KR0185059B1 - Fork for wafer transfer - Google Patents
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Abstract
횡형 반응로용 보우트에 접촉할 포크의 선단부의 접촉부들이 곡형으로 돌출되어 보우트와의 접촉 충격에 의한 포크외 선단부의 접촉부의 가장자리의 파손이 발생하지 않게 됨으로써 파티클이 발생되지 않아 튜브가 오염되지 않게 된다.The contact portions of the tip of the fork to be contacted with the horizontal reactor boat protrude in a curved shape so that the edges of the contact portions of the tip of the fork outside of the fork due to the contact impact with the bolt do not occur so that no particles are generated and the tube is not contaminated. .
Description
제1도는 종래의 포크가 횡형 반응로(furnace)내의 보우트에 접촉된 상태를 나타낸 상태도.1 is a state diagram showing a state in which a conventional fork is in contact with a boat in a horizontal furnace (furnace).
제2a도는 본 발명에 의한 곡형으로 돌출된 접촉부를 갖는 포크의 선단부의 구조를 나타낸 사시도.Figure 2a is a perspective view showing the structure of the front end portion of the fork having a curved projecting contact portion according to the present invention.
제2b도는 제2a도의 a-a선에 따라 절단된 포크의 선단부의 구조를 나타낸 단면도.FIG. 2B is a cross-sectional view showing the structure of the tip portion of the fork cut along the line a-a of FIG. 2A.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 포크의 선단부 2 : 접촉부1: tip of fork 2: contact
3 : 웨이퍼 5 : 보우트3: wafer 5: boat
7 : 튜브 11 : 포크의 선단부7: tube 11: tip of fork
12 : 접촉부12: contact part
본 발명은 횡형 반응로의 보우트를 이송하기 위한 포크(fork)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 보우트에 접촉되는 접촉면의 가장자리가 파손되는 것을 방지하도록 한 곡형으로 돌출된 접촉부를 갖는 포크에 관한 것이다.The present invention relates to a fork for transporting a boat of a transverse reactor, and more particularly to a fork having a curved protruding portion to prevent the edge of the contact surface in contact with the boat from being broken.
일반적으로 횡형 반응로에서는 웨이퍼를 원하는 공정으로 처리하기 위해 웨이퍼를 탑재한 보우트가 포크에 의해 튜브내로 투입되고, 그 원하는 공정으로 처리된 웨이퍼를 탑재한 보우트가 포크에 의해 그 튜브의 외부로 인출된다.Generally, in a horizontal reactor, a boat mounted with a wafer is introduced into a tube by a fork to process the wafer in a desired process, and a boat equipped with a wafer processed in the desired process is taken out of the tube by a fork. .
이때, 그 보우트가 포크의 선단부의 접촉부상에 접촉된 상태로 튜브내에 투입되거나 튜브의 외부로 인출된다.At this time, the boat is introduced into the tube or drawn out of the tube while being in contact with the contact portion of the tip of the fork.
그러므로, 보우트의 하부면과 포크의 선단부와의 접촉력을 크게 하기 위해 보우트의 하부면에 접촉하는 포크의 선단부의 접촉부의 접촉면이 가능한 한 넓게 이루어져 왔다.Therefore, in order to increase the contact force between the bottom surface of the boat and the tip of the fork, the contact surface of the contact portion of the tip of the fork contacting the bottom surface of the boat has been made as wide as possible.
제 1 도는 종래의 포크가 횡형 퍼니스내의 보우트에 접촉된 상태를 나타낸 상태도이다.1 is a state diagram showing a state in which a conventional fork is in contact with a boat in a horizontal furnace.
종래의 포크는 선단부(1)의 하부면이 곡형으로 이루어지고, 상부면의 양측 가장자리에 길이 방향으로 평면의 접촉부들(2)이 형성되며, 그 접촉부들(2)사이에 곡형의 홈이 형성되는 구조를 갖고 있다.In the conventional fork, the lower surface of the tip portion 1 is curved, and flat contact portions 2 are formed in the longitudinal direction at both edges of the upper surface, and curved grooves are formed between the contact portions 2. It has a structure.
이와 같이 구성되는 종래의 포크의 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the action of the conventional fork is configured as follows.
먼저, 웨이퍼를 원하는 공정으로 처리하기 위해 포크의 선단부(1)의 접촉부들(2)을 웨이퍼(3)가 탑재된 보우트(5)의 하부면에 접촉시킨 상태에서 그 포크를 튜브(7)내로 투입하여 보우트(5)를 튜브(7)내의 원하는 위치에 놓은 후 그 포크만을 튜브(7)의 외부로 인출한다. 이때, 튜브(7)가 원하는 공정을 위한 고온의 상태로 유지되어 있다.First, the fork is brought into the tube 7 with the contacts 2 of the tip 1 of the fork being brought into contact with the bottom surface of the boat 5 on which the wafer 3 is mounted in order to process the wafer in a desired process. Put the boat 5 in the desired position in the tube 7 and then pull out only the fork to the outside of the tube 7. At this time, the tube 7 is maintained at a high temperature for the desired process.
이후, 원하는 공정이 진행되는 동안 보우트(5)의 온도가 고온으로 된다.Thereafter, the temperature of the boat 5 becomes high during the desired process.
그 원하는 공정이 완료되고 나면, 그 포크를 튜브(7)내로 투입하여 그 보우트(5)의 하부면에 포크의 선단부(1)의 접촉부들(2)을 접촉시킨 상태에서 그 보우트(5)와 함께 포크를 튜브(7)의 외부로 인출하여 그 웨이퍼(3)를 튜브(7)의 외부로 인출한다.After the desired process is completed, the fork is introduced into the tube 7 and the bottom surface of the boat 5 is brought into contact with the contacts 2 of the tip 1 of the fork with the boat 5. Together, the fork is taken out of the tube 7 and the wafer 3 is taken out of the tube 7.
그러나, 종래의 포크에서는 그 웨이퍼(3)를 인출하기 위해 고온의 상태에 있는 보우트(5)의 하부면에 포크의 선단부(1)의 접촉부들(2)이 평면으로 접촉하게 되므로 두께가 가장 얇은 접촉부들(2)의 양측 가장자리가 작은 접촉 충격에 의해 파손되어 포크의 접촉부들(2)의 파손에 의한 파티클(particle)이 발생하게 되고 이로 인하여 튜브(7)가 오염되는 문제점이 있었다.However, in the conventional fork, the thinnest thickness is obtained because the contact portions 2 of the tip portion 1 of the fork come into flat contact with the lower surface of the boat 5 in a high temperature state in order to withdraw the wafer 3. Both edges of the contact parts 2 are broken by a small contact impact, thereby generating particles due to breakage of the contact parts 2 of the fork, and consequently, the tube 7 is contaminated.
따라서, 본 발명의 목적은 보우트와의 접촉 충격에 의해 포크의 선단부의 양측 가장자리가 파손되어 파티클이 발생되는 것을 방지하도록 한 곡형으로 돌출된 접촉부를 갖는 포크을 제공하는데 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a fork having a curved protruding contact portion which prevents particles from being generated by breaking both edges of the tip of the fork due to a contact impact with the boat.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 보우트에 접촉될 포크의 선단부의 접촉부가 곡형으로 돌출되어 보우트에 의한 접촉 충격이 가해져도 그 포크의 선단부의 접촉부의 양쪽 가장자리가 파손되지 않음으로써 파티클이 발생하지 않아 튜브가 오염되지 않는 것을 특징으로 한다.According to the present invention for achieving the above object, even if the contact portion of the front end portion of the fork to be in contact with the boat protrudes in a curved shape, both edges of the contact portion of the front end portion of the fork do not break even when a contact impact is applied by the boat. It is characterized in that the tube is not contaminated.
이하, 본 발명에 의한 곡형으로 돌출된 접촉부를 갖는 포크를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a fork having a curved protruding contact portion according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제 2 도는 본 발명에 의한 곡형으로 돌출된 접촉부를 갖는 포크의 선단부의 구조를 나타낸, 사시도이고, 제 2 도 (b)는 제 2 도 (a)의 a-a선에 따라 절단된 포크의 선단부의 구조를 나타낸 단면도이다.2 is a perspective view showing the structure of the tip portion of the fork having a curved protruding contact portion according to the present invention, and FIG. 2 (b) is the structure of the tip portion of the fork cut along the line aa of FIG. It is sectional drawing which shows.
본 발명의 포크는 선단부(11)의 하부면이 곡형으로 이루어지고, 상부면의 양측 가장자리에 길이 방향으로 곡형으로 돌출된 접촉부들(12)이 형성되며, 그 접촉부들(12)사이에 곡형의 홈이 형성되는 구조를 갖고 있다.The fork of the present invention has a curved bottom surface of the front end portion 11, and contact portions 12 protruding in a curved shape in the longitudinal direction are formed at both edges of the upper surface, and the curved portions between the contact portions 12 It has a structure in which a groove is formed.
이와 같이 구성되는 본 발명에 외한 곡형으로 돌출된 접촉부를 갖는 포크의 작용을 제 1 도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to Figure 1 the operation of the fork having a curved protruding contact portion other than the present invention configured as described above is as follows.
먼저, 웨이퍼를 원하는 공정으로 처리하기 위해 포크의 선단부(11)의 접촉부들(12)을 웨이퍼(3)가 탑재된 보우트(5)의 하부면에 접촉시킨 상태에서 그 포크를 튜브(7)내로 투입하여 보우트(5)를 튜브(7)내의 원하는 위치에 놓은 후 그 포크만을 튜브(7)의 외부로 인출한다. 이때, 튜브(7)가 원하는 공정을 위한 고온의 상태로 유지되어 있다.First, the fork is brought into the tube 7 with the contacts 12 of the tip 11 of the fork being brought into contact with the bottom surface of the boat 5 on which the wafer 3 is mounted in order to process the wafer in a desired process. Put the boat 5 in the desired position in the tube 7 and then pull out only the fork to the outside of the tube 7. At this time, the tube 7 is maintained at a high temperature for the desired process.
이후, 원하는 공정이 진행되는 동안 보우트(5)의 온도가 고온으로 된다. 그 원하는 공정이 완료되고 나면, 그 포크를 튜브(7)내로 투입하여 그 보우트(5)의 하부면에 포크의 선단부(11)의 접촉부들(12)을 접촉시킨 상태에서 그 보우트(5)와 함께 포크를 튜브(7)의 외부로 인출하여 그 웨이퍼(3)를 튜브(7)의 외부로 인출한다.Thereafter, the temperature of the boat 5 becomes high during the desired process. After the desired process is completed, the fork is introduced into the tube 7 and the bottom surface of the boat 5 is brought into contact with the contacts 12 of the tip 11 of the fork with the boat 5. Together, the fork is taken out of the tube 7 and the wafer 3 is taken out of the tube 7.
따라서, 그 웨이퍼(3)를 인출하기 위해 고온의 상태에 있는 보우트(5)의 하부면에 선단부(11)의 접촉부들(12)의 가장 돌출된 영역이 접촉하게 되므로 보우트(5)의 하부면에 접촉하는 접촉부들(12)의 영역이 작게 된다.Accordingly, the bottom surface of the boat 5 is brought into contact with the bottom surface of the boat 5 which is in a high temperature state in order to pull out the wafer 3 so that the most protruding regions of the contact portions 12 of the tip portion 11 come into contact with each other. The area of the contact portions 12 in contact with is reduced.
접촉부들(12)의 가장 돌출된 영역이 접촉부들(12)의 중앙부이므로 두께가 두꺼워 보우트(5)와의 접촉 충격에 쉽게 파손되지 않을 뿐 아니라 접촉부들(12)의 양측 가장자리가 보우트(5)의 하부면에 전혀 접촉하지 않게 되어 보우트와의 접촉 충격에 의한 접촉부들(12)의 양측 가장자리가 파손되는 현상이 전혀 발생하지 않게 된다.Since the most protruding areas of the contacts 12 are the centers of the contacts 12, the thickness is so thick that they are not easily broken by the impact of contact with the boat 5, and both edges of the contacts 12 are formed at the bottom of the boat 5. Since the bottom surface does not come into contact at all, the phenomenon that both edges of the contact parts 12 are damaged due to the impact of the contact with the bolt does not occur at all.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 보우트와 접촉할 포크의 선단부의 접촉부들이 곡형으로 돌출되어 보우트와의 접촉 충격에 의한 포크의 선단부의 접촉부의 가장자리의 파손이 발생하지 않게 됨으로써 파티클이 발생되지 않아 튜브가 오염되지 않는 효과가 있다.As described above, in the present invention, the contacts of the tip of the fork to be in contact with the boat protrude in a curved shape so that the edge of the contact of the tip of the fork is not generated due to the impact of the contact with the bolt, so that no particles are generated. Has the effect of not being contaminated.
Claims (3)
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|---|---|---|---|
| KR1019960003090A KR0185059B1 (en) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | Fork for wafer transfer |
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|---|---|---|---|
| KR1019960003090A KR0185059B1 (en) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | Fork for wafer transfer |
Publications (2)
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| KR0185059B1 true KR0185059B1 (en) | 1999-04-15 |
Family
ID=19450972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960003090A KR0185059B1 (en) | 1996-02-08 | 1996-02-08 | Fork for wafer transfer |
Country Status (1)
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-
1996
- 1996-02-08 KR KR1019960003090A patent/KR0185059B1/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970063632A (en) | 1997-09-12 |
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