KR100265468B1 - 수동 표면파 센서 - Google Patents

수동 표면파 센서

Info

Publication number
KR100265468B1
KR100265468B1 KR1019940702321A KR19940702321A KR100265468B1 KR 100265468 B1 KR100265468 B1 KR 100265468B1 KR 1019940702321 A KR1019940702321 A KR 1019940702321A KR 19940702321 A KR19940702321 A KR 19940702321A KR 100265468 B1 KR100265468 B1 KR 100265468B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
surface wave
sensor device
sensor
correction
passive
Prior art date
Application number
KR1019940702321A
Other languages
English (en)
Other versions
KR940704031A (ko
Inventor
레온하르트 라인들
폴크하르트 뮐러
클레멘스 루펠
볼프-에크하르트 불스트
프란츠 자이페르트
Original Assignee
칼 하인쯔 호르닝어
지멘스 악티엔게젤샤프트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19924200076 external-priority patent/DE4200076A1/de
Priority claimed from DE19924217049 external-priority patent/DE4217049A1/de
Application filed by 칼 하인쯔 호르닝어, 지멘스 악티엔게젤샤프트 filed Critical 칼 하인쯔 호르닝어
Publication of KR940704031A publication Critical patent/KR940704031A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100265468B1 publication Critical patent/KR100265468B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K7/00—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
    • G06K7/10—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S13/00—Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
    • G01S13/74—Systems using reradiation of radio waves, e.g. secondary radar systems; Analogous systems
    • G01S13/75—Systems using reradiation of radio waves, e.g. secondary radar systems; Analogous systems using transponders powered from received waves, e.g. using passive transponders, or using passive reflectors
    • G01S13/751—Systems using reradiation of radio waves, e.g. secondary radar systems; Analogous systems using transponders powered from received waves, e.g. using passive transponders, or using passive reflectors wherein the responder or reflector radiates a coded signal
    • G01S13/755—Systems using reradiation of radio waves, e.g. secondary radar systems; Analogous systems using transponders powered from received waves, e.g. using passive transponders, or using passive reflectors wherein the responder or reflector radiates a coded signal using delay lines, e.g. acoustic delay lines
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K19/00—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
    • G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
    • G06K19/067—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components
    • G06K19/0672—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with resonating marks
    • G06K19/0675—Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with resonating marks the resonating marks being of the surface acoustic wave [SAW] kind
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S13/00—Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
    • G01S13/02—Systems using reflection of radio waves, e.g. primary radar systems; Analogous systems
    • G01S13/06—Systems determining position data of a target
    • G01S13/08—Systems for measuring distance only
    • G01S13/32—Systems for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated
    • G01S13/34—Systems for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated using transmission of continuous, frequency-modulated waves while heterodyning the received signal, or a signal derived therefrom, with a locally-generated signal related to the contemporaneously transmitted signal

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Burglar Alarm Systems (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

본 발명은 측정된 값 결정을 위한 수동 표면과 센서에 관한 것으로, 여기서, 그 측정된 값은 측정위치 질문소자(1)로부터 무선에 의해 전송되며, 그것은 질문펄스로서 센서소자(5, 15)로 무선에 의해 에너지를 전송한다. 본 발명에 따른 이 표면파 센서는 접촉하지 않고 측정된 값을 습득하는데 적당하고, 표면파 장치는 센서소자이고 표면파 기준소자는 위상 판별 및/또는 전파시간 측정에 제공된다. 추가의 개선책으로서, 치프된 전송신호를 가지고 동작되며 치프된 반사기를 가지는 센서가 설명되며, 여기서는 그 장치내에 기준소자를 대신하여 기준기능이 있다. 치프된 기능을 가지도록 설계된 센서는 다른 물리적이거나 유사한 변수의 측정을 위해 긴급히 온도 보상된 센서(제12, 13도)의 특징을 가진다.

Description

수동 표면파 센서
본 발명의 추후 설명은 첨부된 도면의 기술에서 나타난다.
제1도는 본 발명에 따른 표면파 센서의 기본 실현도.
제2a 및 2b도는 기준소자 및 센서소자를 가진 통합된 구성을 도시한다(상기 소자들의 대응 형태 및 사용되는 결과적 동작 모드와 함께 제2도는 또한 함축적 기준기능을 가진 예를 제공한다).
제3a 및 3b도는 다른 기판에 장착된 기준 소자 및 센서소자를 가진 형상도.
제4도는 기준 소자가 문의 장치에 장착된 본 발명에 대한 형상도.
제5도는 센서신호 및 확인 신호의 다른 전파 시간을 가진, 다른 주파수(또는 동일 주파수에서)에서 추가적인 확인 기능을 가진 실시예.
제6도는 본 발명에 따른 문의장치 및 다수의 표면파센서, 또는 다른 주파수에서 동작하는 다수의 개별적인 센서를 가진 센서어레이를 가진 형상의 기본 다이아그램.
제7도는 센서상에 위치하여 수동 신호 처리를 위한 추가적인 장치를 가진 다른 장치도.
제8도는 추후 개발안을 위한, 본 발명의 처프된 신호를 전송 및 수신하는 원리도.
제9a 및 9b도 제8도의 실시예.
제10도는 제8도에 따른 원리에 대한 그래프.
제1Oa도는 처프된 구조를 사용함으로써 감도에서의 증가가 확인될 수 있는 그래프.
제11도는 관련 센서의 추후 실시예.
제12도는 제1추후 개발안에 따른 온도 보상센서.
제13도는 제2추후 개발안에 따른 온도보상센서.
제14 및 15도는 코드 구조의 실시예.
본 발명은 어코스틱 표면파 장치의 원리로 동작하는 수동 센서에 관한 것으로, 특히 센서 신호가 전파로 확인될 수 있는 수동표면파 센서에 관한 것이다.
많은 기술적인 응용에서, 사용된 구동센서 소자가 수동적으로 동작하는 방식처럼, 명확하게 말하자면 자체의 어떤 에너지 소스 또는 파워 공급도 필요치 않고 어떤 거리로부터 무선 수단에 의해 측정된 관심값이 이용 가능하게 하는 것은 중요하다.
예를들어, 옆을 통과하는 기차의 휠 베어링 및/또는 브레이크 블럭의 온도를 모니터하거나 또는 측정할 수 있다는 것은 흥미있는 일이다. 또다른 응용은 기계의 회전 샤프트의 토크를 측정하는 것이다. 또다른 중요한 응용분야는 의학 및 화학 분야이며, 예를들어, 생체내 혈액의 산소 부분압을 측정할 수 있거나 또는 특히 환경보호 분야에서 떨어진 위치로 부터 물 및/또는 공기속의 솔벤트 농도를 검출할 수 있고, 이때 예를들어 위험지역에서 얻어진 상기 측정 데이타를 가지고 안전한 원거리 위치에서 이용 가능하고 상기 데이타를 처리할 수 있다.
상기를 달성하기 위해 앞서 사용된 방법은 전지에 의해 공급되고 원격 계측적으로 확인되거나 또는 지속적으로 전송하는 능동 센서를 사용하는 것이거나 또는 텔레비젼 카메라를 사용하여 광학 수단의 측정을 수행하는 것이었다.
표면파 장치는 거의 20년 동안 공지되왔고, 상기 장치는 전자적-어코스틱 소자이며, 상기 소자는 적어도 표면의 내부영역에 압전 특성을 가진 기판, 상기 표면 위 또는 안에 위치된 핑거 전극 구조를 포함한다. 어크스틱파는 전기적인 여기(excitation)에 의해 언급된 표면에서 발생되며, 전자어코스틱(입력) 내부 디지탈 변환기로부터 나온다. 상기 어코스틱파는 상기 표면에서 구동하여 추후(출력) 변환기에서, 어코스틱파로부터 다시 전기적인 신호를 발생한다. 상기 소자의 본질적인 특성을 변환기의 구조 및 적절하다면 표면에 장착된 구조의 선택에 의해 입력 변환기 속으로 넣어진 전기 신호가 출력 변환기 신호로 변하는 신호처리가 수행될 수 있다. 또한 입력 변환기 및 출력 변환기는 하나의 동일한 변환기 구조일 수 있다. 예를들어 광대역 무선 주파수 신호인 한 신호가 입력에 공급될 수 있고, 한편 출력에서 시간 선택적 펄스압축 신호인 한 신호가 이용될 수 있으며, 상기 타이밍은 (측정값) 파라미터에 따라 관련된 표면파 장치의 사전 결정된 특성이다.
확인 택(ID 택)(US-A-3273146, US-A-4725841)은 물체 또는 사람의 존재 또는 확인이 전파로 이루어지는 것이 가능하게 하고 수동적으로 동작하며, 어코스틱 표면파 장치를 기초로 몇십년 동안 운용되었다. 상기 경우에 상기 표면파 장치에서 확인 신호가 즉시 기판의 강력한 압전 효과 때문에 저장될 수 있고 사실상 더 이상의 확인택에 대한 파워 공급이 필요치 않다는 것이 관련 요소이다.
확인 장치로부터 전송된 전자기 라디오 주파수 확인 펄스는 표면파 확인택, 다시말해 ID 택의 안테나에 의해 포획된다.
표면파 장치의 입력으로써 동작되는 전자 어코스틱 상호 디지탈 변환기에 의해, 어코스틱 표면파가 후자에서 발생된다. 완전히 개별적으로 한정될 수 있는 각 명세서에 따르도록 선택되는 표면파 장치의 선택된 구조 때문에, 장치에서 발생된 표면파가 변조되고, 출력에서 대응해서 변조된 전자기 신호가 회복된다. 상기 신호는 또한 장치의 안테나를 경유하여 일정거리로부터 수신될 수 있다. 표면파 장치는 결과적으로 (개별적인) 무선-주파수 확인 코드 워드를 가진 장치에 대하여 미리 지정된 (기본) 지연후에 상기 언급된 확인 펄스에 응답하며, 상기 펄스는 관련된 확인 장치에서 무선에 의해 계산될 것이다. 상기 장치는 예를들어 1966년부터 처음 상기 언급된 미합중국 특허에 기재되어 있다.
상기와는 아주 별개로, 예를들어 써머미터, 압력센서, 가속미터, 화학센서 또는 생물학적 센서등으로써 어코스틱 표면파 장치를 기초로 동작하는 센서를 사용하는 것이 십년이상 공지되왔다. 상기예는 인쇄 공보 IEEE Ultrasonic Symp. proc. (1975) pp. 519-522; Proc. IEEE, vol. 64 (1976) pp. 754-756 및 EP-0361729 (1988)에 기재되어 있다. 상기 공지된 장치는 오실레이터의 원리로 동작하며, ID 택의 동작 모드와 상당히 다르며, 능동 장치로써 상기는 또한 장치 자신의 파워 공급을 요구한다.
DE-A-3438051 및 US-A-4620191 (Skeie)에는 표면파 장치를 기초하고, 단지 표면파 구조에서 코드되어 결과적으로 사전 결정되고 언제나 동일한 특정 응답신호를 가진 문의 신호에 응답하는 수동 트랜스 폰터가 기술된다. 상기 언급된 인쇄 공보물에 대한 공급으로써, IEEE, Ulrtason. Symp. 1987, pages 583-585에 기재된 바와같이, 상기 트랜스폰터에서 사용된 표면파 장치의 조사된 온도 의존성을 제거하는 것이 어떻게 가능한 지가 US-A-4734658에 기재되있다. 시작 비트 및 정지 비트와 함께, 모든 전파시간 또는 위상차의 표준화가 제공된다. 결과적으로, 공지된 트랜스 폰터에 대한 온도 보상이 추가로 이루어진다.
상기 전술된 온도 의존성은 상업적으로 이용가능한 확인 택의 경우에 연구되었고, 온도에 대해 확인 택의 두 반사기의 반사된 신호의 위상 차의 선형 의존성이 이루어졌다. 원거리에서 질문될 수 있는 표면파 온도 센서로서 사용 가능성이 상술되었다.
Rev. of Scient. lnstr. vol. 60 (1989), pp. 1297-1302에는 액티브한, 다시말해 전지 공급으로 동작되는 에어로졸에 대한 센서가 기술되어있고, 상기 센서는 10년 이상전에 이미 공지된 것과 같은 표면파로 동작한다. 센서는 그들의 동작에 필요한 에너지 공급 증폭회로를 가진 두개의 오실레이터를 포함한다.
표면파의 속에 영향을 주는 전기 볼트미터로써 추후 유사한 액티브센서는 유럽특허출원 제0166065호에 공지되있다.
커플링 루프에 의해서 에너지가 공급되고 자동화 기술이 사용됨에 따라 표면파로 동작하는 유도성 확인장치는 독일특허출원 제DE-A-4025107호에 공지되어 있다. 단지 에러없는 신호주기를 계산함으로써 판독/기록 에러의 감소가 이루어진다.
IEII, Ultrasonic Symp. 1982, pp. 177-179는, 어떤 상당한 시간동안 공지되고 스펙트럼 분석기로서 사용되는 처프 변환 처리기, 어떻게 온도 의존성이 감소될 수 있는가에 대해 기술되었다. 상술된 측정은, 처리기의 온도에 의존하는 그외의 측정 에러가 최소화되도록 처리기의 내부적 동작 주파수를 선택해야 하는 것이다.
본 발명의 목적은 수동적으로 동작하는 센서소자, 다시말해 자체의 어떤 파워공급도 필요치 않으며 무선에 의해 확인되거나 원거리에서 무접점으로 판독될 수 있는 센서에 대한 원리를 지정하는 것이다. 상기는 특히 바람직하지 못한 영향으로부터 독립되어 비교를 위해 편리한 기준을 가지는 문제이다; 예를들어, 온도의 가변이외의 다른 가변을 검출하고 측정할 때 온도에 대한 독립성을 갖는 것이다.
본 목적은 청구항 1항에 의해 달성되며, 추후 개발안은 종속항 및 특히 제24항등에서 나타난다.
본 발명에 따른 수동 표면파 센서를 실현하기 위한 한가지 원리는 상기 센서(통상)에 최소한 두개의 표면파 장치를 제공하는 것이고, 그중 하나의 상기 장치는 기준 소자로써 동작하며, 다른 장치 또는 다수의 다른 장치는 각 센서 소자의 기능을 가진다. 상기 센서 소자는 그들의 (각) 상호디지탈 변환기에 공급되고 출력으로써 동작하며, 출력신호는 측정될 측정값에 대응하는 방식으로 상기 센서 소자의 입력신호에 대하여 동일하게 변화된다.
표면파 장치에서 어코스틱 파의 전파 시간 또는 속도에 영향을 미치는 상기 측정된 변량을 측정하는 것이 가능하다. 상기 입력신호는 멀리 떨어져 장착된 확인 장치로부터 무선에 의해 전송되고 센서 소자의 입력 변환기에 공급되어 입력으로써 동작하는 무선 주파수 신호이다. 그렇지만, 상기 무선 주파수 신호는 또한 관련 기준 소자의 입력에 공급되고, 상기 소자에서 센서 소자에 대응하는 신호처리가 일어나고 상기 소자로부터 유사하게 출력신호가 방출된다. 그렇지만, 상기 출력 신호는 (심각하게) 영향을 받지 않거나 또는 센서 소자에 의해 설정되는 측정 변량의 물리 또는 화학적 효과/작용에 의해 공지된 방식으로만 영향을 받는다.
관련 센서 소자의 출력신호 또는 다수의 관련 센서소자는, 본 발명에 따른 수동 표면파 센서의 각 출력신호와 상기 기준소자의 출력신호를 비교함으로써, 예를들어 측정 위치에서 측정된 값 신호가 또한 얻어진다. 상기 신호 처리는 바람직하게는 위상 및/또는 전파 시간 비교 또는 주파수 비교이다. 상기 동작 모드는 후자의 좀더 정밀한 센서소자인 본 발명에 따른 수동 표면파 센서에서 관련 외부 에너지 공급없이 가능하다. 상기 기술된 확인택의 경우에서 처럼 본 발명의 경우에, 측정된 값의 전송에 필요한 전송에너지는 말하자면 확인 펄스의 에너지로부터 이용될 수 있다.
그렇지만, 위상 및/또는 전파시간의 비교는 센서소자의 위치 또는 측정 위치에서 일어나야할 필요는 없다. 결과적으로 바람직한 방식으로 센서소자 및 기준 소자는 또한 공간적으로 서로 분리되어 장착될 수 있고 기능적으로 무선에 의해서만 서로 연결된다. 상기에 대한 이유는 표면파 장치에서 어코스틱 파의 전파 속도와 비교했을때 전자기파의 속도는 약 105배 더 크다. 위상에러 또는 전파 시간 에러는 따라서 일반적으로 상기 분리 측정의 경우에 무시될 수 있다. 또한 센서 소자 및 기준소자간의 공지된 거리를 가지고 이에 따른 유도식이 또한 제공될 수 있다.
최근 기술된 상기 공간 분리 장치는 예를들어 공용위치에서 다수의 측정점이 문의되어야 하는 경우에 특히 유리하다. 예를들어 상기를 설명하는 예는 사전결정된 위치를 통과하는 철도 기차의 브레이크 블럭 및/또는 휠베어링의 온도를 측정하는 것이다. 각 브레이크 블럭 또는 휠 베어링은 기능적 및 공간적으로 표면파 센서소자를 할당받는다. 기준소자는 기차가 통과하는 선로 구역을 따라 사전결정된 위치에서 문의 및 계산장치에 위치된다.
일반적으로, 한편에 문의 장치 및 다른 한편에 수신 및 계산장치가 서로 공간적으로 결합되어 장착된다.
본 발명의 목적을 달성하기 위한 유사한 해결 원리는 상기 기술된 처럼 "명백하게" 제공된 기준 소자 대신에 해결 원리와 같이 "명백하게" 기준기능을 갖는 것이다. 여기서, 먼저 간략한 설명이 주어지고, 상세한 기술은 추후 아래에 이어질 것이다. 본 발명에 따른 변형된 일반적인 해결 원리는, 민감한 특성을 가진 표면파 구조로써 디자인된 적어도 두개의 소자가 제공되지만 이것들은 센서기능(고전적인 센서 소자의 기능과 비교해서) 및 기준 기능(상기 기술된 장치의 고전적인 기준소자) 둘다를 포함하는 두 구조의 기능의 통합 모드로 "서로에 대해" 작용하도록 이루어져 있다.
본 발명의 추후 개발안도 처음에 기술된 장치에 대하여 설명된 바와 같이, 예를들어 기계적인 변량과 같은 사전 설정된 물리적 변량의 모니터/측정을 위해 센서소자 및 기준소자의 결합을 사용하는 것이지만, 그러나 기능의 통합모드에 의해, 상기 기술된 해결원리에 유사하게 상기 소자들을 선택하고 동작시키기 위하여, 예를들어, 온도의 영향과 같은 표면파 구조에서 어코스틱파(들)의 속도에 영향을 주는, 바람직하지 못하게 일어나는 추후 물리적 변량이 보상에 의해 소거될 수 있다. 추후 아래에 주어지는 상세한 기술은 또한 당업자를 위한 상기 측면에서 더 많은 정보를 포함한다.
본 발명의 경우에 제공되는 수동 신호 계산은 예를들어 위상식별, 신호믹싱, 주파수 측정 등과 같은 것이다. 사용된 표면파 장치는 기준 소자 및 최소한 센서소자의 기본 소자이고 또는 통합적이고 함축적으로 포함된 기준기능을 가진 소자의 결합이다. 상기는 표면파로 동작하는 필터에 의해 구성된다. 상기 표면파 필터는 공진기(resonator), 분산형의 지연라인을 포함한 지연라인, 위상 편이 키이(PSK) 지연라인 및/또는 콘볼버(convolver)일 수 있다. 특히, 상기 표면파 장치는 저 손실 필터처럼 바람직한 방식으로 디자인된다. 통합적 함축 기준기능을 가진 해결원리 및 또한 예를들어 온도보상을 가지는 추후 개발안에 대해 처프된(chirped) 반사기 및/또는 변환기 구조가 적당하다.
상기 표면파 장치는 기판 물질의 압전 효과 또는 기판에 설치된 압전층의 압전효과를 이용함으로써 동작한다. 특히 온도에 독립적으로 주파수가 안정한 수정은 별도로 하고, 높은 압전 커플링을 가진, 니오브산 리듐, 탈탄산 리튬, 사붕산 리튬 등(단결정으로써), 특히 층에 대해서는 산화아연 및 압전 세라믹과 같은 상기 물질 또한 압전재료로써 특히 적당하며, 그렇지만 차례로 상당한 온도 종속성을 갖는다.
기준 소자 및 하나의 센서소자 또는 다수의 센서소자는 또다른 하나와 공간적으로 결합되어 배열될 수 있다는 것은 상기에서 이미 언급되었다. 상기 장치의 장점은 위상 및/또는 전파 시간 계산 및 유사한 것이 사실상 외부적인 방해없이 수행될 수 있고 또는 외부적인 방해가 예를들어 적절한 차폐에 의해 최소한으로 억제될 수 있다. 물론, 상기 경우에 기준소자는 적어도 가장 큰 정도까지 물리적인 영향을 받지않도록 고려되어야 하며, 측정될 변량이 나타내는 상기 물리적인 영향은 예를들어 온도이다. 상기 목적을 위해서, 기준 소자 및 하나의 센서소자 또는 다수의 센서 소자는 예를들어 상호 분리된 기판에 장착되고, 단지 각 센서소자만이 측정된 변량의 영향에 노출된다. 온도 측정을 위해서, 예를들어 기준소자는 기판으로써 수정을 사용하도록 제공될 수 있고, 상기에서 상대적으로 큰 온도 종속성을 갖는 니오브산 리튬 또는 일부 다른 기판 재료가 센서소자 또는 소자에 제공된다. 많은 경우에, 기준 소자의 수정 기판의 온도변화는 출력신호에 대해 영향을 거의 미치지 않는다.
(온도) 보상을 위해서, 보정 지침이 정의되는 것이 제공될 수 있다. 상기는 예를들어 센서 소자중 하나에 의해서 결정되는 전체 표면파 장치의 순간 온도에 의해 이루어지며, 상기 온도 값은 다른 물리적 변량을 측정하는 상기 남아있는 센서소자의 측정된 값의 보정을 위한 지침으로써 사용된다.
소자의 결합된 장치는 편리하고 통상 높은 정확도를 위해 예를들어 통합온도 보상을 가진 추후 개발안 또는 통합적 함축 기준 기능을 가진 장치에 필수적이기도 하다.
본 발명 (그 안에 기준 소자를 포함하든 포함하지않든)에 따른 센서 장치간의 전송 능력을 증가시키기 위해, 지금까지 공지된 대역확산 방법을 사용하는 것 및 펄스 압축을 가진 매치된 필터를 제공하는 것을 추천할 만하다.
표면파 장치에 있어서, 레일 레이(Rayleigh)파, 표면 전단(surface shear)파, 표면누(surface Ieaky)파 및 유사한 것이 발생되고 계산되는 방식으로 상기 장치를 디자인하는 것이 공지되었다.
다수의 표면파 센서 소자가 문의 장치에 의해 문의되는 경우에, 예를들어 다수의 다른 측정된 변량이 정해지고/지거나 동일 측정된 변량은 다른 위치 및/또는 대상에서 정해지는 경우에, 확인 기능은 또한 개별적인 (센서)소자에서 추가적으로 바람직하게 통합될 수 있다. 상기 통합은 분리기판 칩에서 수행될 수 있거나 또는 많은 경우에 동일 기판칩 상에서 또한 유리한 방식으로 수행될 수 있다. 상기 확인 기능은 처음에 기술된 ID 택의 경우에서 설명되었던 것과 같은 기능에 대응한다. 본 발명의 경우에, 상기 확인기능은 본 발명에 제공되는 표면파 구조속에 추가로 통합되거나 또는 대응하는 추가적 (확인)구조가 본 발명에 사용되는 표면파 장치의 신호 입력부 및 신호 출력부 사이에 삽입되는 형식을 취한다. 예를들어, 상기는 각 센서소자에 편리한 방식으로 제공될 수 있다. 서로 고정된 장치에서 센서 소자 및 기준소자의 경우에, 기준 소자는 또한 상기 확인 기능을 포함한다. 본 발명의 경우에 사용될 수 있는 또다른 방법은 실제측정 신호의 주파수를 선택하고 이와는 다른 레벨에서 확인 신호를 선택하는 것이다. 상기 방법에 의해, 그렇지않으면 개별적인 경우에 착수에서부터 완전하게 배제될 수 없는 상호 방해가 피해질 수 있다.
본 발명에 따른 서로 다른 측정된 값을 공급해야 하는 다수의 표면파 센서(센서소자)가 제공되는 경우에, 본 발명에 제공되는 각 문의 장치의 무선 주파수 영역에 사전주의가 요구되며, 본 발명에 따른 상기 각 센서는 센서 자체의 할당받은 주파수에서 동작하고, 각 특정 기본 전파 시간(문의에 대한 지연 시간)후에만 응답하고/거나 개별적인 전송 펄스 순서에 매치된다. 또한 센서소자 및 안테나에 공간적으로 분리하도록 제공될 수 있고 무선 주파수-전도 케이블에 의해서만 그들을 연결하고/거나 또는 용기의 전기적인 전도벽에 의해서 연결될 수 있다.
하나 및 동일 안테나가 본 발명에 따른 다수의 센서에 사용될 수 있다. 또한 관련 표면파 센서(센서소자)의 (각) 기판상에 통합된 형태로 안테나를 장착하는 것이 제공될 수 있다. 처프된(chirped) 표면파 구조, 특히 처프된 반사기 구조를 사용함으로써, 더욱 바람직한 효과는 본 발명의 센서 원리로 이루어질 수 있다. 먼저, 언처프된 구조 대신에 처프된 반사기 구조 및/또는 변환기의 사용은 본 발명에 따라 휠씬 더 큰 센서 감도를 가능하게 한다. 매치된 처프 문의 신호를 사용하여, 응답신호의 압축이 또한 달성될 수 있고, 그 중에서 특히 계산을 용이하게 하는 효과를 가진다. 결정될 수 있고 또는 결정되어야 하는 처프 속도를 가진 업-처프 문의신호, 및 센서내의 매칭 다운-처프 구조에 의해, 진정한 온도 독립성을 사용하는 것이 가능하다. 다시말해 단순히 보상에 의해 달성할 필요가 없다.
제1도는 본 발명에 따른 수동 표면파 센서의 부품부이며 1로 표시된 문의 장치이다. 상기 문의 장치(1)는 부품부로써 전송부(2), 수신부(3) 및 계산부(4)를 형성하는 추후 부품부를 포함한다. 표면파 장치를 가진 실제적 수동 소자는 5로 표기된다. 동작시에, 무선주파수 연결(6)은 전송부(2)로부터 센서(5)까지 전송이 이루어지고 무선주파수 연결(7)은 센서(5)로부터 수신부(3)까지 이루어진다. 무선주파수 연결(7)에 요구되는 에너지는 전송채널(6) 내지 센서(5)까지 전송된 신호에 포함된다. 센서는 측정위치에 장착되고 적어도 센서(5)의 부품부인 센서소자(15)는 물리, 화학 또는 측정될 유사한 영향에 노출된다.
제2a도는 두개의 표면파 장치(15 및 25')를 가진 표면파 기판(5')을 도시한다. 표면파 상호 디지탈 변환기(21 및 22)는 각각 센서 소자(15')의 입력 변환기 및 출력 변환기이다. 대응하는 기준소자(25)의 상호 디지탈 변환기는 23 및 24로 표시된다. 채널(6)의 무선 신호를 수신하고 무선 채널(7)의 신호를 방출하는 역할을 하는 안테나는 16 및 17로 표시된다. 적절하다면, 안테나(16 및/또는 17)로써 표면파 기판(20)상의 단순한 전도체 경로 또는 다이폴 안테나를 제공하는 것이 적당할 것이다. 그렇지만, 통상적인 안테나가 또한 제공될 수 있다.
제2도는 제1도의 센서(5)의 실시예로써 센서의 통합된 형상을 도시한다.
제2b도는 변환기(22 및 24) 대신에 반사기(22a 및 24a)를 가진 제2a도에 대응하는 디자인을 도시한다. 상기에서 변환기(21 및 23)는 상기 도면의 표면파 장치의 입력 및 출력이다.
제3a도는 측정 위치에서 센서 소자 및 기준소자를 가진 장치를 도시한다. 센서소자(15')의 압전 표면파 기판(130) 및 기준 소자(25")의 압전표면파 기판(230)을 위한 캐리어 물질은 30에 의해 표시된다. 변환기 구조(21-24)는 제2도의 실시예와 같은 구조일 수 있다.
예를들어, 기판(130)은 니오브산 리튬 또는 탄탈산리튬 및 그 유사한 것으로 된 기판이다. 상기 재료는 표면파에 대한 결정적 중요한 특성에 대해서 상당한 온도 의존성을 가진다. 특히, 표면파 장치에 대한 통상적인 실현과는 아주 상관되지만, 큰 온도 의존성을 나타내는 결정 물질의 커트가 선탤될 수 있다. 온도 센서에 있어서, 온도 의존성이 크지않은 수정은 여기서 기준 소자의 기판(230)으로 바람직하게 사용될 수 있다.
안테나는 다시 16 및 17로 표시된다.
제3b도는 제2b도에서 처럼 및 변환기(22 및 24) 대신에 반사기(22a 및 24a)를 가진 제3a도에 대응하는 실시예를 도시한다.
제4도는-본발명을 실현하는 한 가능성으로써 상기 기술된 바와같이-기준소자(25)가 문의소자(1')에서 하나의 추가적인 부품부로써 포함되는 실시예를 도시한다. 기판(130)을 가진 수동 표면에 센서 소자는 15에 의해 표시 된다. 센서소자 및 문의 장치의 관련 안테나는 각각 16 및 17 그리고 116 및 117로 표시된다. 스위치(41-43)가 제공되며,(각) 센서 소자(15) 및 기준 소자(25) 사이의 위상 및/또는 전파시간 비교를 수행할 수 있기 위하여 각 동작 위상에 대해 폐쇄(close)된다.
제5도는 원리적으로 제4도의 실시예에 대응하지만 추가로 확인 기능을 실현하기 위한 수단을 포함하는 본 발명에 따른 장치를 도시한다. 안에 기준 소자(25)를 가진 문의 장치는 다시 1'에 의해 표시된다. 문의 장치(1')에서 센서(151)로의 무선 연결은 6에 의해 표시된다. 센서(151)는 두개의 센서 소자(115 및 115')를 포함한다. 센서소자(115)는 제1주파수(f1)에 대해 디자인된다. 센서 소자(115)는 26에 의해 표시된, 코딩 구조를 포함한다. 두 센서 소자(115 및 115')의 입력 및 출력은 안테나(16)에 대하여 평행하게 연결된다. 계산 장치(1')에 대한 무선 연결은 다시 7에 의해 표시된다.
코딩에 대응하는 방식에서, 센서 소자(115')의 어코스틱 경로는 특성 응답신호를 공급한다. 두 센서 소자(115 및 115)는 또한 다른 기본 전파시간을 갖거나 또는 다른 주파수 및 다른 기본 전파 시간 둘다를 갖는다.
기본 다이아그램으로써, 제6도는 모두가 동시에 문의 장치의 무선 호프(hop)에 있는 다수의 센서 소자(151,152,153내지 115')를 가진 표현을 도시한다. 상기 각 센서소자에 대하여 자신의 사전 결정된 주파수(f1,f2,f3내지 fN)가 있다. 문의장치(1,2')는 센서소자(151...15N)를 문의하고 상기 센서 소자로 부터 수신된 측정값 신호를 처리하기 위해 필요한 스위칭 부품부를 포함한다. 하나의 물리적인 변량은 각 개별적인 센서소자(151내지 15N)에 의해 분리적으로 측정될 수 있다.
제7도는 본 발명의 추후 장치를 도시한다. 상기 장치는 수동 신호처리, 예를들어 위상 식별을 가진 계산을 하는 장치이다. 칩 또는 캐리어(30)에는 센서소자(15) 및 기준소자(25)가 장착되었다. 위상 식별기는 11에 의해 표시되고 (유사하게) 캐리어(30)에 장착된다. 안테나는 식별기 신호를 전송한다.
이미 상기에 추가로 기술된, 표면 파 구조 또는 성분의 집적된 함축적인 기준 기능을 포함한 추가의 해결책에 대한 추가의 상세한 설명이, 온도센서의 실시예에서 정확하도록, 이하에 기술된다. 그러나, 이 해결책은 어쨋든 온도 측정에 제한되지 않으며, 힘, 압력값, 빛, 미립자 방사, 습도 및 가스 안정기의 측정에 대하여도 사용될 수 있다. 그러한 물리 변수를 측정하기 위하여 물리적으로 화학적으로 및/또는 생물적으로 활성인 층이 추가로 설치될 수 있고, 그것은 그 부분에 대하여 단일증폭 방식으로 추가로 실행될 수 있다. 그러한 층은 기판표면상의 표면파 장치에 가해질 수 있다.
이미 상술된 바와같이, 이 추가의 해결책의 장치는 마찬가지로 표면파센서 소자 및 수신부, 송신부 및 계산부를 가지는 그 관련된 질문 소자를 포함한다. 처프된 표면파 구조가 센서에 포함된다. 질문신호에 대하여, 그러한 상기 구조는 일정한 전파시간 t를 가질 뿐만 아니라, 그 구조내에 그 질문신호의 주파수에 의존하는 응답위치를 가진다. 전파시간 (전술된 예시된 실시예의 경우에서처럼) 및 이 위치 둘다가 외부의 영향에 의존한다. 즉 이 이유로 인하여 센서에 의해 검출될 수 있고 전파시간에 영향을 끼치는 측정된 변수에 의존한다. 측정된 변수는, 예를들면, 센서의 온도가 있다. 바람직하게 처프된 질문 신호가 그 질문소자에 의해 송신되고 표면파 구조에 의해 수신된다. 이 신호는 한 주파수 극한 값으로부터 다른 주파수 극한 값까지 질문 시간구간동안 소정의 대역폭내에서 변화하는 주파수를 가지는 무선주파수이다. "처프(chirp)" 라는 용어는 Meinke, Gundlach "Taschenbuch der Hoch-frequenztechnik", (무선 주파수 기술의 포켓북), Chapter Q61 및 L68에 공지되어 있다. 제공된 표면파 소자 및 질문신호의 주파수 대역 범위는 매치된다.
제8도는 또다른 실시예의 개략도이다. 송신부(2), 수신부(3) 및 계산부(4)를 가지는 질문소자는 다시 (1)로 표시된다. 여기서 두 질문신호는 동시에, 아니면 차례로 전송되며, 그중 하나는 업처프 신호(증가하는 주파수 변조)이고 나머지 하나는 다운 처프 신호(감소하는 주파수 변조)이다. 이리하여 송신부는, 예를들면, 두 전송 펄스(101 및 102)를 전송시키고, 그 중 하나는 업처프신호이고 다른 하나는 다운 처프 신호이다. 센서(5)는 이들 두개의 처프된 신호를 수신한다. 두 응답신호(103 및 104는 센서(5)에 의해 전송되고 질문 소자(1)의 수신부(3)로 되돌아 간다.
제9a도는 본 이론에 관한 센서(5)의 일 실시예로서, 변환기(121), 안테나(16) 및 두 표면파 반사기 장치를 가지며, 그것은 완전 표면파 장치를 형성하기 위하여 변환기에 배치되고 이 장치 또는 센서(5)의 기판상에 배치된다. 제9a도로부터 도시된 바와같이, 이들은 반사기를 통하여 주파가 대응하여 변화하는 (파장의 폭이 변화하는) 처프된 반사기가 있다. 변환기(121)에 대한 그 장치는 반사기구조(124)의 경우에 그의 고주파끝(다운처프구조)이 변환기(121)와 마주보고, 반사기구조(125)의 경우에 그의 저주파 끝(업 처프구조)이 상기 변환기(121)와 마주보도록 선택된다. 반사기(I24)는 다운처프 신호용 압축기로서 작용하고, 반사기(125)는 업처프 신호용 압축기로서 작용한다.
두 처프된 (협대역) 질문신호들의 (동시) 전송은, 각각 그 분산이 센서의 관련된 반사기 구조에 매치하게 되고, 결과적으로 제9a도에 도시된 바와같이 장치에서는 2개의 시간 압축된 (광대역) 펄스가 표면파 장치의 응답신호로서 변환기(121) 및 안테나(16)를 경유하여 다시 전송된다. 질문 펄스 또는 하나의 비분산 질문신호 또는 신호들로 동작하는 것이 가능하며, 센서 결과로서 전파시간를 이끄는 추가의 신호프로세싱을 동작시키는 것이 또한 가능하다.
반사기구조(124,125)의 반사기 스트립의 처프된 장치가 주어지면, 응답펄스들 사이의 시간구간은 센서의 기판 재료의 표면에서 음파의 전파 속도에 의존한다. 예를들면 기판재료의 온도가 변환하거나 아니면 측정되는 가스로딩 등으로 인하여 상기 두 펄스 변화의 시간구간이 변환한다면, 전파속도가 변화한다. 처프 다운 신호로부터 제조되었던 펄스신호는 처프되지 않은 신호보다 더 짧은 시간에 질문 영역내로 전송된다 (일정한 최소 처프속도부터)·마찬가지로, 처프업 신호로부터 제조된 펄스 신호는 처프되지 않은 신호보다 더 긴 시간에 질문영역에 도달하게 된다.
제9b도는 제9a도에서 처프된 반사기(124 및 125)대신에 처프된 변환기(124a 및 125a)를 포함하는 실시예를 도시한다. 이 변환기(124a 및 125a)는 한 출력으로 연결되어 있다. 그러나 이 세개의 변환기(121, 124a 및 124b)는 입력 및 출력으로 병렬연결되어 사용될 수도 있다.
관련된 수학적 관계가 이하에 상술된다. 전파 시간차 △T, 처프속도 B/T(여기서 T는 처프의 시간에서의 길이와 동일하다)와 양의 처프 속도 B/T를 가지는 서브시스템에 대한 온도 변화 △Θ의 관계는 제10도를 참조로하여 유도된다. 제10도는 온도 Θ 및 더 높은 온도 Θ+△Θ에서 센서(업장치만)의 펄스 응답의 순간 주파수 f를 도시한다. 질문소자(1)는 온도에 독립한 중간주파수 f0에서 질문 신호를 전송하고, 그것은 더 높은 온도 Θ + △Θ 에서 시간차 △t 만큼 더 길다.
제10도에 도시된 주파수/시간 평면에서는, 처프에 독립한 온도 효과가 무시된다. 즉 평균전파시간 t0는 고온에 의하여 연장된다. 만약 이효과가 고려된다면, 센서에서 양의 주파수 변조를 가지는 신호의 전파시간이
으로서 고려되며, 여기서
f0는 중간주파수이고,
Θk는 기판 물질의 온도 계수이고,
to up은 △Θ = O에 대한 평균전파시간이고,
△Θ 는 일정한 소정의 온도 Θ에서의 센서의 온도차이다.
대체 및 인수분해로 부터
를 얻는다.
이 식으로부터인때 처프장치는 처프되지 않은 장치보다 인자 f0/B 만큼, 즉 서로 상대적인 대역폭 만큼 더 큰 시간 전이를 제공한다. 다운 시스템에 대하여도, 업 시스템의 경우에서 처럼 적용된다.
그리고 전체 시스템에 대하여 업 처프 및 다운처프 신호로부터 압축에 의해 제조된 펄스신호의 시간전의 △ttot이로서 이하의 결과가 획득된다 :
일정한 기본 전파시간을 기초로하여, 전체 시스템의 시간 전이는 그 동일한 기본 전파시간의 업 시스템 및 다운시스템에 대하여 자체 상쇄되고, 반면에 그 처프의 효과는 두배가 된다. 시간 차 △ttot이는, 기준온도 Θ가 공지되어 있거나 고정되어 있기 때문에 결과적으로 센서 또는 그의 파 전파속도의 현재온도 Θ+△Θ의 절대값이다. 기준 온도는 센서의 측정범위의 중앙에서의 온도이고 후자가 설치될때 고정된다. 매칭되는 방식으로 크기가 결정된 시간차는 반사기 및 변환기 사이의 각각의 서로 다른 거리에서 존재하고, 그 시간차에 의하여, 그 측정된 변수 △ttot이는 소정의 측정 범위내의 모든 온도에 대해 양의 값으로 설정될 수 있다. 이 (작은) 시간차는 한편으로는 변환기(121) 및 다른 한편으로는 제9a도에서의 반사기(124 및 125) 또는 제9b도에서의 변환기(124a 및 125이 사이에서의 거리(a-b)내에서 그에 대응하여 크기가 결정된 차이에 의하여 구성적으로 달성된다. 그 결과, 질문소자에서 △ttot의 동작 부호를 계산할 필요가 없다.
제1Oa도는 센서의 감도를 개략도로 도시한 것이다. 즉 검출되거나 측정되는 측정 변수에 대한 전파시간 변화의 변수 △t가 분산성의 처프된 구조의 처프속도 T/B의 함수로서 어떻게 변화하는지를도시한다; 증가하는 직선 A은 처프속도 T/B가 증가할때 업처프 구조의 감도가 증가하는 것을 도시한다. 다운처프 구조에 대하여 (초기에) 직선 B에 대응하여 감도가 감소되고, 그것은 영을 통과한 후 음의 값(-△t)을 취하게 되고, 증가하는 처프속도에 대하여 그 값이 증가하게 된다. 업 처프 구조 및 다운처프 구조에 대한 특성곡선이 반대라는 것은 명백하다. 센서내에서 상기의 두 구조에 대한 전체 감도에 대하여 결과적으로 두 응답펄스의 두라인 A 및 사이의 각각의 총 전파(propagation) 시간차이고, 즉, 예를 들면 두점(A1 및 B1) 사이의 거리이다.
제11도는 처프된 질문 신호용의 표면파 장치에 대한 제9a도의 실시예의 변형예를 도시한 것이다. 안테나에 직렬연결된 변환기 (121 및 122)가 그들이 두 트랙에 걸쳐 분포되도록 설치된다. 유사하게, 변환기들은 또한 병렬로 연결된다. 두 트랙에 대응하여 배치된 반사기 구조(124 및 125)는 제9a도에 관하여 언급된 반사기 구조의 구성 및 특성을 가진다. 반사기 구조에 대신하여, 변환기 구조가 제9b도에서 처럼 설치된다.
제12도는 표면파로 동작하는, 본 발명에 따른 추가 개발된 센서의 실시예를 도시한다. 제12도의 장치는, 반사기구조(126)가 변환기(121)의 위치에 대해, 그 구조(126)의 경우에 처프된 반사기의 고주파 단부가 변환기(121)와 마주보고 있으면, 주 두 반사기구조(124 및 126가 변환기(121)(다운처프구조)에 관하여 거울 대칭으로 형성되는 그런 방식으로 배치된다는 점에서 제9a도와 다르다. 제12도(및 제13도)는 다운처프구조 대신에 업처프 구조로 구성될 수 있다. 그러나, 제12도에 따른 반사기 구조의 이 장치의 경우에, 그 반사기들의 거울 대칭 배치로 인하여, 응답 펄스들 사이에 온도에 의존한 시간차가 없으며, 즉 제12도에 따른 장치는 기판의 온도(그위체 배치 기판 파 구조의 온도)가 어떻게 변화하는지 및/또는 음파의 전파시간에 영향을 끼치는 어떤 다른 효과가 어떻게 변화하는지에 독립한 센서와 같다. 제12도의 실시예에서, 나타내어진 표면파 장치는 온도 보상되고, 그리하여 구성면에서 정밀하다. 제12도에 따른 본 발명의 변형예의 이 측면은 다른 물리적, 화학적 및/또는 생물적 변수에 대한 온도에 독립한 측정값들에 대해 매우 유용하게 사용될 수 있다. 온도와는 다른 변수, 예를들면 가스 안정도를 측정하기 위하여, 두 반사기 구조(124, 126)중 하나에 측정되는 가스에 응답하는 층이 형성된다. 상기 코팅된 반사기 구조(예를들면 124)는 그 측정된 변수에 응답하고, 한편 코팅되지 않은채로 남아있는 나머지 다른 반사기 구조(126)는 가스에 의해 영향을 받지않은 채로 남아있다. 여기서 하나의 처프된 (전송) 신호만이 필요하다. 마찬가지로 두 반사기가 동일하게 작용하는 한 하나의 응답 펄스 신호만이 획득되게 된다. 그러나, 만약, 그 반사기 중 하나가 측정된 변수에 의해 영향을 받는다면, 두 개의 응답펄스가 생산되고 그의 시간 구간은 측정된 변수에 대응한다. 반사기 구조(124 및 126) 대신에, 변환기 구조가 또한 사용될 수 있다.
제9b도 및 11도에 따른 센서도 또한, 만약 그 구조(124, 125 또는 124a, 125a)들이 둘다 변환기(121) 또는 두개의 변환기(121 및 122)와 마주보는 고주파 단(다운 처프)과 또는 저주파 단(엎 처프)을 가지는 방식으로 이 구조들(124, 125 또는 124a, 125a) 중의 하나가 "회전" 된다면 제12도에 따른 온도에 독립한 센서가 된다.
소정의 측정변수에 대해 민감하게 제조되거나 또는 그 변수에 준비되도록 제조되는 그 구조(124 또는 125)는 센서 소자로서 유효하다. 준비되지 않은 구조(125 또는 124)는 이 측정된 변수에 대한 기준 성분이다.
변환기(124a 및 126a)를 구비한, 제13도에 따른 센서가 획득되고, 그것은 온도에 독립적이고(그리고 파속도에 영향을 미치는 다른 변수에 독립적이고) 그리고 여기서는 제12도의 경우에서 처럼, 처프된(다운 처프 또는 없처프) 변환기(124a/126a)가 각각 입력/출력변환기(121, 121)과 마주보게 되며, 그것은 여기서 병렬로 연결되게 되며, 또한 직렬로 연결될 수도 있다. 변환기(124a/126a가 출력/입력 변환기로서 사용될 수 있다. 마찬가지로 제13도에서, b와는 다른 거리 a에서 차이가 다시 나타내어진다.
제12도 및 13도에 따른 장치에 대하여, 예를들면, 다운 처프 구조에 대해 매치되는 업 처프 질문 신호를 사용하는 것이 유효하다. 결과적으로, 상술된 압축된 응답펄스가 획득된다.
그러나, 질문 방법의 제2변형예에 따르면, 제12도에 따른 거울대칭 배열된 처프구조를 가지는 센서가 송신기에 의하여 판독될 수 있다. 강력한 짧은 펄스가, 예를들면 처프 범위의 중간 주파수에서, 송신기에 의하여 전송되고, 또는 그 구조에 매치되지 않는 처프신호 및 가능한 한 일정하게 센서의 주파수 범위를 커버하는 스펙트럼이 전송된다. 이 수신된 처프펄스의 엔블로프(envelope)형태는 측정된 변수를 계산할 수 있게 한다. 만약 음파의 동일 전파속도가 기준구조에서 그리고 준비된 센서 구조에서 더 유효하다면, 동일한 주파수의 대칭 반사된 음파 모두는 처프 펄스에서 보강 간섭하는 방식으로 결합되고 그 후자는 시간의 경과시 상수로 남아있는 진폭응답을 가진다. 그러나, 만약 센서구조에서 그리고 기준구조에서 전파속도가 서로 다르다면, 보강 및 상쇄간섭이 처프펄스의 순간주파수의 관통시 번갈아 발생하고 그의 엔블로프는 기준구조에서 파 및 센서구조에서의 속도차에 의존하는 변조를 가진다. 즉, 측정된 변수에 대응하는 변조를 가진다. 예를 들면, 매우 작은 측정 변수는 기울어진 진폭 응답만을 가질 것이다. 다른한편 속도에서의 큰 차는 결과적으로 처프 펄스의 길이 전체에 분포된 복수의 변조주기를 가진다. 즉 라인상의 정재파(standing wave)와 유사하다.
제12도에 따른, 매치되는 방식으로 크기가 결정되고 안테나에 매치되는 장치에서, 음파가 그들의 주파수 특성 전파시간에 대응하는 방식으로 구조(124 및 126)에 의하여 변환기(121)내로, 손실없이 완전히 다시 반사되기 때문에 부수적으로 음에너지가 댐핑 물질의 통내에서 소산될 필요가 없다. 이것은 부수적으로 제12도에 따른, 즉 기준구조 및 센서구조의 병령 2-트랙 배열과 비교하여, 중앙배렬 변환기(121)와 인라인 배열의 부수적인 이점이다.
제12도에 따른 센서의 사용/설계에 대한 추가의 가능성이 제14도에 의해 도시되며, 여기서 처프된 구조, 즉 센서 구조의 무선 펄스 응답이 추가의 각 센서용 인식코드를 포함한다. 이것은 다른 내용에 이미 상술된 바와 같이, 제12도에 따른 센서와 (또는 제13도에 따른 센서와), 간섭을 기초로 한 처프된 확인 테그의 일체적 결합이다. 반사기 구조(127 및 128)는 펄스응답(예를들면, 처프의 대역 하한 fu로부터 중간주파수 fz까지 반사하는)에서 코드를 발생시키는 성분부(127' 및 128')로 그리고 기준 성분부(127") 및 센서 성분부(128')로 구성된다. 예를들면, 센서성분부(128")는 가스 검출기로서 가스 감응층으로 덮인다. 다른 성분부(127",128")는 주파수 fz로 부터 처프의 대역 상한까지 반사한다. 큰 주파수 밴드폭의 펄스로의 질문시, 만약 반사기 구조(127 및 128')가 이 주파수에 대해 거울대칭으로 배치되어 보강간섭에 의해 정밀해진다면, 진폭(1)의 코드비트는 순간주파수 f1로 펄스 응답에서 발생된다. 진폭 0의 코드 비트는, 만약 구조(127' 및 128')에서 반사된 두 음파가 f2근처에서의 위상차로 변환기(121)내에 입사된다면, 주파수 f2에 보강간섭에 의해 제조된다. 즉, f2에 대하여 구조(127' 및 128')는 변환기에 관하여 거울 대칭인 배치에 관하여 음향 파장의 각 경우에 1/4내부 또는 외부로 서로 반대로 치우쳐 배치된다.
만약 주파수 f2에서 두 반사기 구조 성분부(127' 및 128')중의 하나는 위상 변조하지 않고 나머지 하나가 센서에서 음파장을 반으로 하는데 대응하는 충분을 가지는 위상 부호화를 가진다면 동일한 효과가 달성되게 된다(제15도).
뿐만 아니라 제14도의 실시예에서 온도 보상 및 전체 펄스 에너지의 반사의 이점을, 이론상 손실없이 가지게 된다.
만약 복조가 센서의 펄스 응답의 순간 위상에서 질문소자내에 사용된다면, 제15도에 따른 센서가 사용되며, 여기서 전체 기준 처프 구조(129)가 반파장의 증분을 가지는 위상 부호화된 확인을 포함하며, 반면 센서성분부는 제12도에서 구조(125)처럼 구성된다. 기준위상을 획득하기 위하여, 처프를 수반하고 코드위상을 통합하는 위상검출기(Costas 루프)가 사용된다. 이 기준 위상과 구별되는 경우, 그 코딩은 코드 클록에서 발생하는 급속한 위상변화로서 인식될 수 있다. 제12도에 따른 센서의 펄스 질문의 경우에서 마찬가지 방식으로 센서변수는 펄스 응답의 진폭의 2단계 변조를 실행한다. 이 2단계는 0 및 반파장에 의하여 기준 위상 오프셋에 각각 대응한다. 결과적으로, 센서의 이 측정된 변수는 코드클록 1 또는 코드클록 O인 어느하나 동안에 처프펄스를 스캐닝함으로써 획득될 수 있다.
본 발명의 또다른 개선점은 제12도 및 제13도에 대응하는 다운처프 구조를 가지는 표면파 장치로 구성될 수 있다.
그러나, 다운처프 구조만이, 이 추가의 개선점, 즉 제1Oa도로 부터 명백한 바와같이 0을 통한 경로를 가지는 라인(B)에 대응하는 감도를 가지는 구조하에 놓인 기술작용을 나타내는데 사용된다.
제12도 또는 13도에 따른 장치에 대하여, 그 두 구조의 각각에 대한 처프속도 B/T가 정확히 제10a도의 라인 B의 0를 통안 경로값이 되도록 한 그러한 처프된 구조(124 및 126)의 설계를 기술하고 있다. 다른 말로 이것은 방정식(3)의 괄호에서 방정식(3)의 제2항의 승수는 0이 된다. 즉
다운처프 구조에 대하여, 괄호안의 두 표현은 반대로 기능하는 부호를 가지기 때문에, 괄호안의 이 표현의 소정의 처프 속도 B/T에 대하여 실제로 O이 된다. 결과적으로, 여기에서 온도 Θ 로 지시된 측정된 변수에 대한 의존성은 방정식(3)으로 부터 상쇄된다.
두개의 반대의 온도 의존성의 보상을 기초로한, 제12도 및 13도에 관한 일반적인 표현에 비하여, 본 발명의 이 추가의 개선책은, 이론상, 처프속도의 적당한 설정으로 인하여 온도에 독립적인 표면파 장치를 가진다. 이 장치는 마찬가지로 온도에 독립적일 뿐만 아니라, 전파 시간을 변화시키는 다른 외부 영향에 관하여도 불변이다. 이 표면파 장치가 (온도에 독립한)센서로서 사용될 수 있도록 하기 위하여, 그럼에도 불구하고 측정값 감도를 달성하도록 하기 위하여, 추가의 수단이 제공된다. 예를들면, 제12도 및 13도에 관하여 이미 기술된 바와같이, 가스 측정을 위하여, 두 구조(124,126)중의 하나에, 그러한 가스의 작용이 이 하나의 구조에서 표면파 전파시간에 영향을 끼치는 방식으로 이 구조를 각각의 가스에 민감하도록 해주는 코팅층이 형성된다. 그러한 구성으로, (가스와는 별도로) 그 가스의 농도의 검출 및 측정이 온도에 독립하여 그리고 표면파 속도에 영향을 끼치는 다른 외부의 효과에 독립하여 (물론 한계의 범위내에서) 실행될 수 있다.
질문은 매치된 업 처프 전송 신호와 함께 발생하게 되고, 그리하여 압축된 펄스가 응답 신호로서 획득될 수 있다. 만약 질문이 펄스 또는 매치 안된 처프신호, 예를들면 다운 처프 신호등으로 실행된다면, 예를들면 엔블로프가 (상술된 바와같이) 계산되는 더 긴 신호가 획득된다.

Claims (43)

  1. (정정) 송신부(2), 수신부(3) 및 계산부(4)를 가지는 질문소자(1)를 구비한 시스템내에, 표면파구조(15; 124; 127; 25; 125; 126; 128)를 가지며 무선에 의해 질문될 수 있는 수동장치에 있어서, 센서소자로서 제1 표면파구조(15; 124; 127) 및 기준소자로서 제2 표면파구조(25; 125; 126; 128)가 제공되며, 상기 센서소자(15; 125; 127) 및 상기 기준소자(25,125; 126; 128)는 측정되는 변수에 대해 서로 다른 감도를 가지며, 상기 질문소자는, 질문 신호에 의해 발생되는 상기 센서소자(15; 125; 127)의 출력 신호와 상기 기준소자(25,125; 126; 128)의 출력 신호를 비교하여 형성된 측정값을 질문하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  2. (정정) 제1항에 있어서,
    - 상기 센서 기능을 위한 1 이상의 상기 센서소자(15; 15,...15N) 및 -
    - 상기 기준 기능을 위한 상기 기준소자(25)를 포함함을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  3. (정정) 제1항 또는 2항에 있어서,
    - 상기 표면파소자(15,25; 124,125; 124,126)가 공간적으로 결합되도록 배치되고,
    - 상기 질문 소자(1) 및 상기 센서 소자(5) 사이에 무선 전송을 위해 제공된 안테나(16,17)를 포함함을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  4. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 상기 센서소자(15") 및 상가 기준 소자(25")용으로 캐리어(30)상에 배치된 기판들(130, 230)을 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  5. (정정) 제4항에 있어서, 한편으로는 상기 센서소자, 그리고 다른 한편으로는 상기 기준소자용의 서로 다른 압전물질로 된 기판들(130,230)을 포함함을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  6. (정정) 제4항에 있어서, 상기 캐리어(30)상에 최소한 하나의 센서 소자(15), 기준소자(25), 및 수동으로 동작하는 신호처리 소자가 배치되는 것을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  7. (정정) 제1항에 있어서, 상기 기준소자(25)는, 상기 센서소자(15)와는 멀리 이격된 상기 질문소자(1)에 배치됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  8. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 센서 확인을 위한 추가의 표면파 소자가 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  9. (정정) 제8항에 있어서, 상기 센서소자의 표면파 구조내에 통합된 확인기능을 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  10. (정정) 제8항에 있어서, 상기 센서 소자의 표면파 구조내에 추가로 삽입된 확인 구조를 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  11. (정정) 제8항에 있어서, 측정값 신호용의 그리고 확인 신호용으로 서로 다른 주파수(f1, f2)를 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  12. (정정) 제8항에 있어서, 상가 센서소자 및 상기 기준소자가 고정즉으로 상호 할당되며, 상기 기준소자내에 통합되고 삽입된 확인 기능을 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  13. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 상기 질문 소자(1")와 무선통신하는 복수의 센서소자(15,...15N)가 제공되고, 서로 다른 출력신호 주파수(f1...fN)가 개개의 상기 센서소자에 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  14. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 상기 질문소자(1")와 무선통신하는 복수의 센서소자(15, ...15N)가 제공되고, 서로 다른 기본 전파시간들이 상기 센서소자들을 구별하기 위해 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  15. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 위상 구별이 신호 계산용으로 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  16. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 신호 믹싱(mixing)이 신호 계산용으로 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  17. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 전파시간 비교가 신호 계산용으로 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  18. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 주파수 비교가 신호계산용으로 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  19. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 밴드 확산(spreading)이 상기 질문소자(1)내에 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  20. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 펄스 압축되는 매치된 필터는 상기 질문소자(1)내에 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  21. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 표면파 공진기(resonator)(124, 125, 126, 127, 128, 129)가 상기 센서 및 기준소자의 표면파 구조로서 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  22. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 표면파 변환기(124a, 125a, 126a)가 상기 센서 및 기준소자의 표면파 구조로서 제공됨을 특징으로 하는 수동표면파 센서장치.
  23. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 표면파 지연라인이 상기 센서 및 기준소자의 표면파 구조로서 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  24. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 7분산(dispersive) 및 PSK 표면파 지연라인이 상기 센서 및 기준소자의 표면파 구조로서 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  25. (정정) 제1 또는 2항에 있어서, 저손실 필터 표면파 구조(124, 125)가 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  26. (정정) 제1항에 있어서, 상기 센서 소자 및 상기 기준 소자로서, 처프된(chirped) 표면파구조(124, 125; 124, 126; 126, 128; 125, 129)를 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  27. (정정) 제26항에 있어서,(입력) 변환기(들)(121, 121')에 대해 비-거울 대칭 표면파 구조(업처프(up-chirp) 구조 및 다운처프(down-chirp)구조(124, 125)를 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  28. 제26항에 있어서,(입력) 변환기(들)(121, 121')에 대해 거울 대칭인 표면파 구조(업처프 또는 다운처프 구조)(124, 126; 127, 128; 125, 129)를 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  29. (정정) 제26항에 있어서, 상기 처프 구조는 동일한 처프속도 B/T를 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  30. (정정) 제26항에 있어서, 상기 표면파 구조들은(제9도, 11도, 13도) 상기 (입력) 변환기와는 서로 다른(a, b)거리에 배치됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  31. (정정) 제1항에 있어서, 상기 센서소자는 사전 지정된 측정 변수를 위해 준비됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  32. (정정) 제28항에 있어서, 상가 거울대칭인 표면파 구조중 하나는 사전 지정된 측정/검출변수(온도, 가스, …)에 대한 감지용 센서 소자로서 준비됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  33. (정정) 제31항에 있어서, 상기 센서소자는 가스 민감성 코팅층을 가짐을 특징으로 수동 표면파 센서장치.
  34. (정정) 제26항에 있어서, 상기 처프된 표면파 구조(127, 128; 129)는 최소한 성분부에 대하여 추가의 확인코딩이 제공됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  35. (정정) 제34항에 있어서, 상기 코딩된 표면파 구조(127, 128, 129)에서 편이(shift)하는 핑거부(finger)를 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  36. (정정) 제1항에 있어서, 상기 표면파 구조(124, 125; 124, 126; 127, 128; 125, 129)는 직렬 배열로서 구성됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  37. (정정) 제1항에 있어서, 상가 표면파 구조(124a, 125a; 124a, 126a)는 병렬 트랙 방식으로 배열됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  38. (정정) 제26항에 있어서, 표면파 소자는 처프 질문신호로 질문되도록 설계됨을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치.
  39. (정정) 제26항에 있어서, 상기 표면파구조의 처프속도에 매치되는 처프속도(예를들면 다운처프구조용 업처프신호; 그 동일한 처프 속도)를 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치의 동작방법.
  40. (정정) 제26항에 있어서, 짧은 질문 펄스를 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치의 동작방법.
  41. (정정) 제26항에 있어서, 매치되지 않은 처프 질문신호를 가짐을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치의 동작 방법.
  42. (정정) 제40항에 있어서, 상기 신호 응답의 앤블로프(envelope)검출을 가지는 것을 특징으로 하는 수동 표면파 센서장치의 동작방법.
  43. (신설) 제32항에 있어서, 상기 센서소자는 가스 민감성 코팅층을 가짐을 특징으로 수동 표면파 센서장치.
KR1019940702321A 1992-01-03 1992-12-21 수동 표면파 센서 KR100265468B1 (ko)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEP4200076.9 1992-01-03
DE19924200076 DE4200076A1 (de) 1992-01-03 1992-01-03 Passiver oberflaechenwellen-sensor, der drahtlos abfragbar ist
DEP4217049.4 1992-05-22
DE19924217049 DE4217049A1 (de) 1992-05-22 1992-05-22 Passiver Oberflächenwellen-Sensor, der drahtlos abfragbar ist
PCT/DE1992/001075 WO1993013495A1 (de) 1992-01-03 1992-12-21 Passiver oberflächenwellen-sensor, der drahtlos abfrabgar ist

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR940704031A KR940704031A (ko) 1994-12-12
KR100265468B1 true KR100265468B1 (ko) 2000-09-15

Family

ID=25910809

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019940702321A KR100265468B1 (ko) 1992-01-03 1992-12-21 수동 표면파 센서

Country Status (12)

Country Link
US (1) US6144332A (ko)
EP (1) EP0619906B1 (ko)
JP (1) JP3315984B2 (ko)
KR (1) KR100265468B1 (ko)
AT (1) ATE135836T1 (ko)
AU (1) AU662196B2 (ko)
CA (1) CA2127282C (ko)
DE (1) DE59205787D1 (ko)
FI (1) FI943169A0 (ko)
NO (1) NO307808B1 (ko)
RU (1) RU2105993C1 (ko)
WO (1) WO1993013495A1 (ko)

Families Citing this family (173)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4336897C1 (de) * 1993-10-28 1995-03-09 Siemens Ag Identifizierungssystem mit OFW-ID-Tags
DE4405647C2 (de) * 1994-02-22 1999-04-15 Siemens Ag Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitende Identifizierungsmarke
WO1996033423A1 (de) * 1995-04-18 1996-10-24 Siemens Aktiengesellschaft Funkabfragbarer sensor in oberflächenwellentechnik
DE19514342C1 (de) * 1995-04-18 1996-02-22 Siemens Ag Stromwandler, geeignet zur Stromstärkemessung an/in auf Hochspannung liegenden elektrischen Einrichtungen
US7549327B2 (en) * 2001-02-16 2009-06-23 Automotive Technologies International, Inc. Tire-mounted energy generator and monitor
US20070135982A1 (en) * 1995-06-07 2007-06-14 Automotive Technologies International, Inc. Methods for Sensing Weight of an Occupying Item in a Vehicular Seat
WO1997009596A2 (de) * 1995-09-04 1997-03-13 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und sensoreinrichtung zur erfassung von betriebsdaten an bewegten/rotierenden teilen einer vorrichtung, insbesondere eines elektromotors
EP0815469B1 (de) * 1996-01-18 2002-11-06 HERA Rotterdam B.V. Verfahren zum durchführen einer berührungslosen fernabfrage
DE19603461C2 (de) * 1996-01-31 1997-12-18 Siemens Ag Verfahren zur Stellungserfassung eines Schaltgeräts sowie gekapselte Schaltanlage mit einer Einrichtung hierzu
DE59708965D1 (de) * 1996-05-07 2003-01-23 Hera Rotterdam Bv Verfahren zum durchführen einer berührungslosen fernabfrage
EP0901417B1 (de) 1996-05-29 2002-02-27 IQ-Mobil Electronics GmbH Vorrichtung zur drahtlosen übertragung aus bewegten teilen
EP0827105A3 (de) * 1996-08-29 2000-10-25 Siemens Aktiengesellschaft Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitende Identifizierungs- oder Sensoranordnung - OFW-Anordnung
DE19738229A1 (de) 1997-09-02 1999-03-04 Bilz Otto Werkzeug Werkzeug oder Werkzeughalter
DE19749523A1 (de) * 1997-11-08 1999-05-12 Asea Brown Boveri Elektrischer Apparat, insbesondere Überspannungsableiter, mit einer Vorrichtung zur Anzeige eines Fehlerstromes
AT405981B (de) * 1998-07-31 2000-01-25 Hoerbiger Ventilwerke Gmbh Verschleissmonitor
DE19838638C2 (de) * 1998-08-26 2001-07-12 Continental Ag Fahrzeugreifen mit einem Sensor im radial inneren Bereich der Lauffläche oder unterhalb der Lauffläche
IL127699A0 (en) * 1998-12-23 1999-10-28 Bar Dov Aharon Method and device for non contact detection of external electric or magnetic fields
DE19900082C2 (de) * 1999-01-04 2003-09-25 Continental Ag Reibkraftregelsystem und Fahrzeugluftreifen mit Sensor dafür
NO322272B1 (no) 1999-03-26 2006-09-04 Kongsberg Maritime As Sensor og system for overvaking av temperatur inne i vanskelig tilgjengelige, bevegelige deler
DE19913733A1 (de) * 1999-03-26 2000-09-28 Mannesmann Vdo Ag Reifendrucksensor
US6650695B1 (en) * 1999-08-03 2003-11-18 Intel Corporation Wireless digital data transmission from a passive transceiver
US6714121B1 (en) * 1999-08-09 2004-03-30 Micron Technology, Inc. RFID material tracking method and apparatus
DE19942205A1 (de) * 1999-09-03 2001-03-15 Sew Eurodrive Gmbh & Co Steuerverfahren für einen Umrichter zur feldorientierten Regelung eines Elektromotors und Umrichter
DE10010948A1 (de) * 2000-03-06 2001-09-27 Siemens Ag Elektronisches Bauelement enthaltend eine persistente Information, Satz umfassend viele solche Bauelemente, Verfahren zum Verpacken eines solchen Bauelements sowie Verfahren zum Verpacken aller Bauelemente eines entsprechenden Satzes
DE10010846A1 (de) * 2000-03-06 2001-09-20 Siemens Ag Erzeugnis mit einem Sensor und einem Oberflächenwellenelement sowie Verfahren und Anordnung zum Bestimmen einer einem reaktiven Widerstand entsprechenden Meßgröße von einem Sensor
DE10016721C2 (de) * 2000-04-04 2002-03-14 Siemens Ag Oberflächenwellenelement mit mehreren Spuren zur Ausbreitung akustischer Oberflächenwellen
DE10017572B4 (de) * 2000-04-10 2008-04-17 INSTITUT FüR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH Wälzlager mit fernabfragbaren Erfassungseinheiten
DE10018620B4 (de) * 2000-04-14 2009-07-30 First Sensor Technology Gmbh Hochdrucksensor mit Wegaufnehmer
JP4547573B2 (ja) * 2000-04-21 2010-09-22 耕司 戸田 超音波振動変位センサ
DE10024474A1 (de) * 2000-05-18 2001-11-29 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur drahtlosen Positions- und/oder Lagebestimmung wenigstens eines Objektes
US6848295B2 (en) * 2002-04-17 2005-02-01 Wayne State University Acoustic wave sensor apparatus, method and system using wide bandgap materials
US7043129B2 (en) * 2000-06-16 2006-05-09 Wayne State University Wide bandgap semiconductor waveguide structures
CN1604492A (zh) * 2000-07-04 2005-04-06 克里蒂帕斯株式会社 信用卡类发射机应答器
US6760454B1 (en) * 2000-08-04 2004-07-06 Trw Inc. Passive voice-activated microphone and transceiver system
DE10041339C1 (de) * 2000-08-23 2002-01-31 Siemens Ag OFW-Funksensor
DE10047379B4 (de) 2000-09-25 2004-07-15 Siemens Ag Bauelement mit akustisch aktivem Material
DE10047343B4 (de) 2000-09-25 2004-04-15 Siemens Ag Resonatoranordnung
DE10049019A1 (de) * 2000-10-04 2002-05-02 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur drahtlosen Messung wenigstens eines aus einer Drehbewegung eines Objekts, insbesondere Rotors resultierenden Parameters
DE10057670C1 (de) * 2000-11-21 2002-03-14 Siemens Ag Antennenelement
DE10105027C1 (de) * 2001-01-25 2002-08-22 Siemens Ag Verfahren zum Erzeugen eines einen Lagerschaden an einem Achslager angebenden Alarmsignals
US7993197B2 (en) 2001-08-10 2011-08-09 Igt Flexible loyalty points programs
US7946917B2 (en) 2001-08-10 2011-05-24 Igt Flexible loyalty points programs
US8430749B2 (en) 2001-08-10 2013-04-30 Igt Dynamic casino tracking and optimization
EP1421354B1 (de) 2001-08-11 2010-04-07 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Berührungsloses messen von beanspruchungen rotierender teile
AT5042U3 (de) * 2001-10-08 2002-10-25 Avl List Gmbh Messanordnung
US6865949B2 (en) * 2003-01-31 2005-03-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Transducer-based sensor system
US6708881B2 (en) * 2002-01-30 2004-03-23 Rf Saw Components, Inc. Reader for a high information capacity SAW identification tag and method of use thereof
DE10211198A1 (de) * 2002-03-14 2003-09-25 Fag Kugelfischer Ag & Co Kg Oberflächenwellensensor
US20040144927A1 (en) * 2003-01-28 2004-07-29 Auner Gregory W. Microsystems arrays for digital radiation imaging and signal processing and method for making microsystem arrays
US6853075B2 (en) * 2003-01-28 2005-02-08 Wayne State University Self-assembled nanobump array stuctures and a method to fabricate such structures
US8979646B2 (en) * 2002-06-12 2015-03-17 Igt Casino patron tracking and information use
DE10240159B3 (de) * 2002-08-30 2004-07-15 Nolex Ag Reifenluftdruck-Kontrollvorrichtung
US7135806B2 (en) * 2002-10-31 2006-11-14 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Transducer-based sensor system with multiple drive signal variants
EP1573329B1 (en) * 2002-12-09 2008-09-17 Koninklijke Philips Electronics N.V. Biosensor with rf signal transmission
US6813928B2 (en) * 2003-01-31 2004-11-09 Hewlett-Packard Development, L.P. Sensor system and method employing shared transducer elements
JP3972304B2 (ja) * 2003-04-15 2007-09-05 ソニー株式会社 無線通信システムおよび方法、無線通信装置および方法、並びに、プログラム
JP2007516509A (ja) * 2003-06-10 2007-06-21 スミスズ ディテクション インコーポレイティド センサ装置
US7117743B2 (en) * 2003-07-31 2006-10-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Multiple-transducer sensor system and method with selective activation and isolation of individual transducers
CA2539223A1 (en) * 2003-09-15 2005-03-31 Rf Saw Components, Incorporated Saw identification tag discrimination methods
US6978656B2 (en) * 2003-10-31 2005-12-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Transducer-based sensor system and method
US6967428B2 (en) * 2003-12-09 2005-11-22 P. J. Edmonson Ltd. Selectable reflector arrays for SAW sensors and identification devices
DE102004006358B4 (de) * 2004-02-09 2012-11-15 Voith Turbo Gmbh & Co. Kg Themperaturüberwachte hydrodynamische Maschine
TWI240892B (en) * 2004-03-31 2005-10-01 Ind Tech Res Inst Editable radio frequency identification device and system for editing the same
US7265478B2 (en) * 2004-06-04 2007-09-04 Michelin Recherche Et Technique S.A. RF calibration of saw interrogators
RU2270517C1 (ru) * 2004-07-20 2006-02-20 Сергей Александрович Забузов Устройство кодирования на поверхностных акустических волнах для пассивного транспондера
US7205701B2 (en) * 2004-09-03 2007-04-17 Honeywell International Inc. Passive wireless acoustic wave chemical sensor
JP2006108766A (ja) 2004-09-30 2006-04-20 Fuji Xerox Co Ltd 無線応答装置および画像形成装置
US7198981B2 (en) * 2004-10-21 2007-04-03 Honeywell International Inc. Vacuum sealed surface acoustic wave pressure sensor
KR100600807B1 (ko) * 2004-12-04 2006-07-18 주식회사 엠디티 에너지 포집형 표면탄성파 기반의 무전원/무선 센서
JP2006268578A (ja) * 2005-03-24 2006-10-05 Fuji Xerox Co Ltd 情報提供システムおよび画像形成装置
AT501855A1 (de) * 2005-05-09 2006-11-15 Diaplan Elektronic Gmbh Krankenpflegesystem
FR2889375B1 (fr) 2005-07-29 2008-02-15 Temex Sas Soc Par Actions Simp Structure resonnante hybride
US7343804B2 (en) * 2005-11-14 2008-03-18 Honeywell International Inc. Wireless acoustic wave sensor system for use in vehicle applications
US20070137287A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Honeywell International Inc. Acoustic wave particulate sensor
US20070164633A1 (en) * 2006-01-13 2007-07-19 Honeywell International Inc. Quartz SAW sensor based on direct quartz bonding
US7389682B2 (en) * 2006-03-17 2008-06-24 Gm Global Technology Operations, Inc. Method and apparatus for engine torque sensing
JP2007292626A (ja) * 2006-04-26 2007-11-08 Epson Toyocom Corp 液位検出装置
JP4899691B2 (ja) 2006-07-28 2012-03-21 富士ゼロックス株式会社 応答器の真偽判定システム、識別システムおよび質問器
US20080114549A1 (en) * 2006-11-09 2008-05-15 Mark Evan Schafer Rapid response blood analyzer
US7843363B2 (en) * 2007-07-12 2010-11-30 Rosemount Aerospace Inc. Mechanical latch locking detection sensors
US20090039864A1 (en) * 2007-08-06 2009-02-12 Honeywell International, Inc. Wireless corrosion sensor
US20090055205A1 (en) * 2007-08-23 2009-02-26 Igt Multimedia player tracking infrastructure
US7661321B2 (en) * 2007-09-25 2010-02-16 Rosemount Aerospace Inc. Force sensing clevis insert
GB0802727D0 (en) * 2008-02-14 2008-03-26 Isis Innovation Resonant sensor and method
JP5217663B2 (ja) * 2008-06-11 2013-06-19 東京エレクトロン株式会社 被処理体の熱処理装置及び熱処理方法
WO2010102270A1 (en) * 2009-03-06 2010-09-10 Rf Saw, Inc. Radio-frequency surface-acoustic-wave identification tag and system
FR2947321A1 (fr) 2009-06-26 2010-12-31 Schrader Sas Valve integrant un capteur
US8618910B2 (en) * 2009-08-07 2013-12-31 Authentec, Inc. Finger biometric sensor including laterally adjacent piezoelectric transducer layer and associated methods
DE102010008391A1 (de) 2010-02-06 2011-08-11 Silvia 73463 Möller Eingebettetes Sensorsystem
AT510242A1 (de) * 2010-07-28 2012-02-15 Siemens Ag Oesterreich Verfahren zur ansteuerung passiver sensorelemente
JP5397351B2 (ja) * 2010-08-23 2014-01-22 株式会社デンソー 流量検出装置
DE102011106699B4 (de) * 2011-07-06 2022-03-31 Robert Bosch Gmbh Linearbewegungsvorrichtung mit Oberflächenwellensensor und drahtloser Sensorsignalübertragung
JP2012069146A (ja) * 2011-11-10 2012-04-05 Kazuhiro Yamamoto 温度等のセンサ一体型のバーコードリーダ
US9097789B2 (en) * 2012-03-13 2015-08-04 Duke Loi Apparatus and method for electromagnetic wave structure modulation
RU2522886C2 (ru) * 2012-10-26 2014-07-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Многоканальная отражательная линия задержки на поверхностных акустических волнах
EP2735400B1 (en) 2012-11-22 2023-03-01 Sandvik Intellectual Property AB An arrangement for controlling the process of rotary chip removing machining of a workpiece, and a cutting tool for rotary chip removing machining
US9912031B2 (en) 2013-03-07 2018-03-06 Cpg Technologies, Llc Excitation and use of guided surface wave modes on lossy media
US9910144B2 (en) 2013-03-07 2018-03-06 Cpg Technologies, Llc Excitation and use of guided surface wave modes on lossy media
JP2014006922A (ja) * 2013-09-10 2014-01-16 Kazuhiro Yamamoto 温度等のセンサ一体型のバーコードリーダ
RU2556284C1 (ru) * 2014-04-01 2015-07-10 Открытое акционерное общество "Авангард" Чувствительный элемент акселерометра на поверхностных акустических волнах
JP2014238851A (ja) * 2014-07-16 2014-12-18 和浩 山本 温度等のセンサ一体型のバーコードリーダ
US9941566B2 (en) 2014-09-10 2018-04-10 Cpg Technologies, Llc Excitation and use of guided surface wave modes on lossy media
US9893402B2 (en) 2014-09-11 2018-02-13 Cpg Technologies, Llc Superposition of guided surface waves on lossy media
US9859707B2 (en) 2014-09-11 2018-01-02 Cpg Technologies, Llc Simultaneous multifrequency receive circuits
US9960470B2 (en) 2014-09-11 2018-05-01 Cpg Technologies, Llc Site preparation for guided surface wave transmission in a lossy media
US10084223B2 (en) 2014-09-11 2018-09-25 Cpg Technologies, Llc Modulated guided surface waves
US9887557B2 (en) 2014-09-11 2018-02-06 Cpg Technologies, Llc Hierarchical power distribution
US10001553B2 (en) 2014-09-11 2018-06-19 Cpg Technologies, Llc Geolocation with guided surface waves
US10079573B2 (en) 2014-09-11 2018-09-18 Cpg Technologies, Llc Embedding data on a power signal
US10033198B2 (en) 2014-09-11 2018-07-24 Cpg Technologies, Llc Frequency division multiplexing for wireless power providers
US9887556B2 (en) 2014-09-11 2018-02-06 Cpg Technologies, Llc Chemically enhanced isolated capacitance
US10027116B2 (en) 2014-09-11 2018-07-17 Cpg Technologies, Llc Adaptation of polyphase waveguide probes
US10074993B2 (en) 2014-09-11 2018-09-11 Cpg Technologies, Llc Simultaneous transmission and reception of guided surface waves
US10175203B2 (en) 2014-09-11 2019-01-08 Cpg Technologies, Llc Subsurface sensing using guided surface wave modes on lossy media
US10101444B2 (en) 2014-09-11 2018-10-16 Cpg Technologies, Llc Remote surface sensing using guided surface wave modes on lossy media
US9887587B2 (en) 2014-09-11 2018-02-06 Cpg Technologies, Llc Variable frequency receivers for guided surface wave transmissions
US10498393B2 (en) * 2014-09-11 2019-12-03 Cpg Technologies, Llc Guided surface wave powered sensing devices
US9882397B2 (en) 2014-09-11 2018-01-30 Cpg Technologies, Llc Guided surface wave transmission of multiple frequencies in a lossy media
US10193595B2 (en) 2015-06-02 2019-01-29 Cpg Technologies, Llc Excitation and use of guided surface waves
US9923385B2 (en) 2015-06-02 2018-03-20 Cpg Technologies, Llc Excitation and use of guided surface waves
JP2016001496A (ja) * 2015-08-29 2016-01-07 和浩 山本 温度等のセンサ一体型のバーコードリーダ
US9997040B2 (en) 2015-09-08 2018-06-12 Cpg Technologies, Llc Global emergency and disaster transmission
US9887585B2 (en) 2015-09-08 2018-02-06 Cpg Technologies, Llc Changing guided surface wave transmissions to follow load conditions
US9857402B2 (en) 2015-09-08 2018-01-02 CPG Technologies, L.L.C. Measuring and reporting power received from guided surface waves
US9921256B2 (en) 2015-09-08 2018-03-20 Cpg Technologies, Llc Field strength monitoring for optimal performance
EP3347591B1 (en) 2015-09-08 2019-11-13 CPG Technologies, LLC. Long distance transmission of offshore power
US10205326B2 (en) 2015-09-09 2019-02-12 Cpg Technologies, Llc Adaptation of energy consumption node for guided surface wave reception
US10033197B2 (en) 2015-09-09 2018-07-24 Cpg Technologies, Llc Object identification system and method
US10031208B2 (en) 2015-09-09 2018-07-24 Cpg Technologies, Llc Object identification system and method
US10063095B2 (en) 2015-09-09 2018-08-28 CPG Technologies, Inc. Deterring theft in wireless power systems
US9973037B1 (en) 2015-09-09 2018-05-15 Cpg Technologies, Llc Object identification system and method
EP3347969A1 (en) 2015-09-09 2018-07-18 CPG Technologies, LLC Guided surface waveguide probes
MA42077B1 (fr) 2015-09-09 2019-10-31 Cpg Technologies Llc Dispositifs médicaux internes électriques avec ondes de surface guidée
US9887558B2 (en) 2015-09-09 2018-02-06 Cpg Technologies, Llc Wired and wireless power distribution coexistence
US10027131B2 (en) 2015-09-09 2018-07-17 CPG Technologies, Inc. Classification of transmission
EP3345276B1 (en) 2015-09-09 2019-10-09 CPG Technologies, LLC Load shedding in a guided surface wave power delivery system
US9885742B2 (en) 2015-09-09 2018-02-06 Cpg Technologies, Llc Detecting unauthorized consumption of electrical energy
US9916485B1 (en) 2015-09-09 2018-03-13 Cpg Technologies, Llc Method of managing objects using an electromagnetic guided surface waves over a terrestrial medium
US9882436B2 (en) 2015-09-09 2018-01-30 Cpg Technologies, Llc Return coupled wireless power transmission
US9496921B1 (en) 2015-09-09 2016-11-15 Cpg Technologies Hybrid guided surface wave communication
US10062944B2 (en) 2015-09-09 2018-08-28 CPG Technologies, Inc. Guided surface waveguide probes
US9927477B1 (en) 2015-09-09 2018-03-27 Cpg Technologies, Llc Object identification system and method
US10498006B2 (en) 2015-09-10 2019-12-03 Cpg Technologies, Llc Guided surface wave transmissions that illuminate defined regions
US10193229B2 (en) 2015-09-10 2019-01-29 Cpg Technologies, Llc Magnetic coils having cores with high magnetic permeability
US10103452B2 (en) 2015-09-10 2018-10-16 Cpg Technologies, Llc Hybrid phased array transmission
US10396566B2 (en) 2015-09-10 2019-08-27 Cpg Technologies, Llc Geolocation using guided surface waves
US10408916B2 (en) 2015-09-10 2019-09-10 Cpg Technologies, Llc Geolocation using guided surface waves
US10408915B2 (en) 2015-09-10 2019-09-10 Cpg Technologies, Llc Geolocation using guided surface waves
US10601099B2 (en) 2015-09-10 2020-03-24 Cpg Technologies, Llc Mobile guided surface waveguide probes and receivers
CA2997733A1 (en) 2015-09-10 2017-03-16 Cpg Technologies, Llc. Global time synchronization using a guided surface wave
US10324163B2 (en) 2015-09-10 2019-06-18 Cpg Technologies, Llc Geolocation using guided surface waves
US10559893B1 (en) 2015-09-10 2020-02-11 Cpg Technologies, Llc Pulse protection circuits to deter theft
EA201890682A1 (ru) 2015-09-10 2018-08-31 СиПиДжи ТЕКНОЛОДЖИЗ, ЭлЭлСи Определение географического местоположения с использованием направляемых поверхностных волн
US10312747B2 (en) 2015-09-10 2019-06-04 Cpg Technologies, Llc Authentication to enable/disable guided surface wave receive equipment
CN108352729A (zh) 2015-09-11 2018-07-31 Cpg技术有限责任公司 全局电功率倍增
KR20180051604A (ko) 2015-09-11 2018-05-16 씨피지 테크놀로지스, 엘엘씨. 강화된 유도 표면 도파로 프로브
DE102015117712A1 (de) 2015-10-16 2017-04-20 Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg Bildgebende Polarimetrie
JP2017021051A (ja) * 2016-10-03 2017-01-26 和浩 山本 温度等のセンサ一体型のバーコードリーダ
US10630111B2 (en) 2017-03-07 2020-04-21 Cpg Technologies, Llc Adjustment of guided surface waveguide probe operation
US10559867B2 (en) 2017-03-07 2020-02-11 Cpg Technologies, Llc Minimizing atmospheric discharge within a guided surface waveguide probe
US10581492B1 (en) 2017-03-07 2020-03-03 Cpg Technologies, Llc Heat management around a phase delay coil in a probe
US20200190192A1 (en) 2017-03-07 2020-06-18 Sutro Biopharma, Inc. Pd-1/tim-3 bi-specific antibodies, compositions thereof, and methods of making and using the same
US10559866B2 (en) 2017-03-07 2020-02-11 Cpg Technologies, Inc Measuring operational parameters at the guided surface waveguide probe
US10560147B1 (en) 2017-03-07 2020-02-11 Cpg Technologies, Llc Guided surface waveguide probe control system
JP2017207515A (ja) * 2017-08-07 2017-11-24 和浩 山本 温度等のセンサ一体型のバーコードリーダ
WO2020022925A1 (ru) * 2018-07-27 2020-01-30 Научно-Технический Центр "Радиотехнических Устройств И Систем" С Ограниченной Ответственностью Пассивный беспроводный датчик магнитного поля на поверхностных акустических волнах
FR3085757A1 (fr) * 2018-09-06 2020-03-13 Universite De Franche Comte Detection fine de deformations dans un materiau a surveiller
JP2019061691A (ja) * 2018-11-12 2019-04-18 和浩 山本 温度等のセンサ一体型のバーコードリーダ
US11805396B2 (en) 2019-03-27 2023-10-31 Analog Devices, Inc. Coherent summation in wireless sensor platforms
US11754669B2 (en) * 2019-09-30 2023-09-12 Qualcomm Incorporated Radar coordination for multi-radar coexistence
JP2020126665A (ja) * 2020-04-10 2020-08-20 和浩 山本 温度等のセンサ一体型のバーコードリーダ
US11693107B2 (en) * 2020-09-29 2023-07-04 Steradian Semiconductors Private Limited System, device and method for efficient MIMO radar
CN113608205B (zh) * 2021-06-25 2024-04-09 西安空间无线电技术研究所 一种超高精度地外天体微波着陆雷达测距测速方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4734698A (en) * 1985-10-31 1988-03-29 X-Cyte, Inc. Passive interrogator label system having offset compensation and temperature compensation for a surface acoustic wave transponder

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3273146A (en) * 1964-08-07 1966-09-13 Gen Electric Object identifying apparatus
US4265124A (en) * 1979-06-04 1981-05-05 Rockwell International Corporation Remote acoustic wave sensors
US4725841A (en) * 1983-06-30 1988-02-16 X-Cyte, Inc. System for interrogating a passive transponder carrying phase-encoded information
US4620191A (en) * 1983-06-30 1986-10-28 Halvor Skeie Surface acoustic wave passive transponder having parallel acoustic wave paths
AU565454B2 (en) * 1984-10-09 1987-09-17 X-Cyte Inc. Saw transponder
US5130257A (en) * 1988-09-29 1992-07-14 Hewlett-Packard Company Chemical sensor utilizing a surface transverse wave device
US4951057A (en) * 1989-11-13 1990-08-21 X-Cyte, Inc. Inductive input/output coupling for a surface acoustic wave device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4734698A (en) * 1985-10-31 1988-03-29 X-Cyte, Inc. Passive interrogator label system having offset compensation and temperature compensation for a surface acoustic wave transponder

Also Published As

Publication number Publication date
NO942462D0 (no) 1994-06-29
US6144332A (en) 2000-11-07
JPH07502613A (ja) 1995-03-16
ATE135836T1 (de) 1996-04-15
FI943169A (fi) 1994-07-01
CA2127282A1 (en) 1993-07-08
NO942462L (no) 1994-09-02
CA2127282C (en) 2004-05-18
FI943169A0 (fi) 1994-07-01
EP0619906B1 (de) 1996-03-20
EP0619906A1 (de) 1994-10-19
RU2105993C1 (ru) 1998-02-27
WO1993013495A1 (de) 1993-07-08
JP3315984B2 (ja) 2002-08-19
AU3253793A (en) 1993-07-28
AU662196B2 (en) 1995-08-24
DE59205787D1 (de) 1996-04-25
KR940704031A (ko) 1994-12-12
NO307808B1 (no) 2000-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100265468B1 (ko) 수동 표면파 센서
US7434989B2 (en) SAW temperature sensor and system
Reindl et al. Wireless measurement of temperature using surface acoustic waves sensors
Plessky et al. Review on SAW RFID tags
RU2158936C2 (ru) Идентификационная метка, работающая с поверхностными акустическими волнами
US5821425A (en) Remote sensing of structural integrity using a surface acoustic wave sensor
US6084503A (en) Radio-interrogated surface-wave technology sensor
JPH0137797B2 (ko)
US20020130587A1 (en) Method and device for non-contact detection of external electric or magnetic fields
US20020121988A1 (en) Apparatus and method for interrogating a passive sensor
US20030231107A1 (en) Dual track surface acoustic wave RFID/sensor
US20030144010A1 (en) Method and apparatus for determining wirelessly the position and/or orientation of an object
Fachberger et al. Wireless SAW based high-temperature measurement systems
Kalinin Passive wireless strain and temperature sensors based on SAW devices
RU2387051C1 (ru) Датчик физической величины на поверхностных акустических волнах
Schmidt et al. Remote sensing of physical parameters by means of passive surface acoustic wave devices (“ID-TAG”)
GB2165411A (en) Surface acoustic wave passive transponder having amplitude and phase-modifying surface pads
Steindl et al. SAW delay lines for wirelessly requestable conventional sensors
Dong et al. A multi-resolution passive SAW chemical sensor
Reindl et al. Wireless remote identification and sensing with SAW devices
Seifert et al. Wirelessly interrogable acoustic sensors
Reindl et al. High precision wireless measurement of temperature by using surface acoustic waves sensors
JPS6338652B2 (ko)
Wei et al. Surface acoustic wave based radio frequency identification tags
RU2756413C1 (ru) Способ и устройство мониторинга температуры на основе пассивных линий задержки на поверхностных акустических волнах с функцией антиколлизии

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20060519

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee