KR0169538B1 - 모노리식 다기능 광 소자 및 이를 사용하여 구성된 장치 - Google Patents

모노리식 다기능 광 소자 및 이를 사용하여 구성된 장치 Download PDF

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씨. 존스 데니스
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완다 케이. 덴슨-로우
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Abstract

여러개의 별도의 광학 기능을 단일의 모노리식 광학 소자로 병합시킨 광학 장치(20)이 기술된다. 본 실시예에 따라, 광 소자(20)은 포화 흡수, 역반사 및 편광 회전과 같은 2개 또는 3개의 광학 기능을 포함한다. 광 소자(20)은 직각 포로 프리즘(21)의 형태로 형성된다. 광 소자(20)은 (45°에서 입사각의 내부 전반사를 허용하기 위해 1.414보다 큰)높은 굴절률, 및 (항반사 코팅을 허용하기 위해)고온에 대한 허용공차의 특성을 병합한 가닛 물질로 제조된다. 광 소자(20)은 예를 들어, 이트륨 알루미늄 가닛, 가돌리늄 스칸듐 갈륨 가닛 또는 가돌리늄 스칸듐 알루미늄 가닛과 같은 가닛 물질로 구성될 수 있다. 예를 들어, 4가 크롬(Cr4+)으로 가닛 물질을 도핑하는 것은 포화 흡수를 제공하고, 가닛 물질의 고유 특성은 고온 허용공차를 제공한다.

Description

모노리식 다기능 광 소자 및 이를 사용하여 구성된 장치
제1도는 본 발명의 원리를 따르는 광 소자의 제1실시예를 도시하는 도면.
제2도는 제1도에 도시된 광 소자에서의 광선의 편광 면의 기하학적 회전을 도시하는 도면.
제3도는 본 발명의 제2실시예를 도시하는 도면.
제4도는 종래 기술의 Q-스위칭 공진기를 도시하는 도면.
제5도는 본 발명의 원리에 따라 제조된 공진기.
제6도는 본 발명의 원리에 따른 다른 공진기 구성을 도시하는 도면.
제7a도 및 제7b도는 본 발명의 제2실시예를 실현하는 다양한 편광 출사 결합 공진기를 도시하는 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
20,20a : 광 소자 21 : 본체
22,23,24 : 내부 전반사면 32,33 : 편광 벡터
42 : 편광자 43 : 이득 매체
44 : 1/4-파 지연판 45 : 반사기
45a : 포로 프리즘 50 : 편광 감지 출사 결합 장치
본 발명은 일반적으로 고상(solid-state) 광 소자에 관한 것으로, 특히 다기능을 제공하기 위해서 여러가지 별도의 광학적 기능들을 단일 광 소자에 병합시킨 모노리식 광 소자, 및 이러한 모노리식 광 소자를 사용하여 구성된 시스템에 관한 것이다.
종래 기술의 시스템에서는 본 발명의 별도의 광학적 기능은 공지된 별도의 소자에 의해 수행된다. 이들 시스템의 단점은 예를 들어, 그들의 부피, 소자들의 정확한 정렬의 어려움, 및 그들의 어셈블리의 불규칙성 및 높은 가격 등이다.
본 발명에 관련된 출판물 및 발명 출원에는 엘. 아이. 크루토바(L.I. Krutova) 등의 Opt. Spectrosc.(USSR), 63, 695(1987); 이.브이. 하리코브(E.V. Zharikov) 등의 Potochromic properties of a gadolinium-scandium-gallium garnet crystal, Preprint No. 238 USSR Academy of Sciences, Institute of General Physics, Moscow(1985); 그리고, 1993년 3월 12일 출원되고, 본 발명의 양수인에게 양도된, 발명의 명칭이 Quasi-Monolithic Saturable Optical Element인 미합중국 특허출원 제08/030,763호가 있다.
본 특허 출원에 관해, 포화 흡수(saturable absorption), 편광 구별(polarization discrimination) 및 반사 기능이 하나의 준-모노리식(quasi-monolithic) 고상 광 소자로 통합되는 광 소자를 개시한다. 광 소자는 소정 각으로 배치된 전면(front surface) 및 후면(rear surface)을 갖는 언도프된 기판을 포함한다. 유전체 코팅은 기판의 후면상에 배치되고, 최소한 하나의 포화 흡수기 플레이트리트(absorber platelet)는 기판의 전면상에 배치된다. 플레이트리트(들)에 사용된 포화가능 흡수 종(species)은 플루오르화 리튬의 F2칼라-센터 또는 몇몇 적합한 주 광학 물질 중의 하나인 Cr4+도펀트 이온이다. 레이저 빔의 직선 편광(linear polarization) 구별은 브루스터의 각(Brewster's angle)으로 광 소자의 입사면을 배향(oriebtation)시킴으로써 달성된다. 광 소자의 후면의 유전체 코팅 (미러)는 100%의 반사율을 제공한다. 이러한 광 소자는 패시브(passive) Q 스위칭, 직선 편광에 대한 구별 및 레이저 빔 반사를 제공한다. 역반사(retroreflection)용 광 소자를 정렬시킴으로써, 브루스터의 각 조건에 자동적으로 맞춰져서 광 편광 구별이 달성된다.
따라서, 본 발명의 목적은 다기능을 제공하기 위해서 여러개의 별도의 광학적 기능들이 단일 광 소자로 병합된 모노리식 광 소자, 및 이러한 모노리식 광 소자를 사용하여 구성된 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명은 여러개의 별도의 광학적 기능들이 단일 광 소자로 병합된 광학 장치를 포함한다. 본 실시예에 따라, 본 발명은 포화 흡수, 한 평면에서의 역반사 및 편광 회전을 포함하는 2개 또는 3개의 광학적 기능을 하나의 소형 광 소자가 수행할 수 있도록 병합한다. 광 소자는 (45°에서 입사각의 내부 전반사를 허용하기 위해 1.414보다 큰) 고 굴절률,(Q-스위칭을 제공하기 위한) 포화가능 광 흡수, 및 (항반사(antireflection)코팅의 적용을 허용하기 위한)고온에 대한 허용 공차(tolerance)의 특성들을 조합한 물질로 형성된다. 단일 광 소자는 굴절률 조건에 맞는 가닛(garnet) 물질로 만들어진다. 4가 크롬(Cr4+)으로 가닛 물질을 도핑하는 것은 예를 들어, 근 적외선 파장 범위내의 포화 흡수를 제공하고, 가닛의 고유 특성은 고온 허용공차를 제공한다.
특히, 본 발명은 45°의 각으로 입사하는 입사광의 내부 전반사를 제공하기 위해 1.414보다 큰 굴절률을 갖고 있는 가닛 물질로 구성된 본체를 포함하고, 본체는 한 평면에서의 역반사 및 입사 편광 배향에 따른 입사 광선의 편광 회전을 제공하기 위한 직각 포로 프리즘(right-angle porro prism)의 형상으로 형성된다. 광 소자는 이트륨 알루미늄 가닛(YAG), 이트륨 스칸듐 알루미늄 가닛(YSAG), 이트륨 스칸듐 갈륨 가닛(YSGG), 가돌리늄 스칸듐 알루미늄 가닛(GSAG), 가돌리늄 스칸듐 갈륨 가닛(GSGG), 가돌리늄 갈륨 가닛(GGG), 가돌리늄 인듐 갈륨 가닛(GIGG) 또는 상기 물질의 적절한 단결정 조합과 같은 단결정 호스트 물질(single-crystal host materials; 가닛 물질)로 구성될 수 있다.
본 발명은 또한 광선의 편광 감지 출사 결합(polarization sensitive output coupling of light ray)을 제공하기 위한 장치를 제공한다. 이 장치는 상술된 것과 같은 광 소자, 및 반사기를 포함하는데, 이들 반사기 및 광 소자는 공진 캐비티(resonant cavity)를 형성하도록 배치되며, 공진 캐비티내에 배치된 편광자(polarizer), 및 공진 캐비티내에 배치된 이득 매체(gain medium)를 더 포함한다. 이 장치는 또한 공진 캐비티내에 배치된 1/4-파 지연파를 포함할 수 있다. 이 장치의 광축 주위로의 광 소자의 회전은 최적의 효율을 위해 캐비티의 튜닝을 가능하게 하는 광선의 연속적인 가변 출사 결합 굴절률(variable outcoupling reflectivity)을 제공한다.
본 발명의 광 소자는 제조가 용이하고, 정렬이 쉬우며, 외부 방사에 영향을 받지 않는 전체적인 편광 회전을 제공하고, 이러한 광 소자를 사용한 광 시스템의 가격을 낮춘다. 본 발명은 Q-스위치된 레이저 등에 사용될 수 있다. 시판중인 응용 제품은 예를 들어, 저항기 트리밍(resistor trimming) 및 링크 블로윙(link blowing)과 같은 반도체 물질 프로세싱을 포함하지만, 이에 국한되지는 않는다.
본 발명의 다양한 특징 및 장점은 동일한 구조적인 소자를 동일한 참조부호로 나타낸, 첨부된 도면을 참조하여 다음의 상세한 설명으로부터 더 상세히 이해될 것이다.
제1도를 참조하면, 본 발명의 원리를 따르는 광 소자(20)의 제1실시예가 도시된다. 광 소자(20)의 제1실시예는 가닛 물질로 구성된 본체(21)을 포함하고, 본체(21)은 직각 포로 프리즘(21)의 형태로 형성된다. 광 소자(20)은 표 1에 정의된 가닛 물질로 구성될 수 있는데, 이러한 물질은 이트륨 알루미늄 가닛(YAG), 이트륨 스칸듐 알루미늄 가닛(YSAG), 이트륨 스칸듐 갈륨 가닛(YSGG), 가돌리늄 스칸듐 알루미늄 가닛(GSAG), 가돌리늄 스칸듐 갈륨 가닛(GSGG), 가돌리늄 갈륨 가닛(GGG), 가돌리늄 인듐 갈륨 가닛(GIGG) 또는 상기 물질의 적절한 단결정 조합과 같은 단결정 호스트 물질(가닛 물질)을 포함할 수 있다. 포로 프리즘(21)은 전면(25), 내부 하부면(22), 및 2개의 내부 상부면(23,24)를 갖는 가닛 물질의 고체 조각으로 구성된다. 포로 프리즘(21)을 포함하는 광 소자(20)은 예를 들어, 레이저에 의해 제공된 광선이 전면(25)를 통해 들어가 하부면(22) 및 상부면(23,24)으로부터 반사되어 전면(25)를 통해 다시 빠져나오는, 광선의 내부 전반사의 결과로서 입사 광선의 100% 굴절률을 제공한다. 가닛 본체(21)은 또한 레이저에 의해 제공된 광선의 편광 면의 회전을 제공한다. 이 편광 회전은 하부면(22)에서 제1내부 전반사되고, 포로 프리즘(21)의 내부 상부면(23,24)에서 전반사되며, 마지막으로 하부면(22)에서 다시 내부 전반사되는 포로 프리즘(21)의 본체(21)의 기하학적 결과이다.
제1도에 도시된 광 소자(20)에서 일어나는 광선의 편광 면의 기하학적 회전은 제2도에 도시되어 있다. 내부 전반사면(22,23,24)는 예시를 위해서만 제거된 벌크 가닛 물질로 개략적으로 도시된다. 입사 광선(31)은 편광 벡터(32)로 도시된 것처럼, 45°각으로 편광된다. 하부면(22), 내부 상부면(23,24), 그리고 다시 하부면(22)에서의 4번의 전반사의 조합은 역반사된 광선(34)상에 편광 벡터(33)로 도시된 바와 같이, 90°만큼 편광면을 회전시킨다. 기하학적 회전은 반사가 전반사인지 아닌지의 여부에 따라 발생한다. 포로 프리즘(21)이 루프 크레스트(roof crest)로 알려진 내부 상부면(23,24)의 정점에 대해 대칭이므로, 빔이 내부 상부면(23,24)에 도달하는 순서(order)는 문제가 아니다. 사실, 일반적으로 광선(또는 빔)은 빔의 반이 내부 상부면(23)에 도달하고, 동시에 빔의 다른 반이 내부 상부면(24)에 도달하도록 루프 크레스트상에 모아진다. 편광 회전은 이 2가지 경로에 대해 동일하다.
광 소자(20)에 의한 광선(31)의 편광 면의 90°회전을 설명한 다른 방법이 후술된다. 편광 벡터(32)는 벡터 p와 s로 구성될 수 있는데, p는 내부 하부면(22)에 대한 입사면에 있고, s는 입사면에 직교한다. 광 소자(20)를 통과한 후, 수직 벡터 p의 배향은 변하지 않지만, 직교하는 벡터 s는 180°만큼 변한다. 편광 면의 각 회전은 수직으로 입사한 각의 2배이다. 수직으로부터 반시계방향으로 45°로 입사한 각의 편광 벡터(32)는 수직으로부터 시계방향으로 45°인 편광 벡터(33)으로 출사된다. 그러므로, 45°의 편광 벡터(32)는 이것이 역반사된 광선(34)로서 광 소자(20)으로부터 출사될 때, 편광 벡터(33)을 생성하기 위해 90°회전된다.
제3도는 본 발명의 광 소자(20a)의 제2실시예를 도시한다. 광 소자(20a)의 제2실시예는 2개의 구성을 갖는 가닛 본체(21a)로 이루어진다. 포화 흡수 및 역반사의 이득은 포화 흡수 또는 Q-스위칭 포로 프리즘(21a)를 포함하는 제2광 소자(20a)로 병합된다.
[포로 프리즘(21)로부터의 반사에 따른 편광 회전을 포함하는]제1실시예의 실제적인 실행에서, 광 소자(20)은 예를 들어, 편광 출사 결합 공진기내에 사용될 수 있다. [Q-스위칭 포로 프리즘(21a)를 포함하는]광 소자(20a)의 제2실시예는 편광 출사 결합 공진기 또는 출사-미러 캐비티 공진기 중 하나에 적합하다. 이들 캐비티 설계들은 각각 광 소자(20)의 제1 및 제2실시예에 대한 아래의 상세한 설명에서 논의된다.
따라서, 본 발명은 실시예에 따라, 포화 흡수 및 방사 저항(radiation hardness), 역반사, 및 편광 회전을 포함하는 다수의 광학 기능을 단일 광 소자(20,20a)로 병합한 것이다. 본 발명의 광 소자(20,20a)는 (45°에서 입사각의 내부 전반사를 허용하기 위해 1.414보다 큰)높은 굴절률, 및 (항반사 코팅의 응용을 허용하기 위해)고온에 대한 허용공차의 특성을 갖는 가닛 물질로 제조된다. 광 소자(20,20a)내에 사용될 수 있는 여러가지 가닛 물질의 굴절률은 표 1에 도시된다. 4가 크롬(Cr4+)으로 가닛 물질을 도핑하는 것은, 예를 들어, (Q-스위칭을 제공하기 위해)포화 흡수를 제공한다.
표 1에서 도시된 바와 같이, 모든 가닛 물질들은 45°각도에서 인가된 광선의 내부 전반사를 제공하는 굴절률들을 갖는다.
본 발명의 더 나은 이해를 위해, 종래 기술의 Q-스위칭 공진기(40)에 대한 간단한 설명이 제4도를 참조하여 비교를 위해 제공된다. 제4도에서 도시된 바와 같이, 종래 기술의 공진기(40)은 포화 흡수기 Q-스위치(41), 편광자(42), 활성 레이저 소자(43), 1/4-파 지연판(44) 및 (글래스 포로 프리즘으로 선택적으로 대체될 수 있는)2개의 미러(45,46)로 구성되어 있다. 레이저 에너지의 출사 결합은 1/4-파 지연판(44)를 회전시킴으로써 제어된다.
본 발명의 광 소자(20)의 제1실시예의 주요한 장점은 종래의 공진기(40)내의 몇몇 종래 기술의 소자를 그 기능은 그대로 유지한채 본 발명의 광 소자로 대체할 수 있다는 것이다. 대체된 종래의 소자들은 하나의 단부 미러(46), 포화 흡수기 Q-스위치(41), 및 제4도에 도시된 편광 출사 결합 공진기(40)의 1/4-파 지연판(44)을 포함한다.
따라서, 제5도 및 제6도를 참조하면, 본 발명에 따른 편광 출사 결합 공진기(50 및 50a)가 도시된다. 편광 출사 결합 공진기(50)은 제1도를 참조하여 기술된 것과 같이, 미러(45) 또는 포로 프리즘(45a), 편광자(42), 레이저 로드 또는 이득 매체(43)와 같은 반사기(45), 및 광 소자(20)으로 구성된다. 레이징 축 주위로의 광 소자(30)의 회전(51)은 최적 효율을 위해 다양한 캐비티 파라미터들의 존재에 대하여 캐비티를 조정할 수 있는 연속적인 가변 출사 결합 굴절률을 제공한다. 따라서, 복굴절 효과의 정도 또는 다른 손실에 상관없이, 광 소자(20)은 용이하게 레이저 에너지의 적절한 출사 결합을 제공하기에 최적화될 수 있다. 제5도에 도시된 바와 같이, 포로 프리즘(46a)는 단부 미러(45)로 대체될 수 있고, 그 루프 크레스트가 광 소자(20)의 크레스트에 직교할 때, 얼라인먼트 인센서티비티(alignment insensitivity)이라는 부가적인 잇점을 제공한다. 제6도는 광 소자(20)에 의해 제공된 Q-스위칭 기능이 이득 매체(43)으로부터의 편광자(42)의 대향측 상에 위치되는 편광 출사 결합 공진기(50a)의 다른 구성을 도시한다.
제3도를 참조하여 도시되고 기술된 광 소자(20a)의 제2실시예를 실시하는 다른 편광 출사 결합 공진기가 제7a도 및 제7b도에 도시된다. 광 소자(20)의 제1실시에와 유사한 방식으로, 광 소자(20a)의 제2실시예가 종래 기술의 소자의 조합을 대체한다. 편광 출사 결합 공진기(50b,50c)는 제3도를 참조하여 기술된 것과 같이, 미러(45), 1/4-파 지연판(44)(50b내에만), 편광자(42), 레이저 로드 또는 이득 매체(43), 및 광 소자(20a)로 구성되어 있다. 제7a도의 공진기(50b)에서, 출사 결합은 1/4-파 지연판(44)의 회전의 결과로서 생기지만, 제7b도(공진기(50c))에서는, 광 소자(20)의 회전이 출사 결합을 생성한다. 광 소자(20a)의 제2실시예의 경우에는, 출사 결합은 내부 전반사 표면(23,24)로부터의 위상 전이로 인한 편광 지연의 결과로서 생긴다. 편광 지연은 편광자(42)의 표면에 대해 광 소자(20a)의 크레스트의 배향의 기능에 따라 변한다. 제7도에서는 단부 미러(45)로 대치된, 제2포로 프리즘(45a)는 이전에 언급된 동일한 얼라인먼트 인센서티비티를 제공한다. 출사 결합은 광 소자(20a) 또는 제2포로 프리즘(45a) 중 하나의 적절한 회전에 의해 달성된다.
이렇게, 다수의 몇몇 광학 기능을 다기능을 제공하는 단일 광 소자로 병합하는 새롭고 향상된 모노리식 광 소자, 및 이를 사용하여 구성된 시스템에 관하여 기술되었다. 상술한 실시예들은 본 발명의 원리를 적용한 본 출원의 많은 실시예들 중 몇몇의 실시예의 설명만을 위한 것임을 이해해야 한다. 본 기술 분야에 숙련된 자들에게는 많은 그리고 다른 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 행해질 수 있음이 명백하다.

Claims (22)

  1. 입사광의 내부 전반사를 제공하기 위해 1.414 보다 큰 굴절률을 갖는 가닛 물질(garnet material)을 포함하고, 입사 광선의 한 평면에서의 역반사 및 편광회전을 제공하기 위한 직각 포로 프리즘의 형태로 이루어진 본체(21)을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  2. 제1항에 있어서, 상기 가닛 물질은 포화가능한 흡수를 위해 4가 크롬(Cr4+]으로 도프되는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  3. 제1항에 있어서, 상기 가닛 물질은 이트륨 알루미늄 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  4. 제1항에 있어서, 상기 가닛 물질은 가돌리늄 갈륨 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  5. 제1항에 있어서, 상기 가닛 물질은 가돌리늄 스칸듐 알루미늄 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  6. 제1항에 있어서, 상기 가닛 물질은 이트륨 스칸듐 알루미늄 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  7. 제1항에 있어서, 상기 가닛 물질은 이트륨 스칸듐 갈륨 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  8. 제1항에 있어서, 상기 가닛 물질은 가돌리늄 갈륨 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  9. 제1항에 있어서, 상기 가닛 물질은 가돌리늄 인듐 갈륨 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  10. 제2항에 있어서, 상기 가닛 물질은 이트륨 알루미늄 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  11. 제2항에 있어서, 상기 가닛 물질은 가돌리늄 스칸듐 갈륨 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  12. 제2항에 있어서, 상기 가닛 물질은 가돌리늄 스칸듐 알루미늄 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  13. 제2항에 있어서, 상기 가닛 물질은 이트륨 스칸듐 알루미늄 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  14. 제2항에 있어서, 상기 가닛 물질은 이트륨 스칸듐 갈륨 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  15. 제2항에 있어서, 상기 가닛 물질은 가돌리늄 갈륨 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  16. 제2항에 있어서, 상기 가닛 물질은 가돌리늄 인듐 갈륨 가닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 모노리식 광 소자(20).
  17. 광선의 편광 감지 출사 결합(polarization sensitive output coupling)을 제공하기 위한 장치(50)에 있어서, 입사광의 내부 전반사를 제공하기 위해 1.414보다 큰 굴절률을 갖는 가닛 물질에 의해 특징지워지고, 입사 광선의 역반사 및 편광 회전을 제공하기 위해 직각 포로 프리즘의 형태로 이루어진 본체(21)를 포함하는 광 소자(20); 반사기(45), 상기 반사기 및 상기 광 소자(20)은 공진 캐비티를 형성하기 위해 배치되고; 상기 공진 캐비티내에 배치된 편광자(42); 및 상기 공진 캐비티내에 배치된 이득 매체(43)를 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 감지 출사 결합 제공 장치(50).
  18. 제17항에 있어서, 상기 공진 캐비티내에 배치된 1/4-파 지연판(44)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치(50).
  19. 제17항에 있어서, 상기 반사기(45)는 미러(45)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치(50).
  20. 제17항에 있어서, 상기 반사기(45)는 포로 프리즘(45a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치(50).
  21. 제20항에 있어서, 상기 포로 프리즘(45a)는 BK-7 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치(50).
  22. 제17항에 있어서, 광 축 주위로의 상기 광 소자(20)의 회전(51)은 최적 효율을 위해 상기 공진 캐비티의 튜닝을 가능하게 하는 상기 광선의 연속적인 가변 출사 결합 굴절률을 제공하는 것을 특징으로 하는 장치(50).
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