KR0165480B1 - 포토레지스트 도포장치 - Google Patents

Abstract

포토레지스트를 토출하는 노즐의 휘어짐을 방지할 수 있는 포토레지스트 도포장치에 관하여 개시한다. 본 발명은 움직일 수 있는 구동막대에 고정 어셈블리와 고정 너트로 고정된 노즐을 통하여 웨이퍼에 포토레지스트를 도포하는 포토레지스트의 도포장치에 있어서, 상기 노즐은 상기 고정 어셈블리의 외면에 결합된 고정 너트와 상기 고정너트와 결합된 고정관을 관통하여 지지되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트의 도포장치를 제공한다. 본 발명에 의하면, 노즐 주위를 고정관을 통하여 보호 및 고정함으로써 휘어짐을 방지할 수 있다. 또한, 고정관 끝에 고정너트와 걸릴수 있는 홈을 만들어서 고정 너트와 체결함으로써 노즐의 유동을 방지할 수 있다.

Description

포토레지스트 도포장치

제1도는 종래 기술에 의한 포토레지스트 도포장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.

제2도는 상기 제1도의 노즐의 고정방법을 설명하기 위하여 도시한 단면도이다.

제3도는 본 발명에 의한 포토레지스트 도포장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.

제4도는 상기 제3도의 고정 어셈블리, 고정 너트 및 고정관의 연결관계를 설명하기 위하여 확대한 도면이다.

본 발명은 반도체 소자의 제조에 사용되는 포토레지스트(photoresist)의 도포장치(coater)에 장치에 관한 것으로, 특히 포토레지스트를 토출하는 노즐의 휘어짐을 방지할 수 있는 포토레지스트 도포장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자의 제조공정은 크게 사진공정, 확산공정, 박막공정 및 식각공정 등으로 구분된다. 상기 사진공정은 포토레지스트 도포공정, 노광공정 및 현상공정 등으로 구분할 수 있다. 이중에서 상기 포토레지스트 도포공정에는 포토레지스트 도포장치가 이용된다. 상기 포토레지스트 도포장치는 웨이퍼를 회전할 수 있는 회전자 상에 올려놓고, 노즐을 통하여 상기 웨이퍼 상에 포토레지스트를 도포한 후 웨이퍼를 회전시켜 포토레지스트를 균일하게 도포한다.

제1도는 종래 기술에 의한 포토레지스트 도포장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.

구체적으로, 척(1)을 갖고 회전할 수 있는 회전자(3)가 마련되어 있고, 상기 척(1) 상에 웨이퍼(5)가 마련되어 있고, 상기 웨이퍼(5)와 소정거리 이격되어 있고, 포토레지스트 배관(7)에 연결되어 포토레지스트를 분사할 수 있는 노즐(9)이 구비되어 있고, 상기 포토레지스트 배관(7) 및 노즐(9)은 구동막대(13) 및 구동 실린더(15)에 이동할 수 있도록 되어 있다. 그리고 상기 노즐(9) 및 포토레지스트 배관(7)은 구동막대(13)에 접속되어 있다.

제2도는 상기 제1도의 노즐의 고정방법을 설명하기 위하여 도시한 단면도이다. 제2도에서, 상기 제1도와 동일한 참조번호는 동일한 부재를 나타낸다.

제2도에서, 상기 노즐(9) 및 포토레지스트 배관(7)은 포토레지스트 배관용 고정 너트(17)와 고정 어셈블리(19)에 의하여 고정된다.

상기 제1도 및 제2도에 도시한 종래의 포토레지스트 도포장치의 도포방법은 구동 실린더에 의해 웨이퍼 엣지에서 시작하여 웨이퍼 중심으로 이동한 노즐을 통하여 포토레지스트를 웨이퍼 상에 토출한 후 웨이퍼를 회전한다. 따라서, 상기 노즐과 웨이퍼와 일정한 간격을 유지해야만 웨이퍼 상에 포토레지스트막이 균일하게 형성된다.

그런데, 종래의 포토레지스트 도포장치는 회전자의 교체나 정비등에 의하여 노즐이 휘어진다. 노즐이 휘어지면 웨이퍼의 중심을 벗어나서 포토레지스트를 웨이퍼 상에 토출한 후 웨이퍼가 회전을 하게 된다. 이렇게 웨이퍼의 중심을 벗어나 포토레지스트가 토출되면 중심을 벗어난 만큼 붉은 반점의 도포불량이 발생하게 된다. 또한, 상기 노즐의 휨 발생을 억제하기 위해 노즐을 웨이퍼와 멀리 이격되게 짧게하면 웨이퍼와 노즐간의 거리가 멀어서 포토레지스트가 불안정하게 토출된다. 이렇게 도포불량이 발생하거나, 불안정하게 포토레지스트를 도포하게 되면 후공정, 즉 노광, 현상 및 식각공정을 진행함에 따라 반도체 소자에 악영향을 미친게 된다.

따라서, 본 발명의 목적은 노즐의 휘어짐을 방지하여 포토레지스트 토출시 웨이퍼와 노즐과의 안정된 거리를 유지함으로써 포토레지스트의 도포불량을 감소시킬 수 있는 포토레지스트 도포장치를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 움직일 수 있는 구동막대에 고정 어셈블리와 고정 너트로 고정된 노즐을 통하여 웨이퍼에 포토레지스트를 도포하는 포토레지스트의 도포장치에 있어서, 상기 노즐은 상기 고정 어셈블리의 외면에 결합된 고정 너트와 상기 고정너트와 결합된 고정관을 관통하여 지지되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트의 도포장치를 제공한다.

상기 고정관은 스테인레스관을 이용하여 구성하며, 상기 고정관은 상기 고정너트의 내부에서 상기 고정너트의 하부에 마련된 걸림턱으로 인해 지지된다. 또한, 상기 고정관의 상부에 홈을 형성하여 상기 고정너트와 단단히 결합된다.

본 발명에 의하면, 노즐 주위를 고정관을 통하여 보호 및 고정함으로써 휘어짐을 방지할 수 있다. 또한, 고정관 끝에 고정너트와 걸릴수 있는 홈을 만들어서 고정 너트와 체결함으로써 노즐의 유동을 방지할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.

제3도는 본 발명에 의한 포토레지스트 도포장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.

제3도에서, 회전할 수 있는 회전자의 척(21)이 마련되어 있고, 상기 척(21) 상에 웨이퍼(23)가 있다. 상기 웨이퍼(23) 상에는 포토레지스트를 토출할 수 있는 노즐(25)이 구비되어 있고, 상기 노즐(25)은 구동막대(33)에 고정 어셈블리(27), 고정너트(29)에 의해 고정되며, 상기 구동막대(33)는 구동 실린더(도시 안됨)에 의하여 이동할 수 있다.

특히, 본 발명의 노즐 고정방법은 밑면이 평탄한 고정 어셈블리(27)와 상기 고정 어셈블리(27)의 상하에 마련된 고정너트(29)에 의해 보호 및 고정된다. 상기 고정너트(29)의 하부는 소정의 걸림턱이 마련되어 T자형의 고정관(31)을 지지하도록 되어 있다. 더욱이, 상기 노즐(25)의 상부 부분은 고정관(31)에 의해 보호되어 외부의 힘에 의하여 휘어짐을 방지할 수 있다.

제4도는 상기 제3도의 고정 어셈블리, 고정 너트 및 고정관의 연결관계를 설명하기 위하여 확대된 도면이다. 제4도에서, 상기 제3도와 동일한 참조번호는 동일한 부재를 나타낸다.

구체적으로, 고정 어셈블리(27)는 고정 너트(29)와 연결되며 상기 고정 너트(29)의 내부에 연결되는 T자형의 고정관(31)이 마련되어 있다. 상기 고정관(31)은 상부 표면에 홈을 만들어 상기 고정너트(29)와 단단하게 접속하도록 되어 있다.

상술한 바와 같이 본 발명의 포토레지스트 도포장치는 노즐을 고정관으로 보호하고, 고정 너트로 고정함으로써 노즐이 외부힘에 의해서 유동되지 않는다. 또한, 고정관은 상부에 홈을 형성하여 상기 고정노트와 단단히 접속하도록 하였다. 따라서, 본 발명은 웨이퍼와 노즐간의 거리를 일정하게 유지할 수 있어 안정적으로 포토레지스트를 도포할 수 있다.

이상 본 발명을 구체적인 실시예들을 들어 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 국한되지 아니하고, 당업자가 가진 통상적인 지식의 범위내에서 그 변형이나 개량이 가능하다.

Claims (4)

1. 움직일 수 있는 구동막대에 고정 어셈블리와 고정 너트로 고정된 노즐을 통하여 웨이퍼에 포토레지스트를 도포하는 포토레지스트의 도포장치에 있어서, 상기 노즐은 상기 고정 어셈블리의 외면에 결합된 고정 너트와 상기 고정너트와 결합된 고정관을 관통하여 지지되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트의 도포장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 고정관은 스테인레스관을 이용하여 구성하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트의 도포장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 고정관은 상기 고정너트의 내부에서 상기 고정너트의 하부에 마련된 걸림턱으로 인해 지지되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트의 도포장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 고정관의 상부에 홈을 형성하여 상기 고정노트와 결합되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트의 도포장치.