KR100246018B1 - 디지탈 변조된 dmd 시스템 및 이의 디지탈 변조 방법 - Google Patents

디지탈 변조된 dmd 시스템 및 이의 디지탈 변조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100246018B1
KR100246018B1 KR1019920011206A KR920011206A KR100246018B1 KR 100246018 B1 KR100246018 B1 KR 100246018B1 KR 1019920011206 A KR1019920011206 A KR 1019920011206A KR 920011206 A KR920011206 A KR 920011206A KR 100246018 B1 KR100246018 B1 KR 100246018B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
dmds
dmd
image
detector
shift register
Prior art date
Application number
KR1019920011206A
Other languages
English (en)
Inventor
제프리비.샘프셀
Original Assignee
윌리엄 비. 켐플러
텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윌리엄 비. 켐플러, 텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드 filed Critical 윌리엄 비. 켐플러
Application granted granted Critical
Publication of KR100246018B1 publication Critical patent/KR100246018B1/ko

Links

Landscapes

  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

본 발명은 DMD 시스템을 디지탈적으로 변조하는 방법에 관한 것이다. 이 방법은 픽셀 당 해상도의 N 비트 데이타의 최소한 한개의 데이타 스트림을 입력 디바이스( 30)으로부터 수신하는 단계, 데이타 스트림을 N 입력 시프트 레지스터(32)내에 입력하는 단계, 영상의 한 픽셀을 생성하기 위해 DMD(36)의 출력이 결합되고 시프트 레지스터(32)로 최소한 N 가중된 DMD(36)을 어드레스하는 단계, 및 데이타 스트림에 기초하여 DMD(36)을 활성화시키는 단계로 이루어진다. 그 밖의 다른 방법 및 시스템이 개재된다.

Description

DMD 시스템의 디지탈 변조 방법
제1도는 종래의 IR 영상 시스템을 도시한 도면.
제2도는 진보된 IR 영상 시스템의 전자부를 도시한 도면.
제3도는 토션 비임 DMD를 도시한 도면.
제4도는 여러가지 토션 비임 DMD 힌지 옵션의 평면도.
제5도는 본 발명의 제1의 양호한 실시예를 도시한 도면.
제6도는 펄스 폭 변조 방식을 이용하는 본 발명의 제3의 양호한 실시예를 도시한 도면.
제7도는 제6도의 시스템의 일부분을 도시한 블럭도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
12 : 검출기 14 : 미러
32 : 시프트 레지스트 34 : 직렬-병렬 컨버터
36 : DMD 픽셀 38 : 비교기
58 : 어드레스 전극 60 : 랜딩 전극
74 : 센서 76 : CRT 디스플레이
본 발명은 아날로그 스캔 컨버터에 관한 것으로, 특히, 아날로그 스캔 컨버터를 실현하기 위해 변형 가능한 디바이스(DMD)를 사용하는 것에 관한 것이다.
본 발명의 범위를 제한하지 않고, 본 발명의 배경은 IR 센서를 이용한 시스템과 관련하여 설명된다. 선형 IR 센서에 의존하는 종래의 시스템은 다선 센서(multiline sensor)를 사용하는 시스템으로 대체되고 있다. 이들 센서들은 S/N 비를 증가시키고 앨리어싱과 관련된 문제점을 감소시킬 뿐 만 아니라 해상도를 증가시킨다. 이러한 센서는 일반적으로 제조의 복잡성 때문에 수직 영상 크기를 스캔하는데 필요한 픽셀 수만을 포함한다. 이러한 수직 센서에서 시프트되어 나간 영상 데이타 출력은 원래 수직 래스터 형태이다. 그러나, 사람의 눈은 수평으로 래스터된 영상을 보는데에 익숙해져 있다. 그러므로, 일반적으로 이러한 센서는 사람의 눈에 보이는 가시 영역 내에서 IR 영상을 재생하기 위한 스캔 컨버터를 필요로 한다. 이러한 과업을 달성하기 위한 전형적인 디지탈 하이 동적 범위 디지탈 스캔 컨버터는 비싸고, 부피가 크며, 무겁고, 상당한 양의 전력을 소모한다.
DMD는 몇가지 흥미있는 특징을 갖고 있다. 미러 소자는 광학 대역폭이 넓고 반사도가 높다. 그러므로, 이들은 UV에서 IR까지 광을 변조할 수 있다. 픽셀 응답 시간은 전형적으로 10-20 ㎲이고, 픽셀은 아날로그 또는 디지탈 모드로 동작 될 수 있다. DMD는 미러를 단순히 구조적으로 변경시킴으로써 진폭 우위 변조기 또는 위상 우위 변조기로서 작용할 수 있다. DMD는 저전압, 고밀도 어드레서 회로 상에 모놀리식으로 제조하기에 적합하다. DMD의 저전력 소모로 인해, 프레임속도가 높아지고(전형적으로,5㎑ 이상) 불리한 가열 효과를 없앨 수 있다.
특정 응용을 위해 각각 설계된 DMD 픽셀 구조물은 여러가지가 있다. 이들은 픽셀 형태와 힌지 지지 구조에 따라 토션 또는 캔틸레버와 같은 이들의 변형 모드에 의해 구별될 수 있다.
본 발명은 DMD 시스템을 디지탈적으로 변조하는 방법에 관한 것이다. 이 방법은 픽셀 당 해상도의 N 비트 데이타 중 최소한 한 개의 데이타 스트림을 입력 디바이스로부터 수신하는 단계, 데이타 스트림을 N 입력 시프트 레지스터 내에 입력하는 단계, 영상의 한 픽셀을 생성하기 위해 DMD의 출력이 결합되고 시프트 레지스터로 최소한 N 가증된 DMD를 어드레스하는 단계, 및 데이타 스트림에 기초하여 DMD를 활성화시키는 단계로 이루어진다. 각각의 활성화된 DMD가 개별적으로 턴 오프되므로, 각각의 활성화된 DMD가 DMD의 가중치에 의해 배가된 라인시간과 동등한 기간동안 유지되어, DMD가 시간에 따라 가중될 수 있다. 가중된 DMD의 가중치가 픽셀 당 해상도에 기초하여, 최상위 비트가 1/2 가중되고, 다음 상위 비트가 1/4 가중되며, 1/2N가중되는 최하위 비트까지 계속 가중된다. 선택적으로, 가중이 비트당 소정의 수의 DMD에 의해 이루어지므로 DMD는 비트당 DMD의 수에 의해 가중되거나, 한개 이상의 DMD가 상이한 최대 광량을 반사하도록 가중이 이루어지므로 DMD는 개별 DMD의 영역을 반사시키거나 개별 DMD의 반사율에 의해 가중될 수 있다.
양호하게, DMD는 고상 검출기 상에 비춰지고, 검출기는 CCD이며, 검출기가 DMD로부터 영상을 조작하고, 영상이 검출기에 입력된 것과 상이한 순서로 검출기로부터 출력될 수 있다. 선택적으로, DMD는 스캔 미러의 배면측 상에 비춰질 수 있고, 미러 배면측으로부터의 영상은 입력 디바이스에서 수신된 영상과 거의 동일한 영상을 생성하도록 광학적으로 투시될 수 있다. 입력 디바이스는 컴퓨터이다.
또한, DMD 시스템을 디지탈적으로 변조하는 방법은 해상도의 N 비트 데이타의 최소한 한개의 데이타 스트림을 입력 디바이스로부터 수신하는 단계, 데이타 스트림을 N 입력 시프트 레지스터 내에 입력하는 단계, 시프트 레지스터로 2NDMD를 어드레스하는 단계, 및 데이타 스트림에 기초하여 개별적으로 DMD를 활성화시키는 단계로 이루어지며, 최상위 비트의 시프트 레지스터가 2N-1DMD를 어드레스하고, 다음 상위 비트의 시프트 레지스터가 2N-2DMD를 어드레스하며, 2N-NDMD를 어드레스하는 최하위 비트의 시프트 레지스터까지 이 어드레싱 구조가 계속되고 DMD가 영상의 한 픽셀을 생성하기 위해 결합한다.
또한, 디지탈적으로 변조된 DMD 시스템은 해상도의 N 비트 데이타의 최소한 한개의 데이타 스트림을 입력 디바이스, 및 시프트 레지스터에 의해 어드레스된 DMD로부터 수신하기 위한 N 시프트 레지스터를 포함하며, DMD가 영상의 한 픽셀을 생성하기 위해 결합한다. 양호하게, 시프트 레지스터 및 DMD는 모놀리식 집적 회로 상에 구성된다.
이하, 동일 부분에는 동일한 참조 번호 및 부호를 붙인 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다.
종래의 IR 시스템(제1도)에 있어서, 입력 영상(10)은 적절한 광학 시스템(24)로 이산 픽셀 라인으로서 구성된 IR 검출기(12)의 평면 내에 접속된다. 명확하게, 영상(10)의 한 라인만이 주어진 시간에 검출될 수 있다. 따라서, 영상 시스템의 한소자는 이의 중심 축 주위로 선회되는 미러(14)이므로, 미러(14)의 적절한 회전은 검출기 상에 집속시키기 위한 영상(10)의 소정의 양호한 라인을 발생시킬 수 있다.
검출기(12) 내의 각각의 이산 센서 소자로부터의 신호는 선형 어레이(16)내의 이산 발광 소자(전형적으로, LED)에 접속된다. 이 어레이(16)의 가시 광선 방출은 스캔 미러(14)의 배면(18)에 반사되고, 적절한 광학 시스템(22)를 통해 이 미러의 배면(18)을 보는 관측자(20)은 미러(14)가 IR 검출기(12) 양단에 입력 IR 영상(10)을 스캔할 때 입력 IR 영상(10)의 재생 상태를 알 수 있다. 일반적으로, 각각의 개별 접속 경로는 검출기와 에미터 내의 픽셀 감도 및 방출도의 변화에 따라 픽셀을 보정하기 위해 오프셋과 선형성을 조절하는 증폭기를 포함한다.
진보된 IR 센서는 일반적으로 단일 행의 픽셀 소자로 구성된 것이 아니라 다수 행의 픽셀 소자로 구성된다. 각각의 검출기 상에 보다 많은 픽셀 소자를 추가함으로써 매우 많은 수의 출력 접속부가 형성된다. 이러한 상호 접속부는 자주 제조시의 수율 손실원이고 본 분야에서 고장의 원인이다. 그러므로, 이러한 센서는 픽셀의 각각의 행에 대한 직렬 시프트 레지스터 출력을 위해 병렬 픽셀 출력을 자주 포기한다. 이러한 직렬 출력은 LED의 어레이에 접속시키는데는 직렬-병렬 컨버터를 포함하는 모놀리식 LED 기판, 또는 개별 직렬-병렬 컨버터 칩을 갖는 상부 구조물 상에 다중 단일 라인 LED 어레이가 패키지된 복잡한 하이브리드 기판과 같은 복잡한 장치가 필요하다. 비용면에서 효율적인 이러한 형태의 LED 어레이는 현재의 기술적 수준에 미치지 못하므로, 상이한 형태의 디스플레이가 요구된다. 제2도에 도시된 전형적인 해결책은 다선 IR 센서(74)의 다중 병렬 또는 직렬 출력(72)를 디지탈화하여 디지탈 비디오 메모리(70) 내에 저장하는 것이다. 그 다음 비디오 메모리(70)은 CRT 디스플레이(76)을 구동시키기 위해 직렬 형태로 독출되거나 선형 LED 소자의 하이브리드 어레이(78)을 구동시키기 위해 병렬 형태로도 독출된다.
토션 비임 DMD는 후술되는 실시예에서 사용될 수 있다. 제3도 및 제4도에 도시된 바와 같이, 토션 비임 DMD 픽셀은 에어 갭/스페이서(52) 상에 현수되어 하부 장력을 갖는 2개의 얇은 토션 힌지(56)에 의해 강성 지지물 또는 지지층(54)에 접속되는 두꺼운 반사 비임(50)으로 구성되는 것이 일반적이다. 비임(50)의 하부에 배치된 어드레스 전극(58)이 활성화되면, 토션 힌지(56)이 회전되어, 비임(50)이 하부 랜딩 전극( 60) 상에 정지하도록 인입되는 2개의 힌지(56)의 축 주의를 회전한다. 이 구조는 일반적으로 실리콘과 같은 물질의 기판(62) 상에 형성된다. 제4도는 토션 비임 DMD에 사용될 수 있는 몇가지 힌지 옵션을 도시한 것이다.
IR 시스템 디스플레이 문제점에 대한 해결책은 제5도에 도시된 본 발명의 제1의 양호한 실시예에서 제공된다. DMD 칩(28)은 이 칩의 구조가 IR 센서 디바이스(30)의 구조와 반드시 반대가 되도록 제조될 수 있다. 다수의 아날로그 직렬 시프트 레지스터 (32)는 칩(28) 상에 제조되거나, 원한다면 DMD 칩의 외부에 제조될 수도 있다. 이들의 수 및 길이는 IR 센서 디바이스(30) 상의 출력 시프트 레지스터의 수 및 길이와 일치한다. 각각의 이들 시프트 레지스터(32)는 양호하게 직렬-병렬 컨버터(34)를 통해서 IR 디바이스(30) 상의 대응 시프트 레지스터에 공급된 것과 동일한 수의 DMD 픽셀 소자(36)을 공급한다. 개별 DMD 픽셀(36)은 (전체 규모의 팩터를 제외하면) 입력 IR 디바이스(30)의 픽셀이 어레이되었을 때 어레이 될 수 있다. 그러므로, DMD로부터 반사된 가시(또는 다른 파장의) 광원은 IR 스펙트럼 내의 센서(30) 상에 입사된 것과 거의 동일한 조명 패턴을 생성할 수 있다.
제2의 양호한 실시예에 있어서, 재생된 영상은 제1도에 도시된 스캔 미러(14)의 배면(18) 상에 투사되어 배면(18)로부터 반사시에 관측된다. 종래의 IR 시스템의 동작은 디지탈 스캔 컨버터 또는 복잡한 LED 조립체를 소모하지 않고서 개조될 수 있다.
몇가지 방법으로 이 반사된 영상의 강도는 엔코드될 수 있다. 한 방법은 아날로그 변조 방법이다. DMD의 아날로그 시프트 레지스터/직렬-병렬 컨버터(32 및 34)가 픽셀(36) 하부의 어드레싱 전극에 직접 접속되면, 각각의 픽셀(36)의 편향은 아날로그 신호에 비례하므로 입력 IR 광선 강도에 비례한다. 이러한 DMD 경사도는 일반적으로 암시야 광학 기기를 사용하여 아날로그 광 변조를 달성하는데 사용된다.
암시야 시스템에 있어서, DMD는 충분히 경사진 DMD 픽셀로부터 반사된 광이 디스플레이 광학 시스템의 애퍼추어 내부로 완전히 향하도록 정렬될 수 있다. 광학 시스템은 편향되지 않은 픽셀로부터 반사된 광이 애퍼추어 외부로 완전히 향하도록 제한된 애퍼추어로 설계될 수있다. 명확하게, 중간 위치에서는 광학 애퍼추어 내에서 중간 광량을 반사시키므로, 투사된 영상의 평면에 중간 레벨의 휘도를 생성한다.
강도를 엔코드하는 다른 방법은 펄스 폭 변조 방법이다. 아날로그 변조에 기초한 영상 개조의 정확도는 투사 광학 시스템의 DMD 픽셀 경사각 및 적절한 사각의 선형성과 균일성을 포함한 다수의 팩터에 따라 변한다. 상술된 암사야 광학 기기로 펄스 폭 변조를 사용하면 2가지 이러한 문제점을 제거한다.
제6도에 도시된 제3의 양호한 실시예에 있어서, 시프트 레지스터/직렬-병렬 컨버터(32 및 34)의 출력으로부터 DMD 픽셀(36)을 직접 구동시키는 대신에, 램프비교기 증폭기(38)(또는, 동일한 기능을 제공하는 소정의 비교기 회로)은 각각의 시프트 레지스터/직렬-병렬 컨버터(32 및 34)의 출력에 대응하는 DMD(36)의 어드레스 전극 사이에 배치될 수 있다.
제7도에 도시된 바와 같이, 각각의 직렬-병렬 변환의 종료시에, 다음과 같은 3가지 사항이 발생한다. 시프트 레지스터/직렬-병렬 컨버터(32 및 34; 제6도)의 아날로그 출력이 각각의 DMD 픽셀(36) 위치에서 비교기의 한 입력(40) 상에 배치되고, 각각의 픽셀(36) 위치에서의 픽셀 드라이버 증폭기(42)는 각각의 픽셀(36)을 픽셀의 충분히 경사진 위치로 구동시키도록 전환될 수 있으며, 모든 다른 비교기 입력(44)에 공통인 전압이 최저의 검출 가능한 시프트 레지스터 신호 레벨에서 최고의 검출 가능한 시프트 레지스터 신호 레벨까지 램프가 시작된다.
이 램프의 비는 라인 시간의 완료시에 최대 전압에 도달할 정도이다. 비교기(3 8)의 출력은 픽셀 드라이버 증폭기(42)의 입력에 접속되어, 각각의 비교기(38)이 토글하는 경우에 관련 픽셀 드라이버 증폭기(42)의 출력이 0으로 떨어지고 관련 DMD 픽셀(36)이 경사지지 않은 상태로 복귀한다. 그러므로, 소정의 픽셀이 단일 라인 시간 동안에 경사지게 하는데 소비하는 시간량(따라서, 픽셀이 라인 시간 동안에 디스플레이된 영상에 제공하는 광량)은 시프트 레지스터/직렬-병렬 컨버터(32 및 34)에 의해 픽셀(36)에 전달된 전압에 직접 비례한다.
두가지의 이러한 변조 구조는 분리 디스플레이(즉, 한 디스플레이가 입력 스캔 미러의 배면측에 의해 제공된 스캐닝에 따라 변하지 않음)가 요구되는 경우에 디지탈 스캔 컨버터의 동작을 애뮬레이트하는데 사용될 수 있다. 이 스캔 컨버터 기능의 일례로서, DMD가 영역 어레이 CCD(또는, 다른 고상) 검출기의 상부 행에 비춰질 수 있다. 각각의 라인 시간의 종료시에, CCD에 발생된 전하는 수축 형태로 한 행 아래로 시프트될 수 있다. 이 순차는 전체 입력 영상이 CCD 내에 저장될 때까지 비디오 프레임 시간 전반에 걸쳐 진행한다. 이때, CCD는 CRT 또는 다른 디스플레이 시스템의 비디오 내에서 직접 독출될 수 있다. DMD는 다수의 상이한 방법으로 CCD 상에 비춰질 수 있다. 다중 DMD와 CCD는 결합될 수 있고 이들의 출력은 복잡한 광학 처리 업무를 전자적으로 달성하도록 처리될 수 있다.
반대로, 선형 DMD 변조기는 예를 들어, CCD 또는 디지탈 프레임 메모리내에 저장된 영상으로부터 디스플레이를 생성하는데 사용될 수 있다. CCD로부터 또는 프레임 메모리로부터 디지탈을 통해 아날로그 컨버터까지 직접 유도될 수 있는 직력 아날로그 데이타 스트림은 IR 검출기로부터 공급되는 바와 같이 처음에 설명된 아날로그 시프트 레지스터에 입력한다. 그 다음 스캐닝 미러는 종래의 IR 시스템 스캐냉 미러가 구동되는 것과 동일한 방식으로 구동될 수 있으며, DMD로부터 한 라인씩 투사된 영상은 미러면으로부터 반사시에 뷰된다.
디지탈 데이타가 용이하게 이용될 수 있거나 디지탈 동작이 양호하다고 간주되는 경우에, DMD는 디지탈 모드로 용이하게 사용될 수 있다. 이 디지탈 모드는 상술된 것들과 구조면에서 유사한 독특한 DMD를 제조할 필요가 있다. 해상도의 N 비트 디지탈 데이타 스트림의 경우에, N 입력 시프트 레지스터를 갖는 선형 DMD가 제조될 수 있다. 각각의 시프트 레지스터는 최상위 비트에서 최하위 비트까지 상이한 디지탈 해상도 비트를 나타낼 수 있다. 각각의 시프트 레지스터는 DMD 소자 자체의 소유 라인을 직접 어드레스한다. 소자의 각각의 라인은 각각의 라인 시간의 개시시에 활성화된다. 최상위 비트 라인은 라인 시간의 1/2이 턴 오프되고, 다음 상위 비트는 라인 시간의 1/4이 턴 오프되며, 세번째 상위 비트는 라인 시간의 1/8이 턴 오프된다. 이러한 방식으로, 영상의 각각의 라인의 각각의 픽셀은 N 픽셀 만큼 조명되고, 각각의 이러한 픽셀은 이진 합의 가중치에 비례한 기간동안 조명된다. 그러므로, 총 N 비트 이진 광 진폭이 제공된다.
이러한 이진 조명 가중의 보다 단순한 실행이 시간적인 가중과 반대로 공간적인 가중을 통해 제공될 수 있다. 상술된 바와 같이, N 비트 이진 데이타 스트림이 N 입력 시프트 레지스터를 구동시킨다. 그러나, 이러한 구조에서 시프트 레지스터와 함께 각각의 픽셀은 공간적으로 가중된다. 예를 들어, 7비트의 해상도를 갖는 시스템에서, 최상위 비트 시프트 레지스터는 각각의 DMD 위치에서 64 픽셀을 구동한다. 다음 상위 비트는 32 픽셀을 구동하고, 다음 상위 비트는 16 픽셀을 구동한다. 이 방법은 서브-라인 시간의 시간적 해상도를 필요로 하지 않는데, 그 이유는 주어진 퍼센트의 조명 가중이 이용가능한 시간 이용의 퍼센트보다 오히려 반사 영역 이용의 퍼센트 만큼 제공되기 때문이다. 이진 조명 가중의 이러한 2가지 방법(시간적 및 공간적 방법)은 결합될 수 있다. 따라서, 결합된 방법의 동적 범위가 증가되기 때문에 픽셀의 해상도가 보다 높아진다.
DMD는 디스플레이 디바이스를 제공하기 위해 여러가지 상이한 실시예에 사용될 수 있다. DMD는 소형이고 경량이며 저렴하고 저전력인 스캔 컨버터 기능을 제공하기 위해 적절한 광학 시스템과 함께 구성될 수 있다. 부수적으로, 최종 DMD 시스템은 뷰잉하기 위해서 이것의 소오스에 무관하게 소정의 저장된 디지탈 영상 또는 아날로그 데이타 스트림을 디스플레이할 수 있다.
몇 가지 양호한 실시예에 대해 상세하게 설명하였다. 본 발명의 범위는 상술된 것과 상이한 실시예도 청구 범위 내에서 포함한다. 예를 들어, 입력 디바이스는 IR 감지기로서 설명되었지만, 입력은 텔레비젼 신호 또는 컴퓨터와 같은 여러가지 다른 소오스로부터 발생할 수 있다. 암시야 광학 기기가 이러한 시스템의 사용과 관련하여 설명되었지만, 굴절 광학기 또는 다른 적절한 광학기 시스템이 사용될 수 있다. 이와 마찬가지로, DMD는 영상을 바로 디스플레이하거나, 디스플레이하기 전에 가능한 조작을 위해 다른 검출기 상에 디스플레이하는데 사용될 수 있다. 포함이라는 말은 본 발명의 범위를 고려하여 전부가 아니라는 의미로 설명하고자 하는 것이다.
본 발명은 상기 실시예를 참조하여 설명되었지만, 이 설명은 본 발명을 제한하고자 하는 것이 아니다. 본 분야에 숙련된 기술자라면 본 발명의 다른 실시예뿐만 아니라 상기 실시예를 다양하게 변경 및 결합할 수 있다. 그러므로, 본 발명은 특허 청구 범위 내에서만 제한된다.

Claims (23)

  1. DMD(Deformable Mirror Device) 시스템을 디지탈 변조하는 방법에 있어서,입력 디바이스로부터 픽셀 당 해상도의 N 비트 데이타 중 최소한 한 개의 데이타 스트림을 수신하는 단계; 상기 데이타 스트림을 N 입력 시프트 레지스터들 내에 입력하는 단계; 자신들의 출력이 영상의 한 픽셀을 생성하도록 결합되어 있는 최소한 N 가중된 DMD들을 상기 시프트 레지스터로 어드레스하는 단계; 및 상기 데이타 스트림에 기초하여 상기 DMD들을 활성화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 활성화된 DMD들의 각각의 그 DMD의 가중치 (weigh ting)에 의해 배가된 라인 시간과 동등한 기간 동안 유지되도록 상기 활성화된 DMD들의 각각이 개별적으로 턴 오프되어, DMD들은 시간에 따라 가중될 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 가중된 DMD들의 가중은 픽셀 당 해상도에 기초하여, 최상위 비트가 1/2 가중되고, 다음 상위 비트가 1/4 가중되며, 1/2N가중되는 최하위 비트까지 계속 가중되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 가중이 비트 당 DMD들의 소정 수에 의해 이루어짐으로써, DMD들은 비트 당 DMD들의 수에 의해 가중될 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 가중이 상기 DMD들중 1개 이상이 상이한 최대 광량을 반사하도록 이루어짐으로써, DMD들은 개별 DMD의 반사 영역 및/또는 반사율에 의해 가중될 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 검출기가 상기 DMD들로부터의 영상을 조작하여, 상기 영상은 상기 검출기에 입력된 것과 상이한 순서로 상기 검출기로부터 출력되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 DMD는 고상(solid state)검출기 상으로 영상화되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 DMD는 스캔 미러의 배면측 상으로 영상화되는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 입력 디바이스는 컴퓨터인 것을 특징으로 하는 방법.
  10. DMD 시스템을 디지탈 변조하는 방법에 있어서, 입력 디바이스로부터 해상도의 N 비트 데이타 중 최소한 한 개의 데이타 스트림을 수신하는 단계; 상기 데이타 스트림을 N 입력 시프트 레지스터들 내에 입력하는 단계; 상기 시프트 레지스터로 2NDMD들을 어드레스함으로써, 최상위 비트의 시프트 레지스터가 2N-1DMD들을 어드레스하고, 다음 최상위 비트의 시프트 레지스터가 2N-2DMD를 어드레스하며, 시프트 레지스터가 2N-NDMD들을 어드레스하는 최하위 비트까지 이 어드레스 작업(scheme)을 계속하고, 상기 DMD들이 영상의 한 픽셀을 생성하도록 결합하게 되는 단계 ; 및 상기 데이타 스트림에 기초하여 개별적으로 상기 DMD들을 활성화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 DMD는 고상 검출기 상으로 영상화되는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 검출기는 CCD인 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 검출기가 상기 DMD로부터의 영상을 조작함으로써, 상기 영상은 상기 검출기에 입력된 상기 영상과 상이한 순서로 상기 검출기로부터 출력되는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제10항에 있어서, 상기 DMD는 스캔 미러의 배면측 상으로 영상화되는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 미러의 상기 배면측으로부터의 영상은 상기입력 디바이스에서 수신된 상기 영상과 거의 동일한 영상을 생성하도록 광학적으로 투사되는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제10항에 있어서, 상기 입력 디바이스는 컴퓨터인 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 디지탈 변조 DMD 시스템에 있어서, 입력 디바이스로부터 해상도의 N 비트 데이타 중 최소한 한 개의 데이타 스트림을 수신하기 위한 N 시프트 레지스터 및 상기 시프트 레지스터에 의해 어드레스된 DMD들을 포함하여, 상기 DMD들이 영상의 한 픽셀을 생성하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  18. 제17항에 있어서, 상기 DMD들은 고상 검출기 상으로 영상화되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  19. 제18항에 있어서, 상기 검출기는 CCD인 것을 특징으로 하는 시스템.
  20. 제18항에 있어서, 상기 검출기는 상기 DMD로부터의 영상을 조작함으로써, 상기 영상은 상기 검출기에 입력된 상기 영상과 상이한 순서로 상기 검출기로부터 출력되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  21. 제17항에 있어서, 상기 시프트 레지스터 및 상기 DMD들은 모놀리식 집적 회로상에 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  22. 제17항에 있어서, 상기 DMD는 스캔 미러의 배면측 상으로 영상화되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  23. 제17항에 있어서, 상기 입력 디바이스는 컴퓨터인 것을 특징으로 하는 시스템.
KR1019920011206A 1991-06-27 1992-06-26 디지탈 변조된 dmd 시스템 및 이의 디지탈 변조 방법 KR100246018B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US72272891A 1991-06-27 1991-06-27
US722,728 1991-06-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100246018B1 true KR100246018B1 (ko) 2000-03-02

Family

ID=24903133

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019920011206A KR100246018B1 (ko) 1991-06-27 1992-06-26 디지탈 변조된 dmd 시스템 및 이의 디지탈 변조 방법

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPH05232388A (ko)
KR (1) KR100246018B1 (ko)
CN (1) CN1068465A (ko)
TW (1) TW263579B (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113050385B (zh) * 2021-03-04 2022-04-22 苏州大学 一种dmd光刻机中灰度图像数据存储方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05232388A (ja) 1993-09-10
CN1068465A (zh) 1993-01-27
TW263579B (ko) 1995-11-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3100628B2 (ja) 投写システム
US5212555A (en) Image capture with spatial light modulator and single-cell photosensor
EP0547601B1 (en) Color display system using spatial light modulators
JP3526480B2 (ja) 水平解像度を改善するdmd構造
US20080007576A1 (en) Image display device with gray scales controlled by oscillating and positioning states
JPH0361991A (ja) 画素点を表わす一連の輝度値からイメージを発生するためのシステムと方法
US7826126B2 (en) Gamma correction for adjustable light source
US7787172B2 (en) Gamma correction for adjustable light source
US5793348A (en) Actuated mirror array driving circuit having a DAC
US6057816A (en) Display device driving circuitry and method
US6525709B1 (en) Miniature display apparatus and method
US20080074562A1 (en) Display system comprising a mirror device with oscillation state
US6300924B1 (en) Displaying video data on a spatial light modulator
CN100458876C (zh) 图像显示装置及其控制方法
US20110128607A1 (en) Display system for higher grayscale with a varying light source
EP0520481B1 (en) Modulation method for the deformable mirror device (DMD)
US7268935B2 (en) Projection system
KR100246018B1 (ko) 디지탈 변조된 dmd 시스템 및 이의 디지탈 변조 방법
JP2000501197A (ja) 表示システム
JP3222205B2 (ja) Dmdのアナログ走査変換器
WO2009032346A1 (en) Gamma correction for adjustable light source
KR0182451B1 (ko) 투사형 화상표시장치의 화소보정방법
JPS60170364A (ja) 読み取り装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20021029

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee