KR0156595B1 - 부식성 대기 환경을 위한 전기용량성의 근접감시 장치 - Google Patents

부식성 대기 환경을 위한 전기용량성의 근접감시 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR0156595B1
KR0156595B1 KR1019940002925A KR19940002925A KR0156595B1 KR 0156595 B1 KR0156595 B1 KR 0156595B1 KR 1019940002925 A KR1019940002925 A KR 1019940002925A KR 19940002925 A KR19940002925 A KR 19940002925A KR 0156595 B1 KR0156595 B1 KR 0156595B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
conductive plastic
target
medium
sensing element
monitoring device
Prior art date
Application number
KR1019940002925A
Other languages
English (en)
Other versions
KR940020521A (ko
Inventor
알. 콜린즈 티모디
티. 시노크 로벗
시. 그랜트 로벗
티. 해밀턴 딘
Original Assignee
스탠 게이어
플루오로웨어, 아이엔시
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스탠 게이어, 플루오로웨어, 아이엔시 filed Critical 스탠 게이어
Publication of KR940020521A publication Critical patent/KR940020521A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0156595B1 publication Critical patent/KR0156595B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
    • G01P13/0006—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement of fluids or of granulous or powder-like substances
    • G01P13/0013—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement of fluids or of granulous or powder-like substances by using a solid body which is shifted by the action of the fluid
    • G01P13/002—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement of fluids or of granulous or powder-like substances by using a solid body which is shifted by the action of the fluid with electrical coupling to the indicating devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
    • G01F1/22—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters
    • G01F1/24—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters with magnetic or electric coupling to the indicating device
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/26—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields
    • G01F23/263—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields by measuring variations in capacitance of capacitors
    • G01F23/265—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields by measuring variations in capacitance of capacitors for discrete levels
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/26—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields
    • G01F23/263—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields by measuring variations in capacitance of capacitors
    • G01F23/268—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring variations of capacity or inductance of capacitors or inductors arising from the presence of liquid or fluent solid material in the electric or electromagnetic fields by measuring variations in capacitance of capacitors mounting arrangements of probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
    • G01M3/18—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/183—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for pipe joints or seals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
    • G01M3/18—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/184—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for valves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
    • G01M3/18—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/186—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
    • G01P13/0006—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement of fluids or of granulous or powder-like substances
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
    • G01P5/08—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring variation of an electric variable directly affected by the flow, e.g. by using dynamo-electric effect
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/5762—With leakage or drip collecting
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8158—With indicator, register, recorder, alarm or inspection means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Weting (AREA)
  • Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
  • Valve Housings (AREA)

Abstract

부식성 대기 환경에 대한 정전 용량 근접 감시장치이다. 부식성 대기 환경에 배치되며 그러한 부식성 대기 환경에 내성이 있는 도전성 플라스틱으로 제조되는 용량 전계소자 또는 감지소자로 이루어진다. 전계소자는 감지되는 액체의 출현에 관하여 기능을 실행하는 기능적 장치의 기능적 부분이며; 어떤 경우 전계소자는 액체에 관해 무기능적이나, 기능적이며 용량을 감지하여 액체의 출현이나 결여를 산정한다.

Description

부식성 대기 환경을 위한 전기용량성의 근접감시 장치
제1도는 본 발명이 안에 존재하는, 부식성 대기 환경을 설명하는 일부의 처리장비와 도관의 사시도이다.
제2도는 제1도의 장치의 빼닫이서랍의 내측의 사시도로서 부식성 대기 환경의 있음직한 근원을 상세하게 보이며 또한 본 발병의 특정사용을 설명하는 그림이다.
제3도는 서브프로어 화학약품 공급관과 그에 대한 보호도관 및 화학약품 공급관용의 특정 피팅을 내포하는 접속상자(junction box)의 확대사시도이다.
제4도는 화학약품 공급관용의 T 형 피팅, 절개하여 상세단면으로 보이는 피팅의 부분, 및 도식으로 또한 설명하는 본 발명의 감시장치의 확대입면도이다.
제5도는 도전성 플라스틱 전계소자(field element)에 밀봉된 접속와이어를 보이는 확대 상세 단면도이다.
제6도는 본 발명의 변경형태와, 그리고 본 발명의 편입하고 있는 밸브의 설명도이다.
제7도는 본 발명의 또 다른 변경형태와, 그리고 본 발명을 편입하고 있는 액체 유량계의 설명도이다.
제8도는 제7도의 8-8에서 대략 그린 상세단면도이다.
제9도는 본 발명의 또 다른 변경형태의 사시도이며 그에 웨이퍼 캐리어가 지지돼 있으며 또 본 발명을 편입하고 있는 플랫폼의 설명도이다.
제10도는 제1도의 처리장비의 캐니스터 콘솔(canister console)의 도식적 사시도로서, 부분절개하여 그의 내부를 보이는 그림이다.
제11도는 화학약품 공급관에 대한 특정 피팅을 내포하는 접속상자에 적용된, 본발명의 변경형태의 상세사시도이다.
제12도는 제11도의 12-12에서 대략 그린 확대 상세 단면도이다.
제13도는 제11도의 13-13에서 대략 그린 확대 상세 단면도이다.
제14도는 제12도에 보인 전기접속들의 부분들을 보이는 확대 상세 단면도이다.
제15도는 밸브에 적용될 때의 본발명의 변경형태의 그림이다.
제16도는 제15도의 밸브에 적용될 때의 본발명의 변경형태의 상세 단면도이다.
제17도는 액체 유량계에 적용될 때의 본 발명의 변경형태의 그림이다.
제18도는 밸브 장치의 확대 상세 단면도로서 본 발명의 변경형태를 보이는 그림이다.
제19도는 제18도의 19-19에서 대략 그린 재확대 상세 단면도이다.
제20도는 밸브에 적용될 때의 본 발명의 또 다른 변경형태의 그림이다.
제21도는 제20도의 본 발명의 형태의 확대 상세 단면도로서 그의 상세를 보이는 그림이다.
제22도는 제21도의 22-22에서 사실상 보인 파선을 따라 그린 확대 상세 단면도이다.
제22A도는 제22도의 22A-22A에서 대략 그린 확대 상세 단면도이다.
제23도는 제21도에 보인 장치의 일 부분을 크게 확대한 상세 단면도이다.
제24도는 공급 드럼 또는 탱크에 적용될 때의 본 발명의 변경 형태의 상세 사시도이다.
제25도는 제24도의 25-25에서 대략 그린 확대 상세 단면도이다.
제26도는 제24도와 제25도에 보인 본 발명의 형태 상에 변형을 함유하는, 본 발명의 또 하나의 변경형태의 그림이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 처리장치 11 : 부식성 대기 환경
15 : 탱크 또는 드럼 16 : 피팅(fittings)
17 : 배관 18 : 탱크 뚜껑
20 : 빼닫이(서랍) 21 : 밸브
22 : T 피팅 22.1: 개방내부 또는 대상지역
23 : 유량계 25 : 격실
26 : 마루 27 : 공급관
28 : 보호도관 29 : 접속상자 또는 하우징
30 : 감시장치 30.5: 감시장치
31 : 액체 32 : 전압공급 및 전류감지회로수단
33 : 정전용량 근접 스위치 35 : 도선 케이블
36 : 동축 케이블 37 : 감지소자
39 : 넛 40.5 : 감지전계
42 : 절연재 43 : 접지된 차폐 도선부
48 : 제어기 49 : 청각 경보기
53 : 공간 55 : 밸브시트
57 : 다이어프램 59 : 밸브보디
64 : 밸브스템 66,67 : 유량계 보디부
68 : 관측튜브 71 : 니들 밸브
74 : 금속 안내로드(안내수단) 76 : 고정 넛
77,78 : 전계소자 80 : 웨이퍼 캐리어
82 : 플랫폼 83 : 로드
84 : 가이드 레일 121 : 밸브
130.1 : 감시장치 157 : 밸브다이어프램
160 : 플라스틱 리테이너링 164 : 제2의 도전성 감지소자
164.1 : 클램핑장치 323 : 유량계
330.2 : 감시장치 368 : 관측튜브
377,377-1 : 감지소자 429 : 접속상자
430 : 감시장치 530.4 : 감시장치
515 : 드럼또는 탱크 586,586.1,588,588.1 : 감지소자
621,721 : 밸브 657 : 다이어프램
659, 759 : 밸브하우징 666 : 감지탐침
667 : 리테이너 669,670 : 감지소자
671 : 절연스페이서 733 : 회로수단
762 : 리테이너컵
본 발명은 반도체 생산중 회로칩에 반도체 웨이퍼를 넣을 때 마주칠 수 있는 높은 부식성 대기 환경에 반드시 있어야되는 장비로 감시장치에 관한 것이다.
특히 반도체 산업에 있어서는, 그리고 다른 산업들에서도 마찬가지로, 처리기기는, 처리기기나 처리기기 인접에 실재하는 부식성 대기 환경으로 인하여 극단으로 가혹한 조건에 봉착하게 된다. 그러한 부식성 대기 환경은, 특히 그러한 감시장치에 전통적으로 사용되는 금속이, 장비의 실용수명에 걸쳐 안전하게 효율적으로 작동될 수 있게 장기간 부식성 환경에서 확실하게 견디어낼 수 없기 때문에, 장비의 감시를 어렵게 한다.
부식성 대기 환경은, 반도체 산업에 사용이 승인돼 있는 일 이상의 위해한 화학약품에 의해 생겨나며, 액체나 가스의 형태로, 단독으로 또는 타의 그러한 화학약품과 화합하여 존재한다. 그러한 화학약품의 일부목록은 하기와 같이 밝혀진 것들을 포함하고 있다.
에탄산(Acetic Acid) 아세톤
불화 암모늄 수산화 암모늄
주석산 안티모니 칼륨 초산 암모늄 세륨
초산 암모늄 세륨 콜린
EKC 103-포토리지스트 스트리퍼 에틸렌 글리콜
염화 제2철 염화수소 산
불화수소 산 과산화 수소
IPA-이소프로필 알코올 메탄올
n-부틸 이세테이트 초산(Nitric Acid)
PBR 1 인산
페로시안화 칼륨 수산화 칼륨
수산화 나트륨 황산
탄닌산 TMAH-수산화 테트라메틸암모늄
이들 각종의 화학약품들은 처리기기로 이송되어야 하며, 이를 위하여, 액체 운반 장치들이 치환가능의 공급탱크로부터 액체 화학약품을 퍼올려 조절하는 장소를 통해 그리고 임시저장설비를 통해 화학약품들은 처리장소에서 쉽게 사용할수 있게 운반된다. 물론, 그러한 액체 화학약품 운반장치들은 파이프와 튜브, 밸브와 피팅, 때로는 필터와 유량계, 그리고 관련 장치들을 필연적으로 포함하게 되며, 모두가 화학약품에 내성이 있는 플라스틱으로 돼 있다. 물론, 어떤 기계류는 잠재적인 누설이 불가피 하며, 그러한 누설은 반도체 웨이퍼나 기타 모든제품 그리고 처리기기 및 운반장치들을 관리 유지하여야만 하는 사람에게도 또한 대단히 위해한 상태를 생기게 할 수가 있다.
정전용량 근접 스위치 따위의 장치들이 액체나 물체의 실재를 결정(determining)하기 위해 특정의 안전환경에 성공적으로 사용돼 왔고, 작동회로와 근접 스위치로부터 원격의 판금 센서들을 사용하였으나, 그러한 정전용량 근접 장치들은 신빙성의 부족으로 인하여 부식성 환경에는 성공적으로 사용되지 못했다.
따라서, 본 발명의 목적은 부식성 대기 환경에 실재하는 대상지역 내의 대상매체의 전기적 특성을 확실하게 감지하는 감시장치를 제공함에 있는 것이다. 상기 대상매체는, 그의 존재 유 무가 데상지역에 정해지는 액체나 또는 고형물이어도 좋다. 대상매체의 전기적 특성, 즉, 정전용량이나 저항은 그러한 대상매체가 그의 안팎으로 이동하는 대상지역의 공기나 다른 유체 주위 매체와 분명하게 다르다. 대상지역과 대상매체를 에워 싸는 부식성 대기 환경은 산, 염기, 또는 타의 화학약품 등의 증기를 함유하고 있다.
본 발명의 특징은, 대상지역과 대상매체를 에워 싸는 부식성 대기 환경에 내성이 있는 도전성 플라스틱으로 된 감지소자(sensing element)의 이용이다. 도전성 플라스틱 감지소자는, 어떤 경우의 적용에 있어서도 감지소자에 닿는 산이나 염기 또는 타의 화학약품에 내구성이 있다. 그러한 도전성 플라스틱은 플라스틱에 탄소를 포함시키거나 플라스틱에 철 입자를 첨가하여 도전성을 띠게 된다.
본 발명의 또 다른 특징은, 대상지역의 매체의 전기용량 변화를 감지할수있게 대상지역에 감지전계(sensing field)를 발사하고, 전류의 미세한 변화를 감지할 수 있는 회로수단과 공동으로 그러한 도전성 플라스틱 감지소자를 사용하는 것이다. 대상매체가 대상지역 내로 이동하는 경우, 회로수단의 전류의 변화는, 대상매체의 존재를 알려주는 신호를 발생시킨다. 대상매체는 도전성 플라스틱 감지소자를 실제로 교접할 수도 있고 교접하지 않을수도 있다. 단 하나의 감지소자가 대상지역에 인접하는 경우, 대상지역의 대상매체의 존재 유 무에 의해 유기된 대상지역의 전기용량의 변화를 전류가 실제로 지시하는 것으로 믿어진다.
본 발명의 또 하나의 특징은, 대상지역에 인접하여 회로수단에 접속되고, 감지소자들의 사이에 그리고 대상지역의 적어도 일부를 통해, 감지전계를 발사하는 한쌍의 도전성 감지소자의 사용이다. 대상매체가 대상지역에 존재하는 경우 회로수단에 의해 검출된다. 검출된 지시는, 단지 단일의 도전성 플라스틱 소자가 목표지대에 인접하고 있는 곳보다 사실상 더 세다. 대상매체가 실제로 도전성 플라스틱 감지소자 사이에 걸쳐 있어 그 양자를 교합하는 적용에 있어서, 회로수단은 대상지역의 대상매체의 존재를 나타내는 같은 지시를 나타낸다.
본 발명의 부가적인 특징은, 밸브나 또는 배관용 커플링과 같은 기능적인 기기에, 기능적 부분으로 이바지하는 도전성 플라스틱 감지소자를 설치하여, 대상지역에 감지전계를 발사하여 대상매체 즉, 기능적기기에 액체흐름이 있을 때 대상지역의 전기적 특성의 변화를 검출하게 되는 것이다.
본 발명의 또 다른 특징은, 도전성 플라스틱 감지부들 사이에 감지전계를 가진 대상지역에 직면하거나 또는 대상매체에 직면하거나 교합하게, 전기적으로 절연하는 플라스틱 부분과 완전체로 또는 단일의 편으로 형성되는 한쌍의 도전성 플라스틱 감지소자이다. 대상매체는, 도전성 플라스틱 감지부들 사이를 통하게 도전성 및 절연의 플라스틱 부를 교합할 수도 있다.
도전성 플라스틱 감지소자(또는 소자들)가 접속돼 있는 회로수단은 부식성 분위기환경 밖에 위치되어 있고 또 도전성 플라스틱 감지소자에 밀봉 접속된 동축 케이블에 의해 접속돼 있다. 회로수단은 대상지역의 대상매체의 존재 유 무로서 검출된, 전류 변화의 지시를 산출하도록 미국 커네티컷 브룩필드의 고든 프로덕츠 사가 제조 판매하는 형식의 정전용량 근접 스위치 따위의 전류 감지수단을 사용하고 있다. 그러한 감지수단은 대상매체, 액체나 고체가 하나 또는 양 도전성 플라스틱 감지소자 하나 또는 양자를 실제로 교합하고 있거나 또는 그러한 소자를 간격을 두고 단순히 대면하고있거나를 불구하고 유용하다.
감지소자와 케이블 외장(外裝)에 사용되는 플라스틱은 부식성 환경의 화학약품에 내성이 있으며, 일련의 적당한 플라스틱, 특히 폴리비닐리딘 플루오르화물(PVDF), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 및 페르플루오로알콕시(PFA, Teflonⓡ)로 확인된 것들의 어느 것으로 이루어져도 좋다.
일 실시양태에 있어서, 튜브 중의 액체의 존재 또는 결여가 결정되게 된다. 도전성 플라스틱 감지소자는, 대상지역을 함유하고 있는 배관의 내부로 적어도 부분적으로 연장하는 감지전계를 만들어 내도록, 튜브 커플링으로 이루어지고 있다. 감지전계에 관련하는 전류는, 액체 대상매체가 없는때 배관의 공기나 가스와 대비하여 액체 대상매체가 존재하는 때 변화하여, 그에의해 대상매체의 존재 유 무를 가리키는 표시를 산출하는 것이다.
또 다른 실시양태에 있어서는, 도전성 플라스틱 전계소자가 특정조건하에서 대상 액체를 실제로 교합할수도 있고, 액체가 그 전계소자에 닿고 있을 때 그러한 감시장치의 일부로서, 지시하게 된다. 한 예가, 부식성 분위기 환경에 실재하는 다이어프램 밸브인데, 그 밸브 하우징이 대상지역을 구성하고, 누설액체가 대상매체를 구성하며 밸브 하우징의 공기나 가스가 주위매체를 구성한다. 다이어프램을 위치에 보지하여 보통 어떤 액체에도 닿지않는, 리테이너 링이 도전성 플라스틱 감지소자를 구성한다. 다이어프램 둘레의 누설이나 다이어프램의 파열의 경우, 리테이너링이나 감지소자가 누설액체에 의해 닿게 되며, 이때, 감시장치가 정전용량의 변화를 감지하게 되어 그러한 액체의 누설로서 해석될 수 있는 변화된 상태를 표시하게 된다.
그러한 다이어프램 밸브에 있어서, 감시장치는 보통, 밸브 또는 밸브시트 인접의 흐름경로의 액체의 존재 유 무를 택일로 결정하도록 조정된 그의 감도계수(sensitivity)를 가져도 좋다.
그러한 다이어프램 밸브에 있어서, 다이어프램과 완전체의 플라스틱 슬리브 내에 거의 완전히 둘러 싸인 도전성 밸브 스템은, 한 판의 컨덴서나, 도전성 플라스틱 리테이너 링에 의해 수립되는 다른 판, 또는 감지소자를 형성하게, 회로수단에 또한 접속되어도 좋다. 둘의 컨덴서 판은 대상지역의 그들 사이에 감지전계를 만들어 낸다.
전기적 특성을 가지어 존재하는 때 대상매체를 형성하는, 누설 액체는 양 컨덴서 판을 교합하지는 않지만, 판들 사이의 정전용량을 변화시키며, 따라서 회로수단의 전류의 변화와 대상매체, 즉, 누설액체의 존재의 표시를 산출하는 것이다. 회로수단의 전류의 변화는, 둘의 컨덴서 판이나 감지소자를 사용하는 경우, 상기에 언급한 바와 같이 단일의 도전성 플라스틱 감지소자를 사용함에 비해 6 내지 8배 크다는 것을 경험하였다. 게다가, 도전성 플라스틱 리테이너 링이나, 또는 감지소자를 동축 케이블의 접지된 실드(shield)에 접속하는 한편, 밸브스템은 케이블의 신호전달 중심선에 접속하는 것이 바람직한 것도 알았다. 이런 배열은 밸브의 하우징이나 플라스틱 덮에 닿는 사람의 손 따위 외부의 영향의 결과를 최소화한다.
그러한 밸브의 또 다른 배열에 있어서는, 다이어프램을 위치에 보지하는 리테이너 링은, 감지소자들을 형성하는 둘의 도전성 플라스틱 부가 비도전성 플라스틱 부에 의해 떨어져 간격을 두고 완전체로 성형되는, 복합형성을 가질 수가 있다. 감지전계는 감지소자들 사이에, 그리고 인접하는 대상지역에 만들어진다. 누설액체, 즉, 대상매체가 지대에 존재하면, 감지소자들과 회로수단의 전류가 변화된다.
만약 누설액체가 도전성 플라스틱부 들이나 감지소자 사이를 넘어 실제로 걸쳐 있으면, 누설액체나 대상매체를 통한 전류가 생기어 회로수단의 전류에 변화를 주게 되는 것이다.
또 다른 형식에 있어서는, 부식성 환경에 내구력 있는 도전성 플라스틱 전계소자는, 대상지역인 관측튜브(sight tube) 내의 매체를 감지할 수 있게 유량계의 플라스틱 조준관에 부착되게 된다. 이 형식에 있어서, 대상매체는, 관측튜브의 이동가능한 부유물(float)이나 강제되는 소자로 이루어지고 있고, 관측튜브의 타의 주위 매체, 즉, 흐르는 액체와, 다른 전기적 특성을 가진다. 부유물, 또는 대상매체가 관측튜브의 상향으로 감지소자의 수준에 이동하는 경우, 부유물이 감지소자 인접의 용량의 변화하여, 감시장치는 특정 액체 유량으로서 해석되게 되는 상황의 변화를 표시한다.
또 하나의 변종에 있어서는, 회로수단에 각기 접속되어 그들 간에 감지전계를 발생하는 한 쌍의 도전성 플라스틱 감지소자가 관측튜브의 반대측들에 위치되어 부유물 또는 대상매체가 감지소자들 간의 대상지역 내로 이동하는 때 전류변화를 사실상 더 나타내게되는 더 민감한 감시장치를 창출하고 있다.
마찬가지로, 처리액체를 내포하는 처리기기의 부분이기도 한 플라스틱 탱크는, 탱크가 존재하는 부식성 대기 환경을 견딜 도전성 플라스틱 전계소자를 담지하게 되며, 대상액체, 또는 대상매체의 탱크내의 수준을 결정할 그러한 감시장치의 일부일수도 있다.
그러한 플라스틱 탱크는 탱크나 대상지역의 내부에 적어도 부분적으로 연장하는 그들 사이에 감지소자들을 창출하게, 탱크벽 상에 옆으로 나란히 한쌍의 도전성 플라스틱 감지소자를 담지하여도 좋다. 액체, 즉, 대상매체의 수준이 탱크에 도전성 플라스틱 감지소자들과 근접하여 오르는 경우, 그 안과 회로수단의 전류들은 변화하게 되어 감지소자에 인접하는 액체를 나타내게 된다.
탱크가 금속이고 보호 플라스틱 라이닝을 가지고 있는 경우, 도전성 플라스틱 감지소자들은 탱크의 액체에 인접하여 감지전계를 발생하게, 탱크의 내측에 위치되어도 좋다.
화학약품을 송달하는 튜브와 파이프 등을 넣는 보호 도관 용접속상자들은 그러한 감지소자들이 플라스틱 탱크나 드럼에 부착돼 있는 것과 사실상 같은 방법으로, 집합된 누설액체의 존재 또는 수준을 결정하게 부착되어 기능하는 도전성 플라스틱 감지소자들을 가져도 좋다.
본 발명의 또 하나의 특징은, 대상지역의 밸브 따위의 기기에 삽입하여, 인접하는 주위 매체의 전기적 특성을 감지하고, 또한 대상지역 내로 이동하게 되는 대상매체의 전기적 특성을 감지하게 되는 탐침인 것이다. 그러한 탐침은 절연 플라스틱 소자들에 의해 분리된, 모두는 부식성 대기 환경과 내성이 있는 동심의 도전성 플라스틱 감지소자들이 있는 끝 부분을 가지고 있고, 플라스틱으로 형성되어 있으며, 또 도전성 및 비도전성의 동심 플라스틱 소자들은 모두 상호완전체로 그리고 단일의 편으로 형성되어 중심의 와이어부와 동축케이블의 접지된 실드에 접속돼 있다.
본 발명의 앞의 실시양태들과 변형 등 모두에 있어서, 도전성 플라스틱 감지 소자, 또는 소자들의, 그리고 그 회로수단의 전류변화는 시각이나 청각 경보, 게이지 산출 또는 전기적 또는 유사 신호의 형식을 취하여 감지의 대상매체에 관련한 물리적 변화를 수집하도록, 밸브의 작동 따위 작용의 몇 경로들을 유기하게 된다.
본 출원이 언급하는 도전성 플라스틱에 있어, 그 플라스틱은 탄소가 함유되어 있거나, 또는 철입자(iron partcles)가 구성요소로 첨가된 플라스틱이어도 좋다. 도전성 감지 소자에 사용되고 있는 플라스틱 및 사용되고 있는 타의 플라스틱은 바람직하게 모두 부식성 대기 환경의 변질효과에 내성이 있으며, 그러한 성질의 플라스틱은 폴리비닐리딘 플루오르화물(PVDF)로 바람직하게 형성되나; 그렇지 않고 상기 플라스틱은 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 또는 페르플루오로알콕시(PFA,Teflonⓡ)나 기술에 능숙한 이들에게 알려진 플라스틱으로 이루어져도 좋다.
도전성 플라스틱 형태의 정전용량 감지소자는 그 것을 에워싸는 부식성 대기 환경에 잘 견디게 되므로 감시장치는 장기간에 걸쳐 확실하게 작용을 계속할 수가 있다. 도전성 플라스틱 전계소자는 그 것이 설치되는 용도에 따라서 많은 물리적 형태중의 어떤 것을 취하여도 좋다.
이하, 첨부의 도면에 따라 상세히 설명한다.
제1도는 회로 칩의 제조 중 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 처리기기(10)의 일부를 보이는 그림으로서, 본 발명이 존재하는 부식성 대기 환경을 빚어내는 원천을 제공하는 수단의 일례를 설명하려는 것이다. 기기는 일반적으로 숫자(10)으로 나타내 있으며 상기 처리기기의 대개의 구성요소 주위에 부식성 대기 환경이 존재한다는 것을 여기에 강조하려는 도면이다. 처리기기(10)의 회로 칩의 제조에 있어 반도체 웨이퍼 처리 목적의 반도체 산업에 유일무이한 것이라 해도, 유사한 조건의 부식성 대기 환경은 다른 산업에도, 그리고 타의 처리기기와 화학약품 수송 및 저장기기와 관련하여 확실히 존재한다.
제1도에 보인 처리기기(10)에 관해서는, 숫자(11)로 보통 가리키고 있는 부식성 분위기 환경은 처리기기의 주요 구성요소 전체에 존재하며, 특히 캐니스터 콘솔(12), 처리 콘솔(13) 및 용액 콘솔(14)에 존재한다.
캐니스터 콘솔은 제10도에 보인바와 같은 일련의 탱크 또는 드럼(15)을 내포하여 처리 화학약품을 내장하게 되며, 피팅(16)들과 배관(17)들을 통해 탱크(15)에서 빼내어 처리콘솔(13)에 사용되는 것이다. 캐니스터 콘솔의 내부는, 탱크(15)로부터 끌어내지는 처리 화학약품의 계속되는 존재로 인하여 본래부터 부식성 대기 환경(11)을 함유하며, 탱크는 그의 제거가능의 뚜껑(18)을 통해 수시로 재충전된다. 도시와 같이 캐니스터 콘솔은 덮개 또는 뚜껑(19)을 가지고 있어, 재충전이 필요할 때 탱크에 화학약품을 공급하기 위해 콘솔의 내부에 접근할 방도를 제공하고 있다. 어떤 기기에 있어서는, 상기와 같은 탱크들이 화학약품의 원격 공급원에 직접 접속되기도 하나, 부식성 대기 환경(11)은 콘솔(12)에 계속 존재하게 된다.
처리 콘솔(13)은 실리콘 웨이퍼가 각종 화학약품에 실제로 노출되는 처리실을 안에 가지고 있고 또 그러한 처리실은 산업에 숙련한 이들에게 잘 알려져 있으며 현재의 미국특허 제 3,990, 462; 4,197,003 및 4,286,541 호에 대개 기재돼있다. 처리 콘솔 또한 모두가 수시로 새게 돼 있는, 배관과 피팅과 밸브들을 내포하고 있어 처리 콘솔 내에는 부식성 대기 환경이 생겨나는 것이다.
용액 콘솔(14)는 처리 콘솔(13)에 공급되는 화학약품의 흐름의 제어와 그에 관련된 각종 장치를 가지고 있으며, 그러한 장치들은 빼닫이(서랍)(20)에 설치되어있어 모든 장치에 손질을 위한 접근을 손쉽게 할수 있다. 제2도에는 그 서랍과 더불어 밸브(21), T피팅(22), 배관(17), 유량계(23), 및 용액 필터(24)를 포함하는, 화학약품의 흐름에 관계되는 일련의 장치들을 보이고 있다. 많은 설비들에서, 배관과 밸브들 및 피팅들의 수가 제2도의 설명보다 종종 증가되고 있기는하나, 용액 콘솔(14)의 내부가 부식성 대기 환경을 내포한다는 것을 강조하는 것이다.
제1도는 각종 처리기기(10)에 액체 화학약품을 공급하는 공급관 또는 파이프(17)들이 배관된, 마루 밑의 격실(25)을 보이고 있다. 공급관(27)은 보호 도관(28) 및 접속상자 또는 하우징(29)에 보통 넣어져 있으며, 수개의 보호 도관(28) 간에는 공급관(27)의 T 피팅과 각종 관련 피팅들이 공급관 또는 파이프(27)의 길이들을 함께 결합하기 위해 넣어져 있다. 마루(26) 아래의 공간(25)은 부식성 대기 환경(11)을 함유하고 있으며, 접속상자(29)의 내부(29.1)도 또한 부식성 대기 환경(11)을 확실히 함유하고 있다.
제4도를 특히 참조하면, 숫자 (30)으로 보통 가리킨 감시장치는 대상매체로 이해되는, 액체(31)의, 존재 유무를 감지하는 목적으로 하는 피팅(22)의, 대상지역(22.1)에 편입하고 있다. 액체(31)는 처리기기에 공급되는 많은 수의 화학약품 중의 어느 것이어도 좋다. 액체(31)가 대상지역(22.1)에 결여하거나 출현하지 않는 경우, 대상지역(22.1)은 가스 또는 공기에 의해 점해지게 되나, 특정의 경우에는 질소따위의 불활성 가스가 대상지역(22.1)을 점하여도 좋다. 액체(31)가 결여할 때 대상지역(22.1)에 출현하게 되는 가스는 주위매체(ambient media)로 이해되어도 좋다. 그러한 주위매체는 액체(31)의 전기적 특성과는 족히 다른 전기적 특성을 가지므로 그 차이를 구별할 수가 있게 된다. 도시와 같이, 액체 또는 대상매체(31)가 넣어지게 되는 대상 지역을 만들어 내는 것은 피팅보디(38)와 배관(17)인 것이다.
감시장치(30)의 주요 구성요소는 점선(32)으로 보통 가리키고 있는 전압공급 및 전류감지 회로수단으로서, 부식성 대기 환경(11)의 외측에 바람직하게 존재하며, 미국 커네티컷, 브룩필드의 고든 프로덕츠사가 제조 판매하는 형식인, 모델 PC 131/132 의 정전용량 근접 스위치를 함유하고 있다. 전압공급 및 전류감지 회로수단(32)은, 복합도선 케이블(35)을 통해 정전용량 근접 스위치(33)에 전력을 공급하는 전원(34)을 포함하고 있다. 같은 형식의 정전용량 근접 스위치가 여기에 기술된 본 발명의 각종 실시양태 전체에 사용되고 있다.
정전 용량 근접 스위치(33)는 동축 케이블을 함유하는 접속수단(36)에 의해 감지소자(37)에 접속돼 있고, 그 것은 이 장치에 있어서, 피팅(22)의 기능부분을 함유하고 있으며 더 상세하게는 피팅의 보디부분(38)에 배관(17)의 단(end)을 결합하는데 유용한 넛을 함유하고 있다. 피팅(22)은 피팅(22)의 보디부분(38)이 대상매체 또는 액체(31)를 위한 흐름 채널 또는 안내수단을 제공하고 있다는 점에서 목표매체 또는 액체(31)에 관련하는 기능을 하는 작동수단을 함유하고 있으며, 피팅(22)은 대상매체 또는 액체를 의도하는 때 송달하는 목적을 위해 각종 길이의 배관(17)을 함께 접속하고 있음을 알 것이다. 피팅(22)은 부식성 대기 환경(11)의 변질효과에, 그리고 취급되게 되는 강산이나, 염기, 또는 지금까지 언급한 다른 화학약품 중의 하나나, 또는 타의 화학약품일 수도 있는 대상매체 또는 액체(31)에 내성이 있는 플라스틱으로 형성된다. 피팅(22)과 배관(17)에 사용되는 전형적인 재료는 플루오로알콕시, 또는 그의 상표 TeflonPFA 에 의해 알려져 있는 플루오로폴리머 플라스틱이다. 피팅(22) 상의 넛(39)는 피팅(22)이 접속돼 있는 배관(17)과, 같은 재료로 형성된다.
기능을 가진 감지소자 또는 넛(37)은 탄소충전 플라스틱, 또는 철입자가 첨가되어 있는 플라스틱으로 이루어지는 도전성 플라스틱으로 형성된다. 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)의 도전성 성질은 대단히 중요하다. 감지소자 또는 넛(37)은 도전성을 띠게 한 많은 다른 플라스틱의 어느 것으로 성형되어도 좋으며, 감지소자 또는 넛(37)의 플라스틱은 부식성 대기 환경(11)의 변질효과에 내성이 있는 것이 필수적이다. 감지소자 또는 넛(37)의 바람직한 플라스틱은 폴리비닐리딘 플루오르화물(PVDF)이다. 그렇지 않고, 그 재료는 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 또는 페르플루오로알콕시(PFA, Teflon)로 이루어져도 좋다.
타의 적당한 플라스틱은 확실히 기술에 숙련한 이들에게 알려져 있다.
감지소자 또는 넛(37)에 사용되는 도전성 플라스틱은, 미국 전자공업협회(ELECTRONIC INDUSTRY ASSOCIATION) 표준 No.541 에 의해 ASTM D257 에 의해 시험되는 105옴/스퀘어를 초과하지 않는 표면저항률과 105옴cm를 초과하지 않는 용적저항률을 가지는 재료로 규정돼 있다. 그러한 도전성 플라스틱은 본 발명에 주어진 모든 예들의 요소들로 적당하다. 미국 전자공업협회는 탄소충전 플라스틱을 또한, 표면저항률이 105~1012옴/스퀘어의 범위이고, 용적저항률이 105~1012옴cm의 범위인 정적 산일성(static dissipative)으로 규정하고 있다. 이들 범위의 하한의 플라스틱은 도전성 플라스틱 감지소자에 또한 유익할 수가 있다.
이중목적 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)은, 정전용량근접 스위치(33)로부터 전압이 충전되는 경우 대상매체 또는 액체(31)가 되어 에워싸는 감지전계 또는 정전전계(40)가 발생한다.
전압공급 및 용량감지 회로수단(32)이 부식성 대기 환경(11) 밖에 배치되는 까닭에, 동축 케이블(36)의 단부(36.1)가 부식성 대기 환경(11)의 안으로 통해 연장하여 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)에 전류가도통 할수 있게 접속돼 있다. 케이블과 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)과의 사이에 밀봉을 창출하도록 케이블(36)의 단과 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)의 사이의 접속은 밀봉관계의 상태이고 넛(37)의 형성 중 삽입 몰딩에 의해 이루어진다.
제5도에 상세히 보인 바와 같이, 케이블(36)과 그의 단부(36.1)는 내 도선 또는 와이어부(41)를 가지고 있고, 그의 단부(41.1)은 감지소자의 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(36)에 에워싸여 교합된 상태에 있다. 와이어부(41)는 부식성 대기 환경(11)으로부터 와이어(41)를 절연하고 있는 가요성 관형 플라스틱 보호수단(41.2)에 의해 둘러싸여 있으며, 절연재(42)를 포함하고 있다. 접지된 금속 외장(metal sheath conductor)(43)이 절연재에 피복되어있다. 케이블(36)의 가요성관형 플라스틱 보호수단(41.2)과 그의 단부(36.1)는, 부식성 대기 환경의 변질효과에 내성이 있는 플라스틱으로 형성된 관형이며 가요성인 외측 재킷(44)을 포함하고 있으며 바람직하게 외측 재킷(44)은 페르플루오로알콕시(TeflonPFA)와 같은 플루오로폴리머로 형성돼 있다. 가요성 관형 플라스틱 보호수단(41.2)은 와이어의 단부(41.1)를 단단히 에워싸 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)의 도전성 플라스틱으로부터 금속외장(43)을 격리하도록, 케이블(36)의 단에 열수축(heat shrinking)에 의해 밀봉하게 적용된 플라스틱 배관 또는 단부(45)를 포함하고 있으며 그 것은 넛(37)의 도전성 플라스틱에 에워싸여 있다. 배관(45)의 열수축은 배관(45)을 재킷(44)에 밀봉한다. 배관(45)은 부식성 대기 환경의 변질효과에 내성이 있는 플라스틱으로 또한 형성되며, 페르플루오로알콕시(Teflonⓡ PFA)로 알려져 있는 플루오로폴리머 플라스틱으로 형성돼 있다. 재킷(44)과 배관(45)의 플라스틱은 넛(37)의 삽입성형 중 재킷(44)과 배관(45)의 일체성을 유지하도록, 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)의 도전성 플라스틱의 용해온도보다 높은 용해온도를 가지는 것으로 선택되는 것이 중요하다.
밀봉은 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)의 도전성 플라스틱과 케이블(36.1) 그리고 더 상세하게 배관(45) 사이에 생기는 것을 알 것이다. 따라서, 부식성 대기 환경을 통해 연장하는 케이블(36)의 단부(36.1)는 와이어(41)를 안의 부식성 대기 환경으로부터 보호하며 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)의 도전성 플라스틱에 확실한 접속을 형성한다. 여기에 개시되는 본 발명의 각종 실이양태의 전체에, 보호수단(41.2)을 가진 같은 형식의 동축 케이블(36)이 사용된다.
또한 제4도의 정전 용량 근접 스위치(33)에 관하여, 제어회로(33.1)는 전원으로부터 와이어(41)에 그리고 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)의 도전성 플라스틱은 전압을 전송하여 대상매체 또는 액체(31)의 용량을 감지한다. 전자식이어도 좋은 스위치 장치(33.2)는 감지된 용량의 표시와 대상매체 또는 액체(31)의 용량과 존재 또는 결여의 표시를 마련하기 위한 정전용량근접스위치(33)의 출력을 제공한다.
스위치(33.2)로부터의 출력은 복합도선 케이블(35)를 통하여 그리고 도선(47)을 통하여 제어기(48)에, 또한 부식성 대기 환경(11)의 밖으로 접속된다. 정전용량근접 스위치(33)는, 외부 스크류에(33.4)에 의해 조정되는 감도 제어기(33.3)를 또한 가지고 있어서 바라는 범위의 감지도를 성취할 수가 있다. 지시등(33.5)이 마련돼 있어 감도를 조정하는 스위치의 작동을 지시하게 된다.
도선(47)은 제어장치(48)에 지시를 제공하며, 그의 출력신호가 청각 경고장치(49)나 페이징 장치(50) 또는 CRT 스크린(51)을 작동할 수 있어 조작자에게 지시를 제공하게 되거나 대상매체 또는 액체에 대한 제어장치에 관한 밸브(52)를 조작할 수가 있다.
제6도에 보인 형태에 있어서는, 밸브(21)는 대상매체 또는 액체에 직접 관련된 기능을 가진 조작상의 기기를 함유하고 있으며, 이 경우에 있어, 대상매체 또는 액체의 밸브보디 내의 공간(53)에 발견되는 때의 누설 대상매체 또는 액체(31.1)이다. 상기 공간(53)은 통상 비어 있어 어떤 액체도 없는 대상지역으로 이루어져 있다. 공간(53)은 주위매체로 이해되기도 하는 공기 또는 질소 따위의 다른 가스로 보통은 채워져 있으며, 그 것은 누설액체 또는 대상매체 또는 액체(31.1)로부터 용이하게 구별될 수 있다. 다이어프램(57)의 파열이나 또는 그 밖의 누설의 경우, 정상 흐름 경로(54)로부터 누설하는 액체(31)가 공간(53)의 부분을 점하게되기 때문에, 공간(53)은 누설 경로라 불리기도 한다. 정상 흐름 경로(54)에는 안에 밸브시트가 존재하고 밸브 다이어프램(57)의 일부인 밸브소자(56)에 의해 조절되는 액체(31)을 위해 교대로 여닫히며, 그의 주변부는 감금수단 또는 밸브보디(59)를 형성하는 어깨(58)와 도전성 플라스틱으로 이루어져 있고, 또한 용량 근접 감시 장치(30.1)의 감시소자의 기능을 다하는 플라스틱 리테이너 링(60)과의 사이에 고정시켜 있으며, 공간(53)에 감지전계(40.1)를 발생시켜 누설 액체 또는 대상매체(31.1)가 출현하는 경우 에워싸게 된다. 플라스틱 리테이너 링 (60)은 밸브(21)의 기능부분으로 이루어져 있으며 공간(53)과 근접상태에 있다. 플라스틱 리테이너링(60)는, 부식성 대기 환경(11)의 변질효과에 내성이 있고 또한 제4도 및 제5도의 넛(37)에 관해 설명한 바와 같은 누설 액체의 변질효과에 내성이 있는, 플라스틱으로 되어 있다. 밸브(21)는 밸브에의 배관(15)의 길이를 고정하는 종래의 피팅(61)과 고정 넛(62)를 가지고 있으며, 그를 통해 액체(31)가 공급된다.
전압 공급 및 전류감지 회로수단(32)은 제4도에 보인 것과 같은 것의 동축 케이블(36)에 의해 접속돼 있으며, 그의 단부(36.1)는 부식성 대기 환경을 통해 밸브보디에 있는 적당한 구멍(63)을 통해 연장하고 있고, 단부(36.1)는 제5도와 관련한 설명과 같은 방법으로 플라스틱 리테이너 링(60)에 접속돼 있다. 전압공급 및 전류감지 회로수단(32)의 정전 용량 근접 스위치(33)는 다이어프램(58)의 파열이나 그 밖의 유사한 실수 따위로 인하여 누설 액체(31.1)가 대상지역(53)에 존재하는 경우에 생기는 용량의 변화에 응답하게 조정돼 있다. 물론, 전압 공급 및 전류 감지 회로수단(32)에 의해 산출되는 지시는 경보기, 페이징 장치, 또는 타의 기능장치를 제4도와 관련한 설명 처럼 작동시킨다.
다이어프램(58)은 물론이고 밸브보디(59)는 부식성 대기 환경(11)과 그리고 또한 밸브를 흐르는 액체(31)의 변질효과에 내성이 있는 플루오로알콕시 따위의, 플라스틱으로 돼 있다. 밸브(21)는, 다이어프램(58)에 가동할 수 있게 접속되어 있는 작동 스템(64)이 이동할 수 있도록 수동으로 작동시킬 수도 있고 공기식으로 작동시킬 수도 있다.
제15도에 보인 바와 같이 감시장치(130.1)는 제6도의 밸브(21)과 유사한 밸브(121)를 편입하고 있으나, 도시와 같이 확실한 차이가 있는 것이다. 밸브보디 또는 감금수단(159)이 부식성 대기 환경 내에 존재하며, 손상이나 파열의 경우 밸브 다이어프램(157)에 의해 누설 액체(131)를 안에 모으는 대상지역(153)을 구성하고 있는 것이다. 누설 액체(131)가 대상지역(153)에 있지 않는 때에는 대사지역(153)은 공기 또는 가스로 충전된다. 밸브보디(159) 내측의 플라스틱 리테이너 링(160)이 다이어프램(157)을 위치에 보지하며 감시장치(130.1)의 일부로서 도전성 감지소자 대용이 되고 있는 것이다. 플라스틱 리테이너 링(160)은 부식성 대기 환경의 변질효과에 내성이 있는 전기 도전성 플라스틱으로 돼 있다. 제2의 전기 도전성 감지소자(164)가 다이어프램(157)의 밸브소자(156)를 작동시키는 밸브스템을 가지고 있으며; 밸브스템은, 기술에 숙련한 이들에게 잘 알려진 방법으로 밸브보디 안의 공기 피스턴에 의해 작동되게 된다. 밸브스템(164)은 금속이나 도전성 플라스틱으로 제조되어도 좋으며, 밸브를 통하는 액체 흐름의 변질효과에 내성이 있도록, 다이어프램(157)이 형성되는 것과 같은 플라스틱으로 그에 일체로 형성된 관형 보호벽(164.1)에 의해 밸브보디의 개방 내부공간(153)으로부터 격리돼 있다.
전압 공급 및 전류 감지 회로수단(32)은 제4도와 관련하여 설명한 것과 같은 것이며, 동축 케이블(36)에 의해 근접 스위치 또는 전류 감지장치(33)가 플라스틱 리테이너링(160 및 164)에 접속돼 있다. 동축 케이블의 단부(36.1)는 부식성 대기 환경(11)을 통해 밸브보디(159)에 연장하고 있으며 케이블의 보호수단(41.2)에 와이어부(41)와 접지된 차폐 도선부(43)의 양자를 밀봉하고 있다. 본 발명의 이 실시양태에 있어서, 동축 케이블의 오이어부(42)는 고정장치(164.1)에 의해 밸브스템(164)에 접속된다. 접지된 차폐 도선부(43)는 도전성 플라스틱 리테이너 링(160) 안으로 접속돼 있다. 전압 공급 및 전류 감지 회로수단(32)이 두 플라스틱 리테이너링(160, 164)의 사이와 대상지역(153)에 감지전계를 형성한다. 누설 액체 또는 대상매체(131.1)가 대상지역의 (153) 주위매체를 대체하는 때, 주위매체의 전기적 특성과 누설 액체의 전기적 특성의 차이가, 제4도와 관련한 설명의 방법으로 출력 케이블을 통해 감지장치 또는 스위치(33)에 의해 전류의 변화가 감지된다. 감시장치(130.1)가 둘의 격리된 도전성 플라스틱 리테이너링(160, 164)을 활용하고 있기 때문에, 그 것은 목표지대(153)에 감지전계를 발생하고, 제6도에 보인 형태로 발생된 전계보다 상당히 격렬하여 스위치 또는 감지장치(30)에 의하여 감지된 전류의 변화가 상당히 큰, 6~8배의 범위에 있으므로, 누설 액체(131.1)의 존재를 지시하는 확실한 판독을 성취할 수 있는 것이다.
도전선 플라스틱 리테이너 링(160)을 접지된 차폐도선부(43)에 접속함에 의하여, 사람의 손으로 밸브 하우징(159)을 접촉하는 따위의, 외부영향의 결과가 감지장치의 작동에 영향을 미치지 않으며, 또 있음직한 오판독이나 지시 등이 최소화된다는 것을 알 수가 있다.
제16도에 보인 본 발명의 형태에 있어서는, 밸브(221)가 도시와 같은 특정한 예외가 있을 뿐, 제15도에 보인 것과 사실상 비슷하다. 이 형태에서 밸브(221)는 부식성 대기 환경(11)에 가둬져 있으며, 밸브스템(264)은 제15도에서 처럼 전압공급 및 전류감지 회로수단(32)에 접속돼 있지 않다. 밸브의 다이어프램을 위치에 유지하는 일을하는 도전성 플라스틱 리테이너 링(260)은, 감지장치(230.1)의 두 도전성 플라스틱 감지소자를 형성하는 한쌍의 도전성 플라스틱 부(260.2, 260.3)와 일체로 그리고 단일편으로 형성된 전기적 절연의 플라스틱 스페이서 부(260.1)로 형성돼 있다. 스페이서 부(260.1)와 도전성 부(260.2, 260.3)는 모두, 부식성 대기 환경의 그리고 밸브 안에 부닥칠 수도 있는 액체의, 변질효과에 내성이 있는 플라스틱으로 형성돼 있다. 도시와 같이, 동축 케이블은 양자의 감지소자(260.2, 260.3)에 밀봉된 그의 내단부(36.1)를 가지고 있으며 와이어 부(43)가 감지소자(260.3)에 접속돼 있는 한편 접지된 차폐 도선부(43)는 감지소자 부(260.2)에 접속돼 있다. 누설 액체는, 밸브 하우징에 출현하여 대상매체를 형성하는 경우, 주위매체 또는 공기의 부분을 대체하게 되어 도체를 형성하는 경우, 주위매체 또는 공기의 부분을 대체하게 되어 도전성 플라스틱 감지소자(260.2, 260.3) 양자의 사이에 걸쳐 교합하게 되며, 대개의 경우 소자들(260.2, 260.3) 사이에 전류경로를 마련하고, 따라서 제15도와 관련한 설명에서 처럼 누설 액체의 출현 표시를 하도록 스위치 또는 감지장치(33)의 전류의 변화를 야기한다.
제7도 및 제8도에 보인 본 발명의 형태에 있어서는, 감시장치(30.2)가 목표매체와 관련한 기능을 가진 조작상의 수단을 함유하는 유량계(23)를 편입하고 있으며, 그 것은 직선추진되는 소자(65)를 가지고 있다. 추진되는 소자(65)는 통상의 의미의 부자는 아니나, 액체 L 이 유량계를 통하여 상향으로 흐르는 때에는 상향으로 떠올라 나타나게 된다. 유량계는 사이에 감금수단 또는 투명 관측튜브(68)을 가진 상 하의 보디부(66, 67)로 이루어져 있다. 관측튜브(68)의 내부(68.1)는 공간으로 이루어져 그 안을 액체가 이동한다. 보디부들은, 액체 L을 유량계에, 또, 유량계로부터 운반하는 인접의 관(70)들에 고정 넛(69)에 의해 접속돼 있다. 니들 밸브(71)는 수동작동 핸들(72)에 의해 밸브시트(73)에 이동할 수 있어 유량계를 통하는 액체의 흐름을 조절하게 된다. 추진되는 소자(65)는 금속 안내로드(74)로 이루어진 안내수단을 관측튜브 안에서 상하로 슬라이드한다. 유량계의 모든 부품은 액체 L 의, 또, 부식성 분위기 환경(11)의 화학약품의 변질효과에 내성이 있는 PVDF나 PFA 따위의 플라스틱으로 제조된다. 보디부(66, 67)는 고정 넛(76)에 의해 장착 벽(75)에 고정시킬 수가 있다.
감시장치(30.2)는 한쌍의 도전성 플라스틱 감지소자(77 및 78)을 포함하고 있고, 이들은 접착제 따위로 관측튜브(68)의 외부표면에 서로 간격을 두고 부착되어 있다. 이 실시양태의 전압 공급 및 전류감지 회로 수단(32)은 한쌍의 정전 용량 근접 스위치 (33)를 활용하고 있으며, 그의 각각은 각기의 동축 케이블(36)에 의해 각기의 도전성 플라스틱감지소자(77, 78)에 접속돼 있다. 전압공급 및 전류감지 회로수단(32)은 부식성 대기 환경의, 또 제4도의 도전성 플라스틱 감지소자 또는 넛(37)에 사용되는 것으로, 지적된 것과 같은 재료의 변질효과에 내성이 있는 플라스틱으로 형성돼 있는 도전성 플라스틱 감지소자(77, 78)와 함께, 감지전계(40.2)를 발생하며 그 것은 가까울 때 대상지역(68.1)의 소자(65)를 에워싼다. 또, 제7도의 케이블(36)들의 각각의 단부(36.1)는 도전성 플라스틱 감지소자(77, 78)와 접속을 위해 부식성 대기 환경을 통해 연장하고 있으며 양 케이블의 단부(36.1)들은 도전성 플라스틱 감지소자(77,78) 안으로, 제5도와 관련하여 보인 바와 같은 방법으로 접속돼 있다.
제7도의 도시와 같이, 추진되는 소자(65)는, 유량계(23)를 통하는 액체의 확실한 흐름에 응답하여, 공간(68.1)의 안에서 도전성 플라스틱 감지소자(77) 인접의 점선부 P까지 올려지게 된다. 추진되는 소자(65)의 위치 P는 대상지역 내의 감지장소를 형성하며 유량계를 통하는 사실상 필요한 흐름을 표시하기 위하여 소자(65)의 출현 또는 결여가 거기서 결정되게 된다. 흐름이 적으면, 추진되는 소자(65)는 교호의 감지장소를 형성하는 도전성 플라스틱 감지소자(78) 인접의 위치를 성취하기만 한다. 용량 감지수단은 추진되는 소자(65)의 위치에 의하여 계산된 흐름의 표시를 산출하게 된다.
제17도에는 감시장치의 대체 실시양태가 도시돼 숫자(330.2)로 가리켜져 있으며, 특정의 예외와 함께, 제7도의 유량계와 같은 유량계(323)를 편입하고 있다. 유량계(323)는, 이 감시장치의 주위매체를 구성하는 액체 L을 가둬 넣는 공간(368.1)을 가진, 관측 튜브(368)를 가지고 있다. 소자(365)는, 출현이 결정되게 되는 대상매체를 구성한다. 소자(365)는 관측튜브내에 상하향으로 이동할 때 안내 로드(374)에 따라 안내된다. 감시장치(330.2)는 앞서 언급한 바와 같은 적당한 플라스틱으로 형성된 한쌍의, 사실상 같은, 도전성 플라스틱 감지소자(377 및 377.1)를 가지고 있으며, 그 것은 유량계가 안에 존재하는 부식성 분위기 환경의 변질효과에 내성이 있는 것이다. 관측튜브(368)에 관하여 감지소자들을 소정의 위치에 보지하기 위해, 절연재료로 된 접속핀(379)이 도전성 플라스틱 감지소자(377, 377.1)를 함께 접속하고 있다.
전압 공급 및 전류 감지회로수단(32)은 접속수단 또는 동축 케이블(36)에 의해, 제14도에 보인 바와 같은 방법으로, 감지소자(377, 377.1)에 접속돼 있다. 와이어부(41)는 도전성 플라스틱 감지소자(377)내로 밀봉된 관계에 접속돼 있으며; 접지된 차폐 도선부(43)는 도전성 플라스틱 감지소자(377.1) 안으로 접속돼 있다. 두 도전성 플라스틱 감지소자(377, 377.1)는, 목표매체 또는 부자(365)가 감지소자들과 대면하는 관계에 이동하는 때 표시를 산출하게 정전용량 근접 스위치(33)에 의해 감지되는 전류의 변화를 산출하도록 관측튜브(368.1)를 통해 감지전계를 창출한다.
제3도를 참조하면, 감시장치(30.3)는 전기적으로 절연되는 플라스틱 접속상자 또는 감금수단(29)과 보호도관(28)을 함유하며, 그 것은, 누설 액체 또는 대상매체(31.2)를 에워싸는 감지전계(40.3)를 창출하여 접속상자의 대상지역(29.1)에 모여지게 되는, 적은 양의 누설 액체 또는 대상매체(31.2)를 임시 저장하는 역할을 한다. 이 형태의 누설 액체 또는 대상매체(31.2)의 풀(pool)이 접속상자 내부의 주위매체 또는 가스나 공기의 일부를 대체한다. 부식성 대기 환경의 변질효과에 내성이 있는 도전성 플라스틱 감지소자(79)는 접착제 따위로 플라스틱 접속상자(29)의 외부표면에 붙여 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 전압 공급 및 전류감지 회로수단(32)은 동축 케이블(36)에 의해 도전성 플라스틱 감지소자(79)에 접속돼 있는 정전 용량 근접 스위치(33)를 통합하고 있으며 동축 케이블의 단부(36.1)는 부식성 분위기 환경의 부분을 안으로 통해 연장하고 있으며, 제5도와 관련하여 설명한 방법으로 도전성 플라스틱 감지소자(79)의 부분에 부착되어 묻혀져 있다. 감지전계가 플라스틱 감지소자(79)로부터, 그리고 대상지역(29.1)내로 연장하여 누설 액체 또는 대상매체(31.2)가 감지되는 때, 전류의 변화가 근접 스위치에 감지되어 변화의 표시를 산출하게 된다.
제11~14도에는 감시장치의 대체 실시양태(430)가 도시돼 있다. 접속상자 또는 감금수단(429)이 부식성 분위기 환경에 존재하며, 상자의 내부(429.1)는 부식성 분위기 환경을 또한 내포하여 안에 누설 액체 또는 대상매체(431.2)의 양이 모여 주위매체 또는 공기의 부분을 대체하기도 하는 대상지역을 구성하고 있다. 상자(429)의 벽(429.1)은 전기 절연체이며 부식성 대기 환경의 변질효과에 내성이 있는 플라스틱으로 형성돼 있다. 한쌍의 도전성 플라스틱 감시소자(479, 479.1)가 측벽(429.2)에 서로 간격을 두고 접속돼 있고, 제14도에 설명한 방법으로 동축 케이블(36)에 접속돼 있으므로서 와이어부(41)가 밀봉된 관계에, 사실상 제5도와 관련한 앞서의 설명의 방법으로 도전성 플라스틱 감지소자(479.1) 안으로 접속돼 있으며; 접지된 차폐 도선부(43)가 도전성 플라스틱 감지소자(479) 안으로 밀봉된 관계에 접속돼 있다.
전압공급 및 전류감지 회로수단(32)과 도전성 플라스틱 감지소자(479, 479.1)는 감지전계(440.3)를 창출하며 그 것이 접속상자의 내부 또는 대상지역(429.1) 안으로 부분적으로 연장하여 그 안의 액체 또는 대상매체(431.2)를 에워싸게 된다. 대상매체 또는 액체(431.2)가 출현하는 때, 정전용량 근접 스위치(33)의 전류가 변화하여 하우징의 누설 액체 또는 대상매체(431.2)의 존재를 표시하게 된다.
제9도는 감시장치의 또 하나의 변경형태(30.4)로서, 대상매체는 금속의 웨이퍼 캐리어(80)을 함유하며, 대개의 경우, 웨이퍼 캐리어의 측벽에 형성된 리브등의 사이의 슬롯에 배열된 복수의 반도체 웨이퍼(81)로 채워지게 된다. 웨이퍼 캐리어는 일련의 플라스틱의 어떤 것으로 형성되기도 하고, 어떤 경우에는 플루오로폴리머로 형성되기도 하며, 타의 경우에는 폴리프로필렌, PVDF 및 그 밖의 관련 플라스틱 따위의 타의 플라스틱으로 형성되기도 한다. 이 실시양태의 웨이퍼 캐리어는 부식성 대기 환경(11)에 존재하게 되며 직립의 로드(83)에 매달린 감금수단 또는 플랫폼(82) 상에 지지돼 있음을 보인다. 플랫폼(82)은 확실한 가이드 레일(84)로 목표지대를 형성하며, 그에 대해 웨이퍼 캐리어(80)의 부분이 플랫폼에 적절히 위치되도록, 기대어 있다. 가이드 레일(84)은 감지장소 또는 대상지역을 구성하며 그 곳에서 웨이퍼 캐리어(80)의 출현 또는 결여가 결정되게 된다. 웨이퍼 캐리어(80)와 웨이퍼(81)들의 출현 또는 결여는 전압 공급 및 용량감지 회로수단(32)에 의해 결정되며, 그 것은 본 발명의 타의 형태에서 처럼, 부식성 대기 환경(11)을 통해 연장하는 부분(36.1)을 가진 동축 케이블(36)에 의해, 웨이퍼 캐리어(80)의 기저부를 적절히 위치시키는 안내로서 또한 기능하게 되는 감지전계(40.4)를 창출하는, 도전성 플라스틱 감지소자(85)에 접속돼 있다. 플랫폼(82) 상의 가이드레일(84)의 억지끼워맞춤에 따라, 도전성 플라스틱 감지소자(85)는 플랫폼 상의 웨이퍼 캐리어의 위치결정에 관하여 비기능이 되도록 웨이퍼 캐리어로부터 교대로 간격을 두어도 좋다. 예증된 타의 감지장치들에서 처럼, 도전성 플라스틱 감지소자(85)는 인접하는 감지전계를 창출하며, 전압공급 및 전류감지 회로수단(32)은 도전성 플라스틱 감지소자(85) 인접의 용량을 감지하여 변화가능한 목표 웨이퍼 캐리어(80)와 웨이퍼(81)의 존재 또는 결여의 표시를 산출하게 된다. 도전성 플라스틱 감지소자(85)는 감지소자 또는 넛(37)과 관련한 설명과 같은 도전성 플라스틱으로 형성돼있으며; 동축 케이블의 단부(36.1)는 제5도와 관련하여 설명한 방법으로 전계소자 안으로 접속돼 있다.
제10도에 보인 감시장치(30.5)의 형태에 있어서는, 대상매체는 탱크 또는 용기(15)이고 그의 내부는 액체 또는 대상매체(31.3)를 받아들이는 대상지역을 구성하고 있다. 탱크(15)의 전기절연 플라스틱 벽은, 제4도의 감지소자 또는 넛(37)과 관련하여 설명한 것과 같은 재료로 형성돼 있는 도전성 플라스틱 감지소자(86)를 담지하고 있다. 전압 공급 및 전류 용량감지 회로수단(32)은 케이블(36)에 의해 감지소자(86)에 접속돼 있고, 그의 단부(36.1)는 부식성 대기 환경을 통해 안으로 연장하여 제4도와 관련하여 설명한 방법으로 감지소자(86) 안으로 붙여 있다. 감지소자(86)가 감지전계(40.5)를 창출하여서 대상액체(31.3)의 수준이 감지소자(86)의 기존점 아래일 때 표시가 산출되게 된다.
제24, 25 및 26도에는 또 다른 형태의 감시장치(530.4)가 도시돼 있는데, 액체(531.3)를 저장하는 드럼 또는 탱크 또는 감금수단(515)이 발명의 대상매체를 함유하고 있는 것이다. 탱크(515)의 내부는 주위매체 또는 공기를 보통 감금하는 목대상지역을 구성하고 있다. 부식성 대기 환경(11)의 변질효과에 내성이 있는 제1의 쌍의 도전성 플라스틱 감지소자(586, 586.1)가 탱크내부의 액체의 적정수위 인접의 탱크 벽(515.1)의 외측에 접착제 따위에 의해 장착돼 있다. 전압공급 및 전류감지 회로수단(32)은 감지소자(586, 586.1)의 쌍에, 대상지역(515.2)내에 감지전계(540.5)를 산출하도록 사실상 제14도에 보인 방법으로, 동축 케이블(36)의 수단에 의해 접속돼 있다. 대상지역의 액체 또는 대상매체(531.3)의 수위가 감지소자(586, 586.1)를 대면하는 때, 정전용량 근접 스위치(33)에 의해 전류변화가 감지되어 탱크의 액체수위의 표시를 산출하게 된다.
제2의 쌍의 감지소자(587, 587.1)가, 분리된 정전용량 근접 스위치(33)에 접속돼 있어 탱크의 액체의 또 다른 수위의 표시를 산출하게 돼 있다.
제26도에 보인 본 발명의 추가의 형태에서는, 도전성 플라스틱의, 또, 부식성 대기 환경과 또한 탱크(516)의 액체(531.4)의, 변질효과에 내성이 있는 감지소자(588, 588.1)가 금속외피(steel outer shell)(516.2)와, 부식성 대기 환경(11)의 변질효과에 내성이 있는 플라스틱 라이닝(516.3)과를 가진 탱크의 벽(516.1)에 부착돼 있다. 감지소자(588, 588.1)는 그들에 밀봉돼 있는 동축 케이블(36)에 의해, 그리고 앞서 제24 및 25도와 관련하여 설명한 것 처럼 감지회로에 접속돼 있다.
제18도와 제19도의 감지장치(30.5)는 제6도의 밸브(21)와 많이 닮은 밸브(621)를 편입하고 있다. 밸브(621)는 밸브작용 소자(656)를 가진 다이어프램(657)과, 다이어프램이 파열되거나 무슨 일로 누설이 야기되는 경우 누설 액체(631.1)가 안에 모이게 되는 개방내부(653)를 가진, 밸브 하우징(659)을 편입하고 있다. 다이어프램의 주변은 리테이너 링(660)에 의해 위치에 보지돼 있다. 이 실시양태에서 개방내부(653)는, 대상매체인 누설 액체를 위한 대상지역을 구성하고 있다. 보통, 개방내부 또는 대상지역(653)은 주위매체로서 공기나 가스 만을 내포하며, 그 것은 누설 액체 또는 대상매체(631.1)와는 다른 전기적 특성을 가지며 따라서, 누설 액체 또는 대상매체의 출현을 용이하게 발견하게 한다. 밸브 하우징의 측벽(659.1)은, 대상지역 또는 내부 체임버(653) 안으로의 통로를 마련하고, 또한 숫자(660)으로 보통 가리킨 감지탐침을 장착하여 감금하기 위하여, 그를 관통하는 접근구(665)를 가지고 있다. 감지탐침(666)은 동축 케이블(36)의 단에 밀봉되어 전압공급 및 전류감지 회로수단(32)에의 그리고 정전 용량 근접 스위치(33)에의 전기적 접속을 마련하고 있다.
감지탐침은 리테이너 링(667)에 의해 접근구(665)에 보지돼 있다.
접근구(665)의 감지탐침(666)의 끝부분(668)은 제19도에 실제로 도시된 바와 같이, 밸브의 내부 체임버(653)와 근접접근으로 연장하고 있다. 감지탐침의 끝부분(668)은 한쌍의 기다란 도전성 플라스틱 감지소자(669, 670)를 함유하고 있으며, 그의 양자는, 밸브(621)가 안에 존재하는 부식성 대기 환경(11)의, 또 밸브 내에서 조우할 수도 있는 산과 염기 따위의 강화학약품의 변질효과에 내성이 있다. 기다란 감지소자(669, 670)는 상호 동심이며 부식성 대기 환경의 또 밸브 내에서 조우하는 화학약품의, 변질효과에 매우 내성이 있는 플라스틱으로 형성된 원통형의 동심 절연 스페이서(671)에 의해 상호 사이띄어져 있고;스페이서(671)는 양자의 도전성 플라스틱 감지소자(669, 670)와 완전체로 그리고 단일의 편으로 형성돼 있다. 감지소자(669)가 로드모양의 꼴을 가지고 감지소자(670)의 절연 스페이서(671)의 단부(670.1, 671.1)을 지나서 접근구(665)를 따라 각기 연장하고 있음을 이해할 것이다. 개방공간의 부분(665)이 탐침의 끝부분(668)을 에워싸 누설 액체가 감지소자(669,670) 및 스페이서(671)를 에워싸 닿게 하고 있다.
감지소자(670)은 모양이 관형이며 나사낸 리테이너(667)의 원통형 구경 (667.1) 내에 받아들여져 있는 와단부(670.2)를 가지고 있다. 리테이너(667)의 어깨부 표면(667.2)은, 감지소자(670)의 끝표면(670.3)에 대해 접근구의 감지 담침(666)을, 그리고 접근구(665)를 둘러싸고 있는 한쌍의 시트(659,1)에 버티고 있는 감지소자(670)의 테이퍼 표면(670.4)과 함께 유지하게 버티고 있다.
도전성 플라스틱 감지소자(670)은 동축 케이블(36)의 접지된 차폐 도선부(43)를 도통관계에 교합하고 있으며, 차폐 도선부(443)에 영구하게 주조돼 있다.
도전성 플라스틱 감지소자(670)은 또한 동축 케이블(36)의 보호 재킷(44)의 끝부분에 밀봉의 관계에 부착돼 있다.
동축 케이블의 와이어부(41)의 끝부분(41.1)은 로드모양의 도전성 플라스틱 감지소자(669)의 구경(669.1) 내로 연장하여 감지소자((669)와 전기적으로 도통하는 관계에 있다. 감지소자(669)는 와이어부(41)의 단부(41.1)에 직접 바람직하게 부착돼 있다. 동축 케이블의 절연재(42)의 끝부분은 로드모양의 도전성 플라스틱 감지소자(669)의 내부에 기대고 있다.
리테이너(667)의 나사낸 단부(667.2)가 접근구(665) 인접의 밸브보디(659)의 나삿니(659.2)에 죄어져 있어 리테이너(667)는 내단부(667.2)를 나삿니(659.1)로부터 이완시킴에 의해 쉽사리 밸브보디에서 탈거할 수 있으므로 감지탐침(666)은 밸브보디의 밖으로 단순히 당김으로써 밸브보디(659)의 하우징에서 완전히 제거할 수 있음을 알 것이다.
제20~23도에 보인 감시장치(30.6)는 제6도의 밸브(21)와 사실상 같은 밸브(721)를 편입하고 있다. 밸브(721)가, 밸브를 개폐하게 하며 액체의 흐름을 제어하게 하는, 다이어프램(757)과 밸브소자(756)를 가지고 있음을 알 것이다. 밸브는 다이어프램과 밸브소자를 작동시키게 상향 및 하향으로 이동하여 개폐위치 사이를 왕복하는 밸브스템(764)를 가지고 있다. 감시장치(30.6)는, 밸브가 열려있는지 닫혀 있는지, 즉, 밸브스템(764)이 밸브가 닫히는 아래 위치에 있는지 또는 밸브가 열리는 그의 위 위치에 있는지, 밸브의 상태를 산정하여 표시하는 기능을 한다. 밸브 하우징 또는 감금수단(759)은, 센서(760)가 하우징에 수직으로 조정가능하게 장착돼 있는 것을 제외하고는 서로가 동일한, 둘의 분리된 센서, 아래 센서(760)와 위 센서(761)를 구성하고 있다. 밸브 하우징의 내부 체임버(753)는 센서를 위한 대상지역들, 아래 센서(760)를 위한 아래 대상지역(753.1)과 위 센서(761)를 위한 위 대상지역(753.2)을 구성하고 있다.
아래 및 위의 센서들(760, 761)의 양자는 하우징(759) 내의 위치가 어떠냐는 것을 제외하고는 상호 동일하다. 따라서, 제23도에 보인 위 센서(761)의 이해는 양 센서의 이해를 충족하기에 족하다.
제19도에 보인 탐침과 같은 탐침(666)이 위 및 아래의 센서(761, 760)의 각기의 부분을 구성하고 있는 것이다.
본 발명의 타의 형태에서 처럼, 각각의 센서(760, 761)의 동축 케이블(36)이 정전 용량 근접 스위치(33)를 포함하는 회로수단(733)에 접속돼 있어 와이어부(41)의, 그리고 접지된 차폐 도선부(43)의, 전류의 변화를 감지하게 되는 것이다. 제21~23도에 보인 발명의 형태에서 탐침(666)들은 나사낸 리테이너 컵(762)들에 의해 센서들(76, 761)에 보지돼 있고 단표면(762.1)은, 탐침(666)의 일체부분인 도전성 플라스틱 감지소자(670)의 단면(670.3)에 버티고 있다.
본 발명의 이 형태에 있어서, 대상매체는 밸브가 안에 존재하는 부식성 대기 환경(11)의 변질효과에 내성이 있는 도전성 플라스틱으로 돼 있는, 고체품 또는 디스크를 구성한다. 이 디스크는 밸브스템(764)의 끝에 고정돼 있어 밸브(761)가 여닫히는 때 밸브소자로 이동시키게 된다. 디스크 또는 대상매체(763)는 제21도에 보인, 문자 O와 C로 각각 지정된 두 점의 위치 사이를 이동할 수 있다.
각각의 센서(760, 761)는, 밸브가 안에 있는 부식성 대기 환경(11)의 변질효과에 내성이 있는 도전성 플라스틱으로 형성된, 한쌍의 연장된 도전성 플라스틱 감지소자(extensions)(765, 766)을 함유하고 있다. 연장된 감지소자(765, 766)는 사실상 판자 꼴이며, 또 연장된 감지소자들(765, 766)을 상호 사이띄인 관게에 유지하게 모양지어진 절연 플라스틱 소자(767)와 샌드위치 관계에 배열돼 있다. 연장된 감지소자(765, 766)와 역시 안에 밸브(721)가 존재하는 부식성 분위기 환경(11)의 변질효과에 내성이 있는 플라스틱으로 형성된, 절연 스페이서 소자(767)와는 서로가 완전체로 그리고 단일의 편으로 주조돼 있으므로 조립된 연장된 감지소자들(765, 766)과 절연 스페이서 소자(767)는 제22도에 보인 것 처럼, 사실상 초승달 모양이나 편자 모양으로 된 단일편의 어셈블리를 형성하여, 단부들(768a, 768b)이 대상지역(753) 주변 둘레에 연장하고 있어, 그 안에서 대상매체 또는 디스크(763)가 O와 C의 위치 사이를 이동하는 것이다.
감지소자(765)는, 탐침(666)을 그 안에 마찰끼워맞춤의 관계에, 또, 탐침(666)의 도전성 플라스틱 감지소자(670)와 교합하는 상태에 받아 들이는, 소켓구멍(762)를 가지고 있는 직립의 소켓부(765.1)를 가지고 있어 그와 도전관계의 상태에 있게 된다. 소켓부(765.1)의 나사낸 외부(765.3)는 탐침을 바라는 위치에 보지하도록 리테이너 컵(762)의 내사낸 내부(762.2)를 받아들이고 있다.
타의 연장된 감지소자(766)는 그에 소킷구멍(776.1)을 가지고 있어 그에 탐침(666)의 도전성 플라스틱 감지소자(669)를, 감지소자(669)와 연장된 감지소자(766)의 사이에 전기적 도전 관계를 창출하도록 마찰끼워맞춤의 관계에 받아들이고 있다. 초승달 모양의 어셈블리(768)의 스페이서부에 있는 정렬된 구멍(767.1)이 로드 모양의 도전성 플라스틱 감지소자(669)를 또한 관통하여 받아들이고 있다.
목표매체 또는 디스크(763)가 그의 위 위치 O로 또는 그의 아래 위치 C로 이동하는 경우, 센서들(761, 760)은 그 것이 센서들 중의 하나에 가깝게 인접하는 때의 디스크 또는 대상매체(763)의 출현에 관하여는 표시를 산출하게 된다. 대상매체 또는 디스크(763)는 대상지역(753)의 가스 또는 공기 주위매체의 전기적 특성과는 다른 전기적 특성을 가지고 있으므로 디스크 또는 대상매체(763)의 출현을 쉽사리 발견하게 되는 것이다. 본 발명의 타의 형태에서 처럼, 표시는, 디스크 또는 대상매체(763)의 위치표시와 밸브가 열려 있거나 닫혀 있지는 않은지 어떤지의 기록에 유용한 표시를 산출하도록 센서 인접의 목표매체의 감지로 인한 전류의 변화의 이유에 의하여 산출 되는 것이다.
본 발명은 대상매체의 존재나 비존재 및 위치를 산정하는 장치를 제공하며, 그 것은 설치의 특성에 따라서는 액체, 또는 누설 액체, 또는 물체, 또는 타의 물질적 매체를 구성할 수도 있다는 것을 알 것이다. 대상매체는 제1도 및 제2도에 보인 것 따위의, 에워싸는 기기에 의해 창출되는 부식성 분위기 환경에 존재한다. 대상매체 인접의 대상지역에 감지전계를 창출하는 감지소자 또는 감지소자들은 변화가능 목표에 관계하여 기능하는 기능적 작동수단의 일부이거나, 또는 어떤 경우 감지전계를 창출하는 용량감지 회로로 기능하여 감지소자 인접의 변화가능 목표의 존재나 결여를 결정하게 되는 단일의 기능을 실행하는 도전성 플라스틱 감지소자를 구성하고 있는 것이다.
본 발명은 그의 정신이나 필수의 특질을 일탈하지 않고 타의 특정한 형태들로 구체화되어도 좋으며, 따라서 본 실시양태는 모든 점에서 예증적이고 한정하는 것이 아니며, 본 발명의 범위를 지적함에는 앞의 설명보다 첨부의 청구의 범위의 기술이 고려되는 것이 바람직하다.

Claims (42)

  1. 감시장치로서, 액체와 고체품을 포함하는 일종의 매체로부터 선택되고, 그의 출현이 산출되어 감시되는 이동가능한 대상매체와, 산과 염기를 포함하는 일종의 상기 요소들에 발견되는 일 이상의 가스성 요소를 함유하는 부식성 대기 환경을 창출하는 환경 수단과, 상기 부식성 대기 환경 내에 목표지대를 창출하고, 상기 대상지역이 전기적 특성을 가지는 주위매체를 감금하고, 상기 대상지역 내에 대상매체의 출현 및 결여를 받아들이며, 대상매체가 주위매체의 전기적 특성과 구별할 수 있는 전기적 특성을 가지는, 감금수단과, 상기 대상지역과 접근 근접 상태에서, 출현하는 때 대상매체 인접에 있게 되고, 부식성 대기 환경에 의해 둘러 싸이며, 상기 부식성 대기 환경의 영향하에 내변질성인 도전성 플라스틱 감지소자와, 부식성 대기 환경 밖에 그리고 도전성 플라스틱 감지소자로부터 원격으로 위치되고, 감지된 전류의 변화에 응답하여 상기 변화의 표시를 산출하는 전압 공급 및 전류 감지 회로 수단, 과 도전성 플라스틱 감지소자와 원격으로 위치된 전압공급 및 전류감지 회로수단과의 사이에 부식성 대기 환경을 통해 연장 접속되어 도전성 감지소자 인접의 대상지역에 감지전계를 유도(induce)하는 와이어부를 함유하며, 상기 와이어부가 부식성 대기 환경에 내성이고 도전성 플라스틱 감지소자에 밀봉관계인 보호수단 내에 둘러 싸임으로써, 상기 도전성 플라스틱 감지소자와 접속수단을 통하는 전류 흐름의 변화가, 대상지역에 대상매체의 출현과 결여에 의해 교호로 산출되어 상기 회로수단에 의해 감지되고 대상매체의 출현과 결여에 상응하는 그러한 표시를 산출하게 되는 전기적 접속수단을 함유하는 감시장치.
  2. 제1항에 있어서, 감금수단이 도전성 플라스틱 감지소자와 대상지역과의 사이에 전기적 절연수단을 함유하여 도전성 플라스틱 감지소자가 대상매체와 직접 접촉하지 않는 감시장치.
  3. 제1항에 있어서, 감금수단과 대상지역이 도전성 플라스틱 감지소자의 적어도 일부를 에워싸므로써 대상지역에 대상매체가 출현하였을 때 도전성 플라스틱 감지소자가 대상매체와 접촉하는 감시장치.
  4. 제1항에 있어서, 감금수단이, 대상매체와 접촉되어 대상지역과 도전성 플라스틱 감지소자와 관련한 그의 이동을 제한하는 안내수단을 함유하고 있는 감시장치.
  5. 제1항에 있어서, 감금수단이, 대상지역의 주위매체와 상기 대상매체 간의 변화를 손쉽게 하는 기능적 기기를 함유하며, 도전성 플라스틱 감지소자가 상기 기능적 기기의 기능적 부분인 감시장치.
  6. 제1항에 있어서, 제2의 도전성 플라스틱 감지소자가 대상지역과 접근 근접 상태에 있어 목표매체가 출연하는때 대상매체 인접에 있게되고 전기적 접속수단이 또한 제2의 도전성 감지소자와 회로수단의 사이에 접속돼 있으며, 둘의 도전성 감지소자는 서로 사이띄어 있어 그들 간에 그리고 대상지역의 부분에 감지전계를 창출하는데 서로 협력함으로써, 대상지역내의 대상매체의 교호의 출현 및 결여가 회로수단의 전류흐름의 변화를 산출하여 대상매체의 출현과 결여에 상응하는 표시를 산출하게 되는 감시장치.
  7. 제6항에 있어서, 도전성 플라스틱 감지소자의 적어도 하나가, 대상매체가 대상지역에 출현하는 때, 대상매체로부터 일정한 간격을 두고 남아 있는 감시장치.
  8. 제6항에 있어서, 감금수단이, 대상지역의 주위매체와 대상매체 사이의 변화에 순응하는 기능적 기기를 함유하며, 상기 도전성 플라스틱 감지소자 중의 하나가 상기 기능적 기기의 기능적 부분인 감시장치.
  9. 제6항에 있어서, 제2의 도전성 감지소자가 부식성 대기 환경에 의해 감싸여 있고 그러한 부식성 대기 환경에 내성이 있는 도전성 플라스틱으로 돼 있는 감시장치.
  10. 제9항에 있어서, 도전성 플라스틱 감지소자들의 양자는 상기 대상지역에 위치된 부분을 가지고 있는 감시장치.
  11. 제10항에 있어서, 감금수단이 대상매체를 위한 안내수단을 함유하여 대상매체가 도전성 플라스틱 감지소자들의 양자를 동시에 교합하게 하는 감시장치.
  12. 제10항에 있어서, 감금수단이 대상매체를 위한 안내수단을 함유하여 대상매체를 도전성 플라스틱 감지소자들 중의 적어도 하나와 사이띄인 관계에 유지하는 한편, 대상매체가 대상지역에 있는 감시장치.
  13. 제9항에 있어서, 감금수단이 대상매체와 도전성 플라스틱 감지소자의 사이에, 전기적으로 절연하는 벽 부분을 함유하고 있고, 감지전계의 부분이 대상지역 안으로 연장하여 대상매체를, 출현하는 때 에워싸게 되는 감시장치.
  14. 제9항에 있어서, 도전성 플라스틱 감지소자들 중의 하나의 부분이 대상지역 안에 있고, 타의 도전성 플라스틱 감지소자는 대상지역 밖에 있으며, 감금수단이 상기 둘의 도전성 플라스틱 감지소자의 사이에 전기적으로 절연하는 벽 부분을 함유하여 감지전계가 도전성 플라스틱 감지소자들 사이를 통과하게 허용하는 감시장치.
  15. 제9항에 있어서, 대상매체는 액체로 이루어지고 주위매체는 가스로 이루어져 있는 감시장치.
  16. 제9항에 있어서, 대상매체는 고체품으로 이루어져 있는 감시장치.
  17. 제9항에 있어서, 끝부분을 가진 탐침수단이 상기 대상지역에 근접하게 연장하고 있고, 끝부분이 도전성 플라스틱 감지소자의 양자와, 상기 도전성 플라스틱 감지소자들 사이에서 상호로부터 절연하는 전기 절연체와를 함유하는 감시장치.
  18. 제17항에 있어서, 감금수단이 대상지역 내로 접근구를 가지고 있고, 상기 탐침수단이 접근구에 연장하여 끝부분이 접근구의 부분을 통해 연장하는 감시장치.
  19. 제18항에 있어서, 대상매체가, 상기 끝부분과 양자의 상기 도전성플라스틱 감지소자를 교합하는 액체로 이루어져 있는 감시장치.
  20. 제17항에 있어서, 장착수단이 탐침수단을 감금수단에 고정하고 있는 감시장치.
  21. 제17항에 있어서, 한쌍의 도전성 플라스틱 연장소자는 상기 부식성 대기 환경의 변질효과에 내성이 있고, 도전성 플라스틱 연장소자들의 각각의 상기 도전성 플라스틱 감지소자들 중의 하나를 각기 교합하고, 도전성 플라스틱 연장소자들이 대상지역에 연장하는 감시장치.
  22. 제21항에 있어서, 대상매체가, 부식성 대기 환경의 변질효과에 내성이 있는 도전성 플라스틱의 이동가능 고체품을 함유하고 있는 감시장치.
  23. 제9항에 있어서, 전기적 접속수단은, 와이어부를 동심으로 에워싸는 접지된 외장 도선부를 함유하는 동축 케이블로 이루어지고, 도전성 플라스틱 감지소자들이 각기 와이어부에 그리고 접지된 외장 도선부에 개별적으로 접속돼 있으며, 와이어부와 상기 외장 도선부의 양자는 도전성 플라스틱 감지소자에 관하여 밀봉의 관계에 있는 감시장치.
  24. 제17항에 있어서, 전기 절연체는 플라스틱으로 형성돼 있고 상기 도전성 플라스틱 감지소자들과 완전체로 그리고 단일의 편으로 사이에 서로 사이띄어 절연된 관계에 상기 감지소자들을 유지하도록 주조돼 있는, 감시장치.
  25. 제24항에 있어서, 전기적 접속수단이, 와이어부를 동심으로 에워싸고 있는 접지된 외장 도선부를 함유하는 동축 케이블로 이루어지고, 전기 도전성 플라스틱 감지소자들이 와이어부와 접지된 외장 도선부에 각기 개별적으로 접속돼 있는 감시장치.
  26. 제24항에 있어서, 끝부분의 도전성 플라스틱 감지소자들이 상호 동심의 단일의 편이고, 전기적 절연체가 도전성 플라스틱 감지소자들과 동심인 감시장치.
  27. 제1항에 있어서, 감금수단이 접속상자와 그에 접속된 인접 도관으로 이루어지고, 상기 접속상자는 전기적으로 절연하는 벽부와 대상지역을 구성하고 있는 개방내부와 함유하고, 대상매체는 접속상자에 모인 누설 액체로 이루어지며, 상기 도전성 플라스틱 감지소자가 접속상자 벽부 인접에 배치돼 있어 그 안의 대상매체의 존재를 감지하게 돼 있는 감시장치.
  28. 제9항에 있어서, 감금수단이 접속상자와 그에 접속된 인접 도관으로 이루어지고, 접속상자는 전기 절연 벽 부들과 그리고 대상지역을 구성하는 개방내부와를 가지고 있고, 대상매체는 접속상자에 모인 누설 액체로 이루어지며, 상기 도전성플라스틱 감지소자가 상자 벽 인접에 배치돼 있어 접속상자의 대상지역내에 감지전게를 산출하게 돼 있는 감시장치.
  29. 제1항에 있어서, 감금수단은 대상지역을 구성하는 개방내부를 가지고 있는 밸브 하우징으로 이루어져 있고, 대상매체는 대상지대에 모인 누설 액체로 이루어지며, 상기 도전성 플라스틱 감지소자는 밸브 하우징의 내부에 배치돼 있어 누설 액체가 출현하는 때 감지하는 감시장치.
  30. 제29항에 있어서, 감금수단은 밸브작용의 다이어프램을 함유하고, 도전성 플라스틱 감지소자는 밸브 하우징에 다이어프램을 유지하고 있는 리테이너 링으로 이루어지는 감시장치.
  31. 제6항에 있어서, 감금수단은, 목표지대를 구성하는 개방내부 부분을 가진 밸브 하우징으로 이루어지고, 대상매체는 누설 액체로 이루어지며, 도전성 플라스틱 감지소자가 밸브 하우징 내에 목표지대와 근접 상태에 배치돼 있어 대상매체에 의해 교합되게 돼 있고, 상기 제2의 도전성 플라스틱 감지소자는 하우징 내에 배치돼 있으며, 감금수단은 상기 제2의 도전성 감지소자를 대상지역과 격리하는 전기 절연의 플라스틱 벽으로 이루어져 있으나, 대상매체의 출현을 발견하기 위해 상기 도전성 플라스틱 감지소자들 사이에 감지전계의 존재를 허용하는 감시장치.
  32. 제9항에 있어서, 감금수단은 대상지역을 구성하는 개방내부를 가지고 있는 밸브 하우징으로 이루어지고, 대상매체는 누설 액체로 이루어지며, 양자의 상기 도전성 감지소자가 밸브 하우징 내에 배치돼 있어 누설 액체가 출현할 때 감지하게 돼 있는 감시장치.
  33. 제32항에 있어서, 전기 절연 플라스틱 스페이서가 상기 도전성 플라스틱 감지소자들에 완전체로 그리고 단일의 편으로 사이에 형성돼 있어 상기 도전성 감지소자들을 상호 사이띄인 관계에 유지하게 돼 있고, 대상매체가, 출현하는 때 절연 스페이서에 걸리어 상기 감지소자들과 회로수단의 전류를 변화시키게 되어있는 감시장치.
  34. 제18항에 있어서, 감금수단은, 대상지역을 구성하는 개방내부를 가지며 또한 접근구를 가진 밸브 하우징으로 이루어져 있고, 대상매체는, 출현하는 때 탐침의 끝부분의 도전성 플라스틱 감지소자들에 걸치는 누설액체로 구성되는 감시장치.
  35. 제9항에 있어서, 감금수단은, 두 위치 사이를 이동할 수 있는 작동장치를 가진 하우징으로 이루어지고, 하우징은 대상지역을 구성하는 개방내부를 가지고 있고, 대상매체는 부식성 대기 환경의 변질효과에 내성이 있는 도전성 플라스틱의 고형품으로 이루어지고 작동위치와 접속돼 있어 두위치를 그와 함께 이동하게 돼 있는 감시장치.
  36. 제35항에 있어서, 작동장치가 밸브스템을 가진 밸브소자로 이루어져 밸브소자가 작동하는 때 밸브스템과 함께 이동하게 대상매체가 그에 접속돼 있는 감시장치.
  37. 제1항에 있어서, 감금수단이 대상지역을 구성하는 개방내부를 가진 전기 절연 관측튜브로 이루어져 있고, 상기 주위매체는 대상지대내에 액체를 함유하고, 상기매체는 대상지역 내에서 이동가능한 고체물로 이루어지고, 상기 도전성 플라스틱 감지소자가 관측튜브의 외부인접에 배치돼 있어 대상지역에 감지전계를 산출하는 감시장치.
  38. 제9항에 있어서, 감금수단이 대상지역을 구성하는 개방내부를 가진 전기 절연 관측튜브로 이루어져 있고, 대상지역의 주위매체는 액체로 이루어지고, 상기 대상매체는 대상지역내에서 이동가능한 고형물로 이루어지며, 도전성 플라스틱 감지소자의 쌍이 관측튜브의 외부에 인접하여 서로 반대로 배치되어 대상지역내로 감지전계의 부분을 투영하게 되어있는 감시장치.
  39. 제1항에 있어서, 감금수단이 전기적으로 절연하는 벽과 상기 대상지역을 구성하는 개방내부와를 가진 저장탱크로 이루어져 있고, 상기 대상매체가 액체로 이루어지며, 상기 도전성 플라스틱 감지소자가 탱크 인접에 배치돼 있고 또 대상지역의 부분내로에 감지전계를 발생하는 감시장치.
  40. 제39항에 있어서, 감금수단이 전기적으로 절연하는 벽과 상기 대상지역을 구성하는 개방내부와를 가진 저장탱크로 이루어져 있고, 상기 대상매체가 액체로 이루어지며, 상기 도전성 플라스틱 감지소자의 쌍이 벽 부분 인접에 배치돼 있고 또 대상지역의 그들 사이에 감지전계를 산출하는 감시장치.
  41. 제40항에 있어서, 상기 벽 부분이 전기적으로 절연하는 플라스틱 벽 부분으로 이루어져 있고, 도전성 플라스틱 감지소자들이 탱크의 외부와 대상지역의 외부의 벽 부분 인접에 배치돼 있는 감시장치.
  42. 제40항에 있어서, 저장탱크는 부식성 대기 환경과 탱크에 저장된 액체의 변질효과에 내성이 있는 플라스틱 피복을 가진 금속벽으로 이루어져 있고, 도전성 플라스틱 감지소자들은 대상지역 내부에 적어도 부분적으로 배치돼 있어 그들 간에 감지전계를 산출하는 감시장치.
KR1019940002925A 1993-02-19 1994-02-18 부식성 대기 환경을 위한 전기용량성의 근접감시 장치 KR0156595B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/019,039 US5316035A (en) 1993-02-19 1993-02-19 Capacitive proximity monitoring device for corrosive atmosphere environment
US019,039 1993-02-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR940020521A KR940020521A (ko) 1994-09-16
KR0156595B1 true KR0156595B1 (ko) 1998-12-01

Family

ID=21791111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019940002925A KR0156595B1 (ko) 1993-02-19 1994-02-18 부식성 대기 환경을 위한 전기용량성의 근접감시 장치

Country Status (13)

Country Link
US (2) US5316035A (ko)
JP (2) JP2878581B2 (ko)
KR (1) KR0156595B1 (ko)
BE (1) BE1008563A3 (ko)
CA (1) CA2115596C (ko)
DE (1) DE4404938C2 (ko)
FR (1) FR2702584B1 (ko)
GB (1) GB2275340B (ko)
IT (1) IT1267385B1 (ko)
MX (1) MX9401283A (ko)
MY (2) MY110539A (ko)
NL (1) NL195046C (ko)
SG (1) SG67324A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100472413B1 (ko) * 1997-12-19 2005-05-19 삼성전자주식회사 액체이송용배관의리크감지시스템

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5532613A (en) * 1993-04-16 1996-07-02 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Probe needle
US5588461A (en) * 1994-04-08 1996-12-31 Philipp Brothers Chemicals, Inc. Hazardous material containment system
US5693887A (en) * 1995-10-03 1997-12-02 Nt International, Inc. Pressure sensor module having non-contaminating body and isolation member
US5869766A (en) * 1995-10-03 1999-02-09 Nt International, Inc. Non-contaminating pressure transducer module
USRE38557E1 (en) 1995-10-03 2004-07-20 Nt International, Inc. Non-contaminating pressure transducer module
US5566715A (en) * 1995-10-05 1996-10-22 Griffin; Harry G. Flood prevention valve
US5672832A (en) * 1996-02-15 1997-09-30 Nt International, Inc. Chemically inert flow meter within caustic fluids having non-contaminating body
US6201402B1 (en) 1997-04-08 2001-03-13 Celadon Systems, Inc. Probe tile and platform for large area wafer probing
US6586954B2 (en) * 1998-02-10 2003-07-01 Celadon Systems, Inc. Probe tile for probing semiconductor wafer
US6250153B1 (en) 1998-07-06 2001-06-26 Sensor Measurement Technology Continuous, non-metallic, media sensors for corrosive environments
US7034660B2 (en) * 1999-02-26 2006-04-25 Sri International Sensor devices for structural health monitoring
US6395417B1 (en) * 1999-10-27 2002-05-28 Douglas Frazier Spill containment system with a flexible corrosion-resistant liner
US6901946B2 (en) * 1999-10-27 2005-06-07 Expopower Systems, Inc. Modular spill containment system and method
US6308728B1 (en) 1999-10-27 2001-10-30 Douglas Frazier Spill containment system and method
US6578435B2 (en) 1999-11-23 2003-06-17 Nt International, Inc. Chemically inert flow control with non-contaminating body
US6508266B2 (en) * 2000-03-31 2003-01-21 Toyo Stainless Steel Industries Co., Ltd. Diaphragm valve
US6550338B1 (en) 2000-07-07 2003-04-22 Ardishir Rashidi Pressure sensing device
US6295863B1 (en) 2000-07-26 2001-10-02 Ford Global Technologies, Inc. Method and apparatus for determining seal failure in a ball joint
US20040050420A1 (en) * 2002-09-12 2004-03-18 Macronix International Co., Ltd. Method for detecting solvent leakage during manufacture of a semiconductor device
DE10255279A1 (de) * 2002-11-26 2004-06-03 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Messumformer mit Lecküberwachung
US6963207B2 (en) * 2003-03-06 2005-11-08 Celadon Systems, Inc. Apparatus and method for terminating probe apparatus of semiconductor wafer
US7170305B2 (en) 2005-02-24 2007-01-30 Celadon Systems, Inc. Apparatus and method for terminating probe apparatus of semiconductor wafer
US7015810B2 (en) * 2003-12-02 2006-03-21 Exon Science Incorporation Control system with hot plug signal transmission channel for reaction equipment and monitoring device thereof
NZ532900A (en) * 2004-05-12 2006-11-30 Robin Whalley And Paul Donald Flexible spaced electrode moisture detector for blood urine and perspiration
US7155983B2 (en) * 2005-02-04 2007-01-02 Entegris, Inc. Magnetic flow meter with unibody construction and conductive polymer electrodes
US20070098598A1 (en) * 2005-10-31 2007-05-03 Michael Ahern In-line automated fluid dilution
US7728609B2 (en) * 2007-05-25 2010-06-01 Celadon Systems, Inc. Replaceable probe apparatus for probing semiconductor wafer
US10274216B2 (en) 2008-08-22 2019-04-30 Rite-Hite Holding Corporation Under-floor pliable air duct/dispersion systems
WO2010135479A2 (en) 2009-05-19 2010-11-25 Expo Power Systems, Inc. Battery spill containment trays, battery spill containment systems, and methods of battery spill containment
US8926834B2 (en) 2010-10-18 2015-01-06 Delaware Capital Formation, Inc. Probe for water treatment
US8532829B2 (en) 2010-10-18 2013-09-10 Delaware Capital Formation, Inc. Controller for water treatment
US9014194B2 (en) 2010-10-18 2015-04-21 Delaware Capital Formation, Inc. Communication network for water treatment
US9038455B2 (en) * 2011-06-21 2015-05-26 Delaware Capital Formation, Inc. System and method for product level monitoring in a chemical dispensing system
US9447536B2 (en) 2011-10-14 2016-09-20 Delaware Capital Formation, Inc. Intelligent network for chemical dispensing system
DE102011084741B4 (de) * 2011-10-19 2013-11-07 Ifm Electronic Gmbh Näherungsschalter mit metallischer Außenhülle
US9021890B2 (en) 2012-09-26 2015-05-05 Rosemount Inc. Magnetic flowmeter with multiple coils
US8991264B2 (en) 2012-09-26 2015-03-31 Rosemount Inc. Integrally molded magnetic flowmeter
US10016076B2 (en) 2013-05-02 2018-07-10 Environmental Compliance Solutions, Llc Battery spill containment system and method of making the same
US9304053B2 (en) 2013-08-07 2016-04-05 Dresser, Inc. System to monitor performance of packing material in a seal
US9638344B2 (en) 2013-11-19 2017-05-02 Dresser, Inc. System and method to monitor characteristics of an operating fluid in a process line
GB2553681B (en) 2015-01-07 2019-06-26 Homeserve Plc Flow detection device
GB201501935D0 (en) 2015-02-05 2015-03-25 Tooms Moore Consulting Ltd And Trow Consulting Ltd Water flow analysis
DE102015203744A1 (de) * 2015-03-03 2016-09-08 BSH Hausgeräte GmbH Wasserführendes Haushaltsgerät mit Füllstandserfassung
USD800591S1 (en) 2016-03-31 2017-10-24 Homeserve Plc Flowmeter
DE102018203633A1 (de) * 2018-03-09 2019-09-12 Kautex Textron Gmbh & Co. Kg Betriebsflüssigkeitsbehälter mit kapazitiver Erfassung von Füllständen

Family Cites Families (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3545271A (en) * 1969-04-08 1970-12-08 Beta Eng & Dev Ltd Liquid drop detecting system and sensor therefor
DE2339481C3 (de) * 1973-08-03 1979-12-06 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Elektrischer Meßfühler zur Verwendung in elektrisch leitenden Flüssigkeiten
US3990462A (en) * 1975-05-19 1976-11-09 Fluoroware Systems Corporation Substrate stripping and cleaning apparatus
US4110739A (en) * 1976-08-02 1978-08-29 Kidd John A Means for detecting leakage in the inner lining of tanks and piping
US4197000A (en) * 1978-05-23 1980-04-08 Fsi Corporation Positive developing method and apparatus
US4286541A (en) * 1979-07-26 1981-09-01 Fsi Corporation Applying photoresist onto silicon wafers
US4301681A (en) * 1979-09-06 1981-11-24 Drexelbrook Controls, Inc. Method of using capacitor probe with a semiconductive electrode
US4406303A (en) * 1981-08-04 1983-09-27 Acf Industries, Incorporated Gate valve with position indicator
HU187463B (en) * 1981-10-26 1986-01-28 Mta Koezponti Hivatala,Hu Flow micro-cell of measuring based on measurement of electric conductivity by means of oscillometry
US4449396A (en) * 1982-03-01 1984-05-22 Carrier Corporation Probe for measuring electrical conductance
FR2531176A1 (fr) * 1982-07-29 1984-02-03 Framatome Sa Dispositif de detection du fonctionnement d'une soupape
GB2136965A (en) * 1983-03-07 1984-09-26 Braude E Liquid level sensor
JPS59191837U (ja) * 1983-06-08 1984-12-19 住友電気工業株式会社 油漏れ検知対策を施した油入り電力ケ−ブル用接続箱
DE3417332C2 (de) * 1984-05-10 1993-12-02 Herbert Dipl Ing Koberling Anordnung zum Erkennen von Undichtigkeiten oder Lecks von Deponien
US4609575A (en) * 1984-07-02 1986-09-02 Fsi Corporation Method of apparatus for applying chemicals to substrates in an acid processing system
SE446787B (sv) * 1985-02-19 1986-10-06 Asea Ab Elektrostatisk skerm
JPH0522803Y2 (ko) * 1985-07-12 1993-06-11
JPS6219748A (ja) * 1985-07-18 1987-01-28 Junkosha Co Ltd 腐食性液検知用センサ
US4663614A (en) * 1985-08-05 1987-05-05 Rauchwerger George P Hydrocarbon detector system
JPS6247960U (ko) * 1985-09-13 1987-03-24
DE3685749T2 (de) * 1985-10-29 1993-01-21 William R Hopper Tastungsempfindliche anzeigeleuchte.
US5078004A (en) * 1986-08-01 1992-01-07 Futurestar Corporation Flow meter
US4766368A (en) * 1986-09-30 1988-08-23 Cox Harold A Capacitive sensor
US4760326A (en) * 1986-12-22 1988-07-26 Ctb, Inc. Protective housing and mounting apparatus for capacitive-type proximity sensor
JPS6459149A (en) * 1987-08-31 1989-03-06 Junkosha Co Ltd Oil leak sensor
JPH0227559U (ko) * 1988-08-11 1990-02-22
US5005407A (en) * 1988-10-11 1991-04-09 Level Electronics, Inc. Fluid level sensing system
US5214387A (en) * 1989-03-06 1993-05-25 Fenner Richard D Electrolytic resistivity leak detector
US5129415A (en) * 1989-03-26 1992-07-14 Robert Richard Runyon System and method for automatically selecting one of a plurality of liquid supply receptacles as a source for a liquid dispensing apparatus
JP2731239B2 (ja) * 1989-05-25 1998-03-25 富士重工業株式会社 オイルセンサ
US4977929B1 (en) * 1989-06-28 1995-04-04 Fluoroware Inc Weir valve sampling/injection port
US5002086A (en) * 1990-05-11 1991-03-26 Fluoroware, Inc. Plastic control valve
US5151660A (en) * 1990-09-05 1992-09-29 Powers Kelly R Ceramic capacitance high pressure fluid sensor
US5121630A (en) * 1990-12-21 1992-06-16 Calvin Noel M Material monitoring device
JPH04258725A (ja) * 1991-02-13 1992-09-14 Ngk Spark Plug Co Ltd 静電容量式レベルセンサ
JPH04361150A (ja) * 1991-06-07 1992-12-14 Sumitomo Chem Co Ltd 塊化物検出装置
US5159276A (en) * 1991-07-08 1992-10-27 W. L. Gore & Associates, Inc. Capacitance measuring circuit and method for liquid leak detection by measuring charging time
US5142824A (en) * 1991-09-23 1992-09-01 Harvard Industries, The Kingston-Warren Corporation Four side flush sliding window assembly
US5190069A (en) * 1992-04-27 1993-03-02 Richards Raymond C Apparatus and method for detecting leaks

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100472413B1 (ko) * 1997-12-19 2005-05-19 삼성전자주식회사 액체이송용배관의리크감지시스템

Also Published As

Publication number Publication date
BE1008563A3 (fr) 1996-06-04
CA2115596A1 (en) 1994-08-20
US5316035A (en) 1994-05-31
GB2275340B (en) 1997-04-16
US5449017A (en) 1995-09-12
MX9401283A (es) 1994-08-31
JP3121299B2 (ja) 2000-12-25
FR2702584A1 (fr) 1994-09-16
JPH075080A (ja) 1995-01-10
NL9400244A (nl) 1994-09-16
JPH10185770A (ja) 1998-07-14
JP2878581B2 (ja) 1999-04-05
MY110539A (en) 1998-07-31
NL195046C (nl) 2003-06-27
DE4404938C2 (de) 2003-06-12
MY129535A (en) 2007-04-30
ITTO940087A0 (it) 1994-02-15
DE4404938A1 (de) 1994-08-25
FR2702584B1 (fr) 1997-01-24
GB9403178D0 (en) 1994-04-06
ITTO940087A1 (it) 1995-08-15
GB2275340A (en) 1994-08-24
CA2115596C (en) 1999-03-30
IT1267385B1 (it) 1997-02-05
KR940020521A (ko) 1994-09-16
SG67324A1 (en) 1999-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0156595B1 (ko) 부식성 대기 환경을 위한 전기용량성의 근접감시 장치
US5187979A (en) Multi-sensor probe assembly and method for fuel storage system including overflow protection means
KR100389188B1 (ko) 비오염식 압력변환기 모듈
US6964278B2 (en) Non-invasive gauge glass liquid level sensor apparatus
EP0606166A1 (en) Pipeline leak detection system
US10782176B2 (en) Visual liquid level indicator
CN107810388B (zh) 具有故障检测单元的模块化密封设备
US7574899B2 (en) Fluid contaminant detection device
US5171524A (en) Apparatus for detecting corrosive conditions in pipelines
TW202117341A (zh) 靜電荷的監測系統及其監測方法
EP3221671B1 (en) Ultrasonic liquid level sensing systems
GB2295019A (en) Monitoring device for corrosive media
TW403915B (en) Detector of liquid in an element of an installation and use of this detector for detecting leaks
US20220244128A1 (en) Liquid Leakage Detector and Method to Detect Liquid Leaking
DE4447477B4 (de) Betriebsüberwachungsgerät für korrosive Umgebungen
US20200200643A1 (en) System for sensing leaks in a stuffing box
RU2787690C1 (ru) Сигнализатор уровня жидкости
FR2717264A1 (fr) Dispositif conducteur pour déterminer la présence d'un milieu liquide ou solide dans un milieu ambiant corrosif.
JP2001174317A (ja) 液体漏洩検知センサー
KR20180038245A (ko) 냉온수기용 수위감지장치
US20210033445A1 (en) Liquid level sensing device with double-layer flexible tube and packing structure thereof
EP1161672B1 (en) A device for detecting the presence of chemical contaminants
KR20030091881A (ko) 수위감지용 센서유니트 와 수위감지용 센서
CS232254B1 (cs) Zařízeni pro zjišťování úniku elektricky vodivých kepelin z nekovových nádrži

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20060721

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee