KR100261441B1 - Process for plating iron-nickel substrate for improved corrosion resistance and flexibility - Google Patents

Process for plating iron-nickel substrate for improved corrosion resistance and flexibility Download PDF

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Abstract

PURPOSE: A four layer plating method is provided to obtain a plating layer which does not have almost no hydrogen brittleness and hair crack, and is flexible, particularly superior corrosion resistance on an Fe-Ni alloy material. CONSTITUTION: In a method for plating a palladium plating layer or a palladium alloy plating layer on an Fe-Ni alloy material, the plating method for improving corrosion resistance and crack resistance of an Fe-Ni alloy material comprises the processes of first substrate plating before plating a palladium layer or palladium alloy layer on a material to be plated so that a tin plating layer, a tin-lead alloy plating layer or a tin-bismuth alloy plating layer is formed on the material to be plated; second substrate plating thereon so that a copper plating layer or a copper-bismuth alloy plating layer is formed; and third substrate plating thereon so that a nickel plating layer is formed, wherein the material to be plated of the Fe-Ni alloy material is a semiconductor lead frame, and the palladium alloy layer is formed of an alloy selected from the group consisting of palladium-gold, palladium-silver and palladium-bismuth.

Description

철-니켈 합금 소재의 내식성 및 내균열성 향상을 위한 도금 방법Plating method to improve corrosion and crack resistance of iron-nickel alloy

본 발명은 철-러켈 합금 소재의 내식성 및 내균열성 향상을 위한 도금 방법에 관한 것으로서, 특히 철-니켈 합금 소재로 된 반도체 리드프레임(Lead Frame)에 사용할 수 있는 4 층 도금 방법에 관한 것이다BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plating method for improving the corrosion resistance and crack resistance of an iron-rock alloy material, and more particularly, to a four-layer plating method that can be used for a semiconductor lead frame made of an iron-nickel alloy material.

일반적으로 반도체 리드프레임에는 동합금으로 된 소재를 많이 사용해 왔으나, 여러 가지 특성을 고려해서 보다 효율성이 큰 철-니켈 합금 소재를 점점 더 많이 사용하고 있는 추세이다. 동 합금 소재의 반도체 리드프레임 제작 시에는 주로 스탬핑(stamping) 공정을 사용하였으나, 철-니켈 합금 소재는 소재 자체가 동합금 소재보다는 매우 단단하기 때문에 스탬핑 제작 공정으로는 다리(Lead) 등이 휘어지거나 끊어지는 문제점이 있고, 따라서 조밀하고 미세한 리드프레임을 만들수 없는 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 에칭(etching) 공정이 개발되어 사용되고 있다.In general, semiconductor lead frames have been made of copper alloy materials, but more and more iron-nickel alloy materials are being used in consideration of various characteristics. Stamping process was mainly used when manufacturing semiconductor lead frame made of copper alloy material. However, iron-nickel alloy material is harder than copper alloy material. There is a problem of losing, and thus there is a problem that can not make a compact and fine lead frame. In order to solve this problem, an etching process has been developed and used.

한편, 종래에는 반도체 리드프레임에 주로 은 도금 후 주석-납 합금 도금을 해 왔는데, 어느 일정 수준의 특성, 예를 들면 내식성, 납땜성 등을 얻기 위하여 다른 도금에 비해 비교적 두꺼운 도금을 해왔다.그러나 반도체가 하이 리드(high Lead), 즉 고용량화될수록 다리 사이가 매우 미세해져 두꺼운 도금을 할 경우 서로 맞붙는 현상이 나타난다. 이러한 문제점들을 극복하기 위하여 매우 얇은 도금층, 즉 박막으로서도 우수한 내식성 및 납땜성과 같은 특성을 나타내는 도금충을 얻기 위한 많은 연구가 수행되었다. 그 대표적인 방법이 팔라듐 도금, 팔라듐 합금 도금 또는 금 도금을 하는 것이다.On the other hand, conventionally, the semiconductor lead frame is mainly silver-plated and then tin-lead alloy plating, and has been relatively thick compared to other platings in order to obtain a certain level of characteristics, for example, corrosion resistance and solderability. The higher the lead (higher capacity), that is, the higher the capacity between the legs becomes very fine, when the thick plating is a phenomenon that they stick together. In order to overcome these problems, many studies have been carried out to obtain a plating thinner exhibiting properties such as excellent corrosion resistance and solderability even as a very thin plating layer, that is, a thin film. The typical method is palladium plating, palladium alloy plating or gold plating.

철-니켈 합금 소재, 예를 들어 합금 #42(Ni 42%, Fe 56%, Mn 0.5%, Si0.3%, Ca 0.035%, p 0.025%)의 경우 이 소재 자체에 함유되어 있는 Si 및 Ca 성분으로 인하여 화학적 활성화 처리가 어렵고 또한 이 소재 위에 팔라듐 도금, 팔라듐 합금 도금 또는 금 도금을 하기 전에 하지 도금층으로서 일반적인 니켈 도금을 하면 Fe 성분으로 인하여 내식성이 떨어지기 때문에 부식 발생 및 미세균열에 의한 납땜성 저하 등의 문제점이 많다.In the case of iron-nickel alloy materials, for example, alloy # 42 (42% Ni, 56% Fe, 0.5% Mn, 0.3% Si, 0.035% Ca, 0.035% p 0.025%), the Si and Ca contained in the material itself Due to the components, it is difficult to chemically activate the process, and if the nickel plating is applied as a base plating layer before palladium plating, palladium alloy plating or gold plating on this material, corrosion resistance is reduced due to the Fe component. There are many problems such as deterioration.

이에 본 발명자는 철-니켈 합금 소재로 된 피도금체에 팔라듐 도금 또는 팔라듐 합금 도금을 적용함에 있어, 보다 높은 신뢰성을 얻을 수 있도록 많은 연구 실험을 한 결과, 팔라듐 도금 또는 팔라듐 합금 도금 조성물로 도금하기 전에 3 층의 하지 도금을 함으로써 우수한 특성을 얻을 수 있게 되었다.Accordingly, the present inventors have conducted many research experiments to obtain higher reliability in applying palladium plating or palladium alloy plating to an iron-nickel alloy plated material, and as a result, to plate with palladium plating or palladium alloy plating composition It is possible to obtain excellent characteristics by performing three layers of base plating before.

즉, 본 발명의 목적은 철-니켈 합금 소재 위에 수소 취성 및 미세 균열이 거의 없고 유연하며 특히 내식성이 우수한 도금층을 얻을 수 있는 4 층 도금 방법을 제공하는 것이다.That is, it is an object of the present invention to provide a four-layer plating method capable of obtaining a plating layer having little hydrogen brittleness and fine cracks on the iron-nickel alloy material, which is flexible and particularly excellent in corrosion resistance.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 철-니켈 합금 소재의 피도금체에 주석 도금충, 주석-납 합금 도금층 또는 주석-비스머스 합금 도금층을 형성하도록 일차 하지 도금하고, 그 위에 동 도금층 또는 동-비스머스 합금 도금층을 형성 하도록 이차 하지 도금하고, 또 그 위에 니켈 도금층을 형성하도록 삼차 하지 도금을 한 다음, 상부 도금층으로 팔라듐 도금층 또는 팔라듐 합금 도금층을 형성하도록 도금하는 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 소재의 4층 도금 방법을 제공한다.In order to achieve the above object, in the present invention, the primary base plate is plated to form a tin plated worm, tin-lead alloy plated layer or tin-bismuth alloy plated layer on the plated body of the iron-nickel alloy material, and the copper plated layer or copper- Secondary base plating to form a bismuth alloy plating layer, and a third base plating to form a nickel plating layer thereon, and then iron-nickel alloy material, characterized in that the plating to form a palladium plating layer or a palladium alloy plating layer as an upper plating layer It provides a four-layer plating method of.

이하 본 발명에 대하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

본 발명에서는 철-니켈 합금 소재에 순차적으로 일차 하지 도금, 이차 하지 도금, 삼차 하지 도금을 한 다음, 그 위에 팔라듐 또는 팔라듐 합금 도금을 하여 4층의 도금층을 형성하게 된다. 본 발명에 따라 4층의 도금층이 도금된 도금체의 구성은 하기 표 1과 같다.In the present invention, the first base plating, the second base plating, the third base plating are sequentially applied to the iron-nickel alloy material, and then palladium or palladium alloy plating is formed thereon to form four plating layers. According to the present invention, the structure of the plated plated with four plating layers is shown in Table 1 below.

Figure kpo00001
Figure kpo00001

본 발명에 사용되는 피도금체는 철-니켈 합금으로 제조된, 리드 프레임, 인쇄회로기판(printed circuit board) 및 커넥터(connector)와 같은 임의의 통상적인 전자장치를 포함한다. 특히, 합금 #42로 제조된 리드 프레임이 바람직하다.The plated body used in the present invention includes any conventional electronic devices such as lead frames, printed circuit boards, and connectors made of iron-nickel alloys. In particular, a lead frame made of alloy # 42 is preferred.

본 발명에서, 일차 하지 도금층으로는 주석 도금층, 주석-납 합금 도금층 또는 주석-비스머스 합금 도금층이 사용된다.In the present invention, as the primary underlying plating layer, a tin plating layer, a tin-lead alloy plating layer or a tin-bismus alloy plating layer is used.

주석 도금층을 형성하기 위한 주석 도금 조성물은 주석 화합물을 주석 금속기준으로 20∼100g/ℓ의 농도로 함유하는 수용액으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이때 주석 화합물은 적절한 염 형태로 공급되며, 염의 예로는 메탄설폰산 주석, 황산 제1 주석, 염화 제1 주석 또는 이들의 혼합물을 들 수 있다. 또한, 상기 조성물은 메탄설폰산, 황산, 인산칼륨 및 염화암모늄으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 전도성 화합물을 추가로 포함할 수 있다.It is preferable that the tin plating composition for forming a tin plating layer consists of an aqueous solution containing a tin compound in the density | concentration of 20-100 g / L on a tin metal basis. The tin compound is then supplied in a suitable salt form, and examples of the salt include tin methanesulfonic acid tin, first tin sulfate, first tin chloride or mixtures thereof. In addition, the composition may further comprise one or more conductive compounds selected from the group consisting of methanesulfonic acid, sulfuric acid, potassium phosphate and ammonium chloride.

주석-납 합금 도금층을 형성하기 위한 도금 조성물로는 주석 화합물을 주석금속 기준으로 10∼30g/ℓ, 납 화합물을 납 금속 기준으로 0.5∼5g/ℓ의 농도로 함유하는 수응액으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이때 납 화합물은 적절한 염 형태로 공급되며, 염의 예로는 메탄설폰산납, 질산납, 황산납, 초산납 또는 이들의 혼합물을 들 수 있다. 상기 조성물에 사용될 수 있는 주석 화합물은 상기 언급한 바와 같다. 상기 조성물은 전도성 화합물로 메탄설폰산, 황산, 인산칼륨, 염화암모늄 또는 이들의 혼합물을 50∼300g/ℓ의 농도로 함유할 수 있다.As a plating composition for forming a tin-lead alloy plating layer, it is preferable that it consists of the aqueous solution containing 10-30 g / L of a tin compound on the basis of a tin metal, and 0.5-5 g / L of a lead compound on the basis of a lead metal. . The lead compound is then supplied in a suitable salt form, examples of which include lead methanesulfonate, lead nitrate, lead sulfate, lead acetate or mixtures thereof. Tin compounds which can be used in the composition are as mentioned above. The composition may contain methanesulfonic acid, sulfuric acid, potassium phosphate, ammonium chloride or a mixture thereof as a conductive compound at a concentration of 50 to 300 g / l.

주석-비스머스 합금 도금층을 형성하기 위한 도금 조성물로는 주석 화합물은 주석 금속 기준으로 10∼30g/ℓ, 비스머스 화합물은 비스머스 금속 기준으로 0.5∼5g/ℓ의 농도로 함유하는 수용액으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이때 비스머스 화합물은 적절한 염 형태로 공급되며, 염의 예로는 황산 비스머스, 비스머스나트륨 수화물, 질산비스머스 또는 이들의 혼합물을 들 수 있다. 상기 조성물에 사용될 수 있는 주석 화합물은 상기 언급한 바와 같다. 상기 조성물은 전도성 화합물로 메탄설폰산, 탄산칼륨, 탄산나트릅, 황산, 황산암모늄 또는 이들의 혼합물을 50∼300g/ℓ의 농도로 함유할 수 있다.As a plating composition for forming the tin-bismuth alloy plating layer, the tin compound is composed of an aqueous solution containing 10-30 g / l of tin compound on the basis of tin metal and 0.5-5 g / l of bismuth compound on the basis of bismuth metal. desirable. The bismuth compound is then supplied in a suitable salt form, examples of which include bismuth sulfate, bismuth sodium hydrate, bismuth nitrate or mixtures thereof. Tin compounds which can be used in the composition are as mentioned above. The composition may contain methanesulfonic acid, potassium carbonate, sodium carbonate, sulfuric acid, ammonium sulfate or a mixture thereof as a conductive compound at a concentration of 50 to 300 g / L.

본 발명에서, 이차 하지 도금층으로는 동 도금층 또는 동-비스머스 도금층이 사용된다.In the present invention, a copper plating layer or a copper-bismus plating layer is used as the secondary base plating layer.

동 도금층을 형성하기 위한 도금 조성물은 본 출원인의 대한민국 특허출원 제 96-14102 호에 기재되어 있는 바와 같이 비시안계 동 화합물을 동 금속 기준으로 20-50g/ℓ포함하는 수용액으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이 때 비시안계 동 화합물은 적절한 염 형태로 공급되며, 염의 예로는 황산동 5 수화물, 피로린산 제2 구리, 탄산 제2 구리 또는 이들의 혼합물 등을 들 수 있다. 상기 조성물은 전도성 화합물로서 메탄설폰산, 피로린산칼륨, 탄산나트륨, 황산암모늄, 탄산칼륨 또는 이들의 혼합물을 50∼300g/ℓ의 농도로 함유할 수 있다.The plating composition for forming the copper plating layer is preferably made of an aqueous solution containing 20-50 g / l of the non-cyanide copper compound based on the copper metal, as described in the applicant's Korean Patent Application No. 96-14102. At this time, the non-cyanide copper compound is supplied in an appropriate salt form, and examples of the salt include copper sulfate pentahydrate, cupric pyrophosphate, cupric copper carbonate or a mixture thereof. The composition may contain methanesulfonic acid, potassium pyrophosphate, sodium carbonate, ammonium sulfate, potassium carbonate or a mixture thereof as a conductive compound at a concentration of 50 to 300 g / l.

동-비스머스 합금 도금층을 형성하기 위한 도금 조성물은 본 출원인의 대한민국 특허출원 제 96-34830 호에 기재되어 있는 바와 같이 비시안계 동 화합물을 동 금속 기준으로 10∼50g/ℓ, 비스머스 화합물을 비스머스 금속 기준으로 0.5~2g/ℓ의 농도로 함유하는 것이 바람직하다. 이때, 사용되는 비시안계 동 화합물 및 비스머스 화합물은 상기 언급한 바와 같다. 상기 조성물은 전도성 화합물로서 메탄설폰산, 피로린산칼륨, 탄산나트륨, 황산암모늄, 탄산칼릅 또는 이들의 혼합물을 50∼300g/ℓ의 농도로 함유할 수 있다.Plating composition for forming a copper-bismuth alloy plating layer is a bismuth-based copper compound 10 to 50g / L, based on the copper metal, as described in the applicant's Korean Patent Application No. 96-34830 It is preferable to contain at the density | concentration of 0.5-2 g / L on a mus metal basis. At this time, the non-cyanide copper compound and bismuth compound used are as mentioned above. The composition may contain methanesulfonic acid, potassium pyrophosphate, sodium carbonate, ammonium sulfate, calcium carbonate or a mixture thereof as a conductive compound at a concentration of 50 to 300 g / l.

본 발명에서 삼차 하지 도금층으로는 니켈 도금층이 사용된다.In the present invention, a nickel plating layer is used as the tertiary base plating layer.

니켈 도금층을 형성하기 위한 도금조성물은 본 출원인의 대한민국 특허출원 제 96-2912 호에 기재되어 있는 바와 같이 니켈 화합물을 니켈 금속을 기준으로 30~100g/ℓ의 농도로 함유하는 수용액으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이 때 니켈 화합물은 적절한 염 형태로 공급되며, 염의 예로는 설파민산니켈, 황산니켈 6수화물, 탄산니켈 4수화물, 황산아민니켈 또는 이들의 혼합물을 사용할 수 있으며, 도금 조성물내에서 침전 또는 중화되지 않도록 미리 전도성염과 반웅시킨 후 조성물에 투입하는 것이 바람직하다. 전도성 화합물은 금속염의 종류에 따라 적절하게 선택되어야 하는데, 예를 들어, 메탄설폰산, 구연산칼륨, 구연산, 구연산나트륨, 황산암모늄, 황산나트릅, 황산 또는 이들의 혼합물을 50∼300g/ℓ의 농도로 사용할 수 있다.The plating composition for forming the nickel plating layer is preferably made of an aqueous solution containing a nickel compound at a concentration of 30 to 100 g / l based on the nickel metal, as described in Korean Patent Application No. 96-2912 of the applicant. . At this time, the nickel compound is supplied in an appropriate salt form, and examples of the salt may include nickel sulfamate, nickel sulfate hexahydrate, nickel carbonate tetrahydrate, amine nickel sulfate or a mixture thereof, so as not to precipitate or neutralize in the plating composition. After reacting with a conductive salt in advance, it is preferable to add to the composition. The conductive compound should be appropriately selected according to the type of metal salt. For example, a concentration of 50 to 300 g / l of methanesulfonic acid, potassium citrate, citric acid, sodium citrate, ammonium sulfate, sodium sulfate, sulfuric acid, or mixtures thereof Can be used as

본 발명에서 팔라듐 도금층 또는 팔라듐 합금 도금층을 형성하기 위한 도금 조성물은 본 출원인의 대한민국 특허 출원 제 96-21467 호에 기재되어 있는 바와 같이 팔라듐 100% 도금, 팔라듐-금 합금 도금, 팔라듐-은 합금 도금 또는 팔라듐-비스머스 합금 도금 조성물을 사용하는 것이 바람직하다.In the present invention, the plating composition for forming a palladium plating layer or a palladium alloy plating layer is 100% palladium plating, palladium-gold alloy plating, palladium-silver alloy plating or as described in the applicant's Korean Patent Application No. 96-21467 or Palladium-bismuth alloy plating compositions are preferably used.

일반적인 팔라듐 도금을 위한 도글 조성물은 팔란듐 화합물을 팔란듐 금속 기준으로 2∼10g/ℓ의 농도로 함유하는 수용액으로 이루어지는 것이 바람직하다. 팔라듐 도금을 위한 팔라듐은 적절한 염 형태로 공급되며, 염의 예로는 테트라클로 로디암모늄 팔라듐, 이염화테트라암모늄 팔라듐, 이염화디아민 팔라듐, 염화팔라듐, 이염화테트라아민 팔라듐 또는 이들의 혼합물 등을 들 수 있다. 또한. 인산칼륨, 인산암모늄, 피로인산칼륨, 염화암모늄, 황산암모늄 또는 이들의 혼합물을 전도성 화합물로서 20∼200g/ℓ의 양으로 사용할 수 있다.It is preferable that the dog composition for general palladium plating consists of an aqueous solution containing a palladium compound at a concentration of 2 to 10 g / l based on the palladium metal. Palladium for palladium plating is supplied in a suitable salt form, and examples of the salt include tetrachlorodiammonium palladium, tetraammonium dichloride palladium, diamine palladium dichloride, palladium chloride, tetraamine palladium dichloride or mixtures thereof. . Also. Potassium phosphate, ammonium phosphate, potassium pyrophosphate, ammonium chloride, ammonium sulfate or mixtures thereof can be used as the conductive compound in an amount of 20 to 200 g / l.

팔라듐-금 합금 도금을 위한 도금 조성물은 팔라듐 화합물을 팔라듐 금속 기준으로 5∼10g/ℓ, 금 화합물을 금 금속 기준으로 0.3∼2.5g/ℓ의 농도로 함유하는 수용액으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이 때 금 화합물은 적절한 염 형태로 공급되며, 염의 예로는 테트라클로로금(111) 칼륨, 산화금(111) 칼륨, 시안화금(I)칼륨 또는 이들의 혼합물 등을 들 수 있다. 사용될 수 있는 팔라듐 화합물은 상기 언급한 바와 같다. 또한, 인산암모늄, 인산칼륨, 황산암모늄, 염화암모늄, 피로인산칼륨 또는 이들의 혼합물을 전도성 화합물로서 20∼200g/ℓ의 양으로 사용할 수 있다 .The plating composition for the palladium-gold alloy plating is preferably made of an aqueous solution containing a palladium compound at a concentration of 5 to 10 g / l based on the palladium metal and 0.3 to 2.5 g / l based on the gold metal. At this time, the gold compound is supplied in an appropriate salt form, and examples of the salt include tetrachlorogold (111) potassium, gold oxide (111) potassium, gold cyanide (I) potassium or a mixture thereof. Palladium compounds that can be used are as mentioned above. In addition, ammonium phosphate, potassium phosphate, ammonium sulfate, ammonium chloride, potassium pyrophosphate or a mixture thereof can be used in an amount of 20 to 200 g / L as the conductive compound.

팔라듐-은 합금 도금을 위한 도금 조성물은 팔라듐 화합물을 팔라듐 금속 기준으로 5∼25g/ℓ, 은 화합물을 은 금속 기준으로 0.5∼2.5g/ℓ의 농도로 포함하는 수용액으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이 때 은 화합물은 적절한 염 형태로 공급되며, 염의 예로는 시안화은(I) 칼륨, 질산은, 오르소인산은 또는 이들의 혼합물 등을 들 수 있다. 사용될 수 있는 팔라듐 화합물은 상기 언급한 바와 같다.The plating composition for the palladium-silver alloy plating is preferably made of an aqueous solution containing a palladium compound at a concentration of 5 to 25 g / l based on the palladium metal, and a silver compound at a concentration of 0.5 to 2.5 g / l based on the silver metal. At this time, the silver compound is supplied in an appropriate salt form, and examples of the salt include silver (I) potassium cyanide, silver nitrate, silver orthophosphoric acid, and mixtures thereof. Palladium compounds that can be used are as mentioned above.

또한, 인산칼륨, 인산암모늄. 황산암모늄, 염화암모늄. 피로인산칼륨 또는 이들의 혼합물을 전도성 화합물로서 20∼200g/ℓ 의 양으로 사용할 수 있다.In addition, potassium phosphate, ammonium phosphate. Ammonium sulfate, ammonium chloride. Potassium pyrophosphate or a mixture thereof can be used as the conductive compound in an amount of 20 to 200 g / L.

팔라듐-비스머스 합금 도금을 위한 도금 조성물은 팔라듐 화합물을 팔라듐 금속 기준으로 5∼25g/ℓ, 비스머스 화합물을 비스머스 금속 기준으로 0.5∼2.5g/ℓ의 농도로 함유하는 수용액으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이때 비스머스 화합물은 적절한 염 형태로 공급되며, 염의 예로는 비스머스나트륨 수화물, 질산비스머스 또는 이들의 혼합물 등을 들 수 있다. 사용될 수 있는 팔라듐 화합물은 상기 언급한 바와 같다. 또한, 인산칼륨, 인산암모늄, 황산암모늄, 염화암모늄, 피로인산칼륨 또는 이들의 혼합물을 전도성 염으로서 20∼200g/ℓ의 양으로 사용할 수 있다.The plating composition for the palladium-bismuth alloy plating is preferably made of an aqueous solution containing a palladium compound of 5 to 25g / l based on the palladium metal, 0.5-2.5g / l based on the bismuth metal. . In this case, the bismuth compound is supplied in an appropriate salt form, and examples of the salt include bismuth sodium hydrate, bismuth nitrate or a mixture thereof. Palladium compounds that can be used are as mentioned above. In addition, potassium phosphate, ammonium phosphate, ammonium sulfate, ammonium chloride, potassium pyrophosphate or a mixture thereof can be used as the conductive salt in an amount of 20 to 200 g / L.

상기 일차, 이차 및 삼차 하지 도금 조성물은, 전도성 염 이외에 하나 이상의 통상적인 착화제, 표면개선제 및 응력 감소제를 포함할 수 있다. 상기 하지 도금 조성물들은 도금 금속 화합물, 전도성염, 착화제 및 기타 첨가제 등을 직접 물에 용해시키거나, 금속염을 미리 전도성염 또는 착화제와 반응시킨 후 물에 용해시켜 충분히 반응시켜 제조된다.The primary, secondary and tertiary base plating compositions may include one or more conventional complexing agents, surface modifiers and stress reducing agents in addition to the conductive salts. The base plating compositions are prepared by directly dissolving a plating metal compound, a conductive salt, a complexing agent, and other additives in water, or by reacting the metal salt with a conductive salt or a complexing agent in advance and then dissolving in water to sufficiently react.

본 발명에서 사용될 수 있는 착화제로는 아세트산 계열, 아민 계열, 이민 계열, 아미드 계열 화합물 또는 이들의 혼합물을 들 수 있으며, 에틸렌디아민테트라아세테이트, 니트릴로트리아세트산 삼나트륨 일수화물, 니트릴로트리아세트산, 트리에틸렌디아민, 트리에탄올아민, 에탄올아면, 폴리이민, 티오아세트아미드 또는 이들의 혼합물이 바람직하다. 상기 착화제는 0.01 내지 50g/ℓ의 양으로 사용된다.Complexing agents that can be used in the present invention include acetic acid series, amine series, imine series, amide series compounds or mixtures thereof, ethylenediaminetetraacetate, nitrilotriacetic acid trisodium monohydrate, nitrilotriacetic acid, triethylenediamine , Triethanolamine, ethanol, polyimine, thioacetamide or mixtures thereof are preferred. The complexing agent is used in an amount of 0.01 to 50 g / l.

본 발명에서 사용될 수 있는 표면개선제로는 암모늄 계열, 알데히드 계열, 이민 계열, 벤젠 계열 화합물 또는 이들의 혼합물을 들 수 있으며, 암모니아수, 구연산암모늄, 티오디글리콜산, 소디움테트라페닐보레이트, 1-페닐세미카바지드, 에틸렌디아민, 2-메톡시-나프토알데히드 또는 이들의 혼합물이 바람직하다. 상기 표면개선제는 0.01 내지 50g/ℓ의 양으로 사용된다.Surface improving agents that can be used in the present invention include ammonium series, aldehyde series, imine series, benzene series compounds or mixtures thereof, ammonia water, ammonium citrate, thiodiglycolic acid, sodium tetraphenylborate, 1-phenylsemi Carbazide, ethylenediamine, 2-methoxy-naphthoaldehyde or mixtures thereof are preferred. The surface improver is used in an amount of 0.01 to 50 g / l.

본 발명에서 사용될 수 있는 응력감소제로는 피리딘 계열, 알콜 계열, 설폰 계열, 에테르 계열 화합물 또는 이들의 혼합물을 들 수 있으며, N-아릴피리디운 글로라이드, 트리데실옥실폴리(에틸렌옥시)에탄올(Ⅲ), 나프탈렌-1-설폰산(알파)나트륨폴리에틸렌모노세틸에테르 또는 이들의 혼합물이 바람직하다. 상기 표면개선제는 0.01 내지 50g/ℓ의 양으로 사용된다.Stress reducing agents that can be used in the present invention include pyridine-based, alcohol-based, sulfone-based, ether-based compounds or mixtures thereof, N-arylpyridinun glolide, tridecyloxyl poly (ethyleneoxy) ethanol (III Naphthalene-1-sulfonic acid (alpha) sodium polyethylene monocetyl ether or a mixture thereof is preferable. The surface improver is used in an amount of 0.01 to 50 g / l.

본 발명에 따라 일차 하지 도금층을 형성하는 경우에는 상기 일차 하지 도금용 조성물을 25∼60℃로 유지하면서, 음극인 피도금체와 각각 해당하는 금속의 양극을 담그고 전류를 2∼10 ASD(Ampere per Square Decimeter)로 흘려주어, 피도금체에 두께 0.5-2㎛의 일차 하지 도금층을 형성시킨다.In the case of forming the primary base plating layer according to the present invention, the primary base plating composition is maintained at 25 to 60 ° C., and the anode of the plated body and the corresponding metal, which is the cathode, is immersed and the current is 2 to 10 ASD (Ampere per). Square Decimeter) to form a primary underlying plating layer having a thickness of 0.5-2 占 퐉 on the plated body.

이차 하지 도금층을 형성하는 경우에는, 상기 이차 하지 도금용 조성물을 40∼60℃로 유지하면서, 음극인 일차 하지 도금된 피도금체와 각각 해당하는 금속의 양극을 담그고 전류를 2∼5 ASD로 흘려주어, 피도금체에 두께 0.7-1.0㎛의 이차 하지 도금층을 형성시킨다.In the case of forming the secondary base plating layer, while maintaining the composition for secondary base plating at 40 to 60 ° C., the primary base plated object to be a cathode and the anode of the corresponding metal are immersed and the current flows through 2 to 5 ASD. Then, a secondary base plating layer having a thickness of 0.7-1.0 µm is formed on the plated body.

삼차 하지 도금층을 형성하는 경우에는, 상기 삼차 하지 도금용 조성물을 40-50℃로 유지하면서, 음극인 이차 하지 도금된 피도금체와 각각 해당하는 금속의 양극을 담그고 전류를 4∼8 ASD로 흘려주어, 피도금체에 두께 0.5∼1.0㎛의 삼차 하지 도금층을 형성시킨다.In the case of forming the tertiary base plating layer, while maintaining the tertiary base plating composition at 40-50 ° C, the secondary base plated to-be plated body and the anode of the corresponding metal are respectively immersed and the current is flowed through 4 to 8 ASD The third base plating layer having a thickness of 0.5 to 1.0 mu m is formed on the plated body.

상부 도금층을 형성시킬 경우에는, 상부 도금 조성물을 30∼45℃로 유지하면서, 음극인 삼차 하지 도금된 피도금체와 각각 해당하는 금속의 양극 또는 불용성 백금망을 양극으로 담그고, 전류를 0.7∼1.5 ASD로 흘려주어 피도금체에 두께 0.1∼0.2㎛의 도금층을 형성시킨다.In the case of forming the upper plating layer, while maintaining the upper plating composition at 30 to 45 ° C, the third base plated plated body, which is the cathode, and the anode or insoluble platinum network of the corresponding metal, respectively, are immersed in the anode, and the current is 0.7 to 1.5. It is made to flow to ASD, and the plating layer of 0.1-0.2 micrometer in thickness is formed in a to-be-plated body.

본 발명에 사용되는 도금 조성물의 비중은 4 내지 25 Be(Baume), pH는 4 내지 13.5로 조정하는 것이 바람직하다.It is preferable to adjust specific gravity of the plating composition used for this invention to 4-25 Be (Baume), and pH to 4-13.5.

이하 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다. 단 본 발명의 범위가 하기 실시예만으로 한정되는 것은 아니다.The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the scope of the present invention is not limited only to the following examples.

하기 실시예 및 비교예에서 제조된 도금층의 밀착성, 내균열성, 내식성 및 납땜성은 하기 참조예에 따라 평가된다.The adhesion, crack resistance, corrosion resistance and solderability of the plating layers prepared in the following Examples and Comparative Examples are evaluated according to the following Reference Examples.

[참조예 1]Reference Example 1

[밀착성 시험]Adhesion Test

실시예 및 비교예에 따라 도금된 도금체를 400℃±5℃에서 2분 동안 베이킹(baking)시키고, 시료의 도금된 표면을 확대경(20X) 또는 육안으로 관찰하여 다음과 같이 평가하였다.The plated plated body was baked for 2 minutes at 400 ° C. ± 5 ° C. according to Examples and Comparative Examples, and the plated surface of the sample was observed with a magnifying glass 20X or visually to evaluate as follows.

i) 베이킹 시험 후 도금된 소재의 부풀음(blister), 벗겨짐(peeling), 들고 일어남(lifted) 및 녹아내림(bleeding) 현상이 없어야 한다(0:우수, x:불량).i) There should be no blistering, peeling, lifting and bleeding of the plated material after the baking test (0: excellent, x: poor).

ii) 베이킹 시험 후 집게나 뾰족한 물체로 긁힘 시험(scratch test)을 플래그와 리드 끝을 가로지르는 부분에 하여 들고 일어남, 벗겨짐 및 도금층 분리 같은 현상이 없어야 한다(0:우수, x:불량).ii) After the baking test, there shall be no scratching, peeling, or plating separation between the flag and the end of the lead with a scratch test with forceps or pointed objects (0: excellent, x: bad).

iii) 베이킹 시험 후 스카치 부착 테이프 #540, #610, #810 또는 이와 동일한 제품으로 스트립을 가로질러 부착시킨뒤 손톱 끝으로 꼭꼭 누른 다음 빨리 벗겨 내어 도금된 부분이 테이프에 붙어서 벗겨지는 현상이 없어야 한다(0:우수, x:불량).iii) After the baking test, the scotch sticking tape # 540, # 610, # 810 or the same shall be attached across the strip, pressed firmly with the tip of the nail, and then peeled off quickly so that the plated part does not stick to the tape. (0: good, x: bad).

[참조예 2]Reference Example 2

[내균열성 시험][Crack resistance test]

실시예 및 비교예에 따라 도금된 도금체를 400℃±5℃에서 2분 동안 베이킹(baking)시켰다. 이어서, 외곽 다리부분(external lead)을 90°이상 한쪽 방향으로 굽히는 시험을 한 후, 확대경(20X) 또는 육안으로 관찰했을 때 벗겨짐(peeling)이나 들고 일어남(lifting) 현상이 없어야 한다(0:우수, x:불량).The plated plated according to the Examples and Comparative Examples were baked at 400 ° C ± 5 ° C for 2 minutes. Subsequently, the test of bending the external lead in one direction by more than 90 °, and then no peeling or lifting when observed with a magnifying glass (20X) or visually (0: excellent) , x: defect).

[참조예 3]Reference Example 3

[내식성 시험]Corrosion Resistance Test

실시예 및 비교예에 따라 도금된 도금체에 5% NaCl 용액을 40℃ ± 5℃에서 24시간 동안 분무시킨 후, 확대경(20 X) 또는 육안으로 관찰했을 때 도금된 리드 프레임의 전 부분에서 부식 발생, 부풀음(blister) 및 벗겨짐(peeling)과 같은 현상이 없어야 한다(0 : 우수, x : 불량).After spraying a 5% NaCl solution on a plated plated body at 40 ° C. ± 5 ° C. for 24 hours according to the Examples and Comparative Examples, it was corroded in a magnifying glass (20 ×) or in the entire portion of the plated lead frame when visually observed. There should be no phenomena such as occurrence, blistering and peeling (0: good, x: bad).

[참조예 4]Reference Example 4

[납땜성 시험][Soldering test]

실시예 및 비교예에 따라 도금된 도금체를 175℃에서 3분 동안 몰드 경화 시킨 후, 175℃에서 3시간 동안 후 몰드 경화시켰다. 145℃에서 96시간 동안 연소 시험한 후, 95℃의 증기에서 32시간 동안 증기 노화시키고, 케스터(Kester) 솔더(solder) 또는 α-100에 플럭스(flux) 처리하였다. 확대경(20 X) 또는 육안으로 관찰했을 때 핀홀이 전혀 없는 균일한 납의 도포가 시료의 전체 표면의 95% 이상이어야 한다(0 : 우수, x : 불량).The plated plated body according to the Examples and Comparative Examples were mold cured at 175 ° C. for 3 minutes, and then mold cured at 175 ° C. for 3 hours. After 96 hours of combustion testing at 145 ° C., steam aging for 32 hours in 95 ° C. steam and flux treatment on Kester solder or α-100. When observed with a magnifying glass (20 X) or visually, a uniform lead application without any pinholes should be at least 95% of the total surface of the sample (0: good, x: poor).

하기 실시예 및 비교예에서 사용되는 조성물의 조성, pH 및 비중, 이들의 도금시의 온도 및 전류밀도 조건은 다음과 같다.The composition, pH and specific gravity of the composition used in the following examples and comparative examples, temperature and current density conditions at the time of their plating are as follows.

조성물 1 : 주석 도금 조성물(pH 1, Be 14, 25℃, 5ASD)Composition 1: Tin Plating Composition (pH 1, Be 14, 25 ° C., 5ASD)

메탄설폰산 주석 45g/ℓMethanesulfonic Acid Tin 45g / L

메탄설폰산 210g/ℓMethanesulfonic acid 210g / ℓ

N-부틸리 덴 설파닐산 5g/ℓN-butylidene sulfanic acid 5g / l

카테콜 1g/ℓCatechol 1g / ℓ

벤즈알데히드 0.05g/ℓBenzaldehyde 0.05g / ℓ

레조시놀 0.02g/ℓResorcinol 0.02 g / l

조성물 2 : 주석 도금 조성물(pH 1, Be 5, 25℃, 2ASD)Composition 2: Tin Plating Composition (pH 1, Be 5, 25 ° C., 2ASD)

황산 제1 주석 20g/ℓ20 g / l of first tin sulfate

황산 100g/ℓSulfuric acid 100g / ℓ

N-신나몰리덴설파닐산 2g/ℓN-cinnamoldenesulfanylic acid 2 g / L

히드로퀴논 3g/ℓHydroquinone 3g / ℓ

알데히드 1g/ℓAldehyde 1g / ℓ

벤질리덴아세톤 0.01g/ℓBenzylidene Acetone 0.01g / ℓ

조성물 3 : 주석 도금 조성물(pH 7, Be 6, 25℃, 2ASD)Composition 3: Tin Plating Composition (pH 7, Be 6, 25 ° C, 2ASD)

염화 제1 주석 30g/ℓ30 g / l of first tin chloride

인산칼륨 50g/ℓPotassium Phosphate 50g / ℓ

염화암모늄 20g/ℓAmmonium Chloride 20g / L

o-클로로벤즈알데히드 2g/ℓo-chlorobenzaldehyde 2g / ℓ

피리딘카르복스알데히드 0.1g/ℓPyridinecarboxaldehyde 0.1g / l

프로피오알데히드 0.01g/ℓPropioaldehyde 0.01 g / l

조성물 4 : 주석-납 합금 도금 조성물(pH 1, Be 1, 25℃, 2ASD)Composition 4: Tin-Lead Alloy Plating Composition (pH 1, Be 1, 25 ° C., 2ASD)

메탄설폰산 주석 25g/ℓMethanesulfonic Acid Tin 25g / L

메탄설폰산 납 3g/ℓMethanesulfonic acid lead 3g / ℓ

메탄설폰산 200g/ℓMethanesulfonic acid 200g / ℓ

N-부틸리덴 설파닐산 5g/ℓN-butylidene sulfanic acid 5g / l

폴리에틸렌글리콜 모노아세틸 에테르 15g/ℓPolyethyleneglycol Monoacetyl Ether 15g / L

조성물 5 : 주석-비스머스 합금 도금 조성물(pH 1 Be 14, 25℃, 3ASD)Composition 5: Tin-bismus Alloy Plating Composition (pH 1 Be 14, 25 ° C., 3ASD)

메탄설폰산 주석 30g/ℓMethanesulfonic Acid Tin 30g / L

황산 비스머스 5g/ℓBismuth Sulfate 5g / ℓ

메탄설폰산 200g/ℓMethanesulfonic acid 200g / ℓ

N-부틸리덴 설파닐산 5g/ℓN-butylidene sulfanic acid 5g / l

β-나프톨 3g/ℓβ-naphthol 3 g / l

피로카테콜 1g/ℓPyrocatechol 1g / ℓ

벤즈알데히드 0.4g/ℓBenzaldehyde 0.4g / ℓ

조성물 6 : 주석-비스머스 합금 도금 조성물(PH 1, Be 14, 25℃, 3ASD)Composition 6: Tin-Bismouth Alloy Plating Composition (PH 1, Be 14, 25 ° C, 3ASD)

주석산 칼륨 35g/ℓPotassium Tartrate 35g / ℓ

비스머스 나트룬 수화물 2g/ℓBismuth Natrun Hydrate 2g / ℓ

탄산칼륨 50g/ℓPotassium Carbonate 50g / ℓ

티오디 글리콜산 13g/ℓThiodi glycolic acid 13 g / l

프로피온산 나트륨 5g/ℓ5 g / l sodium propionate

조성물 7 : 동 도금 조성물(pH 8, Be 8, 50℃, 3ASD)Composition 7: Copper Plating Composition (pH 8, Be 8, 50 ° C., 3ASD)

황산등 5 수화물 50g/ℓSulfuric acid pentahydrate 50g / ℓ

황산암모늄 45g/ℓAmmonium Sulfate 45g / ℓ

황산칼륨 20g/ℓPotassium Sulfate 20g / ℓ

에틸렌디아민테트라아세트산염 2 수화물 5g/ℓEthylenediaminetetraacetate Dihydrate 5g / l

소디움 테트라페닐 보레이트 0.5g/ℓ(???)Sodium Tetraphenyl Borate 0.5g / ℓ

디에틸렌글리콜 모노데실에테르 0.1g/ℓ(???)Diethylene glycol monodecyl ether 0.1g / ℓ

조성물 8 : 동-비스머스 합금 도금 조성물(pH 1, Be 14, 25℃, 2ASD)Composition 8: Copper Bismuth Alloy Plating Composition (pH 1, Be 14, 25 ° C, 2ASD)

피로린산 제2 구리 50g/ℓ50 g / l of cuprous pyroic acid

비스머스 나트륨 수화물 2g/ℓBismuth Sodium Hydrate 2g / ℓ

피로린산 칼륨 120g/ℓPotassium Pyroate 120g / ℓ

1-펜닐 센미 카바지드 0.5g/ℓ1-Penyl Senmi Cabazide 0.5g / L

N-아릴피리디늄 클로라이드 0.3g/ℓ0.3 g / l N-arylpyridinium chloride

폴리에틸렌 이민 0.03g/ℓPolyethylene imine 0.03 g / l

조성물 9 : 니켈 도금 조성물(pH 5, Be 25, 45℃, 5ASD)Composition 9: Nickel Plating Composition (pH 5, Be 25, 45 ° C, 5ASD)

설파민산니켈 450g/ℓNickel sulfamate 450g / ℓ

황산암모늄 90g/ℓAmmonium Sulfate 90g / ℓ

붕사 50g/ℓBorax 50g / ℓ

아미노아세트산 5g/ℓAmino acetic acid 5g / l

2-메톡시-1-나프토알데히드 0.3g/ℓ2-methoxy-1-naphthoaldehyde 0.3g / l

트리데실옥시폴리 (에틸렌옥시)에탄올(Ⅲ) 1g/ℓTridecyloxypoly (ethyleneoxy) ethanol (III) 1 g / L

조성물 10 : 순수 100% 팔라듐 도금 조성물(pH 5, Be 7, 30℃, 1ASD)Composition 10: Pure 100% Palladium Plating Composition (pH 5, Be 7, 30 ° C, 1ASD)

테트라클로로디 암모늄팔라듐 12g/ℓTetrachlorodiammoniumpalladium 12g / l

황산칼륨 50g/ℓPotassium Sulfate 50g / ℓ

니트릴로트리아세트산 5g/ℓNitrilotriacetic acid 5g / l

나프탈렌-1-설폰산(α)나트륨염 0.1g/ℓNaphthalene-1-sulfonic acid (α) sodium salt 0.1 g / L

트리에틸렌테트라아민 0.07g/ℓTriethylenetetraamine 0.07 g / l

조성물 11 : 팔라듐-금 합금 도금 조성물(pH 5, Be 8, 35℃, 1ASD)Composition 11: Palladium-Gold Alloy Plating Composition (pH 5, Be 8, 35 ° C, 1ASD)

이염화테트라암모늄팔라듐 10g/ℓTetraammonium Palladium Dichloride 10g / L

시안화금(Ⅰ)칼륨 0.74g/ℓPotassium cyanide (I) potassium 0.74 g / ℓ

인산암모늄 50g/ℓAmmonium Phosphate 50g / ℓ

4-옥소-펜탄산 2g/ℓ4-oxo-pentanoic acid 2 g / l

벤젠설포네이트 0.01g/ℓBenzenesulfonate 0.01 g / l

조성물 12 : 팔라듐-은 합금 도금 조성물(pH 9.5, Be 8, 45℃, 1ASD)Composition 12: palladium-silver alloy plating composition (pH 9.5, Be 8, 45 ° C, 1ASD)

이염화디아민팔라듐 11g/ℓDiamine Palladium Dichloride 11g / L

오르소인산은 2g/ℓOrthophosphoric acid is 2g / ℓ

피로린산칼릅 60g/ℓPyrophosphate 60g / ℓ

피로린산나트륨 20g/ℓ20 g / l sodium pyrophosphate

아미노아세트산 3g/ℓAminoacetic acid 3g / l

2-프로펜-1-설폰산 나트륨염 0.15g/ℓ2-propene-1-sulfonic acid sodium salt 0.15 g / l

폴리에틸렌이민 0.07g/ℓPolyethyleneimine 0.07g / ℓ

조성물 13 : 팔라듐-비스머스 합금 도금 조성물(pH 6.5, Be 7, 40℃, 1ASD)Composition 13: palladium-bismuth alloy plating composition (pH 6.5, Be 7, 40 ℃, 1ASD)

이염화디아민팔라듐 10g/ℓDiamine Palladium Dichloride 10g / L

비스머스나트륨 수화물 2g/ℓBismuth Sodium Hydrate 2g / ℓ

염화암모늄 50g/ℓAmmonium Chloride 50g / ℓ

황산암모늄 35g/ℓAmmonium Sulfate 35g / ℓ

1-페닐세미카바지드 0.5g/ℓ1-phenylsemicarbazide 0.5 g / l

4-메톡시벤즈알데히드 0.2g/ℓ4-methoxybenzaldehyde 0.2 g / l

[실시예 1]Example 1

철-니켈 합금(합금 #42) 리드 프레임 위에 주석 일차 하지 도금 조성물인 조성물 1을 5 ASD의 전류밀도하에서 도금하고, 상기 주석 일차 하지 도금층 위에 이차 하지 도금 조성물인 조성물 7을 3 ASD의 전류밀도하에서 도금하고, 상기 동 이차 하지 도금층 위에 삼차 하지 도금 조성물인 조성물 9를 5 ASD의 전류밀도하에서 도금하고, 상기 삼차 하지 도금층 위에 조성물 10 내지 13을 각각 도금하여 표면이 고른 팔라듐, Pd-Au, Pd-Ag 및 Pd-Bi 상부 도금층 및 3층의 하지도금층을 지닌 도금체를 얻었다.Plating composition 1, a tin primary base plating composition, on a lead frame of iron-nickel alloy (alloy # 42) under a current density of 5 ASD, and composition 7, a secondary base plating composition, on a tin primary base plating layer under a current density of 3 ASD. Plated, and the composition 9, which is a tertiary base plating composition, was plated under a current density of 5 ASD on the copper secondary base plated layer, and the compositions 10 to 13 were plated on the tertiary base plated layer, respectively, to provide a uniform surface of palladium, Pd-Au, and Pd-. A plated body having Ag and Pd-Bi top plating layers and three base plating layers was obtained.

도금된 최종 리드프레임의 밀착성, 내균열성, 내식성 및 납땜성을 참조예 1 내지 4의 방법에 따라 시험하여 표 3에 나타내었다The adhesion, crack resistance, corrosion resistance and solderability of the plated final leadframe were tested according to the methods of Reference Examples 1 to 4 and shown in Table 3.

표 3에서 알 수 있는 바와 같이, 실시예 1에 따라 도금된 도금체의 밀착성, 내균열성, 내식성 및 납땜성은 모두 우수하였다.As can be seen from Table 3, the adhesion, crack resistance, corrosion resistance and solderability of the plated plated according to Example 1 were all excellent.

[실시예 2 내지 7][Examples 2 to 7]

일차 하지 도금 조성물, 이차 하지 도금 조성물, 삼차 하지 도금 조성물 및 상부 도금 조성물의 종류를 각각 하기 표 3에서와 같이 변화시킴을 제외하고는 실시예 1의 방법을 반복하여 표면이 고른 도금된 반도체 리드 프레임을 얻었다.A plated semiconductor lead frame having a uniform surface was repeated by repeating the method of Example 1 except for changing the types of the first base plating composition, the second base plating composition, the third base plating composition, and the top plating composition as shown in Table 3 below. Got.

도금된 최종 리드프레임의 밀착성, 내균열성, 내식성 및 납땜성을 참조예 1 내지 4의 방법에 따라 시험하여 표 3에 나타내었다.The adhesion, crack resistance, corrosion resistance and solderability of the plated final leadframes were tested according to the methods of Reference Examples 1-4 and shown in Table 3.

표 3에서 알 수 있는 바와 같이, 실시예 2 내지 7에 따라 도금된 도금체의 밀착성, 내균열성, 내식성 및 납땜성은 모두 우수하였다.As can be seen from Table 3, the adhesion, crack resistance, corrosion resistance and solderability of the plated plated according to Examples 2 to 7 were all excellent.

[비교예 1 내지 6][Comparative Examples 1 to 6]

일차 하지 도금 조성물, 이차 하지 도금 조성물, 삼차 하지 도금 조성물 및 상부 도금 조성물의 종류를 각각 하기 표 2에서와 같이 변화시킴을 제외하고는 실시예 1의 방법을 반복하였다.The method of Example 1 was repeated except that the types of the primary base plating composition, secondary base plating composition, tertiary base plating composition, and top plating composition were changed as shown in Table 2, respectively.

도금된 최종 리드프레임의 밀착성, 내균열성, 내식성 및 납땜성을 참조예 1 내지 4의 방법에 따라 시험하여 표 3에 나타내었다.The adhesion, crack resistance, corrosion resistance and solderability of the plated final leadframes were tested according to the methods of Reference Examples 1-4 and shown in Table 3.

표 3에서 알 수 있는 바와 같이, 비교예 1 내지 6에 따라 도금된 도금체의 내식성은 우수하였으나 밀착성, 내균열성 및 납땜성은 대체로 불량하였다.As can be seen in Table 3, although the corrosion resistance of the plated plated according to Comparative Examples 1 to 6 was excellent, the adhesion, crack resistance and solderability were generally poor.

Figure kpo00002
Figure kpo00002

Figure kpo00003
Figure kpo00003

본 발명에서와 같이 철-니켈 합금 소재로 된 반도체 리드 프레임에 순차적으로 일차 하지 도금, 이차 하지 도금, 삼차 하지 도금 후 상부 도금을 하는 4 층도금을 함으로써, 소재 자체가 가진 특성으로 인한 내부식성 저하 현상을 최대로 억제시켜 박막으로서도 우수한 특성, 특히 우수한 내식성을 얻을 수 있도록 하였다.As in the present invention, by performing a four-layer plating of the first base plating, the second base plating, the third base plating and the third base plating on the semiconductor lead frame made of the iron-nickel alloy material sequentially, the corrosion resistance is reduced due to the characteristics of the material itself. The phenomenon was suppressed to the maximum, so that excellent properties, especially excellent corrosion resistance, could be obtained even as a thin film.

Claims (9)

철-니켈 합금 소재의 피도금체에 팔라듐 도금층 또는 팔라듐 합금 도금층을 도금하는 방법에 있어서, 상기 피도금체에 팔라듐 또는 팔라듐 합금 도금을 하기 전에, 주석 도금층, 주석-납 합금 도금층 또는 주석-비스머스 합금 도금층을 형성하도록 일차 하지 도금하고, 그 위에 동 도금층, 동-비스머스 합금 도금층을 형성하도록 이차 하지 도금하고, 또 그 위에 니켈 도금층을 형성하도록 삼차 하지 도금하는 것을 특징으로 하는 방법.In a method of plating a palladium plating layer or a palladium alloy plating layer on an iron-nickel alloy plated body, before the palladium or palladium alloy plating on the plated body, a tin plating layer, tin-lead alloy plating layer or tin-bismusmus A primary base plating to form an alloy plating layer, a secondary base plating to form a copper plating layer, a copper-bismuth alloy plating layer thereon, and a tertiary base plating to form a nickel plating layer thereon. 제1항에 있어서, 상기 철-니켈 합금 소재의 피도금체가 반도체 리드프레임인 것을 특징으로 하는 방법.The method of claim 1, wherein the plated body of the iron-nickel alloy material is a semiconductor lead frame. 제1항에 있어서, 상기 팔라듐 합금 도금층이 팔라듐-금, 팔라듐-은 및 팔라듐-비스머스로 이루어진 군으로부터 선택된 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.The method of claim 1 wherein the palladium alloy plating layer is formed of an alloy selected from the group consisting of palladium-gold, palladium-silver and palladium-bismus. 제2항에 있어서, 상기 철-니켈 합금 소재의 피도금체가 합금(Alloy) #42의 반도체 리드프레임인 것을 특징으로 하는 방법.The method of claim 2, wherein the plated material of the iron-nickel alloy material is a semiconductor leadframe of alloy (Alloy) # 42. 제1항에 있어서, 상기 주석 도금층이 주석 20∼100g/ℓ을 포함하는 수용액으로 이루어진 주석도금 조성물을 사용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.The method of claim 1, wherein the tin plating layer is formed using a tin plating composition consisting of an aqueous solution containing 20 to 100 g / l of tin. 제5항에 있어서, 상기 주석은 메탄설폰산 주석, 황산 제1 주석, 염화 제1 주석 및 이들의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 방법.6. The method of claim 5, wherein the tin is selected from the group consisting of methanesulfonic acid tin, first tin sulfate, first tin chloride, and mixtures thereof. 제5항에 있어서, 상기 주석 도금 조성물이 메탄설폰산, 황산, 인산칼륨 및 염화암모늄으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 전도성염을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.The method of claim 5 wherein the tin plating composition further comprises at least one conductive salt selected from the group consisting of methanesulfonic acid, sulfuric acid, potassium phosphate and ammonium chloride. 제1항에 있어서, 상기 주석-납 합금 도금층이 주석 10∼50g/ℓ및 납 0.5∼15g/ℓ 을 포함하는 수용액으로 이루어진 주석-납 합금 도금 조성물을 사용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.The method of claim 1 wherein the tin-lead alloy plating layer is formed using a tin-lead alloy plating composition consisting of an aqueous solution comprising 10-50 g / l tin and 0.5-15 g / l lead. 제1항에 있어서, 상기 주석-비스머스 합금 도금층이 주석 10∼30g/ℓ 및 비스머스 0.5∼20g/ℓ 을 포함하는 수용액으로 이루어진 주석-납 합금 도금 조성물을 사용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.The method of claim 1, wherein the tin-bismuth alloy plating layer is formed using a tin-lead alloy plating composition composed of an aqueous solution comprising 10-30 g / l tin and 0.5-20 g / l bismuth. .
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