KR0138439Y1 - 밀집구조형 병렬식 이온펌프셀구조 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 초고진공 배기용펌프의 셀구조에 관한 것으로서, 한쌍의 마그네트(2),(2') 사이에 셀유니트(1)를 설치한 이온펌프에 있어서, 마그네트(2),(2') 사이에 다수의 셀유니트(A),(B),(C)를 설치하고, 셀유니트(A)와 상기 마그네트(2) 사이와 셀유니트(C)와 마그네트(2') 사이 및 각 셀유니트(A),(B),(C) 사이에 각각 전극인 티타늄플레이트(31~34)를 설치하여 병렬식 밀집구조로 이루어져 고가인 배기용 전극판 및 마그네트의 수를 줄일 수 있는 구조이기 때문에 펌프전체의 크기를 줄이고 펌프모양이 간단하다고 하는 장점뿐만 아니라 경제적인 펌프를 얻을 수 있는 밀집구조형 병렬식 이온펌프 셀구조를 제공한다.
Description
본 고안은 초고진공 배기용 펌프의 셀구조에 관한 것으로서, 특히 펌프셀 구조를 밀집구조형으로 하여 펌프전체의 크기도 줄이고 배기용 전극판의 개수 및 자석의 수를 줄일 수 있는 밀집구조형 병렬식 이온펌프 셀구조에 관한 것이다.
이온펌프 및 제어기(ION PUMP CONTROLLER)는 오일(OIL)과 모터(MOTOR)를 쓰지 않고 오일 오염 및 진동 노이즈가 없기 때문에 초정밀을 요하는 진공 시스템에 초고진공 배기장비로 사용되며, 초고진공 시스템의 주요 적용분야는 우주개발 연구분야, 방사광 가속기 연구분야, 반도체 제조설비 및 연구분야, 금속공항 연구분야, 신소재관련 연구분야, 표면물리 연구분야 등으로서 이온 펌프가 필수적으로 사용된다.
이러한 이온펌프는 진동이 없는 초고진동 배기용 펌프이며, 일반적으로 배기용량이 큰 이온펌프를 제작하게 되면 셀 개수도 상당히 많아져서 펌프모양이 복잡해지고, 셀 한 개당 자석을 쌍으로 설치해야되기 때문에 제작도 까다로워진다.
제1도는 종래 일반적인 이온펌프의 셀모듈 구조도로서, 배기용량이 큰 이온펌프를 제작하게 되면 셀유니트(1) 수도 상당히 많아져서 펌프모양이 복잡해지고, 셀유니트(1) 한 개당 마그네트(2),(2')를 쌍으로 설치해야되기 때문에 제작도 까다로워지며, 펌프의 무게도 상당히 무거워지게 되는 문제점이 있다.
본 고안은 상기한 실정을 감안하여 종래 이온펌프셀구조가 갖는 문제점을 해결하고자 안출한 것으로서, 한쌍의 마그네트 내에 다수의 셀유니트를 설치하여 펌프전체의 크기도 줄이면서 배기용 전극판의 개수 및 마그네트의 수를 줄일 수 있는 밀집구조형 병렬식 이온펌프 셀구조를 제공함에 그 목적이 있다.
제1도는 종래 일반적인 이온펌프의 셀모듈 구조도.
제2도는 본 고안 밀집구조형 병렬식 이온펌프셀 구조도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 셀유니트 2,2' : 마그네트(자석)
3,31,32,33,34: 티타늄플레이트(전극) 4 : 셀케이스
A,B,C : 셀유니트
상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안 밀집구조형 병렬식 이온펌프는 한쌍의 마그네트(2),(2') 사이에 셀유니트(1)를 설치한 이온펌프에 있어서, 마그네트(2),(2') 사이에 다수의 셀유니트(A),(B),(C)를 설치하고, 셀유니트(A)와 상기 마그네트(2) 사이와 셀유니트(C)와 마그네트(2') 사이 및 각 셀유니트(A),(B),(C) 사이에 각각 전극인 티타늄플레이트(31~34) 를 설치하여 병렬식 밀집구조를 갖는 것을 특징으로 한다.
미설명부호 4는 셀케이스이다.
이하 첨부도면을 참조하여 본 고안 이온펌프 셀구조를 종래의 구조와 비교 설명한다.
제1도에서 보면, 종래 이온펌프 제어기에서 출력된 고전압이 셀유니트(1)와 셀케이스(4) 사이 티타늄플레이트(3)에 인가된다. 그러면 티타늄플레이트(3) 근처에 있는 전자들이 셀유니트(1) 쪽으로 이동하게 된다. 이때 전자들은 가스(질소, 산소, 아르곤, 수소등) 들과 충돌하게 되며, 전자와 충돌된 가스들은 포지티브이온으로 된다. 포지티브이온들은 전기장에 의해서 티타늄플레이트(3)에 강하게 충돌하게 되고, 충돌에 의해서 티타늄원자들이 스퍼터링되며, 스퍼터링된 티타늄원자들이 셀유니트(1) 내부에서 가스들과 화학적 결합을 하면서 가스들이 배기되는 것이다. 제1도에 도시한 바와 같은 구조를 갖는 종래 다이오드형 이온펌프는 티타늄전극(3) 한면만이 스퍼터링되면서 펌핑역할을 하며, 셀유니트(1) 한개당 마그네트(2),(2')를 쌍으로 설치해야 되기 때문에 펌프의 용량이 커질수록 복잡해지고 제작도 까다로워지며, 무게도 상당히 무거워진다.
반면에 제2도에 도시한 바와 같은 본 고안 이온펌프에서 보면 중간에 있는 배기용 티타늄플레이트(32),(33)은 양쪽 셀유니트(A),(B)와 (B),(C)에 의해 스퍼터링될 수 있기 때문에 종래 이온펌프셀에 비해 전극판 즉 티타늄플레이트의 활용율이 두배가 되며, 같은 이유로 고가의 티타늄플레이트 및 마그네트수를 줄일 수 있는 구조가 되었다.
상기한 바와 같이 본 고안은 고가인 배기용 전극판 및 마그네트의 수를 줄일 수 있는 구조이기 때문에 펌프전체의 크기를 줄이고 펌프모양이 간단하다고 하는 장점뿐만 아니라 경제적인 펌프를 얻을 수 있는 장점이 있다.
Claims (1)
- 한쌍의 마그네트(2),(2') 사이에 셀유니트(1)를 설치한 이온펌프에 있어서, 마그네트(2),(2') 사이에 다수의 셀유니트(A),(B),(C)를 설치하고, 셀유니트(A)와 상기 마그네트(2) 사이와 셀유니트(C)와 마그네트(2') 사이 및 각 셀유니트(A),(B),(C) 사이에 가각 전극인 티타늄플레이트(31~34)를 설치하여 병렬식 밀집구조를 갖는 것을 특징으로 하는 밀집구조형 병렬식 이온펌프 셀구조.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960058722U KR0138439Y1 (ko) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 밀집구조형 병렬식 이온펌프셀구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960058722U KR0138439Y1 (ko) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 밀집구조형 병렬식 이온펌프셀구조 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980045580U KR19980045580U (ko) | 1998-09-25 |
| KR0138439Y1 true KR0138439Y1 (ko) | 1999-05-15 |
Family
ID=19484132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019960058722U KR0138439Y1 (ko) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 밀집구조형 병렬식 이온펌프셀구조 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0138439Y1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050075194A (ko) * | 2004-01-16 | 2005-07-20 | (주)알파플러스 | 자기 및 이온 차폐형 미니이온펌프 및 진공용기 내벽 플라즈마 처리장치 |
-
1996
- 1996-12-27 KR KR2019960058722U patent/KR0138439Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19980045580U (ko) | 1998-09-25 |
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