KR100320328B1 - Surface Discharge Plasma Display Panel - Google Patents

Surface Discharge Plasma Display Panel Download PDF

Info

Publication number
KR100320328B1
KR100320328B1 KR1019960034645A KR19960034645A KR100320328B1 KR 100320328 B1 KR100320328 B1 KR 100320328B1 KR 1019960034645 A KR1019960034645 A KR 1019960034645A KR 19960034645 A KR19960034645 A KR 19960034645A KR 100320328 B1 KR100320328 B1 KR 100320328B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
display
light shielding
electrode
shielding film
pairs
Prior art date
Application number
KR1019960034645A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR970012900A (en
Inventor
토시유끼 난토
히로유끼 나까하라
노리유끼 아와지
마사유끼 와끼타니
쓰타에 시노다
께이이찌로 꼰노
야수오 야나기바시
나오히토 사까모토
Original Assignee
아끼구사 나오유끼
후지쯔 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP19183796A external-priority patent/JP3163563B2/en
Application filed by 아끼구사 나오유끼, 후지쯔 가부시끼가이샤 filed Critical 아끼구사 나오유끼
Publication of KR970012900A publication Critical patent/KR970012900A/en
Priority to KR1020010021964A priority Critical patent/KR100354875B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100320328B1 publication Critical patent/KR100320328B1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20Constructional details
    • H01J11/34Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
    • H01J11/44Optical arrangements or shielding arrangements, e.g. filters, black matrices, light reflecting means or electromagnetic shielding means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/10AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
    • H01J11/12AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma with main electrodes provided on both sides of the discharge space
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
    • H01J9/205Applying optical coatings or shielding coatings to the vessel of flat panel displays, e.g. applying filter layers, electromagnetic interference shielding layers, anti-reflection coatings or anti-glare coatings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2211/00Plasma display panels with alternate current induction of the discharge, e.g. AC-PDPs
    • H01J2211/20Constructional details
    • H01J2211/34Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
    • H01J2211/44Optical arrangements or shielding arrangements, e.g. filters or lenses
    • H01J2211/442Light reflecting means; Anti-reflection means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2211/00Plasma display panels with alternate current induction of the discharge, e.g. AC-PDPs
    • H01J2211/20Constructional details
    • H01J2211/34Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
    • H01J2211/44Optical arrangements or shielding arrangements, e.g. filters or lenses
    • H01J2211/444Means for improving contrast or colour purity, e.g. black matrix or light shielding means

Abstract

본 발명은 라인간의 비발광영역을 눈에 띄지 않게 하여 표시의 콘트라스트를 높이는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to increase the contrast of a display by making the non-light emitting area between lines inconspicuous.

그 구성은 방전공간(30)을 끼우는 기판쌍의 전면측 또는 배면측의 기판(11, 21)의 내면상에 표시 라인 L마다 라인방향으로 뻗는 한쌍의 표시전극(X, Y)을 갖는 면방전형 PDP(1)에서, 전면측의 기판(11)의 내면측 또는 외면측에 평면에서 보아 인접한 라인 L간의 표시전극쌍(X, Y)으로 끼워진 영역 S2와 겹쳐서 라인방향으로 뻗는 띠형상의 광막(45)를 배치한 것이다.The structure is a surface discharge type having a pair of display electrodes X and Y extending in a line direction for each display line L on the inner surface of the substrates 11 and 21 on the front side or the rear side of the pair of substrates sandwiching the discharge space 30. In the PDP 1, a band-shaped optical film extending in the line direction overlapping with the region S2 sandwiched by the display electrode pairs X and Y between adjacent lines L in plan view on the inner surface side or the outer surface side of the substrate 11 on the front side ( 45).

Description

면방전형 플라즈마 디스플레이 패널Surface Discharge Plasma Display Panel

본 발명은 매트릭스 표시방식의 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP)에 관한 것이다.The present invention relates to a surface discharge plasma display panel (PDP) of a matrix display method.

면방전형 PDP는 주방전 셀을 획정(劃定)하는 한 쌍의 표시전극 쌍을 동일한 기판상에 인접 배치한 PDP이며, 형광체에 의한 컬러표시에 적합하므로, 텔레비전 영상의 표시가 가능한 박형 디바이스로서 널리 이응되고 있다. 또 하이비전 영상용의 대화면표시 디바이스로서 유력시되고 있다. 이와 같은 상황하에서 고정밀화와 대화면화와 더불어 고콘트라스트화에 의한 표시품질의 향상이 요망되고 있다.A surface discharge type PDP is a PDP in which a pair of display electrodes for defining a discharge cell are arranged adjacent to one another on a same substrate, and is suitable for color display by phosphors, and thus is widely used as a thin device capable of displaying television images. It is responding. Moreover, it is considered as a big screen display device for high-vision video. Under such circumstances, it is desired to improve display quality due to high contrast and high contrast, and high contrast.

도14는 종래의 PDP(90)의 내부구조를 나타낸 요부 단면도이다. PDP(90)는 매트릭스 표시방식의 3전극 구조의 면방전형 PDP이며, 형광체의 배치형태에 의한 분류상 반사형으로 호칭되고 있다.14 is a sectional view showing the principal parts of the conventional PDP 90, showing its internal structure. The PDP 90 is a surface discharge type PDP having a three-electrode structure having a matrix display system, and is called a reflection type according to the arrangement of the phosphors.

PDP(90)에서는 전면측의 유리기판(11)의 내면에 기판면에 연한 면방전을 생기게 하기 위한 평행한 한 쌍의 표시전극 쌍(X, Y)이 매트릭스표시의 라인마다 한 쌍씩 배열되어 있다. 그리고 이들 표시전극 쌍(X, Y)을 방전공간(30)에 대해 피복하며, AC구동을 위한 유전체층(17)이 형성되어 있다. 유전체층(17)의 표면에는 보호막(18)이 증착되어 있다. 유전체층(17) 및 보호막(18)은 다 같이 투광성을 가지고 있다.In the PDP 90, a pair of parallel pairs of display electrodes X and Y for generating light surface discharge on the substrate surface on the inner surface of the glass substrate 11 on the front side is arranged in pairs for each line of the matrix display. . The display electrode pairs X and Y are covered with the discharge space 30, and a dielectric layer 17 for AC driving is formed. The protective film 18 is deposited on the surface of the dielectric layer 17. The dielectric layer 17 and the protective film 18 are both transparent.

표시전극 쌍(X, Y)은 각각 ITO 박막으로 된 폭이 넓은 직선형상의 투명전극(41)과 금속박막(Cr/Cu/Cr)으로 된 폭이 좁은 직선형상의 버스전극(42)으로 구성되어 있다. 버스전극(42)은 적정한 도전성을 확보하기 위한 보조전극이며, 투명전극(41)의 면방전 갭으로부터 먼 곳의 단연부(端緣部)에 배치되어 있다. 이와 같은 전극구조를 채용함으로써 표시광의 차광을 최소한으로 억제하면서 면방전영역을 넓혀서 발광효율을 높일 수 있다.The display electrode pairs X and Y each consist of a wide linear transparent electrode 41 made of an ITO thin film and a narrow linear bus electrode 42 made of a metal thin film (Cr / Cu / Cr). . The bus electrode 42 is an auxiliary electrode for ensuring proper conductivity, and is disposed at a far end of the transparent electrode 41 far from the surface discharge gap. By employing such an electrode structure, the light emission efficiency can be increased by widening the surface discharge area while minimizing light shielding of the display light.

한편, 배면측의 유리기판(21)의 내면에는 표시전극 쌍(X, Y)과 직교하는 어드레스전극(A)이 배열되어 있다. 그리고 어드레스전극(A)의 상부를 포함하여 유리기판(21)을 피복하는 형광체층(28)이 형성되어 있다. 어드레스전극(A)과 표시전극(Y) 사이의 대향 방전에 의해 유전체층(17)의 벽전하의 축적상태가 제어된다. 형광체층(28)은 면방전으로 생긴 자외선(UV)에 의해 국부적으로 여기되어 소정 색의 가시광을 발한다. 이 가시광 중에서 유리기판(11)을 투과하는 광이 표시광이 된다.On the other hand, an address electrode A orthogonal to the display electrode pairs X and Y is arranged on the inner surface of the glass substrate 21 on the rear side. The phosphor layer 28 covering the glass substrate 21 including the upper portion of the address electrode A is formed. The accumulation state of the wall charges in the dielectric layer 17 is controlled by the counter discharge between the address electrode A and the display electrode Y. The phosphor layer 28 is locally excited by ultraviolet (UV) light generated by surface discharge to emit visible light of a predetermined color. Among the visible light, the light passing through the glass substrate 11 becomes the display light.

그런데 각 라인의 표시전극(X)과 표시전극(Y)간의 간극(S1)은 "방전슬릿"이라고 호칭되며, 이 방전슬릿(S1)의 폭(표시전극 쌍(X, Y)의 배열방향의 치수)(w1)은 100∼200V 정도의 구동전압의 인가로 면방전이 생기도록 선정되어 있다. 이에 대해서 인접하는 라인간의 표시전극(X)과 표시전극(Y)간의 간극(S2)은 "역슬릿"이라 호칭되며, 이 역슬릿(S2)의 폭(w2)은 방전슬릿(S1)의 폭(w1)보다도 충분히 큰 값으로 선정되어 있다 즉, 역슬릿(S2)을 사이에 두고 배열된 표시전극(X, Y)간의 방전이 방지되어 있다. 이와 같이 방전슬릿(S1) 및 역슬릿(S2)을 사이에 두고 표시전극(X, Y)을 배열함으로써 각 라인을 선택적으로 발광시킬 수 있다. 따라서 표시화면내의 역슬릿(S2)에 대응하는 부분은 비발광영역 또는 비표시영역이 되고,슬릿(S1) 부분은 발광영역 또는 표시영역이 된다.The gap S1 between the display electrode X and the display electrode Y of each line is called a "discharge slit", and the width of the discharge slit S1 (in the arrangement direction of the pair of display electrodes X and Y). Dimension (w1) is selected so that surface discharge occurs by application of a driving voltage of about 100 to 200V. On the other hand, the gap S2 between the display electrode X and the display electrode Y between adjacent lines is called "reverse slit", and the width w2 of the reverse slit S2 is the width of the discharge slit S1. It is set to a value sufficiently larger than (w1). That is, discharge between the display electrodes X and Y arranged with the reverse slit S2 therebetween is prevented. In this way, by disposing the display electrodes X and Y with the discharge slit S1 and the reverse slit S2 interposed therebetween, each line can be selectively emitted. Therefore, the part corresponding to the reverse slit S2 in the display screen becomes a non-light emitting area or a non-display area, and the slit S1 part becomes a light emitting area or a display area.

종래의 패널구조는 전면측으로부터 역슬릿(S2)을 통해서 비발광상태와 형광체층(28)이 보이는 구조이었다. 비발광상태의 형광체층(28)은 백색 또는 엷은 회색등의 흰빛을 띤 색이다. 그 때문에 특히 밝은 장소에서 사용하였을 때에는 외광이 형광체층(28)에서 산란하여 라인간의 비발광영역이 흰빛을 띠게 되어, 표시의 콘트라스트가 손상되었었다.The conventional panel structure is a structure in which the non-light-emitting state and the phosphor layer 28 are visible through the reverse slit S2 from the front side. The phosphor layer 28 in the non-luminous state is white or light grayish white in color. For this reason, when used in a particularly bright place, external light is scattered in the phosphor layer 28 so that the non-light emitting area between the lines becomes white, and the contrast of the display is damaged.

또한 컬러표시용의 PDP의 콘트라스트를 높이는 방법으로서 전면측 기판의 외면에 형광체의 발광색에 대응한 반투명의 도료를 발라서 색필터로 하는 방법, PDP의 전면에 별도로 제작한 필터를 배치하는 방법, 유전체층(17)을 R, G, B로 색구분하여 착색하는 방법이 제안되어 있다.In addition, as a method of increasing the contrast of the PDP for color display, a method of applying a color filter by applying a translucent paint corresponding to the emission color of the phosphor on the outer surface of the front substrate, a method of disposing a filter separately manufactured on the front of the PDP, and a dielectric layer ( The method of color-dividing 17) into R, G, and B is proposed.

그러나 미소한 화소에 대응시켜서 각색의 도료를 바른다는 것은 매우 곤란하다. 별개의 필터를 배치한 경우에는 PDP와 필터간의 간극으로 인한 표시화상의 변형이 생긴다. 또 유전체층(17)를 색구분하는 경우에는 각 색마다 착색제(안료)가 다르므로 색구분에 따라서는 유전율의 균일성이 손상되어 방전특성이 불안정하게 된다. 거기에다 유전체층의 색구분은 도료를 구분해서 바르는 것과 마찬가지로 위치를 맞추기가 곤란하다.However, it is very difficult to apply various paints in correspondence with the minute pixels. If a separate filter is arranged, the display image is deformed due to the gap between the PDP and the filter. In the case of color classification of the dielectric layer 17, since the colorant (pigment) is different for each color, the uniformity of the dielectric constant is impaired depending on the color classification, resulting in unstable discharge characteristics. In addition, the color classification of the dielectric layer is difficult to align the same as the coating of the paint separately.

본 발명은 상술한 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 라인간의 비발광영역을 눈에 띄지 않게 하여 표시 콘트라스트를 높이는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to increase the display contrast by making the non-light emitting area between lines inconspicuous.

또한 본 발명은 표시라인간의 비발광영역에 흑색안료를 함유한 차광막을 형성하기에 가장 적합한 구조 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a structure and a method of manufacturing the most suitable for forming a light shielding film containing a black pigment in the non-light emitting region between display lines.

도1은 본 발명에 의한 PDP의 기본구조를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing the basic structure of a PDP according to the present invention;

도2는 PDP의 요부의 단면도.2 is a cross-sectional view of the main portion of the PDP.

도3은 차광막의 평면도.3 is a plan view of a light shielding film;

도4는 PDP의 전면측 부분의 제조방법을 나타낸 도면.Fig. 4 is a diagram showing a manufacturing method of the front side portion of the PDP.

도5는 제2 PDP의 요부의 단면도.Fig. 5 is a sectional view of a main portion of the second PDP.

도6은 제3의 PDP의 요부의 단면도.Fig. 6 is a sectional view of a main portion of a third PDP.

도7은 제4의 PDP의 요부의 단면도.7 is a sectional view of a main portion of a fourth PDP.

도8은 제5의 PDP의 요부의 단면도.Fig. 8 is a sectional view of a main portion of a fifth PDP.

도9는 제2, 4, 5의 PDP의 제조방법을 설명한 단면도.Fig. 9 is a sectional view for explaining a method for manufacturing PDPs of the second, fourth and fifth.

도10은 제2, 4, 5의 PDP의 제조방법을 설명한 단면도.Fig. 10 is a sectional view for explaining a method for manufacturing PDPs of the second, fourth, and fifth.

도11은 차광막(48)을 패널 표시영역의 외부 주변부에도 형성한 경우의 평면도.Fig. 11 is a plan view when the light shielding film 48 is also formed in the outer periphery of the panel display area.

도12는 도11내의 XX-YY로 나타낸 부분의 단면 구조도.FIG. 12 is a cross-sectional structural view of the part shown by XX-YY in FIG.

도13은 PDP의 변형례의 단면도.Fig. 13 is a sectional view of a modification of the PDP.

도14는 종래의 PDP의 내부구조를 나타낸 요부 단면도.Fig. 14 is a sectional view of principal parts showing the internal structure of a conventional PDP.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 전면기판 위에, 면방전을 위한 방전슬릿을 사이에 두고 배치한 표시전극 쌍을 각각 방전하지 않는 소정의 역슬릿을 사이에 두고 복수 쌍 배치하는 동시에 상기 각 표시전극 쌍을 피복하는 유전체층이 설치되고, 배면기판 위에, 상기 표시전극 쌍과 교차하는 복수의 어드레스전극 및 복수의 스트라이프 모양의 형광체를 구비하여 이루어지는 3전극 형식의 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 전면기판의 인접하는 표시전극 쌍 사이의 상기 역슬릿부에 대응하는 위치이면서 또 상기 유전체층의 두께방향의 중간부에, 상기 표시전극 쌍과 이격되도록 차광막을 설치하고, 상기 차광막에 의해서 상기 역슬릿부에서의 상기 배면기판 위의 상기 형광체로의 투시를 차단하도록 구성한 것을 특징으로 하는 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널이 제공된다.In order to achieve the above object, according to the present invention, a plurality of pairs of predetermined reverse slits which do not discharge each of the display electrode pairs arranged with the discharge slits for the surface discharge interposed therebetween are arranged on the front substrate. In a three-electrode surface discharge type plasma display panel comprising a dielectric layer covering each display electrode pair and having a plurality of address electrodes and a plurality of stripe-shaped phosphors intersecting the display electrode pair on a rear substrate. A light shielding film is provided at a position corresponding to the reverse slit portion between adjacent pairs of display electrodes on the front substrate and in the middle of the dielectric layer in a thickness direction so as to be spaced apart from the display electrode pair, and the reverse slit by the light shielding film. It is configured to block the projection to the phosphor on the back substrate in the negative portion The surface discharge type plasma display panel to be provided.

또한, 본 발명에 따르면, 전면기판 위에, 면방전을 위한 방전슬릿을 사이에 두고 배치한 표시전극 쌍을 각각 방전하지 않는 소정의 역슬릿을 사이에 두고 복수 쌍 평행하게 배치하고, 배면기판 위에, 상기 표시전극 상과 교차하는 복수의 어드레스전극 및 복수의 스프라이프 모양의 형광체를 구비하여 이루어진 3전극형식의 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 전면기판의 인접하는 표시전극 쌍 사이의 상기 역슬릿부에, 상기 배면기판 위의 스트라이프 모양의 형광체로의 투시를 차단하는 띠모양의 차광막을 설치하고, 상기 각 표시전극 쌍은, 투명전극과, 상기 투명전극보다 폭이 좁고 또 상기 투명전극에서의 상기 역슬릿부에 가까운 측의 단연부(斷緣部)에 겹치는 금속전극으로 이루어지며, 유전체층에 의해서 상기 방전공간에 대하여 피복되고, 상기 차광막은, 평면에서 보아 상기 역슬릿부 양측의 상기 금속전극과 겹치도록 상기 표시전극의 상기 전면기판측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널이 제공된다.In addition, according to the present invention, a plurality of pairs are arranged in parallel on the front substrate, with predetermined reverse slits that do not discharge each of the display electrode pairs disposed with the discharge slits for surface discharge interposed therebetween, and on the rear substrate, In a three-electrode type surface discharge plasma display panel comprising a plurality of address electrodes and a plurality of stripe-shaped phosphors intersecting the display electrodes, the reverse slit portions between adjacent pairs of display electrodes on the front substrate. A strip-shaped light shielding film is provided on the back substrate to block the projection of the stripe-shaped phosphor on the back substrate, wherein each pair of display electrodes has a width smaller than that of the transparent electrode and the transparent electrode, It consists of a metal electrode which overlaps the edge part of the side close to an inverse slit part, and is made with respect to the said discharge space by a dielectric layer. The surface-shielding plasma display panel is coated, wherein the light shielding film is disposed on the front substrate side of the display electrode so as to overlap the metal electrodes on both sides of the reverse slit portion in plan view.

또한, 본 발명에 따르면, 전면기판 위에, 면방전을 위한 방전슬릿을 사이에 두고 배치한 표시전극 쌍을 각각 방전하지 않는 소정의 역슬릿을 사이에 두고 복수 쌍 평행하게 배치하고, 배면기판 위에, 상기 표시전극 쌍과 교차하는 복수의 어드레스전극 및 복수의 스트라이프 모양의 형광체를 구비하여 이루어지는 3전극형식의 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 전면기판의 인접하는 표시전극 쌍 사이의 상기 역슬릿부에, 상기 표시전극과 일부 중복하는 띠모양의 차광막을 설치하고, 상기 차광막에 의해서 상기 역슬릿부에서의 상기 배면기판 위의 상기 형광체로의 투시를 차단하도록 구성한 것을 특징으로 하는 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널이 제공된다.In addition, according to the present invention, a plurality of pairs are arranged in parallel on the front substrate, with predetermined reverse slits that do not discharge each of the display electrode pairs disposed with the discharge slits for surface discharge interposed therebetween, and on the rear substrate, In a three-electrode surface discharge plasma display panel comprising a plurality of address electrodes and a plurality of stripe-shaped phosphors intersecting the display electrode pairs, the reverse slit portion between adjacent display electrode pairs of the front substrate. And a strip-shaped light shielding film partially overlapping with the display electrode, and configured to block the projection from the reverse slit to the phosphor on the rear substrate by the light shielding film. Is provided.

또한, 본 발명에 따르면, 전면기판 위에, 면방전을 위한 방전슬릿을 사이에 두고 배치한 표시전극 쌍을 각각 방전하지 않는 소정의 역슬릿을 사이에 두고 복수 쌍 평행하게 배치하고, 배면기판 위에, 상기 표시전극 쌍과 교차하는 복수의 어드레스전극 및 복수의 스트라이프 모양의 형광체를 구비하여 이루어진 3전극형식의 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 전면기판의 인접하는 표시전극 쌍 사이의 상기 역슬릿부에, 상기 표시전극과 단부(端部)에서 접촉하는 띠모양의 차광막을 설치하고, 상기 차광막에 의해서 상기 역슬릿부에서의 상기 배면기판 위의 상기 형광체로의 투시를 차단하도록 구성한 것을 특징으로 하는 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널이 제공된다.In addition, according to the present invention, a plurality of pairs are arranged in parallel on the front substrate, with predetermined reverse slits that do not discharge each of the display electrode pairs disposed with the discharge slits for surface discharge interposed therebetween, and on the rear substrate, In a three-electrode type surface discharge plasma display panel comprising a plurality of address electrodes and a plurality of stripe-shaped phosphors intersecting the display electrode pairs, the reverse slit portion between adjacent display electrode pairs of the front substrate. And a band-shaped light shielding film in contact with the display electrode at an end thereof, and configured to block the projection to the phosphor on the rear substrate from the reverse slit by the light shielding film. A typical plasma display panel is provided.

[실시예]EXAMPLE

도1은 본 발명에 관한 PDP(1)의 기본구조를 나타낸 사시도이다. 또한 도1에서는 도14와 대응하는 구성요소에는 형상 및 재질의 차이에 불구하고 동일한 부호를 붙이고 있다. 이하 다른 도면에 대해서도 마찬가지이다.1 is a perspective view showing the basic structure of a PDP 1 according to the present invention. In Fig. 1, the same reference numerals are given to the corresponding elements in Fig. 14 despite the difference in shape and material. The same applies to other drawings below.

PDP(1)는 종래의 PDP(90)와 마찬가지로 반사형으로 호칭되는 매트릭스 표시방식의 3전극 구조의 면방전형 PDP이다. 외관 형상은 방전공간(30)을 사이에 두고 대향하는 한 쌍의 유리기판(11, 21)으로 형성되어 있으며, 이들 유리기판(11, 21)은 서로의 대향영역의 주연부(周緣部)에 형성된 저융점 유리로 된 도시하지 않은 틀형상의 실링층에 의해 접합되어 있다.The PDP 1 is a surface discharge type PDP having a three-electrode structure having a matrix display method, which is called a reflection type, like the conventional PDP 90. The outer shape is formed of a pair of glass substrates 11 and 21 which face each other with the discharge space 30 interposed therebetween, and the glass substrates 11 and 21 are formed at the periphery of the opposing regions. It is bonded by the frame-shaped sealing layer which is not shown which consists of low melting-point glass.

전면측의 유리기판(11)의 내면에는 기판면에 연한 면방전을 생기게 하기 위한 평행한 한 쌍의 직선형상의 표시전극 쌍(X, Y)이 매트릭스표시의 라인(L)마다 한 쌍씩 배열되어 있다. 라인 피치는 예컨대 660㎛이다.On the inner surface of the glass substrate 11 on the front side, a pair of parallel pairs of linear display electrodes X and Y for generating light surface discharge on the substrate surface are arranged in pairs for each line L of the matrix display. . The line pitch is, for example, 660 mu m.

표시전극 쌍(X, Y)은 각각 ITO 박막으로 된 폭이 넓은 직선형상의 투명전극(41)과 다층구조의 금속박막으로 된 폭이 좁은 직선형상의 버스전극(42)으로 구성되어 있다. 투명전극(41) 및 버스전극(42)의 치수의 구체예로서는 투명전극(41)이 두께 0.1㎛, 폭 180㎛, 버스전극(42)이 두께 1㎛, 폭 60㎛이다.The display electrode pairs X and Y are each composed of a wide linear transparent electrode 41 made of an ITO thin film and a narrow linear bus electrode 42 made of a metal thin film having a multilayer structure. As a specific example of the dimension of the transparent electrode 41 and the bus electrode 42, the transparent electrode 41 is 0.1 micrometer in thickness, 180 micrometers in width, and the bus electrode 42 is 1 micrometer in thickness, and 60 micrometers in width.

버스전극(42)은 적정한 도전성을 확보하기 위한 보조전극이며, 투명전극(41)의 면방전 갭으로부터 먼 곳의 단연부에 배치되어 있다.The bus electrode 42 is an auxiliary electrode for ensuring proper conductivity, and is disposed at the edge of the transparent electrode 41 far from the surface discharge gap.

PDP(1)에서는 표시전극 쌍(X, Y)을 방전공간(30)에 대해 피복하며, AC구동을 위한 유전체층(PbO계 저융점 유리층)(17)이 형성되어 있다. 그리고 유전체층(17)의 표면에는 MgO(산화마그네슘)로 된 보호막(18)이 증착되어 있다. 유전체층(17)의 두께는 약 30㎛이며, 보호막(18)의 두께는 약 5000Å이다.In the PDP 1, the display electrode pairs X and Y are covered with the discharge space 30, and a dielectric layer (PbO-based low melting point glass layer) 17 for AC driving is formed. A protective film 18 made of MgO (magnesium oxide) is deposited on the surface of the dielectric layer 17. The thickness of the dielectric layer 17 is about 30 micrometers, and the thickness of the protective film 18 is about 5000 micrometers.

한편, 배면측의 유리기판(21)의 내면은 ZnO계 저융점 유리로 된 두께 10㎛ 정도의 하지층(22)으로 균일하게 피복되어 있다. 그리고 하지층(22)상에 표시전극 쌍(X, Y)과 직교하여 일정 피치(220㎛)로 어드레스전극(A)이 배열되어 있다. 어드레스전극(A)은 은 페이스트의 소성에 의해 형성되고, 그 두께는 약 10㎛이다. 하지층(22)은 어드레스전극(A)의 전자이동(elecromigration)을 방지한다.On the other hand, the inner surface of the glass substrate 21 on the back side is uniformly covered with a base layer 22 having a thickness of about 10 mu m of ZnO-based low melting glass. The address electrodes A are arranged on the base layer 22 at a predetermined pitch (220 mu m) orthogonal to the display electrode pairs X and Y. The address electrode A is formed by firing a silver paste, and its thickness is about 10 mu m. The base layer 22 prevents electromigration of the address electrode A. FIG.

어드레스전극(A)과 표시전극(Y)간의 대향방전에 의해 유전체층(17)에 대한 벽전하의 축적상태가 제어된다. 어드레스전극(A)도 하지층(22)과 같은 조성의 저융점 유리로 된 유전체층(24)으로 피복되어 있다. 어드레스전극(A)의 상부 유전체층(24)의 두께는 10㎛ 정도이다.The accumulation state of the wall charges on the dielectric layer 17 is controlled by the opposite discharge between the address electrode A and the display electrode Y. FIG. The address electrode A is also covered with a dielectric layer 24 made of low melting glass having the same composition as the base layer 22. The thickness of the upper dielectric layer 24 of the address electrode A is about 10 mu m.

유전체층(24)상에는 높이가 약 150㎛인, 평면에서 보아 직선형상의 복수의 격벽(29)이 각 어드레스전극(A) 사이에 1개씩 설치되어 있다. 그리고 어드레스전극(A)의 상부를 포함하여 유전체층(24)의 표면 및 격벽(29)의 측면을 피복하는 프리 컬러표시를 위한 R(적색), G(녹색), B(청색)의 3원색의 형광체층(28R, 28G, 28B)(이하 특히 색을 구별할 필요가 없을 경우에는 형광체층(28)이라 기술한다)이 형성되어 있다. 이들 형광체층(28)은 면방전으로 생긴 자외선에 의해 여기되어 발광한다.On the dielectric layer 24, a plurality of linearly partitioned barrier ribs 29 having a height of about 150 mu m are provided between each address electrode A. The three primary colors of R (red), G (green), and B (blue) for pre-color display covering the surface of the dielectric layer 24 and the side surface of the partition wall 29 including the upper portion of the address electrode A are covered. Phosphor layers 28R, 28G, and 28B (hereinafter referred to as phosphor layer 28 when there is no need to distinguish colors in particular) are formed. These phosphor layers 28 are excited by ultraviolet rays generated by surface discharge and emit light.

격벽(29)에 의해, 방전공간(30)이 라인방향(표시전극 쌍(X, Y)과 평행한 화소 배열방향)으로 단위 발광영역마다 구획되고, 또 방전공간(30)의 간극 치수가 규정되어 있다. PDP(1)에서는 매트릭스표시의 열방향(표시전극 쌍(X,Y)의 배열방향)으로 방전공간(30)을 구획하는 격벽은 없다. 표시전극 쌍(X, Y)을 갖는 표시라인(L)의 간격(역슬릿의 폭)이 100∼400㎛로 선정되어, 각 라인(L)에서의 50㎛ 정도의 면방전 갭(방전슬릿의 폭)에 비해 충분히 크므로 라인간의 방전의 간섭은 생기지 않는다.By the partition 29, the discharge space 30 is partitioned for each unit light emitting area in the line direction (pixel array direction parallel to the display electrode pairs (X, Y)), and the gap dimension of the discharge space 30 is defined. It is. In the PDP 1, there is no partition wall that partitions the discharge space 30 in the column direction of the matrix display (array direction of the pair of display electrodes X and Y). The spacing (width of the reverse slit) of the display line L having the display electrode pairs X and Y is selected to be 100 to 400 mu m, and the surface discharge gap of about 50 mu m in each line L (the Since the width is sufficiently large, the interference of discharge between lines does not occur.

PDP(1)에서 표시 1화소(픽셀(pixel))는 각 라인(L)내의 인접하는 3개의 단위 발광영역(서브픽셀(sub-pixel))으로 구성된다. 동일한 열의 각 라인(L)의 발광색은 동일하며, 각 색의 형광체층(28R, 28G, 28B)은 열내에서 연속되게 스크린인쇄에 의해 형성되어 있다. 스크린인쇄는 생산성이 우수하다. 열내에서 형광체층(28)이 연속할 경우에는 라인(L)마다 분단시켜서 배치하는 경우에 비해 각 서브픽셀의 형광체층(28)의 두께를 용이하게 균일화할 수 있다.In the PDP 1, one display pixel (pixel) is composed of three adjacent unit light emitting regions (sub-pixels) in each line L. As shown in FIG. The emission colors of the lines L in the same column are the same, and the phosphor layers 28R, 28G, and 28B of each color are formed by screen printing continuously in the column. Screen printing is very productive. In the case where the phosphor layers 28 are continuous in the column, the thickness of the phosphor layer 28 of each subpixel can be easily uniformed as compared with the case where the phosphor layers 28 are segmented for each line L.

도2는 PDP(1)의 요부의 단면도, 도3은 차광막(45)의 평면도이다. 도2와 같이 PDP(1)에서는 유리기판(11)의 내면과 직접 접촉하여 가시광을 차단하는 차광막(45)이 역슬릿(S2)마다 형성되어 있다. 각 차광막(45)은 도3과 같이 라인방향으로 연장하는 띠형상으로 패터닝되어 있으며, 인접한 라인(L)간의 표시전극(X, Y) 사이의 영역과 겹쳐서 배치되어 있다. 이들의 서로 떨어진 차광막(45)에 의해 표시화면의 전체에는 스트라이프 형상(주름무늬 형상)의 차광패턴이 형성되며, 라인(L) 사이에서 형광채층(28)이 가려져서 표시 콘트라스트가 높아진다. 스트라이프 패턴에 의하면 서브픽셀 또는 픽셀을 둘러싸는 매트릭스 패턴과 달리 라인방향의 위치가 어긋날 우려가 없으므로, PDP(1) 제조시의 양 유리기판(11, 21)의 위치를 맞추기가 용이해진다.2 is a cross-sectional view of the main portion of the PDP 1, and FIG. 3 is a plan view of the light shielding film 45. FIG. As shown in FIG. 2, in the PDP 1, a light shielding film 45 which directly contacts the inner surface of the glass substrate 11 to block visible light is formed for each inverse slit S2. Each light shielding film 45 is patterned in a band shape extending in the line direction as shown in FIG. 3, and is overlapped with the area between the display electrodes X and Y between adjacent lines L. As shown in FIG. These light shielding films 45 are separated from each other to form a light shielding pattern having a stripe shape (wrinkle pattern) on the entire display screen, and the fluorescent layer 28 is covered between the lines L, thereby increasing display contrast. According to the stripe pattern, unlike the subpixel or the matrix pattern surrounding the pixels, there is no possibility that the position in the line direction is shifted, so that the positions of the two glass substrates 11 and 21 at the time of manufacturing the PDP 1 can be easily matched.

또한 상술한 격벽(29)의 적어도 정상부는 상기 차광막과 마찬가지의 암색으로 형성해두는 것이 바람직하다. 이렇게 하면 서로 교차하는 방향의 격벽과 차광막으로 격자형상의 암색 패턴이 형성되므로, 각 서브픽셀의 윤곽이 명료해진다. 구체적으로는 격벽의 재료에 크롬(Cr)등의 흑색재료를 혼입시켜서 전체가 암색의 격벽을 형성한다.In addition, it is preferable that at least the top of the partition 29 be formed in the same dark color as the light shielding film. In this way, since the lattice-shaped dark pattern is formed by the partition wall and the light shielding film which cross each other, the outline of each subpixel becomes clear. Specifically, black materials, such as chromium (Cr), are mixed in the material of a partition, and the whole forms a dark partition.

도4는 PDP(1)의 전면측 부분의 제조방법을 나타낸 도면이다. PDP(1)는, 유리기판(11)과 유리기판(21)에 별개로 소정의 구성요소를 설치하고 그 후에 양 유리기판(11, 21)을 대향 배치하고 주연부를 접합하여 제조된다.4 is a diagram illustrating a manufacturing method of the front side portion of the PDP 1. The PDP 1 is manufactured by providing predetermined components separately from the glass substrate 11 and the glass substrate 21, and then arranging both glass substrates 11 and 21 to face each other and joining the peripheral edges thereof.

전면측의 제조시에는 우선 유리기판(11)의 표면에 스퍼터링에 의해 암색의 절연재료를 퇴적시켜서, 금속전극(42)보다 표면반사율이 적은 절연막(도시하지 않음)을 형성한다. 절연재료로서는 산화크롬(CrO), 산화규소(SiO)등을 사용할 수 있다. 절연막의 두께는 투명전극(41)의 단차를 경감하는 점에서 1㎛ 이하가 바람직하다. 다음에 절연막을 제1 노광마스크를 사용한 포토리소그래피에 의해 패터닝하여, 상술한 복수의 차광막(45)을 일괄해서 형성한다[도4(a)].In manufacturing the front side, first, a dark insulating material is deposited on the surface of the glass substrate 11 by sputtering to form an insulating film (not shown) having a lower surface reflectivity than the metal electrode 42. As the insulating material, chromium oxide (CrO), silicon oxide (SiO), or the like can be used. The thickness of the insulating film is preferably 1 μm or less in terms of reducing the step of the transparent electrode 41. Next, the insulating film is patterned by photolithography using a first exposure mask to collectively form the plurality of light shielding films 45 (Fig. 4 (a)).

이어서 차광막(45)을 갖는 유리기판(11)상에 ITO막을 형성하고, 제2 노광마스크를 사용한 포토리소그래피에 의해 패터닝하여, 차광막(45)과 부분적으로 겹치도록 투명전극(41)을 형성한다[도4(b)].Next, an ITO film is formed on the glass substrate 11 having the light shielding film 45, and patterned by photolithography using a second exposure mask to form a transparent electrode 41 so as to partially overlap the light shielding film 45 [ 4 (b)].

차광막(45)과 투명전극(41)을 덮도록 자외선 노광에 의해 용해되지 않는 네거티브형의 감광재료(61)를 도포하고, 유리기판(11)의 이면측으로부터 감광재료에 대해 전면 노광을 실시한다[도4(c)]. 그리고 감광재료를 현상해서 차광막사이의 영역만을 덮는 레지스트층(62)을 형성한다[도4(d)].A negative photosensitive material 61 which is not dissolved by ultraviolet exposure is applied to cover the light shielding film 45 and the transparent electrode 41, and the entire surface is exposed to the photosensitive material from the rear surface side of the glass substrate 11. Figure 4 (c). Then, the photosensitive material is developed to form a resist layer 62 covering only the region between the light shielding films (Fig. 4 (d)).

다음에 투명전극(41)의 노출부분상에 선택 도금에 의해 예컨대 니켈/동/니켈로 된 복층구조의 금속전극(42)을 형성한다[도4(e)].Next, on the exposed portion of the transparent electrode 41, a multi-layered metal electrode 42 made of nickel / copper / nickel is formed by selective plating (Fig. 4 (e)).

그 후에 레지스트층(62)을 제거하고, 유전체층(17) 및 보호막(18)을 차례로 형성하여 전면측의 제조를 끝낸다[도4(f)].Thereafter, the resist layer 62 is removed, and the dielectric layer 17 and the protective film 18 are sequentially formed to finish the manufacture of the front side (Fig. 4 (f)).

이상과 같은 전면측의 제조에 있어서, 필요한 노광마스크의 수는 종래의 PDP(90)를 제조할 경우와 같은 수인 "2"이며(도4(a), (b)), 노광마스크의 정렬수도 종래와 같은 수인 "1"이다. 즉 도4의 제조방법에 의하면 정렬의 어긋남으로 인한 수율을 저하시키지 않고 차광막(45)을 형성할 수 있다.In the manufacture of the front side as described above, the required number of exposure masks is " 2 " which is the same number as that of the conventional PDP 90 (Figs. It is "1" which is a conventional number. That is, according to the manufacturing method of Fig. 4, the light shielding film 45 can be formed without lowering the yield due to misalignment.

도5는 본 발명의 제2 실시예에 의한 PDP(2)의 요부의 단면도이며, 방전공간의 전면측 부분의 구조를 나타내고 있다. PDP(2)에서는 전면측의 유리기판(11)의 내면에 역슬릿(S2)과 동일한 폭의 차광막(46)이 형성되어 있다. 차광막(46)도 도3의 차광막(45)과 마찬가지로 평면에서 보아 라인방향으로 연장하는 띠형상이며, 스트라이프형상의 광패턴을 구성한다.Fig. 5 is a sectional view of the main portion of the PDP 2 according to the second embodiment of the present invention, showing the structure of the front side portion of the discharge space. In the PDP 2, a light shielding film 46 having the same width as the reverse slit S2 is formed on the inner surface of the glass substrate 11 on the front side. Similar to the light shielding film 45 of FIG. 3, the light shielding film 46 also has a band shape extending in a line direction in plan view, and constitutes a stripe-shaped light pattern.

PDP(2)의 제조시에는 유리기판(11)상에 표시전극 쌍(X, Y)을 형성한 후에, 예를 들어 산화철 또는 산화코발트등의 600℃ 이상의 내열성을 갖는 흑색 안료를 역슬릿영역(S2)에 인쇄하여 차광막(46)을 형성한다. 그리고 저융점 유리를500∼600℃의 온도에서 소성하여 유전체층(17)을 형성한다.In manufacturing the PDP 2, after forming the display electrode pairs X and Y on the glass substrate 11, a black pigment having a heat resistance of 600 ° C. or higher, such as iron oxide or cobalt oxide, for example, is formed in the reverse slit region ( The light shielding film 46 is formed by printing on S2). And low melting glass is baked at the temperature of 500-600 degreeC, and the dielectric layer 17 is formed.

차광막(46)의 두께는 유전체층(17) 표면의 평탄성을 확보하는 점에서 각 표시전극 쌍의 두께 이하가 바람직하다. 또 유전체층(17)을 2층구조로 하여, 각 층마다 소성하는 것이 바람직하다. 즉 우선 저융점 유리 페이스트를 비교적 얇게 도포하고 소성하여 하측 유전체층(17a)을 형성한다. 그 후에 다시 저융점 유리 페이스트를 필요한 두께의 유전체층(17)이 얻어지도록 도포하고 소성하여 상측 유전체층(17b)을 형성한다. 차광막(46)과 접하는 하측 유전체층(17a)을 얇게하면 소성시의 저융점 유리의 연화에 수반하는 흑색 안료의 유동을 저감할 수 있으며, 차광막(46)이 불필요하게 퍼져서 휘도가 저하하는 것을 방지할 수 있다. 하측 유전체층(17a)의 두께를 차광막(46) 폭의 1/10 이하로 선정하면 실질적으로 안료의 유동에 따른 영향이 나타나지 않는다.The thickness of the light shielding film 46 is preferably equal to or less than the thickness of each display electrode pair in terms of ensuring flatness of the surface of the dielectric layer 17. In addition, it is preferable that the dielectric layers 17 have a two-layer structure and fire for each layer. That is, first, the low melting glass paste is applied relatively thinly and baked to form the lower dielectric layer 17a. Thereafter, the low melting glass paste is applied again and baked to obtain a dielectric layer 17 having a required thickness, thereby forming the upper dielectric layer 17b. When the lower dielectric layer 17a in contact with the light shielding film 46 is made thin, the flow of the black pigment accompanying softening of the low melting point glass at the time of firing can be reduced, and the light shielding film 46 is unnecessarily spread out to prevent the luminance from falling Can be. If the thickness of the lower dielectric layer 17a is set to 1/10 or less of the width of the light shielding film 46, the effect of the pigment flow does not appear substantially.

또한 하측 유전체층(17a)의 소성온도를 저융점 유리의 연화온도보다 낮은 온도로 함에 의해서도 차광막(46)이 불필요하게 퍼지는 것을 방지할 수 있다. 이 경우에는 하측 유전체층(17a) 및 상측 유전체층(17b)의 두께를 동일하게 하여도 좋고, 상측 유전체층(17b)를 하측 유전체층(7a)보다 얇게 할 수도 있다.In addition, it is possible to prevent the light-shielding film 46 from unnecessarily spreading even when the firing temperature of the lower dielectric layer 17a is lower than the softening temperature of the low melting glass. In this case, the thicknesses of the lower dielectric layer 17a and the upper dielectric layer 17b may be the same, and the upper dielectric layer 17b may be thinner than the lower dielectric layer 7a.

도6은 본 발명의 제3 실시예에 의한 PDP(3)의 요부의 단면도이며, 방전공간의 전면측 부분의 구조를 나타내고 있다. PDP(3)에서는 유전체층(17)의 두께방향의 중간부에 역슬릿(S2)마다 차광막(47)이 배치되어 있다. 차광막(47)도 도3의 차광막(45)과 마찬가지로 평면에서 보아 라인방향으로 연장하는 띠형상이며, 스트라이프형상의 차광패턴을 구성한다.Fig. 6 is a sectional view of the main portion of the PDP 3 according to the third embodiment of the present invention, showing the structure of the front side portion of the discharge space. In the PDP 3, a light shielding film 47 is disposed for each reverse slit S2 in the middle portion of the dielectric layer 17 in the thickness direction. Like the light shielding film 45 of FIG. 3, the light shielding film 47 also has the strip | belt shape extended in a line direction by planar view, and comprises a stripe-shaped light shielding pattern.

차광막(47)의 폭(w47)은 역슬릿(S2)의 폭(w2)도다 크고, 역슬릿(S2)을 사이에 둔 금속전극(42)의 방전슬릿(S1)측의 단연(端緣)간의 폭(w22)보다 작다. 즉 각 금속전극(42)의 일부와 겹치도록 차광막(47)의 평면 치수가 선정되어 있다. 이에 따라 역슬릿(S2)과 완전히 겹쳐지고, 또한 라인내의 투광부와 겹치지 않도록 차광막(47)의 위치를 결정하기가 용이해진다.The width w47 of the light shielding film 47 is also larger than the width w2 of the reverse slit S2, and is short at the discharge slit S1 side of the metal electrode 42 with the reverse slit S2 interposed therebetween. Smaller than the width w22 of the liver. That is, the planar dimension of the light shielding film 47 is selected so that it may overlap with a part of each metal electrode 42. This makes it easier to determine the position of the light shielding film 47 so as to completely overlap with the reverse slit S2 and not overlap with the light transmitting portion in the line.

도7은 본 발명의 제4의 실시예에 의한 PDP(4)의 요부 단면도이다. 도2에 나타낸 차광막(45)은 X, Y전극(41,42)과 전면측 유리기판(10) 사이에 형성되어 있었으나, 도7에 나타낸 PDP(4)에서는 X, Y전극(41, 42) 사이의 역슬릿(S2)영역내에서 X, Y전극(41, 42)상에 일부가 중첩되도록 차광막(49)이 형성되어 있다. 이와 같은 구조는 표시라인영역(L) 사이의 역슬릿영역을 완전히 덮도록 차광막(49)을 형성하고 있는 점에서는 도2의 구조와 유사하나, 흑색 안료를 함유한 차광막(49)을 X, Y전극(41, 42)을 형성한 후에 형성하는 제조공정인 점에서 다르다. 이 제조공정에 대해서는 나중에 상세히 설명한다.7 is a sectional view of principal parts of the PDP 4 according to the fourth embodiment of the present invention. Although the light shielding film 45 shown in FIG. 2 was formed between the X and Y electrodes 41 and 42 and the front glass substrate 10, in the PDP 4 shown in FIG. 7, the X and Y electrodes 41 and 42 were formed. The light shielding film 49 is formed so that a part may overlap on the X and Y electrodes 41 and 42 in the reverse slit S2 area therebetween. This structure is similar to that of FIG. 2 in that the light shielding film 49 is formed so as to completely cover the reverse slit area between the display line regions L. However, the light shielding film 49 containing black pigment is X, Y It is different in that it is a manufacturing process formed after forming the electrodes 41 and 42. This manufacturing process will be described later in detail.

도7에 나타낸 PDP(4)의 구조에서는 차광막(49)이 Cr/Cu/Cr의 3층구조로 된 버스전극(42)상에 단부가 위치하도록 중첩되어 있는 점에 의미가 있다. 즉 버스전극(42)은 투명전극(41)의 고저항재료에 비해 보다 높은 도전성을 주기 위해서 형성되나, 그 자체로서 차광성을 가지고 있다. 따라서 버스전극(42)상까지 중첩하여 차광막(49)이 형성되면 표시라인영역(L) 이외의 부분이 완전히 차광된다.In the structure of the PDP 4 shown in Fig. 7, it is significant that the light shielding film 49 is superposed so that an end part is positioned on the bus electrode 42 having a three-layer structure of Cr / Cu / Cr. That is, the bus electrode 42 is formed to give higher conductivity than the high resistance material of the transparent electrode 41, but has a light shielding property as such. Therefore, when the light shielding film 49 is formed to overlap the bus electrode 42, portions other than the display line region L are completely shielded.

도8은 본 발명의 제5의 실시예에 의한 PDP(5)의 요부 단면도이다. 이 구조에서는 차광막(48)이 X, Y전극(41, 42) 사이에 형성되고 또한 차광막(48)은 X,Y전극(41, 42)에 접촉하지 않고 떨어져 형성되어 있다. 예를 들어 X, Y전극(41, 42)의 비표시영역부의 거리가 500㎛인 경우에는(42인치 PDP의 예) X, Y전극(41, 42)과 20㎛정도 떨어져 있다. 이와 같은 구성은 표시라인영역(L) 사이를 완전히 차폐하는 구조는 아니지만, 제조공정의 관점에서 보면 바람직하다. 즉 도7에 나타낸 PDP(4)의 경우와 마찬가지로 X, Y전극(41, 42)을 형성한 후에 차광막(48)을 형성할 수 있고, 나아가서는 그 위에 형성되는 저융점 유리로 된 유전체층(17)의 소성공정과 함께 차광막도 소성할 수 있어서, 그 고온에서의 소성공정에서는 차광막(48)이 X, Y전극(41, 42)과 접촉하지 않으므로 안정한 처리를 실현할 수 있다. 이 점에 관해서는 나중에 상세히 설명한다.8 is a sectional view of principal parts of the PDP 5 according to the fifth embodiment of the present invention. In this structure, the light shielding film 48 is formed between the X and Y electrodes 41 and 42, and the light shielding film 48 is formed apart without contacting the X and Y electrodes 41 and 42. For example, when the distance between the non-display area portions of the X and Y electrodes 41 and 42 is 500 占 퐉 (example of 42-inch PDP), the distance between the X and Y electrodes 41 and 42 is about 20 占 퐉. Such a structure is not a structure which completely shields between the display line regions L, but is preferable in view of the manufacturing process. That is, as in the case of the PDP 4 shown in Fig. 7, the light shielding film 48 can be formed after the X and Y electrodes 41 and 42 are formed, and further, the dielectric layer 17 made of low melting glass is formed thereon. The light shielding film can also be fired together with the firing step of (). In the firing step at a high temperature, the light shielding film 48 does not come into contact with the X and Y electrodes 41 and 42, thereby achieving stable processing. This point will be described later in detail.

또 도8의 PDP(5)의 구조에서는 차광막(48) 형성시의 정렬(위치 맞춤)에 관해, 차광막(48)의 폭이 비표시영역 (W22)보다 상당히 좁으므로, 상당한 여유를 가지고 차광막(48)이 표시라인영역(L)상에 겹치지 않도록 정렬시킬 수 있다.In the structure of the PDP 5 shown in Fig. 8, the width of the light shielding film 48 is considerably narrower than that of the non-display area W22 with respect to the alignment (positioning) when the light shielding film 48 is formed. 48 may be aligned so that they do not overlap on the display line area L. FIG.

도9 및 도10은 상기한 도5, 7, 8에 나타낸 제2, 4, 5의 PDP의 제조방법을 설명한 단면도이다.9 and 10 are cross-sectional views illustrating the manufacturing method of the PDPs of the second, fourth and fifth shown in Figs.

도9(a)에 나타낸 바와 같이 유리기판(11)상에 패시베이션막(passivation film)으로서, 예를 들어 산화실리콘막을 형성한 위에 전면에 투명전극(41)을 스퍼터링법에 의해 형성한다. 투명전극(41)의 재료는 ITO로 되며, 막 두께 0.1㎛정도로 형성한다. 그리고 통상의 리소그래피공정에 의해 스트라이프형상으로 패터닝하여 폭 180㎛ 정도의 X, Y전극(41, 42)을 형성한다.As shown in Fig. 9A, as a passivation film on the glass substrate 11, a transparent electrode 41 is formed on the entire surface by sputtering, for example, on the silicon oxide film. The material of the transparent electrode 41 is made of ITO, and formed to a thickness of about 0.1 탆. Then, the X and Y electrodes 41 and 42 having a width of about 180 mu m are formed by patterning the stripe by a normal lithography process.

다음에 도9(b)에 나타낸 바와 같이 버스전극층으로서 Cr/Cu/Cr의 3층구조의금속층(42)를 두께 1㎛ 정도로 전면에 스퍼터링법에 의해 형성한다. 그리고 통상의 포토리소그래피공정에 의해 60㎛ 정도로 패터닝한다. 상술한 바와 같이 버스전극(42)은 투명전극(41)의 대향하는 변과는 반대측의 단부에 위치하도록 형성된다.Next, as shown in Fig. 9B, a metal layer 42 having a three-layer structure of Cr / Cu / Cr as a bus electrode layer is formed on the entire surface by a sputtering method having a thickness of about 1 mu m. And it patterns by about 60 micrometers by a normal photolithography process. As described above, the bus electrode 42 is formed to be positioned at an end opposite to the opposite side of the transparent electrode 41.

상기한 X, Y전극(41, 42)의 형성은 고진공실내에 유리기판을 놓고 스퍼터링법으로 실시하나, 그 때 유리기판(11)에는 흑색 안료등을 함유한 차광막들이 형성되어 있지 않으므로, 스퍼터링의 고진공처리를 안정적으로 실시할 수 있다.The formation of the X and Y electrodes 41 and 42 is performed by sputtering a glass substrate in a high vacuum chamber. However, since the light blocking films containing black pigment are not formed on the glass substrate 11, sputtering is performed. High vacuum treatment can be performed stably.

다음에 도9(c)에 나타낸 바와 같이 흑색 안료를 함유한 포토레지스트층(71)을 스크린인쇄법에 의해 형성한다. 이 흑색 안료는, 예를 들어 망간(Mn), 철(Fe), 동(Cu)의 산화물이며, 감광성재료의 포토레지스트에 그와 같은 안료가 혼입되어 있다. 예를 들어 도꾜 오까 공업 주식회사제의 안료분산형 포토레지스트(상품명 CFPR BK)가 사용된다.Next, as shown in Fig. 9C, a photoresist layer 71 containing a black pigment is formed by screen printing. This black pigment is an oxide of manganese (Mn), iron (Fe), copper (Cu), for example, and such a pigment is mixed in the photoresist of a photosensitive material. For example, a pigment dispersion type photoresist (trade name CFPR BK) manufactured by Tokyo Chemical Industries, Ltd. is used.

그리고 도9(d)에 나타낸 바와 같이 소정의 마스크 패턴을 통해 노광하여 현상하고, 예를 들어 120∼200℃ 온도의 건조 분위기중에서 2∼5분간 베이킹(건조)하여 차광막(49)을 형성한다. 도9(d)의 예에서는 도7에 나타낸 PDP(4)와 같이 차광막(49)이 X, Y전극(41, 42)상에 중첩하여 패터닝된다.As shown in Fig. 9 (d), the film is exposed and developed through a predetermined mask pattern, and, for example, baked (dry) for 2 to 5 minutes in a dry atmosphere at a temperature of 120 to 200 ° C to form a light shielding film 49. In the example of Fig. 9 (d), like the PDP 4 shown in Fig. 7, the light shielding film 49 is patterned by being superimposed on the X and Y electrodes 41 and 42.

이때에 마스크 패턴을 변경하면, 도9(e)에 나타낸 바와 같이 전극(41, 42)으로부터 떨어지게 차광막(48)을 형성할 수도 있다. 이 구조는 도8에 나타낸 PDP(5)의 구조가 된다. 마찬가지로 도5에 나타낸 구조와 같이 차광막(46)를 형성할 수도 있다.If the mask pattern is changed at this time, the light shielding film 48 may be formed away from the electrodes 41 and 42 as shown in Fig. 9E. This structure becomes the structure of the PDP 5 shown in FIG. Similarly, the light shielding film 46 may be formed as in the structure shown in FIG.

상기와 같이 차광막(49, 48)은 고분자 유기재료의 감광성 레지스트가 사용되므로, 전극(41)보다 먼저 차광막을 형성하여 안정화를 위해 소성해두면, 그 표면의 요철에 의해 전극(41)의 밀착성이 나빠지는 경우도 있다. 이와 같은 점에서 도9의 공정은 유리하다.Since the light-shielding films 49 and 48 are made of a photosensitive resist made of a polymer organic material as described above, when the light-shielding film is formed before the electrode 41 and calcined for stabilization, the adhesion of the electrode 41 to the surface is uneven. Sometimes it gets worse. In this regard, the process of Fig. 9 is advantageous.

도10은 이어서 차광막상에 유전체층(17)과 보호층의 MgO층(18)을 형성하는 제조공정을 나타낸 단면도이다. 이 예에서는 도8 및 도9(e)애 나타낸 바와같은 전극(41, 42)으로부터 떨어진 차광막(48)을 예로 들어 설명한다.Fig. 10 is a cross sectional view showing the manufacturing process for forming the dielectric layer 17 and the MgO layer 18 of the protective layer on the light shielding film. In this example, the light shielding film 48 separated from the electrodes 41 and 42 as shown in Figs. 8 and 9 (e) will be described as an example.

도10에 나타낸 유전체층(17)의 제조공정에서는 유전체층(17)의 소성공정에서 차광막(48)의 소성도 동시에 실시한다. 또 유전체층(17)의 형성에서는 산화연(PbO)을 주성분으로 한 저융점 유리의 페이스트를 표면에 인쇄하여 소성하는데, 그 공정은 적어도 하층의 유전체층(17a)과 상층의 유전체층(17b)의 인쇄와 소성의 2개의 공정으로 된다. 또한 하층의 유전체층(17a)으로서는 소성 분위기중에서 그 점도가 내려가지 않고, 투명전극(41)의 ITO나 버스전극(42)의 동(Cu)등과 반응하기 어려운 조성이 선택된다. 예를 들어 Pb/SiO2/B2O3/ZnO를 함유한 유리 페이스트인 경우에는 SiO2를 비교적 많이 함유한 재료가 선택된다.In the manufacturing process of the dielectric layer 17 shown in FIG. 10, the baking of the light shielding film 48 is also performed simultaneously in the baking process of the dielectric layer 17. FIG. In the formation of the dielectric layer 17, a paste of low melting glass containing lead oxide (PbO) as a main component is printed and baked on the surface, and the process is performed by printing at least the lower dielectric layer 17a and the upper dielectric layer 17b. It becomes two processes of baking. As the lower dielectric layer 17a, the viscosity is not lowered in the firing atmosphere, and a composition which is difficult to react with ITO of the transparent electrode 41, copper (Cu) of the bus electrode 42, or the like is selected. For example, in the case of a glass paste containing Pb / SiO 2 / B 2 O 3 / ZnO, a material containing a relatively large amount of SiO 2 is selected.

또 상층의 유전체층(17b)으로서는 소성분위기 중에서 충분히 점도가 내려가 표면이 평탄하게 되는 조성이 선택된다. 예를 들어 PbO/SiO2/B2O3/ZnO를 함유한 유리페이스트의 경우에는 SiO2를 비교적 적게 함유한 재료가 선택된다.As the upper dielectric layer 17b, a composition in which the viscosity is sufficiently lowered and the surface is flat in the minor component crisis is selected. For example, in the case of the glass paste containing PbO / SiO 2 / B 2 O 3 / ZnO, a material containing relatively little SiO 2 is selected.

도10(a)에 나타낸 바와 같이 SiO2를 비교적 많이 함유한 PbO/SiO2/B2O3/ZnO를함유한 유리 패이스트가 유리기판(11)의 표면에 인쇄된다. 그리고 약 580∼590℃의 건조 분위기중에서 악 60분간 소성한다. 그 유리 페이스트는 소성온도하에서도 그다지 점도가 내려가지 않아서, 투명전극(41)의 ITO나 버스전극(42)의 동(Cu)등과 반응하기 어렵다. 또한 차광막(48)과 함께 소성한다. 차광막(48)을 전극(41, 42)보다 먼저 형성하는 경우보다도 소성공정을 절약할 수 있다.Figure 10 (a) a glass paste containing PbO / SiO 2 / B 2 O 3 / ZnO containing a relatively large amount of SiO 2 as shown in is printed on the surface of the glass substrate 11. And it bakes for 60 minutes in the dry atmosphere of about 580-590 degreeC. The glass paste does not have a low viscosity even under a sintering temperature, and therefore, the glass paste hardly reacts with ITO of the transparent electrode 41 or copper (Cu) of the bus electrode 42. It is also baked together with the light shielding film 48. The baking process can be saved compared with the case where the light shielding film 48 is formed before the electrodes 41 and 42.

다음에 도10(b)에 나타낸 바와 같이 상층의 유전체층(17b)이 형성된다. 하층의 경우와 마찬가지로 유리 페이스트를 인쇄하고, 약 580∼590℃의 건조 분위기중에서 약 60분간 소성한다. 이 유리 페이스트로서는 상술한 바와 같이 SiO2를 비교적 적게 함유한 PbO/SiO2/B2O3/ZnO을 함유한 유리 페이스트가 바람직하다. 그 결과 표면이 평탄한 유전체층(17)이 형성된다.Next, as shown in Fig. 10B, an upper dielectric layer 17b is formed. As in the case of the lower layer, the glass paste is printed and fired for about 60 minutes in a dry atmosphere at about 580 to 590 ° C. The glass paste as the one containing a relatively small number containing SiO 2 as described above, PbO / SiO 2 / B 2 O 3 / ZnO glass paste is preferred. As a result, a dielectric layer 17 having a flat surface is formed.

마지막으로 도시하지 않은 유리기판(11)의 주변에 실링용의 저융점 유리재료의 막이 두껍게 형성한 후에 도10(c)에 나타낸 바와 같이 보호막으로서 MgO막(18)이 증착법에 의해 형성된다.Finally, after the thick film of the low melting glass material for sealing is formed around the glass substrate 11 (not shown), the MgO film 18 is formed by the vapor deposition method as shown in Fig. 10C.

도10의 공정에서는 차광막(48)이 전극(41, 42)과 떨어진 예를 들어 설명하였으나, 상술한 바와 같이 도5나 도7에서 나타낸 PDP(2, 4)와 같이 차광막이 전극(41)에 접촉해 있어도 좋다. 단 이유는 분명하지 않으나 차광막이 전극(41, 42)에 접촉한 상태에서 600℃ 가까운 소성 분위기중에 놓아지면 차광막이 갈색으로 변색하는 경우가 있어, 차광막(48)과 같이 전극(41, 42)으로부터 떨어져 있는 것이 유효한 경우가 있다. 이 경우의 떨어진 거리를 편의상, 변색방치간극이라 한다.In the process of FIG. 10, the light shielding film 48 is separated from the electrodes 41 and 42 by way of example. However, as described above, the light shielding film is applied to the electrode 41 as in the PDPs 2 and 4 shown in FIGS. 5 and 7. You may be in contact. However, although the reason is not clear, when the light shielding film is placed in a firing atmosphere close to 600 ° C. in contact with the electrodes 41 and 42, the light shielding film may turn brown, and as with the light shielding film 48, It is sometimes possible to stay away. The distance away in this case is referred to as discoloration gap for convenience.

도11은 차광막(48)을 패널의 표시영역 외부의 주변부에도 형성한 경우의 평면도이다. 도12는 도11내의 XX-YY로 나타낸 부분의 단면 구조도이다. 차광막(48)은 표시라인영역(L1,L2,L3) 사이의 X전극과 Y전극 사이에 형성함으로써 콘트라스트를 높인다는 것은 상술한 바와 같다. 도11에서는 그 이외의 주변부에도 차광막(48)이 더 형성되어 있다.Fig. 11 is a plan view when the light shielding film 48 is also formed in the peripheral portion outside the display area of the panel. 12 is a cross-sectional structural view of the portion indicated by XX-YY in FIG. As described above, the light shielding film 48 is formed between the X electrode and the Y electrode between the display line regions L1, L2, and L3 to increase the contrast. In FIG. 11, the light shielding film 48 is further formed in other peripheral parts.

PDP에는 통상 표시전극 쌍이 되는 한 쌍의 X, Y전극(X1, Y1, X2, Y2 X3, Y3)의 주변부에 우발 방전 방지를 위하여 더미의 X, Y전극(DX, DY)이 설치되어 있다. 이 더미전극(DX, DY) 사이에서도 방전을 적극적으로 행하게 함으로써, 표시에 불필요한 벽전하의 축적을 방지한다. 그런데 이와 같은 주변영역에서의 방전이나 형광체층의 노출은 표시영역의 콘트라스트를 떨어뜨리는 요인이 된다. 따라서 도11과 같이 더미전극(DX, DY)상(도면에서 Dummy), 그리고 버스전극(42)의 인출부분(42R)이 형성되어 있는 주변영역(PE)상에도 차광막(48)이 형성되어 있다. 도면에서 1점 쇄선으로 나타낸 EX는 패널의 표면상에 설치되는 표시화면틀이며, 이 틀(EX)의 위치에 유리기판간을 봉하기 위한 실링재(50)가 형성된다. 도12의 단면도에는 전면 유리기판(11)과 MgO막(18)상에 형성된 실링재(50)가 표시되고, 배면 유리기판은 생략되어 있다.In the PDP, dummy X and Y electrodes DX and DY are provided in the periphery of a pair of X and Y electrodes X1, Y1, X2, Y2 X3 and Y3 which are normally paired display electrodes. Discharge is also actively performed between the dummy electrodes DX and DY to prevent accumulation of wall charges unnecessary for display. However, such a discharge in the peripheral area or exposure of the phosphor layer is a factor of reducing the contrast of the display area. Accordingly, as shown in FIG. 11, a light shielding film 48 is formed on the dummy electrodes DX and DY (Dummy in the drawing) and on the peripheral area PE in which the lead portion 42R of the bus electrode 42 is formed. . EX denoted by a dashed-dotted line in the figure is a display screen frame provided on the surface of the panel, and a sealing material 50 for sealing the glass substrate is formed at the position of the frame EX. 12, the sealing material 50 formed on the front glass substrate 11 and the MgO film 18 is shown, and the back glass substrate is abbreviate | omitted.

버스전극의 도출부(42R)는 도시하지 않은 플렉시블 케이블을 통해서 외부의 제어회로에 접속된다. 따라서 버스전극의 도출부(42R)의 부분에서 실링재(50)에 의해 2개의 유리기판이 봉해져 잇다.The lead portion 42R of the bus electrode is connected to an external control circuit through a flexible cable (not shown). Therefore, two glass substrates are sealed by the sealing material 50 in the part of the lead part 42R of the bus electrode.

[차광막의 재료][Material of Shading Film]

도10에 나타낸 바와 같이 차광막(48)상에 유전체층(17)을 형성하여 600℃정도에서 소성함을 설명하였다. 이 때에 표시전극 쌍과 차광막이 접촉하고 있으면, 이 차광막(48)의 흑색이 변색하는 문제를 야기하는 경우가 있다. 그 이유는 반드시 명확하지는 않지만, 소성중에 접촉상태의 표시전극 쌍과 차광막간에 이온화경향이 생겨서 저융점 유리 페이스트가 흑색 안료의 Mn, Fe, Cu의 산화물로부터 산소를 빼앗고, 이들 산화물이 환원되는 것이 원인이라고 생각된다. 따라서 차광막이 되는 흑색 안료를 함유한 감광성 레지스트(71)에 그 자체가 적극적으로 산소를 방출하는 산화제를 혼입시키는 것이 변색방지에 유효하다.As shown in FIG. 10, the dielectric layer 17 was formed on the light shielding film 48 and fired at about 600 ° C. At this time, when the display electrode pair is in contact with the light shielding film, the black color of the light shielding film 48 may cause a problem of discoloration. The reason for this is not necessarily clear, but during the firing, an ionization tendency occurs between the display electrode pair in contact with the light shielding film, and the low melting glass paste deprives oxygen of the oxides of Mn, Fe, and Cu of the black pigment, and these oxides are reduced. I think. Therefore, it is effective to prevent discoloration by incorporating an oxidizing agent that actively releases oxygen into the photosensitive resist 71 containing the black pigment serving as a light shielding film.

구체적인 산화제로서는 NaNO3, BaO2등이 있다. 그 결과 소성공정을 거쳐도 변색이 발생하지 않다는 것이 확인되었다.Specific oxidizing agents include NaNO 3 , BaO 2, and the like. As a result, it was confirmed that discoloration does not occur even after the firing process.

또한 차광막은 PDP 내부로부터의 광을 외부에 누출시키지 않음으로써 PDP의 표시 콘트라스트를 높일 수 있다. 그러나 다른 한편으로는 흑색이므로 외부로부터의 광이 차광막(48)과 유리기판(11)간의 계면에서 정반사하고, 이 정반사에 의한 투영이 발생하여 표시화면의 표면이 보기 어려워지는 현상이 생긴다. 이 표시전극 쌍간의 정반사는 종래의 차광막이 형성되지 않은 구조에서도 배면기판형상의 어드레스전극 표면에 생기고 있었다. 따라서 이 차광막(48)과 유리기판(11)의 계면에서의 정반사를 방지하기 위하여 차광막의 재료에 저융점 유리분말을 혼입시킨다.In addition, the light shielding film can increase the display contrast of the PDP by not leaking light from the inside of the PDP to the outside. On the other hand, since it is black, light from the outside is specularly reflected at the interface between the light shielding film 48 and the glass substrate 11, and projection by this specular reflection occurs, making the surface of the display screen difficult to see. The specular reflection between the pairs of display electrodes was generated on the surface of the address substrate in the form of a back substrate even in a structure in which a conventional light shielding film was not formed. Therefore, in order to prevent the specular reflection at the interface between the light shielding film 48 and the glass substrate 11, a low melting glass powder is mixed in the material of the light shielding film.

이 저융점 유리분말은, 예를 들어 유전체층(17)과 동일한 재료이며, 유기감광 레지스트(71)에 50% 정도 함유시킨다. 따라서 유기감광 레지스트(71)에는 흑색 안료와 저융점 유리분말이 포함된다. 그 결과 전면 유리기판(11)의 전면측에는 종래와 같이 외광의 정반사가 발생하지만, 유리기판(11)과 차광막(48)간의 계면에서는 차광막(48)의 굴절률이 유리기판(11)의 굴절률에 가까워지므로, 그만큼 반사율이 반감한다. 또 차광막(48)의 흑색 안료에 의해 광이 흡수되어서, 그만큼의 반사광이 또 감소된다. 따라서 전체로서는 표시화면에서의 정반사가 줄어들므로, 투영에 의해 보이지 않는 정도가 개선된다.This low melting glass powder is, for example, the same material as the dielectric layer 17, and is contained in the organic photosensitive resist 71 about 50%. Therefore, the organic photoresist 71 contains black pigment and low melting point glass powder. As a result, the specular reflection of external light occurs on the front side of the front glass substrate 11 as in the prior art, but the refractive index of the light shielding film 48 is close to the refractive index of the glass substrate 11 at the interface between the glass substrate 11 and the light shielding film 48. Therefore, the reflectance is halved by that much. Moreover, light is absorbed by the black pigment of the light shielding film 48, and the reflected light by that is further reduced. Therefore, since the specular reflection on the display screen as a whole is reduced, the degree of invisibility due to projection is improved.

저융점 유리를 혼입시키지 않을 경우에는 8% 정도(유리표면에서 4%, 계면에서 4%)의 정반사율이었으나, 저융점 유리분말을 차광막(48)에 혼입시킨 결과, 정반사율은 6% 정도(유리표면에서 4%, 계면에서 2%)로 저하였다.When the low melting glass was not mixed, the reflectance was about 8% (4% at the glass surface and 4% at the interface) .However, when the low melting glass powder was incorporated into the light shielding film 48, the specular reflectance was about 6% ( 4% at the glass surface and 2% at the interface).

이상과 같이 표시화면의 콘트라스트를 높이기 위하여 차광막을 형성하는데, 그 형성에 있어서는 소성시의 변색방지를 위해 산화제를 혼입하고, 또한 정반사 방지를 위해 저융점 유리분말을 혼입한다.A light shielding film is formed to increase the contrast of the display screen as described above. In the formation, an oxidizing agent is mixed to prevent discoloration during firing, and a low melting glass powder is mixed to prevent specular reflection.

또한 차광막의 변색방지책으로서는 각 표시전극 쌍을 얇은 절연막, 예를들어 SiO2막으로 피복하고, 이 절연박막에 의해 차광막과 표시전극 쌍을 비접촉으로 하는 방법을 들 수 있다.In addition, a method for preventing discoloration of the light shielding film is to cover each display electrode pair with a thin insulating film, for example, an SiO 2 film, and to make the light shielding film and the display electrode pair non-contact by the insulating thin film.

도13은 PDP의 변형례의 단면도다. 도13에는 전면측의 유리기판(11)과 배면측의 유리기판(21)이 나타나 있다. 이 예에서는 차광막(48)이 표시라인(L) 사이의 영역에 있으며, 전면기판(11)의 외면상애 형성된 차광막(48A)의 예와 유전체층(17)내에 형성된 차광막(48B)의 예와, 배면측 기판의 형광막(24)상에 형성된 차광막(48C)의 예가 나타나 있다.Fig. 13 is a sectional view of a modification of the PDP. 13 shows the glass substrate 11 on the front side and the glass substrate 21 on the back side. In this example, the light shielding film 48 is in the region between the display lines L, the example of the light shielding film 48A formed on the outer surface of the front substrate 11, the example of the light shielding film 48B formed in the dielectric layer 17, and the back surface. An example of the light shielding film 48C formed on the fluorescent film 24 of the side substrate is shown.

이느 위치에 차광막(48)이 형성되어 있어도 형광막(24)으로부터의 광이 전면측으로 누출하는 것을 방지할 수 있다.Even if the light shielding film 48 is formed in these positions, the light from the fluorescent film 24 can be prevented from leaking to the front surface side.

이상의 설명에서는 반사형의 PDP(1, 2, 3, 4, 5)를 예시하였으나, 본 발명은 전면측의 유리기판(11)에 형광체층(28)를 배치한 투과형의 PDP에도 적용 가능하다. 또 차광막을 유리기판(11)의 외면상에 형성하여도 좋다. 단 이 경우에는 유리기판간의 정렬이 필요하다.In the above description, the reflective PDPs 1, 2, 3, 4, and 5 are illustrated, but the present invention can also be applied to a transmissive PDP in which the phosphor layer 28 is disposed on the glass substrate 11 on the front side. Further, a light shielding film may be formed on the outer surface of the glass substrate 11. In this case, however, alignment between glass substrates is necessary.

본 발명에 의하면 표시라인간의 비발광영역을 눈에 띄지 않게 할 수 있어, 표시 콘트라스트를 높일 수 있다.According to the present invention, the non-light emitting area between the display lines can be made inconspicuous, and the display contrast can be increased.

본 발명에 의하면 형광체층 표면에서의 외광의 반사를 방지하여, 고콘트라스트의 표시를 실현할 수 있다.According to the present invention, reflection of external light on the surface of the phosphor layer can be prevented, and high contrast display can be realized.

본 발명에 의하면 표시라인간에서의 외광의 반사를 방지함과 동시에 금속전극 표면에서 외광의 반사를 방지할 수 있어 고콘트라스트의 표시를 실현할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent the reflection of the external light between the display lines and the reflection of the external light on the surface of the metal electrode, thereby realizing high contrast display.

본 발명에 의하면 유전체층 형성시의 차광막이 퍼지는 것을 막아서, 휘도의 저하를 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent the light shielding film from spreading during the formation of the dielectric layer, thereby preventing the decrease in luminance.

본 발명은 패터닝을 위한 마스크정렬의 회수를 증가하지 않고 차광막을 형성할 수 있으므로, 수율의 유지를 도모하면서 콘트라스트를 높일 수 있다.Since the light shielding film can be formed without increasing the number of mask alignments for patterning, the present invention can increase the contrast while maintaining the yield.

또한 본 발명에 의하면 표시전극 쌍을 형성한 후에 차광막과 유전체층을 형성하여 동시에 소성할 수 있으므로, 비교적 안정한 처리에 의해 형성할 수 있다.According to the present invention, since the light shielding film and the dielectric layer can be formed and baked at the same time after the display electrode pairs are formed, it can be formed by a relatively stable process.

Claims (4)

전면기판 위에, 면방전을 위한 방전슬릿을 사이에 두고 배치한 표시전극 쌍을 각각 방전하지 않는 소정의 역슬릿을 사이에 두고 복수 쌍 배치하는 동시에, 상기 각 표시전극 쌍을 피복하는 유전체층이 설치되고, 배면기판위에, 상기 표시전극 쌍과 교차하는 복수의 어드레스전극 및 복수의 스트라이프 모양의 형광체를 구비하여 이루어지는 3전극형식의 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서,On the front substrate, a plurality of pairs of predetermined reverse slits which do not discharge each of the display electrode pairs disposed with the discharge slits for the surface discharge interposed therebetween are arranged, and a dielectric layer covering the display electrode pairs is provided. In a three-electrode surface discharge plasma display panel comprising a plurality of address electrodes and a plurality of stripe-shaped phosphors intersecting the display electrode pairs on a rear substrate, 상기 전면기판의 인접하는 표시전극 쌍 사이의 상기 역슬릿부에 대응하는 위치이면서 또 상기 유전체층의 두께방향의 중간부에, 상기 표시전극 쌍과 이격되도록 차광막을 설치하고, 상기 차광막에 의해서 상기 역슬릿부에서의 상기 배면기판 위의 상기 형광체로의 투시를 차단하도록 구성한 것을 특징으로 하는 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널.A light shielding film is provided at a position corresponding to the reverse slit portion between adjacent pairs of display electrodes on the front substrate and in the middle of the dielectric layer in a thickness direction so as to be spaced apart from the display electrode pair, and the reverse slit by the light shielding film. A surface discharge plasma display panel, characterized in that it is configured to block perspective of the phosphor on the rear substrate. 전면기판 위에, 면방전을 위한 방전슬릿을 사이에 두고 배치한 표시전극 쌍을 각각 방전하지 않는 소정의 역슬릿을 사이에 두고 복수 쌍 평행하게 배치하고, 배면기판 위에, 상기 표시전극 쌍과 교차하는 복수의 어드레스전극 및 복수의 스트라이프 모양의 형광체를 구비하여 이루어진 3전극형식의 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서,On the front substrate, a plurality of pairs are arranged in parallel with a predetermined reverse slit for discharging the display electrode pairs interposed therebetween with discharge slits for surface discharge interposed therebetween, and intersect with the display electrode pairs on the back substrate. In a three-electrode surface discharge type plasma display panel comprising a plurality of address electrodes and a plurality of stripe-shaped phosphors, 상기 전면기판의 인접하는 표시전극 쌍 사이의 상기 역슬릿부에, 상기 배면기판 위의 스트라이프 모양의 형광체로의 투시를 차단하는 띠모양의 차광막을 설치하고,In the reverse slit portion between adjacent pairs of display electrodes of the front substrate, a band-shaped light shielding film for blocking the projection to the stripe-shaped phosphor on the rear substrate is provided. 상기 각 표시전극 쌍은, 투명전극과, 상기 투명전극보다 폭이 좁고 또 상기 투명전극에서의 상기 역슬릿부에 가까운 측의 단연부(斷緣部)에 겹치는 금속전극으로 이루어지며, 유전체층에 의해서 상기 방전공간에 대하여 피복되고,Each of the display electrode pairs is composed of a transparent electrode and a metal electrode having a width smaller than that of the transparent electrode and overlapping the edge portion of the transparent electrode and closer to the reverse slit portion. Covered with the discharge space, 상기 차광막은, 평면에서 보아 상기 역슬릿부 쌍측의 상기 금속전극과 겹치도록, 상기 표시전극의 상기 전면기판측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널.And the light shielding film is disposed on the front substrate side of the display electrode so as to overlap the metal electrode on both sides of the reverse slit portion in plan view. 전면기판 위에, 면방전을 위한 방전슬릿을 사이에 두고 배치한 표시전극 쌍을 각각 방전하지 않는 소정의 역슬릿을 사이에 두고 복수 쌍 평행하게 배치하고, 배면기판 위에, 상기 표시전극 쌍과 교차하는 복수의 어드레스전극 및 복수의 스트라이프 모양의 형광체를 구비하여 이루어지는 3전극형식의 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서,On the front substrate, a plurality of pairs are arranged in parallel with a predetermined reverse slit for discharging the display electrode pairs interposed therebetween with discharge slits for surface discharge interposed therebetween, and intersect with the display electrode pairs on the back substrate. In a three-electrode surface discharge plasma display panel comprising a plurality of address electrodes and a plurality of stripe-shaped phosphors, 상기 전면기판의 인접하는 표시전극 쌍 사이의 상기 역슬릿부에, 상기 표시전극과 일부 겹치는 띠모양의 차광막을 설치하고, 상기 차광막에 의해서 상기 역슬릿부에서의 상기 배면기판 위의 상기 형광체로의 투시를 차단하도록 구성한 것을 특징으로 하는 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널.A band-shaped light shielding film partially overlapping with the display electrode is provided in the reverse slit portion between adjacent pairs of display electrodes on the front substrate, and the light shielding film is provided to the phosphor on the rear substrate at the reverse slit portion. Surface discharge type plasma display panel, characterized in that configured to block the perspective. 전면기판 위에, 면방전을 위한 방전슬릿을 사이에 두고 배치한 표시전극 쌍을 각각 방전하지 않는 소정의 역슬릿을 사이에 두고 복수 쌍 평행하게 배치하고,배면기판 위에, 상기 표시전극 쌍과 교차하는 복수의 어드레스전극 및 복수의 스트라이프 모양의 형광체를 구비하여 이루어진 3전극형식의 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서,On the front substrate, a plurality of pairs of the display electrodes paired with the discharge slits for the surface discharges interposed therebetween are arranged in parallel with a predetermined reverse slit not interposed therebetween. In a three-electrode surface discharge type plasma display panel comprising a plurality of address electrodes and a plurality of stripe-shaped phosphors, 상기 전면기판의 인접하는 표시전극 쌍 사이의 상기 역슬릿부에, 상기 표시전극과 단부(端部)에서 접촉하는 띠모양의 차광막을 설치하고, 상기 차광막에 의해서 상기 역슬릿부에서의 상기 배면기판 위의 상기 형광체로의 투시를 차단하도록 구성한 것을 특징으로 하는 면방전형 플라즈마 디스플레이 패널.A band-shaped light shielding film in contact with the display electrode at an end portion is provided in the reverse slit portion between adjacent pairs of display electrodes of the front substrate, and the back substrate is formed in the reverse slit portion by the light shielding film. Surface discharge type plasma display panel, characterized in that configured to block the projection to the above phosphor.
KR1019960034645A 1995-08-25 1996-08-21 Surface Discharge Plasma Display Panel KR100320328B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020010021964A KR100354875B1 (en) 1995-08-25 2001-04-24 Manufacturing method of surface discharge plasma display panel

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21713695 1995-08-25
JP95-217136 1995-08-25
JP19183796A JP3163563B2 (en) 1995-08-25 1996-07-22 Surface discharge type plasma display panel and manufacturing method thereof
JP96-191837 1996-07-22
JP96-191873 1996-07-22

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990065856A Division KR100349735B1 (en) 1995-08-25 1999-12-30 Surface-discharge type plasma display panel and fabrication method thereof
KR1020010021964A Division KR100354875B1 (en) 1995-08-25 2001-04-24 Manufacturing method of surface discharge plasma display panel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970012900A KR970012900A (en) 1997-03-29
KR100320328B1 true KR100320328B1 (en) 2002-06-22

Family

ID=37778733

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960034645A KR100320328B1 (en) 1995-08-25 1996-08-21 Surface Discharge Plasma Display Panel

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR100320328B1 (en)
CN (2) CN1979743B (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100696459B1 (en) * 2000-10-13 2007-03-19 삼성에스디아이 주식회사 Photosensitive resin composition and slurry forming phosphor layer pattern using the same
CN106714434B (en) * 2015-07-17 2024-04-09 核工业西南物理研究院 Paired electrode coplanar discharge plasma generating device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0554172B1 (en) * 1992-01-28 1998-04-29 Fujitsu Limited Color surface discharge type plasma display device
JPH06267439A (en) * 1992-08-21 1994-09-22 Du Pont Kk Plasma display device and its manufacture

Also Published As

Publication number Publication date
CN1921056B (en) 2011-01-26
KR970012900A (en) 1997-03-29
CN1979743A (en) 2007-06-13
CN1979743B (en) 2012-10-03
CN1921056A (en) 2007-02-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100349559B1 (en) Surface-discharge type plasma display panel and fabrication method thereof
JP3625007B2 (en) Plasma display panel
KR100354875B1 (en) Manufacturing method of surface discharge plasma display panel
US20010017520A1 (en) Plasma display panel and method of manufacturing the same
US6853137B2 (en) Plasma display panel, back plate of plasma display panel, and method for forming phosphor screen for plasma display panel
JP4604752B2 (en) Photomask used for manufacturing flat display panel and flat display panel manufacturing method
KR100320328B1 (en) Surface Discharge Plasma Display Panel
JP3757334B2 (en) Manufacturing method of surface discharge type plasma display panel
JP3757333B2 (en) Manufacturing method of surface discharge type plasma display panel
US6712663B2 (en) Method of manufacturing plasma-display-panel-substrate, plasma-display-panel-substrate, and plasma display panel
JP3394219B2 (en) Method of manufacturing surface discharge type plasma display panel
JP3366297B2 (en) Surface discharge type plasma display panel
JP3366296B2 (en) Surface discharge type plasma display panel
JPH11329257A (en) Plasma display panel, and manufacture thereof
JP4857562B2 (en) Flat display panel
JPH10321141A (en) Gas discharge display device and its manufacture
JPH04312742A (en) Plasma display panel
US8188660B2 (en) Plasma display panel having improved brightness and bright room contrast
JP2001243885A (en) Plasma display panel and its production
JPH1167073A (en) Manufacture of plasm display panel
JP2000323047A (en) Plasma display panel and manufacture thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
A107 Divisional application of patent
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
A107 Divisional application of patent
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131202

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141203

Year of fee payment: 14

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151201

Year of fee payment: 15

EXPY Expiration of term