KR100347766B1 - Dividing apparatus of laser beam - Google Patents
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Abstract
본 발명은 레이저 빔 분할 장치에 관해 개시된다. 개시된 레이저 빔 분할 장치는: 제1방향으로 입사하는 레이저 빔을 2분할하여 분할된 제1분할 빔은 투과시키고, 제2분할빔은 레이저 빔 입사방향에 소정각도 경사진 방향으로 반사하는 제1미러와; 상기 제1미러를 투과한 상기 제1분할빔을 상기 제1방향에 직교하는 제2방향으로 반사하는 제2미러와; 상기 제1미러에서 반사된 제2분할빔을 상기 제2방향에 나란한 방향으로 반사하는 제3미러를 구비하며, 상호 나란한 상기 제1, 제2분할빔의 진행 경로에 직교하는 임의 직선을 정의할 때, 상기 제1미러로 부터 상기 임의 직선에 대한 제1분할빔의 교점까지의 광학적거리와 상기 제1미러로 부터 상기 임의 직선에 대한 제2분할빔의 교점까지의 광학적거리가 실직적으로 동일하게 유지하도록 되어 있다. 하나의 레이저 빔으로 부터 동일한 광학적 특성을 하는 두개의 분할빔을 얻을 수 있게 되며, 하나의 레이저 장치로 부터 두개의 레이저 빔을 얻어야 하는 장치에 적합하다.The present invention relates to a laser beam splitting apparatus. The disclosed laser beam splitting apparatus includes: a first mirror that splits a laser beam incident in a first direction into a divided first beam and reflects the second split beam in a direction inclined at a predetermined angle to the laser beam incident direction Wow; A second mirror reflecting the first split beam that has passed through the first mirror in a second direction perpendicular to the first direction; A third mirror reflecting the second split beam reflected from the first mirror in a direction parallel to the second direction, and defining an arbitrary straight line orthogonal to the traveling paths of the first and second split beams parallel to each other; When the optical distance from the first mirror to the intersection of the first split beam with respect to the arbitrary straight line and the optical distance from the first mirror to the intersection of the second split beam with respect to the arbitrary straight line are substantially the same. It is supposed to keep it. Two split beams having the same optical characteristics can be obtained from one laser beam, and are suitable for a device that needs to obtain two laser beams from one laser device.
Description
본 발명은 레이저 빔 분할 장치에 관한 것으로, 상세히는 분할된 레이저 빔이 동일한 광학적 거리를 가지도록 하는 레이저 빔 분할 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a laser beam splitting apparatus, and more particularly, to a laser beam splitting apparatus in which the divided laser beams have the same optical distance.
레이저 발생장치는 두 매의 미러에 의해 공진영역(resonance area)이 형성되고, 공진영역 내에 레이저 매질(Laser Medium) 이 마련되고, 레이저 매질에 인접하여 레이저 매질을 여기시키는 광원이 마련되는 구조를 가진다.The laser generator has a structure in which a resonance area is formed by two mirrors, a laser medium is provided in the resonance area, and a light source is provided to excite the laser medium adjacent to the laser medium. .
공진 영역을 형성하는 두매의 미러 중, 하나는 전반사 미러로서 후방 미러(rear mirror)이며 다른 하나는 일부의 광은 통과시키는 하프 미러로서 전방 미러(front mirror)이다.Of the two mirrors forming the resonance region, one is a rear mirror as a total reflection mirror and the other is a front mirror as a half mirror through which some light passes.
실제 사용되는 레이저 빔은 상기 전방 미러로 부터 출력되며, 이 레이저 출력은 용도에 따라 광학적으로 제어된 후 사용된다.The laser beam actually used is output from the front mirror, and this laser output is used after being optically controlled according to the use.
일반적으로는 레이저 빔은 단일의 광학계에 의해 광학적으로 제어된 후 그대로 사용될 수 있으나, 레이저 빔의 응용분야에 따라 하나의 레이저 발생장치에서 얻어진 레이저 빔을 분할하고, 분할된 레이저 빔 각각의 별개의 광학적 제어 장치에 의해 제어되도록 되어 있다.In general, the laser beam may be used as it is after being optically controlled by a single optical system, but according to the application of the laser beam splits the laser beam obtained from one laser generator, and the separate optical beam of each divided laser beam It is controlled by the control apparatus.
상기와 같이 응용분야의 요구에 의해 레이저 빔이 두개 또는 그 이상으로 분할될 때의 문제는 레이저 빔의 분할계에서 분할된 레이저 빔의 광학적 거리가 달라질 수 있으며, 따라서 상이한 광학적 거리의 차이가 보상되어야 한다는 것이다.As described above, the problem when the laser beam is divided into two or more according to the demands of the application field may have different optical distances of the divided laser beams in the laser beam splitter, and therefore, differences in the different optical distances must be compensated for. Is that.
도 1 은 하나의 레이저 빔을 상호 평행한 두개의 빔으로 분할할 때 광학적 거리차가 나타나는 레이저 빔 분할 구조의 일례를 보인다.1 shows an example of a laser beam splitting structure in which an optical distance difference appears when splitting one laser beam into two parallel beams.
도 1을 참조하면, 입사하는 레이저 빔(1)이 제1미러(2)에 의해 절반은 반사하고 그 나머지는 제1미러(2)를 통과하여 제1분할빔(1a)이 얻어지고, 그리고 제1미러(2)에서 반사된 성분은 제2미러(2)에서 반사되어 제1분할빔(1a)에 나란한 제2분할빔(1b)이 얻어진다.Referring to FIG. 1, the incident laser beam 1 reflects half by the first mirror 2 and the rest passes through the first mirror 2 to obtain a first split beam 1a, and The component reflected by the first mirror 2 is reflected by the second mirror 2 to obtain a second split beam 1b parallel to the first split beam 1a.
따라서, 제1미러(2)의 레이저 빔(1)의 입사면으로 부터 제1분할빔(1a)과 제2분할빔(1b) 각각의 빔 프런트(front, 3)에 대한 광학적 거리가 발생된다.Therefore, an optical distance from the incident surface of the laser beam 1 of the first mirror 2 to the beam front 3 of each of the first split beam 1a and the second split beam 1b is generated. .
이러한 각 분할빔의 광학적 거리의 차이는 각각의 빔 프런트(3)에서의 광학적 성질의 차이로 나타나게 되며, 따라서 이러한 분할빔 간의 광학적 거리 차이에 의해 광학적 성질을 보상하기 위한 수단이 요구된다.The difference in the optical distance of each split beam is represented by the difference in the optical property at each beam front 3, and therefore, a means for compensating the optical property by the optical distance difference between the split beams is required.
본 발명의 제1의 목적은 하나의 레이저 빔을 두개의 레이저 빔으로 분할함에 있어서, 광학적 거리를 실질적으로 동일하게 유지시킬 수 있는 레이저 빔 분할 장치를 제공하는 것이다.It is a first object of the present invention to provide a laser beam splitting apparatus capable of keeping the optical distance substantially the same in dividing one laser beam into two laser beams.
본 발명의 제2의 목적은 분할될 두개의 레이저 빔의 광학적 특성을 동일하게 유지시켜 별도의 광특성 보상장치를 요구하지 않는 레이저 빔 분할 장치를 제공하는 것이다.It is a second object of the present invention to provide a laser beam splitting apparatus which does not require a separate optical characteristic compensator by keeping the optical characteristics of the two laser beams to be split the same.
도 1은 일반적인 레이저 빔 분할을 위한 광학적 구조를 보인다.1 shows an optical structure for general laser beam splitting.
도 2는 본 발명에 따른 레이저 빔분할 장치의 광학적 구성도이다.2 is an optical configuration diagram of a laser beam splitting apparatus according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 레이저 빔분할 장치에 따른 실시예의 평면도이다.3 is a plan view of an embodiment according to the laser beam splitting apparatus according to the present invention.
도 4는 도 3에 도시된 본 발명에 따른 레이저 빔분할 장치에 따른 실시예의 일측면도이다.Figure 4 is a side view of an embodiment according to the laser beam splitting apparatus according to the present invention shown in FIG.
도 5는 도 3에 도시된 본 발명에 따른 레이저 빔분할 장치에 따른 실시예의 일부 절제 정면도이다.FIG. 5 is a partial cutaway front view of an embodiment according to the laser beam splitting apparatus according to the present invention shown in FIG. 3.
도 6은 도 3에 도시된 본 발명에 따른 레이저 빔분할 장치에 따른 실시예에 적용되는 미러 조립체의 부분 발췌 사시도이다.FIG. 6 is a partial perspective view of a mirror assembly applied to an embodiment according to the laser beam splitting apparatus according to the present invention shown in FIG. 3.
도 7은 도 3에 도시된 본 발명에 따른 레이저 빔분할 장치에 따른 실시예에 적용되는 미러 조립체의 정면도이다.7 is a front view of the mirror assembly applied to the embodiment according to the laser beam splitting apparatus according to the present invention shown in FIG.
도 8은 도 3에 도시된 본 발명에 따른 레이저 빔분할 장치에 따른 실시예에 적용되는 미러 조립체의 설치상태를 보인 부분 발췌 측면도이다.FIG. 8 is a partial excerpt side view showing an installation state of a mirror assembly applied to the embodiment of the laser beam splitting apparatus according to the present invention shown in FIG. 3.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면,In order to achieve the above object, according to the present invention,
제1방향으로 입사하는 레이저 빔을 2분할하여 분할된 제1분할 빔은 투과시키고, 제2분할빔은 레이저 빔 입사방향에 소정각도 경사진 방향으로 반사하는 제1미러와;A first mirror for dividing the laser beam incident in the first direction into two and transmitting the divided first beam and reflecting the second divided beam in a direction inclined at a predetermined angle to the laser beam incident direction;
상기 제1미러를 투과한 상기 제1분할빔을 상기 제1방향에 직교하는 제2방향으로 반사하는 제2미러와;A second mirror reflecting the first split beam that has passed through the first mirror in a second direction perpendicular to the first direction;
상기 제1미러에서 반사된 제2분할빔을 상기 제2방향에 나란한 방향으로 반사하는 제3미러와,A third mirror reflecting the second split beam reflected from the first mirror in a direction parallel to the second direction;
상기 제1, 제2, 제3 미러가 각각 설치되는 복수의 미러 조립체와;A plurality of mirror assemblies in which the first, second and third mirrors are respectively installed;
상기 미러 조립체가 지지되는 메인 베이스와;A main base on which the mirror assembly is supported;
상기 메이베이스의 일측에 상호 나란한 상기 제1, 제2분할빔의 진행 경로에 직교하는 방향으로 설치되는 것으로 상기 제1분할빔과 제2분할빔이 각각 통과하는 제1, 제2출구가 마련된 측벽과;Sidewalls provided on one side of the may base in a direction orthogonal to the traveling paths of the first and second split beams parallel to each other, the first and second outlets through which the first split beam and the second split beam pass, respectively and;
상기 제1미러로 부터 상기 제1출구까지의 제1분할빔의 출구까지의 광학적거리와 상기 제1미러로 부터 상기 제2출구까지의 제2분할빔의 광학적거리가 실직적으로 동일하게 유지하도록 되어 있는 레이저 빔 분할 장치가 제공된다.Such that the optical distance from the first mirror to the exit of the first split beam from the first exit and the optical distance of the second split beam from the first mirror to the second exit remain substantially the same. There is provided a laser beam splitting apparatus.
상기 본 발명의 레이저 빔 분할 장치에 있어서, 상기 미러 조립체는 상기 메인 베이스에 회전 가능하게 설치되며, 상기 메인 베이스에는 상기 미러 조립체의 회전을 방지하는 록킹 브라켓이 설치되어 있다.In the laser beam splitting apparatus of the present invention, the mirror assembly is rotatably installed on the main base, and the main base is provided with a locking bracket for preventing rotation of the mirror assembly.
또한, 상기 미러 조립체는 상기 메인 베이스에 회전 가능하게 결합되는 회전 베이스와, 상기 회전 베이스에 대해 스프링부에 의해 연결되는 미러 베이스와, 상기 미러 베이스에 마련되는 것으로 미러가 설치되는 미러 고정판과, 상기 회전 베이스에 대한 상기 미러 베이스의 기울기를 조절하는 기울기 조절 수단을; 구비한다.The mirror assembly may further include a rotating base rotatably coupled to the main base, a mirror base connected by a spring to the rotating base, a mirror fixing plate provided with a mirror provided on the mirror base, and Tilt adjusting means for adjusting the tilt of the mirror base with respect to the rotating base; Equipped.
상기 회전 베이스, 스프링부, 미러 베이스 및 미러 고정판을 일체적으로 형성되어 있고, 상기 스프링부는 회전베이스의 중앙부분에 직립된 판상으로 형성되어 있는 것이 바람직하며, 상기 회전 베이스의 하부에 이보다 큰 직경의 플랜지가 형성되어 있고, 상기 메인 베이스에는 상기 회전 베이스와 플랜지에 대응하는 회전부재 결합공이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 상기 록킹 브라켓은 상기 회전부재 결합공에 설치되며, 상기 플랜지를 상기 메인 베이스에 대해 고정하도록 되어 있다.Preferably, the rotating base, the spring portion, the mirror base, and the mirror fixing plate are integrally formed, and the spring portion is formed in a plate shape standing upright at the center portion of the rotating base, and has a larger diameter than the lower portion of the rotating base. It is preferable that a flange is formed, and a rotating member engaging hole corresponding to the rotating base and the flange is formed in the main base. The locking bracket is installed in the rotating member coupling hole, and the flange is fixed to the main base.
이하 첨부된 도면을 참조하면서, 본 발명의 레이저 빔 분할 장치에 따른 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment according to the laser beam splitting apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2 는 본 발명의 레이저 빔 분할 장치의 광학적 구조도이다.2 is an optical structural diagram of a laser beam splitting apparatus of the present invention.
입사하는 레이저 빔(100)의 진행경로 상에 제1, 제2미러(101, 102)가 배치된다. 제1미러(101)의 반사광 진행경로 상에 제3미러(103)가 배치된다.The first and second mirrors 101 and 102 are disposed on the traveling path of the incident laser beam 100. The third mirror 103 is disposed on the reflected light traveling path of the first mirror 101.
상기 제2미러(102)와 제3미러(103)는 제1미러(101)를 투과하고 여기에서 반사된 제1분할빔(100a)과 제2분할빔(100b)을 상호 나란한 방향으로 반사시킨다.The second mirror 102 and the third mirror 103 pass through the first mirror 101 and reflect the first split beam 100a and the second split beam 100b reflected in parallel with each other. .
상기 제1분할빔(100a)과 제2분할빔(100b)은 상호 나란하게 진행하며, 임의 직선(300)을 통과하면서 교점(301, 302)를 형성한다. 여기에서 교점(301, 302)는 광학적 거리를 설명하기 위하여 표현되며, 실제는 상기 미러(101, 102, 103)이 소정의 하우징 내에 수용되었을 때에 분할된 레이저 빔 즉 제1분할빔(100a) 및 제2분할빔(100b)이 하우징 외부로 빠져나가는 출구가 될 수 있다.The first split beam 100a and the second split beam 100b run in parallel with each other, and form intersections 301 and 302 while passing through an arbitrary straight line 300. Here, the intersections 301 and 302 are expressed to describe the optical distance, and in fact, the divided laser beam, that is, the first split beam 100a and when the mirrors 101, 102 and 103 are accommodated in a predetermined housing, The second split beam 100b may be an exit from the housing.
여기에서 상기 제1미러(101)와 제2미러(102) 및 제2미러(102)와 교점(301) 간의 광학적 거리(L1, L2)의 합(L1+L2)은 상기 제1미러(101)와 제3미러(102) 및 제3미러(102)와 교점(302) 간의 광학적 거리(L3, L4)의 합(L3 + L4)과 실질적으로 동일하다.Here, the sum L1 + L2 of the optical distances L1 and L2 between the first mirror 101 and the second mirror 102 and the second mirror 102 and the intersection 301 is the first mirror 101. ) And the sum of the optical distances L3 and L4 between the third mirror 102 and the third mirror 102 and the intersection point 302 (L3 + L4).
이와 같은 광학적 거리를 얻는 것은 기학적으로 용이하게 결정될 수 있는데, 상기 제1미러(101)와 교점(302)의 사이에 위치한 제3미러(103)가 제2분할빔(100b)의 광학적 거리를 변화시키는데, 상기 제2분할빔(100b)의 광학적 거리는 상기 제1미러(101)에서 레이저 빔의 반사각, 상기 제1미러(101)와 제3미러(103)의 레이저 빔 반사점까지의 거리 및 제3미러(103)에서 교점(302)간의 거리 등에 의해 조정될 수 있다.To obtain such an optical distance can be easily determined mechanically, the third mirror 103 located between the first mirror 101 and the intersection point 302 to determine the optical distance of the second split beam (100b). In this case, the optical distance of the second split beam 100b is determined by the reflection angle of the laser beam from the first mirror 101, the distance from the laser beam reflection point of the first mirror 101 and the third mirror 103, and It may be adjusted by the distance between the intersection 302 in the three mirrors 103, and the like.
상기와 같은 본 발명은 상기 임의 직선(300)을 수직으로 통과하는 제1, 제2분할빔(100a, 100b)의 광학적 특성을 각 교점(301, 302)에서 실질적으로 동일하게 유지시킨다. 이는 전술한 바와 같이 제1미러(101) 부터 각 교점(301, 302)까지의 광학적 거리를 동일하게 유지시킴으로써 가능하게 된다.In the present invention as described above, the optical characteristics of the first and second split beams 100a and 100b vertically passing through the arbitrary straight line 300 are kept substantially the same at each intersection 301 and 302. This is made possible by maintaining the same optical distance from the first mirror 101 to each intersection 301, 302 as described above.
전술한 바와 같이 상기 교점(301, 302)은 분할된 레이저 빔의 출구가 될 수 있는데, 결론적으로 하나의 레이저 빔을 동일한 광학적 특성을 가지는 분할된 레이저 빔을 얻을 수 있다.As described above, the intersections 301 and 302 may be the exits of the divided laser beams. Consequently, one laser beam may obtain a divided laser beam having the same optical characteristics.
도 3은 상기와 같은 광학적 구조가 적용된 본 발명에 따른 레이저 빔 분할 장치의 보다 구체적인 구조를 보이는 평면도이다.3 is a plan view showing a more specific structure of the laser beam splitting apparatus according to the present invention to which the above optical structure is applied.
도 3을 참조하면, 하우징(200)의 일 부품인 메인 베이스(210) 상에 상기와 같은 구조로 미러(101, 102, 103)를 배치하기 위한 미러 조립체(201, 202, 203)가 설치되어 있다.Referring to FIG. 3, mirror assemblies 201, 202, and 203 are installed on the main base 210, which is a part of the housing 200, to arrange the mirrors 101, 102, and 103 in the above-described structure. have.
도 3에 도시된 바와 같은 레이저 빔 분할 장치는 레이저 빔이 하우징(200) 내부를 한번 경유한 후, 다시 하우징(200) 내부로 진입하는 구조를 가진다. 이와 같이 레이저 빔의 진행 경로를 우회시키는 구조는 이 레이저 빔 분할 장치가 적용되는 레이저 장치의 설계 요건에 따른 것으로서, 생략될 수 있다. 구체적으로 살펴보면, 하우징(200)의 제1측벽(220)에 마련된 제1빔통과부(221)으로 진입한 후 하우징(200) 내부에서 광학적인 변화없이 제2측벽(230)에 마련된 제2빔통과부(222)를 통해 빠져 나오고, 그리고 제2빔통과부(222)의 전방 및 제3빔통과부(223)의 전방에 마련된 레이저빔 경유 미러(240, 241)에 의해 제3빔통과부(223)을 통해 다시 하우징(200) 내부로 도입되는 구조를 가진다. 제3빔통과부(223)는 전술한 제1미러(101)로 레이저 빔(100)이 입사하도록 하는 실질적인 레이저 빔의 진입구이다.The laser beam splitting apparatus as shown in FIG. 3 has a structure in which the laser beam passes through the inside of the housing 200 once and then enters the inside of the housing 200 again. As such, the structure of bypassing the traveling path of the laser beam depends on the design requirements of the laser apparatus to which the laser beam splitting apparatus is applied and may be omitted. In detail, after entering the first beam passing portion 221 provided in the first side wall 220 of the housing 200, the second beam provided in the second side wall 230 without optically changed inside the housing 200. It exits through the passage part 222, and the 3rd beam passing part by the laser beam via mirrors 240 and 241 provided in front of the 2nd beam passing part 222, and in front of the 3rd beam passing part 223. FIG. It has a structure that is introduced back into the housing 200 through the (223). The third beam passing portion 223 is an entrance of a substantially laser beam to allow the laser beam 100 to enter the first mirror 101 described above.
상기 미러 조립체(201, 202, 203)들 각각에 상기 제1, 제2, 제3 미러(101, 102, 103)이 각각 결합되며, 이에 대한 구체적인 구조는 후에 설명된다.The first, second, and third mirrors 101, 102, and 103 are respectively coupled to each of the mirror assemblies 201, 202, and 203, and a detailed structure thereof will be described later.
도 5는 제1, 제2분할빔(100a, 100b)가 나란하게 외부로 진출하는 분할빔 출구(251, 252)를 보인 부분 절제 정면도로서, 상기 미러 조립체 들 중 제1미러(101)가 결합되어 있는 제1미러 조립체(202)의 구조를 개략적으로 보인다.FIG. 5 is a partial cutaway front view showing split beam exits 251 and 252 in which the first and second split beams 100a and 100b protrude outward side by side, and the first mirror 101 of the mirror assemblies is coupled thereto. The structure of the first mirror assembly 202 is shown schematically.
도 6은 상기 제1, 제2, 제3미러 조립체(202)에서 회전부재(40)의 개략적 구조를 보인 사시도이며, 도 7은 미러회전부재(40)의 정면도이다.6 is a perspective view showing a schematic structure of the rotating member 40 in the first, second and third mirror assembly 202, Figure 7 is a front view of the mirror rotating member (40).
도 6과 도 7을 참조하면, 회전부재(40)는 하부에 플랜지(41)가 마련된 회전 베이스(42)와 회전 베이스(42)의 상부 중앙에 마련된 직립 스프링부(43)에 의해 상기 회전베이스(42)에 연결되는 미러 베이스(44)와 미러(101, 102, 103)이 고정되는 관통공(45)을 가지는 직립의 미러 고정판(46)을 구비한다. 상기 회전 베이스(42)에는 상기 미러 베이스(44)의 저면에 압력을 가하는 한조의 미러 각도 조정 볼트(47)가 나사 결합된다.6 and 7, the rotation member 40 is formed by the rotation base 42 provided with the flange 41 at the lower portion and the upright spring portion 43 provided at the upper center of the rotation base 42. An upright mirror fixing plate 46 having a mirror base 44 connected to 42 and a through hole 45 to which the mirrors 101, 102, and 103 are fixed is provided. A set of mirror angle adjustment bolts 47 are screwed into the rotating base 42 to apply pressure to the bottom surface of the mirror base 44.
도 8은 상기 회전부재(40)가 상기 메인 베이스(210)에 회전가능하게 결합되어 하나의 미러 조립체(202)가 완성된 상태를 보인다.8 shows that the rotating member 40 is rotatably coupled to the main base 210 so that one mirror assembly 202 is completed.
도 8을 참조하면, 메인 베이스(210)에는 상기 플랜지(41)와 회전 베이스(42)에 대응하는 회전부재 결합공(211)이 형성되어 있고, 여기에 상기 회전 베이스(42)가 결합된다. 상기 회전 베이스(42)의 저부에는 플랜지(41)를 기계적으로 잠그는 록킹 브라켓(212)가 결합되어 있다. 상기 록킹 브라켓(212)은 상기 회전 베이스(42)의 회전을 방지하며, 상기 미러 각도 조정 볼트(47)는 상기 회전 베이스(42)에 대한 미러 베이스(44)의 기울기를 조절하여 미러 고정판(46)의 고정되어 있는 미러(101, 102, 103)의 각도를 조정한다. 상기 양 미러각도 조정 볼트(47, 47)에 의해 상기 미러 베이스(44)는 상기 회전 베이스(42)에 대해 직립의 스프링부(43)에 의해 지지되고 있으므로, 스프링부(43)가 탄력적으로 변형되어 상기 미러 베이스(44)의 기울기가 조절된다.Referring to FIG. 8, a rotation member coupling hole 211 corresponding to the flange 41 and the rotation base 42 is formed in the main base 210, and the rotation base 42 is coupled thereto. A locking bracket 212 for mechanically locking the flange 41 is coupled to the bottom of the rotating base 42. The locking bracket 212 prevents rotation of the rotating base 42, and the mirror angle adjusting bolt 47 adjusts the inclination of the mirror base 44 with respect to the rotating base 42 to fix the mirror fixing plate 46. ), The angles of the fixed mirrors 101, 102, 103 are adjusted. The mirror base 44 is supported by the spring portion 43 upright with respect to the rotation base 42 by the mirror angle adjustment bolts 47 and 47, so that the spring portion 43 is elastically deformed. Thus, the tilt of the mirror base 44 is adjusted.
이상과 같은 구조의 미러 조립체(201, 202, 203)은 도 3에 도시된 바와 같이 각 미러(101, 102, 103)에 대응하는 위치에 결합되며, 제2빔통과부(223)로 입사된 레이저 빔이 주어진 경로로 진행되도록 미러의 방향 및 기울기가 상기 회전 베이스(42)와 미러각도 조정 볼트(47, 47)에 의해 조정된다.The mirror assemblies 201, 202, and 203 having the above-described structure are coupled to positions corresponding to the mirrors 101, 102, and 103 as shown in FIG. 3, and are incident to the second beam passing portion 223. The direction and tilt of the mirror are adjusted by the rotating base 42 and the mirror angle adjusting bolts 47 and 47 so that the laser beam travels along a given path.
이러한 미러의 방향 및 경사각도가 레이저 빔의 진행경로와 격리된 메인 베이스(210)의 저면에서 이루어 진다. 미러(101, 102, 103)의 방향, 즉 제1방향의 조정은 상기 회전베이스(42)를 상기 메인 베이스(210)에 대해 적절히 회전시키고, 그리고 상기 록킹 브라켓(41)에 의해 상기 회전 베이스(42)를 고착함에 의해 결정되고, 제2방향 즉 상기 메인 베이스(210) 또는 미러 베이스(44)에 대한 상기 미러(10)의 기울기는 상기 양 미러 각도 조정 볼트(47, 47)를 상반되게 조절함에의해서 결정된다.The direction and inclination angle of the mirror are made at the bottom of the main base 210 isolated from the path of the laser beam. The adjustment of the directions of the mirrors 101, 102, 103, ie the first direction, causes the rotating base 42 to rotate properly relative to the main base 210, and the locking base 41 allows the rotating base ( 42 is determined by fixing the second direction, that is, the inclination of the mirror 10 relative to the main base 210 or the mirror base 44 to adjust the two mirror angle adjusting bolts 47 and 47 to be in opposition. Is determined by.
이상과 같은 본 발명에 의하면, 하나의 레이저 빔으로 부터 동일한 광학적 특성을 하는 두개의 분할빔을 얻을 수 있다. 특히 전술한 바와 같이 미러 조립체(201, 202, 203)에 의해 정밀한 미러의 방향 및 기울기의 조절이 가능하며, 특히, 레이저 진행 경로의 바깥측에서 조정할 수 있어서, 미러를 수용하는 주변 보호장치 및 부품들을 제거할 필요가 없다. 또한, 미러의 방향 및 기울기가 각각 독립적으로 조절되므로 각 방향의 자세 조정시 다른 방향간의 상호 간섭을 배제할 수 있다.According to the present invention as described above, two split beams having the same optical characteristics can be obtained from one laser beam. In particular, as described above, the mirror assembly 201, 202, and 203 can precisely adjust the direction and inclination of the mirror, and in particular, can be adjusted from the outside of the laser traveling path, so that the peripheral protection device and the component for receiving the mirror There is no need to remove them. In addition, since the direction and the inclination of the mirror are independently adjusted, mutual interference between different directions can be excluded when adjusting the attitude of each direction.
이러한 본 발명의 레이저 빔 분할 장치는 하나의 레이저 장치로 부터 두개의 레이저 빔을 얻어야 하는 장치에 적합하다. 이러한 동일한 광학적 특성을 가지는 분할빔들은 동일한 광학적 제어 장치에 적용이 가능한다.Such a laser beam splitting apparatus of the present invention is suitable for a device that needs to obtain two laser beams from one laser apparatus. Split beams having the same optical characteristics can be applied to the same optical control device.
상술한 본 발명의 레이저 빔 분할장치는 일회에 복수의 레이저 가공이 요구되는 레이저 가공장치등에 적합하다.The laser beam splitting apparatus of the present invention described above is suitable for a laser processing apparatus or the like which requires a plurality of laser processing at a time.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 고안의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 한해서 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely illustrative, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be defined only in the appended claims.
Claims (7)
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