KR100193448B1 - Package Burn-in Test Circuit of Semiconductor Memory - Google Patents

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술 분야1. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION

본 발명은 반도체 메모리의 테스트회로에 관한 것으로, 특히 모든 워드라인을 동시에 인에이블시켜 테스트하므로써 테스트시간을 줄인 반도체 메모리의 패키지 번인 테스트회로에 관한 것이다.The present invention relates to a test circuit of a semiconductor memory, and more particularly, to a package burn-in test circuit of a semiconductor memory which reduces test time by enabling all word lines to be tested at the same time.

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제2. The technical problem to be solved by the invention

패키지 테스트과정에서 발생되는 시간지연을 해결하고자 한다.We want to solve the time delay that occurs during package testing.

3. 발명의 해결방법의 요지3. Summary of Solution to Invention

소정의 스트레스 전압이 인가되는 소정의 핀과, 상기 핀에 유입되는 스트레스전압에 응답하여 소정의 모드에서 인에이블되는 인에이블신호 발생회로와, 상기 인에이블신호 발생회로의 출력에 응답하여 소정의 제어신호를 출력하는 제어신호 발생회로와, 상기 제어신호 발생회로의 출력에 응답하여 소정의 테스트전압을 출력하는 차아지공급수단을 구비하고, 상기 제어신호 발생회로의 출력에 응답하여 다수의 워드라인에 테스트전압을 공급함을 특징으로 하는 반도체 메모리장치의 패키지 번인 테스트회로를 구현하므로써 패키지상태에서 고속의 테스트를 실행할 수 있게 된다.A predetermined pin to which a predetermined stress voltage is applied, an enable signal generating circuit that is enabled in a predetermined mode in response to the stress voltage flowing into the pin, and a predetermined control in response to an output of the enable signal generating circuit A control signal generation circuit for outputting a signal, and charge supply means for outputting a predetermined test voltage in response to the output of the control signal generation circuit, and in response to the output of the control signal generation circuit; By implementing the package burn-in test circuit of the semiconductor memory device characterized by supplying a test voltage, it is possible to execute a high-speed test in the package state.

4. 발명의 중요한 용도4. Important uses of the invention

패키지상태에서 고속으로 테스트동작을 실행하는 반도체 메모리장치.A semiconductor memory device which performs a test operation at a high speed in a packaged state.

Description

반도체 메모리의 패키지 번인 테스트회로Package Burn-in Test Circuit of Semiconductor Memory

제1도는 본 발명의 실시예에 따른 패키지 번인 테스트를 위한 전원전압 인가를 설명하기 위한 제시된 도면.1 is a diagram illustrating a power supply voltage application for a package burn-in test according to an embodiment of the present invention.

제2도는 본 발명에 적용되는 것으로서, 외부 핀에 인가되는 전압을 검출하기 위한 전압레벨 디텍터의 회로도.2 is a circuit diagram of a voltage level detector for detecting a voltage applied to an external pin as applied to the present invention.

제3도는 패키지 테스트를 위한 인에이블신호 발생회로의 상세회로도.3 is a detailed circuit diagram of an enable signal generation circuit for a package test.

제4도는 제1도에 인가되는 제어신호들을 발생하기 위한 회로에 관련된 회로도.4 is a circuit diagram related to a circuit for generating control signals applied to FIG.

제5도는 제1도 내지 제4도에 보여지는 각종 신호들의 동작타이밍도.5 is an operation timing diagram of various signals shown in FIGS.

본 발명은 반도체 메모리의 테스트회로에 관한 것으로, 특히 모든 워드라인을 동시에 인에이블시켜 테스트하므로써 테스트시간을 줄인 반도체 메모리의 패키지 번인 테스트회로에 관한 것이다.The present invention relates to a test circuit of a semiconductor memory, and more particularly, to a package burn-in test circuit of a semiconductor memory which reduces test time by enabling all word lines to be tested at the same time.

반도체 메모리장치의 신뢰성을 높이기 위하여 다양한 테스트를 실시하고 있다. 그중 대표적인 테스트방법으로 웨이퍼 번인(Wafer Burn-in) 테스트와 패키지 번인(Package Burn-in) 테스트가 있다. 문자 그대로, 웨이퍼 번인 테스트(이하 WBI 테스트라고 함)는 웨이퍼상태의 칩(chip)에 고전압을 인가하여 불량부분을 초기에 제거하는 것이고, 패키지 번인 테스트(이하 PBI 테스트라고 함)는 패키지 상태의 칩에 고전압을 인가하여 불량부분을 초기에 제거하는 것을 말한다. 상기 제거된 부분은 현재의 메모리장치에서 필수적으로 탑재되고 있는 리던던시(redundancy)장치를 이용하여 대체하게 된다. 현재 대부분의 반도체 메모리는 전술한 바와 같이 패키지(package)상태에서 번인 테스트(burn-in test)를 수시간이상 진행하고 있다. 이러한 테스트는 완성된 메모리장치의 수명을 제작자가 사용자에게 보장하는 것으로써 반도체 메모리장치의 신뢰성을 나타내기 위해서 필수적으로 실행되어지고 있다.Various tests are performed to increase the reliability of the semiconductor memory device. Representative test methods include wafer burn-in test and package burn-in test. Literally, the wafer burn-in test (hereinafter referred to as the WBI test) is to apply a high voltage to the chip in the wafer state to remove the defective parts early, and the package burn-in test (hereinafter referred to as the PBI test) is a chip in the package state. It means to remove the defective part early by applying high voltage. The removed portion is replaced by using a redundancy device that is essentially mounted in the current memory device. As described above, most semiconductor memories have undergone a burn-in test in a package state for several hours or more. Such a test is indispensably performed to indicate the reliability of the semiconductor memory device by guaranteeing the user the life of the completed memory device.

이러한 테스트과정을 거친후 비로소 메모리장치는 사용자에게 출하되게 된다. 상기 PBI 테스트에서 주로 발견되는 불량은 메모리셀 어레이에서의 불량이 대부분이다. 상기와 같이 메모리셀 어레이에서 불량이 많이 발견되는 이유는 다음과 같다. 즉, 통상적인 디램의 단위 메모리셀을 구성하는 액세스 트랜지스터가 엔모오스 트랜지스터(NMOS transistor)로 구성되고, 액세스(access)동작시 상기 액세스 트랜지스터를 제어하는 게이트신호 즉, 워드라인전압으로 고전압이 인가된다. 상기 고전압레벨의 워드라인전압으로 인하여 발생되는 강전계에 따른 스트레스(stress)로 인하여 상기 액세스 트랜지스터의 게이트 산화막(gate oxide)이 파괴될 개연성이 크다. 이와 같은 과정을 거쳐 발생되는 게이트 산화막의 파괴가 반도체 메모리장치에서 차지하는 불량의 대부분이고, 이런 경우, 메모리장치는 정상동작을 수행할 수 없게 된다. 물론 다수의 주변회로들이나, 센스앰프 및 등화회로와 같은 코아(core)부에서도 불량이 발견되기는 하지만, 이는 상기 메모리셀 어레이에서의 불량에 비해 적은 양에 불과하다.After these tests, the memory device is shipped to the user. The defect mainly found in the PBI test is a defect in the memory cell array. The reason why many defects are found in the memory cell array as described above is as follows. That is, an access transistor constituting a conventional DRAM unit memory cell is composed of an NMOS transistor, and a high voltage is applied to a gate signal, that is, a word line voltage, that controls the access transistor during an access operation. . Due to stress caused by the strong electric field generated by the word line voltage of the high voltage level, the gate oxide of the access transistor is likely to be destroyed. The destruction of the gate oxide film generated through such a process is most of the defects in the semiconductor memory device. In this case, the memory device cannot perform normal operation. Of course, defects are also found in a number of peripheral circuits, or core parts such as sense amplifiers and equalization circuits, but this is only a small amount compared to the defects in the memory cell array.

반도체 메모리의 집적도가 늘어날수록 상기 PBI 테스트로 인한 시간은 길어지고 있는데, 이에 따른 테스트비용의 상승으로 인하여 생산성향상에 막대한 타격이 가해지게 된다. 따라서 상기 테스트시간을 줄여 생산성향상을 위한 노력들이 다양하게 시도되고 있다. 최근 웨이퍼상태에서 모든 워드라인을 동시에 인에이블시켜 테스트를 실시하는 WBI 테스트가 실행되고 있는데, 이에 대한 사항은 일본의 Toshiba사에서 제출된 논문 IEDM에 Wafer Burn-in Technology for RAM's에 자세히 개시되어 있다.As the degree of integration of semiconductor memory increases, the time due to the PBI test becomes longer, and thus, a huge impact on productivity is exerted due to an increase in test cost. Therefore, various efforts have been made to improve the productivity by reducing the test time. Recently, the WBI test, which enables all word lines to be tested at the same time in a wafer state, has been executed, which is described in detail in Wafer Burn-in Technology for RAM's in the paper IEDM submitted by Toshiba, Japan.

상기 논문에서 WBI 테스트시 워드라인의 인에이블에 필요한 전압은 메모리장치에 내장된 모니터패드(Monitor PAD)를 통하여 외부에서 인가하여 주고, 워드라인에 인가되는 스트레스정도에 따라 상기 모니터패드를 통하여 인가되는 전압레벨을 변화할 수 있다. 현재 이러한 WBI 테스트방식을 PBI 테스트에 적용하면 보다 고속의 테스트가 얻을 수 있지만 바로 적용되지 못한다. 그 이유는 패키지상태에서는 모니터 패드가 외부에 돌출되어 있지 않아 모든 워드라인의 인에이블에 필요한 전압을 외부에서 공급할 수 없기 때문이다.In this paper, the voltage required to enable the word line during the WBI test is applied from the outside through a monitor pad built in the memory device, and applied through the monitor pad according to the stress applied to the word line. The voltage level can be changed. Currently, applying these WBI test methods to PBI tests results in faster tests, but not immediately. The reason is that in the package state, since the monitor pad does not protrude outside, the voltage required to enable all word lines cannot be supplied externally.

따라서 본 발명의 목적은 전원전압을 이용하여 모든 워드라인을 동시에 인에이블시켜 고속으로 테스트를 실시하는 반도체 메모리장치의 패키지 번인 테스트회로를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a package burn-in test circuit of a semiconductor memory device which performs a test at a high speed by simultaneously enabling all word lines using a power supply voltage.

본 발명의 다른 목적은 고속의 테스트를 통하여 생산성이 향상된 반도체 메모리장치의 패키지 번인 테스트회로를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a package burn-in test circuit of a semiconductor memory device having improved productivity through high speed testing.

상기 본 발명의 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 반도체 메모리장치의 패키지 번인 테스트회로는, 패키지 상태에서 소정레벨의 전압을 수신하는 다수의 핀과, 상기 다수의 핀에 인가되는 전압을 검출하여 소정의 모드에서 테스트용 클럭신호들을 생성하기 위한 전압레벨 디텍터와, 상기 테스트용 클럭 신호들과 상기 모드에서 내부회로들에서 생성되는 신호들을 조합하여 패키지 테스트에 필요한 인에이블 신호들을 생성하는 인에이블 신호 발생회로와, 다이오드 및 제어스위치로 이루어진 전원 공급부(50)를 통해 전원을 수신하고 상기 인에이블 신호 발생회로의 인에이블 신호들을 수신하여 소정의 테스트전압을 생성하고 이를 다수의 워드라인에 동시에 인가하는 차아지공급부(51)를 구비함을 특징으로 한다.In order to achieve the objects of the present invention, the package burn-in test circuit of the semiconductor memory device according to the present invention, by detecting a plurality of pins for receiving a predetermined level of voltage in the package state, and the voltage applied to the plurality of pins An enable signal for generating enable signals for package test by combining a voltage level detector for generating test clock signals in a predetermined mode, and signals generated by internal circuits in the mode with the test clock signals. Receiving power through the power supply unit 50 consisting of a generation circuit, a diode and a control switch and receiving the enable signals of the enable signal generation circuit to generate a predetermined test voltage and simultaneously apply it to a plurality of word lines. Characterized in that the charge supply unit 51 is provided.

이하 첨부된 도면을 사용하여 본 발명에 따른 반도체 메모리장치의 패키지 번인 테스트회로에 대한 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of a package burn-in test circuit of a semiconductor memory device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

제1도는 본발명의 실시예에 따른 패키지 번인 테스트를 위한 전원전압 인가를 설명하기 위해 제시된 도면이고, 제2도는 본 발명에 적용되는 것으로서 외부 핀에 인가되는 전압을 검출하기 위한 전압레벨 디텍터의 회로도이고, 제3도는 패키지 테스트를 위한 인에이블신호 발생히로의 회로도들이며, 제4도는 제1도에 인가되는 제어신호들을 발생하기 위한 회로에 관련된 회로도이며, 제5도는 제1도 내지 제4도에 보여지는 각종 신호들의 동작타이밍도이다.1 is a view for explaining the application of the power supply voltage for the package burn-in test according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a circuit diagram of a voltage level detector for detecting a voltage applied to an external pin as applied to the present invention FIG. 3 is a circuit diagram of an enable signal generator for package testing, and FIG. 4 is a circuit diagram related to a circuit for generating control signals applied to FIG. 1, and FIG. 5 is a circuit diagram of FIGS. The operation timing of the various signals shown is shown.

설명의 편의상 16메가디램을 예를들어 본 발명에 따른 새로운 PBI 테스트방법 및 전원인가방식을 제1도를 중심으로 설명하기로 한다. PBI 테스트에서 제1도내의 모든 워드라인의 인에이블은 상기 워드라인에 전원전압레벨의 차아지를 공급하는 것에 의해 구현될 수 있다. 그러기 위해서 먼저 PBI상태를 인식할 수 있는 외부의 제어신호를 패키지의 외부 핀으로 인가하여야 하는데, 이 경우에 패키지상태에서는 엑스트라핀(extra PIN)이 없으므로 전원의 인가가 곤란하다. 따라서, 본 발명에서는 엑스트라 핀을 확보하기 위해서 먼저 잘 알려진 WCBR(WE CAS Before RAS : 로우어드레스 스트로브 바아 신호가 로우상태로 천이하게 이전에 라이트 인에이블 신호 및 칼럼어드레스 스트로브 바아 신호가 로우상태로 먼저 천이하는 상태의 타이밍을 의미하며, 메모리는 이 타이밍에 따라 리드나 라이트 모드가 아닌 특수한 모드 예컨대 병렬테스트 모드로 동작됨)타이밍하의 병렬테스트모드(parallel test mode)로 진입하여 어드레스핀 A0, A1핀을 돈케어(don't care)상태로 만들고, 상기 A0, A1핀을 외부 전원인가핀으로서 사용한다.For convenience of description, a new PBI test method and a power application method according to the present invention will be described with reference to FIG. In the PBI test, enabling of all the word lines in FIG. 1 can be implemented by supplying a charge of the power supply voltage level to the word lines. In order to do this, an external control signal capable of recognizing a PBI state must be applied to an external pin of the package. In this case, since there is no extra pin in the package state, it is difficult to apply power. Accordingly, in the present invention, in order to secure the extra pin, the WCBR (WE CAS Before RAS: low address strobe bar signal) transitions to the low state, and the write enable signal and the column address strobe bar signal first transition to the low state first. In this case, the memory enters the parallel test mode under timing, not the read or write mode. A don't care state is made, and the A0 and A1 pins are used as external power supply pins.

또한, PBI 테스트중 라이트사이클로 진행할 경우에는 아웃풋 인에이블핀 OEB을 이용한다. 제2도에서 외부 핀에 인가되는 전압을 검출하여 테스트용 클럭을 생성하기 위한 전압레벨 디텍터의 회로가 보여진다. 상기 메모리를 WCBR타이밍하의 병렬테스트모드로 진입시킨 후, 상기 아웃풋 인에이블핀 OEB핀에 '하이'전압을 인가하여, 메모리 내부에서 PBI 테스트를 위해 필요한 마스트클럭 PPBESVOE를 제2도의 회로를 이용하여 발생시킨다. 제2도에서 상기 아웃풋 인에이블핀 OEB은 패드 PAD에 대응된다. 또한, 상기 패드 PAD가 각각 A0, A1핀이라 할 경우에 상기한 OEB핀의 경우와 마찬가지로 역시 '하이'전압을 인가하여 이븐(even) 및 오드(odd) 워드라인의 인에이블여부를 제어하기 위한 마스트클럭 PPBESVA0, PPBESVA1를 발생시킨다. 여기서, 상기 OE, A0, A1핀의 역할을 바꾸어 사용할 수도 있다.In addition, the output enable pin OEB is used for light cycles during PBI testing. In FIG. 2, a circuit of a voltage level detector for detecting a voltage applied to an external pin to generate a test clock is shown. After entering the memory into the parallel test mode under the WCBR timing, a 'high' voltage is applied to the output enable pin OEB pin to generate the mast clock PPBESVOE necessary for PBI test in the memory using the circuit of FIG. Let's do it. In FIG. 2, the output enable pin OEB corresponds to the pad PAD. In addition, in the case where the pad PAD is A0 and A1 pins, as in the case of the OEB pin, a 'high' voltage is also applied to control whether the even and odd word lines are enabled. Mast clocks PPBESVA0 and PPBESVA1 are generated. Here, the roles of the OE, A0 and A1 pins may be changed.

상기한 제1도에서의 구성과 같이, 본 발명의 실시예에서는 워드라인 드라이버를 쌍으로 배치하고, 제3,4도의 회로에 의해 각종 제어신호들을 발생시켜 제1도의 회로부 50,51에 인가하여 상기 워드라인을 홀수번째와 짝수번째로 교대로 인에이블시킨다. 이렇게 교대로 테스트하는 이유는 워드라인간 생길 수 있는 마이크로 브리지(micro bridge)등을 스크린(screen)하기 위해 두 워드라인중 한쪽만 인에이블시켜 워드라인간에 전위차이를 만들기 위함이다. 물론 테스트의 단순화를 위해 이븐 및 오드 워드라인의 구분이 불필요해지면 A0핀만이 PBI 테스트를 위하여 사용되어 질수도 있다. 제1도의 도면부호 50은 워드라인에 VCC차아지를 전달하기 위한 다이오드 및 제어스위치로 이루어진 전원 공급부를 나타내고 있고, 도면부호 51은 워드라인에 VCC차아지를 전달하는 차아지공급부의 예를 나타내었다. 상기 차아지공급부 51은 노멀동작모드에서는 WBEVSS노드를 접지전압 VSS의 레벨로 유지시켜 워드라인 드라이버의 접지전압원으로 사용되게 하고, PBI 테스트모드에서는 PPBE 및 PPBE 1,2신호에 의해 상기 WBEVSS노드를 워드라인 인에이블 전압레벨로 변경시킨다. 결국, 상기 차아지공급부 51는 WCBR타이밍하의 병렬테스트모드에서 인가되는 VCC차이지를 글로벌 및 로컬 라인들 GLE, GL0, LL1E, LL10을 통해 워드라인들에 공급되게 한다. 이때 VCC에 의해 공급되는 차아지에 의한 워드라인 인에이블 레벨은 종래 FBI 테스트에서 요구되는 워드라인의 인에이블 레벨을 정확히 보장하기 어려운 단점이 있으나, 상기 PBI 테스트중 진행되는 메모리의 장치동작에 의해 장치의 내부회로에서 만들어진 워드라인용 직류전압레벨로서 어느 정도 보충이 되므로 워드라인 스트레스효과는 그대로 유지되며, 결국 종래의 WBI 테스트방식을 PBI 테스트에 적용할 수 있어 보다 고속의 테스트가 얻어진다. 이는 본 발명의 실시예에서 모든 워드라인의 인에이블에 필요한 전압을 외부에서 공급할 수 있도록 하였기 때문이다.As shown in FIG. 1, in the embodiment of the present invention, word line drivers are arranged in pairs, various control signals are generated by the circuits of FIGS. 3 and 4, and applied to the circuit portions 50 and 51 of FIG. The word lines are alternately enabled in odd and even numbers. The reason for this alternation test is to enable one side of the two word lines to screen potential micro bridges that may occur between the word lines to make a potential difference between the word lines. Of course, if the separation between even and odd word lines is unnecessary to simplify the test, only the A0 pin may be used for the PBI test. Reference numeral 50 in FIG. 1 denotes a power supply unit comprising a diode and a control switch for transferring a VCC charge to a word line, and reference numeral 51 shows an example of a charge supply unit for transferring a VCC charge to a word line. The charge supply unit 51 maintains the WBEVSS node at the level of the ground voltage VSS in the normal operation mode to be used as the ground voltage source of the word line driver, and in the PBI test mode, the WBEVSS node is worded by the PPBE and PPBE 1,2 signals. Change to line enable voltage level. As a result, the charge supply unit 51 causes the VCC difference applied in the parallel test mode under the WCBR timing to be supplied to the word lines through the global and local lines GLE, GL0, LL1E, and LL10. At this time, the word line enable level by the charge supplied by the VCC has a disadvantage that it is difficult to accurately ensure the enable level of the word line required in the conventional FBI test, the device by the operation of the memory during the PBI test The word line stress effect is maintained as it is supplemented to some extent by the DC voltage level for the word line made in the internal circuit of the circuit. As a result, the conventional WBI test method can be applied to the PBI test to obtain a faster test. This is because in the embodiment of the present invention, it is possible to externally supply a voltage required for enabling all word lines.

예를 들어, 16메가디램에서 2킬로 리프레시를 가지는 메모리장치에서 20시간 PBI테스트를 실행할 경우, 각 워드라인에 가해지는 총스트레스 인가시간은 약 20초가 된다. 그런데 이를 본 발명의 실시예에 따른 PBI 테스트에 적용하는 경우 20초 혹은 40초만의 PBI 테스트로 종래와 동일한 20시간 PBI 테스트 효과를 얻을 수 있다. 결국, 종래의 패키지상태의 번인 테스트에 비해 테스트시간이 현저하게 줄어들게 됨을 알 수 있다.For example, if a 20-hour PBI test is performed on a memory device with 2 kilo refresh at 16 mega DRAM, the total stress applied time to each word line is about 20 seconds. However, when this is applied to the PBI test according to an embodiment of the present invention, a PBI test effect of 20 seconds or 40 seconds can obtain the same 20-hour PBI test effect. As a result, it can be seen that the test time is significantly reduced compared to the burn-in test of the conventional package state.

전체적인 동작을 설명한다. 제5도에는 본 발명에 따른 테스트 모드시 제1도 내지 제4도에 보여지는 각종 신호들의 동작타이밍도가 나타나 있다. 먼저, 메모리에 인가되는 외부제어신호들 로우어드레스 스트로브 바아 신호및 칼럼어드레스 스트로브 바아 신호, 라이트 인에이블 신호가 제5도의 대응파형의 타이밍과 같은 경우에 상기한 WCBR타이밍이 되어 메모리는 병렬 테스트모드로 진입한다. 이 병렬테스트 모드를 제1도의 회로가 인지할 수 있도록 하는 신호 øWCBRB는 제3a도에 의해 발생된다. 제3a도에서 보여지는 제5도의 파형 øRFHB는의 인에이블 시점이의 인에이블 시점보다 빠른 경우에 활성화 되는 클럭으로서 리프레쉬 모드를 알리는 클럭신호이다. 제3b도에 의해 발생되는 제5도의 파형 øFTE는 패스트(Fast) 테스트 인에이블 신호의 약어로서 노말시 병렬 테스트를 위해 사용되는 신호이다. 제3a,3b도에서 보여지는, øR, øC, øRD, øD PX, øEW는 각기의 상태를 알리는 클럭시노,의 상태를 알리는 클럭신호, øR의 지연신호, 로우디코더 프리차아지 신호, 라이트 인에이블 상태를 알리는 라이트 제어클럭신호이다. 제1도에 인가되는 제5도의파형 PPBE는 제4a도의 낸드 게이트 및 인버터에 의해 생성되며, 제5도의 파형 PPBE1은 제4b도에 의해 생성되며, 파형 PPBE2는 제4c도에 의해 생성된다. 제5도의 파형 WBEVSS는 제1도의 차아지 공급부 51에 의해 생성되어, 생선된 전압은 워드라인 WL에 인가된다.Describe the overall operation. 5 shows the operation timing of various signals shown in FIGS. 1 to 4 in the test mode according to the present invention. First, external control signals applied to the memory low address strobe bar signal And column address strobe bar signals , Light enable signal When the timing of the corresponding waveform of FIG. 5 is equal to the timing of the WCBR, the memory enters the parallel test mode. The signal? WCBRB, which allows the circuit of FIG. 1 to recognize this parallel test mode, is generated by FIG. 3a. The waveform øRFHB of FIG. 5 shown in FIG. 3a is Enable point of time A clock signal that activates when it is earlier than the enable time, indicating a refresh mode. The waveform? FTE of FIG. 5 generated by FIG. 3b is an abbreviation of the fast test enable signal and is a signal used for normal parallel testing. ØR, øC, øRD, øD PX, øEW are shown in Figs. 3a and 3b, respectively. A clock signal indicating the state of A clock signal for indicating the state of?, A delay signal for? R, a low decoder precharge signal, and a write control clock signal for indicating the write enable state. The waveform PPBE of FIG. 5 applied to FIG. 1 is generated by the NAND gate and inverter of FIG. 4a, the waveform PPBE1 of FIG. 5 is generated by FIG. 4b, and the waveform PPBE2 is generated by FIG. The waveform WBEVSS of FIG. 5 is generated by the charge supply 51 of FIG. 1, and the drawn voltage is applied to the word line WL.

동작을 위주로 다시 설명하면, 로우어드레스 스트로브신호와 칼럼어드레스 스트로브신호가 인에이블되면, 상기 제3a도에서 상기 신호들의 상태를 알리는 클럭신호들 øR과 øC가 '하이'상태로 된다. 이에 따라 제어신호 øRFHB는 '하이'에서 '로우'상태가 된다. 참고적으로 상기 제어신호 øRFHB는 칼럼어드레스 스트로브신호가 로우어드레스 스트로브신호보다 빨리 활성화될 시 '로우'로 인에이블된다. 또한 상기 클럭신호 øR의 자연신호 øRD가 '하이'가 되고, 라이트 인에이블신호에 동기되는 신호 øEW가 '하이'로 됨에 따라 øWCBRB는 '하이'에서 '로우'상태로 천이된다. 제3b도에서는 상기 øWCBRB가 '로우'로 됨에 따라 인에이블신호 øFTE는 '하이'상태가 된다. 이상과 같은 과정을 거쳐 PBI 테스트를 위한 초기상태가 설정된다.The operation will be described again with the low address strobe signal. And column address strobe signal When is enabled, the clock signals? R and? C informing the state of the signals in FIG. 3a become 'high'. Accordingly, the control signal øRFHB is changed from 'high' to 'low'. For reference, the control signal øRFHB is a column address strobe signal. Low address strobe signal When activated more quickly, it is enabled as 'low'. In addition, the natural signal? RD of the clock signal? R becomes 'high', and the write enable signal The øWCBRB transitions from 'high' to 'low' as the signal øEW is synchronized to 'high'. In FIG. 3B, the enable signal? FTE becomes 'high' as the? WCBRB becomes 'low'. Through the above process, the initial state for the PBI test is set.

이 상태에서 제4a,4b,4c도에 나타낸 회로에서는 제어신호들 PPBE, PPBE1, PPBE2를 상황에 따라 '하이'상태로 인에이블시킨다. 모든 워드라인이 인에이블되어 동시에 테스트를 실행하기 위해서는 모든 제어신호들 PPBE, PPBE1, PPBE2 '하이'로 활성화된다. 이븐 워드라인만 활성화시켜 테스트하기 위해서는 제4b도의 PPBE1만 '하이'가 되게 하고, 반대로 오드 워드라인만 활성화시켜 테스트하기 위해서는 제4c도의 PPBE2만 '하이'가 되게 한다.In this state, the circuits shown in Figs. 4A, 4B, and 4C enable the control signals PPBE, PPBE1, and PPBE2 to the 'high' state according to the situation. All word lines are enabled and activated with all control signals PPBE, PPBE1, and PPBE2 'high' to run the test simultaneously. In order to activate and test only the even word line, only PPBE1 of FIG. 4b is 'high', and conversely, only PPBE2 of FIG. 4c is 'high' to activate and test only the word word line.

모든 워드라인을 인에이블시킴에 있어 고려되어야 할 기술적인 면을 언급하면, 총 워드라인로딩에 대한 충방전시 소요되는 지연시간을 내부적으로 보장해야 하는데 이는 인버터체인으로 구성되는 지연으로는 레이아웃측면에서 실현이 어려우므로, 셀프리프레시를 위한 오실레이터 또는 백바이어스 펌핑오실레이터등의 긴 주기의 출력을 이용하면 손쉽게 구현할 수 있다.When referring to the technical aspects to be considered in enabling all word lines, the internal delay time for charging and discharging the total word line loading must be guaranteed internally. Since it is difficult to realize, it can be easily implemented by using a long cycle output such as an oscillator for cell refresh or a back bias pumping oscillator.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 패키지상태에서 전원전압을 이용하여 모든 워드라인을 동시에 인에이블시킬 수 있으므로, 웨이퍼 번인시와 동일한 방법의 패키지 번인 테스트를 행할 수 있어, 패키지상태에서 신속한 번인 테스트동작을 실행하는 효과를 가짐에 의해 테스트 시간이 단축되어 제품원가를 다운시킬 수 있는 이점이 있다.As described above, according to the present invention, since all word lines can be enabled at the same time by using a power supply voltage in a package state, a package burn-in test can be performed in the same way as a wafer burn-in, and a quick burn-in test in a package state can be performed. By having the effect of executing an operation, the test time can be shortened, thereby reducing the product cost.

Claims (4)

반도체 메모리장치의 패키지 번인 테스트회로에 있어서, 패키지상태에서 소정레벨의 전압을 수신하는 다수의 핀과, 상기 다수의 핀에 인가되는 전압을 검출하여 소정의 모드에서 테스트용 클럭신호들을 생성하기 위한 전압레벨 디텍터와, 상기 테스트용 클럭 신호들과 상기 모드에서 내부회로들에서 생성되는 신호들을 조합하여 패키지 테스트에 필요한 인에이블 신호들을 생성하는 인에이블 신호 발생회로와, 다이오드 및 제어스위치로 이루어진 전원 공급부(50)를 통해 전원을 수신하고 상기 인에이블 신호 발생회로의 인에이블 신호들을 수신하여 소정의 테스트전압을 생성하고 이를 다수의 워드라인에 동시에 인가하는 차아지공급부(51)를 구비함을 특징으로 하는 반도체 메모리장치의 패키지 번인 테스트회로.A package burn-in test circuit of a semiconductor memory device, comprising: a plurality of pins for receiving a voltage of a predetermined level in a package state and a voltage for detecting voltages applied to the plurality of pins and generating test clock signals in a predetermined mode. A power supply unit comprising a level detector, an enable signal generation circuit for generating enable signals for package test by combining the test clock signals and signals generated in internal circuits in the mode, and a diode and a control switch. And a charge supply unit 51 for receiving a power supply through the power supply and receiving the enable signals of the enable signal generation circuit to generate a predetermined test voltage and simultaneously apply the same to a plurality of word lines. Package burn-in test circuit of semiconductor memory device. 제1항에 있어서, 상기 핀이 어드레스핀 또는 아웃풋 인에이블핀임을 특징으로 하는 반도체 메모리장치의 패키지 번인 테스트회로.The package burn-in test circuit of claim 1, wherein the pin is an address pin or an output enable pin. 제1항에 있어서, 상기 소정의 모드가 멀티비트를 테스트하는 WCBR모드임을 특징으로 하는 반도체 메모리장치의 패키지 번인 테스트회로.The package burn-in test circuit of claim 1, wherein the predetermined mode is a WCBR mode for testing multi-bits. 제1항에 있어서, 상기 다수의 워드라인이 메모리의 모든 워드라인 또는 반의 워드라인임을 특징으로 하는 반도체 메모리장치의 패키지 번인 테스트회로.The package burn-in test circuit of claim 1, wherein the plurality of word lines are all word lines or half word lines of the memory.
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