KR0185974B1

KR0185974B1 - 과도압력에 대한 보호장치

Info

Publication number: KR0185974B1
Application number: KR1019900009524A
Authority: KR
Inventors: 프리에링크 페터
Original assignee: 요트.게.아.롤페즈; 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
Priority date: 1989-06-27
Filing date: 1990-06-27
Publication date: 1999-10-01
Also published as: DE69029411T2; EP0405684A1; JP2936281B2; JPH0341272A; KR920001122A; FR2648890A1; EP0405684B1; DE69029411D1; FR2648890B1; ES2078295T3; US5056555A

Abstract

본 발명은 과다한 내부압력에 대항하여 기구를 보호하기 위한 보호 장치에 관한 것이다. 상기 장치는 주어진 힘에 의해 장치의 내부공간과 연통하는 노즐(14)에 제공되는 밸브(2)와 함께 제공되며, 상기 밸브는 상기 공간에 대해 노즐의 다른 측부상에 위치된다.

본 발명에 따라, 상기 장치는 밸브가 또한 제공되는 제2노즐(7)을 포함하며; 밀봉부(4)는 보호될 공간과 연통하는 노즐(14)을 둘러싸며, 다른 밀봉부(5)는 상기 노즐(7)을 둘러싸는 동안 제1밀봉부(4)를 둘러싸며; 상기 제2노즐은 진공 공간에 연결된다.

Description

과도압력에 대한 보호장치

제1도는 실린더의 형태로 제작된 본 발명에 따른 장치의 중심부를 통한 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 기초판 2 : 밸브

3 : 커버 4,5 : 밀봉부

7 : 제2노즐 8,9 : 튜브

10 : 보울트 헤드 11 : 보울트

12 : 노즐 13,14 : 공동

15 : 리브

[발명의 분야]

본 발명은 과도 압력에 대하여 기구를 보호하기 위한 장치로서, 기구의 내부 공간과 연통하는 노즐에 가해지는 힘에 의해 적용되고 상기 공간에 대하여 노즐의 다른쪽에 위치하는 밸브를 구비하는 장치에 관한 것이다.

[발명의 배경]

이런 장치는 특히 과도 입력에 의하여 파괴될 수 있는 압력하의 가스 저장조에 대해 사용하는 것이 공지되어 있다. 상기의 주어진 힘은 눈금 스프링에 의하여 얻어진다.

이는 본 발명의 증기상에서 화학적 침착을 수행하도록 고안된 기구 특히 적층 성장(epitaxy) 리액터에 적용된다. 이 경우에 있어서, 상기 기구의 공간은 보통 고압의 적용을 받지 않지만, 특별한 문제가 발생한다. 맹독성 가스가 그곳에 사용되므로 출구에서 세척 및 정화할 필요가 있으며, 그 내부에 고형 침착물이 형성된다. 상기 침착물은 출구 가스 노즐을 막아서 리액터내에 과도 압력을 초래하는데, 이와 같은 과도 압력은 그것이 매우 낮고(비과도 한계는 약 0.1 바아이다). 단시간이라도 반드시 피하여야 한다. 리액터내의 가스 유량이 약 60 내지 80 리터/분이며 리액터의 내부 체적이 약 1 리터이기 때문에, 가스 출구가 막혀있다면 0.1초내에 0.1 바아의 과도 압력이 얻어질 수 있다.

따라서 상기와 같은 개구에 대한 보호 장치는 다음과 같은 특성을 구비해야 한다.

- 낮은 과도 압력에 대하여 확실한 재생 가능한 방법으로 작동된다.

- 그것의 작동은 매우 빠르다.

- 그것의 작동 압력은 조절이 가능하다.

- 상기 장치가 작동중이란 사실이 쉽게 탐지될 수 있다.

- 그 내밀성은 완전하며 제어 가능하다.

[발명의 요약]

상기의 모든 특징은 상기의 주어진 힘이 보호될 공간내의 압력에 관계없는 공기력이라는 사실에 기인하여 본 발명에 따른 장치에서 달성된다.

실시예에서 공기력은, 밸브가 적용되는 제2노즐을 상기 장치가 포함하고, 밀봉 수단은 밸브가 적용될때 두 노즐이 서로 연통하는 것을 방지하며, 밀폐 수단은 그 하나는 보호되어야 할 공간과 연통하는 노즐을 둘러싸고 다른 하나는 제2노즐을 둘러싸는 두개의 노즐로 구성되는 사실에 의해, 발생한다.

상기 사실의 실현은 밀봉부 하나가 완전히 다른 밀폐부를 둘러쌀대, 특히 제2밀봉부가 제1밀봉부를 둘러싸고 제2노즐이 상기 두밀봉부 사이에서 합체될 때 단순화된다.

얻을 수 있는 스위칭 온(switching-on) 과도 압력은 소정 압력에서 공간의 압력이 0 내지 대기압 사이에 놓일때 적층 성장 리액터에 대해 적절하다. 상기 압력은 조정할 수 있으므로 스위칭 온 과도 압력 자체는 조정할 수 있다.

제2노즐이 합체되는 공간과 압력 감지기가 연결되어 있어, 장치가 작동할 때 압력이 상기 범위에서 증가 되기에 충분하므로, 장치가 작용하는 사실을 탐지하는 것은 상기 장치의 경우 매우 용이하다.

본 발명의 비제한 실시예를 기술하는 단일 도면과 관련한 후술의 상세한 설명은 본 발명을 명확히 이해할 수 있도록 한 것이다.

[적합한 실시예의 상세한 설명]

상기 밸브는 보호될 기구의 외부벽에 직접 적용될 수 있다. 그럼에도 불구하고 보다 큰 사용품을 획득하기 위해서는 별개의 장치를 제조하는 것이 바람직하다.

상기 장치는 기초판(1)과 커버(3)로 형성되는 원통형 몸체를 포함한다. 보호되어야 하는 공간에 연결 되려는 경향의 튜브(9)는 기초판의 중앙에서 납땜에 의해 고정되는데, 이경우 이는 적층 성장 리액터의 가스 출구 튜브와 연결된다. 자유 외부 공간과 연통되는 튜브(8)는 커버(3)의 중앙에서 납땜에 의해 고정된다. 커버는 보울트(11)에 의해 기초판에 고정된다.

튜브(9)는 기초판에 제공된 다른 환형 공동(13)에 의해 둘러싸이는 기초판(상기 장치의 내부 표면)의 하부 표면에 제공된 환형 공동에 의해 구성되는 공동(14) 내부로 합체된다. 편평한 원형판으로 구성되는 밸브(2)는 상기 두 개의 공동에 동시에 적용된다. 상기의 두 공동 사이에 위치하는 리브(15)는 밸브가 적용될 때 공동 사이에 좁은 통로가 남도록 밸브를 건드리지 않는다. 보호되어야 할 공간과 연통하는 두 공동(13, 14)의 조립체는 "상기 기구의 내부 공간과 연통하는 노즐"로서 지칭되어온 것으로 구성된다.

기초판의 하부 표면과 두 공동(13, 14)의 외부측은, 그 각각이 밀봉 수단 즉 환상 밀봉부(4, 5)를 각각 수용하는 두개의 동심 오목부를 구비한다. 그것이 상기 밀봉부에 적용되는 사실로 인해, 밸브는 두 동심형 공간을 제한하는데, 밀봉 수단은 밸브가 적용될때 두개의 노즐이 상호 연통되는 것을 방지한다. 밀봉부(5)에 의해 제한되는 내부 공간은, 주어진 압력에서 공간과 연통하는 튜브를 그것에 연결하기 위한 나삿니를 갖는 제2노즐(7)에 상기 밸브가 두 밀봉부(4, 5) 사이에서 적용되는 반면에, 기구의 내구 공간과 연통하는 노즐을 포함한다. 상기 공간(도시되지 않음)은 그 압력이 대기압과 초기 진공 사이에서 조절가능한 진공 공간이다. 두 밀봉부(4, 5) 사이의 구역은 내부 밀봉부(4)에 의해 둘러싸이는 구역의 약 1/10에 해당한다. 그러므로 두 밀봉부(4, 5) 사이의 진공이 밸브를 그 시이트로 적용시키는 반면 튜브(9) 및 공동(13, 14)내의 과도 압력은 밸브를 시이트로부터 제거시키려는 경향이 있다. 두 밀봉부(4, 5) 사이의 지역은 내부 밀봉부(4)에 의해 둘러싸이는 구역의 약 1/10 에 해당하고 진공조내의 진공은 대기압의 반으로 대개 고정되므로서, 압력에 의해 발휘되는 힘과 상기 구역 각각의 진공은 튜브(9)내의 과도 압력이 0.05 바아 일때 상호 거의 동일하다. 그후 밸브는 기초판(1)으로부터 분리되고 그 자중의 작용에 의해 하강하는데, 이는 과도 압력에서의 가스를 튜브(8)를 통해 비워버리기 위해 밸브와 커버(3) 사이에 좁은 통로가 남도록 보울트 헤드(10)에 의해 지지된다.

리액터와 연통하는 노즐을 두개의 공동(13, 14)으로 나누는 기능은 다음과 같다 : 가스 공급원과 연결된 튜브를 그것에 연결하기 위해 나삿니를 갖는 노즐(12)이 외부 공동(13) 내부로 합체된다. 리액터의 공간에 수용된 가스가 장치로 투과해 들어가거나 그 내부에 오염물을 침착시키는 것을 방지하기 위해 예를들면 질소와 같은 이른바 스위핑 가스의 매우 적은 유량은 상기 노즐을 통하여 안내되고 리브(15)와 밸브(2) 사이에서 통과하여, 리액터를 향하여 튜브(9)를 통하여 통과한다. 과도 압력이 형성되었는지에 대하여 리액터를 작동시키는 작동자의 주위를 끌기 위해서, 압력 센서는 상기 공간과 연결되고 이는 밸브가 적용될때 두 밀봉부(4, 5) 사이에서 제한되며, 그 공간 내부로 제2노즐(7)이 합체된다. 상기 센서는 예를들면 노즐(7)과 동일한 다른 노즐(도시되지 않음)을 거쳐서 상기 공간과 연결된다. 밸브가 하강할때 상기 공간은 바깥쪽에서 개방되고 진공 상태는 그곳에서 유지될 수 없다. 상기 센서는 경보기를 작동시킨다.

밀봉부(5)를 통한 누출이 있다면 가스는 외부로가 아니고 진공조로부터 멀리 누출된다는 사실에 의해 장치의 내밀성이 보장된다는 것을 주의해야 한다. 또한 상기 저장조내의 진공은 상당히 정적인데, 이는 즉 밀봉부(4, 5) 사이의 공간이 폐쇄되는 사실로 인해 초기 펌핑 이후에 진공이 유지되고 펌프가 분리되는 것을 말한다. 이제 만약 밀봉부(5)를 통한 누출이 존재한다면 진공이 깨지고, 시스템이 스위치 온 되어 경보기가 작동 된다.

Claims

과도 압력으로부터 처음 압력 상태로 장치의 내부 공간을 보호하기 위한 장치에 있어서, 상기 내부 공간과의 연통을 위해 상기 장치에 고착되도록 적응되는 제1노즐과; 상기 내부 공간을 개방 가능하게 밀봉하기 위해 주어진 힘으로 상기 노즐에 개방 가능하게 고착되며, 과도한 압력에 반응하여 개방된 상태로 위치되는 치환 가능한 밸브 부재와; 상기 공간내의 압력과 무관한 주어진 힘을 공기적으로 제공하며, 제2압력과 제3압력 사이의 차에 따라 주어진 힘을 발생시키기 위해 제3압력과 다른 제2압력하에서 상기 밸브 부재에 결속된 제2노즐을 포함하는 공기 수단 및; 상기 밸브 부재가 개방 상태에 있을 때 제1 및 제2노즐을 결속하고, 상기 밸브 부재가 상기 노즐에 고착될 때 노즐을 단속하기 위한 밀봉 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제1항에 있어서, 상기 밀봉 수단은 제1 및 제2밀봉부를 포함하며, 상기 밀봉부중 하나는 보호될 공간과 연통하는 제1노즐을 둘러싸며, 다른 밀봉부는 제2노즐을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2밀봉부중 하나는 다른 밀봉부를 완전히 둘러싸는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제2항에 있어서, 상기 제2밀봉부는 상기 제1밀봉부를 둘러싸며, 상기 제2노즐은 제1 및 제2밀봉부 사이에서 공간과 연통하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제4항에 있어서, 상기 제2압력은 0 과 대기압 사이에 놓이는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제4항에 있어서, 상기 제2압력을 조절하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제6항에 있어서, 상기 제2노즐에 결속되는 압력 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제7항에 있어서, 상기 제2압력은 0 과 대기압 사이에 놓이는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제7항에 있어서, 상기 제2압력을 조절하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2노즐에 결속되는 압력 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
과도 압력으로부터 처음 압력 상태로 장치의 내부 공간을 보호하기 위한 장치에 있어서, 상기 내부 공간과의 연통을 위해 상기 장치에 고착되도록 적응되는 제1노즐과; 상기 내부 공간을 개방 가능하게 밀봉하기 위해 주어진 힘으로 상기 노즐에 개방 가능하게 고착되며, 과도한 압력에 반응하여 개방된 상태로 위치되는 치환 가능한 밸브 부재 및; 상기 공간내의 압력과 무관한 주어진 힘을 공기적으로 제공하며, 제2압력과 제3압력 사이의 차에 따라 주어진 힘을 발생시키기 위해 제3압력과 다른 제2압력하에서 상기 밸브 부재에 결속된 제2노즐을 포함하며, 상기 제2압력은 0과 대기압 사이에 놓이는 공기 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제11항에 있어서, 상기 밸브 부재가 개방 상태에 있을 때 제1 및 제2노즐을 결속하고, 상기 밸브 부재가 상기 노즐에 고착될 때 노즐을 단속하기 위한 밀봉 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제12항에 있어서, 상기 밀봉 수단은 제1 및 제2밀봉부를 포함하며, 상기 밀봉부중 하나는 보호될 공간과 연통하는 제1노즐을 둘러싸며, 다른 밀봉부는 제2노즐을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제13항에 있어서, 상기 제1 및 제2밀봉부중 하나는 다른 밀봉부를 완전히 둘러싸는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제14항에 있어서, 상기 제2압력을 조절하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제13항에 있어서, 상기 제2밀봉부는 상기 제1밀봉부를 둘러싸며, 상기 제2노즐은 제1 및 제2밀봉부 사이에서 공간과 연통하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제11항에 있어서, 상기 제2압력을 조절하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.
제11항에 있어서, 상기 제2노즐에 결속되는 압력 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 압력에 대한 보호 장치.