KR0146078B1 - 이온주입기의 스캔에러 감지장치 - Google Patents

이온주입기의 스캔에러 감지장치

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KR0146078B1 KR1019950018175A KR19950018175A KR0146078B1 KR 0146078 B1 KR0146078 B1 KR 0146078B1 KR 1019950018175 A KR1019950018175 A KR 1019950018175A KR 19950018175 A KR19950018175 A KR 19950018175A KR 0146078 B1 KR0146078 B1 KR 0146078B1
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Abstract

본 발명은 이온주입기의 스캔에러 감지장치에 관한 것으로, 이온주입기의 서보모터제어기에서 엔코더신호가 출력되는지를 감지하는 출력감지부와; 상기 이온주입기의 도우즈제어기에서 출력되는 플래그 파라데이의 열림/닫힘신호로 플래그 파라데이의 개폐상태를 판별하는 개폐상태판별부와; 상기 개폐상태판별부에서 플래그 파라데이가 열린 것으로 판별하고 상기 출력감지부에서 엔코더신호가 출력되지 않고 있는 것으로 판별하면, 인터록신호를 출력하여 상기 이온주입기의 전원공급부에 입력함으로써, 전원공급부에서 전원출력이 되지 않게 하는 전원출력제어부로 구성되어, 이온주입기의 중앙처리장치나 스캔시스템에서의 에러로 인한 웨이퍼의 손실을 막도록 한 것이다.

Description

이온주입기의 스캔에러 감지장치
제1도는 본 발명 이온주입기의 스캔에러 감지장치가 설치된 이온주입기 블럭도.
제2도는 제1도의 이온주입기의 스캔에러 감지장치 회로도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
41 : 출력감지부 42 : 개폐상태판별부
43 : 전원출력제어부 44 : 에러표시부
본 발명은 반도체 웨이퍼에 이온(ion)을 주입하는 이온주입기에 관한 것으로, 특히 이온주입기의 플래그 파라데이(Flag Faraday)가 열린 상태에서 스캔(SCAN)동작이 이루어지지 않고 있으면 인터록(Interlock)신호로 전원공급부의 출력을 차단하여 웨이퍼의 손실을 막기 위한 이온주입기의 스캔에러 감지장치에 관한 것이다.
일반적으로 이온주입기(특히, 이튼 하이 커런트(Eaton High Current) 이온주입기)에 있어서, 이온주입을 위해, 이온주입기의 중앙처리장치(CPU)에서 주입시작신호가 출력되면 웨이퍼가 회전하게 되고(X스캔), 플래그 파라데이가 열려 이온빔(Ion Beam)이 출력되면 이온주입이 시작된다. 이때, 서보모터에 의해서 상하로 Y스캔되면서 웨이퍼 전면에 골고루 이온이 주입되게 된다.
이온주입이 완료되면, 이온주입기의 상기 중앙처리장치에서는 주입종료신호를 출력하게 되며, 이에따라 스캔시스템(Scan System)은 X, Y스캔동작을 정지하게 되고 상기 플래그 파라데이가 닫힘으로써 이온빔은 출력되지 않는다.
종래 이온주입기에 있어서의 문제점은, 중앙처리장치나 스캔시스템에서의 에러발생으로 인해 스캔동작이 이루어지지 않고 있는데도 이온빔이 웨이퍼에 가해짐으로써 이온이 웨이퍼 전면에 골고루 주입이 되지 않고 웨이퍼 일부분에만 주입되어 웨이퍼가 손실된다는데 있다.
본 발명은, 이러한 종래의 문제점을 감안하여, 스캔동작이 이루어지지 않고 있을때 인터록신호를 발생해서 전원공급부의 출력을 차단시킴으로써 이온빔발생을 막아 웨이퍼 손실을 미연에 방지하기 위한 이온주입기의 스캔에러 감지장치를 제공함에 목적이 있다.
상기 목적에 따른 본 발명 이온주입기의 스캔에러 감지장치는, 제2도에 나타낸 바와같이, 제1도의 이온주입기의 서보모터제어기(20)에서 엔코더(Encoder)신호가 출력되는지를 감지하는 출력감지부(41)와; 상기 이온주입기의 도우즈제어기(30)에서 출력되는 플래그 파라데이의 열림/닫힘신호로 플래그 파라데이의 개폐상태를 판별하는 개페상태판별부(42)와; 상기 개폐상태판별부(42)에서 플래그 파라데이가 열린 것으로 판별하고 상기 출력감지부(41)에서 엔코더신호가 출력되지 않는 것으로 판별하면, 인터록신호를 출력하여 제1도의 이온주입기의 전원공급부(10)에 입력함으로써, 이온주입기의 전원공급부(10)에서 전원 출력이 되지 않게 하는 전원출력제어부(43)로 구성된다.
그리고, 다른 실시예로서, 상기 전원출력제어부(43)에서 인터록신호가 출력될 때 에러발생을 표시하는 에러표시부(44)를 더 포함하여 구성된다.
이하, 작용을 상세히 설명한다.
본 발명 이온주입기의 스캔에러 감지장치는, 제1도에 도면부호 '40'으로 나타낸 바와같이, 서보모터제어기(20)와 도우즈제어기(30)로부터 에러감지에 필요한 신호(엔코더신호, 열림/닫힘신호)를 입력받아 에러발생시 전원공급부(10)에서의 전원출력을 차단시켜서, 스캔동작이 이루어지지 않고 있을 때 이온빔이 웨이퍼에 가해지는 것을 막음으로써 웨이퍼의 손실을 방지하도록 되어 있다.
즉, 제1도의 서보모터제어기(20)에서 출력되는 서보모터(미도시)의 엔코더신호가 출력감지부(41)에 입력되면, 출력감지부(41)의 트랜지스터(q1)가 그 엔코더신호에 따라 온,오프되며, 이에따라 상기 트랜지스터(Q1)의 컬렉터에서 로우, 하이신호가 출력되게 된다.
트랜지스터(Q1)의 컬렉터에서 출력되는 로우, 하이신호는 제1인버터(I1)에 의해 반전되어서 정확한 일정레벨(일예로, 5[V])의 로우, 하이신호로 되고, 이 로우, 하이신호는 한편으로는 제2인버터(I2)로 반전된 다음에 저항(R4)과 콘덴서(C1)로 된 지연기에 입력되고, 다른 한편으로는 바로 저항(R6)과 콘덴서(C1)로 된 다른 지연기에 입력된다.
따라서, 저항(R4)과 콘덴서(C1)로 된 지연기에 입력된 제1인버터(I1)의 출력은 상기 저항(R4)과 콘덴서(C1)에 의해서 결정되는 시정수에 따라 일정시간 지연된 다음에, 제1비교기(COM1)의 반전단자(-)에 입력되며, 제1비교기(COM1)는 이를 비반전단자(+)에 입력된 기준신호와 비교해서 하이 또는 로우신호를 출력하여 제3인버터(I3)를 통해 제1낸드게이트(NAND1)의 일측단자에 인가한다.
한편, 저항(R6)과 콘덴서(C2)로 된 지연기에 입력된 상기 제1인버터(1)의 출력은 상기 저항(R6과 콘덴서(C2)에 의해서 결정되는 시정수에 따라 일정시간 지연된 다음에, 제2비교기(COM2)의 반전단자(-)에 입력되며, 제2비교기(COM2)는 이를 비반전단자(+)에 입력된 기준신호와 비교해서 로우 또는 하이신호를 출력하여 제4인버터(I4)를 통해 상기 제1낸드게이트(NAND1)의 다른 일측단자에 인가된다.
이때, 서보모터제어기(20)에서 정상적으로 엔코더신호가 출력된다면 제3, 제4인버터(I3)(I4)에서는 모두 '하이'신호가 출력되며, 따라서 제1낸드게이트(NAND1) 즉 출력감지부(41)는 로우신호를 출력하여 전원출력제어부(43)의 일측에 입력한다.
한편, 플래그 파라데이의 열림, 닫힘을 알리는, 제1도의 도우즈제어기(30)에서 출력된 열림/닫힘신호가 개폐상태판별부(42)에 입력되면, 개폐상태판별부(42)의 트랜지스터(Q2)는 상기 열림/닫힘신호에 따라 온,오프된다.
따라서, 상기 트랜지스터(Q2)의 컬렉터에서 로우, 하이신호가 출력되고, 이 로우, 하이신호는 저항(R10)과 콘덴서(C3)로 결정되는 시정수에 따라 일정시간 지연되어 제3비교기(COM3)의 반전단자(-)에 입력되며, 제3비교기(COM3)는 이를 비반전단자(+)에 입력된 기준신호와 비교해서 하이 또는 로우신호를 출력하여 전원출력제어부(43)의 다른 일측에 입력한다.
플래그 파라데이가 열려져 있는 상태라면 개폐상태판별부(42)에서 하이신호가 출력된다.
따라서, 전원출력제어부(43)는 출력감지부(41)로부터 하이신호가 입력되고 개폐상태판별부(42)로부터 하이신호가 입력되면, 플래그 파라데이가 열려서 이온빔이 출력되고 있는데 스캔동작이 이루어지지 않고 있는 것으로 인식해서 로우신호(인터록신호)를 출력하여 전원공급부(10)에 입력한다.
전원공급부(10)에 인터록신호가 입력됨으로써 전원공급부(10)의 출력전원은 차단되고, 따라서 이온빔은 출력되지 않는다.
한편, 정상적일 때 점등상태로 있는 에러표시부(44)의 발광다이오드(LED)는, 스캔시스템 등에서 에러가 발생하여 상기 전원출력제어부(43)에서 인터록신호가 출력되면 소등된다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명은 개폐상태판별부로 플래그 파라데이의 개폐상태를 판별하고, 출력감지부로 서보모터제어기에서 엔코더신호가 출력되는지를 감지해서, 플래그 파라데이가 열려서 이온빔이 출력되고 있는데 엔코더신호가 출력되지 않는 것으로 판단되면, 스캔동작이 이루어지지 않고 있는 것으로 인식해서 전원출력제어부에서 인터록신호를 이온주입기의 전원공급부에 입력하여, 전원공급부에서 전원출력이 되지 않게 함으로써, 이온주입기의 중앙처리장치나 스캔시스템에서의 에러로 인한 웨이퍼의 손실을 막을 수 있다는 효과를 갖는다.

Claims (2)

  1. 이온주입기의 서보모터제어기에서 엔코더신호가 출력되는지를 감지하는 출력감지부와; 상기 이온주입기의 도우즈제어기에서 출력되는 플래그 파라데이의 열림/닫힘신호로 플래그 파라데이의 개폐상태를 판별하는 개폐상태판별부와; 상기 개폐상태판별부에서 플래그 파라데이가 열린 것으로 판별하고 상기 출력감지부에서 엔코더신호가 출력되지 않고 있는 것으로 판별하면, 인터록신호를 출력하여 상기 이온주입기의 전원공급부에 입력함으로써, 전원공급부에서 전원출력이 되지 않게 하는 전원출력제어부를 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입기의 스캔에러 감지장치.
  2. 제1항에 있어서, 전원출력제어부에서 상기 인터록신호가 출력되면 에러발생을 표시하는 에러표시부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 이온주입기의 스캔에러 감지장치.
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