KR0134740Y1 - 웨이퍼 추락 경보기능을 갖는 컨베이어 방식의 반도체 장비 - Google Patents

Abstract

본 고안은 컨베이어 벨트, 상기 컨베이어 벨트의 일측에 위치한 웨이퍼 추락 안전 용기를 구비하는 컨베이어 방식의 반도체 장비에 있어서, 상기 웨이퍼 추락 안전 용기 내에 웨이퍼가 떨어지면 경보를 발생하는 웨이퍼 추락 경보장치를 구비하는 것을 특징으로 하여, 연쇄적인 웨이퍼 추락현상을 미연에 방지하여 웨이퍼 손실을 최소화시켜 제품의 생산성을 향상시키는 효과가 있는 컨베이어 방식의 반도체 장비에 관한 것이다.

Description

웨이퍼 추락 경보기능을 갖는 컨베이어 방식의 반도체 장비

제1도는 본 고안에 따른 컨베이어 방식의 반도체 장비에 설치되는 웨이퍼 추락 경보장치의 회로도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 반사경 2 : 웨이퍼 추락 신호 발생부

3 : OR 게이트 4 : 릴레이 스위치

5 : 부저 10 : 포토센서

본 고안은 반도체 장비에 관한 것으로, 특히, 웨이퍼 추락 경보기능을 갖는 컨베이어(conveyor) 방식의 반도체 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 컨베이어 방식의 반도체 장비는 컨베이어를 사용하여 웨이퍼를 운반하는 장비를 말하며, 이러한 종래 컨베이어 방식의 반도체 장비인 보호막 증착 장비를 일예로 종래기술을 살펴본다.

종래 보호막 증착 장비는 컨베이어 벨트가 계속적으로 회전하면서 웨이퍼를 일정 방향으로 운반시켜 공정 개스가 분사되는 노즐 밑을 통과하면 공정을 진행하고, 공정이 끝난 웨이퍼는 반대편으로 컨베이어에 의해서 언로딩(unloading)하게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래 컨베이어 방식의 반도체 장비는 컨베이어 벨트가 롤러 사이의 레일에서 벗어나거나 하는 등과 같은 장비의 불량으로 인해 웨이퍼가 추락될 시 작업자가 신속히 조치를 취하지 않으면 진행되는 웨이퍼가 연속적으로 추락됨으로써 결국 대량의 웨이퍼가 계속 긁히거나 파괴되어 제품손실이 증가하는 문제점을 초래했다.

따라서, 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 고안은, 장비의 컨베이어 롤러 옆에 위치한 웨이퍼 추락 안전 용기에 웨이퍼 감지용 센서를 설치하여, 웨이퍼 추락 시에 경보음을 울리게 함으로써 연쇄적인 웨이퍼 추락현상을 미연에 방지하여 웨이퍼 손실을 최소화시키는 웨이퍼 추락 경보기능을 갖는 컨베이어 방식의 반도체 장비를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 웨이퍼 추락 안전 용기 내에 웨이퍼가 떠어지면 웨이퍼 추락 신호를 출력하는 적어도 하나의 웨이퍼 감지수단; 및 상기 웨이퍼 감지 수단 중 적어도 하나가 웨이퍼 추락 신호를 발생하면 그에 응답하여 경보를 발생시키는 경보발생수단을포함하여 이루어진다.

이하, 첨부된 도면 제1도를 참조하여 본 고안의 일실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 제1도는 본 고안에 따른 컨베이어 방식의 반도체 장비에 설치되는 웨이퍼 추락 경보 장치의 회로도로서, 도면에서 1은 반사경, 2는 웨이퍼 추락 신호 발생부, 3은 OR 게이트, 4는 릴레이 스위치, 5는 부저, 10은 포토센서, R은 저항을 각각 나타낸다.

도면에 도시된 바와 같이 본 고안의 웨이퍼 추락 경보장치는, 웨이퍼 추락 안전 용기에 설치된 한 쌍의 반사경(1)과, 한 쌍의 반사경(1)과 대향된 위치에 각각 설치되어 자체 발생시킨 빛이 반사경(1)에 반사된 것을 감지하며, 이때 빛을 감지하지 못하면 웨이퍼가 추락됨을 뜻하는 웨이퍼 추락 신호를 각각 발생시키는 한 쌍의 웨이퍼 추락 신호 발생부(2)와, 한 쌍의 웨이퍼 추락 신호 발생부(2) 각각의 출력을 입력받아 OR 연산하는 OR 게이트(3)와, OR 게이트(3)의 출력에 따라 스위칭하는 릴레이 스위치(4)와, 릴레이 스위치(4)의 온·오프 상태에 따라 경보를 발생하는 부저(5)를 구비한다. 이때, 반사경(1) 및 웨이퍼 추락 신호 발생부(2)를 한 쌍 설치한 것은 추락된 웨이퍼를 감지하는 능력을 향상시키기 위한 것으로 그 이상으로 설치해도 무방하다.

여기서, 상기 웨이퍼 추락 신호 발생부(2)는 반사경(1)에 대향된 위치에 설치되는 포토센서(10)와, +5V와 포토센서(10)의 출력단에 연결된 저항(R)을 구비한다. 포토센서(10)의 상세한 구성이 도면에 도시되어 있으나, 이는 공지의 구성이므로 상세한 설명은 피하기로 한다.

상기와 같은 구성을 갖는 웨이퍼 추락 경보장치를 구비하는 본 고안의 상세한 동작을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 컨베이어 벨트가 롤러 간의 레일에서 벗어나거나 하는 등의 장비 불량시 웨이퍼는 롤러 옆이나 후단에 설치된 웨이퍼 추락 안전 용기에 떨어지게 된다. 그러면, 웨이퍼 추락 안전 용기에 설치된 한 쌍의 반사경(1) 및 포토센서(10) 중 적어도 어느 하나에 추락된 웨이퍼가 감지되고, 이에 따라 OR 게이트(3)가 릴레이 스위치(4)를 온 시킴으로써, +2V 전원이 릴레이 스위치(4)를 통하여 부저(5)를 구동시키게 되는 것이다.

본 고안의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 고안의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 고안의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

상기와 같이 이루어지는 본 고안은 장비의 컨베이어 롤러 옆에 위치한 웨이퍼 추락 안전 용기에 웨이퍼 감지용 센서를 설치하여, 웨이퍼 추락 시에 경보음을 울리게 함으로써, 연쇄적인 웨이퍼 추락현상을 미연에 방지하여 웨이퍼 손실을 최소화시켜 제품의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 컨베이어 벨트, 상기 컨베이어 벨트의 일측에 위치한 웨이퍼 추락 안전 용기를 구비하는 컨베이어 방식의 반도체 장비에 있어서, 상기 웨이퍼 추락 안전 용기 내에 웨이퍼가 떨어지면 웨이퍼 추락 신호를 출력하는 적어도 하느이 웨이퍼 감지수단; 및 상기 웨이퍼 감지 수단 중 적어도 하나가 웨이퍼 추락 신호를 발생하면 그에 응답하여 경보를 발생시키는 경보발생수단을 포함하여 이루어지는 웨이퍼 추락 경보기능을 갖는 컨베이어 방식의 반도체 장비.
2. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 감지수단은, 상기 웨이퍼 추락 안전 용기 내 일측에 설치된 반사경; 및 상기 반사경과 대향된 위치에 설치된 포토센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 컨베이어 방식의 반도체 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 경보발생수단은, 상기 웨이퍼 감지수단 중 적어도 하나가 웨이퍼 추락 신호를 출력하면 구동되는 릴레이 스위치; 및 상기 릴레이 스위치의 구동상태에 따라 구동전원을 인가받아 상기 경보를 출력하는 경보 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 컨베이어 방식의 반도체 장치.