KR100353355B1 - The manufacturing method for multi-layer pcb - Google Patents

The manufacturing method for multi-layer pcb Download PDF

Info

Publication number
KR100353355B1
KR100353355B1 KR1019990015616A KR19990015616A KR100353355B1 KR 100353355 B1 KR100353355 B1 KR 100353355B1 KR 1019990015616 A KR1019990015616 A KR 1019990015616A KR 19990015616 A KR19990015616 A KR 19990015616A KR 100353355 B1 KR100353355 B1 KR 100353355B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
thin film
hole
via hole
circuit board
Prior art date
Application number
KR1019990015616A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR19990064701A (en
Inventor
이규원
장용순
김원재
Original Assignee
엘지전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자주식회사 filed Critical 엘지전자주식회사
Priority to KR1019990015616A priority Critical patent/KR100353355B1/en
Publication of KR19990064701A publication Critical patent/KR19990064701A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100353355B1 publication Critical patent/KR100353355B1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4602Manufacturing multilayer circuits characterized by a special circuit board as base or central core whereon additional circuit layers are built or additional circuit boards are laminated
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/42Plated through-holes or plated via connections
    • H05K3/429Plated through-holes specially for multilayer circuits, e.g. having connections to inner circuit layers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PURPOSE: A method for manufacturing a multi-layer printed circuit board is provided to increase the wiring density and the mounting density by forming a metal thin film having a thin thickness to minimize erosion occurred when a circuit pattern is formed. CONSTITUTION: A printed circuit board(100) is comprised of a core layer(101), an upper build-up layer(130), and a lower build-up layer(130'). The core layer(101) is comprised of a plurality of resin layers(102) and a plurality of copper thin film layers(104). A through-hole(106) is provided on the core layer(101). The upper and lower build-up layers(130,130') are respectively formed on upper and lower surfaces of the core layer(101). An insulating resin layer(132) is formed on the upper surface of the core layer(101). A plated layer(134) is formed on a surface of the insulating resin layer(132). An insulating resin layer(132') is formed on the plated layer(134). First and second holes(136,137) are formed on the insulating resin layer(132,132').

Description

다층 인쇄회로기판의 제조방법{THE MANUFACTURING METHOD FOR MULTI-LAYER PCB}Manufacturing method of multilayer printed circuit board {THE MANUFACTURING METHOD FOR MULTI-LAYER PCB}

본 발명은 다층 인쇄회로기판의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 인쇄회로기판의 실장 및 배선밀도를 향상시키고 배선길이를 최소화하도록 다수개 적층되는 층 사이의 접속구조를 개선한 다층 인쇄회로기판의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer printed circuit board, and more particularly, to a multilayer printed circuit board having improved connection structure between a plurality of stacked layers to improve the mounting and wiring density of the printed circuit board and to minimize the wiring length. It relates to a manufacturing method of.

도 1에는 종래 기술에 의한 다층 인쇄회로기판의 단면도가 도시되어 있다. 이에 따르면, 인쇄회로기판(10)은 절연성의 수지층(12)에 구리박막층(14)을 교대로 적층하여 이루어진다. 그리고, 상기 교대로 적층된 구리박막층(14) 사이의 전기적 접속을 위해 인쇄회로기판(10)을 상하로 관통하는 관통홀(16)을 천공하고, 무전해 및 전기도금법을 이용하여 상기 관통홀(16)의 내벽에 내측도금층(16a)과 인쇄회로기판(10) 최상면과 최하면에 외측도금층(16b)을 형성한다.1 is a cross-sectional view of a multilayer printed circuit board according to the prior art. According to this, the printed circuit board 10 is formed by alternately stacking the copper thin film layer 14 on the insulating resin layer 12. In addition, the through hole 16 penetrating the printed circuit board 10 up and down for electrical connection between the alternately laminated copper thin film layers 14, and the through hole (using electroless plating and electroplating) The inner plating layer 16a and the outer plating layer 16b are formed on the top and bottom surfaces of the inner circuit layer 16a and the printed circuit board 10.

상기와 같이 형성된 내측도금층(16a)은 상기 구리박막층(14)들 및 외측도금층(16b) 사이의 전기적인 접속을 수행하게 된다. 상기 관통홀(16)의 내부에는 절연성 수지가 충진된다.The inner plating layer 16a formed as described above performs electrical connection between the copper thin film layers 14 and the outer plating layer 16b. An insulating resin is filled in the through hole 16.

한편, 상기와 같이 수지층(12)과 구리박막층(14)을 차례로 형성하는 방법에는 말 그대로 수지층(12)과 구리박막층(14)을 차례로 적층시키는 방법과 구리박막(구리박막층)이 코팅된 수지재(수지층)들 사이에 프리프레그(prepreg)를 개재하여형성하는 방법이 있다.Meanwhile, as described above, the method of sequentially forming the resin layer 12 and the copper thin film layer 14 is a method of literally laminating the resin layer 12 and the copper thin film layer 14 and the copper thin film (copper thin film layer) is coated. There is a method of forming a prepreg between resin materials (resin layers).

그러나 상기한 바와 같은 구성을 가지는 도 1에 도시된 다층 인쇄회로기판에 있어서는 다음과 같은 문제점들이 지적되고 있다.However, the following problems have been pointed out in the multilayer printed circuit board shown in FIG. 1 having the configuration as described above.

즉, 상기와 같이 인쇄회로기판(10)의 상하를 완전히 관통하는 형태로 관통홀(16)을 천공하게 되면 실제로 접속이 불필요한 구리박막층(14)에도 상기 관통홀(16)이 통과하게 된다. 그리고, 상기 관통홀(16)은 일반적으로 컴퓨터 수치제어 방식으로 가공하게 되는데, 현재 가공가능한 관통홀(16)의 최소직경은 약 250μm 정도이어서 상대적으로 직경이 큰 홀이 최종적인 회로패턴이 형성되는 표면층에 존재하게 되어 실장밀도를 감소시키게 된다.That is, when the through hole 16 is formed to completely penetrate the top and bottom of the printed circuit board 10 as described above, the through hole 16 also passes through the copper thin film layer 14 which does not actually need to be connected. In addition, the through hole 16 is generally processed by a computer numerical control method. The minimum diameter of the through hole 16 that can be processed is about 250 μm so that a hole having a relatively large diameter forms a final circuit pattern. It is present in the surface layer to reduce the mounting density.

한편, 상기 관통홀(16)의 주변에 약 100μm정도의 랜드(land)가 존재하게 되는데, 이와 같은 랜드 역시 인쇄회로기판(10)의 실장밀도 및 배선밀도를 감소시키고 또한 회로패턴의 신호선이 상기 관통홀(16) 주위를 우회하여 형성되기 때문에 회로패턴의 설계에 많은 제약을 주게 된다. 그리고, 상기 신호선의 우회형성에 따라 회로패턴의 배선길이가 길어지게 되어 전달되는 신호의 지연이 발생하고 신호에 노이즈가 증가하여 인쇄회로기판의 전체적인 성능이 저하되는 문제점도 있다.On the other hand, a land of about 100 μm is present around the through hole 16, which also reduces the mounting density and the wiring density of the printed circuit board 10, and the signal lines of the circuit pattern Since it is formed by bypassing the perforation hole 16, a lot of constraints are placed on the design of the circuit pattern. In addition, due to the bypass formation of the signal line, the wiring length of the circuit pattern becomes longer, resulting in a delay of the transmitted signal and increasing noise in the signal, thereby degrading the overall performance of the printed circuit board.

이와 같은 문제점을 해결하기 위해 두개의 기판을 별로로 제작하여 각각 관통홀을 뚫어 가공한 후 도금을 한 다음 두 기판을 합치시켜 어느 정도의 불필요한 접속을 감소시키도록 한 도 2에 도시된 바와 같은 IVH(Interstitial Via Hole)형 인쇄회로기판(20)이 제시되었다.In order to solve such a problem, two substrates are manufactured separately, and each through hole is processed, and then plated, and then the two substrates are joined to reduce some unnecessary connection to the IVH as shown in FIG. 2. An interstitial via hole type printed circuit board 20 is provided.

즉, 일종의 다층 기판인 제1기판(20ⅰ)과 제2기판(20ⅱ)을 각각 형성하고,상기 기판(20ⅰ,20ⅱ) 사이에 코어기판(20ⅲ)을 개재시켜 접착하여 인쇄회로기판(20)을 제작하는 것이다.That is, the first substrate 20 'and the second substrate 20ii, which are a kind of multilayer substrate, are respectively formed, and the printed circuit board 20 is bonded by interposing a core substrate 20' between the substrates 20 'and 20ii. To make.

먼저, 제1 기판(20ⅰ)을 제작하는 것을 설명하면, 수지층(22)과 구리박막층(24)을 교대로 적층하여 다수개의 층을 만들고, 상기 수지층(22)과 구리박막층(24)을 관통하여 관통홀(26)을 천공한다. 그리고는 상기 관통홀(26)의 내벽과 제1기판(20ⅰ)의 상하면에 내측도금층(26a)과 외측도금층(26b)을 무전해 및 전기도금법을 이용하여 형성하여 각각의 구리박막층(24)과 내측도금층(26a) 및 외측도금층(26b)을 전기적으로 접속시켜 준다.First, the manufacturing of the first substrate 20 'will be described. The resin layer 22 and the copper thin film layer 24 are alternately laminated to form a plurality of layers, and the resin layer 22 and the copper thin film layer 24 are formed. The through hole 26 is drilled through. Then, the inner plating layer 26a and the outer plating layer 26b are formed on the inner wall of the through hole 26 and the upper and lower surfaces of the first substrate 20 'by electroless plating and electroplating, respectively. The inner plating layer 26a and the outer plating layer 26b are electrically connected.

그리고, 제2 기판(20ⅱ)도 상기 제1기판(20ⅰ)과 같은 방식으로 제작한다.The second substrate 20ii is also manufactured in the same manner as the first substrate 20 '.

이와 같이 제작된 제1 및 제2 기판(20ⅰ,20ⅱ)의 사이에 코어기판(20ⅲ)을 개재시켜 하나의 인쇄회로기판(20)을 제작한다.One printed circuit board 20 is manufactured by interposing a core substrate 20 'between the first and second substrates 20' and 20ii manufactured as described above.

즉, 수지층(28)의 상하면에 구리박막층(29)이 구비된 코어기판(20ⅲ)을 상기 제1 및 제2 기판(20ⅰ,20ⅱ) 사이에 위치시키고, 기판사이에 수지(28')를 위치시키고, 상기 기판들을 압착시키면, 상기 수지(28')가 녹으면서, 상기 관통홀(26)을 채우고 상기 수지(28')가 경화됨에 따라 상기 제1기판과 제2기판(20ⅰ,20ⅱ)은 상기 코어기판(20ⅲ)을 사이에 두고 접착된다.That is, the core substrate 20 'provided with the copper thin film layer 29 on the upper and lower surfaces of the resin layer 28 is placed between the first and second substrates 20' and 20ii, and the resin 28 'is placed between the substrates. When the substrate is pressed and the substrates are pressed, the resin 28 'is melted to fill the through hole 26 and the resin 28' is cured so that the first substrate and the second substrate 20b and 20ii are hardened. Is bonded with the core substrate 20 코어 therebetween.

이후에 상기 기판(20ⅰ,20ⅱ,20ⅲ) 들을 동시에 관통하는 관통홀(30)을 천공하고, 무전해 및 전기도금법을 이용하여 상기 관통홀(30)의 내벽과 인쇄회로기판(20)의 상하면에 각각 내측도금층(30a)과 외측도금층(30b)을 형성하여 각각의 기판의 구리박막층(24,29) 들을 전기적으로 연결하게 된다.Thereafter, the through holes 30 penetrating through the substrates 20 ', 20ii, and 20' are simultaneously drilled, and the inner walls of the through holes 30 and the upper and lower surfaces of the printed circuit board 20 are formed by electroless plating and electroplating. Each of the inner plating layer 30a and the outer plating layer 30b is formed to electrically connect the copper thin layers 24 and 29 of each substrate.

그러나 이와 같은 IVH형 인쇄회로기판(20)에 있어서도 상기 제1기판(20ⅰ) 또는 제2기판(20ⅱ)만을 관통하는 관통홀(26)을 천공하는 것이 가능하므로 도 1의 인쇄회로기판(10)보다는 유리한 점이 있으나, 결국은 제1 및 제2기판(20ⅰ,20ⅱ)을 관통하는 관통홀(30)이 존재하게 되는 문제점이 여전히 있다.However, in the IVH type printed circuit board 20, the through-hole 26 penetrating only the first substrate 20 'or the second substrate 20ii can be drilled, so that the printed circuit board 10 of FIG. Although there is an advantage, there is still a problem that the through-hole 30 penetrates the first and second substrates 20 'and 20ii.

또한, 최종적으로 외부에 노출되는 구리박막층(30b)이 제1 및 제2 기판(20ⅰ,20ⅱ)의 구리박막층(24) 및 외측도금층(26b) 상에 형성되어 인쇄회로기판(20)의 상하 표면에 형성되는 구리박막의 두께가 두꺼워지게 되어 미세회로 패턴의 형성에 불리하고 공정이 복잡하여 그 생산성이 낮은 문제점이 있다.In addition, the copper thin film layer 30b finally exposed to the outside is formed on the copper thin film layer 24 and the outer plating layer 26b of the first and second substrates 20 ⅰ and 20 ii, so that the upper and lower surfaces of the printed circuit board 20 are formed. The thickness of the copper thin film formed on the thickening is disadvantageous to the formation of the microcircuit pattern, the process is complicated and there is a problem that the productivity is low.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 다층으로 구성되는 인쇄회로기판의 각각의 층사이의 접속구조를 개선하는 것이다.Accordingly, the present invention is to solve the conventional problems as described above, to improve the connection structure between each layer of a printed circuit board composed of a multi-layer.

본 발명의 다른 목적은 회로패턴이 형성되는 부위의 홀형성을 최소화하여 패턴형성을 용이하게 하고 소형경량화된 인쇄회로기판을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a miniaturized and lightweight printed circuit board by facilitating pattern formation by minimizing hole formation in a portion where a circuit pattern is formed.

본 발명의 또 다른 목적은 인쇄회로기판 표면의 구리박막층의 두께를 최소화하여 미세화된 회로패턴을 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a circuit pattern refined by minimizing the thickness of the copper thin film layer on the surface of a printed circuit board.

도 1은 종래 기술에 의한 다층인쇄회로기판의 구성을 보인 단면도.1 is a cross-sectional view showing the configuration of a multilayer printed circuit board according to the prior art.

도 2는 종래 기술에 의한 IVH형 다층 인쇄회로기판의 구성을 보인 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view showing the configuration of a conventional IVH multilayer printed circuit board.

도 3은 본 발명에 의해 제조되는 다층 인쇄회로기판의 일실시예의 구성을 보인 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view showing the configuration of one embodiment of a multilayer printed circuit board manufactured by the present invention.

도 4a에서 도 4e는 도 3에 도시된 본 발명 실시예의 인쇄회로기판을 제조하는 공정을 보인 공정도.4A to 4E are process drawings showing a process of manufacturing the printed circuit board of the embodiment of the present invention shown in FIG.

도 5는 본 발명에 의한 다층 인쇄회로기판의 다른 실시예의 구성을 보인 단면도.Figure 5 is a cross-sectional view showing the configuration of another embodiment of a multilayer printed circuit board according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 인쇄회로기판 101: 코어층100: printed circuit board 101: core layer

102: 수지층 104: 구리박막층102: resin layer 104: copper thin film layer

106: 관통홀 106a: 내측 도금층106: through hole 106a: inner plating layer

106b: 외측 도금층 107: 절연수지106b: outer plating layer 107: insulating resin

108: 접속박막층 130,130': 상,하빌드업층108: thin film layer 130,130 ': upper and lower build-up layer

132,132': 절연수지층 134,134': 도금층132,132 ': Insulation resin layer 134,134': Plating layer

136: 제1홀 137: 제2홀136: first hole 137: second hole

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 다수의 제1절연체와 제1도전성박막을 차례로 적층하며 코어층을 제작하는 단계; 상기 코어층의 절연체와 도전성 박막을 관통하여 관통홀을 형성하고, 상기 도전성 박막을 전기적으로 연결하는 도전층을 형성하는 단계; 상기 관통홀의 도전층간을 상호 연결하는 접속박막층을 형성하는 단계; 상기 코어층의 표면에 노출된 제1도전성 박막에 연속하여 적어도 하나 이상의 제2절연체와 제2도전성박막을 적층하는 단계; 상기 관통홀의 직상부에 해당하는 상기 접속박막층 상측에 상기 제2절연체와 제2도전성박막을 관통하는 비어홀을 형성하고, 상기 비어홀에 상기 접속박막층과 상기 제2도전성박막을 전기적으로 연결하는 도전층을 형성하는 단계를 포함하여 구성된다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, the present invention comprises the steps of stacking a plurality of first insulator and the first conductive thin film in order to produce a core layer; Forming a through hole through the insulator of the core layer and the conductive thin film, and forming a conductive layer electrically connecting the conductive thin film; Forming a connection thin film layer interconnecting the conductive layers of the through hole; Stacking at least one second insulator and a second conductive thin film successively on the first conductive thin film exposed on the surface of the core layer; A via layer penetrating the second insulator and the second conductive thin film is formed above the connection thin film layer corresponding to the upper portion of the through hole, and a conductive layer electrically connecting the connection thin film layer and the second conductive thin film to the via hole. It comprises a step of forming.

상기 제2절연체와 제2도전성박막을 관통하는 비어홀은 포토비아(photo via)가공방법으로 형성되거나, 상기 제2절연체와 제2도전성박막을 관통하는 비어홀은 상기 제2도전성박막에 회로패턴을 에칭으로 형성하면서, 상기 비어홀의 형성위치의 제2도전성박막을 상기 비어홀의 직경만큼을 에칭을 통해 제거하고 CO2레이저 가공법이나 플라즈마가공법을 사용하여 상기 제2절연체를 제거하여 형성된다.상기 비어홀은 제1비어홀과 상기 제1비어홀보다 직경이 큰 제2비어홀로 구성되며, 상기 제1비어홀과 제2비어홀의 중심을 대략 일치시켜 형성한다.The via hole penetrating the second insulator and the second conductive thin film is formed by a photo via processing method, or the via hole penetrating the second insulator and the second conductive thin film is etched a circuit pattern on the second conductive thin film. The second conductive thin film at the position where the via hole is formed is formed by removing the diameter of the via hole by etching and removing the second insulator by using a CO 2 laser processing method or a plasma processing method. A first via hole and a second via hole having a larger diameter than the first via hole are formed, and are formed by substantially coinciding the centers of the first via hole and the second via hole.

이와 같은 본 발명에 의하면 다층 인쇄회로기판에서 적층된 층 사이를 전기적으로 접속시키기 위한 홀형성이 최소화되어 회로패턴의 설계가 용이해지고 신호선의 직선화가 이루어져 신호전달이 정확하게 이루어지며, 세밀한 회로패턴의 형성이 가능하여 배선밀도 및 실장밀도를 높일 수 있는 이점이 있다.According to the present invention, the hole formation for electrically connecting the layers stacked in the multilayer printed circuit board is minimized, so that the design of the circuit pattern is easy and the signal lines are straightened, so that the signal transmission is made accurately, and the fine circuit pattern is formed. This is advantageous in that the wiring density and the mounting density can be increased.

이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 다층 인쇄회로기판 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a multilayer printed circuit board and a method of manufacturing the same according to the present invention having the configuration as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3에는 본 발명에 의한 방법으로 제조된 인쇄회로기판의 바람직한 실시예의 단면이 도시되어 있다.3 shows a cross section of a preferred embodiment of a printed circuit board manufactured by the method according to the invention.

이에 따르면, 본 발명에 의해 제조되는 인쇄회로기판(100)은 크게 코어층(101), 상빌드업층(130) 및 하빌드업층(130')으로 나누어진다.According to this, the printed circuit board 100 manufactured according to the present invention is largely divided into a core layer 101, an upper buildup layer 130, and a lower buildup layer 130 ′.

상기 코어층(101)은 다수개의 수지층(102)과 구리박막층(104)으로 구성된다. 즉, 상기 수지층(102)과 구리박막층(104)이 차례로 적층되어 구성된다. 그리고, 상기 코어층(101)을 상하로 관통하여서는 관통홀(106)이 천공되어 있다. 상기관통홀(106)의 내벽에는 내측도금층(106a)이 형성되고, 상기 내측도금층(106a)과 연속적으로 상기 코어층(101)의 상하표면에는 외측도금층(106b)이 형성되어 있다. 상기 관통홀(106)의 내부에는 절연수지(107)가 충진되어 있다.The core layer 101 is composed of a plurality of resin layers 102 and a copper thin film layer 104. That is, the resin layer 102 and the copper thin film layer 104 are sequentially stacked. The through hole 106 is drilled through the core layer 101 up and down. An inner plating layer 106a is formed on an inner wall of the through hole 106, and an outer plating layer 106b is formed on upper and lower surfaces of the core layer 101 continuously with the inner plating layer 106a. An insulating resin 107 is filled in the through hole 106.

그리고, 상기 관통홀(106)의 상하표면에 해당되는 상기 절연수지(107) 상에는 상기 외측도금층(106b)과 전기적으로 연결되고 이후에 상기 상,하빌드업층(130,130')과의 전기적 접속을 위한 접속박막층(108)이 형성되어 있다. 여기서 상기 관통홀(106)의 내부를 도전성 페이스트로 충진할 수도 있는데, 이와 같이 도전성 페이스트로 충진될 경우 상기 접속박막층(108)은 별도로 형성하지 않아도 된다.In addition, the insulating resin 107 corresponding to the upper and lower surfaces of the through hole 106 is electrically connected to the outer plating layer 106b, and thereafter, for electrical connection with the upper and lower build-up layers 130 and 130 '. The connecting thin film layer 108 is formed. Here, the inside of the through hole 106 may be filled with a conductive paste. In this case, the connection thin film layer 108 may not be formed separately.

상기와 같은 구성을 가지는 코어층(101)의 상하표면에는 각각 상빌드업층(130)과 하빌드업층(130')이 각각 형성되어 있다.On the upper and lower surfaces of the core layer 101 having the above configuration, the upper and lower buildup layers 130 and 130 'are respectively formed.

상기 상빌드업층(130)은 상기 코어층(101)의 상면에 형성되는 것으로, 상기 코어층(101)의 상면에는 절연수지층(132)이 형성되어 있다. 상기 절연수지층(132)의 표면에는 도금층(134)이 형성된다.The phase build-up layer 130 is formed on an upper surface of the core layer 101, and an insulating resin layer 132 is formed on an upper surface of the core layer 101. The plating layer 134 is formed on the surface of the insulating resin layer 132.

그리고, 상기 도금층(134) 상에는 또 하나의 절연수지층(132')이 형성된다. 그리고, 상기 절연수지층(132') 상에는 필요에 따라 별도의 도금층을 또 형성할 수 있으며, 또한 절연수지층과 도금층을 차례로 필요한 만큼 형성할 수 있다. 본 실시예에서는 상기 상빌드업층(130)이 두개의 층으로 이루어져 있다.In addition, another insulating resin layer 132 ′ is formed on the plating layer 134. In addition, a separate plating layer may be further formed on the insulating resin layer 132 ′ as needed, and an insulating resin layer and a plating layer may be sequentially formed as necessary. In this embodiment, the phase-up layer 130 is composed of two layers.

상기 상빌드업층(130)에는 상기 절연수지층(132,132')에 각각 제1 및 제2홀(136,137)이 천공되어 있다. 상기 제 1 및 제2홀(136,137)은 그 직경이 다르게 형성되어 있으나 설계조건에 따라서는 동일하게 형성될 수도 있다. 그리고, 상기 절연수지층(132')의 표면과 상기 제1 및 제2 홀(136,137)의 내면에는 금속박막층(138)이 형성되어 있다. 상기 금속박막층(138)은 상기 코어층(101)의 접속박막층(108)과의 접촉되어 전기적으로 접속되어 있다.First and second holes 136 and 137 are formed in the insulating layer 132 and 132 ′, respectively, in the phase-up layer 130. The first and second holes 136 and 137 are formed to have different diameters, but they may be formed identically according to design conditions. A metal thin film layer 138 is formed on the surface of the insulating resin layer 132 ′ and the inner surfaces of the first and second holes 136 and 137. The metal thin film layer 138 is electrically connected to and in contact with the connection thin film layer 108 of the core layer 101.

한편, 상기 하빌드업층(130')은 상기 상빌드업층(130)과 비교할 때, 그 구성이 유사하므로 별도의 설명은 생략하고 그 구성요소의 도면부호를 상기 상빌드업층(130)과 동일한 것을 사용하여 도시하였다.On the other hand, since the configuration is similar to that of the build-up layer 130 ′, the separate description is omitted and the same reference numerals as those of the phase-up layer 130. Shown using.

이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 다층 인쇄회로기판(100)의 제조과정을 도 3 및 도 4를 참고하여 상세하게 설명한다.The manufacturing process of the multilayered printed circuit board 100 according to the present invention having such a configuration will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4.

본 발명의 제조방법에서는 먼저, 상기 코어층(101)을 형성하게 된다. 상기 코어층(101)은 구리박막층(104)이 코팅된 수지층(102)을 단독으로 사용하거나, 노광, 에칭, 박리공정을 거쳐 회로를 형성한 후에 여러장을 절연수지를 사이에 두고 적층하여 형성한다. 도 3에는 4층으로된 코어층(101)이 도시되어 있다.In the manufacturing method of the present invention, first, the core layer 101 is formed. The core layer 101 may be formed by using the resin layer 102 coated with the copper thin film layer 104 alone, or after forming a circuit through an exposure, etching, and peeling process, and stacking a plurality of sheets with an insulating resin therebetween. Form. 3 shows a four-layer core layer 101.

이와 같이 다수개의 구리박막층(104)을 형성하여 코어층(101)을 형성한 후에는 상기 코어층(101)을 관통하는 관통홀(106)을 형성하게 된다. 이때, 컴퓨터 수치제어 방법으로 드릴링을 통해 관통홀(106)을 천공하게 된다. 이와 같이 관통홀(106)을 천공하고 난 후에는 드릴링 공정에서 상기 관통홀(106) 내부에 드릴링공정시에 고열에 의해 발생하여 도금시 접속 신뢰성에 나쁜 영향을 미치는 스미어(Smear)를 약품으로 제거하게 된다.As described above, after the plurality of copper thin film layers 104 are formed to form the core layer 101, the through holes 106 penetrating the core layer 101 are formed. At this time, the through hole 106 is drilled through drilling by a computer numerical control method. As described above, after drilling the through hole 106, smears generated by high heat during the drilling process in the drilling hole in the drilling process, which adversely affects the connection reliability during plating, are chemically removed. Done.

상기와 같이 스미어를 제거 한 후에는 상기 코어층(101)의 상하표면과 관통홀(104)의 내부에 도금을 실시하여 각각 내측도금층(106a)과 외측도금층(106b)을 형성한다. 이 때, 상기 내측도금층(106a) 및 외측도금층(106b)은 상기 코어층(101) 내부의 구리박막층(104)과 전기적으로 접속된 상태가 된다.After removing the smear as described above, the upper and lower surfaces of the core layer 101 and the inside of the through hole 104 are plated to form the inner plating layer 106a and the outer plating layer 106b, respectively. At this time, the inner plating layer 106a and the outer plating layer 106b are in a state of being electrically connected to the copper thin film layer 104 inside the core layer 101.

이와 같이 내,외측도금층(106a,106b)을 형성하고 난 후에는 상기 관통홀(106)의 내부를 절연수지(107)로 충진시킨다. 이와 같이 관통홀(106) 내부를 절연수지(107)로 충진시키는 이유는 상기 관통홀(106) 내부에 공간이 존재할 경우 온도변화에 의해 미세하게 크랙이 발생하여 인쇄회로기판의 신뢰성에 영향을 미치기 때문이다.After the inner and outer plating layers 106a and 106b are formed as described above, the inside of the through hole 106 is filled with the insulating resin 107. The reason why the inside of the through-hole 106 is filled with the insulating resin 107 is that when a space exists in the through-hole 106, cracks are minutely generated due to temperature change, which affects the reliability of the printed circuit board. Because.

다음으로는 상기 코어층(101)의 상하표면에 구리도금을 수행하여 접속박막층(108)을 형성하게 된다. 상기 접속박막층(108)은 상기 상,하빌드업층(130,130')과의 전기적 연결을 수행하게 된다. 여기서 필요에 따라서는 상기 관통홀(106)의 내부를 도전성 페이스트로 충진시킬 경우도 있는데, 이때에는 상기와 같이 접속박막층(108)을 형성하지 않아도 된다.Next, copper plating is performed on upper and lower surfaces of the core layer 101 to form a connection thin film layer 108. The connection thin film layer 108 may be electrically connected to the upper and lower build-up layers 130 and 130 ′. If necessary, the inside of the through hole 106 may be filled with a conductive paste. In this case, the connection thin film layer 108 may not be formed as described above.

다음으로는 상기 접속박막층(108)의 표면을 고르게 한 후, 드라이 필름(Dry Film)을 상기 기판의 상하면에 도포(Laminating)한다. 그리고는 통상적인 노광, 현상공정을 거쳐 에칭을 실시한다. 이때, 대략 회로가 형성될 부분은 드라이 필름이 유지되고 그외 부분은 현상공정에서 드라이 필름이 제거되도록 하면 에칭된 부분은 구리도금이 제거되고 수지재가 노출된 상태로 된다.Next, after the surface of the connection thin film layer 108 is even, a dry film is applied to the upper and lower surfaces of the substrate. Then, etching is performed through a normal exposure and development process. At this time, when the dry film is maintained at the portion where the circuit is to be formed, and the dry film is removed at the other portion in the developing process, the etched portion is in a state where the copper plating is removed and the resin material is exposed.

이와 같이 접속박막층(108)에 회로패턴을 형성하고 난 후에는 상,하빌드업층(130,130')을 형성하기에 앞서 코어층(101)과상,하빌드업층(130,130') 사이의 밀착력의 향상을 위해 블랙 옥사이드(black oxide)를 이용하여 표면을 산화시킨다. 그리고는 상기 상,하빌드업층(130,130')을 형성하게 된다.After the circuit pattern is formed on the connection thin film layer 108 as described above, the adhesion between the core layer 101 and the upper and lower build-up layers 130 and 130 'is improved before the upper and lower build-up layers 130 and 130' are formed. In order to oxidize the surface using black oxide (black oxide). Then, the upper and lower build-up layers 130 and 130 'are formed.

먼저, 액상 혹은 고체 상태의 감광성 절연수지 혹은 열경화성 절연수지로 절연수지층(132)을 형성한다. 이때, 상기 절연수지층(132)은 적층 프레스법을 이용하거나 열라미네이팅 또는 인쇄기법을 이용하여 상기 접속박막층(108) 상에 형성한다. 여기서 만약 액상으로 된 절연수지를 사용한 경우에는 감광성, 열경화성에 관계없이 절연층을 형성한 후에 표면의 두께를 일정하게 유지시켜 주기 위해 표면을 연마해주는 표면연마공정(levelling)을 실시한다. 그리고 액상 절연수지인 경우에 감광성, 열경화성에 관계없이 접착강도를 향상시키기 위해 도금전에 표면적을 증대시켜주어야 한다. 따라서 기판의 두께를 일정하게 해주는 연마공정을 거친 후에 표면을 거칠게 하여 이후의 도금층의 밀착력이 향상되도록 한다.First, the insulating resin layer 132 is formed of a photosensitive insulating resin or a thermosetting insulating resin in a liquid or solid state. In this case, the insulating resin layer 132 is formed on the connection thin film layer 108 by using a lamination press method or by thermal laminating or printing. In this case, if a liquid insulating resin is used, a surface polishing process is performed to polish the surface in order to maintain a constant thickness after forming an insulating layer regardless of photosensitivity and thermosetting. And in the case of liquid insulating resin, the surface area should be increased before plating to improve the adhesive strength regardless of photosensitivity and thermosetting. Therefore, after the polishing process to make the thickness of the substrate constant, the surface is roughened to improve the adhesion of the subsequent plating layer.

그리고는 상기 절연수지층(132) 상에 구리도금을 실시하여 금속박막층(134)을 형성한다. 이와 같은 상태가 도 4a에 도시되어 있다.Then, copper plating is performed on the insulating resin layer 132 to form a metal thin film layer 134. This state is shown in FIG. 4A.

그리고는 상기 금속박막층(134)의 도금된 면을 고르게 하는 작업을 한 후에는 통상적인 노광, 현상 및 에칭을 수행하여 회로패턴을 형성한다. 이때, 상기 제1홀(136)이 형성되는 위치에는 상기 도금층(134)이 제거되어 절연수지층(132)이 노출된 상태로 된다. 이와 같은 상태가 도 4b에 도시되어 있다.After the operation of evening the plated surface of the metal thin film layer 134 is performed, conventional exposure, development, and etching are performed to form a circuit pattern. In this case, the plating layer 134 is removed at the position where the first hole 136 is formed to expose the insulating resin layer 132. This state is shown in FIG. 4B.

한편, 상기 상,하빌드업층(130,130')의 2단으로 하기 위해서는 상기 도금층(134) 상에 절연수지층(132')을 형성하고 연마공정등을 수행하게 된다. 이와같은 상태가 도 4c에 도시되어 있다.Meanwhile, in order to form two stages of the upper and lower build-up layers 130 and 130 ', an insulating resin layer 132' is formed on the plating layer 134 and a polishing process is performed. This state is shown in FIG. 4C.

다음으로는 상기 상,하빌드업층(130,130')의 절연수지층(132,132')을 관통하여 제1 및 제2홀(136,137)을 형성하게 된다. 상기 홀(136,137)의 형성은 포토비아(photo via)가공을 통해 형성한다. 이와 같은 제1 및 제2홀(136,137)의 형성은 하나의 공정에서 동시에 이루어진다. 이때, 상기 제1 및 제2홀(136,137)의 중심은 상기 관통홀(106)의 중심과 대략 일치시키는 것이 배선밀도가 가장 좋게 된다. 이와 같은 상태가 도 4d에 도시되어 있다. 참고로 상기 제1 및 제2홀(136,137)의 직경은 동일하게 할 수도 있다.Next, first and second holes 136 and 137 are formed through the insulating resin layers 132 and 132 'of the upper and lower build-up layers 130 and 130'. The holes 136 and 137 are formed through photo via processing. The first and second holes 136 and 137 are formed at the same time in one process. At this time, the center of the first and second holes (136, 137) is approximately the same as the center of the through hole 106 is the best wiring density. This state is shown in FIG. 4D. For reference, the diameters of the first and second holes 136 and 137 may be the same.

그리고는 상기 절연수지층(132'), 제1 및 제2 홀(136,136')의 표면적을 넓혀주는 표면조도화 공정을 수행하고, 그 표면에 구리도금을 행하여 금속박막층(138)을 형성한다. 상기 금속박막층(138)은 상기 금속박막층(134) 및 상기 접속박막층(108)과 전기적으로 연결된다. 이와 같은 상태가 도 4e에 도시되어 있다. 또한 상기 금속박막층(138)에 노광, 현상 및 에칭 공정을 통해 회로패턴을 형성하게 된다.Then, a surface roughening process for increasing the surface area of the insulating resin layer 132 ′ and the first and second holes 136 and 136 ′ is performed, and copper plating is performed on the surface to form the metal thin film layer 138. The metal thin film layer 138 is electrically connected to the metal thin film layer 134 and the connection thin film layer 108. This state is shown in FIG. 4E. In addition, a circuit pattern is formed on the metal thin film layer 138 through exposure, development, and etching processes.

그 외에 상기 기판의 상하면에 솔더 리지스트(Solder resist)를 도포한 후 건조시키고 노광, 현상의 공정을 거쳐 PSR을 형성하고, 인쇄회로기판(100)에 실장되는 부품의 리드나 볼이 탑재되는 부위에 금도금 혹은 플럭스(Flex), 홀(Hal)등으로 회로패턴이 산화되는 것을 방지하고 부품 실장시 밀착력을 향상시키는 처리를 하게 된다.In addition, a solder resist is applied to the upper and lower surfaces of the substrate, dried, exposed, developed to form a PSR, and a part where a lead or a ball of a component mounted on the printed circuit board 100 is mounted. Gold plating, flux, hole, etc. prevents the circuit pattern from being oxidized and improves adhesion when mounting parts.

한편, 도 5에는 금속박막층(134')이 절연수지층(132')에 미리 부착된 상태의원재료(RCC: Resin Coated Copper)를 사용하는 경우를 도시하고 있다. 이와 같은 경우에는 상기 코어층(101)을 형성하고 난 후에 각각 금속박막층(134,134')이 접착된 상태의 원재료를 적층한 후 통상의 에칭방법으로 상기 금속박막층(134,134')에 회로패턴을 형성함과 동시에 제1 홀(136) 및 제2 홀(137)이 형성될 부분의 금속박막층(134,134')을 제거한다. 이 후에 상기 제1 및 2 홀(136,137)을 형성하고, 그 내부의 불순물을 제거한 후 상기 금속박막층(134'), 제1 및 제2 홀(136,137) 상에 금속박막층(138')을 형성한다. 이와 같은 금속박막층(138')은 상기 접속박막층(108), 금속박막층(134,134')과 전기적으로 연결된다. 그리고, 상기 금속박막층(138') 상에 회로패턴이 형성된다. 여기서 상기 제1 및 제2 홀(136,137)의 형성은 각각 상기 금속박막층(134,134')를 각각의 직경만큼 제거하고 이산화탄소 레이저 가공법, 플라즈마가공법 등으로 절연수지층(132,132')을 제거하고, 그 내부에 불순물을 제거하게 된다.5 illustrates a case in which a raw material (RCC: Resin Coated Copper) having a state in which the metal thin film layer 134 'is previously attached to the insulating resin layer 132' is shown. In this case, after the core layer 101 is formed, the raw materials in the state in which the metal thin film layers 134 and 134 'are bonded are laminated, and a circuit pattern is formed in the metal thin film layers 134 and 134' by a conventional etching method. At the same time, the metal thin film layers 134 and 134 ′ of the portions where the first holes 136 and the second holes 137 are to be formed are removed. Thereafter, the first and second holes 136 and 137 are formed, and impurities are removed therein, and then the metal thin film layer 138 'is formed on the metal thin film layer 134' and the first and second holes 136 and 137. . The metal thin film layer 138 ′ is electrically connected to the connection thin film layer 108 and the metal thin film layers 134 and 134 ′. A circuit pattern is formed on the metal thin film layer 138 '. The first and second holes 136 and 137 may be formed by removing the metal thin film layers 134 and 134 'by their respective diameters, and removing the insulating resin layers 132 and 132' by carbon dioxide laser processing and plasma processing, respectively. Will remove impurities.

한편, 상기 제2홀(137)의 직경을 제1홀(136)보다 크게 하는 것은 상기 제1,2홀을 다수개 형성할 경우 제1홀(136)을 가공후에 제2홀을 가공하므로 이들 사이의 위치편차를 보정하기 위한 것으로, 제1홀과 제2홀의 위치가 약간 어긋나는 경우에도 대략 제1,2홀의 위치를 일치시키는 것이 가능하다.On the other hand, the diameter of the second hole 137 is larger than the first hole 136, when forming a plurality of the first and second holes, the first hole 136 after processing the second hole after processing these In order to correct the positional deviation between them, even if the position of a 1st hole and a 2nd hole shifts slightly, it is possible to substantially match the position of a 1st, 2nd hole.

그리고, 본 실시예에서는 상기 제1 및 제2홀(136,137)을 형성하기 위해 도금층(134)과 절연수지층(132)의 동시제거가 가능한 포토 비아(photo via)가공법을 사용하였지만, 이외에도 CO2레이저 가공법, 플라즈마가공법, 야그(YAG)레이저 가공법등이 있다. 여기서 상기 야그레이저 가공법은 도금층(134)과 절연수지층(132)의 동시제거가 가능하나, CO2레이저 가공법 및 플라즈마가공법을 사용하게 되면 상기 도금층(134)을 미리 제거하여야 한다.In the present embodiment it has been used for the first and second holes (136 137) simultaneously removing the available port via (photo via) of the plate layer 134 and the insulating resin layer 132 to form a processing method, in addition to CO 2 Laser processing, plasma processing, and yag laser processing. In the yag laser processing method, the plating layer 134 and the insulating resin layer 132 may be removed at the same time. However, when the CO 2 laser processing method and the plasma processing method are used, the plating layer 134 should be removed in advance.

따라서, CO2레이저 가공법과 플라즈마가공법을 사용하게 되면 에칭으로 회로패턴을 형성시 상기 제1홀(136)이 위치하는 부분의 도금층(134)을 동시에 제거하고 절연수지층(132)을 노출시킨다. 이와 같은 상태에서 빌드업층을 다단으로 하는 경우 다시 절연수지층(132')을 형성한다. 따라서, 상기 도금층(134)이 제거되어 노출된 절연수지층(132) 부분, 즉 제1홀(136)이 위치될 부분에서 상기 절연수지층(132,132')은 서로 연결된다. 이후에 상기 절연수지층(132') 상에 최외각 도금층(134')을 형성하고 회로패턴의 형성을 위한 에칭시에 제2홀(137)의 직경 만큼 도금층(134')을 제거하고 CO2레이저 가공법이나 플라즈마가공법을 사용하여 제1 및 제2홀(136,137)을 형성하고 불순물을 제거한 후 금속박막층(138)을 형성하게 된다.Therefore, when the CO 2 laser processing method and the plasma processing method are used, when the circuit pattern is formed by etching, the plating layer 134 of the portion where the first hole 136 is located is simultaneously removed and the insulating resin layer 132 is exposed. In this state, when the build-up layer is multistage, the insulating resin layer 132 ′ is formed again. Therefore, the insulating resin layers 132 and 132 'are connected to each other at the portion of the insulating resin layer 132 exposed by removing the plating layer 134, that is, the portion where the first hole 136 is to be located. Subsequently, the outermost plating layer 134 'is formed on the insulating resin layer 132', and during the etching for forming the circuit pattern, the plating layer 134 'is removed by the diameter of the second hole 137 and the CO 2 is removed. The first and second holes 136 and 137 are formed by using a laser processing method or a plasma processing method, and the metal thin film layer 138 is formed after removing impurities.

한편, 상기 상,하빌드업층(130,130')은 양쪽 모두 반드시 형성되어야 하는 것은 아니며 설계조건에 따라 어느 한쪽만 형성할 수도 있다. 그리고, 각각의 상,하빌드업층(130,130')의 층수는 필요에 따라 상기한 공정을 반복하여 여러층으로 형성할 수 있다.On the other hand, the upper, lower build-up layer (130, 130 ') is not necessarily both formed, either may be formed depending on the design conditions. In addition, the number of layers of each of the upper and lower build-up layers 130 and 130 'may be formed in several layers by repeating the above process as necessary.

위에서 상세히 설명한 바와 같은, 본 발명에 의한 인쇄회로기판의 제조방법에 따르면, 층사이의 전기적 접속이 요구되는 다층 인쇄회로기판에서 코어층에는 컴퓨터 수치제어 드릴로 관통홀을 형성하고, 코어층의 상하부에 상,하빌드업층을 형성하여 구성한 것으로 인쇄회로기판 전체를 상하로 관통하는 관통홀이 필요없게 되어 부품실장부의 불필요한 면적을 최소로 줄여 실장밀도를 높여 줄 수 있는 효과가 있다.According to the method of manufacturing a printed circuit board according to the present invention as described in detail above, in a multilayer printed circuit board in which electrical connection between layers is required, through-holes are formed in the core layer with a computer numerical control drill, and the upper and lower portions of the core layer. Since the upper and lower build-up layers are formed in the upper part, the through-hole penetrating the entire printed circuit board is not required, thereby reducing the unnecessary area of the component mounting part to a minimum, thereby increasing the mounting density.

그리고, 이와 같이 적층된 층 사이의 접속구조에 의하면 불필요한 홀과 그에 따른 랜드를 제거할 수 있어 회로의 직선설계가 용이하게 되어 신호의 고속화를 이룰 수 있고, 기판의 소형화, 경량화를 통해 기존의 방법보다 공정이 훨씬 단순하게 되는 효과가 있다.In addition, according to the connection structure between the stacked layers, unnecessary holes and lands can be eliminated, so that the linear design of the circuit can be easily performed, thereby speeding up the signal, and reducing the size and weight of the substrate. The effect is much simpler.

또한 포토 비아가공법으로 가공시에는 절연수지층의 표면에 금속박막층의 두께가 얇아져서 종래에 2개 내지 3개의 층으로 된 경우보다 회로패턴이 형성되는 금속박막층의 전체 두께가 얇아져서 회로패턴의 형성시에 발생되는 침식현상을 최소화할 수 있어 미세한 회로패턴을 형성할 수 있게 되는 효과도 있다.In addition, when the photo via processing is performed, the thickness of the metal thin film layer on the surface of the insulating resin layer becomes thinner, and thus the overall thickness of the metal thin film layer on which the circuit pattern is formed becomes thinner than the case of two to three layers. There is also an effect that can minimize the erosion generated at the time to form a fine circuit pattern.

Claims (11)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 다수의 제1절연체와 제1도전성박막을 차례로 적층하며 코어층을 제작하는 단계,Manufacturing a core layer by sequentially stacking a plurality of first insulators and a first conductive thin film, 상기 코어층의 절연체와 도전성 박막을 관통하여 관통홀을 형성하고, 상기 도전성 박막을 전기적으로 연결하는 도전층을 형성하는 단계;Forming a through hole through the insulator of the core layer and the conductive thin film, and forming a conductive layer electrically connecting the conductive thin film; 상기 관통홀의 도전층간을 상호 연결하는 접속박막층을 형성하는 단계;Forming a connection thin film layer interconnecting the conductive layers of the through hole; 상기 코어층의 표면에 노출된 제1도전성 박막에 연속하여 적어도 하나 이상의 제2절연체와 제2도전성박막을 적층하는 단계,Stacking at least one second insulator and a second conductive thin film successively on the first conductive thin film exposed on the surface of the core layer; 상기 관통홀의 직상부에 해당하는 상기 접속박막층 상측에 상기 제2절연체와 제2도전성박막을 관통하는 비어홀을 형성하고, 상기 비어홀에 상기 접속박막층과 상기 제2도전성박막을 전기적으로 연결하는 도전층을 형성하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판의 제조방법.A via layer penetrating the second insulator and the second conductive thin film is formed above the connection thin film layer corresponding to the upper portion of the through hole, and a conductive layer electrically connecting the connection thin film layer and the second conductive thin film to the via hole. Method of manufacturing a multilayer printed circuit board, characterized in that it comprises a step of forming. 제 8 항에 있어서, 상기 제2절연체와 제2도전성박막을 관통하는 비어홀은 포토비아(photo via)가공방법으로 형성됨을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판의 제조방법.The method of claim 8, wherein the via hole penetrating the second insulator and the second conductive thin film is formed by a photo via processing method. 제 8 항에 있어서 상기 제2절연체와 제2도전성박막을 관통하는 비어홀은 상기 제2도전성박막에 회로패턴을 에칭으로 형성하면서, 상기 비어홀의 형성위치의 제2도전성박막을 상기 비어홀의 직경만큼을 에칭을 통해 제거하고 CO2레이저 가공법이나 플라즈마가공법을 사용하여 상기 제2절연체를 제거하여 형성함을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판의 제조방법.10. The via hole of claim 8, wherein the via hole penetrating the second insulator and the second conductive thin film is formed by etching a circuit pattern on the second conductive thin film, thereby forming the second conductive thin film at the position where the via hole is formed by the diameter of the via hole. And removing the second insulator by using a CO 2 laser processing method or a plasma processing method. 제 8 항에 있어서, 상기 비어홀은 제1비어홀과 상기 제1비어홀보다 직경이 큰 제2비어홀로 구성되며, 상기 제1비어홀과 제2비어홀의 중심을 대략 일치시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판의 제조방법.The multilayer printing of claim 8, wherein the via hole comprises a first via hole and a second via hole having a diameter larger than that of the first via hole, and is formed by substantially coinciding the centers of the first via hole and the second via hole. Method of manufacturing a circuit board.
KR1019990015616A 1999-04-30 1999-04-30 The manufacturing method for multi-layer pcb KR100353355B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990015616A KR100353355B1 (en) 1999-04-30 1999-04-30 The manufacturing method for multi-layer pcb

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990015616A KR100353355B1 (en) 1999-04-30 1999-04-30 The manufacturing method for multi-layer pcb

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990064701A KR19990064701A (en) 1999-08-05
KR100353355B1 true KR100353355B1 (en) 2002-10-09

Family

ID=37489320

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990015616A KR100353355B1 (en) 1999-04-30 1999-04-30 The manufacturing method for multi-layer pcb

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100353355B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030071112A (en) * 2002-02-27 2003-09-03 삼성전기주식회사 Build-up printed circuit board and process for making the same

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1768559B (en) * 2003-04-07 2011-12-07 揖斐电株式会社 Multilayer printed wiring board

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0936551A (en) * 1995-05-15 1997-02-07 Ibiden Co Ltd Single-sided circuit board for multilayer printed wiring board use, multilayer printed wiring board and manufacture thereof
JPH09321431A (en) * 1996-05-29 1997-12-12 Kyocera Corp Wiring board and its manufacture

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0936551A (en) * 1995-05-15 1997-02-07 Ibiden Co Ltd Single-sided circuit board for multilayer printed wiring board use, multilayer printed wiring board and manufacture thereof
JPH09321431A (en) * 1996-05-29 1997-12-12 Kyocera Corp Wiring board and its manufacture

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030071112A (en) * 2002-02-27 2003-09-03 삼성전기주식회사 Build-up printed circuit board and process for making the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990064701A (en) 1999-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100346400B1 (en) Multi-layer pcb and the manufacturing method the same
JP2658661B2 (en) Method for manufacturing multilayer printed wiring board
US4663497A (en) High density printed wiring board
EP0028657A1 (en) Hollow multilayer printed wiring board, and method of fabricating same
US7381587B2 (en) Method of making circuitized substrate
JP2007142403A (en) Printed board and manufacturing method of same
KR100499008B1 (en) Two-sided PCB without via hole and the manufacturing method thereof
JP2006049793A (en) Parallel system manufacturing method of printed circuit board
KR100751470B1 (en) Multilayer board and its manufacturing method
US20120080401A1 (en) Method of fabricating multilayer printed circuit board
KR100349119B1 (en) A printed circuit board and method of fabricating thereof
US6887560B2 (en) Multilayer flexible wiring circuit board and its manufacturing method
US20070132087A1 (en) Via hole having fine hole land and method for forming the same
KR100353355B1 (en) The manufacturing method for multi-layer pcb
EP0275686A1 (en) Improved multi-layer printed circuit boards, and methods of manufacturing such boards
JPH11261236A (en) Multi-layer printed wiring board and manufacture thereof
KR100658972B1 (en) Pcb and method of manufacturing thereof
EP0108116B1 (en) High density printed wiring board
KR100294157B1 (en) Manufacturing method for interconnecting multilayer circuit board
JP2005108941A (en) Multilayer wiring board and its manufacturing method
KR100313612B1 (en) Method of making blind-via hole in PCB
JPH11289165A (en) Multilayer wiring board and method for manufacturing the same
KR20030071391A (en) Method for creating bump and making printed circuit board using the said bump
JPH0818228A (en) Manufacture of multi-layer printed board
JPH11284342A (en) Package and manufacture thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110613

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee