KR100313415B1 - Metal shadowmask supporting device using magentic force for vacuum deposition - Google Patents
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Abstract
자력식 섀도우마스크 지지장치에 관한 본 고안은, 글래스를 지지하는 글래스지지수단을 갖는 지지플레이트와; 상기 지지플레이트에 설치되며 외부전원의 인가여부에 따라 섀도우마스크를 들어올리거나 내려놓을 수 있도록 선택적으로 자기력을 발생하는 다수의 자기력발생부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a magnetic shadow mask support apparatus, comprising: a support plate having a glass support means for supporting a glass; It is installed on the support plate and characterized in that it comprises a plurality of magnetic force generating unit for selectively generating a magnetic force to lift or put down the shadow mask according to the application of external power.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치는 글래스에 섀도우마스크를 밀착 지지시키기 위해 자석의 자기력(magnetic force)을 이용하므로 글래스에 대한 섀도우마스크의 밀착성이 좋아 섀도우마스크의 넓이가 넓다 하더라도 섀도우마스크의 중앙부와 에지부의 글래스에 대한 지지력이 균일하여 정밀한 증착작업을 할 수 있다. 따라서 불량이 발생하지 않고 정확한 회로패턴을 얻을 수 있으며, 특히 섀도우마스크에 가해지는 자기력을 선택적으로 차단할 수 있어 사용이 완료된 섀도우마스크의 교체가 신속 용이하여 대량생산 라인에도 적용할 수 도 있다는 효과가 있다.The shadow mask support apparatus for magnetic vacuum deposition of the present invention made as described above uses a magnetic force of a magnet to closely support the shadow mask on the glass, so that the shadow mask has good adhesion to the glass. Even if it is wide, the support of the glass on the center and edge of the shadow mask is uniform, so that precise deposition can be performed. Therefore, accurate circuit patterns can be obtained without defects, and in particular, the magnetic force applied to the shadow mask can be selectively blocked, so that the used shadow mask can be replaced easily and can be applied to mass production lines. .
Description
본 발명은 자력식 섀도우마스크 지지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 자석의 자기력(magnetic force)을 이용하여 글래스에 섀도우마스크를 밀착 지지시키도록 구성된 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic shadow mask support device, and more particularly, to a magnetic vacuum deposition shadow mask support device configured to closely support a shadow mask to a glass using a magnetic force of a magnet.
섀도우마스크(shadowmask)란 진공증착공정에서 소정의 형태를 갖는 패턴을 증착하기 위해 사용되는 차폐용마스크이며 섀도우마스크의 재료는 자성체인 얇은 금속판이 사용된다.A shadow mask is a shielding mask used to deposit a pattern having a predetermined shape in a vacuum deposition process, and the material of the shadow mask is a thin metal plate which is a magnetic material.
상기 진공증착공정에 있어서 섀도우마스크는 글래스에 밀착된 상태로 지지되어 증착물의 증착에 따라 글래스의 표면에 회로패턴이 형성되도록 한다. 즉, 글래스판에 섀도우마스크를 밀착지지하고 섀도우마스크를 향하여 증착물을 증착시키면섀도우마스크에 형성되어 있던 소정패턴이 글래스에 형성되는 것이다.In the vacuum deposition process, the shadow mask is supported in close contact with the glass so that a circuit pattern is formed on the surface of the glass according to the deposition of the deposit. That is, when the shadow mask is closely adhered to the glass plate and the deposit is deposited toward the shadow mask, a predetermined pattern formed on the shadow mask is formed on the glass.
상기 섀도우마스크를 글래스면에 밀착 지지하는 종래의 방법은, 글래스의 하부에서 섀도우마스크를 승강운동시키는 승강장치에 의해 이루어진다. 그런데 섀도우마스크 중앙의 전체면은 회로패턴에 할애되어야 하므로 상기 승강장치는 섀도우마스크의 에지부를 지지하며 승강운동시켜 글래스의 저면에 대해 섀도우마스크를 밀착시킨다.The conventional method of closely supporting the shadow mask to the glass surface is made by a lifting device for lifting and lowering the shadow mask at the bottom of the glass. However, since the entire surface of the center of the shadow mask should be devoted to the circuit pattern, the elevating device supports the edge of the shadow mask and moves up and down to closely adhere the shadow mask to the bottom of the glass.
따라서, 종래의 섀도우마스크 승강장치는 섀도우마스크의 에지부만을 지지하여 승강운동시키므로 섀도우마스크 자체의 무게에 의해 섀도우마스크의 중앙부가 하부로 쳐진다는 문제가 있었다. 섀도우마스크는 매우 얇은 소재로 형성되어 있으므로 특히 섀도우마스크의 넓이가 넓어질수록 상기와 같은 처짐은 심하게 나타나게 되어, 회로패턴의 증착이 올바르게 이루어지지 않을 수 있다.Therefore, the conventional shadow mask lifting apparatus lifts and supports only the edge portion of the shadow mask, thereby causing a problem that the center portion of the shadow mask is struck downward by the weight of the shadow mask itself. Since the shadow mask is formed of a very thin material, such a deflection becomes worse as the width of the shadow mask is wider, so that the deposition of the circuit pattern may not be performed correctly.
즉, 종래의 승강장치는 섀도우마스크의 에지부를 지지하므로 섀도우마스크의 중앙부는 글래스의 표면과 완전히 밀착되지 않는다. 따라서 섀도우마스크의 넓이가 넓어질수록 글래스와 섀도우마스크 사이에는 간격이 발생하여 정확한 증착이 불가능하다는 문제가 있었다.That is, the conventional lifting device supports the edge portion of the shadow mask, so that the center portion of the shadow mask is not completely in contact with the surface of the glass. Therefore, as the area of the shadow mask is wider, there is a problem that an accurate deposition is impossible due to the gap between the glass and the shadow mask.
본 발명은 상기 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 글래스에 섀도우마스크를 밀착시키기 위해 승강장치를 사용하는 대신, 자석의 자기력을 이용하여 글래스에 섀도우마스크를 밀착지지시켜 밀착성이 좋고 섀도우마스크의 넓이가 넓다 하더라도 섀도우마스크의 중앙부와 에지부의 글래스에 대한 지지력이 균일하여 정밀한 증착작업을 할 수 있어 불량이 발생하지 않고 회로패턴의 품질이 높으며, 더우기 섀도우마스크에 가해지는 자기력을 선택적으로 차단할 수 있어 사용이 완료된 섀도우마스크의 교체가 용이하며 신속하여 대량생산 라인에도 적용할 수 있도록 구성된 자력식 섀도우마스크 지지장치를 제공함에 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and instead of using a lifting device to closely adhere the shadow mask to the glass, the shadow mask is closely adhered to the glass by using the magnetic force of the magnet, so that the adhesion is good and the width of the shadow mask is wide. Since the support force on the glass in the center and edge of the shadow mask is uniform, precise deposition can be performed, so that the quality of the circuit pattern is high without any defects. Moreover, the magnetic force applied to the shadow mask can be selectively blocked to complete the shadow. It is an object of the present invention to provide a magnetic shadow mask support device configured to be easily replaceable and rapidly applied to a mass production line.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치의 구성을 설명하기 위하여 도시한 절제 분리 사시도.1 is an exploded perspective view showing to explain the configuration of the shadow mask support apparatus for magnetic vacuum deposition according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치의 평면도.Figure 2 is a plan view of the shadow mask support apparatus for magnetic vacuum deposition according to an embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치의 측면의 형상을 도시한 도면.Figure 3 is a view showing the shape of the side of the shadow mask support apparatus for magnetic vacuum deposition according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치의 자력발생부를 도시한 단면도.Figure 4 is a cross-sectional view showing a magnetic force generating portion of the magnetic mask for vacuum vacuum shadow support apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치의 작동을 설명하기 위하여 부분 도시한 단면도.5 and 6 is a partial cross-sectional view for explaining the operation of the shadow mask support device for vacuum deposition according to an embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
11:상부플레이트 13:지지홀더11: Upper plate 13: Support holder
15:지지플레이트 17:히터15: support plate 17: heater
19:설치홈 21:전자석19: mounting groove 21: electromagnet
23:영구자석 25:지지부재23: permanent magnet 25: support member
27:설치구 29:코일관통구27: Installation port 29: Coil through hole
31:볼트구멍 33:센서31: Bolt hole 33: Sensor
35:지지면 37:롤35: ground 37: roll
39:볼트 41:스프링39: Bolt 41: Spring
43:지지너트 45:글래스(glass)43: support nut 45: glass
47:코어(core) 49:코일(coil)47: core 49: coil
51:섀도우마스크(shadowmask) 53:자기력발생부51: shadow mask 53: magnetic force generating portion
55,57:관통공 59:헤드안착구55, 57: Through hole 59: Head seat
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 글래스를 지지하는 글래스지지수단을 갖는 지지플레이트와; 상기 지지플레이트에 설치되며 외부전원의 인가여부에 따라 섀도우마스크를 들어올리거나 내려놓을 수 있도록 선택적으로 자기력을 발생하는 다수의 자기력발생부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a support plate having a glass support means for supporting the glass; It is installed on the support plate and characterized in that it comprises a plurality of magnetic force generating unit for selectively generating a magnetic force to lift or put down the shadow mask according to the application of external power.
또한, 상기 자기력발생부는 지지플레이트에 대해 수직으로 설치되는 전자석과, 상기 전자석의 상부에 설치되는 영구자석으로 구성하되, 전자석의 동작시 전자석에 유도되는 극성은 영구자석의 극성과 반대로 이루어지도록 하여, 전자석에 유도된 자기력이 영구자석의 하부로 미치는 자기력을 상쇄시키도록 구성되며, 상기 영구자석중 임의의 영구자석이 갖는 극성은 이웃하는 영구자석이 갖는 극성과 반대의 극성을 가지는 것을 특징으로 한다.In addition, the magnetic force generating unit is composed of an electromagnet which is installed perpendicular to the support plate, and a permanent magnet installed on the upper portion of the electromagnet, the polarity induced in the electromagnet during operation of the electromagnet is made to be opposite to the polarity of the permanent magnet, The magnetic force induced in the electromagnet is configured to cancel the magnetic force applied to the lower portion of the permanent magnet, and the polarity of any permanent magnet in the permanent magnet has a polarity opposite to that of the neighboring permanent magnet.
아울러, 상기 전자석과 지지플레이트 사이에는 시트(sheet)형태의 히터가 더 구비되고, 아울러 상기 히터와 연결되어 히터의 온도를 감지하는 센서가 더 구비된 것을 특징으로 한다.In addition, a sheet-shaped heater is further provided between the electromagnet and the support plate, and is further connected to the heater to detect a temperature of the heater.
또한, 상기 글래스지지수단은 지지플레이트의 테두리부 저면반대측에 각각 설치되어 글래스의 에지부를 상부로 탄성지지하여 지지플레이트 저면에 밀착시키는한 쌍의 지지홀더인 것을 특징으로 한다.In addition, the glass support means is a pair of support holders which are respectively installed on the bottom surface opposite side of the edge portion of the support plate to elastically support the edge portion of the glass to the upper surface in close contact with the bottom surface of the support plate.
또한, 상기 자기력발생부의 상부를 지지하며 지지플레이트와 결합하는 상부플레이트가 더 구비되고, 상기 상부플레이트에는 전자석의 코일을 외부전원과 연결하도록 코일이 관통하는 코일관통구가 형성되며, 상기 지지플레이트와 상부플레이트는 동일한 평면형상을 가지며, 상부플레이트의 테두리부와 지지플레이트의 테두리부 사이에는 일정폭과 높이를 갖는 지지부재가 구비된 것을 특징으로 한다.In addition, an upper plate for supporting the upper portion of the magnetic force generating unit and coupled to the support plate is further provided, the upper plate is formed with a coil through-hole through which the coil passes through to connect the coil of the electromagnet with an external power source, The upper plate has the same planar shape, and a support member having a predetermined width and height is provided between the edge portion of the upper plate and the edge portion of the support plate.
이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치의 구성을 설명하기 위하여 도시한 분리 사시도이다.1 is an exploded perspective view illustrating a configuration of a shadow mask support apparatus for magnetic vacuum deposition according to an embodiment of the present invention.
도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치는 상호 대향하며 일정간격 이격되는 상부플레이트(11) 및 지지플레이트(15)와, 상기 상부플레이트(11)와 지지플레이트(15)사이에 개재되며 코일(49)이 감겨있는 다수의 자기력발생부(53)를 포함하여 구성된다. 또한 상기 상부플레이트(11)와 지지플레이트(15)는 동일한 평면형상을 가지며 테두리부에는 내부에 공간을 제공하는 지지부재(25)가 설치된다.Referring to the drawings, the magnetic vacuum deposition shadow mask support apparatus according to the present embodiment, the upper plate 11 and the support plate 15 facing each other and spaced apart from each other, the upper plate 11 and the support plate ( It is configured to include a plurality of magnetic force generating portion 53 interposed between the 15 and the coil 49 is wound. In addition, the upper plate 11 and the support plate 15 has the same planar shape and a support member 25 is provided at the edge portion to provide a space therein.
상기 지지부재(25)는 상부플레이트(11) 또는 지지플레이트(15)의 테두리부의 형상을 가지며 일정폭과 높이를 가지고, 볼트가 관통하는 다수의 볼트구멍(31)과 후술할 설치구(27)가 수직으로 각각 형성되어 있다. 상기 지지부재(25)는 일정높이를 가지므로 상부플레이트(11)와 지지플레이트(15)는 상호 평행하게 일정간격 이격된 상태로 결합하여 내부에 자기력발생부(53)를 견고히 지지한다.The support member 25 has a shape of the edge of the upper plate 11 or the support plate 15 and has a predetermined width and height, and a plurality of bolt holes 31 through which the bolt penetrates and an installation tool 27 to be described later. Are each formed vertically. Since the support member 25 has a predetermined height, the upper plate 11 and the support plate 15 are coupled to each other in parallel to be spaced apart at a predetermined interval to firmly support the magnetic force generating unit 53 therein.
상기 상부플레이트(11)의 중앙부에는 코일관통구(29)가 형성되어 있다. 상기 코일관통구(29)는 각 자기력발생부(53)의 코일(49)이 상부로 관통하여 외부의 전원과 연결되도록 형성한 구멍으로서, 각 자기력발생부(53)의 코일은 다발(bundle)로 묶여 코일관통구(29)를 통과한다. 또한 테두리부에는 다수의 볼트구멍(31)과 관통공(55)이 형성되어 있다. 상기 볼트구멍(31)은 지지플레이트(15)와의 체결을 위해서 형성한 것임은 물론이다. 또한, 관통공(55)은 지지부재(25)의 설치구(27)와 일치하여 내부에 지지너트(도 3의 43)를 삽입할 수 있도록 형성된 관통구이다.A coil through hole 29 is formed at the center of the upper plate 11. The coil through hole 29 is a hole formed so that the coil 49 of each magnetic force generating portion 53 penetrates upward to be connected to an external power source, and the coils of each magnetic force generating portion 53 are bundled. Tied with and passes through the coil through hole (29). Further, a plurality of bolt holes 31 and through holes 55 are formed in the edge portion. Of course, the bolt hole 31 is formed for fastening with the support plate 15. In addition, the through hole 55 is a through hole formed so as to be able to insert a support nut (43 in FIG. 3) in conformity with the installation hole 27 of the support member 25.
상기 상부플레이트(11)의 지지플레이트(15)에 대한 대향면에는 다수의 설치홈(19)이 형성되어 있다. 상기 설치홈(19)은 자기력발생부(53)의 상부를 수용하여 안착 지지하는 홈으로서, 자기력발생부(53)의 상면의 형상과 같이 둥근 원형의 형상을 취한다. 따라서 자기력발생부(53)를 개재시킨 상태로 양플레이트(11,15)가 상호 조립되면, 자기력발생부(53)의 상면이 설치홈(19)내에 삽입되어 흔들림이 없고 안정적인 설치가 이루어진다. 이와같이 이루어지는 상부플레이트(11)의 재질은 금속재질로 하며 바람직하기로는 니켈로 형성함이 좋다.A plurality of installation grooves 19 are formed on the surface opposite to the support plate 15 of the upper plate 11. The installation groove 19 is a groove for receiving and supporting the upper portion of the magnetic force generating portion 53, and has a round shape like the shape of the upper surface of the magnetic force generating portion 53. Therefore, when both plates 11 and 15 are assembled to each other with the magnetic force generating portion 53 interposed therebetween, the upper surface of the magnetic force generating portion 53 is inserted into the installation groove 19 to achieve stable installation without shaking. The upper plate 11 made in this way is made of a metal material, preferably formed of nickel.
지지플레이트(15)에도 다수의 볼트구멍(31)과 관통공(57)이 마련되어 있다. 상기 관통공(57)은 볼트(도 3의 39)가 관통하는 구멍이다. 상기 지지플레이트(15)는 알루미늄으로 제작함이 바람직하다.The support plate 15 is also provided with a plurality of bolt holes 31 and through holes 57. The through hole 57 is a hole through which the bolt 39 (FIG. 3) penetrates. The support plate 15 is preferably made of aluminum.
이러한 지지플레이트(15)의 상면에는 히터(17)가 더 구비된다. 상기 히터(17)는 외부의 전기를 공급받아 발열하는 열발생수단으로서, 시트(sheet)의 형태로 제작된 얇은 층의 형태를 취하여 지지플레이트(15)의 상면을 덮는다. 따라서상기 자기력발생부(53)의 저면은 히터(17)의 상면에 놓여지게 되는 것이다.The heater 17 is further provided on the upper surface of the support plate 15. The heater 17 is a heat generating means for generating heat by receiving external electricity, and takes the form of a thin layer formed in the form of a sheet to cover the upper surface of the support plate 15. Therefore, the bottom of the magnetic force generating unit 53 is to be placed on the upper surface of the heater 17.
상기 히터(17)는 세팅된 온도로 가열되어 하부에서 진행되고 있는 증착공정중 글래스에 열을 가하여 증착을 효과적으로 수행하도록 하는 것이다. 또한 상기 히터(17)는 온도센서(도 2의 33)와 연결되어 외부에서 항상 체크된다.The heater 17 is heated to a set temperature to apply heat to the glass during the deposition process proceeding from the bottom to effectively perform the deposition. In addition, the heater 17 is connected to the temperature sensor (33 of Figure 2) is always checked from the outside.
상기 지지플레이트(15)의 저면에는 지지홀더(13)가 구비된다. 상기 지지홀더(13)는 두 개가 대향하며 하나의 쌍을 이루어 글래스(45)를 탄성지지하는 부재이다. 상기 두 개의 지지홀더(13)는 지지플레이트(15)의 관통공(57)과 일치하여 볼트(도 3의 39)에 의해 결합하며 상호 대향한다. 또한 상기 지지홀더(13)의 양 단부에는 지지면(35)이 형성되어 있다. 상기 지지면(35)은 글래스(45)를 지지플레이트(15)의 저면에 밀착되도록 글래스(45)의 양측 에지부를 지지한다.A support holder 13 is provided on the bottom of the support plate 15. The support holder 13 is a member that elastically supports the glass 45 by forming two pairs to face each other. The two support holders 13 are joined by the bolts (39 in FIG. 3) and face each other to coincide with the through-holes 57 of the support plate 15. In addition, support surfaces 35 are formed at both ends of the support holder 13. The support surface 35 supports the edges of both sides of the glass 45 such that the glass 45 is in close contact with the bottom surface of the support plate 15.
아울러, 도 3을 통하여 후술하는 바와 같이 상기 지지홀더(13)는 스프링(41)에 의해 지지플레이트(15)에 탄성지지되어, 외력을 가하면 지지플레이트(15)로부터 지지홀더(13)를 이격시킬 수 있다. 따라서 글래스의 두께에 관계없이 글래스를 일정한 탄성력으로 지지할 수 있는 것이다. 즉, 지지홀더(13)는 글래스의 두께에 따라서 지지플레이트(15)와의 이격거리가 달라지지만, 글래스에 가하는 탄성지지력은 항상 일정한 것이다.In addition, as will be described later with reference to FIG. 3, the support holder 13 is elastically supported on the support plate 15 by a spring 41, so as to separate the support holder 13 from the support plate 15 when an external force is applied. Can be. Therefore, the glass can be supported by a constant elastic force regardless of the thickness of the glass. That is, the support holder 13 is separated from the support plate 15 depending on the thickness of the glass, the elastic support force applied to the glass is always constant.
또한 상기 탄성지지력을 조절할 수 도 있는데, 이는 볼트(도 3의 39)에 의해 조절된다. 지지너트(도 3의 43)에 대한 볼트(39)의 결합정도에 따라 스프링의 탄력이 달라지므로 필요시 상기 지지홀더(13)의 탄성지지력을 적절히 조절하여 공정을 진행한다.It is also possible to adjust the elastic bearing force, which is controlled by the bolt (39 in Figure 3). Since the elasticity of the spring varies depending on the degree of coupling of the bolt 39 to the support nut (43 in FIG. 3), the elastic support force of the support holder 13 is properly adjusted to proceed with the process if necessary.
한편, 상기 상부플레이트(11) 및 지지플레이트(15)사이에 설치되는 자기력발생부(53)는 전자석(21)과 영구자석(23)의 조합으로 구성된다. 상기 전자석(21)은 내부에 코어(도 4의47)를 포함하는 롤(37)과, 상기 롤(37)에 감겨지는 코일(49)로 구성된다.On the other hand, the magnetic force generating portion 53 installed between the upper plate 11 and the support plate 15 is composed of a combination of the electromagnet 21 and the permanent magnet (23). The electromagnet 21 is composed of a roll 37 having a core (47 in FIG. 4) therein and a coil 49 wound around the roll 37.
상기 코일(49)에 인가되는 전기의 전극은 서로 이웃하는 전자석에 있어서 서로 반대의 극성을 인가한다. 즉, 임의의 코어(도 3의 47)의 상부에 S극이 하부에 N극이 유도된다면, 그 옆의 코어에는 상부에 N극이 유도되고 하부에 S극이 유도되도록 전기를 인가하는 것이다. 따라서 후술하는 바와같이 임의의 전자석(21)에 유도되는 극성은 이웃하는 전자석에 유도되는 극성과 반대가 된다. 이는 상기 코일관통구(29)를 통하여 외부전원과 연결되는 코일(49)에 인가하는 전기의 전극을 반대방향으로 인가함으로서 이루어지는 것이다.The electric electrodes applied to the coil 49 apply polarities opposite to each other in the electromagnets adjacent to each other. In other words, if the north pole of the S pole on the upper portion of the arbitrary core (47 of FIG. 3) is induced, the north side of the core is induced to apply the electricity so that the north pole is induced at the top and the south pole. Thus, as will be described later, the polarity induced in an arbitrary electromagnet 21 is opposite to the polarity induced in a neighboring electromagnet. This is done by applying an electrode of electricity applied to the coil 49 connected to an external power source through the coil through hole 29 in the opposite direction.
상기 코일(49)에 제공되는 외부전기의 극성은 일단 결정되면 세팅된 상태를 유지한다. 따라서 메인전원을 온(on) 시키면 임의의 전자석(21)에 인가되는 자석의 극성은 항상 일정한 방향을 가지며 이웃하는 전자석은 그 반대방향의 극성을 취한다. 상기 코어(47)는 니켈로 제작 형성함이 바람직하다.The polarity of the external electricity provided to the coil 49 remains set once determined. Therefore, when the main power source is turned on, the polarity of the magnet applied to the arbitrary electromagnets 21 always has a certain direction, and the neighboring electromagnets have the opposite polarity. The core 47 is preferably formed of nickel.
상기 전자석(21)의 코어(47)의 상부에는 영구자석(23)이 구비된다. 상기 영구자석은 페라이트(ferrite)계열의 자석으로서, 극성의 방향은 전원이 가해졌을 때의 전자석(21)의 극성과 반대가 되도록 설치된다. 즉, 예를들어 전기가 가해져 코어의 상부에 N극이 형성되고 하부에 S극 형성되는 전자석의 코어(47)의 상부에 설치되는 영구자석(23)의 극성은 코어(47)와 접하는 하부가 N극이고 상부가 S극이 되도록 설치된다. 반대로 코어(47)의 상부에 S극이 하부에 N극이 형성되는 전자석(21)의 코어(47)의 상부에 구비되는 영구자석의 극성은 코어와 접하는 하부가 S극이고 상부플레이트(11)와 접하는 부위가 N극이 되는 것이다.The upper part of the core 47 of the electromagnet 21 is provided with a permanent magnet (23). The permanent magnet is a ferrite magnet, and the direction of polarity is provided to be opposite to that of the electromagnet 21 when a power is applied. That is, for example, the polarity of the permanent magnet 23 installed in the upper portion of the core 47 of the electromagnet is formed in the upper portion of the core and the S pole in the lower portion of the electric is applied to the lower portion is in contact with the core 47 It is installed so that the north pole is the north pole and the south pole is the south pole. On the contrary, the polarity of the permanent magnet provided in the upper portion of the core 47 of the electromagnet 21 in which the S pole is formed at the upper portion of the core 47 and the N pole is formed at the lower portion thereof is the S pole which is in contact with the core and the upper plate 11 is disposed. The part in contact with it becomes the N pole.
아울러 본 실시예에서 영구자석을 코어의 상면과 접하도록 롤(37)의 중앙부에 삽입시켰지만, 크기가 큰 영구자석을 적용하여 롤(37)의 상면전체를 커버하게 구성할 수 도 있다. 또한 영구자석을 페라이트계열이 아닌 다른 종류의 영구자석을 적용할 수 도 있음은 물론이다.In addition, in the present embodiment, the permanent magnet is inserted into the center of the roll 37 so as to contact the upper surface of the core, it may be configured to cover the entire upper surface of the roll 37 by applying a large permanent magnet. In addition, the permanent magnet may be applied to other types of permanent magnets other than the ferrite series.
상기 전자석(21)과 영구자석(23)의 상호 작용은 후술된다.The interaction between the electromagnet 21 and the permanent magnet 23 will be described later.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치의 자석의 배열을 나타내보인 도면이다. 도면에 도시한 S 또는 N은 영구자석(23) 상면의 극성을 표시한다.2 is a view showing the arrangement of the magnet of the shadow mask support apparatus for magnetic vacuum deposition according to an embodiment of the present invention. S or N shown in the figure indicates the polarity of the upper surface of the permanent magnet (23).
도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치에 배열된 자기력발생부(53)에 있어서, 롤(37)의 중심부에 설치된 영구자석(23)의 극성은 이웃하는 영구자석의 극성과 대체로 반대로 배열되어 있음을 알 수 있다. 상기한 바와같이 영구자석(23)의 극성의 배열이 결정되어 있음은, 영구자석(23)의 하부에 위치한 코어의 극성이 이미 셋팅되어 있음을 의미한다.Referring to the drawings, in the magnetic force generating unit 53 arranged in the magnetic vacuum deposition shadow mask support apparatus according to the present embodiment, the polarity of the permanent magnet 23 installed in the center of the roll 37 is adjacent to the permanent It can be seen that the magnets are arranged substantially opposite to the polarity of the magnets. As described above, the arrangement of the polarity of the permanent magnet 23 is determined, which means that the polarity of the core positioned below the permanent magnet 23 is already set.
상기 자기력발생부(53)의 극성을 N극과 S극으로 번갈아 배열하는 것은 지지플레이트(15)에 지지되는 글래스(45)의 저면에 밀착하는 섀도우마스크(도 5의 51)에 균일한 자기력을 제공하기 위함이다.Alternately arranging the polarity of the magnetic force generating portion 53 to the N pole and the S pole to provide a uniform magnetic force to the shadow mask (51 in FIG. 5) in close contact with the bottom surface of the glass 45 supported by the support plate 15. To provide.
상기한 바와같이 상부플레이트(11)의 중앙부에는 코일관통구(29)가 형성되어, 상부플레이트(11)의 하부에 설치된 전자석의 코일(도 1의 49)이 관통하여 외부의 전원(미도시)과 연결되도록 한다. 아울러 히터(도 1의 17)와 연결되는 센서(33)도 상기 코일관통구(29)에 지지되어 설치된다.As described above, the coil through-hole 29 is formed in the center of the upper plate 11, the coil (49 in Fig. 1) of the electromagnet provided in the lower portion of the upper plate 11 penetrates the external power source (not shown) To be connected to. In addition, a sensor 33 connected to the heater 17 of FIG. 1 is also supported and installed at the coil through hole 29.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치로 글래스를 지지한 상태를 도시한 도면이다.3 is a view showing a state in which the glass is supported by the magnetic mask for vacuum deposition shadow mask support apparatus according to an embodiment of the present invention.
상기한 도면부호와 동일한 도면부호는 동일한 기능의 동일한 부재를 가리킨다.The same reference numerals as the above reference numerals denote the same members having the same function.
도면을 참조하면, 상부플레이트(11)와 지지플레이트(15)사이에 다수의 자기력발생부(53)가 구비되어 있음을 알 수 있다. 아울러 상기 상부플레이트(11)와 지지플레이트(15)의 테두리부 사이에는 지지부재(25)가 구비된다. 상기 상부플레이트(11)와 지지플레이트(15)는 지지부재(25)를 사이에 두고 다수의 볼트(미도시)에 의해 체결되어, 지지부재(25)의 높이만큼 이격된 상태로 내부에 자기력발생부(53)를 내장한다.Referring to the drawings, it can be seen that a plurality of magnetic force generating portion 53 is provided between the upper plate 11 and the support plate 15. In addition, the support member 25 is provided between the upper plate 11 and the edge of the support plate 15. The upper plate 11 and the support plate 15 are fastened by a plurality of bolts (not shown) with the support member 25 interposed therebetween, and generate magnetic force therein while being spaced apart by the height of the support member 25. The unit 53 is incorporated.
상기 자기력발생부(53)의 전자석(21)과 영구자석(23)의 극성은 본 장치의 제작시 결정되어 서로 이웃하는 코어(47) 및 영구자석(23)의 극성은 서로 반대로 위치함은 상기한 바와같다.The polarity of the electromagnet 21 and the permanent magnet 23 of the magnetic force generating portion 53 is determined at the time of manufacturing the device so that the polarities of the neighboring core 47 and the permanent magnet 23 are located opposite to each other As one did.
한편, 지지플레이트(15)의 저면 양단에 구비되는 지지홀더(13)는 스프링(41)에 의해 상부로 탄성지지된다. 상기 지지홀더(13)를 상부로 탄성지지시키기 위한 수단으로서, 지지너트(43)와 스프링(41)과 볼트(39)가 구비된다.On the other hand, the support holder 13 which is provided at both ends of the bottom surface of the support plate 15 is elastically supported upward by the spring 41. As a means for elastically supporting the support holder 13 upward, a support nut 43, a spring 41, and a bolt 39 are provided.
상기 지지너트(43)는 외주에 스프링(41)이 구비된 상태로 설치구(27)내에 승강가능하도록 삽입된다. 아울러 상기 지지너트(43)의 상단부에는 헤드부가 설치되어 스프링(41)은 지지너트(43)의 상부로 빠져나가지 않는다. 상기 스프링(41)이 제공하는 높이는 지지너트(43)의 길이보다 높아 지지너트(43)가 스프링(41)에 의해 설치구(27)내부에서 떠 있도록 한다.The support nut 43 is inserted into the mounting hole 27 in a state where the spring 41 is provided at an outer circumference thereof to be liftable. In addition, the head portion is installed at the upper end of the support nut 43 so that the spring 41 does not escape to the upper portion of the support nut 43. The height provided by the spring 41 is higher than the length of the support nut 43 so that the support nut 43 floats inside the mounting hole 27 by the spring 41.
또한 상기 지지너트(43)의 내부에는 길이방향으로 암나사가 형성되어 있다. 상기 암나사는 볼트(39)와 나사결합한다. 이를 위해 상기 볼트(39)는 지지홀더(13)와 지지플레이트(15)의 관통공(57)을 관통하여 설치구(27)로 삽입한다. 상기 볼트(39)의 헤드부는 지지홀더(13)의 헤드안착구(59)에 지지되며 나사부는 설치구(27)내에서 지지너트(43)와 나사결합한다. 따라서, 외부에서 힘을 가하여 지지홀더(13)를 화살표 a방향으로 지지플레이트(15)로부터 이격시키면, 설치구(27)내의 지지너트(43)는 스프링(41)을 압축시키며 하부로 이동한다.In addition, an internal thread is formed in the support nut 43 in the longitudinal direction. The female screw is screwed with the bolt (39). To this end, the bolt 39 penetrates the through hole 57 of the support holder 13 and the support plate 15 and is inserted into the mounting hole 27. The head portion of the bolt 39 is supported by the head seating opening 59 of the support holder 13, and the threaded portion is screwed with the support nut 43 in the mounting hole 27. Accordingly, when the support holder 13 is spaced apart from the support plate 15 in the arrow a direction by applying a force from the outside, the support nut 43 in the mounting tool 27 moves downward while compressing the spring 41.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치의 자기력발생부를 보다 자세히 도시한 도면이다.Figure 4 is a view showing in more detail the magnetic force generating portion of the magnetic mask for vacuum deposition shadow mask support apparatus according to an embodiment of the present invention.
도면을 참조하면, 자기력발생부(53)는 상부플레이트(11)와 지지플레이트(15)의 히터(17) 사이에 설치된다. 이는 내부에 코어(47)와 영구자석(23)을 포함하는 롤(37)과, 상기 롤(37)의 외주를 감으며 외부의 전원과 연결되는 코일(49)로 구성된다. 상기 코어(47)는 니켈로 제작 형성함이 바람직하다. 아울러, 각 자기력발생부(53)에 있어서 코일(49)에 전기가 가해져 생성된 코어(47)의 극성은 영구자석(23)이 본래 갖고 있는 극성과 상호 반대이다.Referring to the drawings, the magnetic force generating unit 53 is installed between the upper plate 11 and the heater 17 of the support plate 15. It consists of a roll 37 including a core 47 and a permanent magnet 23 therein, and a coil 49 wound around the outer circumference of the roll 37 and connected to an external power source. The core 47 is preferably formed of nickel. In addition, the polarity of the core 47 generated by applying electricity to the coil 49 in each magnetic force generating unit 53 is opposite to the polarity of the permanent magnet 23 inherently.
코일(49)에 전기가 가해지지 않으면 코어(47)에는 자기력이 형성되지 않음은물론이다. 따라서 이 때 영구자석(23)의 자기력은 하부로 미쳐 코어(47)와 히터(17)와 지지플레이트(15) 및 글래스(45)를 통하여 섀도우마스크(도 5의 51)에 전달된다. 섀도우마스크(51)는 자성체이므로, 상기 영구자석(23)의 자기력에 의해 당겨져 글래스(45)의 저면에 밀착될 수 있는 것이다.Of course, magnetic force is not formed in the core 47 unless electricity is applied to the coil 49. Therefore, at this time, the magnetic force of the permanent magnet 23 is lowered to be transmitted to the shadow mask (51 in FIG. 5) through the core 47, the heater 17, the support plate 15, and the glass 45. Since the shadow mask 51 is a magnetic material, the shadow mask 51 may be pulled by the magnetic force of the permanent magnet 23 to be in close contact with the bottom surface of the glass 45.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치의 작동을 설명하기 위하여 부분 도시한 도면이다.5 and 6 are partial views to explain the operation of the shadow mask support device for the vacuum deposition according to an embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 지지플레이트(15)의 저면에 지지홀더(13)에 의해 글래스(45)가 탄성지지되어 있고, 글래스(45)의 저면에는 섀도우마스크(51)가 영구자석(23)의 자기력에 의해 상부로 당겨져 글래스(45)의 저면에 밀착된 상태를 유지한다. 이 때는 전자석(21)이 작동하지 않는 상태이다. 상기 영구자석(23)의 자기력은 코어(47)와 글래스(45)를 통하여 섀도우마스크(51)에 미치므로, 섀도우마스크(51)는 다수의 영구자석(23)에 의해 글래스(45)에 고르게 밀착되어 증착공정을 수행하도록 한다.Referring to FIG. 5, the glass 45 is elastically supported by the support holder 13 on the bottom of the support plate 15, and the shadow mask 51 is formed on the bottom of the glass 45 by the permanent magnet 23. It is pulled upward by the magnetic force and maintained in close contact with the bottom surface of the glass 45. At this time, the electromagnet 21 is not in operation. Since the magnetic force of the permanent magnet 23 extends to the shadow mask 51 through the core 47 and the glass 45, the shadow mask 51 is evenly applied to the glass 45 by the plurality of permanent magnets 23. Closely adhere to perform the deposition process.
상기와 같이 영구자석(23)의 자기력에 의해 글래스(45)에 섀도우마스크(51)가 밀착된 상태로 증착공정이 완료되면 사용된 섀도우마스크(51)를 글래스(45)로부터 이격시켜 다음 공정을 수행한다.As described above, when the deposition process is completed while the shadow mask 51 is in close contact with the glass 45 by the magnetic force of the permanent magnet 23, the used shadow mask 51 is separated from the glass 45 to perform the next process. Perform.
도 6에 도시한 바와같이, 전자석(21)의 코일(49)에 전기가 공급되어 전자석(21)이 작동하게 되면 코어(47)는 영구자석(23)이 갖는 극성과 반대의 극성을 띄게 되어, 영구자석(23)이 섀도우마스크(51)로 미치는 자기력을 차단하게 된다. 즉, 상기한 바와같이 코어(47)에 형성되는 전극은 영구자석(23)의 전극과 반대로 이루어지므로, 영구자석(23)의 자기력은 코어(47)의 자기력에 의해 차단되어 섀도우마스크(51)에 가하던 자기력은 없어지고, 섀도우마스크(51)는 중력에 의해 글래스(45)로부터 이격되어 하부로 이격되는 것이다.As shown in FIG. 6, when electricity is supplied to the coil 49 of the electromagnet 21 to operate the electromagnet 21, the core 47 has a polarity opposite to that of the permanent magnet 23. The permanent magnet 23 blocks the magnetic force applied to the shadow mask 51. That is, as described above, since the electrode formed on the core 47 is formed to be opposite to the electrode of the permanent magnet 23, the magnetic force of the permanent magnet 23 is blocked by the magnetic force of the core 47, so that the shadow mask 51 is provided. The magnetic force applied to the disappears, the shadow mask 51 is spaced apart from the glass 45 by gravity to the bottom.
결국, 전자석(21)에 전기를 인가하지 않으면 섀도우마스크(51)는 글래스(45)에 밀착된 상태를 유지하고, 전기를 인가하면 글래스(45)로부터 이격되어 다음 공정을 수행할 수 있게 되는 것이다. 이와같이 전기의 인가여부에 따라 섀도우마스크(51)의 밀착과 이격을 조절할 수 있으므로, 섀도우마스크(51)를 글래스에 밀착 및 탈착시키는 공정이 신속하고 용이하다.As a result, if electricity is not applied to the electromagnet 21, the shadow mask 51 is kept in close contact with the glass 45, and when the electricity is applied, the shadow mask 51 is spaced apart from the glass 45 to perform the next process. . In this way, the adhesion and separation of the shadow mask 51 can be adjusted according to whether electricity is applied, so that the process of making the shadow mask 51 adhere to and detach from the glass is quick and easy.
이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.As mentioned above, although this invention was demonstrated in detail through the specific Example, this invention is not limited to the said Example, A various deformation | transformation is possible for a person with ordinary knowledge within the scope of the technical idea of this invention.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 자력식 진공증착용 섀도우마스크 지지장치는 글래스에 섀도우마스크를 밀착 지지시키기 위해 자석의 자기력(magnetic force)을 이용하므로 글래스에 대한 섀도우마스크의 밀착성이 좋아 섀도우마스크의 넓이가 넓다 하더라도 섀도우마스크의 중앙부와 에지부의 글래스에 대한 지지력이 균일하여 정밀한 증착작업을 할 수 있다. 따라서 불량이 발생하지 않고 정확한 회로패턴을 얻을 수 있으며, 특히 섀도우마스크에 가해지는 자기력을 선택적으로 차단할 수 있어 사용이 완료된 섀도우마스크의 교체가 신속 용이하여 대량생산 라인에도 적용할 수 도 있다는 효과가 있다.The shadow mask support apparatus for magnetic vacuum deposition of the present invention made as described above uses a magnetic force of a magnet to closely support the shadow mask on the glass, so that the shadow mask has good adhesion to the glass. Even if it is wide, the support of the glass on the center and edge of the shadow mask is uniform, so that precise deposition can be performed. Therefore, accurate circuit patterns can be obtained without defects, and in particular, the magnetic force applied to the shadow mask can be selectively blocked, so that the used shadow mask can be replaced easily and can be applied to mass production lines. .
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Legal Events
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