KR100213450B1 - 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 개선된 카세트의 위치설정장치(locator)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정중 후공정에 해당되는 EDS(electrical die sorting) 공정에서 웨이퍼의 불량여부를 테스트하기 위해 웨이퍼를 적재한 웨이퍼 카세트를 로더(loader) 및 언로더(unloader) 인덱서(indexer)에 설치하는 경우, 크기가 상이한 웨이퍼 카세트를 일정한 위치에 용이하게 장착하기 위해 상기 상이한 카세트 크기에 대응하는 위치에 위치설정홈이 형성된 위치설정장치에 관한 것이다.
지지대와 상기 지지대로부터 수직방향으로 다소 이격되며 슬라이드바에 의해 승하강가능하게 부착된 플랫폼으로 이루어진 로더 및 언로더 인덱서에서, 상기 플랫폼상의 일정위치에 다수의 웨이퍼가 적재된 상이한 크기의 카세트들을 각각 장착하기 위하여 상기 플랫폼의 슬롯에 끼워지고, 상기 상이한 크기의 카세트에 각각 대응하는 위치에 위치설정홈들이 본체에 일체로 형성된 위치설정용 가이드바를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치(LOCATOR FOR LOADER AND UNLOADER INDEXER)
본 발명은 개선된 카세트의 위치설정장치(locator)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정중 후공정에 해당되는 EDS(electrical die sorting) 공정에서 웨이퍼의 불량여부를 테스트하기 위해 웨이퍼를 적재한 웨이퍼 카세트를 로더(loader) 및 언로더(unloader) 인덱서(indexer)에 설치하는 경우, 크기가 상이한 웨이퍼 카세트를 일정한 위치에 용이하게 장착하기 위해 상기 상이한 카세트 크기에 대응하는 위치에 위치설정홈이 형성된 위치설정장치에 관한 것이다.
일반적인 반도체 제조공정에 있어서, 식각공정, 증착공정, 주입공정 등을 거친 웨이퍼는 하나 하나의 칩으로 절단 분리되어 조립되기 이전에 웨이퍼의 양부를 선별하는 공정, 즉 웨이퍼 선별 공정을 거치게 된다. 상기 웨이퍼 선별 공정은 웨이퍼 선별 시험기(probe station)에 의해 수행되는데, 상기 웨이퍼 선별 시험기는 아주 가는 프로우브(Probe)를 포함한다. 즉, 상기 프로우브는 컴퓨터를 이용한 웨이퍼 선별 시험기에 연결되어 각 칩의 전기적 성능을 시험하여 불량품에는 적색 잉크 등으로 점을 찍어 양품과 용이하게 구별되도록 한다. 이와 같은 웨이퍼의 성능시험 공정은 웨이퍼 한 장에 보통 칩이 수 십개 있고, 칩 자체의 전기적 특성이 복잡한 경우가 대부분이므로 일일이 손으로 전기적 성능을 시험할 수 없어 컴퓨터를 사용하여 대량으로 시험하게 된다.
테스팅하는 순서에 대해 설명하면, 먼저 다수의 웨이퍼가 슬롯에 적재되어 있는 통상의 웨이퍼 카세트가 로더 인덱서에 장착된다. 다음에 카세트의 하부로부터 한 장씩 트랜스퍼 아암에 의해 척(chuck)위에 놓여진다. 이어 척이 X, Y방향으로 이동하여 링캐리어의 중앙에 설치된 프로우브 카드(probe card)가 웨이퍼상의 칩들과 접촉할 수 있도록 함으로써 칩의 불량여부를 검사하게 된다. 다음에 검사완료된 웨이퍼는 언로더 인덱서에 장착된 빈 웨이퍼 카세트에 적재된다. 이와 같은 순서로 모든 웨이퍼에 대한 검사가 완료된 경우에는 로더 및 언로더 인덱서의 웨이퍼 카세트들이 모두 제거된다.
이와 같은 테스팅 공정에 있어서, 웨이퍼가 적재된 카세트를 로더 인덱서에 장착하거나 빈 카세트를 언로더 인덱서에 장착하는 경우, 일반적으로 승하강가능한 플랫폼 위에 장착한다. 이를 도 1을 참조하여 구체적으로 설명한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 로더 인덱서(10)는 지지대(1)와 지지대로부터 수직방향으로 다소 이격되어 승하강가능하게 부착된 플랫폼(6)으로 구성된다. 플랫폼(6)의 소정위치에는 플랫폼의 폭방향을 가로지르는 긴 슬롯(7)이 형성되어 있고, 소정위치에 일정간격으로 다수의 나사홈(9)들이 형성되어 있으며, 슬롯의 폭과 거의 동일한 폭을 갖는 위치설정장치(locator)가 나사(미도시)에 의해 슬롯내의 일정위치에 고정되어 있다. 후술하는 바와 같이 웨이퍼를 적재한 카세트는 카세트 본체의 하부에 형성된 받침대를 상기 위치설정장치를 이용함으로써 플랫폼상의 일정위치에 장착된다. 이 상태에서 플랫폼(6)이 구동수단(미도시)에 의해 승하강하면서 적재된 웨이퍼를 테스트받도록 공급한다. 미설명부호 3은 슬라이드바로써 플랫폼의 승하강시 안정성을 유지하도록 한다. 마찬가지로, 빈 카세트를 언로더 인덱서에 장착한 경우에도 상기한 방법과 동일하게 테스트를 마친 웨이퍼가 순서대로 적재된다.
웨이퍼가 적재된 카세트를 플랫폼상에 장착하는 방법에 대해 도 2 내지 도 4를 참고하여 구체적으로 설명한다.
먼저 도 2A를 참조하면, 웨이퍼 카세트(20)는 통상 웨이퍼를 적재하는 본체(21)와 본체를 지지하는 두 개의 받침대(22)들로 구성되는데, 웨이퍼의 크기에 따라 카세트의 본체 및 받침대의 크기나 간격에 있어서는 차이가 나지만 형상은 대체로 동일하다. 즉, 도 2A에 도시한 치수 A, B, C는 각각 받침대간의 내측간격, 받침대간의 외측간격 및 받침대 높이를 나타낸다. 이 치수들을 웨이퍼 크기에 따라 다른 바, 이를 나타내면 [표 1]과 같다.
[표 1]
단위 : ㎜
웨이퍼종류치수 4″ 5″ 6″
A 87.5 107.0 130.5
B 97.0 117.0 140.0
C 5.5 5.0 5.0
도 2B를 참조하면, 플랫폼상의 슬롯(7)에 끼워져 고정되는 위치설정장치(8)를 분해한 사시도가 나타나 있는 바, 통상 위치설정장치는 좌우에 두 개를 설치하지만 여기에서는 설명의 편의상 한 개만을 도시하였다. 위치설정장치(8)는 슬롯(7)에서 좌우로 이동가능하며 나사(2)를 나사홈(9)내에 삽입하고 위치설정장치(8)의 위치를 조정한 후 나사를 조여 고정시킨다. 이때, 좌우 위치설정장치(8, 8)의 외측단부 사이의 길이가 도 2A의 받침대간의 내측간격 즉, 치수 A와 동일하거나 약간 작게 되도록 설정한다.
도 3에는 위치설정장치가 구체적으로 도시되어 있는데, 위치설정장치(8)는 전체적으로 소정의 폭(h), 높이(g) 및 길이(e)를 가지고 있다. 또한 그 내부에는 제 1의 깊이(f), 폭(b) 및 길이(d)를 갖는 제 1 개구(12)와 제 2의 깊이(i), 폭(a) 및 길이(c)를 갖는 제 2 개구(14)가 턱부(13)를 경계로 연통되어 형성되어 있다. 일례로 상기 각 치수는 [표 2]와 같은 값을 갖는다.
[표 2]
전체 폭(h) : 6.3 ㎜
전체 길이(e) : 5.3 ㎜
전체 높이(g) : 5.3 ㎜
제 1 개구제 2 개구
깊이(f) : 2.5 ㎜깊이(g-f) : 2.8 ㎜
폭(b): 4.0 ㎜ 폭(a): 2.5 ㎜
길이(d) : 16.9 ㎜ 길이(c) : 15.2 ㎜
따라서 위치설정장치 자체의 치수는 고정되어 있기 때문에 도 2A의 치수 A를 고려하여 위치설정장치를 좌우로 이동시키면서 거리를 조정한 후 나사(2)를 나사홈(9)에 결합시킨다. 나사(2)의 나사머리는 제 1 개구(12)와 제 2 개구(14) 사이의 턱부(13)에 걸쳐져서 위치설정장치를 소정 위치에 단단히 고정시키게 된다.
이후 도 4에 도시된 바와 같이, 다수의 웨이퍼(15)들이 적재된 카세트(20)가 플랫폼(6) 위에 장착되는데 카세트(20)의 받침대(22)들은 상기 고정된 좌우의 위치설정장치들(8, 8)의 외측단부와 접하도록 슬롯내에 끼워져 일정위치에 장착된다.
그러나 이와 같은 종래의 위치설정장치를 이용하여 카세트를 일정위치에 장착하는데는 여러 가지 문제점이 발생하였다. 먼저, 카세트를 고정하는 위치설정장치를 수작업으로 설치해야 하기 때문에 정확한 위치에 설치하는 것이 어렵고 준비작업에 많은 시간이 소요된다는 문제점이 있다. 즉, 테스트받을 웨이퍼의 크기에 따라 이를 적재한 카세트의 크기가 달라지기 때문에 카세트의 크기가 바뀔 때마다 위치설정장치를 다시 설치해야 하며, 정확한 위치에 설치하기 위해서는 다른 도구, 예를 들어, 자 등을 이용해야 한다. 둘째, 카세트의 받침대가 위치설정장치의 외측단부에만 접촉되어 고정되므로 인덱서가 승하강하는 경우, 카세트 자체의 요동이 심하다는 문제점이 있다. 셋째, 이로 인해 카세트의 승하강시 웨이퍼가 손상을 받는다는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 크기가 상이한 웨이퍼 카세트들을 용이하게 장착할 수 있게 하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 웨이퍼 카세트를 인덱서에 장착하는데 걸리는 준비작업 시간을 감소시키는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 인덱서의 승하강시 카세트의 요동으로 인해 웨이퍼가 파손되는 것을 방지하는 것이다.
도 1은 일반적인 로더 및 언로더 인덱서를 나타내는 사시도,
도 2A는 웨이퍼 카세트의 여러 치수를 나타내는 단면도,
도 2B는 종래의 위치설정장치의 분해 단면도,
도 3은 종래의 위치설정장치를 상세히 도시한 평면도, 일부절개 정면도 및 측면도,
도 4는 종래의 위치설정장치를 이용하여 카세트를 장착한 상태를 나타내는 결합 단면도,
도 5A는 본 발명의 일실시예에 따른 위치설정용 가이드바의 단면도,
도 5B는 도 5A의 가이드바의 평면도,
도 6은 본 발명의 가이드바를 이용하여 카세트를 장착하는 방법을 나타내는 설명도,
도 7은 4″웨이퍼를 적재한 카세트가 장착된 상태를 나타내는 개략도,
도 8은 5″웨이퍼를 적재한 카세트가 장착된 상태를 나타내는 개략도,
도 9는 6″웨이퍼를 적재한 카세트가 장착된 상태를 나타내는 개략도,
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 위치설정용 가이드바의 단면도
본 발명의 특징에 의하면, 로드 또는 언로드 인덱서에 상이한 크기의 웨이퍼 카세트를 바꾸어 장착하는 경우 별도의 준비작업없이 일정위치에 용이하게 장착할 수 있도록 상이한 크기의 카세트에 각각 대응하는 위치에 위치설정홈이 형성된 위치설정장치가 개시된다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 상이한 크기의 카세트에 각각 대응하는 위치에 위치설정홈들이 일체로 형성된 위치설정용 가이드바가 제공된다. 바람직하게 상기 위치설정용 가이드바의 소정위치에는 상기 가이드바를 인덱서의 플랫폼에 설치하기 위한 고정용 개구가 적어도 하나 이상 형성된다.
상기한 본 발명의 특징들과 다른 장점들은 이하의 상세한 설명에 의해 보다 명백하게 될 것이다.
도 5A는 본 발명에 의한 위치설정용 가이드바의 일실시예로, 본체(40)와 상기 본체의 양쪽으로 각각 소정 간격만큼 이격되어 대칭적으로 형성된 제 1 홈들(31a, 31b), 제 2 홈들(32a, 32b) 및 제 3 홈들(33a, 33b)로 구성된다. 바람직하게는 상기 제 1 홈들(31a, 31b) 사이에는 상기 가이드바를 플랫폼상의 슬롯에 장착하기 위한 고정용 개구들이 적어도 하나 이상 형성될 수 있다. 또한 바람직하게는 도 5C에 도시된 바와 같이, 상기 홈들의 중심쪽 측면의 상부는 소정의 곡률로 라운드져 있다. 가이드바의 재질은 알루미늄 등을 사용할 수 있으며, 양극산화를 하여 크랙이나 변색이 어렵게하는 것이 바람직하다. 또한 상기 홈들(31a, 31b, 32a, 32b, 33a, 33b)의 길이는 웨이퍼 카세트의 받침대의 폭보다 다소 크게 형성되어 있다. 고정용 개구는 제 1의 길이(q)와 폭(s)을 갖는 제 1 개구(37)와 턱부를 경계로 제 1 개구와 연통되고 제 2의 길이(r)와 폭(v)을 갖는 제 2 개구(38)를 포함한다. 상기 홈들의 저면의 두께는 플랫폼상에 형성된 슬롯의 깊이와 동일하게 형성하여 슬롯내에 상기 가이드바를 설치한 경우, 플랫폼의 표면과 상기 홈들의 저면이 동일한 면을 이룰 수 있어야 한다. 따라서 이러한 측면에서는 상기 홈들의 저면 두께가 슬롯 깊이에 대해 다소 작을 수는 있으나, 슬롯 깊이보다 큰 경우에는 홈들의 저면이 플랫폼의 표면보다 튀어올라 카세트가 전후로 흔들릴 가능성이 있다. 도 4B에는 위치설정용 가이드바의 여러 치수가 도시되어 있다. 일례로 상기 각 치수는 [표 3]과 같은 값을 가질 수 있다.
[표 3]
제 1 홈들의 중심쪽 측면간의 거리(m)87 ㎜
제 2 홈들의 중심쪽 측면간의 거리(n)106.5 ㎜
제 3 홈들의 중심쪽 측면간의 거리(o)130 ㎜
본체의 길이(l)151 ㎜
본체의 높이(p)5 ㎜
본체의 폭(w)6 ㎜
홈들의 길이(l′)5.5 ㎜
제 1 개구의 길이(q)11 ㎜
제 1 개구의 폭(s)4.0 ㎜
제 2 개구의 길이(r)8 ㎜
제 2 개구의 폭(v)2.5 ㎜
도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 위치설정용 가이드바를 이용하여 웨이퍼 카세트를 인덱스의 플랫폼상에 장착하는 방법에 대해 이하 상세히 설명한다.
먼저, 플랫폼(6)에 형성된 슬롯(7)에 본 발명의 가이드바를 끼운 후, 상기 가이드바의 양쪽 단부가 각각 플랫폼의 양쪽 단부로부터 동일한 거리에 있도록 가이드바를 좌우로 이동시켜 조정한다. 다음에 나사(2)를 이용하여 나사홈(9)에 맞추어 삽입한 후 조인다. 이때, 나사머리가 제 1 개구와 제 2 개구의 경계인 턱부에 걸려 단단히 조여진다. 이어서, 테스트받고자 하는 웨이퍼를 적재한 카세트(20)를 카세트의 크기에 따라 카세트 받침대(22)가 대응하는 홈에 삽입될 수 있도록 위치시켜 장착한다. 이때 바람직하게는 홈들의 중심쪽 측면 상부가 소정의 곡률로 둥글게 처리되어 있기 때문에 받침대를 보다 원할하게 삽입시킬 수 있다.
도 7 내지 도 9는 각각 크기가 다른 카세트가 장착된 상태를 나타내는 도면으로써, 도 7은 4″웨이퍼를 적재한 카세트가 장착된 상태이고, 도 8과 도 9는 각각 5″웨이퍼 및 6″웨이퍼를 적재한 카세트가 장착된 상태를 나타낸다. 상기 [표 3]에서 예로든 치수와 상기 [표 2]에서 예로든 치수를 비교해보면, 상기 홈들의 중심쪽 측면들간의 거리 a, b, c는 카세트 받침대 내측면간의 거리 A에 대해 각각 똑같이 0.5 ㎜ 정도 더 큰 것을 알 수 있다. 상기 가이드바의 구조에 있어서 실제적으로 중요한 인자는 각 홈들의 길이 l′와 상기 홈들의 중심쪽 측면들간의 거리 a, b, c 및 각 홈들의 깊이들이다. 각 홈들의 길이 l′는 받침대의 폭 B-A보다 다소 크며 바람직하게는 0.5 ㎜ 정도 크다. 또한 상기한 바와 같이, 상기 홈들의 중심쪽 측면들간의 거리 a, b, c는 카세트 받침대 내측면간의 거리 A에 대해 다소 크며, 바람직하게는 0.5 ㎜ 정도 크다. 상기 각 홈들의 깊이는 카세트 받침대의 높이 C보다 작다. 또한 상기 한 바와 같이 바람직하게는 홈 저면의 두께는 슬롯의 깊이와 동일하다.
도 10은 본 발명에 따른 가이드바의 다른 실시예를 도시하고 있다. 이 실시예에서는 가이드바를 플랫폼상의 슬롯에 끼운 후 가이드바의 양쪽 단부가 각각 플랫폼의 양쪽 단부로부터 동일한 거리에 있도록 가이드바를 좌우로 이동시켜 조정할 필요가 없도록 전체 길이가 슬롯의 길이와 같도록 가이드바의 양쪽 단부를 연장한 연장부(50)가 형성되어 있다. 이에 따라 가이드바를 설치하는 경우 좀 더 용이하고 빠르게 설치할 수 있다.
본 발명에 의할 경우, 먼저, 위치설정용 가이드바를 한번 설치한 후에는 웨이퍼 카세트의 크기가 바뀌는 경우에도 별도의 준비작업없이 카세트를 장착할 수 있어 장착시간을 대폭 감소시킬 수 있다. 또한 웨이퍼 카세트의 크기에 따라 위치설정용 홈들이 미리 형성되어 있기 때문에 항상 일정한 위치로 카세트를 장착할 수 있어 정확성을 향상시킬 수 있다. 또한 카세트 받침대가 각 홈의 양측면에 의해 접촉되기 때문에 플랫폼의 승하강에 따른 웨이퍼의 요동을 제거할 수 있어 웨이퍼의 파손을 방지한다.
이상에서는 본 발명의 일실시예에 따른 가이드바에 대해 설명하였지만, 본 발명의 정신과 범주를 일탈하지 않는 범위내에서 다양한 변경과 수정이 가해질 수 있다. 예를 들어, 홈들을 본체에 일체로 형성하지 않고, 각각의 가이드돌기들(34a, 34b, 35a, 35b, 36a, 36b, 39)을 별도로 제작하여 상기한 소정의 간격으로 슬롯에 끼워 고정하여서도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 이 경우에는 각각의 가이드돌기들의 치수는 엄격히 관리되어야 하며, 설치시에도 충분한 주의가 필요하다.

Claims (13)

  1. 지지대와 상기 지지대로부터 수직방향으로 다소 이격되며 슬라이드바에 의해 승하강가능하게 부착된 플랫폼으로 이루어진 로더 및 언로더 인덱서에서,
    상기 플랫폼상의 일정위치에 다수의 웨이퍼가 적재된 상이한 크기의 카세트들을 각각 장착하기 위하여 상기 플랫폼의 슬롯에 끼워지고, 상기 상이한 크기의 카세트에 각각 대응하는 위치에 위치설정홈들이 본체에 일체로 형성된 위치설정용 가이드바를 포함하는 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 위치설정홈들은 상기 본체의 중심으로부터 양쪽 단부쪽으로 각각 소정거리 이격되어 대칭적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 다수의 위치설정홈들은
    4″웨이퍼를 적재한 카세트를 장착하기 위한 제 1 홈들과;
    5″웨이퍼를 적재한 카세트를 장착하기 위한 제 2 홈들과;
    6″웨이퍼를 적재한 카세트를 장착하기 위한 제 3 홈들로 구성된 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 홈들 사이에는 상기 가이드바를 상기 슬롯에 장착하기 위한 고정용 개구들이 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 고정용 개구는
    제 1의 길이와 폭을 갖는 제 1 개구와;
    턱부를 경계로 상기 제 1 개구와 연통되고 제 2의 길이와 폭을 갖는 제 2 개구를 포함하는 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 위치설정홈들의 저면의 두께는 상기 슬롯의 깊이와 동일한 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 위치설정홈들의 길이는 상기 카세트의 받침대의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 위치설정홈들의 길이는 상기 카세트의 받침대의 폭보다 0.5 ㎜ 큰 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  9. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 및 제 3 홈들의 중심쪽 측면들간의 거리들은 상기 4″, 5″ 및 6″웨이퍼를 적재한 카세트 받침대 내측면간의 거리들에 대해 각각 큰 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 및 제 3 홈들의 중심쪽 측면들간의 거리들은 상기 4″, 5″ 및 6″웨이퍼를 적재한 카세트 받침대 내측면간의 거리들에 대해 각각 0.5 ㎜ 큰 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항의 어느 한 항에 있어서, 상기 홈들의 중심쪽 측면의 상부는 소정의 곡률로 라운드져 있는 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 가이드바의 재질은 알루미늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서의 위치설정장치.
  13. 지지대와 상기 지지대로부터 수직방향으로 다소 이격되며 슬라이드바에 의해 승하강가능하게 부착된 플랫폼과 상기 플랫폼상의 일정위치에 다수의 웨이퍼가 적재된 상이한 크기의 카세트들을 각각 장착하기 위한 위치설정장치를 포함한 로더 및 언로더 인덱서에 있어서,
    상기 위치설정장치는 상기 플랫폼의 슬롯에 끼워지고, 상기 상이한 크기의 카세트에 각각 대응하는 위치에 위치설정홈들이 본체에 일체로 형성된 위치설정용 가이드바를 포함하고,
    상기 위치설정홈은 상기 본체의 중심으로부터 양쪽 단부쪽으로 각각 소정거리 이격되어 대칭적으로 형성된
    (1) 4″웨이퍼를 적재한 카세트를 장착하기 위한 제 1 홈들과;
    (2) 5″웨이퍼를 적재한 카세트를 장착하기 위한 제 2 홈들과;
    (3) 6″웨이퍼를 적재한 카세트를 장착하기 위한 제 3 홈들로 구성되며,
    상기 제 1 홈들 사이에는 상기 가이드바를 상기 슬롯에 장착하기 위한 고정용 개구들이 적어도 하나 이상 형성되고,
    상기 위치설정홈들의 저면의 두께는 상기 슬롯의 깊이와 동일하고,
    상기 위치설정홈들의 길이는 상기 카세트의 받침대의 폭보다 크며,
    상기 제 1, 제 2 및 제 3 홈들의 중심쪽 측면들간의 거리들은 상기 4″, 5″ 및 6″웨이퍼를 적재한 카세트 받침대 내측면간의 거리들에 대해 각각 큰 것을 특징으로 하는 로더 및 언로더 인덱서.
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