KR100294200B1 - Manufacturing method of color filter - Google Patents

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Abstract

칼라 액정 표시장치에서 사용될 수 있는 칼라 필터의 제조방법으로서, 열전사법에 의해 칼라 필터를 제조시, 열전사를 이루도록 하는 레이저 빔에 기인하여 패턴의 양 가장자리부에 대한 이미지 형성이 불완전하게 이루어지는 것을 방지하도록 하기 위해, 레이저 빔을 패턴을 따라 스캔닝할 때에, 이를 이 스캔닝 방향에 대해 직교하는 방향으로 디더링을 시킨다. 이러한 방법에 의해 제조되는 칼라 필터는, 레이점 빔이 패턴의 중심부는 물론, 주변부에 대해서도 고른 에너지 분포가 이루어지도록 하게 됨에 따라 가장자리부에 대한 이미지 형성을 양호하게 이루고 또한, 패턴의 표면 거칠기도 양호한 상태로 유지하게 되어 양질의 품질로 제조될 수 있게 된다.A method of manufacturing a color filter that can be used in a color liquid crystal display device, wherein the manufacturing of a color filter by thermal transfer prevents incomplete image formation on both edges of a pattern due to a laser beam for thermal transfer. To do this, when scanning the laser beam along the pattern, it is dithered in a direction orthogonal to this scanning direction. The color filter manufactured by this method achieves a good image formation on the edge part as the ray point beam is evenly distributed in the center and the periphery of the pattern, and the surface roughness of the pattern is also good. It can be kept in a state that can be manufactured in high quality.

Description

칼라 필터의 제조방법Manufacturing method of color filter

본 발명은 칼라 필터의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 칼라 액정 표시장치에서 사용되는 칼라 필터의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a color filter, and more particularly, to a method for manufacturing a color filter used in a color liquid crystal display device.

일반적으로 액정 표시장치를 비롯한 디스플레이에서 이의 칼라화를 위해 마련되는 발색층은, 광식각(photolithography) 방식에 의해 제조되고 있다. 실질적으로 칼라 액정 표시장치에 마련되는 칼라 필터도, 주로 광식각 방식에 의한 안료 분산법 및 염색법에 의하여 제조되고 있다.In general, a chromophore layer provided for colorization in a display including a liquid crystal display is manufactured by a photolithography method. Substantially, the color filter provided in a color liquid crystal display device is also mainly manufactured by the pigment dispersion method and dyeing method by a photoetching method.

그러나, 근래에는 상기한 방법 이외에도 칼라 이미지를 형성하는 기술이 연구 개발되고 있는 바, 이에는 열전사법을 그 대표적인 예로 들 수 있다.However, in recent years, a technique for forming a color image in addition to the above-described method has been researched and developed, and the thermal transfer method is a representative example thereof.

여기서 이 열전사법은, 광원에서 나온 빛을 열에너지로 변환하고 이 열에너지에 의해 이미지 형성 물질을 대상 기판으로 전사(轉寫)시켜 칼라 패턴을 형성시키게 되는 방법으로서, 이를 이루기 위해서는 적어도 광원, 주게 필름(donor film) 및 기판 등을 필요로 한다.Here, the thermal transfer method converts light from a light source into thermal energy and transfers an image forming material to a target substrate by using the thermal energy to form a color pattern. donor film) and substrate.

즉, 이 열전사법에 의한 개략적인 칼라 이미지 형성 단계는, 레이저와 같은 광원에서 나온 빛을 주게 필름 위로 조사하여 이 빛이 상기 필름의 빛 흡수체에 의해 흡수되어 열에너지로 변환되도록 하고, 이 열에너지에 의해 주게 필름의 칼라 물질이 기판의 표면으로 전사되도록 하는 것이다.In other words, the step of forming a color image by the thermal transfer method is irradiated onto the film to give light from a light source such as a laser so that the light is absorbed by the light absorber of the film and converted into thermal energy. To transfer the color material of the film to the surface of the substrate.

실질적으로 열전사법에 의한 칼라 이미지 형성은, 임의의 값으로 포커스 조절된 레이저 빔이 대상 기판을 두고 주게 필름 위로 원하는 패턴에 따라 스캔닝(scanning)됨으로써 이루지게 된다.Substantially color image formation by thermal transfer is accomplished by scanning a laser beam focused to an arbitrary value according to a desired pattern onto the film to leave the target substrate.

이러한 종래 기술의 일례로 미합중국 특허 5,521,035에는 상기한 레이저 열전사 방법에 의해 칼라 액정 표시장치용 칼라 필터를 제조하는 방법이 개시되어 있다.As an example of such a prior art, US Pat. No. 5,521,035 discloses a method for manufacturing a color filter for a color liquid crystal display device by the above laser thermal transfer method.

이 기술에서는, 칼라 주게(donor)로부터 글라스 또는 폴리메릭(polymeric) 필름과 같은 기판으로 칼라 물질을 레이저 유도 열전사하여 칼라 필터를 제조하도록 하고 있는 바, 실질적으로는 Nd:YAG 레이저를 사용하여 기판의 표면에 칼라 물질이 전사되도록 함으로써 칼라 필터를 형성하고 있다.In this technique, a color filter is fabricated by laser-induced thermal transfer of color material from a color donor to a substrate such as glass or polymeric film. Substantially, a substrate using Nd: YAG laser is used. A color filter is formed by causing the color material to be transferred onto the surface of the.

한편, 상기에서 Nd:YAG 레이저는, 가우스(Gaussian) 분포를 가지는 가우스 빔을 형성하게 되는데, 이러한 가우스 빔은 그 직경을 크게-대략 60㎛ 이상-하는 경우에는, 도 9에 도시한 바와 같이 중심점으로부터 멀어질수록 에너지 분포를 완만하게 하는 특성을 보이게 된다.Meanwhile, in the above, the Nd: YAG laser forms a Gaussian beam having a Gaussian distribution. When the Gaussian beam has a large diameter of about 60 μm or more, the center point is shown in FIG. 9. The further away from it, the more gentle the energy distribution.

그런데, 열전사를 이루도록 하는 레이저가 상기와 같은 특성을 갖게 되면, 가령, 이 레이저가 도 10에 도시된 바와 같이 소정의 직경을 갖는 가우스 빔(1)을 발생하여 이를 임의의 칼라 필터 패턴(3)에 대해 열전사를 이루도록 X 방향을 따라 스캔닝하는 경우, 상기 패턴(3)의 가장자리 부분에 대해 빔 세기를 약하게 하므로이에 대한 이미지 형성을 패턴(3)의 중심부위에 비해 저하시키게 된다.By the way, when the laser for thermal transfer has the above characteristics, for example, the laser generates a Gaussian beam 1 having a predetermined diameter as shown in FIG. In the case of scanning along the X direction to form thermal transfer with respect to), the beam intensity is weakened with respect to the edge portion of the pattern 3 so that the image formation thereof is lowered compared to the center of the pattern 3.

이에 대해 상기 패턴(3)의 가장자리에 대한 이미지 품질을 향상시키도록 레이저의 전체적인 에너지를 강화시키게 되면, 이전 상태에 비해 패턴의 가장자리부 품질은 어느 정도 개선시킬 수 있겠지만, 이와 반대로 상기 가우스 빔(1)의 중심부에 대해서는 그 에너지를 과대하게 하므로 최종적으로는 이미지 패턴의 표면에 굴곡을 형성하게 되어 칼라 필터 제조에 불량을 초래하게 된다.On the other hand, if the overall energy of the laser is enhanced to improve the image quality of the edge of the pattern 3, the quality of the edge of the pattern may be improved to some extent compared with the previous state, but on the contrary, the Gaussian beam 1 In the center of the c), the energy is excessively increased, resulting in curvature on the surface of the image pattern, resulting in a defect in manufacturing the color filter.

따라서, 본 발명은 이러한 종래의 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 열전사법에 의해 칼라 필터를 형성하는 경우, 이미지 패턴의 가장자리에 대한 품질 상태를 양호하도록 할 뿐만 아니라, 최종 완성하는 이미지 패턴의 표면 거칠기도 사용자가 만족할 정도의 수준을 보일 수 있도록 하는 칼라 필터의 제조방법을 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an object of the present invention is not only to improve the quality of the edge of the image pattern but also to finalize the color filter when the color filter is formed by the thermal transfer method. The surface roughness of the image pattern is to provide a method of manufacturing a color filter to be able to show a level that satisfies the user.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 칼라 필터의 제조방법을 설명하기 위해 도시한 개략도이고,1 is a schematic diagram illustrating a method of manufacturing a color filter according to a first embodiment of the present invention;

도 2 내지 4는 본 발명에 따른 레이저 빔의 디더링 형태를 도시한 개략도이고,2 to 4 is a schematic diagram showing the dithering form of the laser beam according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 레이저 빔의 단면 에너지 분포를 도시한 그래프이고,5 is a graph showing the cross-sectional energy distribution of the laser beam according to the present invention,

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 칼라 필터의 제조방법을 설명하기 위해 도시한 개략도이고,6 is a schematic view illustrating a method of manufacturing a color filter according to a second embodiment of the present invention;

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 칼라 필터의 제조방법을 설명하기 위해 도시한 개략도이고,7 is a schematic diagram illustrating a method of manufacturing a color filter according to a third embodiment of the present invention;

도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 칼라 필터의 제조방법을 설명하기 위해 도시한 개략도이고,8 is a schematic view illustrating a method of manufacturing a color filter according to a fourth embodiment of the present invention;

도 9는 종래의 열전사법에 의한 칼라 필터 제조에 사용되는 레이저 빔의 에너지 분포를 도시한 그래프이고,9 is a graph showing the energy distribution of a laser beam used for manufacturing a color filter by a conventional thermal transfer method,

도 10은 종래의 열전사법에 의한 칼라 필터 제조방법을 설명하기 위해 도시한 개략도이다.10 is a schematic diagram illustrating a conventional method for manufacturing a color filter by thermal transfer.

이에, 본 발명은 상기 목적을 실현하기 위하여,Accordingly, the present invention to realize the above object,

기판 위에 열전사를 이루기 위한 광원이 주게 필름(donor film)을 통해 임의의 패턴을 따라 디더링(dithering)되면서 스캔닝되어 이루어지는 칼라 필터의 제조방법을 제안한다.A method of manufacturing a color filter in which a light source for forming thermal transfer on a substrate is scanned while dithering along a random pattern through a donor film is scanned.

이와 같은 칼라 필터 제조방법은, 열전사법에 의해 칼라 필터를 제조시, 열전사를 이루도록 하는 광원인 레이저 빔을 칼라 필터의 패턴을 따라 스캔닝할 때, 이 빔을 스캔닝 방향에 대해 직교하는 방향으로 디더링 즉, 진동시키게 된다.Such a color filter manufacturing method, when manufacturing a color filter by the thermal transfer method, when the laser beam, which is a light source for thermal transfer, is scanned along the pattern of the color filter, the direction perpendicular to the scanning direction. Dithering, i.e., vibrating.

이처럼 레이저 빔이 진동되면서 스캔닝을 이루게 되면, 칼라 필터의 패턴 가장자리부에 대한 열전사가 진동되는 레이저 빔에 의해 확실히 이루어질 수 있게 되므로, 이에 본 발명에 따라 이루어지는 칼라 패턴은 그 이미지 형성을 양호하게 이룰 수 있게 된다.When the laser beam is vibrated and thus scanned, the heat transfer to the pattern edge of the color filter can be surely performed by the vibrated laser beam. Thus, the color pattern according to the present invention achieves good image formation. It becomes possible.

이하, 본 발명을 명확히 하기 위한 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명은 지금까지 알려진 칼라 필터의 제조방법 중, 열전사법에 의해 칼라 필터를 제조하게 된다. 여기서 이 열전사법은 칼라 필터가 형성되는 기판과 열전사를 이루도록 하는 광원 사이에 칼라 물질을 함유하는 주게 필름을 배치하고, 상기 광원을 주게 필름을 통해 원하는 칼라 필터의 패턴을 따라 스캔닝하여 칼라 필터를 형성하게 되는 방법으로서 본 실시예에서 그 자세한 설명은, 주지의 사실에 따라 생략하기로 한다.First, the present invention is to produce a color filter by the thermal transfer method among the manufacturing methods of color filters known to date. In this thermal transfer method, a color filter is placed between a substrate on which a color filter is formed and a light source for thermal transfer, and a color filter is formed by scanning the light source along a pattern of a desired color filter through the film. In the present embodiment, a detailed description thereof will be omitted according to well-known facts.

본 발명은 이러한 열전사법에 의해 칼라 필터를 제조할 때, 광원이 열전사를 이루도록 하는 방법에 특징을 갖게 된다.The present invention is characterized by a method of causing the light source to thermally transfer when producing a color filter by such a thermal transfer method.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 칼라 필터의 제조방법을 설명하기 위해 도시한 개념도로서, 도면에서 도면 부호 10은 기판 상에 형성될 칼라 필터의 패턴을 가리키고 있다.1 is a conceptual diagram illustrating a method of manufacturing a color filter according to a first embodiment of the present invention, in which reference numeral 10 designates a pattern of a color filter to be formed on a substrate.

또한, 도면에서 도면 부호 12는 상기 패턴(10)을 따라 빛을 조사하게 되는 광원으로서, 레이저 빔을 가리킨다.In the drawing, reference numeral 12 denotes a light source that irradiates light along the pattern 10 and indicates a laser beam.

즉, 이 레이저 빔(12)은, 상기 패턴(10)을 따라 도면에 표기된 X 방향(도면을 기준으로 볼 때, 좌에서 우로)으로 이동되면서 스캔닝하게 되는 바, 이 때, 이 레이저 빔(12)은 종래와 같이 단순히 상기 방향을 따라 스캔닝되지 않고, 도면에서와 같이 상,하 진동을 이루는 디더링 동작을 더불어 이루게 된다.That is, the laser beam 12 is scanned along the pattern 10 while moving in the X direction (left to right when viewed from the drawing) indicated in the drawing. 12 does not simply scan along the direction as in the prior art, but also achieves a dithering operation that makes up and down vibrations as shown in the drawing.

본 발명에서 이처럼 상기 레이저 빔(12)을 디더링시키게 되는 것은, 상기 패턴(10)의 양 가장자리부(10a,10b)에 대한 열전사도 정확하게 이루도록 하기 위함인데, 이러한 레이저 빔(12)의 디더링은, 상기한 스캔닝의 방향에 대해 직교 방향으로 이루어지게 된다.In the present invention, the dithering of the laser beam 12 is to ensure accurate thermal transfer of both edge portions 10a and 10b of the pattern 10. The dithering of the laser beam 12 is It is made in a direction orthogonal to the direction of scanning described above.

또한, 이 때, 이 디더링은, 레이저 빔(12)의 스캔닝 속도보다 더욱 빠른 속도로 진행되는 것이 바람직한데, 구체적으로는 그 주파수가 50㎑∼500㎑ 로 되는 주기를 갖고 진행되는 것이 좋으며, 특히 100㎑∼300㎑ 의 주파수를 이룰 때에 더욱 좋다.At this time, the dithering is preferably performed at a higher speed than the scanning speed of the laser beam 12. Specifically, the dithering is preferably performed at a frequency of 50 Hz to 500 Hz. Especially when the frequency is 100 kHz to 300 kHz.

또한, 상기한 레이저 빔(12)은, 그 형상을 원형 또는 타원형 등의 여러 형태로 이룰 수 있으나, 바람직하기로는 타원형이 좋다. 특히, 도면에 도시된 바와 같이 상기 칼라 필터의 패턴(10)이 길이 방향으로 길게 형성될 때에, 상기 레이저 빔(12)은 그 스캔방향을 장축으로 하는 타원형으로 이루어지는 것이 좋은데, 이는 상기 레이저 빔(12)이 스캔닝될 때에 그 겹침 비율을 증가시켜 상기 패턴(10)의 모든 부위에 부가하는 에너지 분포를 고르도록 하기 위함이다.In addition, the laser beam 12 may be formed in various forms such as circular or elliptical, but preferably elliptical. In particular, when the pattern 10 of the color filter is formed long in the longitudinal direction as shown in the drawing, the laser beam 12 may be made of an elliptical shape having a long axis in the scanning direction. This is to increase the overlap ratio when 12) is scanned so that the energy distribution added to all parts of the pattern 10 can be selected.

실질적으로 상기 패턴(10)의 폭(w)이 칼라 액정 표시장치에서 사용되는 칼라 필터와 같이 60㎛∼150㎛로 이루어지는 경우, 상기 레이저 빔(12)은 그 장축을 200㎛∼500㎛로 하고, 단축은 20㎛∼50㎛로 하는 타원형의 형상으로 이루어짐이 바람직하다.When the width w of the pattern 10 is substantially 60 µm to 150 µm as in the color filter used in the color liquid crystal display device, the laser beam 12 has a long axis of 200 µm to 500 µm. The short axis is preferably formed in an elliptical shape of 20 µm to 50 µm.

한편, 상기 레이저 빔(12)이 디더링되는 형태는, 다양한 파형을 그리면서 이루어지는 것이 가능하다. 도 2 내지 도 4는 이 레이저 빔(12)이 여러 형태의 파형으로 디더링되는 것을 보여주는 도면으로서, 도시된 바와 같이 상기 레이저 빔(12)은 사인(sine)파형(도 2)이나, 톱니파형(도 3) 또는 사다리꼴파형(도 4) 등의 파형을 그리면서 디더링될 수 있게 된다.On the other hand, the form in which the laser beam 12 is dithered can be made while drawing a variety of waveforms. 2 to 4 show that the laser beam 12 is dithered into various types of waveforms. As shown, the laser beam 12 is a sine waveform (Fig. 2) or a sawtooth waveform ( It can be dithered while drawing a waveform such as FIG. 3) or a trapezoidal waveform (FIG. 4).

이에 본 실시예에서는 상기와 같이 레이저 빔(12)을 디더링하면서 스캔닝하여 열전사법에 의해 칼라 필터를 형성하는 경우, 다음과 같은 결과를 알 수 있었다.Accordingly, in the present embodiment, when the laser beam 12 is scanned while dithering and the color filter is formed by the thermal transfer method, the following results can be seen.

도 5는 이 결과를 알 수 있는 참고 도면으로서, 여기서 이 그래프는 상기 패턴(10)에 대한 레이저 빔(12)의 단면 에너지 분포를 도시하고 있다.FIG. 5 is a reference diagram showing this result, where the graph shows the cross-sectional energy distribution of the laser beam 12 for the pattern 10.

도시된 바와 같이 먼저, 종래에 디더링을 하지 않고 단순히 스캔닝만을 하는 레이저 빔 즉, 가우스 빔(B1)은 전술한 바와 같이 패턴의 중심부에서 가장자리를 향할수록 완만한 경사를 이루는 에너지 분포를 보인다.As shown in the drawing, a laser beam that is simply scanning without conventional dithering, that is, a Gaussian beam B1, exhibits an energy distribution that forms a gentle slope from the center of the pattern toward the edge as described above.

이에 비해 본 발명에 따른 레이저 빔(12)은, 그 파형이 가령, 사인파형(B2) 또는 톱니파형(B3)으로 디더링되면서 스캔닝되는 경우로 할 때, 그 에너지 분포가 패턴의 가장자리부에서 급격한 경사를 보이도록 하게 된다.In contrast, when the laser beam 12 according to the present invention is scanned while the waveform is dithered into, for example, a sinusoidal wave B2 or a sawtooth wave B3, its energy distribution is abrupt at the edge of the pattern. The slope is shown.

이와 같은 에너지 분포 결과를 토대로 하여 볼 때, 본 발명에 따른 레이저 빔(12)은, 패턴(10)의 중심부에 비해 가장자리부에 대해서도 빔 세기를 감소시키지 않고 이에 대한 열전사를 양호하게 이루게 됨을 알 수 있다.Based on the result of the energy distribution, it can be seen that the laser beam 12 according to the present invention achieves better thermal transfer to the edge portion than the center portion of the pattern 10 without reducing the beam intensity. Can be.

또한, 본 발명에 따른 레이저 빔(12)은, 패턴(10)의 중심에 대한 빔의 세기와 가장자리부에 대한 빔의 세기를 엇비슷하게 이루고 있는데, 이러한 결과는 패턴(10)의 표면에 대한 거칠기가 불량해지는 것을 미연에 방지할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, the laser beam 12 according to the present invention achieves the same intensity of the beam with respect to the center of the pattern 10 and the beam with respect to the edge portion, which results in a roughness of the surface of the pattern 10. Has an effect that can be prevented from becoming poor.

이는 즉, 종래의 가우스 빔(B1)과 같이 패턴의 중심부에 대한 빔의 세기가 가장자리부의 빔의 세기보다 커서, 이를 보완하기 위해 중심부에 과다한 에너지 분포가 이루어지도록 하여 이로 인해 일어나는 표면의 비평탄화를 막을 수 있기 때문이다.That is, as in the conventional Gaussian beam B1, the beam intensity of the center portion of the pattern is greater than that of the edge portion, so that excessive energy distribution is made in the center portion to compensate for this, thereby resulting in unplanarization of the surface. Because you can stop.

다음으로는 본 실시예에서 실험한 결과를 더욱 구체적으로 알아보도록 한다.Next, more specifically look at the results of the experiment in the present embodiment.

먼저, 본 실시예에서는 상기한 레이저 빔(12)을, Nd:YAG 레이저로부터 발생하였으며, 이 레이저 빔(12)의 형상은 380㎛의 장축과, 38㎛의 단축을 갖는 타원형을 이루도록 하였고, 또한, 상기한 이 레이저 빔(12)의 디더링은 AOM(Acusto-Optical Modulator)를 사용하여 이루었다.First, in the present embodiment, the above-described laser beam 12 is generated from the Nd: YAG laser, and the shape of the laser beam 12 is an ellipse having a long axis of 380 µm and a short axis of 38 µm. The dithering of the laser beam 12 described above was accomplished using Acusto-Optical Modulator (AOM).

아울러, 상기 레이저의 파워는, 주게 필름상에서 10W 를 유지할 수 있도록 하였으며, 스캔닝 속도는 7m/sec로 유지하였다. 또한, 상기 레이저 빔(12)의 디더링은, 그 주파수를 200㎑로 하면서 사인파형으로 이루었다.In addition, the power of the laser was to maintain 10W on the film, and the scanning speed was maintained at 7m / sec. In addition, the dithering of the laser beam 12 was made into a sinusoidal wave with the frequency of 200 Hz.

이러한 조건을 가지고 열전사법에 의해 칼라 필터를 제조한 결과, 각 색(R,G,B)에 대한 패턴 상태는 아래 표 1과 같았다.As a result of manufacturing the color filter by thermal transfer method under these conditions, the pattern state for each color (R, G, B) was as shown in Table 1 below.

빨강(R)Red (R) 초록(G)Green (G) 파랑(B)Blue (B) 패턴 폭(㎛)Pattern width (μm) 94.89±1.0894.89 ± 1.08 99.98±1.4699.98 ± 1.46 106.30±0.70106.30 ± 0.70 가장자리 거칠기(㎛)Edge Roughness (μm) 1.23±0.361.23 ± 0.36 1.51±0.461.51 ± 0.46 0.62±0.260.62 ± 0.26 표면 거칠기(㎛)Surface Roughness (μm) 0.0393±0.00910.0393 ± 0.0091 0.0637±0.01750.0637 ± 0.0175 0.0361±0.01200.0361 ± 0.0120

한편, 상기 표 1에 기재된 값에 따라 본 발명에 의해 제조된 칼라 필터의 특성을 종래와 대비하여 볼 때, 아래 표 2에 기재된 종래의 값과 비교하여 보면, 본 발명에 의해 제조된 칼라 필터의 패턴 상태가 가장자리 거칠기 뿐만 아니라 표면 거칠기에 있어 양호한 특성을 보임을 쉽게 알 수 있다.On the other hand, when comparing the characteristics of the color filter produced by the present invention according to the values shown in Table 1, compared with the conventional values shown in Table 2 below, compared to the conventional value of the color filter manufactured by the present invention It can be easily seen that the pattern state exhibits good characteristics in terms of surface roughness as well as edge roughness.

빨강(R)Red (R) 초록(G)Green (G) 파랑(B)Blue (B) 패턴 폭(㎛)Pattern width (μm) 90.34±1.2590.34 ± 1.25 95.34±1.7395.34 ± 1.73 99.37±1.5599.37 ± 1.55 가장자리 거칠기(㎛)Edge Roughness (μm) 1.75±0.771.75 ± 0.77 1.88±0.621.88 ± 0.62 1.64±0.561.64 ± 0.56 표면 거칠기(㎛)Surface Roughness (μm) 0.0565±0.01120.0565 ± 0.0112 0.0954±0.01850.0954 ± 0.0185 0.1032±0.02430.1032 ± 0.0243

한편, 상기한 제1 실시예에서 상기 레이저 빔(12)은 단일 레이저에서 발생되는 단일 빔으로 형성되는데, 본 발명은 반드시 이러한 식으로 레이저 빔을 형성하여 칼라 필터를 제조하는 것에 국한되지 않는다.On the other hand, in the above-described first embodiment, the laser beam 12 is formed of a single beam generated by a single laser, and the present invention is not necessarily limited to manufacturing a color filter by forming a laser beam in this way.

즉, 본 발명은 상기 레이저 빔(12)을 다양한 방식으로 형성하여 열전사법에 의해 칼라 필터를 제조되는 바, 이에 대한 실시예를 설명하면 다음과 같다.That is, in the present invention, the laser beam 12 is formed in various ways to produce a color filter by thermal transfer, which will be described below.

도 6는 본 발명의 제2 실시예에 따른 칼라 필터 제조방법을 설명하기 위해 도시한 도면으로서, 도시된 바와 같이 이 실시예에서 레이저 빔(22,22')은 단일 레이저(도시되지 않음)로부터 출사되어 복수개로 분할되어 인접하는 칼라 필터의 패턴(24,26)에 각기 대응하여 디더링되면서 스캔닝된다.FIG. 6 is a view for explaining a color filter manufacturing method according to a second embodiment of the present invention. As shown, in this embodiment, the laser beams 22 and 22 'are from a single laser (not shown). It is radiated, divided into a plurality, and scanned while dithering corresponding to the patterns 24 and 26 of adjacent color filters, respectively.

이 도 6에서는 상기 레이저 빔(22,22')이 단일 레이저로부터 2개의 빔으로 분할되어 칼라 필터의 패턴(24,26)을 따라 디더링되어 스캔닝되는 상태를 도시하고 있는데, 이 때, 이 레이저 빔(22,22')은 상호 동기화되는 것이 바람직하다.6 shows a state in which the laser beams 22 and 22 'are divided into two beams from a single laser, dithered and scanned along the patterns 24 and 26 of the color filter. Beams 22, 22 'are preferably synchronized with each other.

이처럼 이 제2 실시예에서와 같이 복수화된 레이저 빔을 동기화하여 디더링하여 스캔닝시키게 되면, 1회의 동작에 따라 복수개의 칼라 필터 패턴을 동시에 형성할 수 있는 이점을 지니게 된다.As described above, when the plural laser beams are synchronized and dithered and scanned as in the second embodiment, a plurality of color filter patterns can be simultaneously formed according to one operation.

또한, 본 발명은 이와 달리 복수의 레이저로부터 발생된 레이저 빔을 이용하여 칼라 필터를 제조할 수도 있게 된다.In addition, the present invention can also manufacture a color filter using a laser beam generated from a plurality of lasers.

도 7 및 도 8은 이를 설명하기 위해 도시한 도면으로서, 먼저 도 7은 복수개의 레이저(도시되지 않음)로부터 발생된 레이저 빔이 하나로 중첩되어 단일 레이저 빔(32)로 형성된 후, 디더링과 스캔닝되는 상태를 도시하고 있다.FIG. 7 and FIG. 8 are diagrams for explaining this. First, FIG. 7 illustrates a laser beam generated from a plurality of lasers (not shown), which are superimposed as one to form a single laser beam 32, and then dithering and scanning. The state shown is shown.

즉, 본 발명의 제3 실시예에서는 가령 2개의 레이저로부터 발생된 레이저 빔을 중첩하여 단일화한 다음, 이를 동기화하여 주게 필름을 통해 원하는 칼라 필터의 패턴(34)를 따라 동일 궤적을 그리면서 디더링과 스캔닝을 시키게 되는 바, 이러한 방법에 의하면, 단일 레이저로부터 발생된 레이저 빔에 비해 2배의 빔 세기를 가지고 디더링과 스캔닝을 이룰 수 있게 되므로, 그 스캔닝 속도를 더욱 빨리할 수 있는 효과를 갖게 된다.That is, in the third embodiment of the present invention, for example, the laser beams generated from the two lasers are overlapped and unified, and then synchronized with each other, thereby dithering and drawing the same trajectory along the pattern 34 of the desired color filter through the film. In this method, the dithering and scanning can be performed with twice the beam intensity compared to the laser beam generated from a single laser, and thus the scanning speed can be made faster. Will have

이와 달리 본 발명은 도 8에 도시한 바와 같이, 복수의 레이저(도시되지 않음)로부터 발생된 복수의 레이저 빔(42,44)을 중첩하지 않고 상호 다른 위상을 갖도록 하면서, 상호 어긋나게 디더링되면서 스캔닝하는 방법으로 칼라 필터를 제조할 수도 있다.In contrast, the present invention, as shown in Figure 8, a plurality of laser beams (42, 44) generated from a plurality of lasers (not shown) while having a mutually different phases without overlapping, while dithering alternately scanning It is also possible to produce a color filter by the method.

이 밖에도 본 발명은 복수의 레이저에서 발생된 복수의 레이저 빔을 상기한 도 6에서와 같이 인접하는 칼라 필터의 패턴에 각기 대응하여 디더링과 스캔닝을 이루도록 하여 칼라 필터를 제조토록 하는 방법도 가능하다. 물론, 이 때 복수의 레이저 빔은 동기화됨이 바람직하다.In addition, the present invention may also manufacture a color filter by dithering and scanning the plurality of laser beams generated by the plurality of lasers corresponding to the pattern of adjacent color filters as shown in FIG. 6. . Of course, the plurality of laser beams is preferably synchronized at this time.

이상에서 열거된 바와 같이 본 발명은 다양한 형태로 이루어지는 레이저 빔을 통해 이로 인한 부수적인 효과를 지니면서 칼라 필터를 제조할 수 있게 된다.As enumerated above, the present invention enables a color filter to be manufactured while having a secondary effect thereof through a laser beam having various forms.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허 청구의 범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하는 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. In addition, it is natural that it belongs to the scope of the present invention.

상기한 본 발명의 구성과 작용 설명을 통해 알 수 있듯이, 본 발명에 의한 칼라 필터 제조방법은, 열전사법에 의해 칼라 필터를 제조시, 열전사를 이루도록 하는 레이저 빔을 디더링하면서 스캔닝하는 결과에 따라, 패턴의 가장자리부에 대한 이미지 형성을 양호하게 이루고 또한, 여기에 패턴 표면의 거칠기를 양호한 상태로 유지하여 양질의 칼라 필터를 제조할 수 있게 되는 효과를 갖게 된다.As can be seen from the above description of the configuration and operation of the present invention, the method of manufacturing a color filter according to the present invention, when manufacturing a color filter by the thermal transfer method, the result of scanning while dithering the laser beam to achieve thermal transfer Accordingly, the image formation of the edge portion of the pattern can be satisfactorily achieved, and the roughness of the pattern surface can be maintained in a good state, thereby producing a color filter of good quality.

Claims (17)

기판 위에 칼라 필터를 위한 칼라 물질을 함유하는 주게 필름(donor film)을 배치하고, 이 주게 필름에 광원을 조사하여 상기 기판 상에 소정의 패턴을 갖는 칼라 필터가 형성되도록 하는 칼라 필터의 제조방법에 있어서,A method of manufacturing a color filter in which a donor film containing a color material for a color filter is disposed on a substrate, and a color filter having a predetermined pattern is formed on the substrate by irradiating a light source to the donor film. In 상원 광원인 레이저 빔을 상기 패턴에 대한 일 방향(X)을 따라서 스캐닝함과 동시에 상기 방향(X)에 대해 직교하는 방향으로 상기 레이저 빔을 상, 하로 진동시켜 디더링하여 상기 주게 필름을 열전사시키는 단계를 포하하는 칼라 필터의 제조방법.The laser beam, which is a source light source, is scanned along one direction (X) with respect to the pattern, and at the same time, the laser beam is vibrated up and down in a direction orthogonal to the direction (X) to dither to thermally transfer the donor film. Method for producing a color filter containing the step. 제 1 항에 있어서, 상기 디더링의 속도가 상기 스캔닝 속도보다 빠른 것을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 1, wherein the dithering speed is faster than the scanning speed. 제 2 항에 있어서, 상기 디더링은 50㎑∼500㎑ 의 주파수를 갖고 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 2, wherein the dithering is performed at a frequency of 50 Hz to 500 Hz. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저 빔은 단일 레이저에 의해 발생되는 단일 빔으로 이루어짐 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 1, wherein the laser beam comprises a single beam generated by a single laser. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저 빔은 단일 레이저에 의해 발생되는 복수의 빔으로 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 1, wherein the laser beam comprises a plurality of beams generated by a single laser. 제 5 항에 있어서, 상기 복수의 레이저 빔은, 인접하는 패턴에 대응하여 디더링되면서 스캔닝됨을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 5, wherein the plurality of laser beams are scanned while dithering corresponding to an adjacent pattern. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저 빔은 적어도 두 개 이상의 복수 레이저에 의해 발생되는 단일 빔으로 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 1, wherein the laser beam comprises a single beam generated by at least two or more lasers. 제 7 항에 있어서, 상기 복수의 레이저에서 발생되는 각각의 빔은 동기화되어 동일 궤적을 따라 디더링되면서 스캔닝됨을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.8. The method of claim 7, wherein each beam generated by the plurality of lasers is synchronized and scanned while dithering along the same trajectory. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저 빔은 적어도 두 개 이상의 복수 레이저에 의해 발생되는 복수의 빔으로 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 1, wherein the laser beam comprises a plurality of beams generated by at least two or more lasers. 제 9 항에 있어서, 상기 복수의 레이저에서 발생되는 각각의 빔은 상호 다른 위상을 가지고 엇갈리게 디더링되면서 스캔닝됨을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.10. The method of claim 9, wherein each of the beams generated by the plurality of lasers is scanned while dithering alternately with mutually different phases. 제 9 항에서 있어서, 상기 복수의 레이저에서 발생되는 각각의 빔은 인접하는 패턴에 대응하여 디더링되면서 스캔닝됨을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.10. The method of claim 9, wherein each beam generated by the plurality of lasers is scanned while dithering corresponding to an adjacent pattern. 제 1 항에 있어서, 상기 디더링은 사인파형으로 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 1, wherein the dithering is made of a sinusoidal waveform. 제 1 항에 있어서, 상기 디더링은 톱니파형으로 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 1, wherein the dithering is a sawtooth wave shape. 제 1 항에 있어서, 상기 디더링은 사다리꼴파형으로 이루어짐을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 1, wherein the dithering is a trapezoidal waveform. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저 빔은, 타원형의 형상으로 형성됨을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 1, wherein the laser beam is formed in an elliptical shape. 제 15 항에 있어서, 상기 레이저 빔은 스캔 방향을 장축으로 하는 타원형의 형상으로 형성됨을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 15, wherein the laser beam is formed in an elliptical shape having a long axis in the scanning direction. 제 16 항에 있어서, 상기 레이저 빔은 장축을 200㎛∼500㎛ 로 하고, 단축은 20㎛∼50㎛ 로 이루는 타원형의 형상으로 형성됨을 특징으로 하는 칼라 필터의 제조방법.The method of claim 16, wherein the laser beam is formed in an elliptical shape having a long axis of 200 µm to 500 µm and a short axis of 20 µm to 50 µm.
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