KR0165286B1 - Clean booth - Google Patents

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KR0165286B1 KR1019940002313A KR19940002313A KR0165286B1 KR 0165286 B1 KR0165286 B1 KR 0165286B1 KR 1019940002313 A KR1019940002313 A KR 1019940002313A KR 19940002313 A KR19940002313 A KR 19940002313A KR 0165286 B1 KR0165286 B1 KR 0165286B1
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Abstract

클린부스장치에 관하여 개시되어 있다.A clean booth apparatus is disclosed.

외부와 차단되어 소정의 밀폐된 공간을 이루는 부스내에 공기를 흡입하여 공급하며, 이 공기를 부스내에서 강제 순환시키는 팬 모터와 부스내에 흡입된 공기의 불순물을 걸러주는 필터가 설치되어 있는 클린부스장치에 있어서, 각각의 독립분실을 구성하고 청정된 공기의 분사장치와 외부로부터의 공기 유입을 방지할 수 있는 에어커턴을 설치함으로써, 외부공기가 혼탁한 경우에 있어서의 국소 청정을 위한 청정도 유지의 효과를 더욱 높일 수 있고, 필터의 교환주기를 최소화하여 비용을 절감할 수 있는 장점을 가지는 클린부스장치.Clean booth device equipped with a fan motor that sucks and supplies air in the booth, which is cut off from the outside and forms a predetermined closed space, and a filter that filters air impurities forced in the booth In the case of independent air conditioner, by installing the injector of clean air and the air curtain which can prevent the inflow of air from the outside, it is possible to maintain the cleanliness for local cleanness in the case where the outside air is cloudy. Clean booth device that can increase the effect even more, and reduce the cost by minimizing the replacement cycle of the filter.

Description

클린부스(Clean Booth) 장치Clean Booth Device

제1도는 종래의 클린부스의 개략적 정면도.1 is a schematic front view of a conventional clean booth.

제2도는 제1도의 측면도.2 is a side view of FIG.

제3도는 본 발명에 의한 클린부스의 개략적 평면도.3 is a schematic plan view of a clean booth according to the present invention.

제4도는 제3도의 정면도.4 is a front view of FIG.

제5도는 제3도의 측면도.5 is a side view of FIG.

* 도면의 주요부호에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for major symbols in the drawings

10 a, b : 차단막 11,F : 필터10 a, b: blocking film 11, F: filter

M : 팬 모터 RF : 리턴 필터M: Fan Motor RF: Return Filter

U : 상층부 D : 하층부U: upper layer D: lower layer

N1, N2 : 노즐 C, C' : 에어 커턴N1, N2: Nozzle C, C ': Air curtain

본 고안은 클린부스(Clean Booth)장치에 관한 것으로서, 특히 브라운관 패널 검사용 클린부스장치에 관한 것이다.The present invention relates to a clean booth device, and more particularly, to a clean booth device for inspecting a CRT panel.

클린부스란 잘 알려진 바와 같이 어떠한 제품의 생산을 위한 프로세스 중에 그 제품의 부품 또는 재료가 오손되지 않도록 공기중의 먼지 등을 필터로 제거하는 등 특히 청정에 주의하여야 할 필요성으로 인하여 외부와 차단시켜 별도의 청정도를 유지하기 위한 밀폐된 실내로서, 반도체나 전기전자제품의 회로기판 등의 조립과 같은 제조 공정상에 필수적으로 설치된다. 본 발명은 상기한 바와 같은 클린부스 중에서도 특히 브라운관의 패널 검사에 사용되는 클린부스장치에 관한 것이다.Clean booth, as is well known, is separated from the outside due to the necessity to pay attention to cleanliness, especially by removing dust in the air with a filter so that parts or materials of the product are not damaged during the process for producing a product. It is an enclosed room for maintaining cleanliness, and is essentially installed in manufacturing processes such as assembling circuit boards of semiconductors and electrical and electronic products. The present invention relates to a clean booth apparatus used for panel inspection of a CRT, among other clean booths as described above.

브라운관의 패널은 섀도우 마스크와 함께 조립된 후 일련의 제조공정을 거쳐 전자 빔에 의해 형광체가 자극되어 패널 전면에서 발광하게 되는 기능을 하는 것으로서, 패널상의 먼지와 그리스 또는 다른 오염물 등을 제거하여 높은 청정도를 유지할 필요가 있으며, 이로 인하여 패널은 섀도우 마스크와 조립되기 전의 프로세스 중에 수차례에 걸친 표면처리와 산성 용액 내에서의 세정과 디오나이즈드 용수(Deionized water) 등에 의한 린스 및 건조와 같은 과정을 거치게 된다. 이 과정을 거친 패널은 클린부스내에서 검사과정을 거치게 되는데, 이와 같은 종래의 전형적인 브라운관 패널 검사용 클린부스(Booth)장치는 제1도에 도시된 바와 같이, 외부와 차단되어 소정의 밀폐된 공간을 이루는 실내로 된 클린부스는 그 내부에 설치된 차단막(10)에 의해 상층부(U)와 하층부(D)로 구분되어지며, 상기 상층부(U)에는 메디움(Medium) 또는 헤파 필터(Hapa filter:11)가 설치되어 있고, 상기 상층부(U)의 외측에는 팬 모터(M)가 설치되어 있어서, 이 팬 모터(M)에 의해 클린 룸의 공기를 흡입하고 메디움(Medium) 또는 헤파 필터(Hapa filter ; 11)를 이용하여 층류를 형성함으로써 클린 Q부스내의 공기를 가라앉혀 하부로 빠져나가게 하며, 이와 같은 반복순환작용에 의해 클린 룸내의 청정도를 지속적으로 유지하는 구조로 되어 있다. 도면에 표시된 화살표는 공기의 흐름을 나타낸 것이다.The panel of the CRT is assembled with a shadow mask, and then goes through a series of manufacturing processes to stimulate the phosphors by the electron beam to emit light from the front of the panel.It removes dust, grease or other contaminants on the panel to achieve high cleanliness. This allows the panel to undergo several processes during the process prior to assembly with the shadow mask, cleaning in acidic solutions, rinsing and drying with deionized water, etc. do. The panel undergoes the inspection process in the clean booth, and this conventional conventional CRT booth apparatus for inspecting the CRT panel is blocked from the outside and is closed in a predetermined enclosed space as shown in FIG. The indoor clean booth is divided into an upper layer U and a lower layer D by a blocking film 10 installed therein. The upper layer U has a medium or a hepa filter. ) And a fan motor (M) is provided outside the upper layer portion (U). The fan motor (M) sucks air in a clean room, and a medium or hepa filter; By forming laminar flow using 11), the air in the clean Q booth is settled to escape to the lower part, and it is structured to maintain the cleanliness in the clean room continuously by such repeated circulation action. Arrows shown in the figure indicate the flow of air.

그러나, 종래에 이와 같은 브라운관 패널 검사용 클린부스장치는 걸러줄 먼지 입자의 양에 따라 그 성능이나 필터의 교환주기가 크게 좌우되어, 외부 공기가 다소 혼탁한 곳이지만 부분적으로 청정상태가 요구되어지는 곳에서는 클린부스만 독자적으로 사용해서는 그 성능을 효과적으로 발휘하기가 어렵고 또 필터의 빈번한 교환으로 인하여 비용이 증가하는 등의 문제점이 있었다.However, such a clean booth device for inspecting a CRT panel is largely dependent on the performance and the replacement cycle of the filter depending on the amount of dust particles to be filtered. There is a problem in that the clean booth alone cannot be used effectively, and the cost increases due to frequent replacement of filters.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 외기가 혼탁한 곳에서의 국소청정이 가능한 클린부스장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a clean booth device capable of local cleaning in a place where the outside air is cloudy, in view of the above problems.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 클린부스장치는, 외부와 차단되어 소정의 밀폐된 공간을 이루는 부스와, 상기 부스는 그 내부에 설치된 차단막에 의해 상층부와 하층부로 구분되어지며, 상기 상층부에는 외부로부터 공기를 흡입하여 상기 부스내에 공급하는 동시에 이 공기를 상기 부스내에서 강제 순환시키는 팬 모터와 상기 부스내에 흡입된 공기의 불순물을 걸러주는 필터가 설치되어 있는 클린부스장치에 있어서, 상기 하층부는 차단막에 의해 차단되어 각각 별개의 독립된 공간을 이루는 제1독립분실 및 제2독립분실로 이루어진 점을 특징으로 하고 있다.Clean booth device of the present invention for achieving the above object, the booth is blocked from the outside to form a predetermined closed space, the booth is divided into an upper layer and a lower layer by a blocking film installed therein, the upper layer In a clean booth device provided with a fan motor that sucks air from the outside and supplies it to the booth and forcibly circulates the air in the booth, and a filter for filtering impurities in the air sucked into the booth. It is characterized by being composed of a first independent and a second independent chamber which is blocked by the barrier film to form a separate and independent space, respectively.

상기 본 발명의 클린부스장치에 있어서, 상기 제1독립분실 및 제2독립분실의 상기 상층부와 접하는 차단막의 각 중앙부에는 상기 필터에 의해 걸러진 공기를 상기 제1독립분실 및 제2독립분실로 각각 분사시켜주는 공기 분사장치가 설치되어 있는 것이 바람직하며, 상기 제1독립분실의 분사장치는 상기 제2독립분실의 분사장치보다 공기를 분사하는 그 세기가 강한 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제1독립분실 및 제2독립분실의 각 일측에는 외부로부터의 공기흐름을 방지하기 위한 외부공기 유입 차단수단이 설치되어 있는 것이 바람직하며, 또한 상기 제1독립분실 및 제2독립분실 사이의 차단막 하부 중앙부에는 상기 제1독립분실 및 제2독립분실로 유입되어 배출되는 공기를 걸러주는 필터가 설치되는 것이 바람직하다.In the clean booth apparatus of the present invention, the air filtered by the filter is sprayed into the first independent chamber and the second independent chamber, respectively, at each central portion of the barrier membrane contacting the upper layer of the first independent chamber and the second independent chamber. It is preferable that an air injector is provided, and the injector of the first independent chamber is preferably stronger than the injector of the second independent chamber. In addition, it is preferable that an outside air inlet blocking means is provided at each side of the first independent chamber and the second independent chamber to prevent air flow from the outside, and between the first independent chamber and the second independent chamber A filter for filtering air discharged into and discharged from the first independent chamber and the second independent chamber is installed at the lower center of the barrier layer.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제3도는 본 발명에 의한 클린부스의 개략적 평면도이며, 제4도는 제3도의 정면도이고, 제5도는 제3도의 측면도를 나타내 보인 것이다. 도면에 표시된 화살표는 공기의 흐름을 나타낸 것이다. 제3도 내지 제5도를 참조하면, 본 발명에 의한 클린부스장치는 외부와 차단되어 소정의 밀폐된 공간을 이루는 부스(B)가 그 내부에 설치된 차단막(a)에 의해 상층부(U)와 하층부(D)로 구분되어지며, 상기 상층부(U)에는 외부로부터 공기를 흡입하여 상기 부스(B)내에 공급하는 동시에 이 공기를 상기 부스(B)내에서 강제 순환시키는 팬 모터(M)와 이 팬 모터(M)에 의해 상기 부스내에 흡입된 공기의 불순물을 걸러주는 필터(F)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 하층부(D)는 차단막(b)에 의해 차단되어 각각 별개의 독립된 공간을 이루는 제1독립분실(A) 및 제2독립분실(B)로 이루어지며, 상기 제2독립분실(B)에서는 소정의 청정도를 유지하면서 필요한 프로세스를 행할 수 있게 된다. 상기 제2독립분실(A) 및 제2독립분실(B)의 상기 상층부(U)와 접하는 차단막(a)의 각 중앙부에는 상기 필터(F)에 의해 걸러진 공기를 상기 제1독립분실(A) 및 제2독립분실(B)로 각각 분사시켜 주는 공기 분사장치인 노즐(N1)(N2)이 각각 설치되어 있는데, 상기 제1독립분실(A)의 노즐(N1)은 상기 제2독립분실(B)의 노즐(N2)보다 공기를 분사하는 그 세기가 강한 것이 설치되어 있다. 또한, 상기 제1독립분실(A) 및 제2독립분실(B)의 각 일측에는 외부로부터의 공기흐름을 방지하기 위한 외부 공기 유입을 차단하기 위한 에어커턴(C)(C')이 설치되어 있으며, 제1독립분실(A) 및 제2독립분실(B) 사이의 차단막(b) 하부 중앙부에는 상기 제1독립분실(A) 및 제2독립분실(B)로 유입되어 배출되는 공기를 걸러주는 필터(F)가 설치되어 있는 구조로 되어 있다.3 is a schematic plan view of a clean booth according to the present invention, FIG. 4 is a front view of FIG. 3, and FIG. 5 is a side view of FIG. Arrows shown in the figure indicate the flow of air. Referring to FIGS. 3 to 5, the clean booth device according to the present invention has an upper layer portion U formed by a shielding film a provided therein with a booth B interposed from the outside to form a predetermined closed space. It is divided into a lower layer (D), the upper layer (U) and the fan motor (M) for sucking air from the outside to supply to the booth (B) and forcibly circulating the air in the booth (B) and the The filter F which filters the impurity of the air sucked in the said booth by the fan motor M is provided. The lower layer part D is formed of a first independent chamber A and a second independent chamber B, which are blocked by the blocking film b to form separate and independent spaces, respectively. In this manner, the necessary process can be performed while maintaining a predetermined cleanliness level. Air filtered by the filter F is disposed at each central portion of the blocking film a in contact with the upper layer U of the second independent chamber A and the second independent chamber B. And nozzles N1 and N2, which are air injectors that respectively inject into the second independent chamber B, the nozzle N1 of the first independent chamber A is the second independent chamber (B). It is provided that the strength which injects air is stronger than the nozzle N2 of B). In addition, each side of the first independent chamber (A) and the second independent chamber (B) is provided with an air curtain (C) (C ') for blocking the outside air inlet for preventing the air flow from the outside The lower center of the blocking film (b) between the first independent chamber (A) and the second independent chamber (B) filters the air introduced into and discharged from the first independent chamber (A) and the second independent chamber (B). The main structure has a structure in which the filter F is provided.

이와 같이 구성된 본 발명의 클린부스장치는, 팬 모터(M)를 작동시키면, 팬 모터(M)의 흡인력에 의해 외부로부터 공기를 흡입하여 필터(F)쪽으로 유입시키고, 이 유입된 공기가 필터(F)를 통과하는 동안에 공기에 포함되어 있는 먼지 입자들이 걸러져서 보다 청정한 상태로 되어 제1독립분실(A) 및 제2독립분실(B)로 유입된다. 이와 같이하여 유입된 청정공기는 그 흐름상 부스(B)내의 제1독립분실(A) 및 제2독립분실(B)의 하부로 가라앉게 되며, 강제 순환의 흐름에 의해 상기 제1독립분실(A) 및 제2독립분실(B) 사이의 차단막(b) 하부 중앙부에 설치된 리턴 필터(RF)가 이를 빨아들이게 되어 이 필터에 의해 걸러진 공기는 다시 팬 모터로 유입된다. 그리고, 상기 제1독립분실(A)은 상기 제2독립분실(B)보다 상대적으로 그 실내압이 고압으로 되어, 상기 제2독립분실(B)의 실내압도 대기압보다 높은 실내압을 가지므로, 상기 제1독립분실(A) 및 제2독립분실(B)의 각 일측에는 에어커턴(C)(C')을 설치하여 외부로부터의 공기흐름을 방지할 수 있게 된다.In the clean booth device of the present invention configured as described above, when the fan motor M is operated, air is sucked from the outside by the suction force of the fan motor M, and the air is introduced into the filter F. During the passage of F), the dust particles contained in the air are filtered to become a cleaner state and flow into the first independent chamber A and the second independent chamber B. The clean air introduced in this way sinks to the lower part of the first independent chamber A and the second independent chamber B in the booth B, and the first independent chamber ( The return filter RF installed in the center of the lower portion of the blocking film b between A) and the second independent chamber B sucks it in, and the air filtered by the filter flows back into the fan motor. In addition, the first independent chamber A has a higher internal pressure than the second independent chamber B, and the indoor pressure of the second independent chamber B also has a higher internal pressure than atmospheric pressure. On each side of the first independent chamber (A) and the second independent chamber (B) is installed an air curtain (C) (C ') it is possible to prevent the air flow from the outside.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 클린부스장치는 외부공기가 혼탁한 경우에 있어서의 국소청정을 위한 청정도 유지의 효과를 더욱 높일 수 있고, 이로 인하여 필터의 교환주기를 최소화하여 비용을 절감할 수 있는 장점을 가지는 효과적인 방법이다.As described above, the clean booth device according to the present invention can further increase the effect of maintaining cleanliness for local cleaning in the case where the external air is turbid, thereby minimizing the filter replacement cycle and reducing costs. It is an effective way to have the benefits.

Claims (7)

외부와 차단되어 소정의 밀폐된 공간을 이루는 부스와, 상기 부스는 그 내부에 설치된 차단막에 의해 상층부와 하층부로 구분되어지며, 상기 상층부에는 외부로부터 공기를 흡입하여 상기 부스내에 공급하는 동시에 이 공기를 상기 부스내에서 강제 순환시키는 팬 모터와 상기 부스내에 흡입된 공기의 불순물을 걸러주는 필터가 설치되어 있는 클린부스장치에 있어서, 상기 하층부는 차단막에 의해 차단되어 각각 별개의 독립ㄷ한공간을 이루는 제1독립분실 및 제2독립분실로 이루어진 것을 특징으로 하는 클린부스장치.The booth is cut off from the outside to form a predetermined closed space, and the booth is divided into an upper layer part and a lower layer part by a blocking film installed therein, and the upper layer part sucks air from the outside and supplies the air into the booth, A clean booth device having a fan motor forcibly circulating in the booth and a filter for filtering impurities in the air sucked into the booth, wherein the lower layer is blocked by a blocking film to form a separate independent space. Clean booth device, characterized in that consisting of one independent and second independent chamber. 제1항에 있어서, 상기 제1독립분실 및 제2독립분실의 상기 상층부와 접하는 차단막의 각 중앙부에는 상기 필터에 의해 걸러진 공기를 상기 제1독립분실 및 제2독립분실로 각각 분사시켜 주는 공기 분사장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 클린부스장치.The air injection of claim 1, wherein the air filtered by the filter is injected into the first independent chamber and the second independent chamber at each central portion of the barrier layer contacting the upper layer of the first independent chamber and the second independent chamber. Clean booth device, characterized in that the device is installed. 제2항에 있어서, 상기 제1독립분실의 분사장치는 상기 제2독립분실의 분사장치보다 공기를 분사하는 공기 분사력이 강한 것을 특징으로 하는 클린부스장치.The clean booth apparatus according to claim 2, wherein the injector of the first independent chamber has a stronger air blowing force for injecting air than the injector of the second independent chamber. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 공기 분사장치는 노즐인 것을 특징으로 하는 클린부스장치.The clean booth apparatus according to claim 2 or 3, wherein the air injector is a nozzle. 제1항에 있어서, 상기 제1독립분실 및 제2독립분실의 각 일측에는 외부로부터의 공기흐름을 방지하기 위한 외부공기 유입 차단수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 클린부스장치.The clean booth apparatus according to claim 1, wherein external air inflow blocking means is provided at each side of the first independent chamber and the second independent chamber to prevent air flow from the outside. 제5항에 있어서, 상기 외부공기 유입 차단수단은 에어커턴인 것을 특징으로 하는 클린부스장치.The clean booth device according to claim 5, wherein the external air inflow blocking means is an air curtain. 제1항에 있어서, 상기 제1독립분실 및 제2독립분실 사이의 차단막 하부 중앙부에는 상기 제1독립분실 및 제2독립분실로 유입되어 배출되는 공기를 걸러주는 필터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 클린부스장치.The method of claim 1, wherein a filter for filtering air introduced into and discharged from the first independent chamber and the second independent chamber is installed at a central portion of the lower barrier between the first independent chamber and the second independent chamber. Clean booth device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100766461B1 (en) * 2001-07-16 2007-10-15 씨앤지하이테크 주식회사 A semiconductor wafer cleaning apparatus for preventing the occurrence of turbulence in a chamber

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