KR0165363B1 - Quartz tube connection clamp of semiconductor device fabrication apparatus - Google Patents
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Abstract
분해 및 조립을 용이하게 하여 작업성을 향상시킬 수 있고 석영관의 파손을 줄일 수 있는 반도체 소자 제조장치의 석영관 연결 클램프가 개시되었다. 본 발명은 상면에 개구를 갖고 석영관이 안착되는 제1홈이 각각 형성되어 서로 대향하는 제1플레이트 및 제2플레이트와, 상기 제1플레이트 및 제2플레이트를 관통하여 체결되는 볼트 및 너트를 구비하여 서로 연결되어야 할 석영관의 단부에 형성된 플랜지의 외측에서 제1플레이트와 제2플레이트로 상기 플렌지를 서로 압착시킴으로써 상기 석영관을 연결하는 석영관 연결 클램프에 있어서, 상기 제1플레이트는 상기 볼트 및 너트가 상기 제1플레이트로부터 외부로 이탈될 수 있도록 측면에 개구를 갖는 제2홈을 구비하여 상기 볼트에 체결된 너트를 완전히 분리시키지 않고도 상기 볼트를 상기 제1플레이트로부터 분리시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 석영관 연결 클램프를 제공한다. 본 발명에 의하면, 석영관을 분리 및 연결할 경우에 너트를 완전히 풀지 않은 상태에서도 석영관 연결 클램프에서 볼트를 분리할 수 있을 뿐만 아니라 상팥을 바깥쪽으로 꺾을 수 있도록 함으로써 작은 공간에서도 석영관의 파손없이 석영관의 분리 및 연결을 용이하게 할 수 있다.A quartz tube connection clamp of a semiconductor device manufacturing apparatus capable of facilitating disassembly and assembly to improve workability and reducing breakage of a quartz tube has been disclosed. The present invention includes a first plate and a second plate facing each other and having a first groove having an opening on the upper surface and seating a quartz tube, respectively, and bolts and nuts fastened through the first plate and the second plate. In the quartz tube connecting clamp for connecting the quartz tube by pressing the flanges to each other with a first plate and a second plate on the outside of the flange formed at the end of the quartz tube to be connected to each other, the first plate is the bolt and And a second groove having an opening at a side surface so that the nut can be detached from the first plate to the outside so that the bolt can be separated from the first plate without completely removing the nut fastened to the bolt. It provides a quartz tube connection clamp. According to the present invention, in the case of separating and connecting the quartz tube, it is possible to remove the bolt from the quartz tube connecting clamp even when the nut is not completely loosened, and to allow the upper adzuki bean to be folded outwards, so that the quartz tube is not damaged even in small space It can facilitate the separation and connection of the tubes.
Description
제1도 내지 제3도는 종래의 석영간 연결 클램프를 설명하기 위한 도면들이다.1 to 3 are views for explaining a conventional quartz inter-connection clamp.
제4도 내지 제6도는 본 발명에 의한 석영관 연결 클램프를 설명하기 위한 도면들이다.4 to 6 are views for explaining the quartz tube connection clamp according to the present invention.
본 발명은 반도체 소자 제조장치의 석영관 연결 클램프(clamp)에 관한 것으로 특히, 분해 및 조립을 용이하게 하여 작업성을 향상시킬 수 있고 석영관의 파손을 줄일 수 있는 반도체 소자 제조장치의 석영관 연결 클램프에 관한 것이다.The present invention relates to a quartz tube connection clamp of a semiconductor device manufacturing apparatus, and more particularly, to facilitate the disassembly and assembly, thereby improving workability and reducing quartz tube breakage. Relates to the clamp.
확산로와 같은 반도체 소자 제조장치는 석영관을 많이 사용한다. 따라서 석영관과 석영관이 서로 연결되는 곳이 존재한다. 그러나 석영관은 재질 특성상 취성(brittleness)이 강하여 작은 충격에 의해서도 파손되기 쉽다. 따라서 석영관과 석영관을 연결하거나 분리할 경우에 석영관이 파손되지 않도록 주의가 요구된다.In semiconductor device manufacturing apparatuses such as diffusion furnaces, quartz tubes are often used. Therefore, there is a place where the quartz tube and the quartz tube are connected to each other. However, quartz tube has a brittleness due to the property of the material, so it is easy to be damaged even by a small impact. Therefore, care must be taken not to damage the quartz tube when connecting or separating the quartz tube and the quartz tube.
제1도 내지 제3도는 종래의 석영관 연결 클램프를 설명하기 위한 도면들이다.1 to 3 are views for explaining a conventional quartz tube connection clamp.
제1도는 서로 연결되어야 할 석영관(100)을 나타낸 사시도로서, 상기 석영관(100)은 서로 연결되어야 할 단부에 플렌지(A)가 형성되어 있다. 이는 상기 석영관(100)을 서로 용이하게 연결시키기 위한 것이다.1 is a perspective view showing the quartz tube 100 to be connected to each other, the quartz tube 100 is a flange (A) is formed at the end to be connected to each other. This is for easily connecting the quartz tube 100 with each other.
제2도는 상기 석영관(100)을 연결하기 위한 석영간 연결 클램프를 나타낸 분해 사시도이다. 구체적으로, 참조번호 110은 각 모퉁이 부근에 구멍(111)이 형성되고 상면에는 상기의 석영관(100)이 안착되는 홈(112)이 형성된 한쌍의 플레이트, 120은 상기 플레이트(110)의 각 구멍에 삽입되는 동시에 양단에 나사선이 형성된 볼트, 130은 상기 플레이트(110)의 외측에서 상기 구멍(111)에 삽입되는 상기 볼트(120)에 체결되는 너트를 나타낸다.2 is an exploded perspective view showing a quartz connection clamp for connecting the quartz tube 100. Specifically, reference numeral 110 denotes a pair of plates in which holes 111 are formed around each corner and grooves 112 are formed on the upper surface of the quartz tube 100, and 120 denotes each hole of the plate 110. The bolt is inserted into the bolt at both ends, 130 is a nut that is fastened to the bolt 120 is inserted into the hole 111 from the outside of the plate 110.
제3도는 상기 석영관 연결 클램프를 이용하여 상기 석영관(100)을 서로 연결시킨 경우의 단면도를 나타낸다. 구체적으로 상기 각각의 석영관(100)을 상기 플레이트의 홈(112)에 안착시킨 후, 상기 플레이트(110)가 상기 각각의 석영관의 플랜지(A)외측에서 압력을 가하여 상기 두 개의 석영관(100)을 서로 밀착하여 연결시키도록 상기 너트(130)와 상기 볼트(120)를 체결한다.3 is a cross-sectional view when the quartz pipes 100 are connected to each other by using the quartz pipe connection clamps. Specifically, after each of the quartz tube 100 is seated in the groove 112 of the plate, the plate 110 is applied to the pressure outside the flange (A) of each of the quartz tube (the two quartz tube ( The nut 130 and the bolt 120 are fastened to be in close contact with each other.
상술한 바와 같이 종래 기술에 의한 석영관 연결 클램프는 상기 연결된 석영관 주위의 공간이 좁을 경우에 상기 석영관 연결 클램프를 완전히 분해하지 않고서는 상기 석영관(100)을 상기 플레이트의 홈(112)으로부터 완전히 이탈 시키지 못하므로 상기 석영관을 수평방향으로 이동시켜 분리시키지 못한다. 그러므로 상기 석영관 연결 클램프의 분해 및 결합 조작이 매우 불편하고,이러한 분해 및 조립 과정에서 상기 클램프와 석영관(100)이 서로 부딪혀 그 충격에 의하여 상기 석영관(100)이 파손되기 쉽다.As described above, the quartz tube connecting clamp according to the related art is configured to move the quartz tube 100 from the groove 112 of the plate without completely disassembling the quartz tube connecting clamp when the space around the connected quartz tube is narrow. Since it cannot be completely detached, the quartz tube cannot be moved by moving in the horizontal direction. Therefore, disassembly and coupling operation of the quartz tube connection clamp is very inconvenient, and in this disassembly and assembly process, the clamp and the quartz tube 100 collide with each other, and the quartz tube 100 is easily damaged by the impact.
따라서 본 발명의 목적은, 좁은 공간에서도 분해 및 조립을 용이하게 할 수 있어 작업성을 향상시킬 수 있고 석영관의 파손을 줄일 수 있는 반도체 소자 제조장치의 석영관 연결 클램프를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a quartz tube connection clamp of a semiconductor device manufacturing apparatus that can be easily disassembled and assembled in a narrow space, thereby improving workability and reducing breakage of the quartz tube.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,The present invention to achieve the above object,
상면에 개구를 갖는 석영관이 안착되는 제1홈이 각각 형성되어 서로 대향하는 제1플레이트 및 제2플레이트와, 상기 제1플레이트 및 제2플레이트를 관통하여 체결되는 볼트 및 너트를 구비하여 서로 연결되어야 할 석영관의 단부에 형성된 플랜지의 외측에서 제1플레이트와 제2플레이트로 상기 플렌지를 서로 압착시킴으로써 상기 석영관을 연결하는 석영관 연결 클램프에 있어서,First grooves each having a first opening on which a quartz tube having an opening is mounted are formed to face each other, and the first and second plates facing each other, and bolts and nuts fastened through the first and second plates are connected to each other. In the quartz tube connecting clamp for connecting the quartz tube by pressing the flanges with each other with a first plate and a second plate on the outside of the flange formed at the end of the quartz tube to be
상기 제1플레이트는 상기 볼트 및 너트가 상기 제1플레이트로부터 외부로 이탈될 수 있도록 측면에 개구를 갖는 제2홈을 구비하여 상기 볼트에 체결된 너트를 완전히 분리시키지 않고도 상기 볼트를 상기 제1플레이트로부터 분리시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 석영관 연결 클램프를 제공한다.The first plate has a second groove having an opening at a side surface so that the bolt and the nut can be separated from the first plate to the outside, and the bolt is connected to the first plate without completely removing the nut fastened to the bolt. Provided is a quartz tube connection clamp characterized in that it can be separated from.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제4도 내지 제6도는 본 발명에 의한 석영관 연결 클램프를 설명하기 위한 도면들이다.4 to 6 are views for explaining the quartz tube connection clamp according to the present invention.
제4도는 석영관 연결 클램프를 나타낸 분해 사시도이다. 구체적으로, 참조번호 10은 상판(10a), 하판(10b), 경첩(14), 스프링(15), 꺾어짐 방지판(16)을 구비하는 제1플레이트을 나타낸다. 여기서 상기 상판(10a)은 상면에 개구를 갖고 석영관이 안착되는 제1홈(12) 및 측면에 개구를 갖고 아래로 절곡된 제2홈(13)이 형성되어 있다. 상기 하판(10b)은 소정 영역에 구멍(11)이 형성되어 있다. 또한 상기 경첩(14)은 상기 상판(10a)과 하판(10b)을 결합하고 상기 상판(10a)이 회전할 수 있도록 한다. 그리고 상기 스프링(15)은 상기 상판(10a)과 하판(10b)의 대향하지 않는 바깥면에 각각 형성된 스프링 고정대(참조도면 제15a)에 지지되어 상기 상판(10a)이 바깥 쪽으로 꺾어졌을 경우 탄력성에 의하여 원 위치로 돌아가게 한다. 꺾어짐 방지판(16)은 상기 하판(10b)의 안쪽면에 고정 결착되어 상기 하판(10b)의 상부에 일부 돌출됨으로써 상기 상판(10a)이 안쪽으로 꺾어지는 것을 방지한다. 계속해서 참조번호 50은 상기 제1플레이트(10)에 형성된 상기 제2홈(13) 및 구멍(11)에 대응하는 구멍(51)이 각 모퉁이 부근에 형성되고 상면에 개구를 갖는 석영관이 안착되는 제3홈(52)이 형성된 제2플레이트를 나타낸다. 여기서 상기 제2플레이트(50)에 형성된 구멍(51)은 볼트의 상하좌우 유동이 가능하게 여유있는 크기로 제작하는 것이 바람직하다. 계속해서 참조번호 20은 상기 제2플레이트(50) 및 제1플레이트(10)의 각 구멍 및 홈에 삽입되는 동시에 양단에 나사선이 형성된 볼트, 30은 상기 제1 및 제2플레이트(50,10)의 외측에서 상기 구멍 및 홈에 삽입되는 볼트에 체결되는 너트를 나타낸다.4 is an exploded perspective view showing a quartz tube connection clamp. Specifically, reference numeral 10 denotes a first plate provided with an upper plate 10a, a lower plate 10b, a hinge 14, a spring 15, and a bending preventing plate 16. Here, the upper plate 10a is formed with a first groove 12 having an opening on an upper surface thereof and a second groove 13 bent downward with an opening on a side surface thereof. The lower plate 10b has a hole 11 formed in a predetermined region. In addition, the hinge 14 couples the upper plate 10a and the lower plate 10b and allows the upper plate 10a to rotate. The spring 15 is supported by spring holders (reference drawing 15a) respectively formed on the outer surfaces of the upper plate 10a and the lower plate 10b, which are not opposed to each other, so that the upper plate 10a is bent outwardly. To return to the original position. The anti-folding plate 16 is fixedly fixed to the inner surface of the lower plate 10b to partially protrude from the upper portion of the lower plate 10b, thereby preventing the upper plate 10a from being bent inward. Subsequently, reference numeral 50 denotes a quartz tube having a hole 51 corresponding to the second groove 13 and the hole 11 formed in the first plate 10 formed around each corner and having an opening on the upper surface thereof. The second plate on which the third groove 52 is formed is shown. Here, the hole 51 formed in the second plate 50 may be manufactured to have a size that allows the bolts to flow up, down, left and right. Subsequently, reference numeral 20 is a bolt having a threaded line at both ends thereof and inserted into respective holes and grooves of the second plate 50 and the first plate 10, and 30 is the first and second plates 50 and 10. A nut is fastened to a bolt inserted into the hole and the groove from the outside.
제5도는 상기 제1플레이트(10)를 나타낸 분해 사시도이다.5 is an exploded perspective view showing the first plate 10.
여기서 제4도와 동일한 참조번호로 도시한 부분은 동일 부분을 나타낸다.Here, the parts shown with the same reference numerals in FIG. 4 denote the same parts.
구체적으로 살펴보면, 참조번호 14a는 상기 경첩(14)의 상편, 14b는 상기 경첩(14)의 하편, 15a는 상판(10a)과 하판(10b)의 대향하지 않는 면에 각각 형성되어 상기 스프링(15)을 고정하는 스프링 고정대, 16은 상기 하판(10b)의 대향면에 결합되며 상기 하판(10b)과는 결합되지 않고 상기 하판(10b)의 상부에 일부 돌출됨으로써 상기 상판(10a)이 안쪽으로 꺾어지는 것을 방지하는 꺾어짐 방지판을 나타낸다.Specifically, reference numeral 14a denotes the upper side of the hinge 14, 14b the lower side of the hinge 14, 15a is formed on the non-facing surface of the upper plate 10a and the lower plate 10b, respectively, the spring 15 Spring holder for fixing the 16, 16 is coupled to the opposite surface of the lower plate (10b) and is not coupled to the lower plate (10b) by protruding a part of the upper portion of the lower plate (10b) by bending the upper plate (10a) inwardly It shows a bend prevention plate which prevents it from falling.
제6도는 본 발명에 의한 석영관 연결 클램프를 이용하여 석영관을 서로 연결시킨 경우의 단면도를 나타낸다. 구체적으로 두 개의 석영관(1)을 상기 제2플레이트(50) 및 상판(10a)의 제1 및 제3홈(52,12)에 안착시킨 후, 상기 제1 및 제2플레이트(10,50)가 상기 각각의 석영관의 플랜지 외측에서 압력을 가하여 상기 두 개의 석영관(1)을 서로 밀착하여 연결시키도록 상기 너트(30)와 볼트(20)를 체결한다.6 is a cross-sectional view when the quartz tubes are connected to each other using the quartz tube connecting clamp according to the present invention. Specifically, two quartz tubes 1 are seated in the first and third grooves 52 and 12 of the second plate 50 and the upper plate 10a, and then the first and second plates 10 and 50. The nut 30 and the bolt 20 are fastened so as to press the outside of the flange of each quartz tube to connect the two quartz tubes 1 in close contact with each other.
다음에 상기 석영관(1)을 분리하는 경우를 살펴보면, 먼저, 체결된 너트를 느슨하게 풀어 상기 제1플레이트의 상판(10a)측면에 형성된 아래로 절곡된 제2홈(13)의 절곡된 부위 만큼 상기 볼트를 위로 이동시킨 후 옆으로 밀어내어 너트가 느슨하게 체결된 상태에서 상기 제1플레이트의 상판(10a)으로부터 볼트를 분리시킨다. 이는 상기 제2플레이트(50)에 형성된 구멍(51)이 볼트(20)의 상하좌우 유동이 가능한 여유있는 크기로 제작된 경우에 더욱 용이하다. 따라서 상기 너트(30)를 완전히 풀지 않더라도 상기 제1플레이트의 상판(10a)으로부터 상기 볼트(20)을 분리시킬 수 있다. 이 때 상기 하판(10b)에 형성된 구멍(11)을 통하여 볼트와 체결된 너트는 풀지 않아도 된다. 다음에 상기 상판(10a)을 바깥 쪽으로 꺾어 상기 상판에 형성된 석영관이 안착되는 제1홈(12)의 상대적인 깊이를 낮게함으로써 상기 석영간을 약간만 들어도 쉽게 수평방향으로 끄집어 낼 수 있다.Next, the case of separating the quartz tube 1 will be described. First, as much as the bent portion of the second groove 13 bent downwardly formed on the side of the upper plate 10a of the first plate by loosening the fastened nut. The bolt is moved upward and then pushed to the side to separate the bolt from the top plate 10a of the first plate in a state where the nut is loosely fastened. This is easier when the hole 51 formed in the second plate 50 is manufactured to a size that allows the up, down, left, and right flow of the bolt 20. Therefore, the bolt 20 can be separated from the top plate 10a of the first plate even if the nut 30 is not completely loosened. At this time, the nut fastened to the bolt through the hole 11 formed in the lower plate 10b does not need to be loosened. Next, by lowering the top plate 10a to the outside, the relative depth of the first groove 12 on which the quartz tube formed on the top plate is lowered can be lowered to make it easier to pull out the quartz rod horizontally.
또한 도면으로 제시되지는 않았으나 서로 대향하는 양쪽 플레이트를 모두 제4도에서 설명한 제1플레이트(10)를 사용하여도 무방하다.In addition, although not shown in the drawings, both of the opposing plates may use the first plate 10 described with reference to FIG. 4.
이상 상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 의하면, 상기 석영관(1)을 분리 및 연결할 경우에 상기 너트를 완전히 풀지 않은 상태에서도 석영관 연결 클램프에서 볼트(20)를 분리할 수 있을 뿐만 아니라 상판(10a)을 바깥쪽으로 꺾을 수 있도록 함으로써 작은 공간에서도 석영관의 파손없이 석영관의 분리 및 연결을 용이하게 할 수 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, when removing and connecting the quartz tube 1, the bolt 20 may be separated from the quartz tube connection clamp as well as the top plate even when the nut is not completely loosened. By allowing (10a) to be folded outwards, the quartz tube can be easily separated and connected without breaking the quartz tube even in a small space.
본 발명은 상기 실시예에만 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명이 기술적 사상내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 가능함은 명백하다.The present invention is not limited only to the above embodiments, and it is apparent that many modifications are possible by those skilled in the art within the technical idea.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20060830 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |