KR100193891B1 - Jog speed control method of position control coordinate system in wire bonder - Google Patents

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Abstract

본 발명은 와이어 본더에서 위치제어 좌표계의 죠그(JOG)속도제어 방법이 개시된다.The present invention discloses a jog (JOG) speed control method of a position control coordinate system in a wire bonder.

본 발명은 모니터에 나타나는 그래픽을 이용하여 위치제어 좌표계의 영역을 확대 또는 축소하여 체스맨으로 죠깅할 수 있도록 커서를 가고자 하는 위치 예를 들어, 넓은 범위에서 좁은 범위의 단계로 축소하면서 빠르고도 쉽게 죠깅할 수 있으며, 체스맨에 있는 몇개의 스위치로 현재 어디서 부터 갈 것인가를 선택할 수 있다. 그리고 줌이 있는 화상장치에는 시계범위를 변화시킬 수 있으므로 시계범위에 비례하여 죠그속도를 제어할 수 있어 시계범위가 큰 경우 즉, 가고자하는 위치를 한번에 볼수 있을때는 죠그 속도가 빠르다.The present invention uses a graphic displayed on the monitor to enlarge or reduce the area of the coordinate system to move the cursor so that the jog can be jogged by the chessman. You can use the several switches on the chessman to choose where to go from now. In addition, the zoom range can be changed in a zoomed image device, so that the jog speed can be controlled in proportion to the range of the watch. When the watch range is large, that is, when the position to go to is seen at a time, the jog speed is high.

따라서, 본 발명은 위치제어 좌표계내에서 움직이고자 하는 위치에 신속, 정확하고도 간편히 모니터에 나타난 그래픽과 커서를 체스맨을 조작하여 죠그를 제어하므로써, 죠그 속도를 최대로 빠르게 할 수 있어 위치제어 좌표계의 죠깅방법의 성능이 향상된다.Therefore, in the present invention, the jog speed can be maximized by controlling the jog by controlling the chess man and the graphic displayed on the monitor quickly and accurately and simply at the position to be moved in the position control coordinate system. The performance of the jogging method is improved.

Description

와이어 본더에서 위치제어 좌표계의 죠그(JOG) 속도제어방법How to control jog speed of positioning coordinate system in wire bonder

제1도는 위치제어 좌표계.1 is a positioning coordinate system.

제2a도는 와이어 본딩의 경우 위치제어 좌표계에 나타난 소자의 평면도.Figure 2a is a plan view of the device shown in the positioning coordinate system in the case of wire bonding.

제2b도는 와이어 본딩의 경우를 나타낸 소자의 단면도.2B is a cross-sectional view of the device, in the case of wire bonding.

제3도 내지 제6도는 X, Y, θ좌표의 위치제어 영역의 커서를 제7도에 도시된 커서의 위치로 죠깅하는 단계를 설명하기 위한 도면.3 to 6 are diagrams for explaining the step of jogging the cursor of the position control area of the X, Y, θ coordinates to the position of the cursor shown in FIG.

제8도 및 제9도는 죠그 속도를 설명하기 위한 위치제어 좌표계.8 and 9 are positioning coordinate systems for explaining jog velocity.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 위치제어 영역 2 : 커서1: Position control area 2: Cursor

3 : 윈도우 클램프 3A : 윈도우 클램크 영역3: window clamp 3A: window clamp area

4 : 다이 4A : 다이 영역4: Die 4A: Die Area

5 : 패들 5A : 패들 영역5: paddle 5A: paddle area

6 : 와이어 7 : 다이 패드6: wire 7: die pad

8 : 히트 블록 10 : 모니터8: hit block 10: monitor

11 : 스크린11: screen

본 발명은 화상인식장치(vision pattern recognition system)가 구비된 와이어 본더(wire bonder)에서 위치제어 좌표계의 죠그(JOG) 속도제어 방법에 관한 것으로, 특히 위치제어 좌표계내에서 움직이고자 하는 위치에 신속, 정확하고도 간편히 모니터에 나타난 그래픽(graphic)과 커서(cursor)를 체스맨(chessman)을 조작하여 죠그 속도를 제어하는 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a jog speed control method of a positioning coordinate system in a wire bonder equipped with a vision pattern recognition system. It is about how to control jog speed by manipulating the chessman with the graphic and cursor displayed on the monitor easily and accurately.

죠그란 위치제어시 움직이고자 하는 어떤 위치에 효과적으로 제어하기 위한 수단으로 가고자하는 위치의 좌표값을 모를때 움직여 가면서 그곳을 찾아간다. 그래서 움직이는 좌표내의 물체를 보면서 서서히 죠그하게 되는데, 이때 먼거리일수록 시간이 많이 걸리고, 화상인식장치의 확대배율이 클 경우 모니터상에 나타난 이미지(image)를 보아선 위치좌표계내의 현재위치를 구분하기 어렵다. 이와같은 경우 일정한 방향없이 많은 시행착오를 거쳐 가고자 하는 위치를 찾게된다. 즉, 종래기술은 적은 위치제어 좌표계내 또는 화상의 시계범위(FOV)가 넓을 경우(렌즈의 배율이 작은 경우)에는 문제가 없지만 화상배율이 커져가고 XYθ좌표계가 넓을 경우 죠그 제어 방법이 대단히 비효율적이다.When you do not know the coordinates of the position you want to go to, the jog is a means to effectively control the position you want to move. Therefore, the object is moving slowly while looking at an object in moving coordinates. At this time, the longer the distance is, the larger the magnification of the image recognition device is. In this case, you will find the position you want to go through without a certain direction through a lot of trial and error. That is, the prior art has no problem in a small position control coordinate system or when the field of view (FOV) of the image is wide (when the lens magnification is small), but when the image magnification is increased and the XYθ coordinate system is wide, the jog control method is very inefficient. .

따라서, 본 발명은 위치제어 좌표계내에서 움직이고자 하는 위치에 신속, 정확하고도 간편히 모니터에 나타난 그래픽과 커서를 체스맨을 조작하여 죠그를 제어하는 방법을 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of controlling a jog by manipulating a chessman with a graphic and a cursor displayed on a monitor at a position to be moved in a position control coordinate system.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 현재 위치점 P(Xø, Yø)에서 목표위치 T(X1, Y1)까지 죠그 속도를 빠르게 하기 위한 위치제어 좌표계의 죠그 속도제어 방법에 있어서, 실제 제어좌표영역을 모니터상에 그래픽 영역으로 나타낼 경우, X 방향의 죠그 속도를 식 VX= K1× |1X| / NG= K1× |X1- Xø| / NG로 계산하고, Y방향의 죠그 속도를 식 Vy= K2× |1y| / NG= K2× |Y1- Yø| / NG로 계산하여 죠그 속도를 빠르게 하거나, 실제 제어좌표영역을 모니터상에 줌 이미지 영역으로 나타낼 경우, X 방향의 죠그 속도를 식 VX=K3× |1X| / NI=K3× |X1- Xø| / NI로 계산하고, Y방향의 죠그 속도를 식 Vy= K4× |1y| / NI= K4×|Y1- Yø| / NI로 계산하여 죠그 속도를 빠르게 하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a jog speed control method of a position control coordinate system for speeding up a jog speed from a current position point P (Xø, Yø) to a target position T (X 1 , Y 1 ). When the area is represented as a graphic area on the monitor, the jog velocity in the X direction is calculated by the formula V X = K 1 × | 1 X | / N G = K 1 × | X 1 -Xø | / N G , and the Y direction The jog speed is calculated by the formula V y = K 2 × | 1 y | / N G = K 2 × | Y 1 -Yø | / N G to increase the jog speed, or zoom in on the monitor. In the case of an area, the jog velocity in the X direction is calculated by the formula V X = K 3 × | 1 X | / N I = K 3 × | X 1 -Xø | / N I , and the jog velocity in the Y direction is calculated by the formula V y = K 4 × | 1 y | / N I = K 4 × | Y 1 -Yø | / N I

이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제1도는 위치제어 좌표계를 표시하였는데, 평면좌표(X, Y, θ)를 좌표기준이 되는 원점 좌표(X, Y, θ)에서 X, Y 좌표 최대영역 즉, 위치제어 영역(1)을 나타내었고, 위치제어 영역(1)의 방향은 θ방향의 위치에 의해 변할 수 있다.FIG. 1 shows the position control coordinate system. The coordinate coordinate system (X, Y, θ) is represented by the maximum coordinate region of the X, Y coordinate, that is, the position control region 1, from the origin coordinates (X, Y, θ). The direction of the position control region 1 can be changed by the position in the θ direction.

제2a도 및 제2b도는 와이어 본딩의 경우를 도시하였는데, 화상인식장치의 줌(zoom)이 있는 경우도 있겠고, 배율이 고정인 경우도 있으며, 또는 θ축이 없는 경우도 있다. 여기서는 θ과 줌이 고정되었다고 가정하며, 시계범위가 1 x 1㎜정도이다. 그리고 테이블 영역이 약 600 x 600㎜정도이며, 테이블 제어 최소단위(resolution)는 2.5㎛이다. 현재 화상인식좌표로 좌표영역 즉, 테이블 영역 위치는 커서(2)가 있는 위치인데, 본딩 작업영역인 윈도우 클램프(3)의 안쪽까지 좌표를 이동시켜야 하는데(본딩 좌표를 지시하거나 수동으로 조작시 죠그 필요), 이때 죠그로 움직이기 위해서 체스맨이나 스위치로 움직이게 된다. 미설명 부호(4)는 반도체 다이이고, 부호(5)는 패들(paddle)이고, 부호(6)은 와이어이며, 부호(8)은 히트 블록(heat block)이다.2A and 2B illustrate the case of wire bonding, in which there may be a zoom of the image recognition device, the magnification may be fixed, or there may be no θ axis. Here, it is assumed that θ and zoom are fixed, and the field of view is about 1 x 1 mm. The table area is about 600 × 600 mm, and the table control minimum resolution is 2.5 μm. In the current image recognition coordinates, the coordinate area, that is, the table area, is the position where the cursor (2) is located. The coordinates must be moved to the inside of the window clamp (3), which is the bonding work area. At this time, to move with Jog, move with Chessman or Switch. Unexplained reference numeral 4 is a semiconductor die, reference numeral 5 is a paddle, reference numeral 6 is a wire, reference numeral 8 is a heat block.

제3도에서 X, Y, θ 좌표의 위치제어 영역(1)의 커서(2)를 제7도에 도시된 커서(2)의 위치로 죠깅하기 위해서는 미리 윈도우 사이즈를 수치로 입력하거나 아니면 화상좌표를 통하여 측정하여 윈도우 클램프 영역(3A)(제4도), 패들영역(5A)(제5도),다이 영역(4A)과 패드(7)(제6도)의 전체영역을 그래픽으로 축소하여 나타낸 제7도의 스크린 (17)을 선택하여 어느영역에서 어떤 죠그 속도로 갈 것인가는 그래픽으로 나타낸 영역의 종류에 따라 결정된다.In order to jog the cursor 2 of the position control area 1 of the X, Y, θ coordinates in FIG. 3 to the position of the cursor 2 shown in FIG. 7, the window size is input numerically in advance or the image coordinate is Through the measurement, the window clamp area 3A (FIG. 4), paddle area 5A (FIG. 5), the die area 4A and the entire area of the pad 7 (FIG. 6) are reduced graphically. The selection of the screen 17 of FIG. 7 shown to go at which jog speed in which area is determined depends on the type of area graphically shown.

죠그는 위치제어 좌표계에 있어서 좌표값을 모르지만 목표로하는 목표물을 알고 있을때 목표물까지 좌표를 이동시키기 위해 수동으로 어떤 키(key)조작 예를들어, 체스맨, 스위치, 죠이스틱(joystick)등을 통해 제어 좌표계(XYθ 테이블)를 움직인다. 본 발명은 제어 좌표영역 및 물체를 모니터에 디스플래이 해주는 기능 즉, 실제 이미지(real image)를 디스플래이 해주고, 실제 이미지 대신 그래픽으로 디스플래이 해주는 기능을 갖는 죠그속도제어 방법에 관한 것인데, 실제 이미지를 디스플래이 할 때 배율을 N 현재위치에서 죠그로 가고자 할 거리를 I, 죠그 속도를 V라 하면 k × |1| / N = V관계를 갖고 있으며, 그래픽 디스플래이 또한 작업영역을 와이어 본더의 예처럼 XY테이블 영역, 윈도우 클램핑 영역, 패달영역, 다이영역, 작업조건 및 환경에 따라 그래픽으로 각 영역 사이즈에 비례하여 모니터에 디스플래이하여 현재 본드헤드 툴 또는 카메라 좌표중심을 어떤 선택된 그래픽영역안에 디스플래이 해주고 체스맨을 움직일때 가고자 할 목표 위치를 다른 마크의 커서로 그래픽내에 죠그 스타트 키를 온(on)하면 그래픽 영역의 배율에 비례한 죠그 속도로 테이블이 효과적으로 빨라 움직인다.Jog doesn't know the coordinates in the positioning coordinate system, but when he knows the target he wants, he manually controls the keys to move the coordinates to the target, for example, through a chessman, a switch, or a joystick. Move the coordinate system (XYθ table). The present invention relates to a jog speed control method having a function of displaying a control coordinate area and an object on a monitor, that is, displaying a real image and displaying a graphic instead of a real image. If the magnification is N, the distance I want to go to the jog from the current position, and the jog speed is V, k × | 1 | / N = V. The graphic display also displays the work area as in the example of wire bonder. Graphically displays on the monitor according to the clamping area, pedal area, die area, working conditions and environment, and displays the current bondhead tool or camera coordinate center in any selected graphic area and wants to go when moving the chessman. Jog start key in the graphic with the target mark cursor at the target position Turning on effectively moves the table quickly at jog speed proportional to the magnification of the graphics area.

실제 이미지 디스플래이 기능을 갖고 있는 줌 렌즈 방식에서는 줌 렌즈 배율을 모니터를 보면서 배율을 선택하면 현재 위치의 커서가 디스플래이되고, 또한 체스맨을 조작하면 마우스의 커서처럼 실제 이미지 위에 중복되어 움직이게 되는 데, 이때 가고자 할 위치에 놓고 죠그 스타트 키를 온하면 가장 빠른 시간에 효과적으로 죠깅이 된다.In the zoom lens method that has the actual image display function, selecting the magnification while looking at the zoom lens magnification monitor displays the cursor at the current position, and when manipulating the chessman, it moves on the real image like the cursor of a mouse. Place it where you want to go and turn on the jog start key to get the best jogging at the fastest time.

제8도는 X, Y 위치제어 좌표계에서 실제 작업영역 Wx, Wy를 그래픽이나 줌 렌즈 배율에 의해 모니터에 나타낸 이미지의 크기를 (Gx, Gy), (Ix, Iy)라 하면 배율 N = W / G = W / I 즉, NX= |WX/ GX|, Ny= |Wy/ GX|혹은 NX= |WX/ IX|, Ny= |Wy/ Iy|이다. 여기서 모니터에 디스플래이한 그래픽이나 줌 이미지 영역 GX× Gy혹은 IX× Iy를 나타내었는데, 현재 위치점 P(Xø, Yø)에서 목표점 T(X1, Y1)에 죠그로 움직여서 갈려고 하는데, 죠그 속도 V는 가고자 할 거리 1에 비례하고, 그래픽이나 줌 이미지의 배율에 반비례하는 V = k × |1| / N의 죠그 속도로 제어하는 방법이다. X 방향의 죠그 속도는 VX= k1× |1x| / NX= K1× |X1- Xø| / NX이고, Y방향의 죠그 속도는 Vy= K2× |1y| / Ny= K2× |Y1- Yø| / Ny이다.Eighth turn when referred to the size of the image (G x, G y), (I x, I y) shown on the monitor by the actual work area W x, W y graphics or zoom lens magnification in the X, Y position control coordinate system Magnification N = W / G = W / I, that is, N X = | W X / G X |, N y = | W y / G X | or N X = | W X / I X |, N y = | W y / I y | Here we have displayed the graphic or zoom image area G X × G y or I X × I y displayed on the monitor, and we want to move jog from the current position point P (Xø, Yø) to the target point T (X 1 , Y 1 ). The jog speed V is controlled by a jog speed of V = k x | 1 | / N, which is proportional to the distance 1 to go and inversely proportional to the magnification of the graphic or zoom image. Jog velocity in the X direction is V X = k 1 × | 1 x | / N X = K 1 × | X 1 -Xø | / N X , and jog velocity in the Y direction is V y = K 2 × | 1 y | / N y = K 2 × | Y 1 -Yø | / N y .

제9도에 도시된 X, Y, θ 위치제어 좌표계에서는 θ방향의 죠그속도Vθ = K3× |θ1- θø|/ Nθ = K3× |1θ|가 추가되며, Nθ = 1 이다. 이와같이 그래픽이나 줌 이미지의 실제 작업영역의 배율에 대하여 본 발명의 죠그 속도V를 최대로 하는 방법이다.In the X, Y, and θ position control coordinate systems shown in FIG. 9, the jog velocity Vθ = K 3 × | θ 1 -θø | / Nθ = K 3 × | 1θ | in the direction of θ is added, and Nθ = 1. In this way, the jog velocity V of the present invention is maximized with respect to the magnification of the actual working area of the graphic or zoom image.

상술한 바와같이 본 발명은 모니터에 나타나는 그래픽을 이용하여 위치제어 좌표계의 영역을 확대 또는 축소하여 체스맨으로 죠깅할 수 있도록 커서를 가고자 하는 위치 예를 들어, 넓은 범위에서 좁은 범위의 단계로 축소하면서 빠르고도 쉽게 죠깅할 수 있으며, 체스맨에 있는 몇개의 스위치로 현재 어디서 부터 갈 것인가를 선택할 수 있다. 즉, 모니터에서 가고자 할 위치를 쉽게 커서로 표시하기 위하여 다단계로 축소 또는 확대하며, 먼 거리 또는 가까운 거리가 커서로 결정되면 거리에 비례하여 죠그 속도를 다단계로 한다. 그리고 줌이 있는 화상장치에는 시계범위를 변화시킬 수 있으므로 시계범위에 비례하여 죠그 속도를 제어할 수 있어 시계범위가 큰 경우 즉, 가고자하는 위치를 한번에 볼수 있을때는 죠그 속도가 빠르다.As described above, the present invention uses the graphic displayed on the monitor to enlarge or reduce the area of the positioning coordinate system to move the cursor so that it can be jogged to the chessman, for example, while reducing from a wide range to a narrow range. You can jog quickly and easily, and you can choose where to go from now with a few switches on the chessman. That is, in order to easily display the position to go on the monitor with the cursor, it is reduced or enlarged in multiple stages, and when the long distance or the close distance is determined by the cursor, the jog speed is multi-stage in proportion to the distance. In addition, the zoom range can be changed in a zoomed image device, so the jog speed can be controlled in proportion to the range of the watch. When the zoom range is large, that is, when the position to be seen can be seen at a time, the jog speed is fast.

따라서, 본 발명은 위치제어 좌표계내에서 움직이고자 하는 위치에 신속, 정확하고도 간편히 모니터에 나타난 그래픽과 커서를 체스맨을 조작하여 죠그를 제어하므로써, 죠그 속도를 최대로 빠르게 할 수 있어 위치제어 좌표계의 죠깅방법의 성능이 향상된다.Therefore, in the present invention, the jog speed can be maximized by controlling the jog by controlling the chess man and the graphic displayed on the monitor quickly and accurately and simply at the position to be moved in the position control coordinate system. The performance of the jogging method is improved.

Claims (4)

현재 위치점 P(Xø, Yø)에서 목표위치 T(X1, Y1)까지 죠그 속도를 빠르게 하기 위한 위치제어 좌표계의 죠그 속도제어방법에 있어서, 실제 제어좌표영역을 모니터상에 그래픽 영역으로 나타낼 경우, X방향의 죠그 속도를 식 VX= K1× |1X| / NG= K1× |X1- Xø| / NG로 계산하고, Y방향의 죠그 속도를 식 Vy= K2× |1y| / NG= K2× |Y1- Yø| / NG로 계산하여 죠그 속도를 빠르게 하는 것을 특징으로 하는 죠그 속도 제어방법. 여기서, VX와 Vy는 X 및 Y 방향의 죠그 속도이고, K12는 비례상수이며, 1X와 1y는 X및 Y방향의 죠그 거리이고, NG와 NG는 그래픽의 배율이다.In the jog speed control method of the position control coordinate system for increasing the jog speed from the current position point P (Xø, Yø) to the target position T (X 1 , Y 1 ), the actual control coordinate area is displayed as a graphic area on the monitor. In this case, the jog speed in the X direction is calculated by the formula V X = K 1 × | 1 X | / N G = K 1 × | X 1 -Xø | / N G , and the jog speed in the Y direction is calculated by the formula V y = K 2 x | 1 y | / N G = K Jog speed control method characterized in that the jog speed is increased by calculating with 2 x | Y 1 -Yø | / N G. Where V X and V y are jog velocities in the X and Y directions, K 1 and 2 are proportional constants, 1 X and 1 y are jog distances in the X and Y directions, and N G and N G are magnifications of the graphic. to be. 제1항에 있어서, 죠그속도를 다단계로 제어하기 위하여, 상기 실제 제어좌표 영역과 상기 그래픽 영역을 여러종류로 나누고, 이에 대응되는 그래픽의 배율을 각각 설정해서 식 V = k × |1| / NG을 기본으로 각각의 상기 그래픽 영역마다 죠그 속도를 다단계로 제어하는 것을 특징으로 하는 죠그 속도제어 방법.The method according to claim 1, wherein in order to control the jog speed in multiple stages, the actual control coordinate area and the graphic area are divided into various types, and the magnification of the corresponding graphic is set, respectively, and the equation V = k × 1 | / N Jog speed control method characterized in that to control the jog speed in each of the graphics area on the basis of G. 현재 위치점 P(Xø, Yø)에서 목표위치 T(X1, Y1)까지 죠그 속도를 빠르게 하기 위한 위치제어 좌표계의 죠그 속도제어방법에 있어서, 실제 제어좌표영역을 모니터상에 그래픽 영역으로 나타낼 경우, X방향의 죠그 속도를 식 VX=K3× |1X| / NI=K3× |X1- Xø| / NI로 계산하고, Y방향의 죠그 속도를 식 Vy= K4× |1y| / NI= K4×|Y1- Yø| / NI로 계산하여 죠그 속도를 빠르게 하는 것을 특징으로 하는 죠그 속도제어방법. 여기서, VX와 Vy는 X 및 Y 방향의 죠그 속도이고, K3와 K4는 비례상수이며, 1X와 1y는 X 및 Y 방향의 죠그 거리이고, N1와 NI는 줌 배율이다.In the jog speed control method of the position control coordinate system for increasing the jog speed from the current position point P (Xø, Yø) to the target position T (X 1 , Y 1 ), the actual control coordinate area is displayed as a graphic area on the monitor. In this case, the jog speed in the X direction is calculated by the formula V X = K 3 × | 1 X | / N I = K 3 × | X 1 -Xø | / N I , and the jog speed in the Y direction is calculated by the formula V y = K 4 × | 1 y | / N I = K Jog speed control method characterized in that the jog speed is increased by calculating with 4 × | Y 1 -Yø | / N I. Where V X and V y are jog speeds in X and Y directions, K 3 and K 4 are proportional constants, 1 X and 1 y are jog distances in X and Y directions, and N 1 and N I are zoom ratios. to be. 제3항에 있어서, 죠그속도를 다단계로 제어하기 위하여, 상기 실제 제어좌표영역과 상기 줌 이미지 영역을 여러종류로 나누고, 이에 대응되는 줌의 배율을 각각 설정해서 식 V = K× |1| / NI을 기본으로 각각의 상기 줌 이미지 영역마다 죠그 속도를 다단계로 제어 하는 것을 특징으로 하는 죠그 속도제어 방법.4. The method according to claim 3, wherein in order to control the jog speed in multiple stages, the actual control coordinate area and the zoom image area are divided into various types, and the corresponding magnifications are set, respectively, and the formula V = K × | 1 | / Jog speed control method for controlling the jog speed for each of the zoom image region based on N I in multiple stages.
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