JPH0341272A - 装置を過圧から保護する器具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の分野） 本発明は装置の内部スペースに連通ずるノズルに所定の
力で衝当する弁を備えた装置を過圧から保護する器具で
あって、弁が前記スペースに対してノズルの反対側に位
置して成る装置を過圧から保護する器具に関する。

（発明の背景） 上記の如き器具は特に過圧により破壊される可能性のあ
る圧力ガス容器用として既知である。前記所定の力は校
正されたばねにより得られる。

本発明の器具は化学的沈澱物を蒸気相から特にエピタキ
シー反応器に運ぶ装置に適用される。この場合、装置の
スペースは通常は高圧を受けないが、特別の問題が起こ
る。極めて有毒なガスがスペース内に使用され、そのた
めその出口で洗浄と浄化を行う必要があり、固体沈澱物
がスペース内に出来る。前記沈澱物は出口ガスノズルを
詰まらせるため反応器に過圧が発生する。この過圧はた
とえそれが低くてもまた持続期間がたとえ短時間であっ
ても、絶対に避けなければならない（越えてはならない
限界値は約０．１バール）。反応器内のガス流量は約６
０〜８０リツトル／分、反応器の内部容積は約１リツト
ルであるので、もしガス出口が詰まれば、０．１バール
の過圧が１０分の１秒で得られる。

従って、かかる装置用の保護器具は下記の性質をもたな
ければならない。

−たとえ低い過圧でも確実にかつ再現性をもって作動す
る。

一作用が急速である。

一スィッチオン圧力が調節可能である。

−器具が作用したことを容易に検知できる。

−緊密性が完全でありかつ制御可能である。

（発明の要約） 上記所定の力を、保護すべきスペース内にある圧力に無
関係の空気圧力とすることによって、上記性質のすべて
が本発明の器具により得られる。

本発明の好適実施例では、器具が第二ノズルを有するこ
とにより空気圧力が作られ、弁は前記ノズルに衝当する
ようになしており、密封手段は弁が衝当したとき２つの
ノズルが互いに連通しないようになし、第二ノズルは所
定圧力のスペースに連結する。また密封手段は２つのシ
ールからなり、１つのシールは保護すべきスペースに連
通ずるノズルを囲み、他のシールは第二ノズルを囲む。

好適例として、２つのシールの内の１つが他の１つを完
全に囲むようになし、特に第二シールが第一のシールを
囲み、第二ノズルは２つのシールの間に連通ずるように
すれば、器具の構造が簡単になる。

所定圧力の前記スペースの圧力がゼロと大気圧の間の圧
力である場合には得られるスイッチオン過圧はエピタキ
シー反応器に適する。この圧力は調節可能である。従っ
て、スイッチオン過圧はそれ自体１ｉ１１節可能である
。

器具が作用したことを検知することは前記器具では極め
て容易である。それは、圧力検知器具を第二ノズルが連
通ずるスペースに連結するだけでよいからである。器具
が作動すると圧力がこのスペース内で増大する。

本発明を図示の実施例につき説明する。

（好適実施例の説明） 本発明における弁は保護すべき装置の外壁に直接衝当す
ることができる。しかし、多くの用途に使うためには弁
は個別の器具として製造するのが好適である。

本発明の器具は基板１とカバー３から作った円筒形本体
からなる。基板の中心には保護すべきスペースに連結す
るチューブ９が半田付けにより固着される０本例では、
弁はエピタキシー反応器のガス出口チューブに連結され
る。カバー３の中心には開放した外部スペースに連通し
たチューブ８が半田付けにより固着される。カバーはボ
ルト１により基板に固定される。

該器具はチューブ９を上向きにした図示の位置にして使
用するのが好適である。

チューブ９は基板の下面（器具の内面）に備えた円形の
空洞部により構成したスペース１４に連通する。上記空
洞部は基板に設けた他の環状空洞部１３に囲まれる。平
らな円形板により構成された弁２はこれら２つの空洞部
に対して同時に衝当する。２つの空洞部間にあるリブ１
５は弁に接触しないので、弁が衝当したとき狭い通路が
空洞部間に残される。保護すべきスペースに連通した２
つの空洞部１３．１４の集合体はこれまで“°装置の内
部スペースに連通ずるノズル゛と称されてきた手段を構
成する。

基板の下面と２つの空洞部１３．１４の外側面は２つの
同心の凹所を備え、各凹所は密封手段即ち、環状シール
４．５を夫々受入れる。これらのシールに弁が衝当する
ことによって、弁は２つの同心のスペースを限定する。

弁が衝当したとき密封手段は２つのノズルが互いに連通
ずるのを防止する。シール５により限定された内部スペ
ースは装置の内部スペースと連通ずるノズルを構成する
が、２つのシール４．５間では弁は所定圧力のスペース
と連通ずるチューブを結合するためのねし山を備えた第
二ノズル７に衝当する。このスペース（図示せず）は大
気圧と初期真空の間で圧力を３Ｊ１節できる真空スペー
スである。２つのシール４．５間の領域は内部シール４
により囲まれた領域の約１０分の１に等しい。それ故、
２つのシール４．５間の真空は弁をその弁座に衝当させ
るが、チューブ９とスペース１３．１４内の過圧は弁を
弁座から離そうとする。２つのシール４．５間の領域は
内部シール４により囲まれた領域の約１０分の１に等し
く、真空槽内の真空は普通大気圧の半分に固定される。

従って、各領域の圧力と真空により加えられる力はチュ
ーブ９内の過圧が０．０５バールに等しいとき互いに略
等しくなる。次いで、弁は基板１から外れ、自重作用に
より落下する。弁はボルトヘッド１０により止められる
ので、狭い通路がチューブ８を通して過圧ガスを排気す
るために弁とカバー３間に残される。

反応器に連通ずるノズルを２つの空洞部１３．１４に細
分する機能は下記の通りである。ガス源に連結したチュ
ーブを連結するためのねじ山を備えたノズル１２が外側
空洞部１３に連絡する。このノズルを通して所謂掃除ガ
ス例えば窒素の極めて小さい流れが通され、前記流れは
リブ１５と弁２の間を通り、次いで、チューブ９を通っ
て反応器へ行き、反応器のスペース内にあるガスが該器
具内に侵入しないようにかつ汚染物がその中に蓄積しな
いようになす。

過圧が発生したかどうかについて反応器操作員の注意を
引くために、弁が衝当したとき、２つのシール４．５間
に限定されるスペースに圧力センサーが連結される。こ
のスペースに第二ノズル７が連絡している。前記センサ
ーは例えば他のノズル（図示せず）を経てこのスペース
に連結される。

このノズルは前記ノズル７と同形であり、シール４．５
間に限定されたリング内の任意の箇所に配置する。弁が
下降したとき、このスペースは外部に対して開放し、真
空状態がその中に保たれない。

このセンサーは警報器を作動させる。

注目すべき点は、シール５から漏れが起こるとガスは真
空槽に漏れて外部へ行かないという事実により器具の緊
密性が保証されることである。更に、真空槽内の真空は
好適には静的なものとする。

即ち、初期のポンプ送りの後、ポンプは外され、シール
４．５間のスペースが閉鎖されることによって真空が保
たれるようになす。この場合もしシール５から漏れが起
こると、真空が破られ、該システムのスイッチがオンに
入り、その結果、警報器に給電される。

【図面の簡単な説明】

図はシリンダの形をなす本発明器具の中央断面図である
。 ■・・・基板 ３・・・カバー ４．５・・・シール ７・・・第二ノズル ８．９・・・チューブ １２・・・ノズル １３．１４・・・スペース又は空洞部 １５・・・リブ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、装置の内部スペースに連通するノズルに所定の力で
   衝当する弁を備えた装置を過圧から保護する器具であっ
   て、弁が前記スペースに対してノズルの反対側に位置し
   て成る装置を過圧から保護する器具において、前記所定
   の力が保護すべきスペース内にある圧力とは無関係の空
   気圧力とすることを特徴とする装置を過圧から保護する
   器具。 ２、器具が第二ノズルを含むことにより空気圧力が作ら
   れ、弁は前記ノズルに衝当するようになっており、密封
   手段は弁が衝当したとき２つのノズルが互いに連通しな
   いようになし、第二ノズルは所定圧力のスペースに連結
   される、請求項１に記載の器具。 ３、密封手段は２つのシールからなり、１つのシールは
   保護すべきスペースに連通するノズルを囲み、他のシー
   ルは第二ノズルを囲む、請求項２に記載の器具。 ４、２つのシールの内の１つが他の１つを完全に囲む、
   請求項３に記載の器具。 ５、第二シールは第一のシールを囲み、第二ノズルは２
   つのシールの間に連通する、請求項３に記載の器具。 ６、所定圧力の前記スペースの圧力はゼロと大気圧の間
   の圧力とする、請求項２から５の何れか１項に記載の器
   具。 ７、所定圧力の前記スペースの圧力は調節可能である、
   請求項２から５の何れか１項に記載の器具。 ８、圧力センサーは弁が衝当したとき密封手段により限
   定されたスペースに連結され、前記スペースに第二ノズ
   ルが連通している、請求項２から６の何れか１項に記載
   の器具。