KR100211667B1 - Door opening device for procedure chamber of semiconductor manufacturing - Google Patents

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Abstract

도어의 개폐동작을 용이하게 함과 동시에 기구적인 결함을 해소시킨 반도체 제조용 공정챔버의 도어 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to a door opening / closing apparatus for a semiconductor manufacturing process chamber that facilitates opening and closing operations of a door and eliminates mechanical defects.

본 발명은 공정챔버의 플랜지(20)에 회동가능하게 설치된 도어의 개폐장치에 있어서, 상기 플랜지(20)의 힌지결합부(21)(22)에 회전가능하게 설치된 제 1 및 제 2 회전축(23)(24)과, 상기 제 1 및 제 2 회전축에 일단이 각각 회동가능하게 설치되고 타단은 도어(27)의 일측에 고정된 한 쌍의 아암(25)(26)과, 상기 제 1 및 제 2 회전축을 동시에 동일방향으로 소정각도 회전시키는 하이로터실린더(31)로 구성된 것이다.The present invention relates to a door opening / closing apparatus rotatably installed on a flange (20) of a process chamber, comprising first and second rotary shafts (23) rotatably mounted on hinge engaging portions (21) (22) of the flange A pair of arms 25 and 26 which are rotatably installed at one ends of the first and second rotary shafts and whose other ends are fixed to one side of the door 27, And a high-rotor cylinder 31 for simultaneously rotating the two rotary shafts in the same direction by a predetermined angle.

따라서 에어압으로 동작하는 하이로터실린더에 의해 도어의 개폐동작이 무리없이 원활하게 이루어져 재기능을 발휘할 수 있고, 견고한 구조의 회전축 및 아암이 변형되지 않아 불량감소로 설비의 가동율 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.Therefore, the opening and closing operation of the door can be smoothly performed by the high-rotor cylinder operated by the air pressure, so that the re-function can be exhibited, and the rotation rate and the arm of the rigid structure are not deformed, .

Description

반도체 제조용 공정챔버의 도어 개폐장치Door opening / closing device of process chamber for semiconductor manufacturing

본 발명은 반도체 제조용 공정챔버의 도어 개폐장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 도어의 개폐동작을 용이하게 함과 동시에 기구적인 결함을 해소시킨 반도체 제조용 공정챔버의 도어 개폐장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a door opening and closing apparatus for a semiconductor manufacturing process chamber, and more particularly, to a door opening and closing apparatus for a semiconductor manufacturing process chamber that facilitates opening and closing operations of a door and eliminates mechanical defects.

일반적으로 반도체장치는 사진, 식각, 박막형성등 많은 공정을 수행하여 제조되는 것으로, 대부분 밀폐된 공정챔버내에서 이루어지고, 공정챔버내부는 일정한 진공상태를 유지하도록 되어 있다.Generally, a semiconductor device is manufactured by performing many processes such as photolithography, etching, thin film formation, etc., and is mostly performed in a sealed process chamber, and the inside of the process chamber is maintained in a constant vacuum state.

따라서 공정챔버내의 안정된 진공상태를 유지하기 위해서는 프론트도어의 개폐동작이 정확하게 이루어져야 하고, 프론트도어가 닫힌 상태에서는 기밀이 유지되어야 한다.Therefore, in order to maintain a stable vacuum state in the process chamber, the opening and closing operation of the front door must be accurately performed, and the airtightness must be maintained when the front door is closed.

도1은 일반적인 공정챔버의 도어조립체를 나타낸 것으로, 도어조립체(1)는 공정챔버에 고정된 플랜지(2)와, 이 플랜지(2)에 회전가능하게 설치되어 입구(3)를 개폐하는 프론트도어(4)로 이루어지고, 공정을 위한 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 프론트도어(4)가 개폐되도록 한 구성이다.Figure 1 shows a door assembly of a general process chamber in which a door assembly 1 comprises a flange 2 fixed to a process chamber and a front door 2 which is rotatably mounted on the flange 2 and which opens and closes the inlet 3, (4), and the front door (4) is opened and closed when the wafer is loaded and unloaded for the process.

도2는 상기와 같은 프론트도어(4)를 개폐하기 위한 종래의 도어 개폐장치를 나타낸 것으로, 프론트도어(4)의 일측에 힌지부(5)가 형성되어 축(6)이 고정되어 있고, 이 축(6)은 플랜지(2)의 힌지결합부(7)와 조립되어 프론트도어(4)가 축(6)을 중심으로 회전가능하게 설치된다.2 shows a conventional door opening and closing apparatus for opening and closing the front door 4. The hinge unit 5 is formed at one side of the front door 4 to fix the shaft 6, The shaft 6 is assembled with the hinge engaging portion 7 of the flange 2 so that the front door 4 is rotatably mounted about the shaft 6.

또한 상기 축(6)의 하단부에는 종동기어(8)가 고정되고, 상기 종동기어(8)는 구동모터(9)의 구동에 의해 회전하는 원동기어(10)와 타이밍벨트(11)로 연결된 구성이다. 따라서 구동모터(9)의 구동에 의한 회전력이 원동기어(10)로부터 타이밍벨트(11)를 통해 종동기어(8)로 전달되므로 이에 고정된 축(6)이 회전되어 프론트도어(4)를 개폐시키도록 된 구성이다.A driven gear 8 is fixed to the lower end of the shaft 6 and the driven gear 8 is connected to the driven gear 10 rotated by driving of the drive motor 9 by a timing belt 11 to be. The rotational force generated by the driving motor 9 is transmitted from the driving gear 10 to the driven gear 8 via the timing belt 11 so that the shaft 6 fixed thereto is rotated to open and close the front door 4 .

이때 구동모터(9)의 회전방향에 따라 프론트도어(4)가 열리거나 닫히게 되고, 프론트도어(4)의 회전각도는 구동모터(9)로 인가되는 파워에 따라 설정된다.At this time, the front door 4 is opened or closed according to the rotation direction of the drive motor 9, and the rotation angle of the front door 4 is set according to the power applied to the drive motor 9. [

그러나 종래의 도어 개폐장치는 무거운 프론트도어(4)를 구동모터(9)로 개폐시키는 것이므로 프론트도어(4)의 하중을 견디지 못해 구동모터(9)의 부하가 가중되었고, 이로써 구동모터(9)의 고장이 빈번하게 발생하였다. 또한 프론트도어(4)의 축(6)이 하중을 견디지 못해 휘어지거나 타이밍벨트(11)의 마모 등에 의한 불량발생으로 동작이 원활하지 못하여 프론트도어(4)가 닫힌 상태에서의 기밀이 완전하게 이루어지지 않는 문제점이 있었다.However, since the conventional door opening and closing apparatus opens and closes the heavy front door 4 with the drive motor 9, the load of the drive motor 9 is increased due to the load of the front door 4, The failure occurred frequently. Further, since the shaft 6 of the front door 4 can not withstand the load or the timing belt 11 is damaged due to abrasion or the like, operation is not smooth and the airtightness in the state where the front door 4 is closed is completely There was an issue that did not work.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 도어의 무게를 충분히 지탱하여 동작시킬 수 있도록 개선함으로써 부품의 변형 및 고장 등을 방지할 수 있는 반도체 제조용 공정설비의 도어 개폐장치를 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide a door opening and closing apparatus for a semiconductor manufacturing process facility capable of preventing the deformation and failure of a component by improving the operation so that the door can be supported with a sufficient weight, .

도1은 일반적인 공정챔버의 도어조립체를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view of a door assembly of a general process chamber.

도2는 종래의 도어 개폐장치를 나타낸 정면도이다.2 is a front view showing a conventional door opening / closing apparatus.

도3은 본 발명에 따른 공정챔버의 도어 개폐장치를 나타낸 정면도이다.3 is a front view showing a door opening / closing apparatus of a process chamber according to the present invention.

도4는 본 발명에 따른 공정챔버의 도어 개폐장치를 나타낸 평면도로서, 도어가 닫힌상태의 도면이다.FIG. 4 is a plan view of a door opening / closing apparatus of a process chamber according to the present invention, in which the door is closed.

도5는 본 발명에 따른 공정챔버의 도어 개폐장치를 나타낸 평면도로서, 도어가 열린상태의 도면이다.5 is a plan view of a door opening / closing apparatus of a process chamber according to the present invention, in which the door is opened.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS

1 : 도어조립체 2,20 : 플랜지1: Door assembly 2, 20: Flange

3 : 입구 4,27 : 도어3: inlet 4,27: door

5 : 힌지부 6 : 축5: Hinge 6: Axis

7,21,22 : 힌지결합부 8 : 종동기어7, 21, 22: a hinge coupling part 8: a driven gear

9 : 구동모터 10 : 원동기어9: drive motor 10:

11 : 타이밍벨트 23,24 : 회전축11: timing belt 23, 24:

25,26 : 아암 28,29 : 고정브라켓25, 26: arms 28, 29:

30 : 지지축 31 : 하이로터실린더30: support shaft 31: high rotor cylinder

32,33 : 출력축32, 33: Output shaft

상기의 목적은 공정챔버의 플랜지에 회동가능하게 설치되어 입구를 개폐하는 반도체 제조용 공정설비의 도어 개폐장치에 있어서, 상기 플랜지의 힌지결합부에 회전가능하게 설치된 제 1 및 제 2 회전축과, 상기 제 1 및 제 2 회전축에 일단이 각각 회동가능하게 설치되고 타단은 도어의 일측에 고정된 한 쌍의 아암과, 상기 제 1 및 제 2 회전축을 동시에 동일방향으로 소정각도 회전시키는 하이로터실린더로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 공정챔버의 도어 개폐장치에 의해 달성될 수 있다.The above object is achieved by a door opening and closing apparatus for a semiconductor manufacturing process facility which is rotatably installed on a flange of a process chamber and opens and closes an entrance, comprising: first and second rotary shafts rotatably installed on a hinge- A pair of arms each having one end rotatably mounted on the first rotary shaft and the other end fixed to one side of the door and a high rotor cylinder rotating the first rotary shaft and the second rotary shaft at the same angle in the same direction, The present invention can be achieved by a door opening and closing apparatus of a process chamber for semiconductor manufacturing.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도3 및 도4는 본 발명에 따른 반도체 제조용 공정챔버의 도어 개폐장치를 나타낸 것으로, 플랜지(20)의 일측에 형성된 상,하부의 힌지결합부(21)(22)에 제 1 및 제 2 회전축(23)(24)이 수직방향으로 각각 회전자유롭게 설치되고, 제 1 및 제 2 회전축(23)(24)에 한 쌍의 아암(25)(26) 일단이 각각 고정되며, 아암(25)(26)의 타단은 프론트도어(27)의 고정브라켓(28)(29)에 고정된 하나의 지지축(30)과 각각 고정된 구성이다.3 and 4 illustrate an apparatus for opening and closing a door of a process chamber for manufacturing a semiconductor according to the present invention. The upper and lower hinge engaging portions 21 and 22 formed on one side of the flange 20 are provided with first and second rotation shafts A pair of arms 25 and 26 are fixed to the first and second rotation shafts 23 and 24 respectively and the arm 25 26 are fixed to one support shaft 30 fixed to the fixing brackets 28, 29 of the front door 27, respectively.

또한 상기 제 1 및 제 2 회전축(23)(24) 사이에는 하이로터실린더(31)가 설치되어 있고, 이 하이로터실린터(31)의 양쪽 출력축(32)(33)은 제 1 및 제 2 회전축(23)(24)에 각각 고정되어 출력축(32)(33)의 회전력이 회전축(23)(24) 및 아암(25)(26)을 통해 프론트도어(27)로 전달되도록 구성되어 있다.A high-rotor cylinder 31 is provided between the first and second rotary shafts 23 and 24. Both output shafts 32 and 33 of the high-rotor silencer 31 are connected to the first and second rotary shafts 23 and 24, And is configured to be fixed to the rotary shafts 23 and 24 so that the rotational force of the output shafts 32 and 33 is transmitted to the front door 27 through the rotary shafts 23 and 24 and the arms 25 and 26. [

이때 상기 하이로터실린더(31)는 에어압으로 동작되는 통상의 에어실린더로 출력축(32)(33)이 양쪽으로 설치되어 동시에 작동되는 것이고, 에어 공급방향에 따라 양쪽 출력축(32)(33)이 소정각도로 정,역회전하게 된다.In this case, the high-rotor cylinder 31 is a conventional air cylinder operated by air pressure, and the output shafts 32 and 33 are installed on both sides and operated simultaneously. And is rotated forward and backward at a predetermined angle.

이러한 구성의 본 발명은 도4에 도시된 바와 같이 프론트도어(27)가 닫힌 상태에서 하이로터실린터(31)를 구동시키면 양쪽 출력축(32)(33)이 시계방향으로 소정각도 회전하게 되고, 이와 고정된 회전축(23)(24)과 이 회전축(23)(24)에 일단이 고정된 아암(25)(26)이 같은 방향으로 소정각도 회전하게 되므로 아암(25)(26)의 타단이 고정된 프론트도어(27)가 회전축(23)(24)을 중심으로 소정각도 회전하여 도5에 도시된 바와 같이 프론트도어(27)가 열리게 되는 것이다.4, when the high-rotor cylinder 31 is driven in a state in which the front door 27 is closed, the two output shafts 32 and 33 are rotated clockwise by a predetermined angle, And the arms 25 and 26 one end of which is fixed to the rotating shafts 23 and 24 are rotated in the same direction by a predetermined angle so that the other end of the arms 25 and 26 The fixed front door 27 is rotated around the rotary shafts 23 and 24 by a predetermined angle so that the front door 27 is opened as shown in FIG.

반대로 하이로터실린더(31)의 역구동으로 양쪽 출력축(32)(33)이 반시계방향으로 소정각도 회전하게 되면, 회전축(23)(24)과 이에 일단이 고정된 아암(25)(26)이 같은 방향으로 소정각도 회전하여 프론트도어(27)가 도4에 도시된 바와 같이 닫히게 됨으로써 프론트도어(27)의 개폐동작이 이루어지게 되는 것이다.When the two output shafts 32 and 33 are rotated counterclockwise by a predetermined angle in the reverse drive of the high rotor cylinder 31, the rotary shafts 23 and 24 and the arms 25 and 26, The front door 27 is rotated in the same direction by a predetermined angle to close the front door 27 as shown in FIG. 4, thereby opening and closing the front door 27.

이와 같이 동작하는 도어 개폐장치는 프론트도어(27)가 에어압으로 구동하는 하이로터실린더(31)에 의해 동작되는 것이므로 구동력이 프론트도어(27)의 무게를 충분히 지탱할 수 있고, 견고한 구조의 회전축(23)(24)과 아암(25)(26)으로 회전력이 전달되어 도어의 개폐동작이 원활하게 수행되어진다.Since the door opening / closing apparatus operating in this manner is operated by the high-rotor cylinder 31 driven by air pressure, the driving force can sufficiently support the weight of the front door 27, 23) 24 and the arms 25, 26, so that the opening and closing operation of the door can be performed smoothly.

또한 하이로터실린더(31)는 고장이 적고, 견고한 구조의 회전축(23)(24) 및 아암(25)(26)은 쉽게 변형되지 않아 도어 개폐동작시 기구적인 결함에 의한 불량 및 오동작이 감소되는 것이다.Further, the high-rotor cylinder 31 has a small number of failures, and the rotary shafts 23 and 24 and the arms 25 and 26 having a rigid structure are not easily deformed, so that defects and malfunctions due to mechanical defects during door opening and closing operations are reduced will be.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조용 공정챔버의 도어 개폐장치에 의하면, 도어의 개폐동작이 무리없이 원활하게 이루어져 재기능을 발휘할 수 있고, 구성부품의 변형 및 고장이 감소되어 설비의 가동율 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.As described above, according to the door opening / closing apparatus of the process chamber for manufacturing a semiconductor according to the present invention, the opening and closing operation of the door can be performed smoothly and smoothly, Is improved.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

Claims (2)

공정챔버의 플랜지에 회동가능하게 설치되어 입구를 개폐하는 도어의 개폐장치에 있어서,A door opening / closing apparatus which is rotatably installed on a flange of a process chamber and opens and closes an inlet, 상기 플랜지의 힌지결합부에 회전가능하게 설치된 제 1 및 제 2 회전축;First and second rotation shafts rotatably installed on the hinge coupling portion of the flange; 상기 제 1 및 제 2 회전축에 일단이 각각 회동가능하게 설치되고 타단은 도어의 일측에 고정된 한 쌍의 아암; 및A pair of arms rotatably installed at one ends of the first and second rotary shafts, respectively, and the other ends fixed at one side of the door; And 상기 제 1 및 제 2 회전축을 동시에 동일방향으로 소정각도 회전시키는 하이로터실린더;A high-rotor cylinder for simultaneously rotating the first and second rotation shafts in the same direction at a predetermined angle; 로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 공정챔버의 도어 개폐장치.And a door for opening and closing the door of the processing chamber for semiconductor manufacturing. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 아암의 타단은 하나의 지지축에 고정되고, 지지축은 프론트도어에 구비된 한 쌍의 고정브라켓에 양단이 각각 고정되어 설치됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 공정설비의 도어 개폐장치.Wherein the other end of the arm is fixed to one support shaft and both ends of the support shaft are fixed to a pair of fixing brackets provided on the front door.
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