KR0149589B1 - Semiconductor memory device having low redundancy - Google Patents
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Abstract
1.청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술 분야:1. The technical field to which the invention described in the claims belongs:
본 발명은 반도체 메모리장치의 로우리던던시에 관한 것이다.The present invention relates to a low redundancy of a semiconductor memory device.
2.발명이 해결하려고 하는 기술적 과제:2. Technical challenges to be solved by the invention:
종래에는 블럭단위로 리던던시가 이루어져 리던던시효율이 저하되거나 혹은 많은 수의 휴즈박스를 필요로 하여 칩면적이 커지는 단점이 있었다.In the related art, redundancy is performed on a block basis, and redundancy efficiency is lowered, or a large number of fuse boxes are required.
3.발명의 해결방법의 요지:3. Summary of the solution of the invention:
본 발명에 따른 로우리던던시에 있어서 스페어 메모리블럭을 가지는 다수개의 메모리블럭들과, 리던던시 선택신호와 상기 스페어 메모리블럭내의 스페어 워드라인들을 구동시키는 스페어 워드라인 제어신호를 발생하는 다수개의 휴즈박스들과, 상기 메모리블럭내의 노멀워드라인들을 제어하는 워드라인 구동신호를 발생하는 다수개의 워드라인 구동회로들을 가지는 반도체 메모리장치에 있어서 상기 메모리블럭의 선택에 관련된 신호와 적어도 둘이상의 상리 리던던시 선택신호를 입력하여 상기 워드라인 구동신호의 상태를 제어하는 복수개의 리던던시 활성화신호를 발생하는 수단을 구비한다.A plurality of memory blocks having a spare memory block in a low redundancy according to the present invention, a plurality of fuse boxes for generating a redundancy select signal and a spare word line control signal for driving spare word lines in the spare memory block; In a semiconductor memory device having a plurality of word line driving circuits for generating a word line driving signal for controlling normal word lines in the memory block, a signal related to the selection of the memory block and at least two different redundancy selection signals are inputted. Means for generating a plurality of redundancy enable signals for controlling the state of the word line drive signal.
4.발명의 중요한 용도:4. Important uses of the invention:
이에 따라 리던던시 효율이 향상되고 칩면적이 줄어든 반도체 메모리 장치가 구현된다.As a result, a semiconductor memory device having improved redundancy efficiency and reduced chip area is realized.
Description
제1도는 종래의 리던던시방식을 사용하는 반도체 메모리장치의 개력적인 구성을보여주는 도면.1 is a view showing the general configuration of a semiconductor memory device using the conventional redundancy method.
제2도는 종래의 다른 리던던시방식을 사용하는 반도체 메모리장치의 개략구성을 보여주는 도면.2 is a diagram showing a schematic configuration of a semiconductor memory device using another conventional redundancy scheme.
제3도는 제1도 및 제2도에서 사용되는 워드라인 구동회로의 회로도.3 is a circuit diagram of a word line driver circuit used in FIGS. 1 and 2;
제4도는 리던던시기능을 수행하기 위하여 일반적으로 사용되는 휴즈박스의 회로도.4 is a circuit diagram of a fuse box generally used to perform a redundancy function.
제5도는 본 발명에 따른 리던던시방식을 사용하는 반도체 메모리장치의 개략적인 구성을 보여주는 도면.5 is a diagram showing a schematic configuration of a semiconductor memory device using the redundancy method according to the present invention.
제6도는 제5도에서 사용되는 워드라인 구동회로의 회로도.6 is a circuit diagram of a word line driver circuit used in FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
MBi : 메모리블럭 RDi : 로우디코더MBi: Memory Block RDi: Low Decoder
FBi : 휴즈박스 XGi : 워드라인 구동회로FBi: Fuse box XGi: Word line driving circuit
13, 74 : øX0발생회로 14, 76 : øX1발생회로13, 74: øX0 generation circuit 14, 76: øX1 generation circuit
15, 78 : øX2발생회로 16, 80 : øX3발생회로15, 78: øX2 generation circuit 16, 80: øX3 generation circuit
20 : 휴즈회로 24 : 스페어 워드라인 제어회로20: fuse circuit 24: spare word line control circuit
øREDi : 리던던시 선택회로 øREEi : 리던던시 활성화신호øREDi: Redundancy selection circuit øREEi: Redundancy enable signal
DRA : 로우 어드레스 디코딩신호 øXi : 워드라인 구동신호DRA: Row address decoding signal øXi: Word line drive signal
øDPX : 프리차아지신호 SWLi : 스페어 워드라인 제어회로øDPX: Precharge signal SWLi: Spare word line control circuit
본 발명은 반도체 메모리 장치의 리던던시에 관한 것으로, 특히 결합이 있는 노멀 메모리설에 연결되는 워드라인을 대응되는 스페어 메모리셀에 연결된 워드라인으로 대체하는 로우 리던던시에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to redundancy of semiconductor memory devices, and more particularly, to low redundancy that replaces word lines connected to coupled normal memory devices with word lines connected to corresponding spare memory cells.
반도체 메모리 장치의 메모리용량이 커짐에 따라 칩내부에는 더욱 많은 메모리셀들이 배치된다. 메모리셀들의 수가 급증함에 따라 수율은 상대적으로 저하되기 때문에 고집적 및 대용량의 반도체 메모리장치를 구성하는 메모리용량의 증가와 함께 리던던시기능의 성능과 효율을 증대것도 병행해서 개발되지 않으면 안 된다. 고집적 및 대용량으로 진행되면서 메모리셀 어레이가 차지하는 면적이 더 많이 필요하기 때문에 보다 작은 수의 스페어 메모리셀로써 보다 많은 수의 결함 있는 노멀 메모리셀들을 구제하여야 한다는 점은 반도체 메모리장치의 리던던시 기술에 있어서 중요한 목표가 된다. 이러한 리던던시 기술에 있어서 대체단위의 구분에 따라 블럭리던던시, 컬럼리던던시, 및 로우리던던시와 메모리셀단위의 리던던시의 분류할 수 있다. 블럭리던던시는 하나의 메모리블럭에 결함이 있는 노멀메모리셀이 하나만 존재하더라도 메모리블럭단위로 대체되기 때문에 비효율적이며 메모리셀단위의 리던던시는 디코딩을 위한 면적이 커지기 때문에 고집적 및 대용량의 반도체 메모리장치에서는 현실적으로 용이하게 사용되기는 어렵다.As memory capacity of semiconductor memory devices increases, more memory cells are disposed in the chip. As the number of memory cells increases rapidly, the yield decreases, and together with the increase in the memory capacity constituting the highly integrated and large-capacity semiconductor memory devices, the performance and efficiency of the redundancy function must be increased in parallel. It is important for the redundancy technology of semiconductor memory devices that the number of defective normal memory cells needs to be repaired with a smaller number of spare memory cells because the memory cell array needs more area as it proceeds with high density and large capacity. It becomes a goal. In such a redundancy technique, block redundancy, column redundancy, and redundancy and redundancy of memory cell units can be classified according to the classification of the replacement unit. Block redundancy is inefficient because only one defective normal memory cell exists in one memory block and is replaced by the memory block unit, and the redundancy of each memory cell unit is practically easy in high-density and large-capacity semiconductor memory devices because the area for decoding is increased. It is hard to be used.
컬럼리던던시는 결함있는 노멀 메모리셀이 연결된 컬럼, 즉 비트라인을 스페어 메모리셀 어레이의 해당하는 컬럼으로 대체하며 로우리던던시는 결함있는 노멀 메모리셀이 연결된 로우 즉 워드라인을 스페어 메모리셀 어레이내의 스페어 워드라인을 대체하는 것이다.Column redundancy replaces the column to which the defective normal memory cell is connected, i.e. the bit line, with the corresponding column of the spare memory cell array, and the low redundancy replaces the row or word line to which the defective normal memory cell is connected, the spare word line in the spare memory cell array. To replace it.
제1도는 최근에 사용되고 있는 반도체 메모리장치, 예를 들면 8메가비트의 등기 그래픽 다이나믹 램(synchronous graphic DRAM)에 적용된 종래의 로우 리던던시방식을 보여준다.FIG. 1 shows a conventional low redundancy scheme applied to recently used semiconductor memory devices, for example, 8 megabit synchronous graphic DRAM.
제1도는 전체 메모리셀 어레이의 1/2 에 해당하는 부분으로서 각 메모리블럭(MBi:i는 0-15중의 하나)은 256킬로비트의 기억용량을 가진다. 상기 제1도에는 도시하지 않았지만 각 메모리블럭에는 예컨대 8개의 워드라인을 가지는 스페어 메모리블럭의 각각 제공되어 있다. 하나의 휴즈박스(FBi:i는 1-10중의 하나)는 노멀 워드라인을 제어하기 위한 리던던시 선택신호(ΦREDi:i는 1-10 중의 하나)를 발생하고 4개의 스페어 메모리블럭에서 각각 4개씩의 스페어 워드라인을 구동시키는 제어신호를 발생한다 . 예를 들면, 휴즈박스(FB3)는 메모리블럭들(MB2-MB5)에 제공된 4개의 스페어 메모리블럭들의 각각에 해당하는 4개씩의 스페어 워드라인들을 구동시키게 된다. 또한 휴즈박스(FB3)로부터 발생된 리던던시선택신호(ΦRED3)은 메모리블럭들 (MB0-MB3)의 노멀 워드라인을 활성화시키기 위한 워드라인 구동회로(XG1)에 노아게이트(1)와 낸드게이트(5)를 통하여 인가됨과 동시에, 메모리블럭들(MB4-MB7)의 노멀 워드라인을 활성화시키기 위한 워드라인 구동회로(XG2)에 노아게이트 및 낸드게이트를 통하여 인가된다. 휴즈박스에서는 제4도에 보인 바와 같이, 로우 어드레스 디코딩신호들(DRA2B3B-DRA8)의 논리상태에 따라 리던던시 선택신호(ΦREDi)와 스페어 워드라인 제어신호들(SWLO-SWL3)을 발생한다. 제4도에서 ΦDPX 는 로우어드레스 스트로브신호(RASB)에 응답하며 로우 어드레스 디코딩신호들이 입력되기 이전에 이미 로우레벨을 유지하여 휴즈회로(20)의 감지노드(22)와 스페어 워드라인 제어회로(24)의 노드(20)를 프리차아지시키고 있다가, 로우 어드레스 디코딩신호들이 입력될 때 하이레벨로 천이되는 신호이다.1 is a part corresponding to 1/2 of the total memory cell array, and each memory block (MBi: i is one of 0-15) has a storage capacity of 256 kilobits. Although not shown in FIG. 1, each memory block is provided with a spare memory block each having, for example, eight word lines. One fuse box (FBi: i is one of 1-10) generates a redundancy select signal (ΦREDi: i is one of 1-10) for controlling the normal word line, and each of four spare memory blocks Generates a control signal that drives the spare word line. For example, the fuse box FB3 drives four spare word lines corresponding to each of the four spare memory blocks provided to the memory blocks MB2-MB5. In addition, the redundancy select signal Φ RED3 generated from the fuse box FB3 is connected to the NOR gate 1 and the NAND gate 5 in the word line driving circuit XG1 for activating the normal word line of the memory blocks MB0-MB3. At the same time, through the NOR gate and the NAND gate to the word line driver circuit XG2 for activating the normal word line of the memory blocks MB4-MB7. In the fuse box, as shown in FIG. 4, the redundancy select signal? REDi and the spare word line control signals SWLO-SWL3 are generated according to the logic states of the row address decoding signals DRA2B3B-DRA8. In FIG. 4, Φ DPX responds to the low address strobe signal RASB and maintains a low level before the row address decoding signals are input, thereby detecting the sense node 22 and the spare word line control circuit 24 of the fuse circuit 20. Node 20 is precharged and transitioned to a high level when the row address decoding signals are input.
결함이 있는 메모리셀에 관련된 로우 어드레스 디코팅신호들이 입력되어 휴즈박스(FBi)로부터 하이레벨의 리던던시 선택신호(ΦREDi)가 발생되면 제3도의 워드라인 구동회로(XGi:i는 1-4중의 하나)에는 하이레벨의 리던던시 활성화신호(ΦRREi)가 인가된다. 결국, 노멀 워드라인들을 제어하는 워드라인 구동신호들 (ΦX0-ΦX3)이 모두 로우레벨로 됨에 따라 해당하는 노멀 워드라인들이 비활성화되고 스페어 워드라인들이 활성화되어 로우리던던시동작이 수행된다.When the row address decoding signals related to the defective memory cell are input and a high level redundancy select signal? REDi is generated from the fuse box FBi, the word line driver circuit XGi: i of FIG. 3 is one of 1-4. ) Is applied with a high level redundancy activation signal? RREi. As a result, as all of the word line driving signals ΦX0-ΦX3 controlling the normal word lines are at the low level, the corresponding normal word lines are deactivated and the spare word lines are activated to perform a low redundancy operation.
제1도와 같은 로우리던던시방식은 하나의 휴즈박스가 4개의 메모리블럭에 관련되어 있고 하나의 메모리블럭에 대하여는 1/2의 스페어 워드라인을 담당하고 있기 때문에 각 메모리블럭이 1/4로 활성화되는 경우에 적용할 수 있으며 하나의 메모리 블럭에 대하여 최대 2개의 로우이상은 구제할 수 없다. 또한 제1도의 종래 방식에서는 실질적으로는 메모리블럭(MB8)및 (MB9)만을 구제하면 되는 경우에도 MB8 및 MB9의 노멀 워드라인을 제어하는 ΦXi(i는 0-4)뿐만 아니라 MB4 및 MB5의 노멀 워드라인을 제어하는 ΦXi(i는 0-4)도 원하지 않게 비활성화시키기 때문에 메모리 블럭이 ½로 활성화 되는 경우에는 사용할 수 없다.In the low redundancy method as shown in FIG. 1, when one fuse box is associated with four memory blocks and one memory block is responsible for 1/2 spare word lines, each memory block is activated by 1/4. No more than two rows per memory block can be saved. In addition, in the conventional method of FIG. 1, even when only the memory blocks MB8 and MB9 need to be rescued, the normals of MB4 and MB5 as well as ΦXi (i is 0-4) controlling the normal word lines of MB8 and MB9 ΦXi (i is 0-4), which controls the wordline, is also undesirably disabled and cannot be used if the memory block is ½ active.
한편 제2도에 보인 종래의 다른 로우 리던던시구조에 있어서는 휴즈박스로부터 출력되는 리던던시 선택신호가 하나의 워드라인 구동회로에만 노아게이트와 낸드게이트를 통하여 인가되기 때문에 하나의 메모리블럭에 대하여 최대의 하나의 로우만을 구제할 수 있을 뿐이다. 제2도의 경우는 제1도의 경우와 같이 하나의 휴즈박스로부터 발생된 리던던시 선택신호 (ΦREDi)가 구제대상이 아닌 이웃하는 활성화메모리블럭의 노멀 워드라인까지 비활성시키는 경우도 없지만 하나의 메모리블럭에 대하여 1번의 구제만 가능하기 때문에 리던던시효율이 제1도의 경우보다 나아지지 않는다. 결국 제1도는 혹은 제2도와 같은 리던던시방식에서는 메모리 블럭이 ½로 활성화 되는 경우에는 리던던시효율을 높이기 위하여 즉 하나의 메모리블럭에 대하여 2개 이상의 로우를 구제할 수 있도록 하기 위하여 더 많은 수의 휴즈박스들이 필요하다. 그러나 이는 리던던시에 관련된 회로들이 차지하는 면적을 증가시키는 요인이 된다.On the other hand, in another conventional low redundancy structure shown in FIG. 2, since the redundancy select signal output from the fuse box is applied to only one word line driving circuit through the NOA and NAND gates, the maximum of one memory block is shown. Only rows can be saved. In the case of FIG. 2, as in FIG. 1, the redundancy select signal ΦREDi generated from one fuse box is not deactivated to the normal word line of the neighboring active memory block which is not the target of relief. Since only one remedy is possible, the redundancy efficiency is not better than in the case of FIG. As a result, in the redundancy scheme shown in FIG. 1 or FIG. 2, when the memory block is ½ activated, a larger number of fuse boxes may be used to increase redundancy efficiency, that is, to relieve more than one row for one memory block. I need it. However, this increases the area occupied by circuits involved in redundancy.
따라서 본 발명의 목적은 더 이상의 휴즈 박스를 사용하지 않고도 리던던시효율을 향상시킬 수 있는 반도체 메모리장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device capable of improving redundancy efficiency without using a fuse box.
본 발명의 다른 목적은 구제대상이 아닌 이웃하는 활성메모리블럭내의 노멀 워드라인들을 비활성화시키지 않도록 하는 로우 리던던시 기능을 가진 반도체 메모리 장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor memory device having a low redundancy function that does not deactivate normal word lines in neighboring active memory blocks that are not subject to relief.
이와 같은 본발명의 목적을 달성하기 위하여, 스페어 메모리 블럭을 가지는 다수개의 메모리 블럭과, 로우 어드레스 디코딩신호에 응답하여 리던던시선택신호와 상기 스페어 메모리블럭내의 스페어 워드라인을 구동시키는 스페어 워드라인 제어신호를 발생하는 다수개의 휴즈박스들고, 상기 메모리블럭내의 노멀 워드라인들를 제어하는 워드라인 구동신호를 발생하는 다수개의 워드라인 구동회로들을 가지는 반도체 메모리장치에 있어서 상기 메모리블럭의 선택에 관련된 신호와 적어도 둘이상의 상기 리던던시 선택신호를 입력하여 상기 워드라인 구동신호의 상태를 제어하는 복수개의 리던던시 활성화신호를 발생하는 수단을 구비함을 특징으로 한다.In order to achieve the object of the present invention, a plurality of memory blocks having a spare memory block, a redundancy select signal in response to a row address decoding signal and a spare word line control signal for driving a spare word line in the spare memory block A semiconductor memory device having a plurality of fuse boxes that are generated and a plurality of word line driver circuits for generating word line driving signals for controlling normal word lines in the memory block, the semiconductor memory device having at least two signals associated with the selection of the memory block. And means for generating a plurality of redundancy enable signals for inputting the redundancy select signal to control the state of the word line drive signal.
그러면 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 하기의 설명에서 참조되는 도면의 부호에 있어서, 실질적으로 동일한 구성과 기능을 가진 요소에 대하여는 가능한한 동일한 참조부호를 사용하겠다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the reference numerals referred to in the following description, the same reference numerals will be used as much as possible for elements having substantially the same configuration and function.
본 발명이 실제로 적용되는 제5도의 반도체 메모리장치는 제1도와 관련하여 전술한 바와 같이, 128킬로비트×32비트×2뱅크로 구성된 동기그래픽 다이나믹램으로서, 제1도의 경우와 같이 도시되지 않는 각 메모리블럭에 속하는 스페어 메모리블럭은 8개의 스페어 워드라인을 갖고 있다. 또한, 제5도에서 사용되는 휴즈박스(FBi)는 제4도에 보인 것과 그 배열, 구성 및 기능이 동일하며, 빗금친 메모리블럭들을 활성화되는 것들을 나타낸다.The semiconductor memory device of FIG. 5 to which the present invention is actually applied is a synchronous graphic dynamic ram composed of 128 kilobits x 32 bits x 2 banks, as described above with reference to FIG. 1, and is not shown as shown in FIG. The spare memory block belonging to the memory block has eight spare word lines. In addition, the fuse box FBi used in FIG. 5 shows the same arrangement, configuration, and function as those shown in FIG. 4, and those in which hatched memory blocks are activated.
제5도를 참조하면 휴즈박스(FB1)로부터 발생된 리던던시 선택신호(ΦFED 1)는 메모리블럭의 선택에 관련된 로우 어드레스 디코딩신호(DRA8)가 인버터(31)에 의해 반전된 신호와 함께 낸드게이트(33)에 입력된다. 휴즈박스(FB2)로부터 발생된 리던던시 선택신호(ΦRED2)는 메모리블럭의 선택에 관련된 로우 어드레스 디코팅신호(DRA8)가 인버터(32)에 의해 반전된 신호와 함께, 낸드게이트(35)에 입력된다. 휴즈박스(FB3)로부터 발생된 리던던시 선택신호(ΦRED3)는 DRA8B의 논리반전된 신호와 함께 낸드게이트(34)에 입력된다. 휴즈박스(FB4)로부터 발생된 리던던시 선택신호(ΦRED4)는, DRA8B의 논리반전된 신호와 함께 낸드게이트(36)에 입력된다.Referring to FIG. 5, the redundancy select signal Φ FED 1 generated from the fuse box FB1 includes a NAND gate along with a signal in which the row address decoding signal DRA8 related to the selection of the memory block is inverted by the inverter 31. 33). The redundancy select signal? RED2 generated from the fuse box FB2 is input to the NAND gate 35 together with a signal in which the row address decoating signal DRA8 related to the selection of the memory block is inverted by the inverter 32. . The redundancy select signal? RED3 generated from the fuse box FB3 is input to the NAND gate 34 together with the logic inverted signal of the DRA8B. The redundancy select signal? RED4 generated from the fuse box FB4 is input to the NAND gate 36 together with the logic inverted signal of the DRA8B.
각 휴즈박스로부터 리던던시 선택신호가 발생되는 과정은 전술한 제4도와 관련하여 생활한 것과 동일하다. 그리하여, 낸드게이트(33, 34)의 출력이 낸드게이트(37)로 입력되고, 다른 2개 낸드게이트들(35, 36)의 출력이 낸드게이트(38)로 입력된다. 낸드게이트들(37,38)의 출력은각각 리던던시 활성화신호들(ΦRRE1, ΦRRE2)로 되어 워드라인 구동회로(XG1)로 공급된다.The process of generating the redundancy selection signal from each fuse box is the same as that of living with reference to FIG. Thus, the outputs of the NAND gates 33 and 34 are input to the NAND gate 37, and the outputs of the other two NAND gates 35 and 36 are input to the NAND gate 38. The outputs of the NAND gates 37 and 38 are the redundancy activation signals? RRE1 and? RRE2, respectively, and are supplied to the word line driving circuit XG1.
워드라인 구동회로(XG1)로부터 발생되는 워드라인 구동신호(ΦXi:i는 1-4)는 4개의 메모리블럭(MB0, MB1, MB3)으로 동시에 공급된다.The word line driving signals ΦXi: i 1-4 generated from the word line driving circuit XG1 are simultaneously supplied to four memory blocks MB0, MB1, and MB3.
이웃하는 4개의 리던던시 선택신호와 메모리블럭선택에 관련된 로우어드레스 디코딩신호(DRA8, DRA8B)을 입력하여 논리조합시키는 구성은 4개의 메모리블럭마다 동일하게 반복된다. 예를 들어, 4개의 메모리블럭(MB8, MB9, MB10, MB11)의 노멀 워드라인을 제어하기 위하여 워드라인 구동회로(XG3)로부터 워드라인 구동신호(ΦXi)를 발생시키기 위해서는, 휴즈박스(FB5)로부터 발생된 리던던시 선택신호(ΦRED5) 및 DRA8의 논리반전된 신호를 입력하는 낸드게이트(55)와, 휴즈박스(FB7)로부터 발생된 리던던시 선택신호(ΦRED7)및 DRA8B 의 논리반전된 신호를 입력하는 낸드게이트 (54)와, 휴즈박스(FB8)로부터 발생된 리던던시 선택신호(ΦRED8) 및 DRA8B의 반전신호를 입력하는 낸드게이트(56)와, 낸드게이트들(53, 54)의 출력을 입력하는 낸드게이트(57)와, 낸드게이트들 (55,56)의 출력을 입력하는 낸드게이트(58)가 이용된다.The configuration of inputting and logically combining the neighboring four redundancy selection signals and the low address decoding signals DRA8 and DRA8B related to the memory block selection is similarly repeated for every four memory blocks. For example, in order to generate the word line driving signal Φ Xi from the word line driving circuit XG3 to control the normal word lines of the four memory blocks MB8, MB9, MB10, and MB11, the fuse box FB5 may be used. The NAND gate 55 for inputting the redundancy select signal? RED5 and the logic inverted signal of the DRA8 generated from the signal; and the redundancy select signal? RED7 and the logic inverted signal for the DRA8B generated from the fuse box FB7. NAND gate 54 for inputting the NAND gate 54, the redundancy select signal? RED8 generated from the fuse box FB8 and the inverted signal of the DRA8B, and NAND for inputting the outputs of the NAND gates 53 and 54; The NAND gate 58 which inputs the gate 57 and the output of the NAND gates 55 and 56 is used.
그리하여 예컨대 메모리블럭들(MB8, MB9)에서 결함이 있는 로우를 구제함에 있어서는 DRA8B가 하이레벨(DRA8은 로우레벨)로 되어 낸드게이트들(54, 56)은 비활성화되고 낸드게이트들(53, 55)은 활성화된다. 메모리 블럭(MB8)에 속하는 스페어 메모리블럭에는 8개의 스페어 워드라인들이 배치되어 있고 각 휴즈박스는, 제4도에 보인 바와 같이, 4개의 스페어 워드라인 제어신호(SWLO-SWL3)를 발생시키므로 메모리블럭들(MB8, MB9)에 속하는 노멀 워드라인들을 비활성화시키고 그에 대응하는 스페어 워드라인들을 구동시키기 위하여 휴즈박스들(FB5, FB6)로부터 리던던시 선택신호들(ΦRED5, ΦRED6)이 하이레벨로 활성화된다. 이때 ΦRED7 및 ΦRED8은 로우레벨로 비활성된 상태이다. 따라서, 낸드게이트들 (53, 55)이 각각ΦRE5와 ΦRED6을 유효한 입력으로 받아들이고, 이것에 응답하여 낸드게이트들(57, 58)이 유효한 리던던시 활성화신호들(ΦRRE1, ΦRRE2)을 각각 발생하게 된다. 즉 ΦRED5와 ΦRED6에 각각 응답하는 리던던시 활성화신호 ΦRRE1, ΦRRE2가 워드라인 구동회로 (XG3)로 인가되는 것이다.Thus, for example, in relieving a defective row in the memory blocks MB8 and MB9, the DRA8B is at a high level (DRA8 is at a low level) so that the NAND gates 54 and 56 are inactivated and the NAND gates 53 and 55 are deactivated. Is activated. Eight spare word lines are arranged in the spare memory block belonging to the memory block MB8, and each fuse box generates four spare word line control signals SWLO-SWL3 as shown in FIG. The redundancy select signals? RED5 and? RED6 from the fuse boxes FB5 and FB6 are activated to a high level in order to deactivate the normal wordlines belonging to the subfields MB8 and MB9 and to drive corresponding spare wordlines. At this time, ΦRED7 and ΦRED8 are inactive at the low level. Accordingly, the NAND gates 53 and 55 respectively accept ΦRE5 and ΦRED6 as valid inputs, and in response, the NAND gates 57 and 58 generate valid redundancy activation signals ΦRRE1 and ΦRRE2, respectively. That is, the redundancy activation signals ΦRRE1 and ΦRRE2 respectively corresponding to ΦRED5 and ΦRED6 are applied to the word line driving circuit XG3.
이때 워드라인 구도회로(XG2)에 대한 논리조합회로에서는 ΦRED5, ΦRED6이 하이레벨로 낸드게이트들(44, 46)에 각각 입력되더라도 DRA8B가 인버터(42)를 통하여 로우레벨로 낸드게이트들(44,46)에 동시에 인가되고 있으므로 유효한 리던던시 활성화신호가 발생되지 않음을 알 수 있다.At this time, in the logic combination circuit for the word line composition circuit XG2, even though ΦRED5 and ΦRED6 are input to the NAND gates 44 and 46 at the high level, respectively, the DRA8B is connected to the NAND gates 44, at the low level through the inverter 42. 46 is simultaneously applied, it can be seen that no valid redundancy activation signal is generated.
(제1도의 종래의 방식에서는 MB8 및 MB9의 노멀 워드라인들을 제어하는 ΦXi외에 인접한 활성메모리블럭 MB4 및MB6의 노멀워드라인들을 제어하는 ΦXi도 비활성화되었다는 것과 비교하면 알 수 있다.)(In the conventional scheme of FIG. 1, it can be seen that ΦXi, which controls the normal word lines of adjacent active memory blocks MB4 and MB6, besides ΦXi, which controls the normal word lines of MB8 and MB9, is also deactivated.)
제6도를 참조하면 워드라인 구동회로(XGi)에 인가된 ΦRRE1 및 ΦRRE2는, 4개의 로우 어드레스 디코딩신호들(DRAOB1B, DRAO1B, DRAOB1, DRAO1)을 인버터들(62)을 통하여 각각 입력하는 노아게이트들(64)에 공통으로 입력된다. 현재 ΦRRE1 및 ΦRRE2가 하이레벨이므로 노아게이트들 (64)은 모두 비활성화상태로 되고 엔모오스형의 풀다운 트랜지스터들 (70)이 모두 턴온됨에 의해 워드라인 구동신호들(ΦX0-ΦX3)은 모두 로우레벨로 비활성화 상태로 된다. 비활성화상태로 된 워드라인 구동신호들은 해당하는 메모리블럭들(MB8, MB9)의 노멀 워드라인이 구동하지 않도록 하는 대신에 제4고의 휴즈박스들(FB5, FB6)로부터 각각 발생된 스페어 워드라인 제어신호들(SWL0-SWL3)이 스페어 메모리블럭의 스페어 워드라인들을 구동시킴으로써, 리던던시동작이 수행된다.Referring to FIG. 6, ΦRRE1 and ΦRRE2 applied to the word line driving circuit XGi respectively input four row address decoding signals DRAOB1B, DRAO1B, DRAOB1, and DRAO1 through the inverters 62. Are input to the field 64 in common. Since ΦRRE1 and ΦRRE2 are high level, all of the NOA gates 64 are inactivated and all of the NMOS pull-down transistors 70 are turned on so that the word line driving signals ΦX0-ΦX3 are all low level. It becomes inactive. Spare word line control generated from the fourth fuse boxes FB5 and FB6 instead of the normal word lines of the corresponding memory blocks MB8 and MB9 are not driven. The redundancy operation is performed by the signals SWL0-SWL3 driving the spare word lines of the spare memory block.
다른 예로서, 메모리블럭들(MB4, MB5)에 대한 로우 리던던시를 수행하는 경우에는 휴즈박스들(FB3, FB4)로부터 발생된 리던던시 선택신호들(ΦRED3 및 ΦRED4)에 응답한 리던던시 활성화신호들 (ΦRRE1, ΦRRE2)이 발생되고 이것에 의해 워드라인 구동회로(XG2)로부터 메모리블럭들(MB4, MB5)의 노멀 워드라인을 비활성화시키는 워드라인 구동신호가 발생되어 해당하는 스페어 워드라인을 활성화시키게 됨을 이해할 수 있다. 또한 제5도에서 빗금으로 표시된 활성메모리블럭들이 로우 어드레스신호(RA8)에 의한 것들을 변경되는 경우 (활성화되는 메모리블럭이 MB2, MB3, MB6, MB7, MB10, MB11, MB14, MB15로 됨)에도 전술한 과정과 동일하게 로우 리던던시동작이 수행된다. 예컨대, 메모리블럭들(MB10, MB11)에 대하여 로우 리던던시를 행하는 경우에는, 낸드게이트들(54, 56)이 활성화되고 휴즈박스들(FB7, FB8)로부터 발생된 ΦRED7 및 ΦRED8에 응답한 ΦRRE1 및 ΦRRE2가 하이레벨로 발생되고 이것에 의해 워드라인 구동회로 (XG3)로부터 발생된 워드라인 구성신호는 MB10과 MB11의 해당하는 노멀 워드라인들을 비활성화시키고 FB7 및 FB8으로부터 각각 발생된 스페어 워드라인 제어신호들 (SWL0-SWL3)에 의해 비활성화된 노멀워드라인들에 대응하는 스페어 워드라인들이 활성화된다.As another example, when performing low redundancy for the memory blocks MB4 and MB5, the redundancy activation signals ΦRRE1 in response to the redundancy select signals ΦRED3 and ΦRED4 generated from the fuse boxes FB3 and FB4. It can be understood that Φ RRE2 is generated and thereby a word line driving signal for deactivating the normal word line of the memory blocks MB4 and MB5 is generated from the word line driving circuit XG2 to activate the corresponding spare word line. have. Also in the case where the active memory blocks indicated by hatching in FIG. 5 are changed by the row address signal RA8 (the active memory blocks become MB2, MB3, MB6, MB7, MB10, MB11, MB14, MB15). As in the same process, the low redundancy operation is performed. For example, when low redundancy is performed on the memory blocks MB10 and MB11, the NAND gates 54 and 56 are activated and ΦRRE1 and ΦRRE2 responding to ΦRED7 and ΦRED8 generated from the fuse boxes FB7 and FB8. Is generated at a high level, whereby the word line configuration signal generated from the word line driver circuit XG3 deactivates the corresponding normal word lines of MB10 and MB11 and spare word line control signals generated from FB7 and FB8, respectively. Spare word lines corresponding to normal word lines deactivated by SWL0-SWL3) are activated.
이와 같이 본 발명은 로우리던던시를 수행함에 있어서 이웃하는 메모리블럭의 노멀워드라인들까지도 원하지 않게 비활성화시킴에 의해 리던던시효율이 저하되는 문제를 해결하는 효과가 있다. 또한 본 발명은 휴즈 박스의 갯수를 늘리지 않고도 효율적인 리던던시기능을 수행할 수 있기 때문에 고집적의 반도체 메모리장치에 적용하기에 유리한 잇점이 있다.As described above, the present invention has an effect of solving the problem that redundancy efficiency is lowered by undesirably deactivating even normal word lines of a neighboring memory block in performing low redundancy. In addition, the present invention is advantageous in that it can be applied to a highly integrated semiconductor memory device because it can perform an efficient redundancy function without increasing the number of fuse boxes.
본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않으며 본 발명의 범위내에서 구성등을 단순하게 변경하거나 부가하는 것에 의해 본 발명을 달리 실시하는 것은 본 발명이 기술분야에서 통상이 지식을 가진 자에게는 용이할 것이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the present invention may be easily implemented by those skilled in the art by simply changing or adding the structure and the like within the scope of the present invention. will be.
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