KR100328842B1 - Semiconductor memory apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 메모리장치에 관한 것으로, 종래에는 센스앰프가 비트라인 이퀄라이저신호와 프리챠지신호 및 비트라인신호를 게이트폴리라인으로 인가받도록 설계되어 있는데, 그 게이트폴리라인은 큰 값의 저항성분과 커패시턴스 성분을 가지고 있어 신호전달특성이 좋지 않아 센스앰프의 센싱동작 수행시 오차가 발생하게 되는 문제점이 있다. 따라서, 본 발명은 기억소자의 최소 단위인 셀의 집합체인 셀어레이와, 상기 셀어레이에서 감지되는 미소 전압차이를 감지하여 증폭하는 센스앰프어레이와, 상기 센스앰프어레이부의 셀 데이터 센싱 동작을 인에이블시키는 센스앰프구동제어신호를 출력하는 센스앰프구동부를 구비한 반도체 메모리장치에 있어서, 상기 센스앰프어레이의 센스앰프구동제어신호에 대한 전송경로인 게이트 폴리라인의 상부에 소정 간격을 두고 메탈라인을 배선하고, 상기 센스앰프어레이의 소정 센스앰프 사이를 소정 간격으로 이격한후 그 이격 지점에서 게이트 폴리라인과 메탈라인을 콘택하여 션트(Shunt)함으로써 센스앰프의 게이트 폴리라인으로 인한 저항값과 커패시턴스를 감소시켜 정확한 센싱동작을 수행할 수 있는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device. In the prior art, a sense amplifier is designed to receive a bit line equalizer signal, a precharge signal, and a bit line signal as a gate poly line, which has a large resistance component and a capacitance component. Since the signal transmission characteristic is poor, there is a problem that an error occurs when the sensing operation of the sense amplifier is performed. Accordingly, the present invention enables a cell array, which is a collection of cells that are the minimum units of a memory device, a sense amplifier array for sensing and amplifying a small voltage difference detected by the cell array, and enabling cell data sensing operation of the sense amplifier array unit. A semiconductor memory device having a sense amplifier driver for outputting a sense amplifier driver control signal, wherein a metal line is wired at a predetermined interval on an upper portion of a gate polyline which is a transmission path for the sense amplifier driver control signal of the sense amplifier array. In addition, the predetermined distance between the predetermined sense amplifiers of the sense amplifier array, and then contact the gate polyline and the metal line shunt (shunt) at the separation point to reduce the resistance value and capacitance due to the gate polyline of the sense amplifier It is effective to perform the accurate sensing operation.
Description
본 발명은 반도체 메모리장치에 관한 것으로, 특히 센스앰프 어레이에서 신호 전송 특성을 향상시킬 수 있도록 한 반도체 메모리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a semiconductor memory device capable of improving signal transmission characteristics in a sense amplifier array.
일반적으로, 디램의 기억소자를 배열하고서 기억소자의 읽기,쓰기 동작을 위해 센스앰프를 셀어레이의 수에 맞게 배치하는데, 레이아웃 환경에 따라 센스앰프내 모스트랜지스터의 게이트 폴리 라인을 신호전송 특성이 좋은 메탈로 하지 못하고 게이트 폴리 라인으로 센스앰프 어레이에서 신호를 전송하게 되는데, 이와 같은 종래 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.In general, the memory devices of the DRAM are arranged and the sense amplifiers are arranged in accordance with the number of cell arrays for read and write operations of the memory devices. The signal is transmitted from the sense amplifier array to the gate polyline instead of the metal, which will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도1은 일반적인 반도체 메모리장치의 구성을 보인 블록도로서, 이에 도시된 바와 같이 기억소자의 최소 단위인 셀의 집합체인 셀어레이(10)와, 상기 셀어레이 (10)에서 감지되는 미소 전압차이를 감지하여 증폭하는 센스앰프어레이 (13)와, 상기 센스앰프어레이부(13)의 셀 데이터 센싱 동작을 인에이블시키는 센스앰프구동제어신호를 출력하는 센스앰프구동부(11),(12)로 구성된다.FIG. 1 is a block diagram illustrating a general semiconductor memory device. As shown in FIG. 1, the cell array 10, which is a collection of cells that are the minimum units of a memory device, and the small voltage difference detected by the cell array 10 are illustrated. A sense amplifier array 13 for sensing and amplifying, and a sense amplifier driver 11, 12 for outputting a sense amplifier drive control signal for enabling cell data sensing operation of the sense amplifier array unit 13; .
도2는 상기 센스앰프어레이(13)의 상세 회로도로서, 이에 도시된 바와같이 센스앰프구동제어신호(BSL)에 의해 상부 셀어레이측과의 비트라인 (BL0) ,(BLB0) 접속을 단속하는 비트라인접속부(1)와, 상기 비트라인접속부(1)와 후술할 센스앰프 (3) 사이에 접속되어 상기 비트라인(BL0),(BLB0)을 소정 레벨의 전압으로 프리챠지시키는 이퀄라이저부(2)와, 상기 비트라인(BL0),(BLB0)을 통해 입력되는 미약한 신호를소정 레벨로 증폭하여 출력하는 센스앰프(3)와, 상기 센스앰프(3)의 출력신호를 외부에 전달하거나 외부로부터 신호를 입력받기 위한 입출력라인접속부(4)와, 센스앰프구동제어신호(BSR)에 의해 하부 셀어레이측과의 비트라인 접속을 단속하는 비트라인접속부(5)로 구성되며, 이와같은 종래 장치의 동작을 설명한다.Fig. 2 is a detailed circuit diagram of the sense amplifier array 13, and as shown therein, a bit for interrupting connection of the bit lines BL0 and BLB0 with the upper cell array side by the sense amplifier drive control signal BSL. An equalizer section 2 connected between a line connecting section 1 and the bit line connecting section 1 and a sense amplifier 3 to be described later to precharge the bit lines BL0 and BLB0 to a predetermined level of voltage. And a sense amplifier 3 which amplifies and outputs a weak signal input through the bit lines BL0 and BLB0 to a predetermined level, and transmits or outputs an output signal of the sense amplifier 3 to the outside. An input / output line connection unit 4 for receiving a signal and a bit line connection unit 5 for intermittent bit line connection with the lower cell array side by a sense amplifier drive control signal (BSR), Describe the operation.
먼저, 센스앰프구동부(11)가 센스앰프구동제어신호(BSL)를 '하이'로 공급하면, 이에 의해 비트라인접속부(1)의 엔모스트랜지스터(N1),(N2)가 턴온되어 비트라인(BL0),(BLB0)을 통해 셀어레이(10)와 센스앰프(3)가 접속된다.First, when the sense amplifier driver 11 supplies the sense amplifier driver control signal BSL to 'high', the nMOS transistors N1 and N2 of the bit line connection unit 1 are turned on to turn on the bit line ( The cell array 10 and the sense amplifier 3 are connected to each other via BL0) and BLB0.
상기 셀어레이(10)로부터 리드되는 미약한 신호는 상기 비트라인접속부(1)의 엔모스트랜지스터(N1),(N2) 및 비트라인(BL0),(BLB0)을 통해 센스앰프(3)에 인가되어 소정 레벨로 증폭된다.The weak signal read from the cell array 10 is applied to the sense amplifier 3 through the NMOS transistors N1, N2 and bit lines BL0, BLB0 of the bit line connection unit 1. And amplified to a predetermined level.
예를 들어, 리드 데이터가 '하이'인 경우 승압전압(CSP)의 레벨로 풀업되고, 반대로 리드 데이터가 '로우'인 경우 하강전압(CSN)의 레벨로 풀다운된다.For example, if the read data is 'high', it is pulled up to the level of the boosted voltage CSP, and if the read data is 'low', it is pulled down to the level of the falling voltage CSN.
이때, 입력라인접속부(4)의 선택신호가 '하이'로 공급되면, 이에 의해 엔모스트랜지스터(N8),(N9)가 턴온되어 상기 센스앰프(3)를 통해 센싱된 데이터가 외부로 출력된다.At this time, when the selection signal of the input line connection unit 4 is supplied with 'high', the n-MOS transistors N8 and N9 are turned on thereby outputting the data sensed through the sense amplifier 3 to the outside. .
상기와 같은 일련의 과정을 통해 셀어레이(10)의 리드 데이터 센싱동작이 종료되면, 센스앰프구동부(11)로부터 이퀄라이저부(2)에 이퀄라이저신호(BLEQ)가 '하이'로 공급되어 엔모스트랜지스터(N3~N5)가 턴온되므로 비트라인(BL0),(BLB0)이 이퀄라이저전압(VBLR)으로 프리챠지된다.When the read data sensing operation of the cell array 10 is terminated through the series of processes as described above, the equalizer signal BLEQ is supplied to the equalizer unit 2 from the sense amplifier driver 11 to 'high' and the enmo transistor is applied. Since the bit lines N3 to N5 are turned on, the bit lines BL0 and BLB0 are precharged to the equalizer voltage VBLR.
여기서, 상기와 다른 하부 셀어레이가 비트라인접속부(5)와 비트라인(BL1),(BLB1)을 통해 센스앰프(3)와 접속되므로 그 센스앰프(3)는 해당 모드에서 입력되는 데이터를 상기와 동일하게 센싱하여 출력하게 된다.Here, since the lower cell array different from the above is connected to the sense amplifier 3 through the bit line connection unit 5 and the bit lines BL1 and BLB1, the sense amplifier 3 may receive data input in the corresponding mode. Sensing and outputting the same as
여기서, 도3은 도2에서 원으로 표시된 부분인 비트라인접속부(1)와 이퀄라이저부(2)의 레이아웃을 보인도로서, 비트라인접속부(1)는 a,b의 액티브와 e의 게이트로 한개의 엔모스트랜지스터(N1)와, c,d의 액티브와 e의 게이트로 엔모스트랜지스터(N2)를 구성하여 센스앰프구동신호(BSL)의 모스트랜지스터 스위치로 동작한다.3 is a diagram showing the layout of the bit line connection unit 1 and the equalizer unit 2, which are indicated by circles in FIG. 2, wherein the bit line connection unit 1 is a gate of active and e gates of a and b. The NMOS transistor N1 of N, and the NMOS transistor N2 of the active gates e and the gates of c and d are configured to operate as a MOS transistor switch of the sense amplifier driving signal BSL.
그리고, 이퀄라이저부(2)는 b,c의 액티브와 a의 게이트로 이루어진 엔모스트랜지스터(NM4)와, b,d의 액티브와 a의 게이트로 이루어진 엔모스트랜지스터(NM5)와,c,d의 액티브와 a의 게이트로 이루어진 엔모스트랜지스터(NM3)로 구성된다.The equalizer 2 includes an n-MOS transistor NM4 consisting of an active b and a gate and a gate of a, an n-MOS transistor NM5 consisting of an active b and a gate and a gate of a and c, d It consists of an NMOS transistor NM3 consisting of a gate of active and a.
이때, 상기 엔모스트랜지스터(N1~N5)의 게이트로 이용되는 게이트 폴리라인 (A),(B),(C)은 특성상 저항과 커패시턴스가 아주 커서 메탈라인보다 신호전송에서 나쁜 특성을 가지고 있는데, 센스앰프(3)를 구동하는 센스앰프구동제어신호 (BSL),(BSR),(BLEQ)는 동일한 게이트 폴리라인(A),(B),(C)으로 다수의 센스앰프 (3)에 인가됨과 아울러 그 게이트 폴리라인(A),(B),(C)을 엔모스트랜지스터의 게이트로 이용되도록 설계된다.In this case, the gate polylines (A), (B), and (C) used as the gates of the NMOS transistors N1 to N5 have characteristics that are worse in signal transmission than metal lines due to their large resistance and capacitance. The sense amplifier drive control signals BSL, BSR, and BLEQ driving the sense amplifier 3 are applied to the plurality of sense amplifiers 3 with the same gate polylines A, B, and C. In addition, the gate polylines (A), (B), and (C) are designed to be used as gates of the NMOS transistor.
따라서, 센스앰프어레이(13)는 각각의 센스앰프(3)에 상기 센스앰프구동제어신호(BSL),(BSR),(BLEQ)를 신호특성이 좋지 않은 게이트폴리라인(A),(B),(C)으로 인가받음으로 인하여 센스앰프구동제어신호(BSL),(BSR),(BLEQ)가 도달하는 시점이 각각 달라져서 센싱 동작시에 시차가 발생한다.Accordingly, the sense amplifier array 13 transmits the sense amplifier drive control signals BSL, BSR, and BLEQ to the sense amplifiers 3, respectively, with gate signal lines A and B having poor signal characteristics. The time difference between the sense amplifier drive control signals BSL, BSR, and BLEQ arrives due to the fact that the signal is received as (C), and thus a time difference occurs during the sensing operation.
그러나, 상기와 같이 동작하는 종래 장치는 센스앰프가 비트라인 이퀄라이저신호와 프리챠지신호 및 비트라인신호를 게이트폴리라인으로 인가받도록 설계되어 있는데, 그 게이트폴리라인은 큰 값의 저항성분과 커패시턴스 성분을 가지고 있어 신호전달특성이 좋지 않아 센스앰프의 센싱동작 수행시 오차가 발생하게 되는 문제점이 있다.However, in the conventional apparatus operating as described above, the sense amplifier is designed to receive the bit line equalizer signal, the precharge signal, and the bit line signal to the gate polyline, and the gate polyline has a large value of the resistance component and the capacitance component. Therefore, there is a problem that an error occurs when performing a sensing operation of the sense amplifier due to poor signal transmission characteristics.
따라서, 상기와 같은 문제점을 감안하여 창안한 본 발명은 센스앰프 어레이의 센스앰프구동제어신호 전송라인인 게이트 폴리 라인을 이분할하고, 그 게이트 폴리 라인을 메탈라인으로 션트(Shunt)함으로써 저항성분과 커패시턴스 값을 감소시켜 정확한 센싱 동작을 수행할 수 있도록 한 반도체 메모리장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention devised in view of the above problems divides the gate poly line, which is the sense amplifier drive control signal transmission line of the sense amplifier array, and shunts the gate poly line with the metal line, thereby resisting the capacitance and the capacitance. It is an object of the present invention to provide a semiconductor memory device capable of performing a precise sensing operation by reducing a value.
도1은 종래 반도체 메모리장치에 대한 구성을 보인 블록도.1 is a block diagram showing a configuration of a conventional semiconductor memory device.
도2는 도1에 있어서, 센스앰프어레이의 상세회로도.2 is a detailed circuit diagram of a sense amplifier array in FIG.
도3은 도2에 있어서, 비트라인접속부와 이퀄라이저부의 레이아웃을 보인도.FIG. 3 shows a layout of a bit line connection unit and an equalizer unit in FIG.
도4는 본 발명 반도체 메모리장치의 센스앰프어레이에 대한 상세회로도.4 is a detailed circuit diagram of a sense amplifier array in the semiconductor memory device of the present invention.
도5는 도4에 있어서, 비트라인접속부와 이퀄라이저부의 레이아웃을 보인도.Fig. 5 shows the layout of the bit line connection unit and the equalizer unit in Fig. 4;
도6은 도4에 있어서, 두개의 센스앰프 소정 간격 사이에서 콘택 션트를 형성한 모습을 보인도.FIG. 6 is a view showing a state in which a contact shunt is formed between two sense amplifiers at predetermined intervals in FIG. 4; FIG.
*****도면의 주요부분에 대한 부호의 설명********** Description of the symbols for the main parts of the drawings *****
1,5:비트라인접속부 2:이퀄라이저부1, 5: Bit line connection 2: Equalizer
3:센스앰프 4:입출력라인접속부3: Sense amplifier 4: I / O line connection
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 기억소자의 최소 단위인 셀의 집합체인 셀어레이와, 상기 셀어레이에서 감지되는 미소 전압차이를 감지하여 증폭하는 센스앰프어레이와, 상기 센스앰프어레이부의 셀 데이터 센싱 동작을 인에이블시키는 센스앰프구동제어신호를 출력하는 센스앰프구동부를 구비한 반도체 메모리장치에 있어서, 상기 센스앰프어레이의 센스앰프구동제어신호에 대한 전송경로인 게이트 폴리라인의 상부에 소정 간격을 두고 메탈라인을 배선하고, 상기 센스앰프어레이의 소정 센스앰프 사이를 소정 간격으로 이격한후 그 이격 지점에서 게이트 폴리라인과 메탈라인을 콘택하여 션트(Shunt)하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a cell array which is a collection of cells that are the minimum unit of the memory device, a sense amplifier array for sensing and amplifying the small voltage difference detected by the cell array, the cell of the sense amplifier array unit A semiconductor memory device having a sense amplifier driver for outputting a sense amplifier driver control signal for enabling a data sensing operation, the semiconductor memory device comprising: a predetermined interval on an upper portion of a gate polyline which is a transmission path for the sense amplifier driver control signal of the sense amplifier array; The metal lines are wired, spaced apart between the predetermined sense amplifiers of the sense amplifier array at predetermined intervals, and then shunted by contacting the gate polyline and the metal lines at the separation points.
이하, 본 발명에 반도체 메모리장치에 대한 작용 및 효과를 첨부한 도면을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in which the operations and effects of the semiconductor memory device are attached.
본 발명 반도체 메모리장치의 일반적인 구성은 종래 도1과 동일하며, 다만 도4 및 도5에서 보는 바와같이 본 발명은 센스앰프어레이(13)의 센스앰프구동제어신호(BSL),(BSR),(BLEQ)에 대한 전송경로인 게이트 폴리라인(A),(B),(C)의 상부에 소정 간격을 두고 메탈라인(A'),(B'),(C')을 배선하고, 상기 센스앰프어레이(13)의 소정 센스앰프(3) 사이를 소정 간격으로 이격한후 그 이격 지점에서 게이트 폴리라인(A),(B),(C)과 메탈라인(A'),(B'),(C')을 콘택하여 션트(Shunt)하는 것이 종래와 다르다.The general structure of the semiconductor memory device of the present invention is the same as that of Fig. 1, except that the present invention is based on the sense amplifier drive control signals BSL, BSR, and Sense of the sense amplifier array 13. The metal lines A ', B', and C 'are wired at predetermined intervals on the gate polylines A, B, and C, which are transmission paths for BLEQ, and the sense A predetermined interval is spaced between the predetermined sense amplifiers 3 of the amplifier array 13, and the gate polylines (A), (B), (C) and the metal lines (A '), (B') at the separation points. Shunting by contacting (C ') is different from the conventional method.
따라서, 본 발명 반도체 메모리장치의 일반적인 동작은 종래와 동일하다. 즉, 도1 및 도4을 참조하여 설명하면, 센스앰프구동부(11)가 센스앰프구동제어신호 (BSL)를 '하이'로 공급하면, 이에 의해 비트라인접속부(1)의 엔모스트랜지스터 (N1),(N2)가 턴온되어 비트라인(BL0),(BLB0)을 통해 셀어레이(10)와 센스앰프(3)가 접속된다.Therefore, the general operation of the semiconductor memory device of the present invention is the same as before. 1 and 4, when the sense amplifier driver 11 supplies the sense amplifier drive control signal BSL to 'high', the n-MOS transistor N1 of the bit line connection unit 1 is thereby supplied. ), (N2) is turned on, and the cell array 10 and the sense amplifier 3 are connected through the bit lines BL0 and BLB0.
이때, 상기 센스앰프구동제어신호(BSL)는 메탈라인(A')을 통해 공급되어 공급지연시간이 감소된다.In this case, the sense amplifier driving control signal BSL is supplied through the metal line A ', thereby reducing the supply delay time.
상기 셀어레이(10)로부터 리드되는 미약한 신호는 상기 비트라인접속부(1)의 엔모스트랜지스터(N1),(N2) 및 비트라인(BL0),(BLB0)을 통해 센스앰프(3)에 인가되어 소정 레벨로 증폭된다.The weak signal read from the cell array 10 is applied to the sense amplifier 3 through the NMOS transistors N1, N2 and bit lines BL0, BLB0 of the bit line connection unit 1. And amplified to a predetermined level.
예를 들어, 리드 데이터가 '하이'인 경우 승압전압(CSP)의 레벨로 풀업되고,반대로 리드 데이터가 '로우'인 경우 하강전압(CSN)의 레벨로 풀다운된다.For example, when the read data is 'high', it is pulled up to the level of the boosted voltage CSP, and when the read data is 'low', it is pulled down to the level of the falling voltage CSN.
이때, 입력라인접속부(4)의 선택신호가 '하이'로 공급되면, 이에 의해 엔모스트랜지스터(N8),(N9)가 턴온되어 상기 센스앰프(3)를 통해 센싱된 데이터가 외부로 출력된다.At this time, when the selection signal of the input line connection unit 4 is supplied with 'high', the n-MOS transistors N8 and N9 are turned on thereby outputting the data sensed through the sense amplifier 3 to the outside. .
상기와 같은 일련의 과정을 통해 셀어레이(10)의 리드 데이터 센싱동작이 종료되면, 센스앰프구동부(11)로부터 이퀄라이저부(2)에 이퀄라이저신호(BLEQ)가 '하이'로 공급되어 엔모스트랜지스터(N3~N5)가 턴온되므로 비트라인(BL0),(BLB0)이 이퀄라이저전압(VBLR)으로 프리챠지된다.When the read data sensing operation of the cell array 10 is terminated through the series of processes as described above, the equalizer signal BLEQ is supplied to the equalizer unit 2 from the sense amplifier driver 11 to 'high' and the enmo transistor is applied. Since the bit lines N3 to N5 are turned on, the bit lines BL0 and BLB0 are precharged to the equalizer voltage VBLR.
이때, 상기 이퀄라이저신호(BLEQ)는 메탈라인(B')을 통해 공급되어 지연시간이 감소된다.In this case, the equalizer signal BLEQ is supplied through the metal line B 'to reduce the delay time.
여기서, 상기와 다른 하부 셀어레이가 비트라인접속부(5)와 비트라인 (BL1),(BLB1)을 통해 센스앰프(3)와 접속되므로 그 센스앰프(3)는 해당 모드에서 입력되는 데이터를 상기와 동일하게 센싱하여 출력하게 된다.Here, since the lower cell array different from the above is connected to the sense amplifier 3 through the bit line connection unit 5 and the bit lines BL1 and BLB1, the sense amplifier 3 receives data input in the corresponding mode. Sensing and outputting the same as
즉, 도5와 같이 본 발명은 센스앰프어레이(13)의 센스앰프구동제어신호 (BSL),(BSR),(BLEQ)에 대한 전송경로인 게이트 폴리라인(A),(B),(C)의 상부에 소정 간격을 두고 메탈라인(A')(B'),(C')을 배선하고, 상기 센스앰프어레이(13)의 임의의 두개의 센스앰프(3) 사이를 소정 간격으로 이격한후 그 이격 지점에서 게이트 폴리라인(A),(B),(C)과 메탈라인(A')(B'),(C')을 콘택 션트(Shunt)하여 그 메탈라인(A')(B'),(C')을 통해 센스앰프구동제어신호(BSL),(BSR),(BLEQ)를 공급함으로써 센스앰프(3)의 위치상에 따른 공급지연시간을 줄이게 되어 정확한 센싱동작을수행하게 된다.That is, as shown in FIG. 5, the present invention is a gate polyline (A), (B), (C) which are transmission paths for the sense amplifier drive control signals BSL, BSR, and BLEQ of the sense amplifier array 13. The metal lines A '(B') and (C ') are wired at predetermined intervals on the upper part of the circuit board, and spaced apart from each other between the two sense amplifiers 3 of the sense amplifier array 13 at predetermined intervals. Then, at the separation point, the gate polylines (A), (B), (C) and the metal lines (A ') (B') and (C ') are shunted to the metal lines (A'). By supplying the sense amplifier drive control signals BSL, BSR, and BLEQ through (B ') and (C'), the supply delay time according to the position of the sense amplifier 3 is reduced, so that accurate sensing operation is performed. Will be performed.
이때, 도6과 같이 상기 콘택 션트(Shunt)는 소정의 두개 센스앰프(3) 사이를 이격하여 배선되는데, 그 콘택 션트(Shunt)에 해당되는 칼럼라인의 셀어레이(10)의 기억소자들 위로 다른 메탈라인을 배선하여 파워 메쉬(Mesh) 또는 클로발신호 라인으로 사용한다.At this time, as shown in FIG. 6, the contact shunt is wired apart from two predetermined sense amplifiers 3, and above the storage elements of the cell array 10 of the column line corresponding to the contact shunt. Wire another metal line to use as a power mesh or claw signal line.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명은 메탈라인에서 게이트 폴리 라인으로의 션트(Shunt)가 센스앰프 배열 가운데 부분에서도 이루어짐으로써 센스앰프의 게이트 폴리라인으로 인한 저항값과 커패시턴스를 감소시켜 정확한 센싱동작을 수행할 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, the present invention performs an accurate sensing operation by reducing the resistance value and capacitance caused by the gate polyline of the sense amplifier by shunting from the metal line to the gate polyline in the middle of the sense amplifier array. It can work.
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