KR100352772B1 - Device for enhancing contact checking - Google Patents

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KR100352772B1
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Abstract

검사 절차를 시작하기 전에 검사대에서 소형 세라믹 칩 커패시터와 같은 측정용 전자부품의 존재여부를 검사하기 위해서 검사장치의 감도를 증가시키는 감도 증가장치는, 1보다 큰 배수로 검사장치로부터 들어오는 교류 신호를 증가하기 위한 검사장치와 함게 동작 가능하도록 정렬된 입력과 출력을 갖는 신호 부스터를 포함하며, 그 측정용 전자 부품을 배치하기 위해 그 신호 부스터의 그 입력을 그 검사 장치와 그 검사대의 신호 출력 사이에 연결하고, 그 검사장치의 감도 범위 내에서 전자 구성요소의 용량을 측정할 수 있게 하는 배수로 그 검사 프로그램의 신호를 증폭하기 위해 그 신호 부스터의 그 출력을 독립적인 직류 전원 공급기와 그 검사대 사이에 연결하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 감도 증가장치.A sensitivity increasing device that increases the sensitivity of the inspection device to check the presence of measurement electronic components, such as small ceramic chip capacitors, on the test bench prior to beginning the inspection procedure, increases the AC signal from the inspection device in multiples of one. A signal booster having an input and an output arranged to be operable with an inspection device for connecting the signal booster between the input of the signal device and the signal output of the test table to position the measuring electronic component. Connecting the output of the signal booster between an independent dc power supply and the test bench in order to amplify the signal of the test program in a multiple that allows the capacity of the electronic component to be measured within the sensitivity of the test apparatus. Sensitivity increase device of the inspection device characterized in that.

Description

콘택트 검사 개량 장치{DEVICE FOR ENHANCING CONTACT CHECKING}Contact inspection improvement device {DEVICE FOR ENHANCING CONTACT CHECKING}

본 발명은 소형 전기소자 측정 및 검사 분야에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 휼릿 패커드 4349B와 같은 고저항 전기 측정기구의 성능을 개량하는 장치와, 그들 현존 범위의 최소 한계 이하의 "부품 존재(Parts Present)" 분야에서 그러한 기구의 감도를 증가시키는 장치를 이용하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to the field of small electrical device measurement and inspection. In particular, the present invention is directed to devices that improve the performance of high-resistance electrical measuring instruments, such as Mercy Packard 4349B, and devices that increase the sensitivity of such instruments in the field of "Parts Present" below the minimum limit of their existing range. It is about how to use.

0.02O × 0.020 × 0.040 인치 만큼 작은 외부 치수를 측정할 수 있고 1 피코패럿(pF) 이하의 용량을 나타낼 수 있는 소형 세라믹 전기 커패시터 칩의 분야에 있어서, 그 부분을 통해서 약간의 DC 누설전류를 발생하는 한정 병렬 용량이 존재한다고 알려져 있다. 커패시터 칩들은 컴퓨터의 작동 및 많은 다른 전자 기구에 필수적이기 때문에, DC(direct current) 누설전류를 측정하여 이들 칩을 분류하는 것은 중요하다. 종래의 기술분야에서는 휼릿 패커드 모델 4349B와 같은 고저항 측정 기구가 사용되었다.In the field of small ceramic electric capacitor chips capable of measuring external dimensions as small as 0.02O × 0.020 × 0.040 inch and exhibiting capacities below 1 picofarad (pF), a small DC leakage current is generated through the portion. It is known that a limited parallel capacitance exists. Since capacitor chips are essential for computer operation and many other electronic devices, it is important to classify these chips by measuring direct current (DC) leakage current. In the prior art, a high resistance measuring instrument such as a Hewlett Packard model 4349B has been used.

세라믹 커패시터(칩) 산업에 있어서는, 휼릿 패커드 4349B 측정기가 고속 소자 "핸들러(handler)" 또는 높은 작업처리율에서 이들 커패시터를 통해 DC 누설전류를 측정하는 처리기계에 연결되어 있었다. 이 핸들러들은 검사되지 않은 커패시터 칩들을 받아서, 그들을 개별적으로 또는 병렬로 검사대에 가져가고, 그 검사대에서 핸들러는 DC 누설 검사를 위해, 커패시터 단자들을 검사기구(일측에 전류 제한 전원 공급기 및 HP 4349B 또는 타측에 고저항/저전류 측정 장치와 같은 검사기구)에 연결한다. 누설 검사 전후에, 측정기구는 검사 프로토콜, "부품 존재" 또는 "콘택트 검사"를 수행하여, 양측이 검사 회로에 적절하게 접속되는 검사대에서 커패시터의 존재를 검증한다. 이 프로토콜은, 높은 누설 특성을 가진 부품이 "양호한" 부품으로서 분류될 수 있기 때문에, 검사대에서 그 부품이 검사 회로 내에 적절하게 접속되게 하기 위한 것이다.In the ceramic capacitor (chip) industry, a Hewlett Packard 4349B meter was connected to a high speed device “handler” or processing machine that measured DC leakage current through these capacitors at high throughput rates. These handlers take unchecked capacitor chips and take them individually or in parallel to the test station, where the handlers check the capacitor terminals (current limiting power supply on one side and the HP 4349B or the other side) for DC leakage testing. To an inspection instrument such as a high resistance / low current measurement device. Before and after the leak test, the measuring instrument performs a test protocol, "component present" or "contact test" to verify the presence of the capacitors at the test table where both sides are properly connected to the test circuit. This protocol is intended to allow the parts to be properly connected in the inspection circuit at the inspection table since parts with high leakage characteristics can be classified as "good" parts.

BP 4349B의 경우에 있어서, 트라이액스 케이블(triax cable)에 의해 D.U.T.(DeviceUnderTest)의 LO 측에 그 기구가 접속되며, 이 케이블의 내부 컨덕터는 D.U.T.으로부터 DC 전류신호를 전달하고, 내부 쉴드(inner shield)는 "부품 존재"의 시간에 4349B 내에서 발생된 약 0.5MHz(Mega Hertz)의 HF(high frequency) 가드(guard) 신호를 전달하며, 트라이액스의 외부 쉴드는 접지된다.In the case of BP 4349B, triax cable, and the mechanism is connected to the LO side of the DUT (D evice U nder T est) by (triax cable), the inner conductor of the cable and passes the DC current signal from the DUT, The inner shield carries a high frequency (HF) guard signal of about 0.5 MHz (Mega Hertz) generated within 4349B at the time of “parts present”, and the outer shield of the Triax is grounded.

또, 전원에 직접 접속하는 D.U.T.의 HI 측은 본래 고주파수로 접지된다. "부품 존재" 검사 중에, 가드(guard)를 구동하는 HF 신호는 트라이액스 케이블의 내부 인덕터에 동일한 진폭으로 4349B에 의해 인가된다. 따라서, 존재하는 세라믹 커패시터 또는 존재하지 않는 세라믹 커패시터에 대한 적절한 접속이 없을 때에는, 가드(그것의 외부 단부가 개방된 상태)를 통해서 흐르는 HF 전류는 내부 컨덕터를 통해서 흐르는 전류와 같아서 부품이 검출되지 않을 것이다. 그러나, 검사대에서 존재 부품에 대한 적절한 접속의 경우에, 이들 전류는 같지 않을 것이고, 적절하게 접속된 부품 존재는 4349B에 의해 인식될 것이다. "부품 존재 없음(NO PART PRESENT)" 분류가 행해진 경우에는, 이 분류는 검사대에 존재했던 임의의 부품의 재검사를 요구하고, 누설전류 검사로부터 유래되는 임의의 분류보다 우선권이 있다.In addition, the HI side of D.U.T., which is directly connected to the power supply, is grounded at high frequency. During the "component present" check, the HF signal driving the guard is applied by 4349B with the same amplitude to the internal inductor of the triax cable. Thus, in the absence of a suitable connection to an existing or non-existent ceramic capacitor, the HF current flowing through the guard (with its outer end open) is equal to the current flowing through the inner conductor so that the component will not be detected. will be. However, in the case of a proper connection to the part present at the inspection table, these currents will not be equal and the presence of a properly connected part will be recognized by 4349B. If a "NO PART PRESENT" classification has been performed, this classification requires re-inspection of any part that was present on the inspection table and takes precedence over any classification derived from the leakage current inspection.

이 종래기술 실행의 결점은, 비록 검사대에서 적절한 접속이 이루어지더라도, 2pF 미만의 용량을 가진 부품이 종종 미검출된다는 것이다.The drawback of this prior art practice is that parts with a capacity of less than 2 pF are often undetected, even if proper connections are made at the inspection table.

본 발명은 HP4349B가 검사대에서 그 부품이 0.75pF 만큼 낮은 용량을 갖더라도 부품이 존재하는지 그리고 양호한 접촉이 이루어지는지의 여부를 결정하는 장치 및 그 장치를 이용하는 방법이다. 이 장치에 대하여, 이 장치는, HP4349B 입력 트라이액스 케이블의 내부 가드 쉴드 및 외부 접지 쉴드로부터 구동된 차동입력을 갖는 트랜스포머, 증폭기 또는 다른 동등한 소자인 "신호 부스터{signal booster}"를 구비한다. 이 소자의 출력은 고전압 제한 전원 공급기로부터의 출력과 직렬로 연결되고, 4349B로부터 직접 도출되는 D.U.T.을 거친 HF 가드 전압에 더해져, 임의의 방법으로 이 소유기구의 내부 변형 없이 HP-4349B 내의 "부품 존재" 검출 회로의 감도와 이 신호의 진폭을 증가시킬 수 있다.The present invention is a device and method of using the device in which the HP4349B determines whether a part is present and whether good contact is made, even if the part has a capacity as low as 0.75 pF at the inspection station. For this device, the device has a "signal booster" which is a transformer, amplifier or other equivalent element having a differential input driven from an internal guard shield and an external ground shield of the HP4349B input triax cable. The device's output is connected in series with the output from the high-voltage limiting power supply and added to the HF guard voltage via the DUT derived directly from the 4349B, which in some way eliminates the "parts present" in the HP-4349B without internal modification of this possessor. "The sensitivity of the detection circuit and the amplitude of this signal can be increased.

특히, 본 발명의 일면은, 검사기구의 제2 또는 제3 검사가 검사대 내에 소자의 존재 검출과 피시험장치(Device-Under-Test)를 통해서 겹친 고주파 신호에 의해 수행될 경우, 전자 소자들의 중요 파라메터(저항, 커패시터 또는 인덕터))에 대한 전자 소자들을 검사하는 중요한 기능을 갖는 검사 기구의 제2 또는 제3 검사의 최소 감도를 증가시킬 수 있는 것이다. "적절한 접속"은 중요 검사의 정확도 또는 그 기구의 어떤 다른 기능을 저하시키지 않을 만큼 낮은 저항값이 되는 것을 의미한다.In particular, one aspect of the present invention is that, when the second or third inspection of the inspection mechanism is performed by a high frequency signal superimposed through the detection of the presence of the element in the inspection table and through a device-under-test, the importance of the electronic elements is important. It is possible to increase the minimum sensitivity of the second or third inspection of the inspection instrument, which has an important function of inspecting the electronic elements for the parameter (resistance, capacitor or inductor). "Proper connection" means a resistance value that is low enough not to compromise the accuracy of critical inspection or any other function of the instrument.

따라서, 본 발명의 주목적은, 고저항 누설 검사가 실행되기 전에 검사대에서 DUT의 존재를 결정하는 수단을 제공한다. 본 발명의 다른 목적은, 전기 누설 검사를 수행하기 위해서, 세라믹 칩 커패시터 상에 개시되고 값이 무엇으로 기록되든지 검사 회로는 검사대의 커패시터의 값이 될 것이라는 것을 검증하기 위한 장치 및 이를 이용한 방법을 포함하되, 수행하는 시간을 줄여서 다른 커패시터의 검사 기계의 유용성을 증가시키도록 전기 누설의 전자적 검사를 끝내기 위한 수단과, 그 작동 시간을 줄이기 위해 소자 핸들러의 세라믹 칩 커패시터의 처리량을 증가시키고 그에 따라 양질의 세라믹 칩 커패시터의 생산 비용을 줄이기 위한 수단과, 세라믹 칩 커패시터의 그 비용을 커패시터 검사 기계의 효율성을 증가시킴으로써 낮추기 위한 수단과, 그리고 2.0pF 또는 이 보다 작은 용량을 갖는 커패시터의 존재에 대해 시험하기 위해 세라믹 커패시터 검사 기계 성능을 증가시킴으로써 장비 검사를 위한 자본 지출을 줄이기 위한 수단을 포함한다.Accordingly, a primary object of the present invention is to provide a means for determining the presence of a DUT at a test bench before a high resistance leak test is performed. Another object of the invention includes an apparatus and method using the same for verifying that the test circuit will be the value of the capacitor of the test stand, which is disclosed on the ceramic chip capacitor and no matter what value is written in order to perform an electrical leak test. Means for completing the electronic inspection of electrical leakage to reduce the time it takes to increase the usefulness of the inspection machine for other capacitors, and to increase the throughput of the ceramic chip capacitors of the element handler to reduce its operating time and thereby Means for reducing the production cost of ceramic chip capacitors, means for lowering the cost of ceramic chip capacitors by increasing the efficiency of the capacitor inspection machine, and for testing for the presence of capacitors having a capacity of 2.0 pF or less. Increase ceramic capacitor inspection machine performance By a means to reduce capital outlay for equipment inspection.

도 1은 휼릿 패커드(HP) 4349B 테스트 장치를 이용한 종래의 "콘택트 검사" 또는 "부품 존재(part present)" 회로의 개략도,1 is a schematic diagram of a conventional "contact inspection" or "part present" circuit using a Hewlett Packard (HP) 4349B test apparatus,

도 2는 도 1에 나타낸 바와 같이 동일한 회로를 변경한 본 발명의 바람직한 실시예의 개략도.FIG. 2 is a schematic diagram of a preferred embodiment of the present invention with the same circuit modified as shown in FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : HP4349B 고저항 측정기 3 : 토로이드 트랜스포머1: HP4349B high resistance meter 3: toroidal transformer

5, 7, 9 : 권선 13 : DC 전류 측정그룹5, 7, 9: Winding 13: DC current measuring group

15 : 고주파 측정 그룹 17 : 블록킹 커패시터15: high frequency measurement group 17: blocking capacitor

19 : 활성 내부 컨덕터 21 : 활성 내부 가드 쉴드19: Active Inner Conductor 21: Active Inner Guard Shield

25 : 제 1 트라이액 케이블 27 : 검사대25: first triac cable 27: inspection table

29 : 신호선 31 : 고전압 전원 공급기29 signal line 31 high voltage power supply

33 : HI-측 컨덕터의 용량 37, 39 : 커패시터33: capacity of the HI-side conductor 37, 39: capacitor

41 : 제 2 트라이액스 케이블 43 : 제 1 권선41: second triax cable 43: first winding

45 : 부스터 장치 49 : 트랜스포머45 booster device 49 transformer

51 : 제 2 권선51: second winding

이들과 본 발명의 다른 목적은 이에 첨부된 도면들에 따른 바람직한 실시예의 설명을 읽음으로써 결정할 수 있다. 본 발명자가 보는 보호 사상은 본 명세서를 포함하는 청구범위의 명확한 판독으로부터 찾아낼 수 있다.These and other objects of the present invention can be determined by reading the description of the preferred embodiment according to the accompanying drawings. The spirit of protection seen by the inventor can be found from the clear reading of the claims, including this specification.

전체 도면에서, 소자에는 참조부호가 부여되고, 동일한 소자에는 동일 참조부호가 부여되어 있다. 도 1은 세라믹 칩 커패시터의 누설값을 결정하는 전형적인검사 시스템을 나타낸다. 본 발명은 세라믹 칩 커패시터에 대해서 도시되어 있지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는, 본 발명이 DUT(Device Under Test)의 존재 및 그것에의 적절한 전기적 접촉을 전자적으로 검사할 필요가 있는 그 밖의 상황에서 사용될 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다.In all the drawings, elements are given the same reference numerals, and identical elements are given the same reference numerals. 1 shows a typical inspection system for determining the leakage value of a ceramic chip capacitor. While the present invention is illustrated with respect to ceramic chip capacitors, those skilled in the art will appreciate that other situations in which the present invention needs to electronically check for the presence of a device under test (DUT) and proper electrical contact therewith. It will be appreciated that it can be used in.

HP4349B에 대하여, 그것은 누설 측정을 위한 4개의 동일한 입력 채널을 갖지만, 명확함을 위해, 1개의 채널만이 도시 및 설명되어 있다. 본 발명은 동등하게 전체 4개의 채널로 구성되어 있다는 것을 알 수 있을 것이다.For the HP4349B, it has four identical input channels for leak measurements, but for clarity only one channel is shown and described. It will be appreciated that the present invention is composed of four channels in total.

도 1을 참조하면, HP4349B 고저항 측정기(High Resistance Meter)(1)는 3개의 권선들(5, 7, 9), DC 전류 측정 그룹(13) 및 고주파 측정그룹(15), 블록킹 커패시터(17)를 경유하여 HP4349B의 입력회로에 연결되는 입력을 갖는 토로이드(toroid) 트랜스포머(3)를 포함하게 도시된다. "부품 존재" 검사 동안, 제1 권선(5)을 경유하여 트랜스포머(3)로부터 얻어지는 고주파 발생기는 도시되지 않는다. 또한 위상 변조 목적을 위해 고주파 측정 그룹(15)에 이 신호가 연결된다.Referring to FIG. 1, the HP4349B High Resistance Meter 1 includes three windings 5, 7, 9, a DC current measurement group 13 and a high frequency measurement group 15, a blocking capacitor 17. Is shown to include a toroid transformer 3 having an input connected to the input circuit of the HP4349B. During the " part present " check, the high frequency generator obtained from the transformer 3 via the first winding 5 is not shown. This signal is also connected to the high frequency measurement group 15 for phase modulation purposes.

제 2 권선(7, 9)은 적은 동축 케이블의 권선수를 포함하고 이에 따라 양측으로부터의 매우 동일한 출력이 확실하다. 이들 2개의 권선의 우측은 제1 트라이액스 케이블(25)의 활성(active) 내부 컨덕터(19)와 활성 내부 가드 쉴드(21)에 각각 접속한다. 제2 권선(7, 9)의 좌측은 블록킹 커패시터(17)를 경유하여 고주파 측정 그룹(15)과 접지에 각각 접속한다. 제2 권선(7, 9)으로부터 발생되는 신호들의 진폭 때문에 동일하고, 내부 가드 쉴드(21)가 그 외부 끝의 접지에 낮은 용량을 갖기 때문에, 고주파 측정 그룹(15)에로의 신호 입력의 진폭이 그 외부 끝의 활성 내부 컨덕터(19)의 접지에 대한 용량과 직접적으로 비례한다는 것으로 추정할 수 있다.The second windings 7, 9 comprise a small number of windings of the coaxial cable so that a very identical output from both sides is assured. The right side of these two windings connects to the active inner conductor 19 and the active inner guard shield 21 of the first triax cable 25 respectively. The left side of the second windings 7, 9 is connected to the high frequency measurement group 15 and ground, respectively, via a blocking capacitor 17. Because of the amplitude of the signals generated from the second windings 7, 9, the same, and because the inner guard shield 21 has a low capacitance at ground at its outer end, the amplitude of the signal input to the high frequency measurement group 15 is It can be assumed that it is directly proportional to the capacity of the active inner conductor 19 at its outer end to ground.

활성 내부 컨덕터(19)는 고저항 측정기(1)에서 DUT 검사대(27)의 lo- 측으로 통과한다. DUT검사대(27)의 hi-측은, 신호선(29)을 통해서 전형적으로 0-500V의 범위를 갖는 고전압 전원 공급기(31)를 통과한다. 또한 제1 트라이액스 케이블(25)의 접지 쉴드(39)는 전원 공급기(31)를 통과한다.The active internal conductor 19 passes from the high resistance meter 1 to the lo- side of the DUT test platform 27. The hi-side of the DUT test station 27 passes through a high voltage power supply 31, typically in the range of 0-500V, via a signal line 29. The ground shield 39 of the first triax cable 25 also passes through a power supply 31.

DUT 검사대(27), 즉 신호선(29)의 우측은, hi-측 컨덕터(29, 33)의 용량에 의해 접지에 비해서 비교적 낮은 임피던스와, 전원 공급기(31)의 실질 출력 임피던스를 갖고, 도 1 및 도 2에 커패시터(37)로 나타낸다. 그러므로 그 외부 끝의 활성 내부 컨덕터(19)의 접지의 용량은, 검사대(27)(그리고 커패시터(39)에 의해 상징적으로 나타낸다)의 접지의 표유 용량의 합 및 그 DUT의 실제 용량과 거의 동일하다고 가정할 수 있다.The right side of the DUT test table 27, i.e., the signal line 29, has a relatively low impedance compared to ground due to the capacitance of the hi-side conductors 29 and 33, and an actual output impedance of the power supply 31. FIG. And a capacitor 37 in FIG. 2. Therefore, the capacitance of the ground of the active inner conductor 19 at its outer end is approximately equal to the sum of the stray capacitance of the ground of the test bench 27 (and symbolically represented by the capacitor 39) and the actual capacitance of the DUT. Can assume

HP4349B의 초기 보상 사이클 동안에, 검사대(27)은 비어 있고 그래서 얻어진 고저항 측정기(1)의 디지털화된 출력이 메모리에 저장된다. 그 후에 "부품 존재" 검사 동안에, 이 값은 부품이 검사대(27)에서 그것의 존재와 적절한 접촉의 평가를 얻기 위해 검사대(27)에 추측상 배치될 때 얻어진 디지털화된 값에서 추출한다. 이 방법은 보상 사이클 동안, 만약 표유 용량(37)의 값이 10pF과 같은 하이(high)라면, 1pF과 같은 검사대(27)의 DUT의 것과 비교해서, 전자의 값은 후자의 값을 만들고 이에 의해 DUT의 값이 매우 낮은 값일 때 DUT 또는 칩의 존재에 시스템을 반응하지 않게 한다는 하나의 한계가 있다.During the initial compensation cycle of the HP4349B, the test bench 27 is empty so the digitized output of the high resistance meter 1 obtained is stored in memory. During the "Part Presence" inspection, this value is then extracted from the digitized values obtained when the part is speculatively placed on the bench 27 to obtain an assessment of proper contact with its presence on the bench 27. This method, during the compensation cycle, if the value of the stray capacitance 37 is high, such as 10 pF, compared to that of the DUT of the test table 27, such as 1 pF, the former value creates the latter value and thereby There is one limitation that makes the system unresponsive to the presence of the DUT or chip when the value of the DUT is very low.

누설 검사 동안, 전원 공급기(31)로부터의 프로그램된 고전압 출력이 검사대(27)의 DUT의 우측에 인가되어서 그 DC 누설 전류가 제1 트라이액스 케이블(25)의 활성 내부 컨덕터(19)를 통과하여서 발생되고 제2 권선(9)은 DC 측정 그룹(13)의 입력에 인가된다.During the leak test, a programmed high voltage output from the power supply 31 is applied to the right side of the DUT of the test stand 27 such that its DC leakage current passes through the active internal conductor 19 of the first triax cable 25. Is generated and the second winding 9 is applied to the input of the DC measuring group 13.

그 HP4349B 기구의 외부 회로소자를 추가한 본 발명을 도 2에 나타낸다. 제2 트라이액스 케이블(41)이 제공되고 활성 내부 가드 쉴드(21) 상의 신호를 여기에 트랜스포머로서 나타낸 그 부스터 장치(45)의 입력(43)(제1 권선)에 제공하는 공통 T-어댑터(미도시됨)에 의해 제1 트라이액스 케이블(25)에 연결된다. 그 트랜스포머(49)의 제2 권선(51)은 고전압 전원 공급기(31)의 출력과 DUT 검사대(27)의 hi-측 사이에 접속된다. HP4349B 내에 그 고주파 발생기의 공통성(Commonality) 때문에, 하나의 부스터만이 HP4349B와 그들이 서비스하는 4개의 검사 사이트(sites)의 전체 4개 채널을 요구한다. HP4349B의 내부 회로소자는 무엇이든지 변경할 필요가 없다.The invention which added the external circuitry of this HP4349B mechanism is shown in FIG. A common T-adapter, which is provided with a second triax cable 41 and provides a signal on the active inner guard shield 21 to the input 43 (first winding) of its booster device 45, represented here as a transformer. Not shown) to the first triax cable 25. The second winding 51 of the transformer 49 is connected between the output of the high voltage power supply 31 and the hi-side of the DUT test stand 27. Because of the commonality of the high frequency generator in the HP4349B, only one booster requires a total of four channels of the HP4349B and the four inspection sites they serve. The internal circuitry of the HP4349B does not need to change anything.

이와 같이, HP4349B(측정기 1)는 그것의 검사 프로토콜 또는 "콘택트 검사"를 수행하고, 또한 트랜스포머(49)의 제1 권선(43)이 500KHz 전압만큼 에너지를 얻는다. 트랜스포머(49)는 약 1:2.5 내지 약 1:3 사이의 제1 권선(43) 대 제2 권선(51)의 비를 갖되, 바람직하게는 후자를 갖고, 그리고 트랜스포머(49)로부터 나오는 제2 전압은 제1 트랜스포머(3)의 것과 반대이다. 제2 권선(51)은 전원 공급기(31)로부터의 소스 DC 전압과 직렬로 삽입되고 이에 따라 적어도 세 번은 되었을 진폭에서 그 DUT의 "하이"측에 인가되고, 그 DUT의 "하이"측은 검사대(27)에 속한 DUT 없이 도 1에 도시된 바와 같이 구성에서 "실제" 접지에만 접속되었었다. 이와 같이, 트랜스포머(49)의 제2 권선(51)은 제1 트랜스포머(3)의 제2 권선(9)에 부여된 전압을 약 3배인 DUT 검사대(27)의 칩과 직렬인 500KHz 전압이 부여되고, 그리고 그 2개의 전압이 추가되므로, 그 DUT 와 직렬로 부여된 그 전압은 도 1에 도시된 종래기술 회로에 의해 제공된 것 보다 약 4배 크다. 이와 같이, 본 발명을 이용하여, HP4349B와 같은 고저항 측정기의 감도는 DUT의 용량 값에 대략 4개의 요소로 증가된다.As such, the HP4349B (Measure 1) performs its inspection protocol or “contact inspection”, and the first winding 43 of the transformer 49 gains energy by the 500 KHz voltage. The transformer 49 has a ratio of the first winding 43 to the second winding 51 between about 1: 2.5 and about 1: 3, preferably with the latter, and the second coming out of the transformer 49. The voltage is opposite to that of the first transformer 3. The second winding 51 is inserted in series with the source DC voltage from the power supply 31 and is thus applied to the "high" side of the DUT at an amplitude that would have been at least three times, and the "high" side of the DUT is connected to the test stand ( It was only connected to the "real" ground in the configuration as shown in Figure 1 without the DUT belonging to 27). As such, the second winding 51 of the transformer 49 is given a voltage of 500 KHz in series with the chip of the DUT test stand 27 which is about three times the voltage applied to the second winding 9 of the first transformer 3. And the two voltages are added, so that the voltage applied in series with the DUT is about four times greater than that provided by the prior art circuit shown in FIG. As such, using the present invention, the sensitivity of a high resistance meter such as the HP4349B is increased by approximately four factors to the capacitance value of the DUT.

부스터 장치(45)는 도시된 바와 같이 트랜스포머 뿐만 아니라 증폭기인 것을 알 수 있다. 임의의 전압, 전류량의 조합을 고려해야 하고, 신호 부스터는 본 발명의 사상 내에 있다.It can be seen that the booster device 45 is not only a transformer but also an amplifier as shown. Any combination of voltage and current amounts must be considered, and the signal booster is within the spirit of the present invention.

본 발명에서는 특정한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 당업자라면 본 발명의 진정한 사상 및 범위를 벗어남이 없이 상술한 본 발명의 실시예를 다양하게 변형할 수 있을 것이다. 실질적으로 동일 결과를 달성하기 위해 실질적으로 동일 기능 및 동일 방법을 수행하는 소자들 및 단계들의 모든 조합은 본 발명의 사상 내에 있다는 것을 의미한다.Although the invention has been described with reference to specific embodiments, those skilled in the art will be able to make various modifications to the embodiments of the invention described above without departing from the true spirit and scope of the invention. It is meant that all combinations of elements and steps that perform substantially the same function and the same method to achieve substantially the same result are within the spirit of the invention.

이상과 같은 본 발명은 다음과 같은 효과를 갖는다.The present invention as described above has the following effects.

검사 기구의 제2 또는 제3 검사가 검사대 내에 소자의 존재 검출과 피시험장치(DUT)를 통해서 겹친 고주파 신호에 의해 수행될 경우, 전자 소자들의 중요 파라메터에 대한 전자 소자들을 검사하는 중요한 기능을 갖는 검사 기구의 제2 또는 제3 검사의 최소 감도를 증가시킬 수 있는 것이다. 따라서, 본 발명에서는, 고저항 누설 검사가 실행되기 전에 검사대에서 DUT의 존재를 결정한다. 또한 본 발명에서는 전기 누설 검사를 수행하기 위해서, 세라믹 칩 커패시터 상에 개시되고 값이 무엇으로 기록되든지 검사 회로가 검사대의 커패시터의 값이 될 것이라는 것을 검증하기 위한 장치 및 이를 이용한 방법을 포함하고, 수행하는 시간을 줄여서 다른 커패시터의 검사 기계의 유용성을 증가시키도록 전기 누설의 전자적 검사를 끝내고, 그 작동 시간을 줄이기 위해 소자 핸들러의 세라믹 칩 커패시터의 처리량을 증가시키고 그에 따라 양질의 세라믹 칩 커패시터의 생산 비용을 줄이며, 세라믹 칩 커패시터의 그 비용을 커패시터 검사 기계의 효율성을 증가시킴으로써 낮추며, 그리고 2.0pF 또는 이 보다 작은 용량을 갖는 커패시터의 존재에 대해 시험하기 위해 세라믹 커패시터 검사 기계 성능을 증가시킴으로써 장비 검사를 위한 자본 지출을 줄일 수 있다.When the second or third inspection of the inspection instrument is performed by detecting the presence of the element in the inspection table and by a high frequency signal superimposed through the device under test (DUT), it has an important function of inspecting the electronic elements for the important parameters of the electronic elements. It is possible to increase the minimum sensitivity of the second or third inspection of the inspection instrument. Therefore, in the present invention, the presence of the DUT is determined at the test bench before the high resistance leak test is performed. In addition, the present invention includes an apparatus and a method using the same for verifying that the test circuit will be the value of the capacitor of the test stand, which is disclosed on the ceramic chip capacitor and written in whatever value is written, to perform the electric leakage test. End the electronic inspection of the leakage of electricity to increase the usefulness of the inspection machine of other capacitors by reducing the time required to increase the operation time, and increase the throughput of the ceramic chip capacitors of the device handler to reduce its operation time, and thus the cost of producing a good quality ceramic chip capacitors. Reduce the cost of ceramic chip capacitors by increasing the efficiency of the capacitor inspection machine, and increase the ceramic capacitor inspection machine performance to test for the presence of capacitors with a capacity of 2.0 pF or less. Capital expenditure Can be reduced.

Claims (12)

검사 절차를 시작하기 전에 검사대에서 측정용 전자 부품의 존재여부를 검사하기 위해서 검사장치의 감도를 증가시키는 감도 증가장치에 있어서,In a sensitivity increasing device for increasing the sensitivity of the inspection apparatus to check the presence of the measuring electronic components on the inspection table before starting the inspection procedure, 1보다 큰 배수로 검사장치로부터 들어오는 교호 신호를 증폭하기 위한 검사장치와 함께 동작 가능하게 정렬된 입력과 출력을 갖는 신호 부스터를 포함하며,A signal booster having an input and an output operably aligned with the inspection device for amplifying the alternating signal from the inspection device in multiples of one, 상기 감도증가장치는 상기 측정용 전자 부품을 배치하기 위해 상기 신호 부스터의 상기 입력을 상기 검사장치와 상기 검사대의 신호 출력 사이에 연결하고,The sensitivity increasing device connects the input of the signal booster between the test device and the signal output of the test table to place the measuring electronic component, 상기 감도증가장치는 상기 검사장치의 감도 범위 내에서 전자 구성요소의 용량을 측정할 수 있게 하는 배수로 상기 검사 프로그램의 신호를 증폭하기 위해 상기 신호 부스터의 상기 출력을 독립적인 직류 전원 공급기와 상기 검사대 사잉 연결하는 것을 특징으론 하는 검사장치의 감도 증가장치.The sensitivity increasing device uses an independent direct current power supply and the test table for outputting the signal booster's output to amplify the signal of the test program in multiples to enable measuring the capacitance of the electronic component within the test device's sensitivity range. Sensitivity increase device of the inspection device characterized in that the connection. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 신호 부스터는 트랜스포머인 것을 특징으로 하는 검사장치의 감도 증가장치.And the signal booster is a transformer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 신호 부스터는 증폭기인 것을 특징으로 하는 검사장치의 감도 증가장치.And the signal booster is an amplifier. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 신호 부스터는 제1 권선과 제2 권선이 약 1.25 대 약 2.25의 권선비를 갖는 트랜스포머인 것을 특징으로 하는 검사장치의 감도 증가장치.Wherein said signal booster is a transformer having a turns ratio of about 1.25 to about 2.25 between the first and second windings. 검사 절차 시작 전에 검사대에서 다층 세라믹 칩 커패시터의 존재여부를 검사하기 위해서 고저항 검사장치의 감도를 증가시키는 감도 증가장치에 있어서,In a sensitivity increasing device for increasing the sensitivity of a high resistance test device to check the presence of a multi-layer ceramic chip capacitor on the test bench before starting the test procedure, 1보다 큰 배수로 검사장치로부터 들어오는 교류 신호를 증폭하기 위한 검사장치와 함께 동작 가능하도록 정렬된 입력과 출력을 갖는 신호 부스터를 포함하며,A signal booster having inputs and outputs arranged to be operable with the inspection device for amplifying the alternating current signal from the inspection device in multiples of one, 상기 감도증가장치는 상기 다층 세라믹 칩 커패시터를 배치하기 위해 상기 신호 부스터의 상기 입력을 상기 검사장치와 상기 검사대의 신호 출력 사이에 연결하고,The sensitivity increasing device connects the input of the signal booster between the test device and the signal output of the test table to place the multilayer ceramic chip capacitor, 상기 감도증가장치는 상기 검사장치의 감도 범위 내에서 상기 다층 세라믹 칩 커패시터의 용량을 측정할 수 있게 하는 배수로 상기 검사 프로그램의 신호를 증폭하기 위해 상기 신호 부스터의 상기 출력을 독립적인 직류 전원 공급기와 상기 검사대 사이에 연결하는 것을 특징으로 하는 고저항 검사장치의 감도 증가장치.The sensitivity increasing device further comprises an independent direct current power supply and the output of the signal booster to amplify the signal of the test program in multiples to enable the capacitance of the multilayer ceramic chip capacitor to be measured within the sensitivity range of the test device. Sensitivity increase device of the high resistance test device, characterized in that connected between the test table. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 신호 부스터는 트랜스포머인 것을 특징으로 하는 고저항 검사장치의 감도 증가장치.The signal booster is a sensitivity increasing device of the high resistance test device, characterized in that the transformer. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 신호 부스터는 증폭기인 것을 특징으로 하는 고저항 검사장치의 감도 증가장치.The signal booster is a sensitivity increasing device of the high resistance test device, characterized in that the amplifier. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 신호 부스터는 제1 권선과 제2 권선이 약 1.25 대 약 2.25의 권선비를 갖는 트랜스포머인 것을 특징으로 하는 고저항 검사장치의 감도 증가장치.Wherein said signal booster is a transformer having a turns ratio of about 1.25 to about 2.25 between the first and second windings. 누설전류를 측정하기 전에 검사대에서 전자 부품의 존재여부를 검사하기 위한 프로토콜을 포함하고 전자 부품의 전류 누설을 측정하는 검사장치의 감도를 개선하는 감도 개선 방법에 있어서,In the sensitivity improvement method for improving the sensitivity of the inspection apparatus for measuring the current leakage of the electronic component, including a protocol for inspecting the presence of the electronic component on the inspection table before measuring the leakage current, a) 상기 검사 프로토콜 신호의 부분을 캡쳐하고 신호 부스터의 입력을 통해 상기 신호를 통과시키는 단계와,a) capturing a portion of the test protocol signal and passing the signal through an input of a signal booster; b) 상기 신호 부스터의 출력으로부터 상기 증가 신호를 뽑아내는 단계와,b) extracting said increment signal from the output of said signal booster; c) 상기 검사대를 통해 상기 신호 부스터의 출력으로부터의 상기 검사장치로 상기 증폭된 신호를 통과시켜서, 상기 전자부품이 측정을 위해 준비된 상기 검사대에 있으면(DUT-현재) 상기 전자부품의 측정신호를 제공하고, 상기 전자부품이 측정을 위해 준비된 상기 검사대에 없으면(DUT 없음) 상기 전자부품의 측정신호를 제공하지 않는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 감도 개선 방법.c) passing the amplified signal through the test bench from the output of the signal booster to the test apparatus, providing a measurement signal of the electronic component when the electronic component is on the test bench (DUT-present) ready for measurement And if the electronic component is not on the inspection table prepared for measurement (no DUT), not providing a measurement signal of the electronic component. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 증폭된 신호는 프로토콜 검사 신호의 적어도 3의 배수인 것을 특징으로 하는 검사장치의 감도 개선 방법.And wherein said amplified signal is a multiple of at least three of the protocol test signal. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 신호 부스터는 트랜스포머이고,The signal booster is a transformer, 신호 부스터의 입력을 통하여 상기 신호를 통과시키는 상기 단계(a)는 상기 트랜스포머의 제1 권선을 통하여 상기 신호를 통과시키는 단계를 포함하고,Said step (a) of passing said signal through an input of a signal booster includes passing said signal through a first winding of said transformer, 상기 신호 부스터의 출력으로부터 상기 증폭된 신호를 뽑아내는 상기 단계(b)는 상기 트랜스포머의 제2 권선으로부터 상기 증폭된 신호를 뽑아내는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 검사장치의 감도 개선 방법.And extracting the amplified signal from the output of the signal booster comprises extracting the amplified signal from the second winding of the transformer. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 신호 부스터는 입력과 출력을 갖는 증폭기이고,The signal booster is an amplifier having an input and an output, 신호 부스터의 입력을 통하여 상기 신호를 통과시키는 상기 단계(a)는 상기 증폭기의 상기 입력을 통하여 상기 신호를 통과시키는 단계를 포함하고,The step (a) of passing the signal through the input of a signal booster includes passing the signal through the input of the amplifier, 상기 신호 부스터의 출력으로부터 상기 증폭된 신호를 뽑아내는 상기 단계(b)는 상기 증폭기의 상기 출력으로부터 상기 증폭된 신호를 뽑아내는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 감도 개선 방법.And extracting the amplified signal from the output of the signal booster comprises extracting the amplified signal from the output of the amplifier.
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