and the cathode corresponding terminal of the diode equivalent device and the second power source And a resistor connected between the semiconductor integrated circuit device. 제1항에 있어서, 상기 신호발생부는, 상기 퓨징부의 타단에 소오스가 연결되어 상기 퓨징부의 퓨즈미절단시 전류패스를 형성하는 모오스 트랜지스터와 상기 모오스 트랜지스터의 드레인과 상기 제2전원간에 연결된 저항을 포함함을 특징으로 하는 반도체 집적회로 장치.The method of claim 1, wherein the signal generator comprises a MOS transistor connected to a source of the other end of the fusing part to form a current path when the fuse of the fusing part is not blown, a resistor connected between the drain of the MOS transistor and the second power supply. Semiconductor integrated circuit device characterized in that. 칩 동작불능 제어방법에 있어서:In the chip inoperation control method: 칩의 불량판명 유무에 따라 제조공정에서 퓨즈의 커팅유무를 결정하는 단계와;Determining whether a fuse is cut in a manufacturing process according to whether a chip is found to be defective; 상기 퓨즈의 커팅유무에 따라 불량 칩임을 판정하는 신호를 생성하는 단계와;Generating a signal for determining that the chip is defective according to whether the fuse is cut; 상기 생성된 판정신호를 상기 칩 내부 기능회로들에 동작금지 유무를 가리키는 신호로서 제공하는 단계를 가짐에 의해,By providing the generated determination signal to the chip internal function circuits as a signal indicating whether operation is prohibited, 불량판명된 칩에 한해서만 동작불능상태에 있도록 제어함을 특징으로 하는 제어방법.A control method characterized in that the control is performed so that only a defective chip is found to be inoperable. 제12항에 있어서, 상기 칩 내부 기능회로들은 적어도 하나의 입력 버퍼를 포함함을 특징으로 하는 제어방법.13. The method of claim 12, wherein the chip internal functional circuits comprise at least one input buffer. 제12항에 있어서, 상기 칩 내부 기능회로들은 적어도 하나의 출력 버퍼를 포함함을 특징으로 하는 제어방법.13. The method of claim 12, wherein the chip internal functional circuits comprise at least one output buffer. 제12항에 있어서, 상기 칩 내부 기능회로들은 적어도 하나의 직류전압 발생부를 포함함을 특징으로 하는 제어방법.The control method of claim 12, wherein the internal chip circuits include at least one DC voltage generator. 제12항에 있어서, 상기 칩은 반도체 메모리 디바이스임을 특징으로 하는 제어방법.13. The method of claim 12, wherein the chip is a semiconductor memory device. 제16항에 있어서, 상기 퓨즈는 레이저 광에 의한 절단이 가능한 퓨즈임을 특징으로 하는 제어방법.The control method of claim 16, wherein the fuse is a fuse that can be cut by laser light. 제16항에 있어서, 상기 퓨즈는 전류에 의해 절단이 가능한 퓨즈임을 특징으로 하는 제어방법.The control method of claim 16, wherein the fuse is a fuse that can be cut by a current.
KR1019990023426A 1999-06-22 1999-06-22 Semiconductor device with malfunction control circuit and control method therefore KR100361082B1 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990023426A KR100361082B1 (en) 1999-06-22 1999-06-22 Semiconductor device with malfunction control circuit and control method therefore
JP2000172463A JP2001014886A (en) 1999-06-22 2000-06-08 Semiconductor integrated circuit device and control method therefor
TW089111722A TW502427B (en) 1999-06-22 2000-06-15 Semiconductor device with malfunction control circuit and controlling method thereof
US10/277,573 US6972612B2 (en) 1999-06-22 2002-10-21 Semiconductor device with malfunction control circuit and controlling method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990023426A KR100361082B1 (en) 1999-06-22 1999-06-22 Semiconductor device with malfunction control circuit and control method therefore

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010003220A KR20010003220A (en) 2001-01-15
KR100361082B1 true KR100361082B1 (en) 2002-11-18

Family

ID=19594113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990023426A KR100361082B1 (en) 1999-06-22 1999-06-22 Semiconductor device with malfunction control circuit and control method therefore

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2001014886A (en)
KR (1) KR100361082B1 (en)
TW (1) TW502427B (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100475738B1 (en) * 2002-09-17 2005-03-10 삼성전자주식회사 Semiconductor device with function of malfunction cancellation
JP4967532B2 (en) 2006-08-25 2012-07-04 富士通セミコンダクター株式会社 Semiconductor integrated circuit and test method for semiconductor integrated circuit
CN110763969A (en) * 2019-08-08 2020-02-07 浙江大学 Light emitting diode and solar cell aging test system

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010003220A (en) 2001-01-15
TW502427B (en) 2002-09-11
JP2001014886A (en) 2001-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0135108B1 (en) Semiconductor memory apparatus including stress test circuit
US8179732B2 (en) Flash memory devices including ready/busy control circuits and methods of testing the same
US7978549B2 (en) Fuse circuit and semiconductor memory device including the same
US5909142A (en) Semiconductor integrated circuit device having burn-in test capability and method for using the same
KR101110794B1 (en) Fuse circuit and redundancy circuit
US7924646B2 (en) Fuse monitoring circuit for semiconductor memory device
US7697361B2 (en) Apparatus for electrical fuse option in semiconductor integrated circuit
US6859067B2 (en) Semiconductor apparatus
KR100361082B1 (en) Semiconductor device with malfunction control circuit and control method therefore
KR100378198B1 (en) Mode control circuit for semiconductor device and semiconductor memory device having the mode control circuit
KR20030088863A (en) Internal power supply voltage control apparatus having two internal power supply reference voltage generating circuits
KR100757411B1 (en) Voltage resetting circuit for semiconductor memory device using option fuse circuit and voltage resetting method thereof
US6972612B2 (en) Semiconductor device with malfunction control circuit and controlling method thereof
JP3642555B2 (en) Semiconductor device and test method thereof
US7760566B2 (en) Semiconductor memory device for preventing supply of excess specific stress item and test method thereof
US5034687A (en) Signature indicating circuit
US6262621B1 (en) Voltage boosting circuit for semiconductor device
KR100475738B1 (en) Semiconductor device with function of malfunction cancellation
US8395406B2 (en) Integrated circuit architecture for testing variable delay circuit
US6788087B2 (en) Integrated circuit having a test circuit, and method of decoupling a test circuit in an integrated circuit
US6657904B2 (en) Semiconductor device
KR100439104B1 (en) Anti fuse control circuit
US7382671B2 (en) Method for detecting column fail by controlling sense amplifier of memory device
US20040246792A1 (en) Integrated memory circuit having a redundancy circuit and a method for replacing a memory area
KR100316708B1 (en) Semiconductor integrated circuit for generating activated test signal without using external power supply when wafer test

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121031

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131031

Year of fee payment: 12

LAPS Lapse due to unpaid annual fee