KR100205244B1 - Row decoder in a nonvolatile semiconductor memory device - Google Patents

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KR100205244B1
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정휘택
이승근
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윤종용
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories

Abstract

본 발명은 플래쉬 메모리 장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 메모리 셀 어레이내의 워드라인을 선택하고 이를 구동시키는 플래쉬 메모리 장치의 로우 디코더에 관한 것이다. 메모리 셀 어레이내의 워드라인을 선택하고 이를 독출, 프로그램, 소거 그리고 마진 모드 테스트시 필요한 전압으로 상기 워드라인을 구동시키기 위한 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더에 있어서, 외부로부터 인가되는 외부 어드레스들을 입력받아, 이에 응답하여 조합 신호를 출력하는 입력부와; 상기 입력부로부터 출력된 조합 신호와 외부로부터 인가되는 차단전압과 외부전압들을 입력받아 독출 동작, 프로그램 동작, 그리고 마진 모드 동작시 전원전압 레벨의 상기 차단전압과 접지전압 레벨의 상기 외부전압과 각 동작 모드시 상기 워드라인에 필요한 소정 전압레벨의 상기 외부전압에 응답하여 상기 외부전압을 출력하고, 소거 동작시 접지전압 레벨의 상기 외부전압 및 차단전압과 소거전압레벨의 상기 외부전압에 응답하여 접지전압을 출력하는 고전압 레벨 전달부와; 상기 고전압 레벨 전달부로부터 출력된 신호와 상기 외부전압들을 입력받아, 이에 응답하여 각 동작 모드시 상기 고전압 레벨 전달부의 출력신호가 하이레벨일 때 각 동작 모드시 인가되는 상기 외부전압을 출력하고 로우 레벨일 때 각 동작 모드시 인가되는 상기 외부전압을 출력하는 반전부와; 상기 고전압 레벨 전달부와 상기 반전부로부터 출력된 각 신호와 상기 외부전압들 및 워드라인 선택신호를 입력받아 독출 동작시 전원전압 레벨의 차단전압과 접지전압 레벨의 상기 외부전압과 부스팅 전압레벨의 외부전압 및 워드라인 선택신호에 응답하여 상기 부스팅 전압을 출력하고, 프로그램 동작시 전원전압 레벨의 상기 차단전압과 접지전압 레벨의 상기 외부전압과 프로그램 전압레벨의 상기 외부전압 및 워드라인 선택신호에 응답하여 상기 프로그램 전압을 출력하며, 소거 동작시 접지접압 레벨의 상기 외부전압, 워드라인 선택신호, 그리고 차단전압과 소거전압레벨의 상기 외부전압에 응답하여 소거전압을 출력하되, 마진 모드 테스트 동작시 전원전압 레벨의 상기 차단전압과 접지전압 레벨의 상기 외부전압과 부스팅 전압레벨의 상기 외부전압과 테스트시 필요로하는 소정 전압레벨의 워드라인 선택신호에 응답하여 상기 테스트시 소정 전압레벨을 출력하는 복수개의 워드라인 선택 및 구동부들을 포함한다.The present invention relates to a flash memory device, and more particularly, to a row decoder of a flash memory device that selects and drives a word line in a memory cell array. A row decoder of a nonvolatile semiconductor memory device for selecting a word line in a memory cell array and driving the word line with a voltage required for reading, programming, erasing and margin mode testing, comprising: An input unit for outputting a combination signal in response thereto; And a control unit for receiving the external voltage of the cut-off voltage and the ground voltage level of the power supply voltage level and the external voltage of each operation mode, And outputting the external voltage in response to the external voltage at a predetermined voltage level required for the word line, and in response to the external voltage of the ground voltage level and the erasing voltage level during the erasing operation, A high voltage level transfer unit for outputting the high voltage level; And outputs the external voltage applied in each operation mode when the output signal of the high voltage level transfer unit is at a high level in each operation mode in response to the signal output from the high voltage level transfer unit and the external voltages, An inverting unit for outputting the external voltage applied in each operation mode when the external voltage is applied; The external voltage and the word line selection signal from the high voltage level transfer part and the inverting part, the external voltage and the word line selection signal from the inverting part, Outputting the boosting voltage in response to a voltage and a word line select signal and responsive to the external voltage and word line select signal of the program voltage level of the external voltage of the cutoff voltage and the ground voltage level of the power supply voltage level during a program operation A word line select signal, and an erase voltage in response to the external voltage of a cutoff voltage and an erase voltage level during an erase operation, wherein the power supply voltage Level of the cut-off voltage and the ground voltage level and the boosting voltage level In response to the negative voltage to a word line selection signal having a predetermined voltage level that requires the time of a test includes a plurality of word line selection and a driver for outputting a predetermined voltage level during the test.

Description

불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더 (row decoder of non volatile semicondutor memory device)A row decoder of a nonvolatile semiconductor memory device of a nonvolatile semiconductor memory device,

본 발명은 플래쉬 메모리 장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 메모리 셀 어레이내의 워드라인을 선택하고 이를 구동시키는 플래쉬 메모리 장치의 로우 디코더에 관한 것이다.The present invention relates to a flash memory device, and more particularly, to a row decoder of a flash memory device that selects and drives a word line in a memory cell array.

반도체 메모리 장치중의 하나인 불휘발성 반도체 메모리 장치, 특히 플래쉬 메모리 장치의 경우 메모리 셀의 상태는 전기적으로 프로그램 및 소거가 가능하다. 이때, 상기 메모리 셀의 프로그램이나 소거 동작을 수행하기 위해서는 여러 가지 전압이 필요하게 된다. 그리고, 상기 메모리 셀 어레이는 낸드 구조로된 다수의 셀들로 이루어지며, 이를 스트링 또는 낸드셀 유닛이라고도 한다. 상기 낸드셀 유닛은 소오스에 대응되는 공통소오스라인이 연결된 제 2 선택 트랜지스터와 드레인에 대응되는 비트라인이 연결된 제 1 선택 트랜지스터 사이에 채널이 직렬로 연결된 메모리 셀들로 구성되어 있고, 각 메모리 셀은 제어 게이트와 플로팅 게이트를 구비하고 있다. 상기 메모리 셀들의 각 제어 게이트는 이에 대응되는 워드라인이 연결되며, 이를 제어하는 전압은 독출 모드, 프로그램 모드, 소거 모드 각각의 경우 뿐만 아니라 선택된 메모리 셀 어레이 블록과 비선택된 메모리 셀 어레이 블록의 경우에 따라 음의 고전압에서부터 양의 고전압 등 다양한 전압이 사용되고 있다. 로우 디코더는 각 모드에서 원하는 워드라인을 선택하고, 선택된 워드라인과 비선택된 워드라인에 각 모드 동작시 요구되는 전압 레벨로 각 워드라인들을 구동시킬 수 있어야 한다.In a nonvolatile semiconductor memory device, particularly a flash memory device, which is one of the semiconductor memory devices, the state of the memory cell can be electrically programmed and erased. At this time, various voltages are required to perform the program or erase operation of the memory cell. The memory cell array is formed of a plurality of cells having a NAND structure, which is also referred to as a string or a NAND cell unit. The NAND cell unit includes memory cells connected in series between a second selection transistor connected to a common source line corresponding to a source and a first selection transistor connected to a bit line corresponding to the drain, A gate and a floating gate. Each of the control gates of the memory cells is connected to a corresponding word line, and the voltage for controlling the control gate is controlled not only in each of the read mode, the program mode and the erase mode, but also in the case of the selected memory cell array block and the non- Accordingly, various voltages such as a negative high voltage to a positive high voltage are used. The row decoder should be able to select the desired word line in each mode and drive each word line to the selected word line and the unselected word line at the voltage level required in each mode operation.

도 1에는 종래 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더의 회로를 보여주는 회로도가 도시되어 있다.1 is a circuit diagram showing a circuit of a row decoder of a conventional nonvolatile semiconductor memory device.

불휘발성 반도체 메모리 장치의 메모리 셀 어레이는 다수의 메모리 셀 어레이 블록으로 구성되며, 상기 각 메모리 셀 어레이 블록은 도 1에 도시된 로우 디코더가 다수개 구비되어 있다. 그리고, 상기 각 로우 디코더는 다수의 워드라인들을 선택하고 이를 구동시키기 위한 다수의 워드라인 선택 및 구동부(18)들로 이루어지며 도 1에 도시된 로우 디코더는 8개의 워드라인을 선택할 수 있도록 구현된 것이다. 상기 로우 디코더는 입력부(12)와 다수의 워드라인 선택 및 구동부(18)들로 이루어진다. 상기 입력부(12)는 낸드 게이트(G1)와 NMOS 트랜지스터로 구비되며 상기 낸드 게이트(G1)는 외부로부터 인가되는 외부 어드레스들 Pi, Qi을 입력받아, 이에 응답하여 상기 외부 어드레스들 Pi, Qi의 상태에 따라 소정 레벨의 조합 신호 S_C를 상기 NMOS 트랜지스터 MN1의 일단자로 출력한다.The memory cell array of the nonvolatile semiconductor memory device is composed of a plurality of memory cell array blocks, and each of the memory cell array blocks is provided with a plurality of row decoders shown in FIG. Each of the row decoders includes a plurality of word line selecting and driving units 18 for selecting and driving a plurality of word lines, and the row decoder shown in FIG. 1 is configured to select eight word lines will be. The row decoder includes an input unit 12 and a plurality of word line selecting and driving units 18. The input unit 12 includes a NAND gate G1 and an NMOS transistor. The NAND gate G1 receives external addresses Pi and Qi applied from the outside, and responds to the external addresses Pi and Qi And outputs a combination signal S_C of a predetermined level to one end of the NMOS transistor MN1.

상기 NMOS 트랜지스터 MN1는 상기 낸드 게이트(G1)의 출력단자와 상기 각 워드라인 선택 및 구동부(18)의 입력단자 사이에 소오스-드레인 채널이 연결되며 외부로부터 차단전압 shut-off이 인가되는 입력단자(3)에 게이트가 연결되어 있다. 상기 NMOS 트랜지스터의 게이트에 상기 차단전압shut-off이 인가되면 이에 응답하여 상기 낸드 게이트(G1)로부터 출력된 소정 전압을 상기 각 워드라인 선택 및 구동부(18)로 전달한다. 그리고, 상기 각 워드라인 선택 및 구동부(18)로부터 상기 낸드 게이트(G1)의 출력단자로 고전압이 역류되는 것을 차단하기 위한 역류방지용 트랜지스터로 사용된다. 여기서, 상기 외부 어드레스 Pi, Qi는 선택시 하이 레벨로 인가되며, 상기 입력부(12)의 낸드 게이트(G1)는 노어 게이트 또는 다른 로직 게이트로 형성할 수 있음은 자명하다.The NMOS transistor MN1 has an input terminal connected to an output terminal of the NAND gate G1 and an input terminal of each word line selecting and driving unit 18 and to which a source- 3 are connected to a gate. When the shutdown voltage shut-off is applied to the gate of the NMOS transistor, a predetermined voltage output from the NAND gate G1 is transmitted to the word line selecting and driving unit 18 in response to the shut-off voltage shut-off. It is used as a reverse current prevention transistor for preventing a high voltage from flowing back to the output terminal of the NAND gate G1 from each of the word line selecting and driving units 18. Here, it is obvious that the external addresses Pi and Qi are applied at a high level when selected, and the NAND gate G1 of the input unit 12 can be formed of a NOR gate or another logic gate.

그리고, 상기 각 워드라인 선택 및 구동부(18)는 PMOS 트랜지스터들 MP1, MP2, MP3과 NMOS 트랜지스터들 MN2, MN3로 이루어지며, 외부로부터 각 동작 모드시 서로 다른 전압 레벨로 인가되는 외부전압들 VPXi, VEXi, Si이 각각 제 1, 제 2, 제 3 전원단자(1, 2, 4)를 통해 입력된다. 즉, 독출 및 프로그램 모드시 상기 외부전압들 VPXi, VEXi, Si은 각각 부스팅 전압 VPR, 0볼트, 그리고 상기 부스팅 전압 VPR이 인가되며 선택된 로우 디코더의 입력부(12)를 통해 로우 레벨이 출력된다. 이로서, NMOS 트랜지스터 MN2와 PMOS 트랜지스터 MP3가 턴-온되어 선택된 워드라인에 각 동작 모드시 필요한 전압이 인가된다. 그리고, 소거 모드시 상기 외부전압들 VPXi, VEXi, Si은 각각 0볼트, -10볼트의 소거 전압 VERS, 그리고 0볼트가 인가되며 이로 인해 NMOS 트랜지스터 MN3가 턴-온되어 모든 워드라인에 상기 소거 전압 -10볼트가 인가된다.The word line selecting and driving unit 18 includes PMOS transistors MP1, MP2, MP3 and NMOS transistors MN2, MN3. The word line selecting and driving unit 18 includes external voltages VPXi, VEXi, and Si are input through the first, second, and third power terminals 1, 2, and 4, respectively. That is, in the read and program modes, the external voltages VPXi, VEXi, and Si are respectively applied with boosting voltage VPR, 0 volt, and boosting voltage VPR, and a low level is output through the input unit 12 of the selected row decoder. As a result, the NMOS transistor MN2 and the PMOS transistor MP3 are turned on to apply the voltage required in each operation mode to the selected word line. In the erase mode, the external voltages VPXi, VEXi, and Si are 0 volts, -10 volts erase voltage VERS, and 0 volts, respectively, so that the NMOS transistor MN3 is turned on and the erase voltage -10 volts is applied.

반도체 메모리 장치의 독출 모드, 프로그램 모드, 그리고 소거 모드시의 각 동작을 도 1에 도시된 반도체 메모리 장치의 로우 디코더에 의거하여 설명하면 다음과 같다.The operations of the semiconductor memory device in the read mode, the program mode, and the erase mode will now be described with reference to the row decoder of the semiconductor memory device shown in FIG.

먼저, 독출 모드의 경우 하이 레벨의 외부 어드레스 Pi, Qi에 의해 낸드 게이트(G1)가 선택되었다고 가정하자. 이때, 제 1 전원단자(1)를 통해 외부전압 VPXi가 부스팅 전압 VPR으로 인가되고, 제 2 전원단자(2)를 통해 외부전압 VEXi가 0볼트로 인가되며 역류방지용 NMOS 트랜지스터 MN1의 게이트에는 전원전압 레벨의 차단전압이 인가된다. 그리고, 워드라인 선택신호 Si는 선택된 워드라인 선택 및 구동부(18)에만 상기 부스팅 전압 VPR이 인가되고 나머지 비선택된 워드라인 선택 및 구동부(18)에는 0볼트가 인가된다. 이에 따라, 역류방지용 트랜지스터 MN1와 NMOS 트랜지스터 MN2가 턴-온되어 노드 1에는 로우 레벨이 전달되어 NMOS 트랜지스터 MN3가 턴-오프된다. 그리고, 상기 노드 1에 게이트가 연결된 PMOS 트랜지스터 MP3가 턴-온되어 상기 제 1 전원단자(1)를 통해 인가되는 부스팅 전압 VPR이 상기 PMOS 트랜지스터 MP3를 통해 출력단자 즉, 선택된 워드라인으로 전달되어 독출동작이 수행된다. 여기서, 상기 부스팅 전압 VPR은 낮은 전원전압(low VCC)일 때 메모리 셀의 독출 동작을 원활히 할 수 있도록 전원전압 Vcc에 비해 높게 부스팅(boosting)된 전압이다.First, in the read mode, it is assumed that the NAND gate G1 is selected by the external addresses Pi and Qi of the high level. At this time, the external voltage VPXi is applied through the first power supply terminal 1 to the boosting voltage VPR, the external voltage VEXi is applied through the second power supply terminal 2 to 0 volt, and the gate of the backflow prevention NMOS transistor MN1 is supplied with the power supply voltage Level cut-off voltage is applied. Then, the word line selection signal Si is applied only to the selected word line selection and driving unit 18, and the other unselected word line selection and driving unit 18 is applied with 0 volt. Accordingly, the backflow prevention transistor MN1 and the NMOS transistor MN2 are turned on, so that the low level is transmitted to the node 1, and the NMOS transistor MN3 is turned off. The PMOS transistor MP3 connected to the node 1 is turned on so that the boosting voltage VPR applied through the first power supply terminal 1 is transferred to the output terminal, that is, the selected word line through the PMOS transistor MP3, Operation is performed. Here, the boosting voltage VPR is a boosted voltage higher than the power supply voltage Vcc in order to facilitate the read operation of the memory cell at a low power supply voltage (low VCC).

다음, 프로그램 모드의 경우 제 1 전원단자(1)를 통해 외부전압 VPXi가 약 10볼트의 프로그램 전압 VPGM로 인가되며, 제 2 전원단자(2)를 통해 외부전압 VEXi가 0볼트로, 그리고 역류방지용 NMOS 트랜지스터 MN1의 게이트에는 전원전압 레벨의 차단전압 shut-off이 인가된다. 그리고, 워드라인 선택신호 Si는 선택된 워드라인 선택 및 구동부(18)에만 상기 프로그램 전압 VPGM이 인가되고 비선택된 워드라인 선택 및 구동부(18)에는 0볼트가 인가된다. 이에 따라, 역류방지용 트랜지스터 MN1와 NMOS 트랜지스터 MN2가 턴-온되어 노드 1에는 로우 레벨이 전달되어 NMOS 트랜지스터 MN3가 턴-오프된다. 그리고, 상기 노드 1에 게이트가 연결된 PMOS 트랜지스터 MP3가 턴-온되어 상기 제 1 전원단자(1)를 통해 인가되는 프로그램 전압 VPGM이 상기 트랜지스터 MP3를 통해 출력단자 즉, 워드라인으로 전달되어 선택된 워드라인에 대해서만 프로그램 동작이 수행된다.Next, in the program mode, the external voltage VPXi is applied through the first power supply terminal 1 to the program voltage VPGM of about 10 volts, the external voltage VEXi is supplied to the second power supply terminal 2 through the second power supply terminal 2 to 0 volt, The gate of the NMOS transistor MN1 is supplied with the cut-off voltage shut-off of the power supply voltage level. Then, the word line selection signal Si is applied only to the selected word line selection and drive unit 18 and the program voltage VPGM is applied to the selected word line selection and drive unit 18, and 0 volt is applied to the unselected word line selection and drive unit 18. Accordingly, the backflow prevention transistor MN1 and the NMOS transistor MN2 are turned on, so that the low level is transmitted to the node 1, and the NMOS transistor MN3 is turned off. Then, the PMOS transistor MP3 connected to the node 1 is turned on so that the program voltage VPGM applied through the first power supply terminal 1 is transferred to the output terminal, that is, the word line through the transistor MP3, Only the program operation is performed.

마지막으로, 소거 모드는 소거 동작시 기본 단위는 다수개(수백 K-bit)의 셀 어레이로 이루어진 블록 또는 섹터 단위로 실행된다. 따라서, 소거 동작이 실행될때는 선택된 블록 내의 모든 로우 디코더가 인에이블되며 워드라인 선택신호 Si도 모두 전원전압 Vcc이 인가되어 인에이블시킨다. 이때, 제 1 전원단자(1)를 통해 외부전압 VPXi가 0볼트로, 제 2 전원단자(2)를 통해 외부전압 VEXi가 음의 10볼트인 소거 전압 VERS로 인가된다. 이로서, 워드라인 선택 및 구동부(18)의 NMOS 트랜지스터 MN3의 소오스에 -10볼트가 인가되고 게이트에는 0볼트가 인가되어 상기 트랜지스터 MN3가 턴-온되며 이에 따라, -10볼트의 상기 소거 전압 VERS가 선택된 블록내의 모든 워드라인으로 전달되어 소거 동작이 수행된다. 여기서, 상기 NMOS 트랜지스터 MN3의 벌크와 소오스를 전기적으로 연결함으로서 소거 동작시 벌크와 소오스 사이에 순방향 다이오드가 형성되는 것을 방지할 수 있다.Finally, in the erase mode, the basic unit in the erase operation is executed in units of blocks or sectors made up of a plurality of cell arrays (several hundred K-bits). Therefore, when the erase operation is executed, all the row decoders in the selected block are enabled, and the word line selection signal Si is also enabled by applying the power supply voltage Vcc. At this time, the external voltage VPXi is applied through the first power supply terminal 1 to the zero voltage, and the external voltage VEXi is applied through the second power supply terminal 2 to the erase voltage VERS which is negative 10 volts. In this case, -10 volts is applied to the source of the NMOS transistor MN3 of the word line selecting and driving unit 18 and 0 volt is applied to the gate so that the transistor MN3 is turned on so that the erase voltage VERS of -10 volts And transferred to all the word lines in the selected block to perform the erase operation. By electrically connecting the bulk and the source of the NMOS transistor MN3, it is possible to prevent a forward diode from being formed between the bulk and the source during the erase operation.

그러나, 상술한 바와같은 반도체 메모리 장치의 로우 디코더에 의하면, 프로그램 동작을 수행한 후 프로그램된 메모리 셀이 원하는 문턱 전압(예를 들면 6볼트)으로 프로그램되었는지 또는 프로그램된 셀의 문턱 전압 산포를 분석하고자 할 때 워드라인의 전압을 제어할 필요가 있다. 또한 소거 동작을 수행한 후 소거된 메모리 셀이 원하는 문턱전압(예를들면 2볼트)으로 제대로 소거되었는지 또는 소거된 셀의 문턱전압 산포를 분석하고자 할 때 워드라인의 전압을 제어할 필요가 있게된다. 이와같이, 메모리 셀의 문턱전압의 분포를 알기 위한 테스트 모드를 마진 모드라 하며 이를 위해 워드라인의 전압을 제어할 수 있어야 하지만 종래의 로우 디코더를 통해 용이하게 마진 모드 테스트를 수행할 수 없는 문제점이 생긴다.However, according to the row decoder of the above-described semiconductor memory device, after the program operation, the programmed memory cell is programmed with the desired threshold voltage (for example, 6 volts) or the threshold voltage distribution of the programmed cell It is necessary to control the voltage of the word line. It is also necessary to control the voltage of the word line when the erased memory cell is properly erased to a desired threshold voltage (for example, 2 volts) or after analyzing the threshold voltage distribution of the erased cell after performing the erase operation . In this manner, the test mode for determining the distribution of the threshold voltage of the memory cell is called a margin mode. For this purpose, the voltage of the word line must be controllable. However, there is a problem that the margin mode test can not be easily performed through the conventional row decoder .

따라서 본 발명의 목적은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 메모리 셀 어레이내의 워드라인을 선택하고 이를 구동시키며 마진 모드 테스트가 용이한 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더를 제공하는데 있다.It is therefore an object of the present invention to provide a row decoder of a nonvolatile semiconductor memory device which selects a word line in a memory cell array, drives the same, and easily tests a margin mode.

도 1은 종래 로우 디코더의 회로를 보여주는 회로도;1 is a circuit diagram showing a circuit of a conventional row decoder;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로우 디코더의 회로를 보여주는 회로도,2 is a circuit diagram showing a circuit of a row decoder according to a preferred embodiment of the present invention,

*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS

12 : 입력부14 : 고전압 레벨 전달부12: input unit 14: high voltage level transmission unit

16 : 반전부18 : 워드라인 선택 및 구동부16: inverting part 18: word line selection and driving part

상술한 바와같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일특징에 의하면, 메모리 셀 어레이내의 워드라인을 선택하고 이를 독출, 프로그램, 소거 그리고 마진 모드 테스트시 필요한 전압으로 상기 워드라인을 구동시키기 위한 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더에 있어서, 외부로부터 인가되는 외부 어드레스들을 입력받아, 이에 응답하여 조합 신호를 출력하는 입력부와; 상기 입력부로부터 출력된 조합 신호와 외부로부터 인가되는 차단전압과 외부전압들을 입력받아 독출 동작, 프로그램 동작, 그리고 마진 모드 동작시 전원전압 레벨의 상기 차단전압과 접지전압 레벨의 상기 외부전압과 각 동작 모드시 상기 워드라인에 필요한 소정 전압레벨의 상기 외부전압에 응답하여 상기 외부전압을 출력하고, 소거 동작시 접지전압 레벨의 상기 외부전압 및 차단전압과 소거전압레벨의 상기 외부전압에 응답하여 접지전압을 출력하는 고전압 레벨 전달부와; 상기 고전압 레벨 전달부로부터 출력된 신호와 상기 외부전압들을 입력받아, 이에 응답하여 각 동작 모드시 상기 고전압 레벨 전달부의 출력신호가 하이레벨일 때 각 동작 모드시 인가되는 상기 외부전압을 출력하고 로우 레벨일 때 각 동작 모드시 인가되는 상기 외부전압을 출력하는 반전부와; 상기 고전압 레벨 전달부와 상기 반전부로부터 출력된 각 신호와 상기 외부전압들 및 워드라인 선택신호을 입력받아 독출 동작시 전원전압 레벨의 차단전압과 접지전압 레벨의 상기 외부전압과 부스팅 전압레벨의 외부전압 및 워드라인 선택신호에 응답하여 상기 부스팅 전압을 출력하고, 프로그램 동작시 전원전압 레벨의 상기 차단전압과 접지전압 레벨의 상기 외부전압과 프로그램 전압레벨의 상기 외부전압 및 워드라인 선택신호에 응답하여 상기 프로그램 전압을 출력하며, 소거 동작시 접지접압 레벨의 상기 외부전압, 워드라인 선택신호, 그리고 차단전압과 소거전압레벨의 상기 외부전압에 응답하여 소거전압을 출력하되, 마진 모드 테스트 동작시 전원전압 레벨의 상기 차단전압과 접지전압 레벨의 상기 외부전압과 부스팅 전압레벨의 상기 외부전압과 테스트시 필요로하는 소정 전압레벨의 워드라인 선택신호에 응답하여 상기 테스트시 소정 전압레벨을 출력하는 복수개의 워드라인 선택 및 구동부들을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a nonvolatile semiconductor memory device for selecting a word line in a memory cell array and driving the word line with a voltage necessary for reading, programming, erasing, A row decoder of a memory device, comprising: an input unit for receiving external addresses applied from outside and outputting a combination signal in response thereto; And a control unit for receiving the external voltage of the cut-off voltage and the ground voltage level of the power supply voltage level and the external voltage of each operation mode, And outputting the external voltage in response to the external voltage at a predetermined voltage level required for the word line, and in response to the external voltage of the ground voltage level and the erasing voltage level during the erasing operation, A high voltage level transfer unit for outputting the high voltage level; And outputs the external voltage applied in each operation mode when the output signal of the high voltage level transfer unit is at a high level in each operation mode in response to the signal output from the high voltage level transfer unit and the external voltages, An inverting unit for outputting the external voltage applied in each operation mode when the external voltage is applied; The external voltage and the word line selection signal of the high voltage level transmitter and the inverting unit, the external voltage of the boosting voltage level and the cut-off voltage of the power supply voltage level during the read operation, And in response to the external voltage and word line select signal of the external voltage and the program voltage level of the cut-off voltage and the ground voltage level of the power supply voltage level during the program operation in response to the word line select signal, A word line selection signal, and an erase voltage in response to the external voltage of the cut-off voltage and the erase voltage level during the erase operation. In the margin mode test operation, the power supply voltage level Of the external voltage and the boosting voltage level of the cut-off voltage and the ground voltage level In response to the negative voltage to a word line selection signal having a predetermined voltage level that requires the time of a test includes a plurality of word line selection and a driver for outputting a predetermined voltage level during the test.

이 장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 입력부는 낸드 게이트, 노어 게이트, 그리고 다른 로직 게이트들중 어느 하나로 구비되는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment of the apparatus, the input unit is provided with one of a NAND gate, a NOR gate and other logic gates.

이 장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 고전압 레벨 전달부는 NMOS 트랜지스터들과 PMOS 트랜지스터들로 구비되는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment of the device, the high voltage level transfer portion is provided with NMOS transistors and PMOS transistors.

이 장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 NMOS 트랜지스터는 상기 입력부의 출력단자로 고전압이 역류되는 것을 차단하기 위한 역류방지용 트랜지스터로 구비되는 것을 특징으로 한다.According to a preferred embodiment of the present invention, the NMOS transistor is provided as a reverse current prevention transistor for blocking a high voltage from flowing back to an output terminal of the input unit.

이 장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 반전부는 NMOS 트랜지스터와 PMOS 트랜지스터로 이루어진 CMOS 인버터로 구비되는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment of the present invention, the inverting unit comprises a CMOS inverter including an NMOS transistor and a PMOS transistor.

이 장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 각 워드라인 선택 및 구동부는 NMOS 트랜지스터들과 PMOS 트랜지스터로 구비되는 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment of the present invention, each of the word line selecting and driving units includes NMOS transistors and PMOS transistors.

이 장치의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 부스팅 전압은 독출동작시 워드라인에 인가되며 낮은 전원전압일 때 상기 전원전압에 비해 높게 부스팅된 약 4 내지 5볼트의 전압임을 특징으로 한다.In a preferred embodiment of the apparatus, the boosting voltage is a voltage of about 4 to 5 volts boosted to a higher voltage than the supply voltage when applied to a word line during a read operation and at a lower supply voltage.

이와같은 장치에 의해서, 메모리 셀 어레이내의 워드라인을 선택하고 이를 구동시키는 로우 디코더를 통해 마진 모드 테스트를 수행할 수 있다.With such a device, a margin mode test can be performed through a row decoder that selects and drives a word line in a memory cell array.

이하 본 발명의 실시예에 따른 참조도면 도 2에 의거하여 상세히 설명한다. 도 2에 있어서, 도 1에 도시된 구성요소와 동일한 기능을 가지는 구성요소에 대해서 동일한 참조번호를 병기한다.Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention with reference to FIG. In Fig. 2, the same reference numerals are assigned to components having the same functions as the components shown in Fig.

도 2에는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더의 회로를 보여주는 회로도가 도시되어 있다.2 is a circuit diagram showing a circuit of a row decoder of a nonvolatile semiconductor memory device according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 로우 디코더는 다수의 워드라인을 선택할 수 있는 워드라인 선택 및 구동부들(18)과 입력부(12), 고전압 레벨 전달부(14), 그리고 반전부(16)로 구성되어 있다. 낸드 게이트(G1)로 구비된 입력부(12)는 외부로부터 인가되는 하이레벨의 외부 어드레스 Pi, Qi에 의해 인에이블되면 이때 낸드 게이트(G1)를 통해 로우 레벨을 출력한다. 그리고, 고전압 레벨 전달부(14)는 PMOS 트랜지스터들 MP4, MP5과 NMOS 트랜지스터들 MN4, MN5로 이루어지며, 제 1, 제 2, 그리고 제 3 전원단자(1, 2, 4)를 통해 각 동작 모드시 서로 다른 레벨의 외부전압들 VPXi, VEXi과 차단전압 shut_off이 인가된다. 즉, 독출 및 프로그램 모드시 상기 외부전압 VPXi는 각각 부스팅 전압 VPR과 프로그램 전압 VPGM이 인가되며, 상기 외부전압 VEXi는 0볼트로 인가된다. 소거 모드시 상기 외부전압 VEXi는 -10볼트의 소거 전압 VERS이, 그리고 상기 외부전압 VPXi와 차단전압 shut_off은 0볼트로 인가된다.The row decoder shown in FIG. 2 is composed of word line selecting and driving units 18 capable of selecting a plurality of word lines, an input unit 12, a high voltage level transmitting unit 14, and an inverting unit 16. The input section 12 provided as the NAND gate G1 outputs a low level through the NAND gate G1 at this time when it is enabled by the external address Pi and Qi of the high level applied from the outside. The high voltage level transfer unit 14 includes PMOS transistors MP4 and MP5 and NMOS transistors MN4 and MN5. The high voltage level transfer unit 14 is connected to the first, second, and third power terminals 1, 2, External voltages VPXi, VEXi and shutoff voltage shut_off are applied at different levels. That is, in the read and program modes, the external voltage VPXi is applied with the boosting voltage VPR and the program voltage VPGM, respectively, and the external voltage VEXi is applied with 0 volt. In the erase mode, the external voltage VEXi is an erase voltage VERS of -10 volts, and the external voltage VPXi and the shutdown voltage shut_off are applied at 0 volts.

이로서, 독출 및 프로그램 모드시 NMOS 트랜지스터 MN4와 PMOS 트랜지스터 MP5이 턴-온되어 출력단자에 상기 외부전압 VPXi가 전달되며 소거 모드시 소거 모드시에는 NMOS 트랜지스터 MN5와 PMOS 트랜지스터들 MP4, MP5이 턴-온되어 출력단자에 0볼트가 출력된다. 그리고, 반전부(16)는 NMOS 트랜지스터와 PMOS 트랜지스터로 이루어진 CMOS 인버터로 구비되어 있다. 상기 반전부(16)는 독출 및 프로그램 모드시 상기 고전압 레벨 전달부(14)의 출력 즉, 각 모드시의 외부전압 VPXi을 입력받아 외부전압 VEXi를 출력하며 소거 모드시에는 이와 반대로 동작한다. 워드라인 선택 및 구동부(18)는 PMOS 트랜지스터 MP7와 NMOS 트랜지스터들 MN7, MN8로 이루어지며 상기 반전부(16)의 입력단자에 상기 NMOS 트랜지스터 MN8의 게이트가 연결되어 있고, PMOS 트랜지스터 MP7의 게이트는 상기 반전부(16)의 출력단자에 연결되어 있다.Thus, in the read and program mode, the NMOS transistor MN4 and the PMOS transistor MP5 are turned on and the external voltage VPXi is transferred to the output terminal. In the erase mode, the NMOS transistor MN5 and the PMOS transistors MP4 and MP5 are turned on And 0 volts is output to the output terminal. The inverting unit 16 is provided with a CMOS inverter including an NMOS transistor and a PMOS transistor. The inverting unit 16 receives the output of the high voltage level transfer unit 14, that is, the external voltage VPXi in each mode, in the read and program mode, and outputs the external voltage VEXi. The word line selecting and driving unit 18 includes a PMOS transistor MP7 and NMOS transistors MN7 and MN8. The gate of the NMOS transistor MN8 is connected to the input terminal of the inverting unit 16, And is connected to the output terminal of the inverting unit 16. [

그리고, 각 입력단자를 통해 각 동작 모드시 서로 다른 레벨의 외부전압들 VPXi, Si, VEXi과 차단전압이 인가된다. 즉, 독출 및 프로그램 모드시 상기 외부전압 VPXi는 각각 부스팅 전압 VPR과 프로그램 전압 VPGM이 인가되며, 상기 외부전압 VEXi는 0볼트로 인가된다. 소거 모드시 상기 외부전압 VEXi는 -10볼트의 소거 전압 VERS이, 그리고 상기 외부전압 VPXi은 0볼트로 인가된다. 그리고, 독출 및 프로그램 동작시 워드라인 선택 및 구동부(18)의 입력단자에는 각 모드시의 외부전압 VPXi가 인가되고, 소거 모드시에는 외부전압 VEXi가 인가된다. 또한, NMOS 트랜지스터 MN8의 게이트에는 독출 및 프로그램 동작시 워드라인 선택 및 구동부(18)의 입력단자에는 각 모드시의 외부전압 VPXi가 소거 모드시에는 외부전압 VEXi가 인가된다. 그리고, 상기 워드라인 선택 및 구동부(18)는 마진 모드 테스트시 외부전압 Si에는 필요한 전압이 인가되고 NMOS 트랜지스터 MN8의 게이트에는 전원전압 Vcc이 PMOS 트랜지스터 MP7의 게이트에는 0볼트가 인가됨으로서 수행된다.External voltages VPXi, Si, VEXi and cut-off voltages of different levels are applied through each input terminal in each operation mode. That is, in the read and program modes, the external voltage VPXi is applied with the boosting voltage VPR and the program voltage VPGM, respectively, and the external voltage VEXi is applied with 0 volt. In the erase mode, the external voltage VEXi is an erase voltage VERS of -10 volts, and the external voltage VPXi is applied at 0 volts. The external voltage VPXi in each mode is applied to the input terminal of the word line selection and driving unit 18 during the read and program operations, and the external voltage VEXi is applied in the erase mode. An external voltage VEXi is applied to the gate of the NMOS transistor MN8 at the time of reading and program operation and to an input terminal of the driving unit 18 at the time of the erase mode. In the margin mode test, the word line selecting and driving unit 18 applies a necessary voltage to the external voltage Si, and the gate of the NMOS transistor MN8 is supplied with the power supply voltage Vcc and the gate of the PMOS transistor MP7 with 0 volts.

반도체 메모리 장치의 독출 모드, 프로그램 모드, 그리고 소거 모드시의 각 동작을 도 2에 도시된 반도체 메모리 장치의 로우 디코더에 의거하여 설명하면 다음과 같다.The operations of the semiconductor memory device in the read mode, the program mode, and the erase mode will be described with reference to the row decoder of the semiconductor memory device shown in FIG. 2 as follows.

먼저, 독출 모드의 경우 외부 어드레스 Pi, Qi에 의해 낸드 게이트(G1)가 선택되었다고 가정하자. 이때, 제 1 전원단(1)을 통해 워드라인 독출 부스팅 전압 VPR이 인가되고, 제 2 전원단자(2)를 통해 0볼트가 인가되며 역류방지용 트랜지스터 MN1의 게이트에는 전원전압 레벨의 차단전압 shut_off이 인가된다. 그리고, 워드라인 선택신호 Si는 선택된 워드라인 선택 및 구동부(18)에만 상기 부스팅 전압 VPR이 인가되고 나머지 워드라인 선택 및 구동부(18)에는 0볼트가 인가된다. 이에 따라, 역류방지용 트랜지스터 MN4를 통해 PMOS 트랜지스터 MP5의 게이트에는 0볼트가 인가된다. 따라서, 반전부(16)의 입력단자에는 상기 PMOS 트랜지스터 MP5를 통해 외부전압 VPXi가 인가되어 PMOS 트랜지스터 MP6가 턴-온된다. 이로서, 워드라인 선택 및 구동부(18)의 PMOS 트랜지스터 MP7이 턴-온되어 이를 통해 출력단자 즉, 워드라인으로 부스팅 전압 VPR이 전달되고 비선택 워드라인에는 0볼트가 인가된다.First, in the case of the read mode, it is assumed that the NAND gate G1 is selected by the external addresses Pi and Qi. At this time, the word line readout boosting voltage VPR is applied through the first power source terminal 1, 0 volt is applied through the second power source terminal 2, and the gate of the reverse current prevention transistor MN1 is supplied with the cutoff voltage shut_off of the power source voltage level . Then, the word line selection signal Si is applied only to the selected word line selection and driving unit 18 and the boosting voltage VPR is applied to the selected word line selection and driving unit 18, and 0 volt is applied to the remaining word line selection and driving unit 18. Thereby, 0 volt is applied to the gate of the PMOS transistor MP5 through the backflow prevention transistor MN4. Therefore, an external voltage VPXi is applied to the input terminal of the inverting unit 16 through the PMOS transistor MP5, and the PMOS transistor MP6 is turned on. Thereby, the PMOS transistor MP7 of the word line selecting and driving unit 18 is turned on, through which the boosting voltage VPR is transferred to the output terminal, that is, the word line, and 0 volts is applied to the unselected word line.

다음, 프로그램 모드는 상기 독출 모드의 경우 이때, 제 1 전원단자(1)를 통해 워드라인 프로그램 전압 VPGM이 인가되고, 제 2 전원단자(2)를 통해 0볼트가 인가되며 역류방지용 트랜지스터 MN1의 게이트에는 전원전압 레벨의 차단전압 shut_off이 인가된다. 그리고, 워드라인 선택신호 Si는 선택된 워드라인 선택 및 구동부(18)에만 상기 프로그램 전압 VPGM이 인가되고 나머지 비선택된 워드라인 선택 및 구동부(18)에는 0볼트가 인가된다. 이에 따라, 역류방지용 트랜지스터 MN4를 통해 PMOS 트랜지스터 MP5의 게이트에는 0볼트가 인가된다. 따라서, 반전부(16)의 입력단자에는 상기 PMOS 트랜지스터 MP5를 통해 외부전압 VPXi가 인가되어 PMOS 트랜지스터 MP6가 턴-온된다. 이에 따라 워드라인 선택 및 구동부(18)의 PMOS 트랜지스터 MP7이 턴-온되어 이를 통해 출력단자 즉, 워드라인으로 VPGM 전압이 전달되고 비선택 워드라인에는 0볼트가 인가되어 선택된 워드라인에만 프로그램이 수행된다.Next, in the program mode, the word line program voltage VPGM is applied through the first power supply terminal 1, the 0 volt is applied through the second power supply terminal 2, and the gate of the reverse- The cutoff voltage shut_off of the power supply voltage level is applied. The word line selection signal Si is applied only to the selected word line selection and drive unit 18 and the program voltage VPGM is applied to the selected word line selection and drive unit 18, Thereby, 0 volt is applied to the gate of the PMOS transistor MP5 through the backflow prevention transistor MN4. Therefore, an external voltage VPXi is applied to the input terminal of the inverting unit 16 through the PMOS transistor MP5, and the PMOS transistor MP6 is turned on. Accordingly, the PMOS transistor MP7 of the word line selecting and driving unit 18 is turned on so that the VPGM voltage is transferred to the output terminal, that is, the word line, and 0 volts is applied to the unselected word line, do.

그리고, 소거 모드는 소거 동작시 기본 단위는 다수개(수백 K-bit)의 셀 어레이로 이루어진 블록 또는 섹터 단위로 실행된다. 소거 동작이 실행될때는 선택된 블록 내의 모든 로우 디코더는 인에이블되며 워드라인 선택신호 Si도 모두 0볼트가 인가되고 제 1 전원단자(1)를 통해 0볼트가, 제 2 전원단자(2)를 통해 음의 10볼트인 소거 전압 VERS이 인가된다. 따라서, 선택된 블록의 NMOS 트랜지스터 MN5는 소오스가 음의 전압인 소거 전압 VERS이 인가되므로 0볼트에서 턴-온된다. 상기 NMOS 트랜지스터 MN5에 의해 PMOS 트랜지스터 MP4가 턴-온되며 이로 인해 PMOS 트랜지스터 MP5의 게이트에 외부전압 VPXi 즉, 0볼트가 인가된다. 이에 따라, 반전부(16)의 NMOS 트랜지스터 MN6이 턴-온되어 이를 통해 상기 소거 전압이 워드라인 선택 및 구동부(18)에 인가되며, 이로서 NMOS 트랜지스터 MN7이 턴-온되어 선택된 워드라인에 소거 전압 VERS이 인가되어 소거 동작이 수행된다.In the erase mode, the basic unit in the erase operation is executed in units of blocks or sectors each consisting of a plurality of cell arrays (several hundred K-bits). When the erase operation is performed, all the row decoders in the selected block are enabled and all the word line select signal Si is also applied with 0 volts, 0 volts through the first power supply terminal 1 and 0 volts through the second power supply terminal 2 An erase voltage VERS of 10 volts is applied. Therefore, the NMOS transistor MN5 of the selected block is turned on at zero volts because the erase voltage VERS, which is a negative voltage, is applied. The PMOS transistor MP4 is turned on by the NMOS transistor MN5 and an external voltage VPXi, that is, 0 volt is applied to the gate of the PMOS transistor MP5. Accordingly, the NMOS transistor MN6 of the inverting part 16 is turned on so that the erase voltage is applied to the word line selecting and driving part 18, whereby the NMOS transistor MN7 is turned on and the erase voltage VERS is applied and the erase operation is performed.

마지막으로, 본 발명에 따른 마진 모드일 때를 보면, 프로그램된 메모리 셀의 문턱전압 산포를 분석하거나 또는 소거된 메모리 셀의 문턱전압 산포를 분석하기 위해서는 워드라인의 전압 제어가 용이하여야 한다. 이때, 마진 모드의 동작은 기본적으로 독출 모드의 동작과 같으며 단지 워드라인 선택신호 Si의 전압만이 차이가 있게된다. 따라서, 도 2의 PMOS 트랜지스터 MP7와 NMOS 트랜지스터 MN8를 이용하여 먼저 워드라인에 인가하고자 하는 전압 레벨을 상기 선택신호 Si에 인가하고 상기 트랜지스터 MP7의 입력단자에는 0볼트를, 상기 트랜지스터 MN8의 입력단자에는 전원전압 Vcc이 인가되도록 로우 디코더를 인에이블시켜 저전압 및 고전압을 원하는 워드라인에 인가할 수 있다. 또한, 로우 디코더당 다수개가 묶여져 있는 워드라인 선택 및 구동부(18) 내의 트랜지스터 개수를 줄임으로서 레이아웃 면적을 줄일 수 있다.Finally, in the margin mode according to the present invention, it is necessary to control the voltage of the word line in order to analyze the threshold voltage distribution of the programmed memory cell or to analyze the threshold voltage distribution of the erased memory cell. In this case, the operation of the margin mode is basically the same as the operation of the read mode, and only the voltage of the word line selection signal Si is different. Therefore, by using the PMOS transistor MP7 and the NMOS transistor MN8 of FIG. 2, a voltage level to be first applied to the word line is applied to the selection signal Si, 0 volt is applied to the input terminal of the transistor MP7, A low voltage and a high voltage can be applied to a desired word line by enabling a row decoder so that a power supply voltage Vcc is applied. In addition, the number of transistors in the word line selecting and driving unit 18, which is composed of a plurality of word lines per row decoder, can be reduced, thereby reducing the layout area.

상기한 바와같이, 메모리 셀 어레이내의 워드라인을 선택하고 이를 구동시키는 로우 디코더를 통해 메모리 셀의 문턱전압의 분포를 알기 위한 마진 모드 테스트 동작을 수행할 수 있다. 또한, 워드라인 선택 및 구동부 내의 트랜지스터 개수를 줄임으로서 레이아웃 면적을 줄일 수 있다.As described above, it is possible to perform a margin mode test operation to determine the distribution of threshold voltages of the memory cells through a row decoder for selecting and driving the word lines in the memory cell array. In addition, the layout area can be reduced by reducing the number of transistors in the word line selecting and driving unit.

Claims (7)

메모리 셀 어레이내의 워드라인을 선택하고 이를 독출, 프로그램, 소거 그리고 마진 모드 테스트시 필요한 전압으로 상기 워드라인을 구동시키기 위한 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더에 있어서,A row decoder of a nonvolatile semiconductor memory device for selecting a word line in a memory cell array and driving the word line with a voltage required for reading, programming, erasing and margin mode testing, 외부로부터 인가되는 외부 어드레스들(Pi, Qi)(여기서, i는 양의 정수)을 입력받아, 이에 응답하여 조합 신호(S_C)를 출력하는 입력부(12)와;An input unit 12 receiving external addresses Pi and Qi (here, i is a positive integer) applied from the outside and outputting a combination signal S_C in response thereto; 상기 입력부(12)로부터 출력된 조합 신호(S_C)와 외부로부터 인가되는 차단전압(shut_off)과 외부전압들(VPXi, VEXi)을 입력받아 독출 동작, 프로그램 동작, 그리고 마진 모드 동작시 전원전압(Vcc) 레벨의 상기 차단전압(shut_off)과 접지전압(Vss) 레벨의 상기 외부전압(VEXi)과 각 동작 모드시 상기 워드라인에 필요한 소정 전압레벨의 상기 외부전압(VPXi)에 응답하여 상기 외부전압(VPXi)을 출력하고, 소거 동작시 접지전압(Vss) 레벨의 상기 외부전압(VPXi) 및 차단전압(shut_off)과 소거전압레벨의 상기 외부전압(VEXi)에 응답하여 접지전압(Vss)을 출력하는 고전압 레벨 전달부(14)와;A combination operation signal S_C output from the input unit 12 and a cutoff voltage shut_off applied from the outside and external voltages VPXi and VEXi are input to the input unit 12 to perform a read operation, Responsive to the external voltage VEXi of the cut-off voltage shut-off level and the ground voltage Vss level and the external voltage VPXi of the predetermined voltage level required for the word line in each operation mode, And outputs the ground voltage Vss in response to the external voltage VPXi and the shutoff voltage shut_off at the ground voltage Vss level and the external voltage VEXi at the erase voltage level during the erase operation A high voltage level transfer section 14; 상기 고전압 레벨 전달부(14)로부터 출력된 신호와 상기 외부전압들(VPXi, VEXi)을 입력받아, 이에 응답하여 각 동작 모드시 상기 고전압 레벨 전달부(14)의 출력신호가 하이레벨일 때 각 동작 모드시 인가되는 상기 외부전압(VEXi)을 출력하고 로우 레벨일 때 각 동작 모드시 인가되는 상기 외부전압(VPXi)을 출력하는 반전부(16)와;And receives the signals output from the high voltage level transmitter 14 and the external voltages VPXi and VEXi in response to the signals. When the output signal of the high voltage level transmitter 14 is at a high level in each operation mode, An inverting unit (16) for outputting the external voltage (VEXi) applied in the operation mode and outputting the external voltage (VPXi) applied in each operation mode when the level is low; 상기 고전압 레벨 전달부(14)와 상기 반전부(16)로부터 출력된 각 신호와 상기 외부전압들(VPXi, VEXi) 및 워드라인 선택신호(Si)을 입력받아 독출 동작시 전원전압(Vcc) 레벨의 차단전압(shut_off)과 접지전압(Vss) 레벨의 상기 외부전압(VEXi)과 부스팅 전압레벨(VPR)의 외부전압(VPXi) 및 워드라인 선택신호(Si)에 응답하여 상기 부스팅 전압(VPR)을 출력하고, 프로그램 동작시 전원전압(Vcc) 레벨의 상기 차단전압(shut_off)과 접지전압(Vss) 레벨의 상기 외부전압(VEXi)과 프로그램 전압레벨(VPGM)의 상기 외부전압(VPXi) 및 워드라인 선택신호(Si)에 응답하여 상기 프로그램 전압(VPGM)을 출력하며, 소거 동작시 접지접압(Vss) 레벨의 상기 외부전압(VPXi), 워드라인 선택신호(Si), 그리고 차단전압(shut_off)과 소거전압레벨의 상기 외부전압(VEXi)에 응답하여 소거전압(VERS)을 출력하되, 마진 모드 테스트 동작시 전원전압(Vcc) 레벨의 상기 차단전압(shut_off)과 접지전압(Vss) 레벨의 상기 외부전압(VEXi)과 부스팅 전압레벨(VPR)의 상기 외부전압(VPXi)과 테스트시 필요로하는 소정 전압레벨의 워드라인 선택신호(Si)에 응답하여 상기 테스트시 소정 전압레벨을 출력하는 복수개의 워드라인 선택 및 구동부들(18)을 포함하는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더.And receives the external voltages VPXi and VEXi and the word line selection signal Si from the high voltage level transfer unit 14 and the inverting unit 16 and outputs the power voltage Vcc level The boosting voltage VPR is generated in response to the external voltage VPXi and the word line selection signal Si of the external voltage VEXi, the boosting voltage level VPR, and the ground voltage Vss, And outputs the external voltage VEXi at the level of the shutdown voltage shut_off and the ground voltage Vss at the level of the power supply voltage Vcc and the external voltage VPXi and the word voltage at the program voltage level VPGM, The program voltage VPGM in response to the line select signal Si and the external voltage VPXi, the word line select signal Si and the cutoff voltage shut_off at the ground contact voltage Vss level during the erase operation, And an erase voltage (VERS) in response to the external voltage (VEXi) at an erase voltage level, The external voltage VPXi of the external voltage VEXi and the external voltage VPXi of the boosting voltage level VPX at the level of the shutdown voltage shut_off and the ground voltage Vss of the power supply voltage Vcc level during the mode test operation, And a plurality of word line selecting and driving units (18) for outputting a predetermined voltage level during the test in response to a word line selecting signal (Si) of a predetermined voltage level. The nonvolatile semiconductor memory device . 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 입력부(12)는 낸드 게이트(G1), 노어 게이트, 그리고 다른 로직 게이트들중 어느 하나로 구비되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체 메모리 장치.Wherein the input unit (12) is provided with one of a NAND gate (G1), a NOR gate, and other logic gates. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 고전압 레벨 전달부(14)는 NMOS 트랜지스터들(MP4, MN5)과 PMOS 트랜지스터들(MP4, MP5)로 구비되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더.Wherein the high voltage level transfer unit (14) comprises NMOS transistors (MP4, MN5) and PMOS transistors (MP4, MP5). 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, 상기 NMOS 트랜지스터(MN4)는 상기 입력부(12)의 출력단자로 고전압이 역류되는 것을 차단하기 위한 역류방지용 트랜지스터로 구비되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더.Wherein the NMOS transistor MN4 is provided as a reverse current blocking transistor for blocking a high voltage from flowing back to an output terminal of the input unit 12. The nonvolatile semiconductor memory device of claim 1, 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 반전부(16)는 NMOS 트랜지스터(MN6)와 PMOS 트랜지스터(MP6)로 이루어진 CMOS 인버터로 구비되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더.Wherein the inverting unit (16) comprises a CMOS inverter comprising an NMOS transistor (MN6) and a PMOS transistor (MP6). 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 각 워드라인 선택 및 구동부(18)는 NMOS 트랜지스터들(MN7, MN8)과 PMOS 트랜지스터(MN8)로 구비되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더.Wherein the word line selecting and driving unit 18 includes NMOS transistors MN7 and MN8 and a PMOS transistor MN8. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 부스팅 전압(VPR)은 독출동작시 워드라인에 인가되며 낮은 전원전압일 때 상기 전원전압에 비해 높게 부스팅된 약 4 내지 5볼트의 전압임을 특징으로 하는 불휘발성 반도체 메모리 장치의 로우 디코더.Wherein the boosting voltage VPR is a voltage of about 4 to 5 volts boosted to a voltage higher than the power supply voltage when the power supply voltage is applied to the word line during a read operation.
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