KR100217434B1

KR100217434B1 - Helium leak detector

Info

Publication number: KR100217434B1
Application number: KR1019960018916A
Authority: KR
Inventors: 히데키 와카모토
Original assignee: 후지와라 기꾸오; 가부시키가이샤 시마즈세이사꾸쇼
Priority date: 1995-06-26
Filing date: 1996-05-31
Publication date: 1999-09-01
Also published as: KR970002277A; TW293086B; CN1083575C; CN1142605A; JPH0915082A; JP3358394B2

Abstract

본 발명은, 그로스누설을 수반해서 오일회전진공펌프의 오일에 대량의 He가 혼입하였을 경우에도, 신속하게 질량분석부의 백그라운드치를 저하시키고, 누설테스트를 유효하게 재개할 수 있도록 한 헬륨누설검출기를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 질량분석부 ANAL이 임계치를 초과하는 측정치를 검출하였을 경우에, 마이크로컴퓨터유니트(4)가 그로스누설이라고 판정해서, RP(2)의 가스밸러스트구(21)에 장착되어 있는 전자밸브GBV를 일정시간 개방으로 유지하는 제어를 행한다. 이때, 가스밸러스트구(21)를 개재해서 RP(2)내로 대기가 도입되어, 오일속에 용해되어 있는 He의 기포를 교반하여, 신속하게 RP(2)로부터 외부로 배출한다. 이 때문에, 그로스누설발생후의 누설테스트시에 RP(2)로부터 He가 재방출되는 불편, 이것에 기인한 질량분석부 ANAL에 있어서의 백그라운드치의 상승문제가 해소되는 것을 그 특징으로 한 것이다.The present invention provides a helium leakage detector which can quickly reduce the background value of the mass spectrometry section and effectively resume the leak test even when a large amount of He enters the oil of the oil rotary vacuum pump with gross leakage The microcomputer unit 4 determines that it is a gross leakage, and the gas ballast port (not shown) of the RP 2 21 is kept open for a predetermined period of time. At this time, air is introduced into the RP 2 through the gas ballast port 21, and the bubbles of He dissolved in the oil are stirred and discharged from the RP 2 to the outside quickly. Therefore, the problem of the re-release of He from the RP 2 at the leak test after the occurrence of the gross leakage and the problem of the background value rise in the mass analyzing section ANAL due to this are solved.

Description

Helium leak detector

제1도는 본 발명의 일실시예를 표시한 회로도.FIG. 1 is a circuit diagram showing an embodiment of the present invention. FIG.

제2도는 동 실시예에서 사용되는 오일회전진공펌프의 개략적인 단면도.FIG. 2 is a schematic sectional view of an oil rotary vacuum pump used in this embodiment; FIG.

제3도는 종래예를 표시한 제1도에 대응한 회로도.FIG. 3 is a circuit diagram corresponding to FIG. 1 showing a conventional example.

제4도는 누설테스트의 일반적인 순서를 설명하는 제3도에 대응한 도면.Figure 4 corresponds to Figure 3, which illustrates a general sequence of leakage tests;

제5도는 누설테스트의 일반적인 순서를 설명하는 제3도에 대응한 도면.FIG. 5 corresponds to FIG. 3, which illustrates a general sequence of leak tests; FIG.

제6도는 누설테스트의 일반적인 순서를 설명하는 제3도에 대응한 도면.Figure 6 corresponds to Figure 3, which illustrates a general sequence of leakage tests;

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS

ANAL : 질량분석부 EXP : 피시험체ANAL: mass spectrometry section EXP:

GBV : 전자밸브 1 : 메인펌프(터보분자펌프; TMP)GBV: Solenoid valve 1: main pump (turbo molecular pump; TMP)

2 : 오일회전진공펌프(RP) 4 : 제어수단(마이크로컴퓨터유니트)2: Oil rotary vacuum pump (RP) 4: Control means (microcomputer unit)

21 : 가스밸러스트구21: Gas ballast

본 발명은, 시일(seal)검사나 밀폐검사등을 행할 때에 이용되는 헬륨누설검출기에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a helium leak detector used when performing seal inspection, airtight inspection, and the like.

배관등의 누설의 유무를 검사함에 있어서, 유력한 수단으로 되는 것의 하나로 헬륨누설검출기가 있다. 이 장치는, 제3도에 표시한 바와 같이, 헬륨(He)만을 검출하는 질량분석부 ANAL과, 이 질량분석부 ANAL을 피시험체 EXP와 함께 진공배기할 수 있는 위치에 배설되는 메인펌프인 터보분자펌프 TMP(1)와, 이 TMP(1)의 백펌프로서 기능하는 오일회전진공펌프 RP(2)를 구비하는 동시에, 피시험체 EXP와 TMP(1) 사이에 테스트밸브 TV를 배치하고, TMP(1)와 RP(2)사이에 차단밸브 FV를 배치하고, 또 피시험체 EXP와 RP(2)를 직접 연통하는 라인에 중간밸브 BV를 배치해서 구성된다. 도면에 있어서 TP는 피시험체 EXP를 장치에 대해서 착탈하기 위한 테스트포오트이다.In examining the presence or absence of leakage of piping, there is a helium leak detector as one of the possible means. As shown in FIG. 3, this apparatus includes a mass analyzing section ANAL for detecting only helium (He), and a turbocharger (turbo pump) which is a main pump disposed at a position where the mass analyzing section ANAL can be evacuated together with the subject EXP A molecular pump TMP 1 and an oil rotary vacuum pump RP 2 functioning as a back pump of the TMP 1. A test valve TV is disposed between the test subject EXP and the TMP 1, A shutoff valve FV is disposed between the test object 1 and the RP 2 and an intermediate valve BV is disposed on the line directly communicating the subject EXP and the RP 2. In the figure, TP is a test port for attaching and detaching the subject EXP to and from the apparatus.

이 장치에 있어서의 누설테스트는, 다음순서에 따라서 행해진다. 먼저 중간밸브 BV 및 테스트밸브 TV를 폐쇄, 차단밸브 FV를 개방에 유지해서 TMP(1) 및 RP(2)를 기동하므로서, 질량분석부 ANAL을 소정진공도까지 배기한다. 제4도에 있어서의 굵은선은 이때 배기가 진행되고 있는 개소를 표시하고 있다. 다음에, 테스트포오트 TP에 피시험체 EXP를 접속하고, 이번은 테스트밸브 TV 및 차단밸브 FV를 폐쇄, 중간밸브 BV를 개방에 유지하고, 제5도에 굵은선으로 표시한 바와같이 RP(2)에 의해 피시험체 EXP를 소정진공도까지 배기한다. 그후, 중간밸브 BV를 폐쇄, 테스트밸브 TV 및 차단밸브 FV를 개방에 유지하므로서, 제6도에 굵은 선으로 표시한 배기라인을 구성해서, 피시험체 EXP에 He를 뿜어낸다. 이때, 피시험체 EXP에 누설이 있으면, 질량분석부 ANAL에 He의 일부가 돌아들어와서, 그 누설에 대략 비례한 He가 검출되어, 결과적으로 피시험체 EXP의 기밀도가 간접적으로 측정되게 된다.The leakage test in this apparatus is performed in the following order. First, the intermediate valve BV and the test valve TV are closed and the shutoff valve FV is kept open to start the TMP (1) and the RP (2), thereby exhausting the mass analysis section ANAL to a predetermined degree of vacuum. A thick line in FIG. 4 indicates a position where the exhaust is proceeding at this time. Next, the test object EXP is connected to the test port TP, the test valve TV and the shutoff valve FV are closed, the intermediate valve BV is kept open, and the RP (2 ) To the predetermined degree of vacuum. Thereafter, the intermediate valve BV is closed, the test valve TV and the shutoff valve FV are kept open, and the exhaust line indicated by the bold line in FIG. 6 is formed to blow out He to the test object EXP. At this time, if there is a leak in the subject EXP, a part of the He returns to the mass analyzing unit ANAL, and He proportional to the leakage is detected. As a result, the airtightness of the subject EXP is indirectly measured.

그런데 피시험체 EXP로부터 대량의 He가 누설(그로스누설(Gross leak)이라 호칭된다)하였을 경우에, 그후의 누설테스트시에, 질량분석부 ANAL 내에서의 He의 백그라운드치(제로점)가 충분히 저하하지 않아, 그 때문에 하등 문제가 없는 양질의 피시험체 EXP까지도 불량품으로 판정하는 등, 유효한 테스트를 행할 수 없는 상태에 빠지는 일이 있다.However, when a large amount of He is leaked (referred to as a gross leak) from the subject EXP, the background value (zero point) of He in the mass analyzing section ANAL is sufficiently lowered Therefore, even a high quality test object EXP having no problem is judged to be a defective product, so that a valid test can not be performed.

그 원인에 대해서 규멍하였던바, 그로스누설시에는 TMP(1)의 백펌프로서 작용하고 있는 RP(2)에 He농도가 극단적으로 높은 공기가 대량으로 흡입되고, 이때 RP(2)의 오일속에 He가 용해되는 동시에, 용해된 He의 기포가 시간과 함께 재차 흡기구쪽으로부터 방출되고, 이것이 질량분석부 ANAL로 역류해서 백그라운드치를 상승시키고 있는 것이 명백해졌다.At the time of leakage of the gas, a large amount of air having an extremely high He concentration is sucked into the RP 2 acting as a back pump of the TMP 1. At this time, He And the bubbles of dissolved He were discharged from the inlet port again with time, and it was evident that this flowed back to the mass spectrometry unit ANAL to raise the background value.

이와같은 불편을 해소하기 위하여, 장치전체의 가동을 정지해서 RP(2)의 오일을 새오일과 교체하므로서 대처하는 것도 생각할 수 있으나, 이렇게하면 장치전체를 재차 시동하기까지의 다운타임이 장시간에 이르고, 장치의 가동효율에 큰 지장이 생기는 동시에, 유지관리에도 다대한 코스트와 노력이 필요하게 된다.In order to overcome such inconvenience, it is conceivable to stop the operation of the entire apparatus and replace the oil of the RP 2 with fresh oil. However, in this case, the downtime until the entire apparatus is started again for a long time , The operation efficiency of the apparatus is greatly deteriorated, and maintenance and effort are required for the maintenance and management.

본 발명은, 이와 같은 과제에 착안해서 이루어진 것으로서, 오일회전진공펌프의 오일의 대량의 He가 혼입하였을 경우에도, 그 오일을 신속하게 퇴피시키고, 이에 의해 질량분석부의 백그라운드치를 신속하게 저하시켜서, 누설테스트를 유효하게 재개할 수 있도록 한 헬륨누설검출기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a problem, and it is an object of the present invention to provide an oil rotary vacuum pump in which even when a large amount of oil of an oil of an oil rotary vacuum pump is mixed, the oil is quickly retracted, And it is an object of the present invention to provide a helium leak detector capable of effectively resuming a test.

본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 채용한 것이다.In order to achieve the above object, the present invention employs the following configuration.

즉, 본 발명에 관한 헬륨누설검출기는, 헬륨만을 검출하는 질량분석부와, 이 질량분석부를 피시험체와 함께 진공배기하는 메인펌프와, 이 메인펌프의 백펌프로서 기능하는 오일회전진공펌프를 구비해서 이루어진 것에 있어서, 상기 오일회전진공펌프에, 가스밸러스트구(口)를 구비한 것을 채용하고, 그 가스밸러스트구에 선택적으로 개폐가능한 전자밸브를 설치하는 동시에, 상기 질량분석부에 의해 측정되는 헬륨측정치가 미리 정한 임계치를 상회하였을 경우에 상기 전자밸브를 일정시간 개방으로 유지하는 제어를 행하는 제어수단을 설치해서 이루어지는 것을 특징으로 한다.That is, the helium leak detector according to the present invention includes a mass analyzer for detecting only helium, a main pump for evacuating the mass analyzer together with the object to be tested, and an oil rotary vacuum pump serving as a back pump of the main pump Wherein the oil rotary vacuum pump is provided with a gas ballast port and a solenoid valve selectively openable and closable is provided in the ballast port of the oil rotary vacuum pump, And control means for controlling the solenoid valve to maintain the solenoid valve open for a predetermined time when the measured value exceeds a predetermined threshold value.

이와 같은 구성에 있어서, 임계치에 그로스누설에 대응하는 값을 부여해두면, 실제로 그로스누설이 발생해서 오일회전진공펌프내에 대량의 He가 흡입되고, 그것이 오일속에 용해되어도, 질량분석부의 헬륨측정치가 임계치를 초과하므로서 제어수단이 작용하여, 오일회전진공펌프의 가스밸러스트구에 부대해서 설치한 전자밸브를 일정시간 개방으로 유지하는 제어를 행하므로, 오일회전진공펌프내로 대기가 도입되고, 그 대기에 의해 오일회전진공펌프내의 오일이 교반되어서, 오일속에 기포상태로 용해되어 있는 He가 그 대기의 교반작용에 의해서 신속하게 배출된다. 이 때문에, 오일속의 He 농도가 급속하게 저하하고, 그후에 누설테스트를 재개해도 오일회전진공펌프로부터의 He의 방출량이 현저하게 저감되고, He가 질량분석부에 돌아들어가서 백그라운드치를 상승시키는 불편이 비약적으로 개선된다. 또한, 본 발명에 의하면, 그 사이에 오일회전진공펌프는 물론이고 질량분석부나 고진공펌프 등의 다른 장치부분의 가동을 정지시킬 필요가 없기 때문에, 시스템의 연속가동성에 큰 악영향이 미치는 일도 없고, 그로스누설후의 누설테스트를 극히 짧은 로스타임 후에 계속해서 유효하게 재개하는 일이 가능해진다.In such a configuration, if a value corresponding to the gross leakage is given to the threshold value, a large amount of He is sucked into the oil rotary vacuum pump due to the occurrence of gross leakage, and even if the helium measurement is dissolved in the oil, The control means operates to control the solenoid valve provided in the gas ballast port of the oil rotary vacuum pump to keep the solenoid valve open for a predetermined period of time, so that the atmosphere is introduced into the oil rotary vacuum pump, The oil in the rotary vacuum pump is agitated and the He dissolved in the bubbles in the oil is quickly discharged by the stirring action of the atmosphere. Therefore, even if the He concentration in the oil drops rapidly and then the leak test is resumed, the amount of He discharged from the oil rotary vacuum pump is remarkably reduced, and the inconvenience that the He enters the mass spectrometry section and rises in the background value is remarkable Improvement. Further, according to the present invention, it is not necessary to stop the operation of other parts such as the mass analysis unit and the high vacuum pump as well as the oil rotary vacuum pump therebetween, so that there is no great adverse effect on the continuous operation of the system, The leakage test after the leakage can be effectively and continuously resumed after an extremely short loss time.

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조해서 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

제1도에 표시한 헬륨누설검출기는, 제3도에 표시한 것과 기본적으로 마찬가지 구성으로 이루어진다. 즉, 이것도, 헬륨(He)만을 검출하는 질량분석부 ANAL과 이 질량분석부 ANAL을 오일회전진공펌프와 함께 진공배기할 수 있는 위치에 배설되는 메인펌프인 터보분자펌프 TMP(1)와, 이 TMP(1)의 백펌프로서 기능하는 오일회전진공펌프 RP(2)를 구비하는 동시에, 피시험체 EXP와 TMP(1)사이에 테스트밸브 TV를 배치하고, TMP(1)와 RP(2)사이에 차단밸브 FV를 배치하고, 또 피시험체 EXP와 RP(2)를 직접 연통하는 라인에 중간밸브 BV를 각각 배치해서 구성되는 것이다.The helium leakage detector shown in FIG. 1 has basically the same configuration as that shown in FIG. That is, this also includes a mass analyzing section ANAL for detecting only helium (He) and a turbo molecular pump TMP (1) which is a main pump disposed at a position where the mass analyzing section ANAL can be evacuated together with an oil rotary vacuum pump And an oil rotary vacuum pump RP 2 functioning as a back pump of the TMP 1 while a test valve TV is disposed between the test subject EXP and the TMP 1 and the pressure between the TMP 1 and the RP 2 And the intermediate valve BV is disposed on the line directly communicating the test subject EXP and RP (2).

또, 누설테스트에 관한 순서도 제4도∼제6도를 따라서 설명한 종래의 것과 마찬가지이며, 먼저 중간밸브 BV 및 테스트밸브 TV를 폐쇄, 차단밸브 FV를 개방으로 유지해서, TMP(1) 및 RP(2)를 기동하므로서, 질량분석부 ANAL을 소정진공도까지 배기한다(제4도 참조). 다음에, 테스트포오트 TP에 피시험체 EXP를 접속하고, 이번에는 테스트밸브 TV 및 차단밸브 FV를 폐쇄, 중간밸브 BV를 개방으로 유지해서, RP(2)에 의해 피시험체 EXP를 소정 진공도까지 배기한다(제5도 참조). 그후, 중간밸브 BV를 폐쇄, 테스트밸브 TV 및 차단밸브 FV를 개방으로 유지하고, 피시험체 EXP에 He를 뿜어낸다(제6도 참조). 이때, 피시험체 EXP에 누설이 있으면, 질량분석부 ANAL에 He의 일부가 돌아들어가서, 그 누설에 대략 비례한 He가 검출되어, 결과적으로 피시험체 EXP의 기밀도가 간접적으로 측정되게 된다.The flow of the leakage test is the same as that of the prior art described with reference to FIGS. 4 to 6. First, the intermediate valve BV and the test valve TV are closed, the shutoff valve FV is kept open, 2), and the mass analyzing unit ANAL is evacuated to a predetermined degree of vacuum (see FIG. 4). Next, the test object EXP is connected to the test port TP, the test valve TV and the shutoff valve FV are closed, the intermediate valve BV is kept open, and the test object EXP is exhausted to the predetermined degree of vacuum by the RP 2 (See FIG. 5). Thereafter, the intermediate valve BV is closed, the test valve TV and the shutoff valve FV are kept open, and the He is blown out to the object EXP (see FIG. 6). At this time, if there is a leak in the subject EXP, a part of the He flows into the mass analyzer ANAL, and He proportional to the leakage is detected. As a result, the air tightness of the subject EXP is indirectly measured.

이상에 있어서, 피시험체 EXP의 밀폐성이나 시일상태가 극히 열악하거나, 피시험체 EXP와 대충진공라인(roughing vacuumline)과의 접속개소(테스트포오트 TP부분)의 진공시일이 불충분 내지 파손하거나 해서, 대량의 He의 누설(그로스누설)이 발생하였을 경우에는, 별개의 다른 시퀀스제어에 의해서 신속하게 테스트를 종료하는 조치등이 강구되나, 이때 TMP(1)의 백펌프로서 작용하고 있는 RP(2)에 He 농도가 극단적으로 높은 공기가 대량으로 흡입되기 때문에, RP(2)의 오일속에 He가 용해된다. 이 때문에, 그로스누설후에 누설테스트를 재개하였을 경우에, 용해된 He의 기포가 시간과 더불어 재차 흡기구쪽으로부터 방출되고, 이것이 질량분석부 ANAL로 역류해서 백그라운드치를 상승시켜, 누설테스트를 사실상, 속행불능한 상태에 빠트린다.As described above, the sealing and sealing conditions of the object to be tested EXP are extremely poor, or the vacuum seal of the connection portion (test port TP portion) of the test subject EXP and the roughing vacuum line is insufficiently or broken, (Gross leakage) of the He of the TMP 1 is generated, a measure is taken such that the test is quickly terminated by another sequence control which is different. At this time, the RP 2 serving as the back pump of the TMP 1 Helium is dissolved in the oil of the RP 2 because air having an extremely high He concentration is sucked in a large amount. Therefore, when the leak test is resumed after the gross leakage, the dissolved bubbles of He are discharged from the inlet port again with time, and this flows back to the mass analyzing section ANAL to raise the background value, It is in one state.

그래서, 본 실시예는, RP(2)에, 가스밸러스트구(21)를 구비한 것을 채용하고, 그 가스밸러스트구(21)에 선택적으로 대기를 도입해서, 상기의 불편을 해소하도록 하고 있다.Thus, in the present embodiment, the RP 2 is provided with the gas ballast port 21, and the atmosphere is selectively introduced into the gas ballast port 21 to eliminate the inconvenience described above.

상세히 설명하면, 이 RP(2)는, 제2도에 표시한 바와 같이, 실린더(22)내의 편심위치에 내접상태로 로터(23)를 배치하고, 이 로터(23)에 반경방향으로 돌출몰입가능하게 수용한 베인(24)의 선단부를 실린더(22)의 안둘레에 미끄름접촉시키고, 실린더(22), 로터(23), 베인(24)에 의해서 칸막이되는 펌프실 P에 펌프오일을 충전해서 로터(23)를 회전구동하므로서, 흡기구(25)로부터 흡입한 가스를 압축하면서 배기구(26)로 내보낸다고 하는 주지의 펌프작용을 행하는 것이다. 또, 배기할려고 하는 가스가 수증기등과 같은 응축성을 가진 가스인 경우에, 압축에 의한 가스의 액화, 그것에 기인한 펌프전체의 성능열화를 방지하기 위하여, 도시한 RP(2)는, 배기구(26)의 근방에 가스밸러스트구(21)를 개구시키고 있고, 가스가 압축되기전에 이 가스밸러스트구(21)로부터 대기를 도입해서, 가스를 분압(分壓)을 높이지 않고 배기하는 기능을 겸비하고 있다.More specifically, as shown in FIG. 2, the RP 2 is provided with a rotor 23 in an inscribed state in an eccentric position in the cylinder 22, and radially protruding in the rotor 23 The pump chamber P partitioned by the cylinder 22, the rotor 23, and the vane 24 is filled with the pump oil P by allowing the tip end of the vane 24, which is accommodated in the cylinder 22, to slidably contact the inner circumference of the cylinder 22 And the rotor 23 is rotationally driven to perform a well-known pumping action that the gas sucked from the intake port 25 is compressed while being exhausted to the exhaust port 26. [ When the gas to be exhausted is a condensable gas such as water vapor or the like, in order to prevent liquefaction of the gas due to compression and deterioration of the performance of the entire pump due to the liquefaction, the RP 2 shown in FIG. The gas ballast 21 is opened in the vicinity of the gas ballast 21 and the atmosphere is introduced from the gas ballast 21 before the gas is compressed so as to discharge the gas without increasing the partial pressure. .

그리고, 본 실시예에서는, 그 가스밸러스트구(21)에 개폐가능하게 전자밸브 GBV를 부대해서 설치하는 동시에, 이 전자밸브 GBV를, 본 발명의 제어수단으로서의 역할을 담당하는 마이크로컴퓨터유니트(4)에 의해서 개폐제어하도록 하고 있다.In this embodiment, a solenoid valve GBV is provided so as to be openable and closable to the gas ballast opening 21, and the solenoid valve GBV is connected to the microcomputer unit 4 serving as the control means of the present invention. The opening / closing control is performed.

전자밸브 GBV는, 입력되는 전기신호에 의해서 가스밸러스트구(21)를 적어도 개방상태와 폐쇄상태로 선택적으로 절환해서 유지할 수 있는 통상적인 것이다.The solenoid valve GBV is a typical one capable of selectively switching the gas ballast port 21 between an open state and a closed state by an electric signal inputted thereto.

마이크로컴퓨터유니트(4)는, CPU, 메모리 및 인터페이스 등을 구비하여 이루어진 이미 알려진 것으로서, 그 메모리내에는 소정의 프로그램이 격납되고 CPU는 그 프로그램을 따라서 질량분석부 ANAL로부터 측정치 S를 입력해서 소정의 비교, 연산을 행하여, 상기 전자밸브 GBV에 개폐신호 a를 출력하도록 되어 있다.The microcomputer unit 4 is already known which is equipped with a CPU, a memory and an interface. A predetermined program is stored in the memory, and the CPU inputs a measurement value S from the mass analyzer ANAL in accordance with the program, And outputs an opening / closing signal a to the solenoid valve GBV.

이하, 그 프로그램을 따라서 제어의 순서를 설명한다. 통상은 전자밸브 GBV는 폐쇄상태로 유지되어 있다. CPU는 질량분석부 ANAL로부터 입력되는 측정치 S를 미리 정한 임계치 SO와 정기적으로 비교한다. 이 임계치 SO는, RP(2)내에 허용량을 초과하는 He가 도입될 가능성이 있는 레벨, 즉 그로스누설레벨에 대응하는 측정치로 설정된다. 그리고, 입력되는 측정치 S가 그 임계치 SO를 상회하고 있다고 판단하였을 경우에는, 그로스누설로 판정해서, 상기 전자밸브 GBV를 일정시간 개방상태로 유지한다. 이에 의해, 가스밸러스트구(21)를 개재해서 외부로부터 대량의 대기가 RP(2)의 펌프실 P내에 도입된다. 그로스누설일 때에는, RP(2)의 펌프실 P내에 대량의 He가 흡입되고, 그것이 오일속에 기포의 형태로 용해된 상태로 되어 있으나, 그 He는 가스밸러스트구(21)를 개재해서 도입되는 대기에 의해 내부에서 교반되므로, He는 그 대기의 교반작용에 의해서 신속하게 배기구(26)로부터 배출된다. 이 때문에, 오일속의 He 농도가 급속하게 저하하고, 그후에 누설테스트를 재개해도, RP(2)로부터의 He 방출량이 현저하게 저감되고, He가 질량분석부 ANAL로 돌아들어가서 백그라운드치를 상승시키는 불편이 비약적으로 개선된다. 또한, 본 실시예에 의하면, 그 사이에 RP(2)는 물론이고, 질량분석부 ANAL이나 TMP(1)등의 다른 장치부분의 가동을 정지시킬 필요가 없기 때문에, 장치의 연속가동성에 큰 악영향을 미치는 일도 없고, 그로스누설후의 누설테스트를 극히 짧은 로스타임후에 계속해서 유효하게 재개하는 일이 가능해진다. 그 위에, 이상의 제어는 모두 자동적으로 행해지기 때문에, 지식이 부족한 자라도 장치를 적정하게 취급할 수 있고, 장치의 이용율과 사용편리성을 유효하게 향상시키는 일이 가능해진다.Hereinafter, the order of control will be described in accordance with the program. Normally, the solenoid valve GBV is kept closed. The CPU periodically compares the measurement value S input from the mass analysis section ANAL with a predetermined threshold value SO. This threshold value SO is set to a measurement value corresponding to the level at which the He exceeding the allowable amount is likely to be introduced into the RP 2, that is, the gross leak level. When it is determined that the input measurement value S exceeds the threshold value SO, it is determined that a gross leak has occurred and the solenoid valve GBV is kept open for a predetermined time. As a result, a large amount of air is introduced into the pump chamber P of the RP 2 from the outside through the gas ballast port 21. [ A large amount of He is sucked into the pump chamber P of the RP 2 and dissolved in the form of bubbles in the oil. However, the He is introduced into the atmosphere introduced through the gas ballast 21 So that He is quickly discharged from the exhaust port 26 by the stirring action of the atmosphere. Therefore, even if the He concentration in the oil drops rapidly and then the leak test is resumed thereafter, the He emission amount from the RP 2 is remarkably reduced, and the inconvenience that He goes back to the mass spectrometry unit ANAL to rise the background value is remarkable . Further, according to the present embodiment, there is no need to stop the operation of the RP 2 and other parts of the apparatus such as the mass analyzing unit ANAL and the TMP 1 in the meantime, The leakage test after the gross leakage can be effectively and continuously resumed after an extremely short loss time. On top of that, all the above control is performed automatically, so that even if the knowledge is insufficient, the apparatus can be properly handled, and the utilization ratio and usability of the apparatus can be effectively improved.

또한, 각부의 구체적인 구성은, 상술한 실시예만에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러가지 변형이 가능하다.The specific configurations of the respective parts are not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

본 발명에 관한 헬륨누설검출기는, 이상 설명한 구성이므로, 그로스누설이 발생하였을 경우에, 그것을 검지하고, 오일회전진공펌프내에 일시적으로 대기를 도입해서 오일속에 용해된 He를 교반해서 신속하게 배출할 수 있다. 이 때문에, 그로스누설 후에 누설테스트를 재개해도, 질량분석부의 백그라운드치를 낮은 값으로 유지해서, 유효한 누설테스트를 행하는 일이 가능해진다. 또한, 그 사이에 연속가동성을 손상하는 일없이, 조작에 익숙하지 않은자가 취급해도 자동적으로 그로스누설로부터 회복할 수 있기 때문에, 장치의 가동효율이나 사용편리성을 유효하게 향상시킬 수 있다고 하는 뛰어난 효과가 있다.Since the helium leakage detector according to the present invention has the above-described configuration, when a gross leakage occurs, the helium leakage detector detects the same and temporarily introduces air into the oil rotary vacuum pump to rapidly discharge He dissolved in the oil have. Therefore, even if the leakage test is resumed after the gross leakage, the background value of the mass spectrometry section can be maintained at a low value, and an effective leak test can be performed. In addition, since it is possible to automatically recover from gross leakage even if the user is unfamiliar with the operation, without deteriorating the continuous operationability therebetween, it is possible to effectively improve the operation efficiency and usability of the apparatus .

Claims

A main pump for vacuum-evacuating the mass spectrometer with the object to be tested, and an oil rotary vacuum pump serving as a back pump of the main pump, wherein the oil rotary vacuum pump And a gas ballast port, and a solenoid valve selectively openable and closable is provided in the gas ballast port, and when the helium measurement value measured by the mass analysis unit exceeds a predetermined threshold value, And a control means for performing control to maintain the opening of the helium at a constant time.