KR0183894B1

KR0183894B1 - Double azimuth magnetic thin film head tip

Info

Publication number: KR0183894B1
Application number: KR1019960025198A
Authority: KR
Inventors: 이재수
Original assignee: 김광호; 삼성전자주식회사
Priority date: 1996-06-28
Filing date: 1996-06-28
Publication date: 1999-04-15
Also published as: KR980004390A

Abstract

웨이퍼 프로세스(wafer process)에 의한 더블 애지머스 박막자기헤드팁에 관한 내용이 개시되어 있다. 상기 더블 애지머스 박막자기헤드팁은 비자성 절연체인 웨이퍼와, 웨이퍼에 마련된 전기가 통하는 적어도 8개의 접점과, 웨이퍼 위에 형성되며 비자성 절연체인 베이스부와, 베이스부와 함께 형성되며 소정의 애지머스 홈이 형성되는 자성을 가진 2개의 코어와, 2개의 코어 주위의 상기 베이스부에 각각 몰입되며 접점의 일단과 타단이 각각 베이스부 및 코어와 함께 형성되는 전도성 코일을 구비하는 것을 특징으로 한다. 이와 같은 더블 애지머스 박막자기헤드팁은 효과적으로 대량의 더블 애지머스 박막자기헤드를 생산할 수 있다.Disclosed is a double azimuth thin film magnetic head tip by a wafer process. The double azimuth thin film magnetic head tip is formed with a wafer, which is a nonmagnetic insulator, at least eight electrical contacts provided on the wafer, a base portion that is formed on the wafer and is a nonmagnetic insulator, and is formed with a base. And two conductive cores each having a groove formed therein, and a conductive coil immersed in the base portion around the two cores, and one end and the other end of the contact are formed together with the base portion and the core, respectively. Such a double azimuth thin film magnetic head tip can effectively produce a large amount of double azimuth thin film magnetic head.

Description

Double Azimuth Thin Film Magnetic Head Tip

제1도는 VCR용 헤드드럼을 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a head drum for a VCR.

제2도는 제1도의 자기헤드를 도시한 평면도이다.2 is a plan view showing the magnetic head of FIG.

제3도는 제2도의 자기헤드팁을 도시한 사시도이다.3 is a perspective view showing the magnetic head tip of FIG.

제4도는 본 발명에 따른 더블 애지머스 박막자기헤드팁에 사용되는 웨이퍼를 도시한 일부 절제 사시도이다.4 is a partially cutaway perspective view of a wafer used in a double azimuth magnetic head tip in accordance with the present invention.

제5도는 본 발명에 따른 더블 애지머스 박막자기헤드팁이 웨이퍼 프로세스에 의하여 적층되는 과정을 도시한 공정 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating a process in which a double azimuth thin film magnetic head tip is stacked by a wafer process according to the present invention.

제6도는 본 발명에 따른 더블 애지머스 박막자기헤드팁이 적층된 상태의 웨이퍼를 도시한 사시도이다.6 is a perspective view illustrating a wafer in which a double azimuth thin film magnetic head tip is stacked according to the present invention.

제7도는 제6도에서 절단된 더블 애지머스 박막자기헤드팁을 도시한 사시도이다.FIG. 7 is a perspective view illustrating the double azimuth thin film magnetic head tip cut in FIG.

제8도는 본 발명에 따른 더블 애지머스 박막자기헤드팁이 헤드베이스에 부착되는 상태를 도시한 사시도이다.8 is a perspective view showing a state in which the double azimuth thin film magnetic head tip according to the present invention is attached to the head base.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

100 : 웨이퍼 110 : 코어100: wafer 110: core

120 : 베이스부 130 : 코일120: base 130: coil

140 : 애지머스 홈 150 : 라운드부140: azimuth home 150: round

200 : 박막자기헤드팁 210 : 접점200: thin film magnetic head tip 210: contact

300 : 헤드베이스300: head base

본 발명은 VCR(Video Cassette Recorder) 등에 사용되는 더블(double) 애지머스(azimuth) 박막자기헤드팁에 관한 것으로서, 특히, 웨이퍼 프로세스(wafer process)에 의한 더블 애지머스 박막자기헤드팁에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a double azimuth thin film magnetic head tip for use in a video cassette recorder (VCR) and the like, and more particularly, to a double azimuth thin film magnetic head tip by a wafer process.

일반적으로, VCR에는 제1도에 도시된 바와 같이, 주행하는 자기테이프(1)로부터 기록된 소정의 정보를 판독하거나 자기테이프(1)에 새로운 정보를 기록하기 위해 그 자기테이프(1)의 주행방향에 대하여 경사상으로 스캐닝(scanning)하는 헤드드럼(2)이 설치된다.Generally, the VCR travels on the magnetic tape 1 to read predetermined information recorded from the traveling magnetic tape 1 or to write new information on the magnetic tape 1, as shown in FIG. A head drum 2 for scanning inclined with respect to the direction is provided.

상기 헤드드럼(2)은 자기테이프(1)를 가이드하는 고정드럼(3)과, 고정드럼(3)과 동일측에 회전 가능하게 설치되는 회전드럼(4)과, 회전드럼(4)에 설치되는 자기헤드(5)를 포함하며, 자기헤드(5)는 제2도에 도시된 바와 같이, 헤드베이스(6)와, 자기헤드팁(7)을 포함한다. 그리고, 자기헤드팁(7)의 단부에는 제3도에 도시된 바와 같이, 코일(8)이 감겨져 있다.The head drum (2) is installed on the fixed drum (3) for guiding the magnetic tape (1), the rotating drum (4) rotatably installed on the same side as the fixed drum (3), and the rotating drum (4). Magnetic head 5, which comprises a head base 6 and a magnetic head tip 7, as shown in FIG. The coil 8 is wound around the end of the magnetic head tip 7 as shown in FIG.

제3도에 도시된 종래의 자기헤드팁(7)은 다음과 같은 좋지 않은 점이 있다.The conventional magnetic head tip 7 shown in FIG. 3 has the following disadvantages.

첫째, 대량생산이 불가능하다. 즉, 코어(9)와 코어(9')를 따러 제작하여 랩핑, 본딩 등의 가공 및 조립공정을 거쳐야 하고, 코어(9,9') 상호간의 간격을 형성을 위한 여러가지 작업을 해야 하며, 코일을 감아야 한다.First, mass production is impossible. That is, the core 9 and the core 9 'must be manufactured separately and subjected to processing and assembly processes such as lapping and bonding, and various operations must be made to form a gap between the cores 9 and 9', and a coil Should be wrapped.

둘째, 불량품이 많다. 즉, 자기헤드팁(7)은 가공할 때 발생하는 여러 오차와 조립할 때 발생하는 오차 및 편차로 인해 불량품이 많다.Second, there are many defective products. That is, the magnetic head tip 7 has a lot of defective products due to various errors occurring during machining and errors and deviations occurring during assembly.

셋째, 소형화하기 좋지 않다. 페라이트(ferrite)를 가공해하며, 코일을 감아야 하기 때문에 그 크기를 작게하기 어렵다.Third, it is not good to miniaturize. It is difficult to reduce the size because ferrite is processed and the coil has to be wound.

넷째, 제작하기 어렵다. 특히, 더블 애지머스를 갖는 자기헤드팁의 경우에는 2개의 자기헤드팁을 만들어 헤드베이스에 각각 부착할 때 애지머스각을 신중히 고려하여 부착해야 하는 어려움이 있었다.Fourth, it is difficult to produce. In particular, in the case of a magnetic head tip having a double azimuth, when making two magnetic head tips and attaching them to the head base, there was a difficulty in attaching the azimuth angle carefully.

따라서, 본 발명의 목적은 효과적으로 대량 생산될 수 있는 더블 애지머스 더블 애지머스 박막자기헤드팁을 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a double azimuth double azimuth thin film magnetic head tip that can be effectively mass-produced.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 박막자기헤드팁은 비자성 절연체인 웨이퍼와, 상기 웨이퍼에 마련된 전기가 통하는 적어도 4개의 접점과, 상기 웨이퍼 위에 형성되며 비자성 절연체인 베이스부와, 상기 베이스부와 함께 형성되며 소정의 애지머스 홈이 형성되는 자성을 가진 2개의 코어와, 상기 2개의 코어 주위의 상기 베이스부에 각각 몰입되며 상기 접점에 일단과 타단이 각각 연결되도록 상기 베이스부 및 코어와 함께 형성되는 코일을 구비하는 것을 특징으로 한다.The thin film magnetic head tip according to the present invention for achieving the above object is a wafer which is a nonmagnetic insulator, at least four electrical contacts provided on the wafer, a base portion which is formed on the wafer and is a nonmagnetic insulator, and the base Two cores having magnetic properties formed with a portion and having a predetermined azimuth groove formed therein, the base portion and the core being immersed in the base portion around the two cores, respectively, and having one end and the other end connected to the contact, respectively. It is characterized by having a coil formed together.

이와 같은 구성요소를 구비하는 본 발명은 더블 애지머스 박막자기헤드팁을 효과적으로 대량 생산될 수 있다.The present invention having such a component can be effectively mass-produced double azimuth thin film magnetic head tip.

이하 첨부된 도면을 참조하면서, 본 발명에 따른 박막자기헤드팁 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 박막자기헤드팁은 웨이퍼 프로세스에 의하여 제조된다. 잘 알려진 바와 같이, 웨이퍼 프로세스는 제4도에 도시된 바와 같은 웨이퍼(100)에 소정의 재료들을 잘 알려진 스퍼터링(sputtering), 증착, 포토리소그래피(photo-lithography)법 등을 이용하여 제5도에 도시된 바와 같이 순차적으로 적층하는 공정이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail a preferred embodiment of a thin film magnetic head tip and a method of manufacturing the same. The thin film magnetic head tip according to the present invention is manufactured by a wafer process. As is well known, the wafer process is shown in FIG. 5 using well-known sputtering, deposition, photo-lithography, etc. methods of depositing certain materials onto the wafer 100 as shown in FIG. It is a process of laminating sequentially as shown.

제4도 및 제8도를 참조하면, 웨이퍼(100)에 형성된 구멍에는 구리와 같은 금속이 채워진다. 이 금속은 박막자기헤드팁(200)을 헤드베이스(300)에 연결할 때 접점(210)으로 사용되며, 이 접점(210)에는 후술하는 코일(제5도의 130)의 일단과 타단이 각각 연결된다.4 and 8, a hole formed in the wafer 100 is filled with a metal such as copper. This metal is used as a contact 210 when connecting the thin film magnetic head tip 200 to the head base 300, and one end and the other end of the coil (130 of FIG. 5), which will be described later, is connected to the contact 210, respectively. .

제5도를 참고하면, 웨이퍼(100) 위에는 자성 코어(110)와, 비자성 절연체인 베이스부(120)와, 코일(130)이 미리 정해진 형상으로 순차적으로 증착되면서 적층된다.Referring to FIG. 5, the magnetic core 110, the base portion 120, which is a nonmagnetic insulator, and the coil 130 are sequentially deposited on a wafer 100 in a predetermined shape.

적층되는 코일(130)은 코어(110) 주위의 베이스부(120)에 몰입되면서 형성되며, 일단과 타단은 웨이퍼(100)에 형성된 접점(210)에 각각 연결된다. 즉, 코일(130)은 코어(110)를 권회 함과 동시에 서로 연결되면서 베이스부(120) 및 코어(110)과 함께 적층된다.The stacked coils 130 are formed while being immersed in the base portion 120 around the core 110, and one end and the other end are connected to the contacts 210 formed on the wafer 100, respectively. That is, the coil 130 is laminated together with the base part 120 and the core 110 while being wound together with the core 110 and connected to each other.

상기 자성 코어(110)로 사용되는 물질로는 투자율 및 포화자속밀도가 크고 보자력이 작은 철(Fe)계 화합물 또는 코발트(Co)계 비정질 합금 등이며, 상기 비자성 절연체인 베이스부(120)로 사용되는 물질은 자성 코어(110)로 사용되는 물질과 열팽창 계수가 유사하며, 내마모성이 강한 물질이다. 그리고, 상기 코일(130)로 사용되는 물질은 전류가 잘 통하는 구리 등의 금속 물질이다.The material used as the magnetic core 110 may be an iron (Fe) compound or a cobalt (Co) amorphous alloy having a high permeability and a high saturation magnetic flux density and a small coercive force, and the base part 120 may be the nonmagnetic insulator. The material used is similar to the material used as the magnetic core 110, the coefficient of thermal expansion, and is a material having high wear resistance. In addition, the material used as the coil 130 is a metal material such as copper, which is well passed through current.

제5도를 참고하면, 2개의 자성 코어(110) 상단 각각에는 애지머스 홈(140)이 각각 형성되며, 애지머스 홈(140)이 형성된 코어(110) 및 베이스부(120)에는 라운드가 형성된다. 애지머스 홈(140) 및 라운드가 형성된 라운드부(150)는 증착 및 포토리소그래피법의 포토마스크에 의하여 의도적으로 적층되어 형성된다.Referring to FIG. 5, azimuth grooves 140 are formed in each of the upper ends of the two magnetic cores 110, and rounds are formed in the core 110 and the base part 120 in which the azimuth grooves 140 are formed. do. The azimuth groove 140 and the round part formed with the round 150 are intentionally stacked by a photomask of deposition and photolithography.

상기 애지머스 홈(140)은 자성 코어(110)가 분리되는 부분이며, 상기 라운드부(150)는 자기테이프(제1도의 1)와 접촉할 때 자기테이프(1)를 손상시키지 않으면서 원활한 접촉이 이루어지도록 하는 부분이다.The azimuth groove 140 is a portion in which the magnetic core 110 is separated, and the round portion 150 is in smooth contact without damaging the magnetic tape 1 when contacting the magnetic tape (1 in FIG. 1). This is what makes it happen.

상기 라운드부(150)는 증착 및 포토리소그래피법의 포토마스크에 의하여 형성되면서 제5도에 확대된 부분에 도시한 바와 같은 계단(151)이 형성되나, 개단(151)의 높이가 수㎛이므로 상기 라운드부(150)는 자기테이프(제1도의 1)와 원활한 접촉이 가능하다.The round part 150 is formed by a photomask of deposition and photolithography, and a step 151 as shown in the enlarged part of FIG. 5 is formed, but since the height of the opening 151 is several μm, The round part 150 may be in smooth contact with the magnetic tape (1 in FIG. 1).

상술한 바와 같이, 웨이퍼 프로세스에 의하여 만들어진 제6도에 도시된 더블 애지머스 박막자기헤드팁 원판(400)은 도시되지 않은 절단기에 의하여 적절한 크기로 절단된다. 더블 애지머지 박막자기헤드팁 원판(400)을 절단기로 절단하면 제7도에 도시된 바와 같은 더블 애지머스 박막자기헤드팁(200)이 다수개 만들어진다. 각 더블 애지머스 박막자기헤드팁(200)의 라운드부(150)에는 2개의 애지머스 홈(140)이 적절한 각도로 형성되어 있다. 웨이퍼 원판(제6도의 400)의 크기에 따라 다르지만, 통상 하나의 웨이퍼 원판을 이용하여 수백개의 더블 애지머스 박막자기헤드팁(200)을 만들 수 있다.As described above, the double azimuth thin film magnetic headtip disc 400 shown in FIG. 6 made by the wafer process is cut to an appropriate size by a cutter not shown. When the double azimuth thin film magnetic head tip disc 400 is cut by a cutter, a plurality of double azimuth thin film magnetic head tips 200 as shown in FIG. 7 are formed. Two azimuth grooves 140 are formed at an appropriate angle in the round portion 150 of each double azimuth thin film magnetic head tip 200. Depending on the size of the wafer disc (400 in FIG. 6), hundreds of double azimuth thin film magnetic head tips 200 can be made using a single wafer disc.

상술한 바와 같이, 웨이퍼 프로세스에 의하여 제조된 더블 애지머스 박막자기헤드팁 원판으로부터 절단된 상태에서 박막자기헤드팁(200)은 제8도에 도시된 바와 같이 헤드베이스(300)에 부착되어 사용된다.As described above, the thin film magnetic head tip 200 is used by being attached to the head base 300 as shown in FIG. 8 in the state of being cut from the double azimuth thin film magnetic head tip disk manufactured by the wafer process. .

이상에서 설명한 구성요소를 구비하는 본 발명에 따른 더블 애지머스 박막자기헤드팁은 첫째, 효과적으로 대량생산이 가능하다. 즉, 웨이퍼 프로세스공정으로 하나의 원판을 만들면 수백개의 더블 애지머스 박막자기헤드팁을 만들 수 있다. 둘째, 불량품이 적다. 즉, 코일을 몰입시키고 라운드부를 웨이퍼 프로세서공정에 의하여 형성시키기 때문이다. 셋째, 소형화할 수 있다. 코일을 베이스부내 몰입시키고, 수작업 공정이 줄어 들기 때문이다.First, the double azimuth thin film magnetic head tip according to the present invention having the components described above can be effectively mass-produced. In other words, if a single disc is made in a wafer process, hundreds of double azimuth thin film magnetic head tips can be made. Second, there are few defective products. That is, the coil is immersed and the round part is formed by the wafer processor process. Third, it can be miniaturized. This is because the coil is immersed in the base and the manual process is reduced.

첨부된 참조 도면에 의해 설명된 본 발명의 바람직한 실시예는 단지 일실시예에 불과하다. 당해 기술 분야에 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 바람직한 실시예를 충분히 이해하여 유사한 형태의 박막자기헤드팁 및 그 제조방법을 구현할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서 정해져야 할 것이다.The preferred embodiment of the present invention described by the accompanying reference drawings is only one embodiment. Those skilled in the art will fully understand the preferred embodiment of the present invention will be able to implement a thin film magnetic head tip and a method of manufacturing the same. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the appended claims.

Claims

A wafer which is a nonmagnetic insulator, a plurality of conductive contacts provided on the wafer, a base portion which is a nonmagnetic insulator stacked on the wafer, two cores partially immersed and stacked in the base portion, and formed with an azimuth groove, And a coil immersed and connected while being connected to the base part around the two cores, one end and the other end of which are respectively connected to the contact point, a base part of a surface on which the azimuth groove is formed, and the two cores have a curved round part. Thin film magnetic head tip, characterized in that.

The double azimuth thin film magnetic head tip according to claim 1, wherein a contact formed on the wafer is formed through the wafer.