KR0138236Y1

KR0138236Y1 - 배출가스 정화장치의 수분제거 장치

Info

Publication number: KR0138236Y1
Application number: KR2019960001785U
Authority: KR
Inventors: 원영식
Original assignee: 원영식
Priority date: 1996-02-06
Filing date: 1996-02-06
Publication date: 1999-04-15
Also published as: KR970051074U

Abstract

본 고안은 배출가스 정화장치의 수분제거 장치에 관한 것으로서, 배출가스를 정화시키는 장치에 있어서 분사되어 무화된 수분의 일부가 역류하여 정화장치의 흡입부와 연결된 메인덕트(Main Duct)에 침입하며, 이로 인하여 주로 함석관으로 된 상기 메인덕트를 부식시키거나 배출가스와 반응하여 메인덕트에 슬러지(Sluge)를 형성하였다.

또한, 정화된 배출가스는 상술된 바와같이 물이 분사되어 수분이 다량 함유되어 있는바 이러한 배출가스로, 배출부를 통해 메인덕트로 방출하게 되면 상기 메인덕트는 수분으로 인해 부식되는 등의 문제점이 발생되었다.

이에 본 고안은 예시도면 제1도 내지 제5도에서와 같이 냉각용기(10)에 배출관(14)과 열전소자(24)가 삽입 설치된 흡입관(22)으로 구성된 수분제거 장치를 형성하여, 상기 열전소자(24)의 가열부(34) 및 냉각부(36)를 효과적으로 이용함으로써 상기 문제점을 해소한 것이다.

Description

배출가스 정화장치의 수분제거 장치

제1도는 본 고안에 따른 수분제거장치를 나타낸 평면도.

제2도는 본 고안에 따른 수분제거장치를 나타낸 정면도.

제3도는 본 고안에 따른 수분제거장치를 나타낸 측면도.

제4도는 본 고안에 따른 수분제거장치의 배출관을 나타낸 사시도.

예시도면 제5도는 본 고안에 따른 수분제거장치의 흡입관을 나타낸 분해사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 냉각용기 12 : 격벽

14 : 배출관 16 : 토출공

18 : 흡입공 20 : 격벽

22 : 흡입관 24 : 열전소자

26 : 가열관 28 : 냉각판

30 : 냉각핀 32 : 단열재

34 : 가열부 36 : 냉각부

38 : 요홈 40 : 관통공

42 : 전선 44 : 보울트

46 : 고무패킹

본 고안은 배출가스 정화장치의 수분제거 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 열전소자의 가열부 및 냉각부를 효율적으로 이용하여 가스속에 포함된 수분을 제거함으로써 덕트의 부식을 방지하는 배출가스 정화장치의 수분제거 장치에 관한 것이다.

통상 반도체 제조공장 등의 공정중에 발생되는 가스는 정화시켜 배출해야 되는데, 이러한 배출가스를 정화시키는 장치에 있어서, 그 정화공정은 분진이 포함된 배출가스에 물을 분사하여 배출가스에 포함된 분진이 물에 흡착되게 하여 배출가스를 정화시키는데, 이때, 분사되어 무화된 수분의 일부가 역류하여 정화장치의 흡입부와 연결된 매인덕트(Main Duct)에 침입하며, 이로 인하여 주로 함석관으로 된 상기 메인덕트를 부식시키거나 배출가스와 반응하여 메인덕트에 슬러지(Sluge)를 형성하였다.

또한, 정화된 배출가스는 상술된 바와같이 물이 분사되어 수분이 다량 함유되어 있는바 이러한 배출가스를 배출부를 통해 메인덕트로 방출하게 되면 상기 메인덕트는 수분으로 인해 부식되는 등의 문제점이 발생되었다.

이에 본 고안은 상기 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 무화되어 역류된 수분을 제거하여 상기 수분이 정화장치의 흡입부와 연결된 메인덕트의 부식 및 슬러지 생성을 방지하고, 또한 정화장치를 통과한 배출가스의 수분을 제거하여 배출부와 연결된 메인덕트의 부식을 방지하는 배출가스 정화장치의 수분제거 장치를 제공함에 본 고안의 목적이 있는 것이다.

이를위한 본 고안은 냉각용기에 배출관과 열전소자가 삽입 설치된 흡입관이 관통되는 배출가스 정화장치를 형성하되, 상기 흡입관은 내측의 가열관과 외측의 냉각판으로 구성되며 상기 가열관과 냉각판 사이에 열전소자가 삽입되어 가열부는 가열관에 밀착되고 냉각부는 냉각판과 밀착시킨다.

또한 배출관은 상·하부에 각각 배출공 및 흡입공이 형성되고 상기 배출공 및 흡입공 사이에 격벽이 형성되어 있으며, 상기 냉각용기에도 흡입관 일측과 배출관 일측에 격벽이 형성되고 상기 배출관 타측과 냉각용기의 일측에도 격벽이 설치되어 있다.

따라서 상기 배출가스가 흡입관을 통해 가열된 다음 냉각용기를 거쳐 응출되어 수분이 제거되고, 무화된 수분이 상기 배출관 및 흡입관으로 그 구조상 역류되기 어려우며, 냉각용기를 거쳐 수분이 제거되고 흡입관에서는 가열되어 포화온도가 상승하여 수분이 제거되므로, 정화장치의 흡입부에 연결된 메인덕트 내의 수분의 침입을 방지하여, 부식 및 슬러지 생성을 억제하고 또한 정화장치를 거친 배출가스의 수분을 제거하여 방출함으로써 정화장치의 배출부에 연결된 메인덕트의 부식을 방지할 수 있는 것이다.

이하 첨부된 예시도면과 함께 본 고안을 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 고안은 냉각용기(10)에 배출관(14)과 열전소자(24)가 삽입 설치된 흡입관(22)이 관통되는 것을 특징으로 하는 배출가스 정화장치의 수분제거 장치이다.

또한, 상기 배출관(14)은 하부에 일면에 토출공(16)이 형성되고 상부타면에 흡입공(18)이 형성되며 상기 토출공(16)과 상기 흡입공(18) 사이에 격벽(20)이 설치된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 흡입관(22)은 내측의 가열관(26)과 상기 가열관(26)의 외측에 다수의 냉각핀(30)이 설치된 다수의 냉각판(28)이 설치되는 한편 상기 가열관(26)과 상기 냉각판(28)사이에 열전소자(24) 및 단열재(32)가 삽입 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 냉각용기(10)는 상기 배출관(14)의 일측과 상기 흡입관(22)의 일측에 격벽(12)이 설치되고, 상기 배출관(14)의 타측과 상기 냉각용기(10)의 일 내면에 격벽(12)이 설치되는 것을 특징으로 한다.

예시도면 제1도는 본 고안에 따른 수분제거 장치를 나타낸 평면도이고, 예시도면 제2도는 본 고안에 따른 수분제거 장치를 나타낸 정면도이며, 예시도면 제3도는 본 고안에 따른 수분제거장치를 나타낸 측면도이다. 또한 예시도면 제4도는 본 고안에 따른 수분제거장치의 배출관을 나타낸 사시도이고, 제5도는 본 고안에 따른 수분제거장치의 흡입관을 나타낸 분해사시도이다.

본 고안에 따른 수분제거장치는 배출가스 정화장치의 흡입부에 부가적으로 장착될 수 있는 장치로서, 열전소자(24)의 가열부(34) 및 냉각부(36)를 모두 이동할 수 있도록 한 장치이다.

열전소자(24)는 일동의 열펌프로서 펠티에(Pertier)효과를 이용한 부재로 일면은 흡열을 타면은 방열을 하며, 즉 일면은 냉각을 타면은 가열을 한다.

본 고안은 이러한 열전소자를 이용한 장치로서, 통상 냉각장치에 사용되는 열전소자에 있어 상기 열전소자의 냉각부만을 이용하지만 본 고안은 냉각부(34)와 가열부(36)을 동시에 효율적으로 이용한다.

즉, 냉각부(34)는 무화되어 역류되는 수분은 냉각 응축시키며, 가열부(36)는 상기 안출된 수분을 가열하며 포화수증기 온도를 증가시켜 수분을 기화하고, 반대로 상기 수분제거 장치를 통과하여 정화장치로 흡입되는 배출가스의 수분을 제거하여 차기 공정인 물분사 공정에서 그 반응을 더욱 상승시키는 작용을 한다.

이를 위한 본 고안은 냉각용기(10)와 상기 냉각용기(10)로 관통하는 흡입관(22) 및 배출관(14)으로 크게 구성된다.

흡입관(22)은 가열관(26)과 다수의 냉각판(28) 및 열전소자(24)와 단열재(32)로 구성되며, 예시도면 제5도에서 상기 흡입관의 분해사시도가 표현되어 있다.

도시된 바와같이 가열관(26)의 내주는 원형이고 외주는 각형으로 형성되어 있으며, 상기 내주가 원형인 것을 가열관(26)에 흐르는 배출가스로 부터 불순물이 용이하게 상기 가열관(26)의 내주에 흡착되거나, 무화되어 역류된 수분이 상기 배출가스의 불순물과 반응하여 상기 가열관(26)의 내주에 흡착되는 것을 방지시키기 위함이다.

또한 상기 가열관(26)의 외주는 각형으로 형성되어 있으며 상기 각형의 외주 각면에 열전소자(24)와 단열재(32) 및 냉각판(28)이 부착된다.

열전소자(24)가 부착되기 위하여 상기 가열관(26)의 외주 및 냉각판(28)에 요홈(38)이 각각 형성되어 있으며, 상기 열전소자(24)의 가열부(34)가 가열관(26)의 외측에 밀착되고, 냉각부(36)가 냉각판(30)에 밀착된다.

상기 흡입관(22)에 삽입된 열전소자(24)가 작동되면 이에 밀착된 가열관(26) 및 냉각판(28)은 열전도되어 그 온도가 변하고, 상기 가열관(26) 및 냉각관(28)은 서로 밀착되므로 상기 부재간의 열전도로 인한 기능 저하를 방지하기 위하여 상기 가열관(26)과 냉각관(28) 사이에는 단열재(32)가 삽입 설치된다.

또한 단열재(32)에 형성된 관통공(40)의 하부 양측에는 전선(42)이 안착되기 위한 반원 단면의 홈이 형성되어 있고, 상기 가열관(26)의 외측에도 상기 단열재(32)의 홈이 안착되는 홈이 형성되어 가열관(26)과 전선과의 접촉을 피해 가열관(26)으로 부터의 열이 전선에 전달되는 것을 막는다.

냉각판(28)은9 현단면 모양으로 상기 냉각판(28)의 외측에는 냉각핀(30)이 종방으로 다수 형성되어 열전도되는 면적을 확장시킴으로써 냉각의 효과를 증대시킨다.

냉각판(28)과 단열재(32) 및 가열관(26)은 보울트(44)로 결합되며, 상기 보울트(44)에는 고무패킹(46)이 함께 결합되어 냉각판(28)에 의해 응축되어진 수분의 침입을 막는다.

냉각용기(10)는 배출가스나 무화되어 역류되는 수분의 흐름을 제어하고 냉각판(28)으로 부터 냉각상태를 유지하고, 응축되어진 수분을 모으는 부재로, 상기 흡입관(22)과 미설명된 배출관(14)이 상기 냉각용기(10)에 관통되며, 예시도면 제1도 내지 제4도에 도시되었다.

상기 흡입관(22)의 일측과 상기 배출관(14)의 일측에 격벽(12)이 설치되며, 배출관(14)은 타측과 냉각용기(10)의 일측에도 격벽(12)이 설치된다.

또한 상기 배출관(14)은 상기 격벽(12)을 중심으로 그 하부 일면에 토출공(16)이 형성되고, 상부 타면에 흡입공(18)이 설치되며, 상기 토출공(16)과 흡입공(18)사이에 격벽(20)이 설치된다.

따라서, 토출공(16)을 통해 나온 배출가스가 격벽(12)에 의해 냉각판(28)측으로 흘러 냉각판과 냉각용기 사이에는 격벽이 없으므로, 냉각판(28)을 돌아 다시 흡입공(18) 흡수된다.

상기 기술된 토출공(16)이나 흡입공(18) 또는 흡입관(22) 및 배출관(14)의 의미는 배출가스의 흐름의 관점에서 명칭되어진 것이며, 상기 무화된 수분의 입장에서 보면 상기 명칭은 반대의 의미이고, 상기 배출가스의 흐름과도 반대이다.

즉, 무화되어 역류된 수분은 상기 흡입공(18)으로 배출되어 냉각판(28)을 돌면서 응축되고 수분이 제거되며 토출공(16)으로 흡입되어 가열관(26)으로 흐르게 된다.

상기 냉각용기(10)에서 응축되어진 수분은 토출공(16)을 통해 밖으로 배출되어 이를 용이하게 하기 위하여 냉각용기(10)의 하부를 경사지게 형성하는 것도 가능하다.

즉, 격벽(12)을 중심으로 흡입공(18) 측이 위치한 냉각용기(10)의 하부판은 냉각판(28) 측으로 경사되게 하고, 상기 격벽(12)을 중심으로 토출공(16) 측이 위치한 냉각용기(10)의 하부판은 토출공(16) 측으로 경사지게 하여 응축되어진 수분이 고여있는 것을 방지하고, 곧바로 토출공(16)을 통해 외부로 배출되게 할 수 있는 것이다.

미도시 되었지만 흡입관(22)과 배출관(14)이 관으로 연결됨은 당연하며, 상기 관의 하부에 상기 냉각용기(10)에서 응축되어진 수분을 저장하는 탱크를 형성하고, 상기 탱크에 모여진 물을 정기적으로 제거하도록 할 수 있다.

본 고안에 따른 수분제거 장치는 정화장치의 배출부에도 그 장착이 가능하며 이 때에는 배출관(14)이 정화장치와 결합되고 흡입관(22)이 메인덕트와 연결됨이 바람직하다.

즉, 배출관(14)으로 부터 흡입된 수분을 다량함유한 정화가스가 냉각판(28)을 지나면서 응축되어 다량의 수분이 제거되고 잔여수분은 가열관(26)을 통과하면서 기화되어 메인덕트로 방출되도록 하는 것이다.

이하 본 고안에 따른 수분제거 장치의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.

본 고안에 따른 수분제거 장치는 배출가스 정화장치의 흡입부 및 배출부에 장착 되어지는 바, 먼저 배출가스 정화장치의 흡입부에 본 고안에 따른 수분제거 장치를 장착하게 되면, 메인덕트를 통하여 흡입된 배출가스가 가열관(26) 및 토출공(16)을 통해 냉각판(28)을 지나면서 수분이 응축되고 건조한 배출가스가 흡입공(18)을 통해 정화장치로 방풀되며, 건조되어진 배출가스는 차기공정인 물분사 공정에서 반응이 더욱 용이하게 되며, 물분사 공정에서 역류된 무화된 수분은 상기 냉각용기의 구조상으로 메인덕트로의 역류가 어렵고, 흡입공(18)을 통해 역류되더라도, 냉각판(28)로 인하여 그 수분의 다량이 제거되며, 잔여한 수분은 가열관(26)을 통해 기화됨으로 메인덕트내로의 수분의 침입을 방지한다.

따라서, 정화장치에서 메인덕트로의 수분의 역류를 방지하며 상기 수분으로 인한 메인덕트의 부식 및 슬러지 생성을 방지한다.

다음으로 본 고안에 따른 수분제거 장치를 배출가스 정화장치의 배출부에 장착하게 되면, 배출관(14)이 상기 정화장치의 배출부에 연결되고 흡입공(18)을 통하여 정화된 배출가스가 냉각용기(10)내로 흐르게 되며 냉각판(28)을 돌아 흐를 때 다량의 수분이 제거되고, 가열관(26)을 통해 기화되어 메인덕트로 방출된다. 또한 상기 정화된 배출가스는 물분사 과정을 통해 다량의 수분이 함유되어 있는바, 상기 수분제거 장치를 직렬 또는 병렬로 다수 연결하여 더욱 효과적으로 제거할 수 있다.

따라서, 본 고안에 따르면 메인덕트 내로의 수분의 침입을 방지하여 메인덕트의 부식 및 슬러지로 인한 폐색을 방지하는 효과가 있다.

Claims

냉각용기(10)에 배출관(14)과 열전소자(24)가 삽입설치된 흡입관(22)이 관통되는 것을 특징으로 하는 배출가스 정화장치의 수분제거 장치.
제1항에 있어서, 상기 배출관(14)은 하부에 일면에 토출공(16)이 형성되고 상부타면에 흡입공(18)이 형성되며 상기 토출공(16)과 상기 흡입공(18)사이에 격벽(20)이 설치된 것을 특징으로 하는 배출가스 정화장치의 수분제거 장치.
제1항에 있어서, 상기 흡입관(22)은 내측의 가열관(26)과 상기 가열관(26)의 외측에 다수의 냉각핀(30)이 설치된 다수의 냉각판(28)이 설치되는 한편 상기 가열관(26)과 상기 냉각판(28) 사이에 열전소자(24) 및 단열재(32)가 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 배출가스 정화장치의 수분제거 장치.
제1항에 있어서, 상기 냉각용기(10)는 상기 배출관(14)의 일측과 상기 흡입관(22)의 일측에 격벽(12)이 설치되고, 상기 배출관(14)의 타측과 상기 냉각용기(10)의 일 내면에 격벽(12)이 설치되는 것을 특징으로 하는 배출가스 정화장치의 수분제거 장치.