KR100308834B1 - Fabrication of pressure type accelerometer - Google Patents
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Abstract
본 발명은 고온 특성이 우수한 압축형 가속도센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 베이스(5)와 유니트 베이스(3) 사이에 절연에폭시와 절연세라믹을 혼합한 혼합물을 도포한 후 가열 경화하여 절연층(6)을 형성하는 단계와; 상기 유니트 베이스(3) 상에 압전소자(1)와 관성질량(2)을 정렬한 다음 고정볼트(4)로 45℃∼55℃에서 일정한 토크(torque)를 가하는 단계; 상기 압전소자(1)의 전극이 연결된 임피던스 변환기(7)를 고온용 접착제를 사용하여 상기 관성질량(2) 위에다 접착하는 단계; 내부 신호선(8)을 외부 신호선(9)을 구비한 콘넥터(10)에 연결하고 가속도센서 하우징(11)을 씌워 방수처리하여 센서를 밀봉하는 단계를 거쳐 압축형 가속도센서를 제조함으로써 제조된 압축형 가속도센서는 구성품인 관성질량의 모양을 변화시켜 압전소자와 관성질량 및 유니트 베이스에 프리토크를 가하여 고정볼트의 나사길이를 줄임으로써 온도에 따른 열팽창을 줄여 고온에서 안정된 특성을 가지며, 또한 프리토크를 가하는 온도를 상온이 아닌 45℃∼55℃에서 진행함으로써 고온에서 보다 안정된 출력특성을 얻을 수 있는 장점이 있는 것이다.The present invention relates to a compression type accelerometer having excellent high temperature characteristics and a method for manufacturing the same, wherein a mixture of an insulating epoxy and an insulating ceramic is coated between a base 5 and a unit base 3, and then heated and cured to form an insulating layer ( 6) forming; Arranging a piezoelectric element (1) and an inertial mass (2) on the unit base (3) and then applying a constant torque at 45 ° C to 55 ° C with a fixing bolt (4); Bonding an impedance transducer (7) to which the electrode of the piezoelectric element (1) is connected to the inertial mass (2) using a high temperature adhesive; Compression type manufactured by manufacturing the compression type accelerometer by connecting the internal signal line 8 to the connector 10 having the external signal line 9 and covering the acceleration sensor housing 11 to seal the sensor. The acceleration sensor changes the shape of the inertial mass as a component and applies free torque to the piezoelectric element, the inertial mass and the unit base to reduce the screw length of the fixing bolt, thereby reducing thermal expansion according to temperature, and thus having stable characteristics at high temperatures. By applying the temperature at 45 ℃ to 55 ℃ not the normal temperature it has the advantage of obtaining a more stable output characteristics at a high temperature.
Description
본 발명은 고온 특성이 우수한 압축형 가속도센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 압축형 가속도센서 제조시에 관성질량의 모양을 변화시켜 유니트 베이스와 압전소자 및 관성질량에 프리토크(pre-torque)를 가하는 체결나사의 길이를가능한 짧게 유지하여 온도에 따른 열팽창이 최소가 되도록 함과 더불어 프리토크( pre-torque)를 가하는 온도를 상온이 아닌 50℃에서 가함으로써 고온에서 보다 안정된 출력을 가져오는 압축형 가속도센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a compression type accelerometer having excellent high temperature characteristics and a method of manufacturing the same. In particular, the shape of an inertial mass is changed during the production of a compression type accelerometer to pre-torque the unit base, the piezoelectric element, and the inertial mass. Keeping the length of the fastening screw as short as possible to minimize the thermal expansion according to the temperature and the pre-torque is applied at 50 ℃ instead of room temperature, resulting in a more stable output at high temperatures. It relates to a type acceleration sensor and a manufacturing method thereof.
산업 현장에서 회전기계의 진동을 감시하기 위하여 사용되는 가속도센서의 사용온도 범위는 범용의 경우 -40℃에서 80℃이며, 고온용의 경우는 -40℃에서 120℃이다. 한편, 가속도센서의 사용온도 범위는 출력이 상온값에 비해 ±10% 이내의 값을 가지는 온도구간으로 설정된다. 또한 가속도센서는 체결된 구조에 따라 압축형과 전단형으로 크게 대별된다. 도 1은 종래 압축형 가속도센서의 평면 구조도로서, 종래 압축형 가속도센서는 압전소자(1)와 관성질량(2) 및 유니트 베이스(3)를 SUS304 재질의 스테인레스 스틸로 제조된 고정볼트(4)에 고정너트(12)로 일정한 프리토크(The temperature range of the accelerometer used to monitor the vibration of a rotating machine in the industrial field is -40 ℃ to 80 ℃ for general purpose and -40 ℃ to 120 ℃ for high temperature. On the other hand, the use temperature range of the acceleration sensor is set to a temperature range in which the output has a value within ± 10% of the room temperature value. In addition, the acceleration sensor is roughly divided into compression type and shear type according to the fastened structure. 1 is a planar structural diagram of a conventional compression type acceleration sensor, and a conventional compression type acceleration sensor has a piezoelectric element (1), an inertial mass (2), and a unit base (3) of a fixing bolt (4) made of stainless steel of SUS304 material. Constant torque (12)
pre-torque)를 가하여 결합하고 외부로부터 전달된 진동을 관성질량(2)을 통하여 압전소자(1)에 전달함으로써 선형성이 뛰어난 출력을 얻게 된다. 여기서 유니트 베이스(3)는 원주형으로 홈을 내어 베이스벤딩 현상을 줄일 수 있도록 하고, 베이스(5)와 유니트 베이스(3) 사이에는 절연에폭시에 세라믹을 적절한 비율로 섞어 약 1mm 정도의 두께로 바른 후 섭씨 150℃에서 약 30분간 가열경화하여 외부와 가속도센서 내부를 절연하는 절연층(6)을 형성한다. 상기한 유니트 베이스(3)에 결합을 위한 고정볼트(4)를 설치하고, 압전소자(1)와 관성질량(2)을 유니트 베이스(3By applying a pre-torque and combining and transmitting the vibration transmitted from the outside to the piezoelectric element 1 through the inertial mass 2, an excellent linearity output is obtained. Here, the unit base (3) is grooved in a cylindrical shape to reduce the base bending phenomenon, and between the base (5) and the unit base (3) mixed with ceramic at an appropriate ratio in the ratio of about 1mm After heat curing at 150 ℃ for about 30 minutes to form an insulating layer (6) to insulate the outside and the interior of the acceleration sensor. The fixing bolt 4 for coupling to the unit base 3 is installed, and the piezoelectric element 1 and the inertial mass 2 are attached to the unit base 3.
)위에 올려놓고 고정너트(12)를 이용하여 상온에서 프리토크(pre-torque)를 가하여 결합한 다음 압전소자(1)의 전극을 임피던스 변환기(7)에 연결하여 체결된 관성질량(2) 위에 고온용 접착재를 사용하여 접착한다. 이후 내부 신호선(8)을 외부 신호선(9)을 가지는 콘넥터(10)에 연결하고 가속도센서 하우징(11)을 씌워 방수처리하여 센서를 밀봉한다.) And put the pre-torque at room temperature using the fixing nut 12, and then connect the electrodes of the piezoelectric element 1 to the impedance converter 7 so that the high temperature on the inertial mass 2 is fastened. Adhesion using adhesive for After that, the internal signal line 8 is connected to the connector 10 having the external signal line 9, and the sensor is sealed by covering the acceleration sensor housing 11 to seal the sensor.
그러나, 이같 같이 제조되는 종래의 가속도센서는 결합된 각 재질의 차이로 인하여 온도가 변화함에 따라 열팽창율이 달라져 온도에 따른 출력변화가 생기게 된다.However, in the conventional acceleration sensor manufactured as described above, the thermal expansion rate is changed as the temperature is changed due to the difference in each material to be combined, thereby causing an output change according to the temperature.
이러한 온도에 따른 길이의 변화는 다음식으로 주어진다.This change in length with temperature is given by
여기서 Δㅣ은 늘어난 길이,ㅣ 0는 상온에서의 길이, α1은 열팽창계수, T는 온도를 각각 나타낸다.Where Δ ㅣ is the increased length, ㅣ 0 is the length at room temperature, α 1 is the coefficient of thermal expansion, and T is the temperature.
상기 수학식 1에 나타낸 바와 같이 프리토크(pre-torque)를 가하기 위한 고정볼트의 길이가 길면 길수록 온도변환에 대해 늘어나는 길이가 길어짐을 알 수 있다.As shown in Equation 1, it can be seen that the longer the length of the fixing bolt for applying pre-torque, the longer the length for the temperature conversion becomes.
그러므로 온도가 상승함에 따라 상온에서 가해준 프리토크(pre-torque)가 고온에서는 거의 가해지지 않아 출력값이 거의 나오지 않거나 선형성을 갖는 출력을 얻는 데 어려움이 따른다.Therefore, as the temperature increases, pre-torque applied at room temperature is hardly applied at high temperature, so that output value is hardly produced or it is difficult to obtain an output having linearity.
본 발명은 상기한 실정을 감안하여 종래 압축형 가속도센서가 갖는 문제점 들을 해결하고자 발명한 것으로서, 압축형 가속도센서에 있어서, 관성질량의 형태를 변화시켜 프리토크(pre-torque)를 가하기 위한 고정볼트의 길이를 최소화시켜 온도에 따른 길이의 변화를 최소화 하고, 또한 프리토크(pre-torque)를 가하는 온도를 50℃로 변화시켜 압축형 가속도센서의 고온특성을 향상시키는 압축형 가속도센서 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the problems of the conventional compression type acceleration sensor in view of the above situation, in the compression type acceleration sensor, a fixed bolt for applying a pre-torque by changing the shape of the inertial mass Compression-type accelerometer and its manufacturing method to improve the high temperature characteristics of the compression-type accelerometer by minimizing the change of length by temperature and minimizing the change of length according to the temperature, and changing the pre-torque temperature to 50 ℃. The purpose is to provide.
도 1은 종래 압축형 가속도센서의 평면 구조도,1 is a planar structure diagram of a conventional compression type acceleration sensor,
도 2는 본 발명에 따른 고온 압축형 가속도센서의 평면 구조도이다.2 is a planar structural diagram of a high temperature compression type accelerometer according to the present invention.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
1 : 압전소자 2 : 관성질량1: piezoelectric element 2: inertial mass
3 : 유니트 베이스(unit base) 4 : 고정볼트3: unit base 4: fixing bolt
5 : 베이스 6 : 절연층5: base 6: insulation layer
7 : 임피던스 변환기 8 : 내부 신호선7: Impedance converter 8: Internal signal line
9 : 외부 신호선 10 : 콘넥터9: External signal line 10: Connector
11 : 센서하우징 12 : 고정너트11: sensor housing 12: fixing nut
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 압축형 가속도센서는 압전소자(1)와 관Compression type acceleration sensor of the present invention for achieving the above object is a piezoelectric element (1) and the tube
성질량(2), 유니트 베이스(3), 고정볼트(4), 베이스(5), 절연층(6), 임피던스 변환기(7), 내부 신호선(8), 외부 신호선(9), 콘넥터(10), 가속도센서 하우징(11) 및 고정너트(12)를 구비한 압축형 가속도센서에 있어서, 상기 관성질량(2)의 중앙 하단 부분에 턱을 내어 압전소자(1)의 내경 부분으로 턱이 내려가도록 구성하여 고정볼트의 길이를 최소화 하는 것을 특징으로 한다.Property amount (2), unit base (3), fixing bolt (4), base (5), insulating layer (6), impedance converter (7), internal signal line (8), external signal line (9), connector (10) In the compression type accelerometer having the acceleration sensor housing 11 and the fixing nut 12, the jaw is lowered to the inner diameter of the piezoelectric element 1 by putting a jaw in the lower center portion of the inertial mass 2. It is configured to minimize the length of the fixing bolt.
상기 고정볼트(4)는 열팽창계수가 작은 세라믹이나 인바소재를 사용한다.The fixing bolt 4 uses a ceramic or Invar material having a small coefficient of thermal expansion.
또한 본 발명 압축형 가속도센서의 제조방법은 베이스(5)와 유니트 베이스(3) 사이에 절연에폭시와 절연세라믹을 혼합한 혼합물을 도포한 후 가열 경화하여 절연층(6)을 형성하는 단계와; 상기 유니트 베이스(3) 상에 압전소자(1)와 관성질량(2)을 정렬한 다음 고정볼트(4)로 45℃∼55℃에서 일정한 토크(torque)를 가하는 단계; 상기 압전소자(1)의 전극이 연결된 임피던스 변환기(7)를 고온용 접착제를 사용하여 상기 관성질량(2) 위에다 접착하는 단계; 내부 신호선(8)을 외부 신호선(9)을 구비한 콘넥터(10)에 연결하고 가속도센서 하우징(11)을 씌워 방수처리하여 센서를 밀봉하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention provides a method for manufacturing a compression type acceleration sensor, comprising: applying a mixture of an insulating epoxy and an insulating ceramic between a base (5) and a unit base (3), followed by heat curing to form an insulating layer (6); Arranging a piezoelectric element (1) and an inertial mass (2) on the unit base (3) and then applying a constant torque at 45 ° C to 55 ° C with a fixing bolt (4); Bonding an impedance transducer (7) to which the electrode of the piezoelectric element (1) is connected to the inertial mass (2) using a high temperature adhesive; The internal signal line 8 is connected to the connector 10 having the external signal line 9 and the waterproof sensor is covered with the acceleration sensor housing 11 to seal the sensor.
이하 첨부도면을 사용하여 본 발명 고온 압축형 가속도센서 및 그 제조방법을 일실시예로 상세하게 설명한다.Hereinafter, the high temperature compression type acceleration sensor of the present invention and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 고온 압축형 가속도센서의 평면 구조도로서, 관성질량(2)의 중앙 하단부분에 약 1mm 정도의 턱을 내어 압전소자(1) 내경 부분으로 턱이 내려가도록 하여 프리토크를 가하기 위한 고정볼트(4)의 길이를 최소화 할 수 있는 구조로 되어 있다. 또한 압전소자(1)의 길이를 2mm로 하여 온도에 따른 길이변화를 최소화되도록 하였다.2 is a planar structural diagram of a high-temperature compression type accelerometer according to the present invention, in which a jaw of about 1 mm is placed at the center lower portion of the inertial mass 2 to lower the jaw to the inner diameter portion of the piezoelectric element 1. It has a structure that can minimize the length of the fixing bolt (4) to apply. In addition, the length of the piezoelectric element 1 was set to 2 mm to minimize the change in length with temperature.
가속도센서의 베이스(5)와 유니트 베이스(3) 사이에는 절연에폭시와 절연 세라믹을 알맞은 비율로 섞어 약 1mm 정도의 두께로 바른 후 섭씨 150℃에서 약 30분간 가열경화하여 절연층(6)을 형성하여 줌으로써 외부와 가속도센서 신호부를 절연시켜 접지루프(ground roop)에 의한 잡음의 발생이 없도록 하였다. 앞의 공정을 거친 유니트 베이스(3) 위에 압전소자(1)와 관성질량(2)을 정렬한 다음 고정볼트(4)를 이용하여 50℃에서 일정한 토크(4kgf-cm)를 가하여 베이스(5)로 전달된 외부의 진동이 압전소자(1)로 전달되도록 하였다. 다음으로 압전소자(1)의 전극을 임피던스 변환기(7)에 연결한 후 이를 체결된 관성질량(2) 위에 고온용 접착제를 사용하여 접착한다. 이후 내부 신호선(8)을 외부 신호선(9)을 가지는 콘넥터(10)에 연결하고 가속도센서 하우징(11)을 씌워 방수처리한 다음 센서를 밀봉하여 외부 시스템이 연결될 수 있도록 한다.Between the base 5 and the unit base 3 of the accelerometer, an insulating epoxy and an insulating ceramic are mixed at an appropriate ratio and applied to a thickness of about 1 mm, and then heat-cured at 150 ° C. for about 30 minutes to form an insulating layer 6. By insulating the external and accelerometer signal part, noise is not generated by the ground loop. The piezoelectric element 1 and the inertial mass 2 are aligned on the unit base 3 subjected to the above process, and then a fixed torque (4) is applied at a constant torque (4 kgf-cm) at 50 ° C. to the base 5. The external vibration transmitted to the piezoelectric element 1 is to be transmitted. Next, the electrode of the piezoelectric element 1 is connected to the impedance converter 7 and then bonded to the fastened inertial mass 2 using a high temperature adhesive. After that, the internal signal line 8 is connected to the connector 10 having the external signal line 9, the waterproof sensor is covered with the acceleration sensor housing 11, and the sensor is sealed to allow the external system to be connected.
상기한 방법으로 제조한 압축형 가속도센서는 기존의 압축형 가속도센서와는 다르게 관성질량(2)과 압전소자(1) 및 유니트 베이스(3)를 체결하기 위한 고정볼트Unlike the conventional compression type acceleration sensor, the compression type acceleration sensor manufactured by the above-described method has a fixing bolt for fastening the inertial mass (2), the piezoelectric element (1) and the unit base (3).
(4)의 길이를 최소화하고, 상온이 아닌 고온에서 프리토크를 가하여 고온에서 보다 안정된 특성을 얻을 수 있게 된다.The length of (4) is minimized, and pre-torque is applied at a high temperature, not at room temperature, thereby obtaining more stable characteristics at high temperatures.
가속도센서의 전압출력과 압전소자(1)의 두께 및 전극면적과의 관계는 다음과 같다.The relationship between the voltage output of the acceleration sensor, the thickness of the piezoelectric element 1 and the electrode area is as follows.
여기서Q는 출력전하값, d는 압전소자의 두께, A는 압전소자의 면적, 그리고 ε는 압전소자의 유전율이다.Where Q is the output charge value, d is the thickness of the piezoelectric element, A is the area of the piezoelectric element, and ε is the dielectric constant of the piezoelectric element.
상기 수학식 2에서 주어진 바와 같이 압전소자가 결정된 후 출력특성은 압전소자의 두께가 작아질수록 출력값이 감소하고, 면적이 좁아질수록 출력값이 증가함을 알 수 있다. 본 발명에서는 고온 안정성을 위하여 압전소자의 두께를 줄였지만 관성질량에 아래 턱을 두어 압전소자 내경 아래쪽에 위치하도록 하기 위하여 압전소자의 면적을 훨씬 줄였기 때문에 출력이 줄어드는 현상은 없다. 그리고 면적과 두께를 적절히 조정하면 고온 안정성이 뛰어나면서 출력특성이 우수한 가속도센서를 제조할 수 있다.After the piezoelectric element is determined as given in Equation 2, the output characteristic decreases as the thickness of the piezoelectric element decreases, and as the area decreases, the output value increases. In the present invention, the thickness of the piezoelectric element is reduced for high temperature stability, but the output is not reduced because the area of the piezoelectric element is much reduced to place the lower jaw on the inertial mass so that the piezoelectric element is located below the inner diameter of the piezoelectric element. If the area and thickness are properly adjusted, it is possible to manufacture an acceleration sensor that has excellent high temperature stability and excellent output characteristics.
상기한 바와 같이 본 발명의 방법으로 제조한 압축형 가속도센서는 구성품인 관성질량의 모양을 변화시켜 압전소자와 관성질량 및 유니트 베이스에 프리토크를 가하여 고정볼트의 나사길이를 줄임으로써 온도에 따른 열팽창을 줄여 고온에서 안정된 특성을 가지며, 또한 프리토크를 가하는 온도를 상온이 아닌 45℃∼55℃에서 진행함으로써 고온에서 보다 안정된 출력특성을 얻을 수 있는 장점이 있다.As described above, the compression type accelerometer manufactured by the method of the present invention changes the shape of the inertial mass as a component, and applies free torque to the piezoelectric element, the inertial mass, and the unit base, thereby reducing the screw length of the fixing bolt to thermal expansion according to temperature. It has the advantage of reducing the stability at high temperatures, and further increasing the pre-torque temperature at 45 ° C. to 55 ° C. instead of room temperature, thereby obtaining more stable output characteristics at high temperatures.
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101282923B1 (en) | 2006-12-20 | 2013-07-05 | 재단법인 포항산업과학연구원 | The bonding method of Lambda shape metal-ceramic ultrasonic vibrator |
| KR20180070629A (en) * | 2015-12-04 | 2018-06-26 | 키스틀러 홀딩 아게 | Accelerometer and method |
| KR20180075626A (en) * | 2015-12-04 | 2018-07-04 | 키스틀러 홀딩 아게 | Accelerometer and method |
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