KR20070109127A - Mask for sequential lateral solidification and method for performing sequential lateral solidification using the same - Google Patents

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Abstract

A sequential lateral solidification mask and a sequential lateral solidification method using the same are provided to form a high-performance thin film transistor by increasing a width of a silicon grain even if shot-to-shot fluctuation occurs by moving speed of a stage. A first slit stream includes a plurality of first slits(210) which are arranged in a constant interval. A transmitting region includes a plurality of second slits(220) which are arranged in a constant interval in order to transmit laser beams to be irradiated. A semi-transmitting region includes a first opening pattern part and a second opening pattern part in order to transmit partially the laser beams. The first opening pattern part includes a plurality of first openings(230) which are arranged in a region between the first slits. The second opening pattern part includes a plurality of second openings(240) which are arranged in a region between the second slits.

Description

순차적 측면 고상화용 마스크 및 이를 이용한 순차적 측면 고상화 방법 {Mask for sequential lateral solidification and method for performing sequential lateral solidification using the same}Mask for sequential lateral solidification and method for performing sequential lateral solidification using the same

도 1a는 종래 기술에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 개략 평면도이며, 도 1b는 도 1a에 도시된 마스크를 투과한 레이저 빔의 강도 분포 상태도이며, 도 1c는 도 1a에 도시된 마스크를 이용하여 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 결정 성장 형태를 나타낸 도이다.FIG. 1A is a schematic plan view of a mask for sequential side solidification according to the prior art, FIG. 1B is an intensity distribution state diagram of a laser beam transmitted through the mask shown in FIG. 1A, and FIG. 1C is crystallized using the mask shown in FIG. 1A. Figure shows the crystal growth form of the polysilicon grains.

도 2a는 순차적 측면 고상화 장치의 스테이지 이동에 따른 스캔 형태를 개략적으로 도시한 도이며, 도 2b는 종래 기술에 따른 라인 오버랩 불량이 발생된 폴리 실리콘 박막을 나타낸 사진이다.FIG. 2A is a diagram schematically illustrating a scan pattern according to a stage movement of a sequential side solidifying apparatus, and FIG. 2B is a photograph showing a polysilicon thin film having a line overlap failure according to the prior art.

도 3은 본 발명에 따른 순차적 측면 고상화 장치의 개략 구성도이다.3 is a schematic structural diagram of a sequential side solidification apparatus according to the present invention.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 개략적인 평면도이다.4 is a schematic plan view of a mask for sequential side solidification according to a first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 부분 확대 평면도이다.5 is a partially enlarged plan view of a sequential side-solidification mask according to a first embodiment of the present invention.

도 6a는 도 5에 도시된 순차적 측면 고상화용 마스크를 투과한 레이저 빔의 강도 분포 상태도이며, 도 6b는 도 5에 도시된 순차적 측면 고상화용 마스크를 이 용하여 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 결정 성장 형태를 나타낸 도이다.FIG. 6A is a diagram showing the intensity distribution of the laser beam transmitted through the sequential side solidification mask shown in FIG. 5, and FIG. 6B is a view showing a crystal growth form of polysilicon grains crystallized using the sequential side solidification mask shown in FIG. 5. The figure shown.

도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 확대 평면도이다.7 is an enlarged plan view of a mask for sequential side solidification according to a second embodiment of the present invention.

도 8a는 본 발명의 제3 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 확대 평면도이며, 도 8b는 본 발명의 제4 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 확대 평면도이다.FIG. 8A is an enlarged plan view of a sequential side solidification mask according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 8B is an enlarged plan view of a sequential side solidification mask according to a fourth embodiment of the present invention.

도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 제5 내지 제7 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 확대 평면도이다.9A to 9C are enlarged plan views of sequential side-solidification masks according to fifth to seventh embodiments of the present invention.

도 10a 내지 도 10c는 종래 기술 및 본 발명에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크를 이용하여 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 결정 성장 형태를 각각 나타낸 사진이다.10A to 10C are photographs showing crystal growth forms of polysilicon grains crystallized using a mask for sequential side-solidification according to the prior art and the present invention, respectively.

도 11은 본 발명에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크를 이용한 순차적 측면 고상화 방법을 개략적으로 나타낸 도이다.11 is a view schematically showing a sequential side solidification method using a sequential side solidification mask according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100; 마스크 210; 제1 슬릿100; Mask 210; First slit

220; 제2 슬릿 230; 제1 개구220; Second slit 230; First opening

240; 제2 개구240; Second opening

본 발명은 순차적 측면 고상화용 마스크 및 이를 이용한 순차적 측면 고상화 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 결정 결함을 제거하고, 보다 큰 결정 성장을 유도하기 위한 순차적 측면 고상화용 마스크 및 이를 이용한 순차적 측면 고상화 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a sequential lateral solidification mask and a sequential lateral solidification method using the same. More particularly, the sequential lateral solidification mask for removing crystal defects and inducing larger crystal growth and sequential lateral solidification using the same. It is about a method.

비정질 실리콘을 폴리 실리콘으로 변화시키는 결정화 기술에 있어 순차적 측면 고상화(SLS;Sequential Lateral Solidification)기술은 다른 결정화 기술과 비교하여 실리콘 결정립의 크기를 증대시킬 수 있어 고성능 박막 트랜지스터를 만드는데, 필수적인 결정화 기술이다. 이러한 순차적 측면 고상화 기술은 슬릿이 형성된 마스크로 레이지 빔을 투과시켜 비정질 실리콘을 결정화시키는 방식이다. 즉, 마스크의 슬릿을 통해 비정질 실리콘에 레이저 빔을 조사하면, 레이저 빔이 조사된 비정질 실리콘은 완전히 용융된 후, 응고함으로써 결정이 성장되는데, 이때 레이저 빔이 조사된 양 가장자리에서부터 중심방향으로 결정립이 측면으로 성장되어 결정립들이 만나는 부분 즉, 중심부에서 성장이 멈추는 방식이다.In crystallization technology that changes amorphous silicon into polysilicon, sequential lateral solidification (SLS) technology is an essential crystallization technology for making high performance thin film transistors by increasing the size of silicon grains compared to other crystallization techniques. . This sequential lateral solidification technique is a method of crystallizing amorphous silicon by transmitting a laser beam through a mask in which a slit is formed. That is, when the laser beam is irradiated to the amorphous silicon through the slit of the mask, the amorphous silicon irradiated with the laser beam is completely melted, and then the crystal is grown by solidification. It grows laterally and meets where the grains meet, that is, how it stops growing in the center.

도 1a에는 종래 기술에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 개략 평면도가 도시되고, 상기 마스크(5)는 다수의 제1 슬릿들(1)이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열(3)과 다수의 제2 슬릿들(2)이 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제1 슬릿열과 상호 어긋나게 인접 배치된 제2 슬릿열(4)로 구성된다. 도 1b에는 도 1a에 도시된 마스크를 투과한 레이저 빔의 강도 분포 상태가 도시된다. 상기 제1 및 제2 슬릿들(1, 2)의 영역은 레이저 빔이 전부가 투과되는 투과 영역이며, 나머지 영역은 레이저 빔이 투과되지 않는 비투과 영역이다. 도 1c에는 도 1a에 도시된 마스크를 이용하여 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 결정 성장 형태가 도시된다. FIG. 1A shows a schematic plan view of a mask for sequential lateral solidification according to the prior art, wherein the mask 5 includes a plurality of first slits 1 and a plurality of first slits 1 arranged at a predetermined interval apart from each other. The second slits 2 are arranged to be spaced apart from each other by a predetermined interval, and the second slits 2 are arranged to be adjacent to the first slits rows. FIG. 1B shows the intensity distribution of the laser beam transmitted through the mask shown in FIG. 1A. The areas of the first and second slits 1 and 2 are transmissive areas through which the laser beam is entirely transmitted, and the remaining areas are non-transmissive areas through which the laser beam is not transmitted. 1C shows the crystal growth form of polysilicon grains crystallized using the mask shown in FIG. 1A.

도 2a는 순차적 측면 고상화 장치의 스테이지 이동에 따른 스캔 형태를 개략적으로 도시한 도이며, 도 2b는 종래 기술에 따른 라인 오버랩 불량이 발생된 폴리 실리콘 박막을 나타낸 사진이다. FIG. 2A is a diagram schematically illustrating a scan pattern according to a stage movement of a sequential side solidifying apparatus, and FIG. 2B is a photograph showing a polysilicon thin film having a line overlap failure according to the prior art.

상기 도 2a를 참조하면, 기판이 안착된 스테이지는 이동 스피드에 따라 스캔 방향으로 샷 투 샷(Shot to Shot) 어긋남이 발생하게 되는데, 이는 스테이지가 직진 운동을 할 때, 스테이지의 고유 특성인 롤링(Rolling)현상, 피치(Pitch)현상, 요잉(yawing) 현상, 광학적 이상 현상 등이 복합적으로 발생하기 때문이다. 이와 같이 샷 투 샷 어긋남이 발생하면, 레이저 빔이 투과하여 결정 성장하는 부분인 라인과 라인 간의 오버랩 크기에 변화가 발생할 수 있고, 상기 도 1c에 도시된 바와 같이 라인간의 이격 간격이 큰 경우에는 상기 도 2b에 도시된 바와 같이 라인 오버랩 불량이 발생할 수 있다. 그 결과, 오버랩 불량 영역의 특성 저하로 화상 평가시 픽셀 불량을 유발하여, 화상 불량을 발생시키게 된다.Referring to FIG. 2A, the stage on which the substrate is seated causes shot to shot misalignment in the scan direction according to the moving speed. Rolling phenomenon, pitch phenomenon, yawing phenomenon, optical abnormality, etc. are a combination of the occurrence. As described above, when a shot-to-shot misalignment occurs, a change may occur in the overlap size between the line and the line, which is a portion where the laser beam penetrates and grows, and when the distance between the lines is large as shown in FIG. As shown in FIG. 2B, a line overlap failure may occur. As a result, pixel defects are caused during image evaluation due to deterioration of the characteristics of the overlapping defective regions, thereby causing image defects.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 라인과 라인의 오버랩을 향상시켜 스테이지 진동 등에 의한 오버랩 감소 부분을 보완하여 공정 마진을 확대하고, 보다 큰 결정 성장을 유도하기 위한 순차적 측면 고상화용 마스크 및 이를 이용한 순차적 측면 고상화 방법 을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to overcome the above-mentioned conventional problems, the technical problem to be achieved by the present invention is to improve the overlap of the line and the line to compensate for the overlap reduction by the stage vibration, etc. to enlarge the process margin, larger crystal growth To provide a mask for sequential side solidification and a sequential side solidification method using the same.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 다수의 제1 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열과, 다수의 제2 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제1 슬릿열과 상호 어긋나게 인접 배치된 제2 슬릿열로 구성되어, 조사되는 레이저 빔의 전부를 투과시키는 투과 영역 및; 상기 다수의 제1 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 제1 개구를 포함하는 제1 개구 패턴부와, 상기 다수의 제2 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 제2 개구를 포함하는 제2 개구 패턴부로 구성되어, 상기 레이저 빔의 일부를 투과시키는 반투과 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the object of the present invention, a plurality of first slits are arranged spaced apart a predetermined interval, and a plurality of second slits are arranged spaced at a predetermined interval, the first A transmission region composed of second slit rows disposed adjacent to the slit rows so as to alternate with each other, and transmitting all of the irradiated laser beams; A first opening pattern portion disposed in an area between the plurality of first slits, the first opening pattern portion including a plurality of first openings formed in a predetermined shape, and disposed in an area between the plurality of second slits, A mask for sequential side solidification comprising a semi-transmissive region composed of a second opening pattern portion including a plurality of second openings formed therein and transmitting a portion of the laser beam is provided.

상기 각 제1 슬릿 및 상기 각 제2 슬릿은 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되며, 상기 각 제1 개구 및 상기 각 제2 개구는 상기 각 제1 슬릿 및 상기 각 제2 슬릿에 상응하게 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되는 것을 특징으로 한다.Each of the first slits and each of the second slits may be inclined at a predetermined angle with respect to a scan direction, and each of the first openings and each of the second openings may correspond to the first and second slits. It is characterized by being inclined at a predetermined angle with respect to the scanning direction.

상기 반투과 영역은 상기 레이저 빔의 30% 내지 95% 만을 투과시키는 것을 특징으로 한다.The transflective region is characterized in that only 30% to 95% of the laser beam transmits.

상기 제1 개구 패턴부는 라인 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구를 포함하며, 상기 각 제2 개구 패턴부는 라인 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구를 포함하는 것을 특징으로 한다.The first opening pattern portion may include a plurality of first openings formed in a line slit form, and each second opening pattern portion may include a plurality of second openings in a line slit form.

상기 제1 슬릿들 사이의 각 영역에는 적어도 하나 이상의 제1 개구가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제2 슬릿들 사이의 각 영역에는 적어도 하나 이상의 제2 개구가 소정 간격 이격되어 배치되는 것을 특징으로 한다.At least one first opening is spaced apart from each other between the first slits by a predetermined interval, and at least one second opening is spaced apart from each other between the second slits by a predetermined interval. do.

상기 제1 슬릿열의 상단 및 하단 영역에는 적어도 하나 이상의 제1 개구가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제2 슬릿열의 상단 및 하단에는 적어도 하나 이상의 제2 개구가 소정 간격 이격되어 배치되는 것을 특징으로 한다.At least one or more first openings are disposed in the upper and lower regions of the first slit row at predetermined intervals, and at least one or more second openings are disposed in the upper and lower portions of the second slit row at predetermined intervals. .

상기 제1 개구 패턴부는 상기 각 제1 슬릿의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구를 포함하며, 상기 각 제2 개구 패턴부는 상기 제2 슬릿의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구를 포함하는 것을 특징으로 한다.The first opening pattern portion includes a plurality of first openings formed in a square slit shape corresponding to the circumferential shape of each first slit, and each second opening pattern portion includes a square slit corresponding to the circumferential shape of the second slit. It characterized in that it comprises a plurality of second openings formed in the form.

상기 각 제1 슬릿의 둘레에는 적어도 하나 이상의 제1 개구가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 각 제2 슬릿의 둘레에는 적어도 하나 이상의 제2 개구가 소정 간격 이격되어 배치되는 것을 특징으로 한다.At least one first opening is spaced apart from each other by a predetermined interval around the first slit, and at least one second opening is spaced apart from each other by a predetermined interval.

상기 제1 개구 패턴부는 상기 제1 슬릿열의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 제1 개구를 더 포함하며, 상기 제2 개구 패턴부는 상기 제2 슬릿열 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 제2 개구를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The first opening pattern portion further includes a first opening formed in a square slit shape corresponding to the circumferential shape of the first slit row, and the second opening pattern portion is formed in a square slit shape corresponding to the circumferential shape of the second slit row. It further comprises a second opening.

상기 제1 개구 패턴부는 도트 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구를 포함하며, 상기 각 제2 개구 패턴부는 도트 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구를 포함하는 것을 특징으로 한다.The first opening pattern portion may include a plurality of first openings formed in a dot slit form, and each second opening pattern portion may include a plurality of second openings in a dot slit form.

상기 제1 슬릿들 사이의 각 영역에는 다수의 제1 개구가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제2 슬릿들 사이의 각 영역에는 다수의 제2 개구가 소정 간격 이격되어 배치되는 것을 특징으로 한다.A plurality of first openings are disposed at predetermined intervals in each region between the first slits, and a plurality of second openings are disposed at predetermined intervals in each region between the second slits.

상기 각 제1 개구의 폭은 상기 제1 슬릿들 간의 이격거리 보다 작게 형성되며, 상기 각 제2 개구의 폭은 상기 제2 슬릿들 간의 이격거리 보다 작게 형성되는 것을 특징으로 한다.The width of each of the first openings may be smaller than the separation distance between the first slits, and the width of each of the second openings may be smaller than the separation distance between the second slits.

상기 각 제1 개구의 폭은 상기 제1 슬릿들 간의 이격거리와 동일하게 형성되며, 상기 각 제2 개구의 폭은 상기 제2 슬릿들 간의 이격거리와 동일하게 형성되는 것을 특징으로 한다.The width of each of the first openings is formed to be equal to the separation distance between the first slits, and the width of each of the second openings is formed to be equal to the separation distance between the second slits.

상기 다수의 제1 개구는 원형 또는 다각형 도트 슬릿 형태로 형성되며, 상기 다수의 제2 개구는 원형 또는 다각형 도트 슬릿 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.The plurality of first openings may be formed in a circular or polygonal dot slit form, and the plurality of second openings may be formed in a circular or polygonal dot slit form.

상기 제1 슬릿들의 폭은 상기 제1 슬릿들 간의 이격거리 보다 크게 형성되며, 상기 제2 슬릿들의 폭은 상기 제2 슬릿들 간의 이격거리 보다 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.The width of the first slits is formed larger than the separation distance between the first slits, characterized in that the width of the second slits is formed larger than the separation distance between the second slits.

한편, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 다수의 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치된 슬릿열로 구성되어, 조사되는 레이저 빔의 전부를 투과시키는 투과 영역 및; 상기 다수의 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 개구를 포함하는 개구 패턴부로 구성되어, 상기 레이저 빔의 일부를 투과시키는 반투과 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크가 제공된다.On the other hand, according to another aspect of the invention, a plurality of slits are composed of a slit row arranged at a predetermined interval, the transmission region for transmitting all of the laser beam to be irradiated; It is disposed in the area between the plurality of slits, and consists of an opening pattern portion including a plurality of openings formed in a predetermined shape, for sequential side solidification, characterized in that it comprises a semi-transmissive area for transmitting a portion of the laser beam A mask is provided.

상기 각 슬릿은 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되며, 상기 각 개구는 상기 각 슬릿에 상응하게 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되는 것을 특징으로 한다.Each of the slits is disposed to be inclined at a predetermined angle with respect to the scanning direction, and each of the openings is disposed to be inclined at a predetermined angle with respect to the scanning direction corresponding to each of the slits.

상기 반투과 영역은 상기 레이저 빔의 30% 내지 95% 만을 투과시키는 것을 특징으로 한다. The transflective region is characterized in that only 30% to 95% of the laser beam transmits.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 다수의 제1 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열과, 다수의 제2 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제1 슬릿열과 상호 어긋나게 인접 배치된 제2 슬릿열로 구성되어, 조사되는 레이저 빔의 전부를 투과시키는 투과 영역 및; 상기 다수의 제1 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 제1 개구를 포함하는 제1 개구 패턴부와, 상기 다수의 제2 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 제2 개구를 포함하는 제2 개구 패턴부로 구성되어, 상기 레이저 빔의 일부를 투과시키는 반투과 영역을 포함하는 순차적 측면 고상화용 마스크를 준비하는 단계; 상기 순차적 고상화용 마스크를 비정질 실리콘 박막이 형성된 기판 상에 정렬시키는 단계; 레이저 빔을 상기 순차적 고상화용 마스크를 통해 상기 기판 상에 조사하는 단계 및 상기 기판을 소정 방향으로 이동시킨 후, 상기 레이저 빔을 상기 순차적 고상화용 마스크를 통해 상기 기판 상에 조사하는 단계를 포함하는 순차적 측면 고상화 방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, a plurality of first slits are arranged with a plurality of first slits spaced apart a predetermined interval, a plurality of second slits are arranged spaced at a predetermined interval, the first slits arranged adjacent to each other alternately A transmission region composed of two slit rows and transmitting all of the irradiated laser beams; A first opening pattern portion disposed in an area between the plurality of first slits, the first opening pattern portion including a plurality of first openings formed in a predetermined shape, and disposed in an area between the plurality of second slits, Preparing a mask for sequential side-solidification comprising a second opening pattern portion including a plurality of second openings formed therein, the semi-transmissive region transmitting a portion of the laser beam; Aligning the sequential solidification mask on a substrate on which an amorphous silicon thin film is formed; Irradiating a laser beam onto the substrate through the sequential solidification mask; and moving the substrate in a predetermined direction, and then irradiating the laser beam onto the substrate through the sequential solidification mask. Lateral solidification methods are provided.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 다수의 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치된 슬릿열로 구성되어, 조사되는 레이저 빔의 전부를 투과시키는 투과 영역 및 상기 다수의 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 개구를 포함하는 개구 패턴부로 구성되어, 상기 레이저 빔의 일부를 투과시키는 반투과 영역을 포함하는 순차적 측면 고상화용 마스크를 준비하는 단계; 상기 순차적 고상화용 마스크를 비정질 실리콘 박막이 형성된 기판 상에 정렬시키는 단계; 레이저 빔을 상기 순차적 고상화용 마스크를 통해 상기 기판 상에 조사하는 단계 및 상기 기판을 소정 방향으로 이동시킨 후, 상기 레이저 빔을 상기 순차적 고상화용 마스크를 통해 상기 기판 상에 조사하는 단계를 포함하는 순차적 측면 고상화 방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, a plurality of slits are composed of slit rows arranged at predetermined intervals, and are disposed in a transmission region for transmitting all of the laser beams to be irradiated and an area between the plurality of slits, and in a predetermined form. Preparing a mask for sequential lateral solidification comprising an opening pattern portion including a plurality of openings formed by the opening, the semi-transmissive region transmitting a portion of the laser beam; Aligning the sequential solidification mask on a substrate on which an amorphous silicon thin film is formed; Irradiating a laser beam onto the substrate through the sequential solidification mask; and moving the substrate in a predetermined direction, and then irradiating the laser beam onto the substrate through the sequential solidification mask. Lateral solidification methods are provided.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 순차적 측면 고상화 장치의 개략 구성도이다.3 is a schematic structural diagram of a sequential side solidification apparatus according to the present invention.

상기 도 3을 참조하면, 순차적 측면 고상화 장치는 레이저 발진부(10), 레이저 특성 변동 광학부(20), 광원 균일 광학부(30), 제1 반사 미러(40), 제2 반사 미러(50), 제3 반사 미러(60), 프로젝션 렌즈(70), 스테이지(80) 및 투과 영역과 반투과 영역을 포함하는 마스크(100)를 포함한다.Referring to FIG. 3, the sequential side solidification apparatus includes a laser oscillator 10, a laser characteristic variable optical unit 20, a light source uniform optical unit 30, a first reflection mirror 40, and a second reflection mirror 50. ), A third reflective mirror 60, a projection lens 70, a stage 80, and a mask 100 including a transmissive region and a transflective region.

상기 레이저 발진부(10)에서는 약 300Hz의 펄스 레이저를 발진시키며, 상기 레이저 특성 변동 광학부(20)에서는 상기 레이저 발진부에서 발진된 펄스를 소정 시간 유지시키며, 상기 광원 균일 광학부(30)에서는 레이저의 균일도를 일정하게 유지시킨다. 상기 광원 균일 광학부(30)에서 출력된 레이저는 상기 제1 반사 미 러(40)에 의해 반사되어, 상기 마스크(100)의 투과 영역을 통과하고, 상기 제2 반사 미러(50) 및 제3 반사 미러(60)에 의해 반사되어, 상기 프로젝션 렌즈(70)로 입사된다. 상기 프로젝션 렌즈(70)로 입사된 레이저는 소정 비율, 본 발명의 실시예들에서는 1/5로 기판(90) 상에 축소 투영되어, 비정질 실리콘을 국부적으로 완전 용융시킨다. 용융된 부분은 냉각되며 결정화되는데 주위의 비용융 영역에서부터 성장이 시작되어 성장하는 결정립들이 중앙에서 만나면 성장이 멈춘다. The laser oscillator 10 oscillates a pulse laser of about 300 Hz, and the laser characteristic variable optical unit 20 maintains the pulse oscillated by the laser oscillator for a predetermined time, and the light source uniform optical unit 30 Keep uniformity constant. The laser output from the light source uniform optical part 30 is reflected by the first reflection mirror 40, passes through the transmission region of the mask 100, and the second reflection mirror 50 and the third light source. Reflected by the reflection mirror 60, it is incident to the projection lens 70. The laser incident on the projection lens 70 is projected on the substrate 90 at a predetermined rate, 1/5 in embodiments of the present invention, to locally completely melt the amorphous silicon. The molten part is cooled and crystallized, and growth starts from the surrounding non-melting region and stops when the growing grains meet in the center.

이때, 상기 마스크(100)에는 레이저 빔의 전부를 투과시키는 투과 영역과 레이저 빔의 일부, 바람직하게는 상기 레이저 빔의 30% 내지 95% 만을 투과시키는 반투과 영역을 형성시킴으로써, 투과 영역과 비투과 영역 만이 존재하는 종래의 마스크를 이용하여 결정화된 폴리 실리콘과 비교하여, 더 크게 결정 성장을 유도할 수 있다. 상기 마스크의 형태 및 구조에 대해서는 이하에서 상세히 설명한다.In this case, the mask 100 has a transmissive region that transmits all of the laser beam and a semi-transmissive region which transmits only a portion of the laser beam, preferably 30% to 95% of the laser beam, thereby forming a transmissive region and a non-transmissive region. Compared to polysilicon crystallized using a conventional mask in which only there is, it is possible to induce greater crystal growth. The form and structure of the mask will be described in detail below.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 개략적인 평면도이며, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 부분 확대 평면도이다.4 is a schematic plan view of a sequential side solidification mask according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a partially enlarged plan view of a sequential side solidification mask according to a first embodiment of the present invention.

상기 도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 마스크(100)는 다수의 단위 마스크(200)를 포함하며, 상기 각 단위 마스크(200)는 다수의 제1 슬릿(210)이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열과, 다수의 제2 슬릿(220)이 소정 간격 이격되어 배치된 제2 슬릿열을 포함하며, 이때, 상기 제2 슬릿열은 상기 제1 슬릿열과 구성은 동일하며, 상호 어긋나게 인접하여 배치된다.4 and 5, the mask 100 includes a plurality of unit masks 200, and each of the unit masks 200 includes a plurality of first slits 210 spaced at predetermined intervals. A first slit row and a second slit row including a plurality of second slits 220 spaced apart from each other by a predetermined interval, wherein the second slit row has the same configuration as the first slit row and is alternately adjacent to each other. Is placed.

또한, 상기 다수의 제1 슬릿(210) 사이의 영역에는 라인 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구(230)를 포함하는 제1 개구 패턴부가 배치되며, 상기 다수의 제2 슬릿(220) 사이의 영역에는 라인 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구(240)를 포함하는 제2 개구 패턴부가 배치된다. 이때, 상기 제1 슬릿들(210)의 폭은 상기 제1 슬릿들 간의 이격거리 보다 크게 형성되며, 상기 제2 슬릿들(210)의 폭은 상기 제2 슬릿들 간의 이격거리 보다 크게 형성될 수 있다.In addition, a first opening pattern portion including a plurality of first openings 230 formed in a line slit shape is disposed in an area between the plurality of first slits 210, and between the plurality of second slits 220. In the region, a second opening pattern portion including a plurality of second openings 240 formed in a line slit shape is disposed. In this case, the width of the first slits 210 may be greater than the separation distance between the first slits, and the width of the second slits 210 may be greater than the separation distance between the second slits. have.

상기 다수의 제1 슬릿(210) 및 제2 슬릿(220)로 구성된 상기 제1 슬릿열 및 제2 슬릿열은 조사되는 레이저 빔의 전부를 투과시키는 투과 영역을 형성하며, 상기 다수의 제1 개구(230) 및 제2 개구(240)로 구성된 제1 개구 패턴부 및 제2 개구 패턴부는 조사되는 레이저 빔의 일부를 투과시키는 반투과 영역을 형성한다. 이때, 상기 반투과 영역은 상기 레이저 빔의 30% 내지 95% 만을 투과시키는 것이 바람직하다. 상기 제1 개구 패턴부 및 제2 개구 패턴부가 반투과 영역을 형성하는 이유는 상기 다수의 제1 개구(230) 및 제2 개구(240)의 폭을 상기 제1 슬릿(210) 및 제2 슬릿(220)의 폭에 비하여 매우 작게 형성하여, 레이저 빔의 투과량을 조절하기 때문이다.The first and second slit rows formed of the plurality of first slits 210 and the second slits 220 form a transmission region that transmits all of the laser beams to be irradiated, and the plurality of first openings. The first opening pattern portion and the second opening pattern portion composed of the 230 and the second opening 240 form a transflective region through which a portion of the laser beam to be irradiated is transmitted. In this case, the semi-transmissive region preferably transmits only 30% to 95% of the laser beam. The reason why the first opening pattern portion and the second opening pattern portion form the transflective area is that the widths of the first openings 230 and the second openings 240 are defined by the first slit 210 and the second slit. It is because it forms very small compared with the width of 220, and controls the transmission amount of a laser beam.

상기 제1 슬릿들(210) 사이의 각 영역에는 적어도 하나 이상의 제1 개구(230)가 소정 간격 이격되어 배치될 수 있으며, 상기 제2 슬릿들(220) 사이의 각 영역에는 적어도 하나 이상의 제2 개구(240)가 소정 간격 이격되어 배치될 수 있다. 본 실시예에서는 슬릿들 사이의 각 영역에는 2개의 개구가 배치된 것을 예로서 설명하고 있다. At least one first opening 230 may be spaced apart from each other between the first slits 210 by a predetermined interval, and at least one second in each area between the second slits 220. The openings 240 may be spaced apart from each other by a predetermined interval. In this embodiment, two openings are arranged in each area between the slits as an example.

한편, 상기 제1 슬릿열의 외측에 배치된 제1 슬릿들의 외측 영역 즉, 제1 슬릿열의 상단 및 하단 영역에도 적어도 하나 이상의 제1 개구가 소정 간격 이격되어 배치될 수 있으며, 마찬가지로 상기 제2 슬릿열의 외측에 배치된 제2 슬릿들의 외측 영역 즉, 제2 슬릿열의 상단 및 하단 영역에도 적어도 하나 이상의 제2 개구가 소정 간격 이격되어 배치될 수 있다.On the other hand, at least one or more first openings may be disposed in the outer regions of the first slits, that is, the upper and lower regions of the first slit rows, spaced apart from each other by a predetermined interval, and likewise in the second slit rows. At least one or more second openings may be disposed in the outer region of the second slits, that is, the upper and lower regions of the second slit row, spaced apart from each other by a predetermined interval.

도 6a는 도 5에 도시된 순차적 측면 고상화용 마스크를 투과한 레이저 빔의 강도 분포 상태도이며, 도 6b는 도 5에 도시된 순차적 측면 고상화용 마스크를 이용하여 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 결정 성장 형태를 나타낸 도이다.FIG. 6A is an intensity distribution state diagram of a laser beam transmitted through the sequential side solidification mask shown in FIG. 5, and FIG. 6B is a crystal growth form of polysilicon grains crystallized using the sequential side solidification mask shown in FIG. 5. The figure shown.

상기 도 6a를 참조하면, 상기 다수의 제1 슬릿(210) 및 제2 슬릿(220)로 구성된 상기 제1 슬릿열 및 제2 슬릿열에 상응하는 영역은 투과 영역으로서 조사되는 레이저 빔의 전부가 투과되어 기판 상에 투영되므로, 비정질 실리콘을 완전 용융시키며, 용융된 부분은 응고되면서 결정화된다. 상기 다수의 제1 개구(230) 및 제2 개구(240)로 구성된 제1 개구 패턴부 및 제2 개구 패턴부에 상응하는 영역은 반투과 영역으로서 조사되는 레이저 빔의 일부만이 투과되어 기판 상에 투영되므로, 비정질 실리콘을 부분 용융시키거나 또는 가열시켜서, 상기 투과 영역에서 일어나는 결정화를 도와주게 되어, 더 큰 결정 성장을 유도할 수 있게 된다.Referring to FIG. 6A, a region corresponding to the first and second slit rows composed of the plurality of first slits 210 and the second slits 220 transmits all of the laser beam irradiated as a transmission area. And is projected onto the substrate, thereby completely melting the amorphous silicon, and the molten portion is crystallized while solidifying. The area corresponding to the first opening pattern portion and the second opening pattern portion, which are composed of the plurality of first openings 230 and the second openings 240, is partially transmitted through the laser beam irradiated as a semi-transmissive region, and thus is disposed on the substrate. As it is projected, it is possible to partially melt or heat the amorphous silicon to aid in the crystallization that occurs in the transmissive region, leading to greater crystal growth.

상기 도 6b에는 도 5에 도시된 순차적 측면 고상화용 마스크를 이용하여 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 결정 성장 형태가 도시되는데, 상기 각 제1 슬릿(210) 및 상기 각 제2 슬릿(220)의 폭 보다 더 크게 결정 성장되었음을 알 수 있 다. 즉, 결정 성장이 투과 영역 내에서만 진행된 것이 아니라, 투과 영역의 주변부인 반투과 영역에서도 진행되었음을 알 수 있다.FIG. 6B illustrates a crystal growth form of polysilicon grains crystallized using the sequential side solidification mask shown in FIG. 5, which is larger than the width of each of the first slits 210 and the second slits 220. Larger crystal growth can be seen. That is, it can be seen that the crystal growth proceeded not only in the transmissive region but also in the transflective region, which is the periphery of the transmissive region.

도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 확대 평면도이며, 상기 제2 실시예에 따른 마스크는 상기 제1 실시예에 따른 마스크와 비교하여, 제1 개구 패턴부를 구성하는 제1 개구와 제2 개구 패턴부를 구성하는 제2 개구의 형태가 상이하며, 나머지 구성은 유사하므로, 이하에서는 상이한 구성을 위주로 상술한다. 7 is an enlarged plan view of a mask for sequential side-solidification according to a second embodiment of the present invention, wherein the mask according to the second embodiment constitutes the first opening pattern portion in comparison with the mask according to the first embodiment. Since the shape of the 2nd opening which comprises a 1st opening and a 2nd opening pattern part is different, and the remaining structure is similar, it demonstrates mainly below a different structure.

상기 도 7을 참조하면, 상기 각 단위 마스크(200)는 다수의 제1 슬릿(210)이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열과, 다수의 제2 슬릿(220)이 소정 간격 이격되어 배치된 제2 슬릿열을 포함하며, 이때, 상기 제2 슬릿열은 상기 제1 슬릿열과 구성은 동일하며, 상호 어긋나게 인접하여 배치된다.Referring to FIG. 7, each of the unit masks 200 may include a first slit row in which a plurality of first slits 210 are spaced at a predetermined interval, and a plurality of second slits 220 are spaced at a predetermined interval. And a second slit row, wherein the second slit row has the same configuration as the first slit row and is disposed adjacent to each other.

또한, 상기 다수의 제1 슬릿(210) 사이의 영역에는 상기 각 제1 슬릿(210)의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구(230a) 및 상기 제1 슬릿열의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 제1 개구(230b)를 포함하는 제1 개구 패턴부가 배치된다. 즉, 상기 각 제1 개구(230a)는 각 제1 슬릿(210)과 소정 간격 이격된 채, 상기 각 제1 슬릿(210)의 둘레를 따라 형성되며, 상기 제1 개구(230b)는 상기 다수의 제1 개구(230a)를 포함하도록 그 외측 둘레를 따라 형성된다. 본 실시예에서는 각 제1 슬릿(210) 둘레에 한 개의 제1 개구(230a)가 형성되고, 제1 슬릿열 둘레에 한 개의 제1 개구(230b)가 형성되나, 상기 제1 개 구(230a, 230b)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, in the area between the plurality of first slits 210, a plurality of first openings 230a formed in a square slit shape corresponding to the circumferential shape of each first slit 210 and a circumferential shape of the first slit row The first opening pattern portion including the first opening 230b formed in the shape of a square slit corresponding thereto is disposed. That is, each of the first openings 230a is formed along the circumference of each of the first slits 210 while being spaced apart from each of the first slits 210 by a predetermined interval, and the first openings 230b are formed in the plurality of first openings 230b. It is formed along its outer circumference to include the first opening 230a of the. In this embodiment, one first opening 230a is formed around each first slit 210 and one first opening 230b is formed around the first slit row, but the first opening 230a is formed. , 230b) is not limited thereto.

또한, 상기 다수의 제2 슬릿(220) 사이의 영역에는 상기 제2 슬릿(220)의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구(240a) 및 상기 제2 슬릿열 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 제2 개구(240b)를 포함하는 제2 개구 패턴부가 배치된다. 즉, 상기 각 제2 개구(240a)는 각 제2 슬릿(220)과 소정 간격 이격된 채, 상기 각 제2 슬릿(220)의 둘레를 따라 형성되며, 상기 제2 개구(240b)는 상기 다수의 제2 개구(240a)를 포함하도록 그 외측 둘레를 따라 형성된다. 본 실시예에서는 각 제2 슬릿(220) 둘레에 한 개의 제2 개구(240a)가 형성되고, 제2 슬릿열 둘레에 한 개의 제2 개구(240b)가 형성되나, 상기 제2 개구(240a, 240b)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, a region between the plurality of second slits 220 may include a plurality of second openings 240a formed in a square slit shape corresponding to the circumferential shape of the second slit 220 and a circumferential shape of the second slit row. The second opening pattern portion including the second opening 240b formed in the shape of a corresponding square slit is disposed. That is, each of the second openings 240a is formed along the circumference of each of the second slits 220 while being spaced apart from each of the second slits 220 by a predetermined distance, and the plurality of second openings 240b are formed in the plurality of second openings 240b. It is formed along its outer circumference to include the second opening 240a. In the present exemplary embodiment, one second opening 240a is formed around each second slit 220, and one second opening 240b is formed around the second slit row, but the second opening 240a, The number of 240b) is not limited thereto.

이처럼 각 슬릿의 둘레를 감싸도록 형성된 개구 패턴부는 반투과 영역으로 작용하여, 레이저 빔의 일부를 통과시키므로 투과 영역에서 주로 발생되는 실리콘 결정 성장을 확대 및 촉진시킬 수 있다.As described above, the opening pattern portion formed to surround the slit may serve as a transflective region to pass a part of the laser beam, thereby expanding and promoting silicon crystal growth mainly generated in the transmission region.

도 8a는 본 발명의 제3 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 확대 평면도이며, 도 8b는 본 발명의 제4 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 확대 평면도이다.FIG. 8A is an enlarged plan view of a sequential side solidification mask according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 8B is an enlarged plan view of a sequential side solidification mask according to a fourth embodiment of the present invention.

상기 도 8a를 참조하면, 상기 각 단위 마스크(200)는 다수의 제1 슬릿(210)이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열과, 다수의 제2 슬릿(220)이 소정 간격 이격되어 배치된 제2 슬릿열을 포함하며, 이때, 상기 제2 슬릿열은 상기 제1 슬릿 열과 구성은 동일하며, 상호 어긋나게 인접하여 배치된다.Referring to FIG. 8A, each of the unit masks 200 may include a first slit row in which a plurality of first slits 210 are spaced at a predetermined interval, and a plurality of second slits 220 are spaced at a predetermined interval. And a second slit row, wherein the second slit row has the same configuration as the first slit row and is disposed adjacent to each other.

또한, 상기 다수의 제1 슬릿(210) 사이의 영역에는 도트 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구(230)를 포함하는 제1 개구 패턴부가 배치되며, 상기 다수의 제2 슬릿(220) 사이의 영역에는 도트 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구(240)를 포함하는 제2 개구 패턴부가 배치된다. 상기 제1 슬릿들(210) 사이의 각 영역에는 다수의 제1 개구(230)가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제2 슬릿들(220) 사이의 각 영역에는 다수의 제2 개구(240)가 소정 간격 이격되어 배치된다. In addition, a first opening pattern part including a plurality of first openings 230 formed in a dot slit shape is disposed in an area between the plurality of first slits 210, and between the plurality of second slits 220. A second opening pattern portion including a plurality of second openings 240 formed in a dot slit shape is disposed in the region. A plurality of first openings 230 are disposed at predetermined intervals in each area between the first slits 210, and a plurality of second openings 240 in each area between the second slits 220. Are spaced apart by a predetermined interval.

이때, 상기 각 제1 개구(230)의 폭은 상기 제1 슬릿들(210) 간의 이격거리 보다 작게 형성되며, 상기 각 제2 개구(240)의 폭은 상기 제2 슬릿들(220) 간의 이격거리 보다 작게 형성된다. 본 실시예에서는 상기 제1 슬릿들(210) 사이의 각 영역 및 상기 제2 슬릿들(220) 사이의 각 영역에 도트 형태의 제1 개구(230) 및 제2 개구(240)가 1열로 배치되고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 2열 이상으로 배치될 수도 있다.In this case, the width of each of the first openings 230 is smaller than the separation distance between the first slits 210, and the width of each of the second openings 240 is spaced between the second slits 220. It is formed smaller than the distance. In the present exemplary embodiment, dot-shaped first openings 230 and second openings 240 are arranged in one row in each area between the first slits 210 and each area between the second slits 220. However, the present invention is not limited thereto and may be arranged in two or more rows.

상기 도 8b에 도시된 제4 실시예에 따른 마스크는 상기 각 제1 개구(230)의 폭이 상기 제1 슬릿들(210) 간의 이격거리와 동일하게 형성되며, 상기 각 제2 개구(240)의 폭이 상기 제2 슬릿들(220) 간의 이격거리와 동일하게 형성된다는 점이 상기 제3 실시예에 따른 마스크와 상이하며, 나머지 구성은 유사하다.In the mask according to the fourth embodiment illustrated in FIG. 8B, the width of each of the first openings 230 is formed to be equal to the separation distance between the first slits 210, and the second openings 240 are formed. The width of is different from that of the mask according to the third embodiment in that the width is formed equal to the separation distance between the second slits 220, and the rest of the configuration is similar.

한편, 상기 제3 실시예 및 제4 실시예에 따른 마스크의 상기 다수의 제1 개구(230)는 원형 또는 다각형 도트 슬릿 형태등 다양한 형태의 도트로 형성될 수 있으며, 상기 다수의 제2 개구(240)는 원형 또는 다각형 도트 슬릿 형태 등 다양한 형태의 도트로 형성될 수 있다. 이때, 상기의 도트 슬릿 형태를 사각형 형상으로 제조하는 경우 사각형태의 결정립 성장을 유도할 수 있어, 순차적 측면 고상화시 발생하는 결정화 얼룩문제를 감소시킬 수 있다.Meanwhile, the plurality of first openings 230 of the mask according to the third and fourth embodiments may be formed of dots of various shapes such as circular or polygonal dot slit shapes, and the plurality of second openings ( 240 may be formed of various types of dots, such as circular or polygonal dot slit shapes. In this case, when the dot slit form is manufactured in a rectangular shape, it is possible to induce grain growth in a rectangular shape, thereby reducing the problem of crystallization unevenness occurring during sequential side solidification.

도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 제5 실시예 내지 제7 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크의 확대 평면도이다.9A to 9C are enlarged plan views of masks for sequential side-solidification according to fifth to seventh embodiments of the present invention.

상기 도 9a에 도시된 본 발명의 제5 실시예에 따른 마스크는 상기 제1 실시예에 따른 마스크와 비교하여, 다수의 제1 슬릿(210) 및 다수의 제2 슬릿(220)이 소정 각도 기울어져 배치된 점이 상이하며, 나머지 구성은 거의 유사한 바, 이하에서는 상이한 구성을 위주로 상술한다.In the mask according to the fifth embodiment of the present invention illustrated in FIG. 9A, a plurality of first slits 210 and a plurality of second slits 220 are inclined at a predetermined angle as compared with the mask according to the first embodiment. The different points are different from each other, and the rest of the configuration is almost similar.

상기 도 9a를 참조하면, 상기 각 단위 마스크(200)는 다수의 제1 슬릿(210)이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열과, 다수의 제2 슬릿(220)이 소정 간격 이격되어 배치된 제2 슬릿열을 포함하며, 이때, 상기 제2 슬릿열은 상기 제1 슬릿열과 구성은 동일하며, 상호 어긋나게 인접하여 배치된다. 상기 다수의 제1 슬릿(210) 사이의 영역에는 라인 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구(230)를 포함하는 제1 개구 패턴부가 배치되며, 상기 다수의 제2 슬릿(220) 사이의 영역에는 라인 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구(240)를 포함하는 제2 개구 패턴부가 배치된다. Referring to FIG. 9A, each of the unit masks 200 may include a first slit row in which a plurality of first slits 210 are spaced at a predetermined interval, and a plurality of second slits 220 are spaced at a predetermined interval. And a second slit row, wherein the second slit row has the same configuration as the first slit row and is disposed adjacent to each other. A first opening pattern part including a plurality of first openings 230 formed in a line slit shape is disposed in an area between the plurality of first slits 210, and in an area between the plurality of second slits 220. A second opening pattern portion including a plurality of second openings 240 formed in a line slit shape is disposed.

또한, 상기 각 제1 슬릿(210) 및 상기 각 제2 슬릿(220)은 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되며, 상기 각 제1 개구(230) 및 상기 각 제2 개 구(240)는 상기 각 제1 슬릿 및 상기 각 제2 슬릿에 상응하게 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치된다. In addition, each of the first slits 210 and each of the second slits 220 is inclined at a predetermined angle with respect to the scan direction, and the first openings 230 and the second openings 240, respectively. Is inclined at a predetermined angle with respect to the scan direction corresponding to each of the first slits and the second slits.

상기 도 9b에 도시된 본 발명의 제6 실시예에 따른 마스크는 상기 제2 실시예에 따른 마스크와 비교하여, 다수의 제1 슬릿(210) 및 다수의 제2 슬릿(220)이 소정 각도 기울어져 배치된 점이 상이하며, 나머지 구성은 거의 유사한 바, 이하에서는 상이한 구성을 위주로 상술한다.In the mask according to the sixth embodiment of the present invention illustrated in FIG. 9B, the plurality of first slits 210 and the plurality of second slits 220 are inclined at a predetermined angle as compared with the mask according to the second embodiment. The different points are different from each other, and the rest of the configuration is almost similar.

상기 도 9b를 참조하면, 상기 각 단위 마스크(200)는 다수의 제1 슬릿(210)이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열과, 다수의 제2 슬릿(220)이 소정 간격 이격되어 배치된 제2 슬릿열을 포함하며, 이때, 상기 제2 슬릿열은 상기 제1 슬릿열과 구성은 동일하며, 상호 어긋나게 인접하여 배치된다. 상기 다수의 제1 슬릿(210) 사이의 영역에는 상기 각 제1 슬릿(210)의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구(230a) 및 상기 제1 슬릿열의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 제1 개구(230b)를 포함하는 제1 개구 패턴부가 배치되며, 상기 다수의 제2 슬릿(220) 사이의 영역에는 상기 제2 슬릿(220)의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구(240a) 및 상기 제2 슬릿열 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 제2 개구(240b)를 포함하는 제2 개구 패턴부가 배치된다.Referring to FIG. 9B, each of the unit masks 200 may include a first slit row in which a plurality of first slits 210 are spaced at a predetermined interval, and a plurality of second slits 220 are spaced at a predetermined interval. And a second slit row, wherein the second slit row has the same configuration as the first slit row and is disposed adjacent to each other. The area between the plurality of first slits 210 corresponds to a plurality of first openings 230a formed in a square slit shape corresponding to the circumferential shape of each first slit 210 and a circumferential shape of the first slit row. A first opening pattern portion including a first opening 230b formed in the shape of a square slit is disposed, and a quadrangle corresponding to a circumference of the second slit 220 is formed in an area between the plurality of second slits 220. A second opening pattern portion including a plurality of second openings 240a formed in a slit shape and a second opening 240b formed in a square slit shape corresponding to the shape of the circumference of the second slit rows is disposed.

또한, 상기 각 제1 슬릿(210) 및 상기 각 제2 슬릿(220)은 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되며, 상기 각 제1 개구(230a, 230b) 및 상기 각 제2 개구(240a, 240b)는 상기 각 제1 슬릿 및 상기 각 제2 슬릿에 상응하게 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치된다. In addition, each of the first slits 210 and each of the second slits 220 is inclined at a predetermined angle with respect to the scan direction, and each of the first openings 230a and 230b and each of the second openings 240a. , 240b) is disposed at an angle with respect to the scan direction corresponding to each of the first slits and the second slits.

상기 도 9c에 도시된 본 발명의 제7 실시예에 따른 마스크는 상기 제3 실시예에 따른 마스크와 비교하여, 다수의 제1 슬릿(210) 및 다수의 제2 슬릿(220)이 소정 각도 기울어져 배치된 점이 상이하며, 나머지 구성은 거의 유사한 바, 이하에서는 상이한 구성을 위주로 상술한다.In the mask according to the seventh embodiment of the present invention illustrated in FIG. 9C, the plurality of first slits 210 and the plurality of second slits 220 are inclined at a predetermined angle as compared with the mask according to the third embodiment. The different points are different from each other, and the rest of the configuration is almost similar.

상기 도 9c를 참조하면, 상기 각 단위 마스크(200)는 다수의 제1 슬릿(210)이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열과, 다수의 제2 슬릿(220)이 소정 간격 이격되어 배치된 제2 슬릿열을 포함하며, 이때, 상기 제2 슬릿열은 상기 제1 슬릿열과 구성은 동일하며, 상호 어긋나게 인접하여 배치된다. 또한, 상기 다수의 제1 슬릿(210) 사이의 영역에는 도트 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구(230)를 포함하는 제1 개구 패턴부가 배치되며, 상기 다수의 제2 슬릿(220) 사이의 영역에는 도트 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구(240)를 포함하는 제2 개구 패턴부가 배치된다. Referring to FIG. 9C, each of the unit masks 200 may include a first slit row in which a plurality of first slits 210 are spaced at a predetermined interval, and a plurality of second slits 220 are spaced at a predetermined interval. And a second slit row, wherein the second slit row has the same configuration as the first slit row and is disposed adjacent to each other. In addition, a first opening pattern part including a plurality of first openings 230 formed in a dot slit shape is disposed in an area between the plurality of first slits 210, and between the plurality of second slits 220. A second opening pattern portion including a plurality of second openings 240 formed in a dot slit shape is disposed in the region.

또한, 상기 각 제1 슬릿(210) 및 상기 각 제2 슬릿(220)은 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되며, 상기 각 제1 개구(230) 및 상기 각 제2 개구(240)는 상기 각 제1 슬릿 및 상기 각 제2 슬릿에 상응하게 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치된다. In addition, each of the first slits 210 and the second slits 220 is inclined at a predetermined angle with respect to the scan direction, and each of the first openings 230 and the second openings 240 is The first slits and the respective second slits are inclined at a predetermined angle with respect to the scan direction.

이와 같이, 상기 제1 및 제2 슬릿열과, 상기 제1 및 제2 개구 패턴부를 경사 지게 배치함으로써, 결정립의 성장 방향으로 경사지게 변화시킬 수 있다.In this manner, the first and second slit rows and the first and second opening pattern portions are disposed to be inclined so that the first and second slit rows and the first and second slit rows are inclined in the growth direction of the crystal grains.

도 10a 내지 도 10c는 종래 기술 및 본 발명에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크를 이용하여 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 결정 성장 형태를 각각 나타낸 사진이다. 한편, 상기에서 살펴본 바와 같이, 본 실시예에서 사용된 순차적 측면 고상화 장치는 마스크에 형성된 패턴을 기판 상에 1/5 로 축소 투영시킨다.10A to 10C are photographs showing crystal growth forms of polysilicon grains crystallized using a mask for sequential side-solidification according to the prior art and the present invention, respectively. On the other hand, as described above, the sequential side-leveling apparatus used in this embodiment reduces and projects the pattern formed on the mask to 1/5 on the substrate.

상기 도 10a에는 종래 기술에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크를 이용하여 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 결정 성장 형태가 도시된다. 상기 종래 기술에 따른 마스크의 조건을 살펴보면, 슬릿 폭은 27.5㎛, 슬릿간의 이격 간격은 7.5㎛이며, 슬릿들 사이의 영역에 반투과 영역을 형성하는 개구는 없다.10A illustrates a crystal growth form of polysilicon grains crystallized using a sequential side-solidification mask according to the prior art. Looking at the conditions of the mask according to the prior art, the slit width is 27.5㎛, the spacing interval between the slits is 7.5㎛, there is no opening forming a semi-transmissive region in the region between the slits.

상기와 같은 조건의 마스크를 이용하여 순차적 측면 고상화를 실시하여, 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 라인폭(WL)은 5.02㎛이며, 돌기부 간격(WP)은 7.04㎛이고, 라인간의 이격 간격(WS)은 1.91㎛이다.Sequential lateral solidification was performed using the mask under the above conditions, and the line width W L of the crystallized polysilicon grains was 5.02 μm, the protrusion gap W P was 7.04 μm, and the spaced interval between the lines ( W S ) is 1.91 μm.

상기 도 10b에는 본 발명의 제1 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크를 이용하여 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 결정 성장 형태가 도시된다. 상기 제1 실시예에 따른 마스크의 조건을 살펴보면, 제1 슬릿(210) 및 제2 슬릿(220) 폭은 27.5㎛, 상기 제1 슬릿간의 이격 간격 및 제2 슬릿간의 이격 간격은 각각 7.5㎛이며, 상기 각 제1 슬릿(210) 사이의 영역에는 라인 슬릿 형태로 형성된 제1 개 구(230)가 2개 배치되며, 상기 각 제2 슬릿(220) 사이의 영역에는 라인 슬릿 형태로 형성된 제2 개구가 2개 배치되고, 상기 제1 개구(230) 및 제2 개구(240)의 폭은 각각 1.5㎛이다.10B illustrates a crystal growth form of polysilicon grains crystallized using a sequential side-solidification mask according to a first embodiment of the present invention. Looking at the conditions of the mask according to the first embodiment, the width of the first slit 210 and the second slit 220 is 27.5㎛, the spacing between the first slit and the spacing between the second slit is 7.5㎛, respectively In the region between each of the first slits 210, two first openings 230 formed in a line slit form are disposed, and a second portion formed in the form of a line slit is formed in the region between each second slit 220. Two openings are disposed, and the widths of the first opening 230 and the second opening 240 are each 1.5 μm.

상기와 같은 조건의 마스크를 이용하여 순차적 측면 고상화를 실시하여, 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 라인폭(WL)은 5.94㎛이며, 돌기부 간격(WP)은 7.04㎛이고, 라인간의 이격 간격(WS)은 1.03㎛이다. 따라서, 상기 종래 기술에 따른 마스크와 비교하여, 폴리 실리콘 결정립의 라인폭이 더 크게 형성됨을 알 수 있으며, 이는 실리콘 결정 성장이 더 크게 진행되었음을 의미한다.Sequential lateral solidification was performed using the mask under the conditions described above, and the line width W L of the crystallized polysilicon grains was 5.94 µm, the protrusion interval W P was 7.04 µm, and the spacing between the lines ( W S ) is 1.03 μm. Accordingly, it can be seen that the line width of the polysilicon grains is formed larger than that of the mask according to the prior art, which means that the silicon crystal growth has proceeded more.

상기 도 10c에는 본 발명의 제4 실시예에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크를 이용하여 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 결정 성장 형태가 도시된다. 상기 제4 실시예에 따른 마스크의 조건을 살펴보면, 제1 슬릿(210) 및 제2 슬릿(220) 폭은 27.5㎛, 상기 제1 슬릿간의 이격 간격 및 제2 슬릿간의 이격 간격은 각각 7.5㎛이며, 상기 각 제1 슬릿(210) 사이의 영역에는 사각형 도트 슬릿 형태로 형성된 제1 개구(230)가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 각 제2 슬릿(220) 사이의 영역에는 사각형 도트 슬릿 형태로 형성된 제2 개구(240)가 소정 간격 이격되어 배치되고, 상기 제1 개구(230) 및 제2 개구(240)의 폭은 각각 7.5㎛이다.10C illustrates a crystal growth form of polysilicon grains crystallized using a sequential side-solidification mask according to a fourth embodiment of the present invention. Looking at the conditions of the mask according to the fourth embodiment, the width of the first slit 210 and the second slit 220 is 27.5㎛, the spacing between the first slit and the spacing between the second slit is 7.5㎛, respectively The first opening 230 formed in the shape of a square dot slit is spaced apart from each other by a predetermined interval in the area between each of the first slits 210, and in the area between the second slits 220 in the shape of a square dot slit. The formed second openings 240 are spaced apart by a predetermined interval, and the widths of the first openings 230 and the second openings 240 are 7.5 μm, respectively.

상기와 같은 조건의 마스크를 이용하여 순차적 측면 고상화를 실시하여, 결정화된 폴리 실리콘 결정립의 라인폭(WL)은 약 6.5~6.7㎛이며, 돌기부 간격(WP)은 7.0㎛이고, 라인간의 이격 간격(WS)은 0.2~0.5㎛이다. 따라서, 상기 종래 기술에 따른 마스크와 비교하여, 폴리 실리콘 결정립의 라인폭이 더욱 더 크게 형성됨을 알 수 있으며, 이는 실리콘 결정 성장이 더 크게 진행되었음을 의미한다.Sequential lateral solidification was performed using the mask under the conditions described above, and the line width W L of the crystallized polysilicon grains was about 6.5 to 6.7 μm, and the protrusion spacing W P was 7.0 μm, and between lines. The separation interval W S is 0.2 to 0.5 μm. Accordingly, it can be seen that the line width of the polysilicon grains is formed even larger as compared with the mask according to the prior art, which means that the silicon crystal growth has proceeded more.

상기와 같이, 본 발명에 따른 마스크를 이용하면 실리콘 결정립의 라인폭이 크게 형성되기 때문에, 스테이지는 이동 스피드에 따라 스캔 방향으로 샷 투 샷(Shot to Shot) 어긋남이 발생하더라도, 라인과 라인간에 오버랩이 발생되지 않아서 발생하는 오버랩 불량을 최소화할 수 있게 된다.As described above, when the mask according to the present invention is used, the line width of the silicon crystal grains is large, so that the stage overlaps between lines even if shot to shot misalignment occurs in the scan direction depending on the moving speed. Since this does not occur it is possible to minimize the overlap failure caused.

도 11은 본 발명에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크를 이용한 순차적 측면 고상화 방법을 개략적으로 나타낸 도이다.11 is a view schematically showing a sequential side solidification method using a sequential side solidification mask according to the present invention.

상기 도 11을 참조하면, 우선 비정질 실리콘 박막이 형성된 기판을 준비한다.Referring to FIG. 11, first, a substrate on which an amorphous silicon thin film is formed is prepared.

그 다음에, 상기에서 살펴본 바와 같은 상기 도 5에 도시된 마스크(100)를 상기 기판과 평행하게 배치하여, 상기 마스크(100)의 위치를 정렬한다. 이때, 순차적 측면 고상화 진행시, 임의의 단위 마스크(200)만이 사용되며, 이러한 단위 마스크의 수명이 다할 경우에, 다른 단위 마스크를 사용하게 된다.Next, the mask 100 illustrated in FIG. 5 as described above is disposed in parallel with the substrate to align the position of the mask 100. At this time, when the sequential lateral solidification proceeds, only an arbitrary unit mask 200 is used, and when the life of the unit mask expires, another unit mask is used.

그리고 나서, 상기 마스크가 배치된 기판 상에 레이저 빔을 조사한다. 그러면, 상기 다수의 제1 슬릿(210)을 포함하는 제1 슬릿열과, 다수의 제2 슬릿(220)을 포함하는 제2 슬릿열과, 다수의 제1 개구(230)를 포함하는 제1 개구 패턴부 및 다 수의 제2 개구(240)를 포함하는 제2 개구 패턴부를 통하여, 레이저 빔이 비정질 실리콘 박막 상에 조사된다(제1 샷). 이와 같이 레이저 빔이 조사되면, 상기 제1 슬릿열과 제2 슬릿열에 상응하는 비정질 실리콘 박막 상의 영역은 완전 용융된 후, 냉각되면서 결정화되며, 상기 제1 개구 패턴부와 제2 개구 패턴부에 상응하는 영역은 부분 용융 또는 가열되어, 결정화 진행을 도와준다.Then, the laser beam is irradiated onto the substrate on which the mask is disposed. Then, the first slit row including the plurality of first slits 210, the second slit row including the plurality of second slits 220, and the first opening pattern including the plurality of first openings 230. The laser beam is irradiated onto the amorphous silicon thin film through the second opening pattern portion including the portion and the plurality of second openings 240 (first shot). When the laser beam is irradiated as described above, the regions on the amorphous silicon thin film corresponding to the first and second slit rows are completely melted and then crystallized while being cooled, and correspond to the first and second opening pattern portions. The zone is partially melted or heated to aid in the crystallization progress.

그리고 나서, 기판이 장착된 스테이지를 이동시키면서 레이저 빔을 조사(제2샷, 제3샷, 제4샷,...제n샷)하는 과정을 반복하여 기판의 끝까지 제 1 스캔을 완료한 후 아래 영역으로 한 칸 이동하여 반대 방향의 제 2 스캔을 진행하는 방식으로 기판상에 형성된 비정질 실리콘 박막의 전 영역을 결정화시킨다.Then, while repeating the process of irradiating the laser beam (second shot, third shot, fourth shot, ... n shot) while moving the stage on which the substrate is mounted, the first scan is completed to the end of the substrate. The entire region of the amorphous silicon thin film formed on the substrate is crystallized by moving one space to the lower region to perform a second scan in the opposite direction.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크 및 이를 이용한 순차적 측면 고상화 방법의 예시적인 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is merely an exemplary embodiment of a sequential side-solidification mask and a sequential side-solidification method using the same according to the present invention, and the present invention is not limited to the above-described embodiment, and is claimed in the following claims. As will be apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains without departing from the spirit of the present invention, the technical spirit of the present invention may be modified to the extent that various modifications can be made.

전술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 실리콘 결정립의 라인폭이 크게 형성되기 때문에, 스테이지는 이동 스피드에 따라 스캔 방향으로 샷 투 샷 어긋남이 발생하더라도, 라인과 라인의 오버랩을 향상시켜 스테이지 진동 등에 의한 오버랩 감소 부분을 보완하여 공정 마진을 확대할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, since the line width of the silicon crystal grains is large, even if a shot-to-shot shift occurs in the scan direction according to the moving speed, the stage improves the overlap between the lines and the overlap due to the stage vibration. The margins can be increased by increasing the margin.

또한, 실리콘 결정립의 크기를 증대시킬 수 있어 고성능 박막 트랜지스터를 구현할 수 있게 된다.In addition, the size of the silicon crystal grains can be increased, thereby realizing a high performance thin film transistor.

Claims (20)

다수의 제1 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열과,A plurality of first slits in which a plurality of first slits are spaced apart from each other by a predetermined interval; 다수의 제2 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제1 슬릿열과 상호 어긋나게 인접 배치된 제2 슬릿열로 구성되어, 조사되는 레이저 빔의 전부를 투과시키는 투과 영역 및;A plurality of second slits spaced apart from each other by a predetermined interval, and composed of a second slit row arranged adjacent to the first slit row to be adjacent to each other, the transmission region transmitting all of the laser beams to be irradiated; 상기 다수의 제1 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 제1 개구를 포함하는 제1 개구 패턴부와,A first opening pattern portion disposed in an area between the plurality of first slits and including a plurality of first openings formed in a predetermined shape; 상기 다수의 제2 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 제2 개구를 포함하는 제2 개구 패턴부로 구성되어, 상기 레이저 빔의 일부를 투과시키는 반투과 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.A second opening pattern part disposed in an area between the plurality of second slits, the second opening pattern part including a plurality of second openings having a predetermined shape, and including a transflective area for transmitting a portion of the laser beam; Mask for sequential side solidification. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 각 제1 슬릿 및 상기 각 제2 슬릿은 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되며, 상기 각 제1 개구 및 상기 각 제2 개구는 상기 각 제1 슬릿 및 상기 각 제2 슬릿에 상응하게 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.Each of the first slits and each of the second slits may be inclined at a predetermined angle with respect to a scan direction, and each of the first openings and each of the second openings may correspond to the first and second slits. The mask for sequential side solidification characterized by being inclined at a predetermined angle with respect to the scanning direction. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 반투과 영역은 상기 레이저 빔의 30% 내지 95% 만을 투과시키는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.And the semi-transmissive region transmits only 30% to 95% of the laser beam. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 제1 개구 패턴부는 라인 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구를 포함하며, 상기 각 제2 개구 패턴부는 라인 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구를 포함하는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.The first opening pattern portion includes a plurality of first openings formed in the form of a line slit, and each of the second opening pattern portions includes a plurality of second openings formed in the form of a line slit. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제1 슬릿들 사이의 각 영역에는 적어도 하나 이상의 제1 개구가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제2 슬릿들 사이의 각 영역에는 적어도 하나 이상의 제2 개구가 소정 간격 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.At least one first opening is spaced apart from each other between the first slits by a predetermined interval, and at least one second opening is spaced apart from each other between the second slits by a predetermined interval. Mask for sequential side solidification. 제5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 제1 슬릿열의 상단 및 하단 영역에는 적어도 하나 이상의 제1 개구가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제2 슬릿열의 상단 및 하단에는 적어도 하나 이상의 제2 개구가 소정 간격 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.At least one or more first openings are disposed in the upper and lower regions of the first slit row at predetermined intervals, and at least one or more second openings are disposed in the upper and lower regions of the second slit row at predetermined intervals. Mask for sequential side solidification. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 제1 개구 패턴부는 상기 각 제1 슬릿의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구를 포함하며, 상기 각 제2 개구 패턴부는 상기 제2 슬릿의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구를 포함하는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.The first opening pattern portion includes a plurality of first openings formed in a square slit shape corresponding to the circumferential shape of each first slit, and each second opening pattern portion includes a square slit corresponding to the circumferential shape of the second slit. And a plurality of second openings formed in a shape. 제7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 각 제1 슬릿의 둘레에는 적어도 하나 이상의 제1 개구가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 각 제2 슬릿의 둘레에는 적어도 하나 이상의 제2 개구가 소정 간격 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.At least one or more first openings are disposed at predetermined intervals around the first slit, and at least one or more second openings are disposed at predetermined intervals around the respective second slits. Angry mask. 제8항에 있어서, The method of claim 8, 상기 제1 개구 패턴부는 상기 제1 슬릿열의 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 제1 개구를 더 포함하며, 상기 제2 개구 패턴부는 상기 제2 슬릿열 둘레 형태에 상응하는 사각 슬릿 형태로 형성된 제2 개구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.The first opening pattern portion further includes a first opening formed in a square slit shape corresponding to the circumferential shape of the first slit row, and the second opening pattern portion is formed in a square slit shape corresponding to the circumferential shape of the second slit row. And further comprising a second opening. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 제1 개구 패턴부는 도트 슬릿 형태로 형성된 다수의 제1 개구를 포함하며, 상기 각 제2 개구 패턴부는 도트 슬릿 형태로 형성된 다수의 제2 개구를 포함 하는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.The first opening pattern portion includes a plurality of first openings formed in a dot slit form, and each second opening pattern portion includes a plurality of second openings formed in a dot slit form. 제10항에 있어서, The method of claim 10, 상기 제1 슬릿들 사이의 각 영역에는 다수의 제1 개구가 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제2 슬릿들 사이의 각 영역에는 다수의 제2 개구가 소정 간격 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.A plurality of first openings are disposed at predetermined intervals in each region between the first slits, and a plurality of second openings are disposed at predetermined intervals in each region between the second slits. Lateral solidification mask. 제11항에 있어서, The method of claim 11, 상기 각 제1 개구의 폭은 상기 제1 슬릿들 간의 이격거리 보다 작게 형성되며, 상기 각 제2 개구의 폭은 상기 제2 슬릿들 간의 이격거리 보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.The width of each of the first openings is smaller than the separation distance between the first slits, and the width of each of the second openings is smaller than the separation distance between the second slits. . 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 각 제1 개구의 폭은 상기 제1 슬릿들 간의 이격거리와 동일하게 형성되며, 상기 각 제2 개구의 폭은 상기 제2 슬릿들 간의 이격거리와 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.The width of each of the first openings is formed to be equal to the separation distance between the first slits, and the width of each of the second openings is formed to be equal to the separation distance between the second slits. Angry mask. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 다수의 제1 개구는 원형 또는 다각형 도트 슬릿 형태로 형성되며, 상기 다수의 제2 개구는 원형 또는 다각형 도트 슬릿 형태로 형성되는 것을 특징으로 하 는 순차적 측면 고상화용 마스크.The plurality of first openings are formed in the form of a circular or polygonal dot slit, and the plurality of second openings are formed in the form of a circular or polygonal dot slit. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 제1 슬릿들의 폭은 상기 제1 슬릿들 간의 이격거리 보다 크게 형성되며, 상기 제2 슬릿들의 폭은 상기 제2 슬릿들 간의 이격거리 보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.The width of the first slits is formed larger than the separation distance between the first slits, the width of the second slits is formed larger than the separation distance between the second slits. 다수의 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치된 슬릿열로 구성되어, 조사되는 레이저 빔의 전부를 투과시키는 투과 영역 및;A transmission region comprising a plurality of slits arranged in slit rows spaced apart from each other by a predetermined interval to transmit all of the irradiated laser beams; 상기 다수의 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 개구를 포함하는 개구 패턴부로 구성되어, 상기 레이저 빔의 일부를 투과시키는 반투과 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.It is disposed in the area between the plurality of slits, and consists of an opening pattern portion including a plurality of openings formed in a predetermined shape, for sequential side solidification, characterized in that it comprises a semi-transmissive area for transmitting a portion of the laser beam Mask. 제16항에 있어서,The method of claim 16, 상기 각 슬릿은 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되며, 상기 각 개구는 상기 각 슬릿에 상응하게 스캔 방향에 대하여 소정 각도로 기울어져 배치되는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.And each of the slits is inclined at a predetermined angle with respect to the scanning direction, and the openings are inclined at a predetermined angle with respect to the scanning direction to correspond to the respective slits. 제16항 또는 제17항에 있어서, The method according to claim 16 or 17, 상기 반투과 영역은 상기 레이저 빔의 30% 내지 95% 만을 투과시키는 것을 특징으로 하는 순차적 측면 고상화용 마스크.And the semi-transmissive region transmits only 30% to 95% of the laser beam. 다수의 제1 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치된 제1 슬릿열과, 다수의 제2 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치되며, 상기 제1 슬릿열과 상호 어긋나게 인접 배치된 제2 슬릿열로 구성되어, 조사되는 레이저 빔의 전부를 투과시키는 투과 영역 및; 상기 다수의 제1 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 제1 개구를 포함하는 제1 개구 패턴부와, 상기 다수의 제2 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 제2 개구를 포함하는 제2 개구 패턴부로 구성되어, 상기 레이저 빔의 일부를 투과시키는 반투과 영역을 포함하는 순차적 측면 고상화용 마스크를 준비하는 단계;A plurality of first slits are arranged to be spaced apart a predetermined interval, and a plurality of second slits are arranged to be spaced apart a predetermined interval, composed of a second slit row arranged to be adjacent to the first slit row alternately, A transmission region for transmitting all of the laser beam; A first opening pattern portion disposed in an area between the plurality of first slits, the first opening pattern portion including a plurality of first openings formed in a predetermined shape, and disposed in an area between the plurality of second slits, Preparing a mask for sequential side-solidification comprising a second opening pattern portion including a plurality of second openings formed therein, the semi-transmissive region transmitting a portion of the laser beam; 상기 순차적 고상화용 마스크를 비정질 실리콘 박막이 형성된 기판 상에 정렬시키는 단계;Aligning the sequential solidification mask on a substrate on which an amorphous silicon thin film is formed; 레이저 빔을 상기 순차적 고상화용 마스크를 통해 상기 기판 상에 조사하는 단계 및Irradiating a laser beam onto the substrate through the sequential solidification mask; and 상기 기판을 소정 방향으로 이동시킨 후, 상기 레이저 빔을 상기 순차적 고상화용 마스크를 통해 상기 기판 상에 조사하는 단계를 포함하는 순차적 측면 고상화 방법.Irradiating the laser beam onto the substrate through the mask for sequential solidification after moving the substrate in a predetermined direction. 다수의 슬릿들이 소정 간격 이격되어 배치된 슬릿열로 구성되어, 조사되는 레이저 빔의 전부를 투과시키는 투과 영역 및 상기 다수의 슬릿들 사이의 영역에 배치되며, 소정 형태로 형성된 다수의 개구를 포함하는 개구 패턴부로 구성되어, 상기 레이저 빔의 일부를 투과시키는 반투과 영역을 포함하는 순차적 측면 고상화용 마스크를 준비하는 단계;A plurality of slits are composed of slit rows arranged at predetermined intervals, and include a transmission region for transmitting all of the laser beams to be irradiated, and a plurality of openings formed in a predetermined shape in a region between the plurality of slits. Preparing a mask for sequential lateral solidification comprising an opening pattern portion, the semi-transmissive region transmitting a portion of the laser beam; 상기 순차적 고상화용 마스크를 비정질 실리콘 박막이 형성된 기판 상에 정렬시키는 단계;Aligning the sequential solidification mask on a substrate on which an amorphous silicon thin film is formed; 레이저 빔을 상기 순차적 고상화용 마스크를 통해 상기 기판 상에 조사하는 단계 및Irradiating a laser beam onto the substrate through the sequential solidification mask; and 상기 기판을 소정 방향으로 이동시킨 후, 상기 레이저 빔을 상기 순차적 고상화용 마스크를 통해 상기 기판 상에 조사하는 단계를 포함하는 순차적 측면 고상화 방법.Irradiating the laser beam onto the substrate through the mask for sequential solidification after moving the substrate in a predetermined direction.
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