KR100263417B1 - 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치에 관한 것으로, 상하 슬라이드 조절가능한 제 2실린더 내부에 장착되는 주 샤프트를 2중 웜 기어 방식을 채택하여 회전운동을 직선운동으로 바꿔 높이 조절을 할 수 있게 함으로써, 상하로 움직이는 높이를 미세하게 조절할 수 있게 되어 표준 밀도구에 가해지는 충격량을 현저하게 줄여 정밀측정을 할 수 있고, 또한 직경이 다른 표준 밀도구를 측정시 별도로 높이 조절용 아답터를 사용하지 않고도 높이 조절을 용이하게 할 수 있는 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치를 제공하는데 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 각도판의 중앙에 관통되어 돌출되도록 고정된 제 1실린더 내부에서 상하로 움직이는 제 2실린더와, 이 실린더 내부에 길이방향으로 움직이면서 별도로 제자리 회전을 할 수 있도록 설치된 주 샤프트를 갖는 회전장치를 포함하는 통상의 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치에 있어서, 상기 주 샤프트는 하부 일부 구간에 기어부를 갖는 동시에 각도판의 지지브라켓에 제자리 회전가능하도록 장착된 웜 휠의 중앙에 삽입관통되어 슬라이드 가능하고, 이 웜 휠은 다시 또 다른 웜 기어에 치합되어 2중의 웜 기어 방식으로 상기 주 샤프트가 상하로 움직이도록 구성한 것이다.
Description
본 발명은 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 2중 웜 기어를 이용하여 회전장치의 주 샤프트가 상하로 움직이게 함으로써, 상하 이동 거리를 미세하게 움직일 수 있게 되어 높이 조절에 따른 정밀도를 높일 수 있는 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치에 관한 것이다.
통상의 단결정체로 제작된 실리콘 구는 밀도표준기를 이용하여 평균 직경을 정밀하게 측정하게 되는데, 이 표준 밀도구의 정밀측정은 간섭장치를 이용한 비접촉방식으로 측정하게 된다.
특히, 이 정밀 측정장치는 표준 밀도구의 직경을 측정하기 위해 여러방향에서 등간격으로 직경을 측정할 수 있도록 회전장치(통상 "rotating system"이라 함)가 구비되어 있다.
상기 회전장치는, 첨부도면 1과 2에서 도시한 바와 같이, 상단이 콘 형태로 성형된 제 1실린더(11)가 관통되어 고정된 각도판(10)과, 이 제 1실린더(11)의 내부에서 상하로 움직이는 제 2실린더(12) 및 이 실린더 내부에 설치되어 제자리 회전과 독립적으로 상하 슬라이드 가능한 주 샤프트(20)를 포함하는 작동수단으로 이루어져 있다.
상기 제 2실린더(12)의 밀폐된 하단 일측에는 아랫쪽으로 보조 샤프트(25)가 돌출되도록 고정되어 있으며, 이 보조 샤프트(25)에는 제 1상하 이송부(14)가 치합되어 있다.
여기서, 상기 제 1상하 이송부(14)는 각도판(10)의 하부에 고정된 지지브라켓(13a)에 작동축의 지지를 받아 회전가능하도록 설치된 피니언(14a)과, 상기 보조 샤프트(25)의 외주에 이 피니언과 치합할 수 있도록 길이방향으로 형성된 랙(14b)으로 이루어져 있다.
또한, 상기 제 2실린더(12) 내부에는 상부에 표준 밀도구(40)를 지지하는 롤러부(23)를 갖춘 주 샤프트(20)가 상하로 움직일 수 있도록 설치되어 있으며, 특히 이 제 2실린더(12)는 상기 지지브라켓(13a)의 아랫쪽에 장착된 회전부(50)에 치합되어 있다.
상기 회전부(50)는 주 샤프트(20)의 하단에 삽입되어 슬라이드가능한 작동축(20a)의 하단에 구비된 베벨기어(24a)와, 상기 지지브라켓(13a)의 아랫쪽으로 연장되어 고정된 다른 지지브라켓(13b)에 작동축으로 회전지지를 받는 베벨기어(24b)로 구성되어 있다.
상기 주 샤프트(20)의 상단에는 실리콘 구(40)를 지지할 수 있도록 롤러부(23)가 구비되어 있으며, 하단에는 이 작동축(20a)이 제자리에서 회전함에 따라 상하로 움직일 수 있도록 상술한 것과 같이 작동축(20a)에 삽입되어 있다.
특히, 상기 주 샤프트(20)는 제 2실린더(12) 하부 중앙에 길이방향으로 슬라이드 가능하도록 설치되어 있으며, 그 하부 측면에는 상하 높이를 조절할 수 있도록 제 2상하 이송부(26)가 갖추어져 있다.
상기 제 2상하 이송부(26)는 장공(28)이 형성되어 있으면서 주 샤프트(20)의 하단 측면에 고정된 작동브라켓(29)과, 상기 지지브라켓(13b)에 자체 회전가능하도록 설치되어 있으면서 장공(28)에 끼워지도록 편심된 위치에 작동핀(27a)을 갖는 캠(27)으로 이루어져 있다.
이와 같이 이루어진 제 2상하 이송부(26)는 상기 캠(27)이 제자리 회전을 하게 되면 작동핀(27a)이 같이 장공을 따라 움직이면서 회전을 하게 되고, 이에 따라 상기 주 샤프트(20)가 상하로 움직이게 된다.
그러나, 기존의 회전장치는 실리콘 구의 미세 조절을 위하여 주 샤프트를 상하로 움직여주는 제 2상하 이송부가 편심을 이용한 캠 방식을 채택하고 있어서, 표준 밀도구의 크기나 롤러부의 가공 오차에 대하여 미세하게 오차 조절을 할 수 없고, 원격조절시 캠이 직접 주 샤프트를 상하로 움직여주기 때문에 그 충격 등으로 정밀하게 높이 조절을 할 수 없게 되어 표준 밀도구의 위치를 정확하게 파악하지 못하게 되는 문제가 발생하게 되었다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 안출한 것으로, 상하 슬라이드 조절가능한 제 2실린더 내부에 장착되는 주 샤프트를 2중 웜 기어 방식을 채택하여 회전운동을 직선운동으로 바꿔 높이 조절을 할 수 있게 함으로써, 상하로 움직이는 높이를 미세하게 조절할 수 있게 되어 표준 밀도구에 가해지는 충격량을 현저하게 줄여 정밀측정을 할 수 있고, 또한 직경이 다른 표준 밀도구를 측정시 별도로 높이 조절용 아답터를 사용하지 않고도 높이 조절을 용이하게 할 수 있는 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치를 제공하는데 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 각도판의 중앙에 관통되어 돌출되도록 고정된 제 1실린더 내부에서 상하로 움직이는 제 2실린더와, 이 실린더 내부에 길이방향으로 움직이면서 별도로 제자리 회전을 할 수 있도록 설치된 주 샤프트를 갖는 회전장치를 포함하는 통상의 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치에 있어서, 상기 주 샤프트는 하부 일부 구간에 기어부를 갖는 동시에 각도판의 지지브라켓에 제자리 회전가능하도록 장착된 웜 휠의 중앙에 삽입관통되어 슬라이드 가능하고, 이 웜 휠은 다시 또 다른 웜 기어에 치합되어 2중의 웜 기어 방식으로 상기 주 샤프트가 상하로 움직이도록 구성한 것이다.
도 1은 종래 표준밀도구의 미세조절 장치의 구성을 나타내는 단면사시도,
도 2는 도 1에서 미세조절 장치에 장착된 회전장치를 A방향에서 본 정면도,
도 3a는 본 발명에 따른 표준밀도구의 미세조절 장치의 회전장치를 나타내는 정단면도,
도 3b는 본 발명에 따른 표준밀도구의 미세조절 장치의 회전장치를 나타내는 측단면도,
도 4a는 본 발명에 따른 높이조절 장치의 작동전 상태를 나타내는 단면도,
도 4b는 본 발명에 따른 높이조절 장치의 회전상태를 나타내는 단면도,
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 각도판 11 : 제 1실린더
12 : 제 2실린더 13a, 13b : 지지브라켓
14 : 제 1상하 이송부 14a : 피니언
14b : 랙 20 : 주 샤프트
20a : 작동축 21 : 슬라이드 실린더
21a, 21b : 기어부 22 : 웜 휠
23 : 롤러부 24a, 24b : 베벨기어
25 : 보조 샤프트 26 : 제 2상하 이송부
27 : 캠 27a : 작동핀
28, 32 : 장공 29 : 작동브라켓
30 : 웜 기어 31 : 걸림환
33 : 제한돌기 40 : 실린더 구
50 : 회전부
이하, 첨부도면을 참고하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
첨부도면 3a와 3b는 본 발명에 따른 표준밀도구의 미세조절 장치의 회전장치를 나타내는 정단면도와 측단면도이고, 도면부호 10은 각도판을, 20은 주 샤프트를 각각 나타낸다.
본 발명은 소정의 크기를 갖는 각도판(10)의 중앙에 고정된 제 1실린더(11) 내부에서 기존의 제 1상하 이송부(14)에 결합되어 상하로 움직이는 제 2실린더(12)와, 이 실린더의 내부에 통상의 제 2상하 이송부(26) 및 회전부(50)에 결합되어 상하로 미세한 높이와 제자리 회전가능하도록 구성된 주 샤프트(20)를 포함하는 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치의 회전장치에 있어서, 상기 주 샤프트(20)는 기존 제 2상하 이송부(26)의 캠 방식을 대신하여 2중 웜 기어 방식으로 상하 이송 길이를 미세하게 움직일 수 있게 함으로써, 상기 주 샤프트(20)가 길이방향으로 움직임에 따라 실리콘 구(40)에 가해지는 충격을 줄일 수 있고, 또한 웜기어의 회전운동을 직선운동으로 바꾸어 주는 과정에서 주 샤프트(20)가 움직이는 높이를 더욱 미세하게 조절할 수 있게 되어 높이조절에 따른 정밀측정을 할 수 있게 한 것이다.
상기 제 2실린더(12)의 안쪽에는 기존의 보조 샤프트(25)가 고정되어 있는 위치의 바로 옆 즉, 하단 중앙부에 슬라이드 실린더(21)가 배치되어 있으며, 이 슬라이드 실린더(21) 내부에는 상기 주 샤프트(20)가 삽입되어 길이방향으로 움직일 수 있도록 되어 있다.
특히, 상기 슬라이드 실린더(21)의 외주면에는 일정 구간에 걸쳐 기어부(21a)가 형성되어 있으며, 이 기어부(21a)는 후술하는 웜 휠(22)의 중심에 관통성형되어 있는 기어부(21b)와 치합되어 이 웜 휠(22)의 제자리 회전을 함에 따라 주 샤프트(20)를 위아래로 움직여주게 된다.
상기 웜 휠(22)은 이미 알려진 기술로 제작된 것을 사용하게 되는데, 그 중심이 상기 주 샤프트(20)의 축 중심을 지나면서 제자리 회전가능하도록 각도판(10) 하부에 고정된 지지브라켓(13a)에 설치되어 있다.
또한, 상기 주 샤프트(20)에는 슬라이드 실린더(21) 윗쪽에 위치하도록 걸림환(31)이 고정되어 있으며, 이 걸림환(31)은 상기 슬라이드 실린더(21)가 위로 올라감에 따라 주 샤프트(20)를 위로 끌어 올리는 기능을 하게 된다.
따라서, 상기 주 샤프트(20)는 기존 회전부(50)가 회전을 하게 되면 작동축(20a)과의 결합이 풀리거나 잠기면서 제자리 회전을 하게 되고, 그리고 상기 웜 휠(22)이 회전을 하게 되면 슬라이드 실린더(21)에 의해 위아래로 움직임이 가능하게 된다.
한편, 상기 지지브라켓(13b)에는 이 웜 휠(22)의 외주면에 치합되도록 웜 기어(30)가 설치되어 있으며, 이 웜 기어(30)를 선택적으로 회전시킴에 따라 여기에 순차적으로 치합된 웜 휠(22)과 슬라이드 실린더(21)를 움직여서 결과적으로 주 샤프트(20)의 높이를 조절해 주게 된다.
이때, 상기 주 샤프트(20)는 작동축(20a)과 슬라이드 방식으로 삽입되어 길이방향으로 신축작용을 하게 되는데, 이러한 작용을 유도하기 위해 상기 작동축(20a)에는 제한돌기(33)가 형성되어 있으며, 또한 상기 작동축(20a)이 끼워지는 주 샤프트(20)의 하부에는 이 제한돌기(33)가 삽입되어 길이방향으로 움직일 수 있도록 장공(32)이 형성되어 상하 높이 조절시 간섭을 없애주게 된다.
본 발명의 바람직한 구현예에서, 상기 웜 기어(30)의 작동축은 도면에서는 도시하지 않았지만 기존 이송부 및 회전부와 같이 구동모터와 같은 작동수단의 구동축에 연결하여, 이 작동수단을 제어함으로써 수동이나 자동 또는 겸용으로 사용할 수도 있다.
이하, 본 발명에 따른 회전장치의 작동상태를 나타내는 첨부도면 4a와 4b를 참조하여 작동과정을 살펴보면 다음과 같다.
본 발명의 회전장치가 작동하기 전 상태인 첨부도면 4a에서, 제자리 회전을 하는 과정을 살펴보면 먼저, 미도시된 제어기를 이용하여 웜 기어(30)의 작동축을 구동시키게 된다.
이에 따라, 상기 웜 기어(30)에 치합된 웜 휠(22)이 제자리 회전을 하게 되고, 이 웜 휠(22)의 회전으로 상기 기어부(21a,21b)의 체결이 풀리면서 슬라이드 실린더(21)가 위로 움직이게 된다.
이때, 상기 슬라이드 실린더(21)는 제 2실린더(12)에 일체로 고정되어 있기 때문에, 상기 기어부(21a)가 회전하게 되면 회전량에 비례하여 상하로 움직이는 길이가 다라지게 된다.
이렇게 상기 슬라이드 실린더(21)가 위로 올라가게 되면 이 슬라이드 실린더는 걸림환(31)을 위로 밀어 올리게 되고, 이에 따라 상기 걸림환(31)이 고정된 주 샤프트(20)가 같이 움직이면서 첨부도면 4b와 같은 상태가 된다.
여기서, 상기 주 샤프트(20)는 길이방향으로만 신축이 이루어지도록 하기 위한 방법으로서, 상기 주 샤프트(20)와 작동축(20a)에 형성되어 회전간섭을 유도하는 장공(32)과 제한돌기(33)를 이용하게 된다.
즉, 상기 제한돌기(33)는 주 샤프트(20)가 상술한 것과 같이 위 또는 아래로 움직이게 되면 장공(32)을 따라 상대적으로 위아래로만 움직이면서 주 샤프트(20)가 제자리 회전하는 것을 막아주고, 상기 회전부(50)의 작동시에는 이 장공(32)의 양측면에 간섭되어 주 샤프트(20)를 회전시켜주게 되는 것이다.
따라서, 상기 주 샤프트(20)는 슬라이드 실린더(21) 내에서 길이방향으로 위 또는 아래로 움직이게 되며, 이때 상기 웜 기어(30)의 회전량을 웜 휠(22)과 다른 기어부(21)의 회전을 이용한 2중 웜 기어 방식으로 높이 조절이 이루어지게 되어, 실제 이 웜 기어(30)의 회전량에 비하여 위/아래로 움직이는 길이가 상대적으로 작게 하여 아주 미세한 길이도 조절할 수 있게 되는 것이다.
이상에서 본 바와 같이 본 발명은 실리콘 구의 높이를 조절해주는 미세조절장치의 회전장치를 구성하는 주 샤프트가 2중 웜 기어 방식으로 상하 슬라이드되는 높이를 조절할 수 있게 함으로써, 주 샤프트의 이동거리를 미세하게 조절할 수 있게 되어 장치 가동시 실리콘 구에 가해지는 충격량을 줄일 수 있고, 또한 크기가 다른 실리콘 구의 측정시 별도의 높이 조절용 아답터를 사용하지 않고도 정밀측정을 할 수 있는 효과가 있다.
Claims (1)
- 각도판(10)의 중앙에 관통되어 돌출되도록 고정된 제 1실린더(11) 내부에서 상하로 움직이는 제 2실린더(12)와, 이 실린더 내부에 길이방향으로 움직이면서 별도로 제자리 회전을 할 수 있도록 설치된 주 샤프트(20)를 갖는 회전장치를 포함하는 통상의 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치에 있어서,상기 주 샤프트(20)에는 외부를 감싸는 형태가 되도록 일체로 고정된 걸림환(31)과, 이 걸림환 아래에 삽입되어 제 2실린더(12)와 일체로 움직이는 슬라이드 실린더(21)가 갖추어져서 길이방향으로 이동가능하도록 설치되고,상기 작동축(20a)에는 상부에 제한돌기(33)가 일체로 돌출되어 주 샤프트(20)의 길이방향으로 형성된 장공(32)에 삽입되어 길이방향으로 신축가능하도록 구성되어 있되,상기 슬라이드 실린더(21)는 바깥쪽에 기어부(21a)가 형성되어 각도판(10)의 지지브라켓(13a)에 제자리 회전가능하도록 장착된 웜 휠(22)의 안쪽 기어부(21b)에 치합되고, 이 웜 휠(22)은 다시 외부 구동수단으로 구동되는 웜 기어(30)에 치합되어 연동가능하도록 구성한 것을 특징으로 하는 실리콘 구의 절대측정용 미세조절 장치.
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- 1998-05-25 KR KR1019980018904A patent/KR100263417B1/ko not_active IP Right Cessation
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