KR0131995Y1 - 반도체 제조설비의 냉각장치 - Google Patents
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Abstract
STC(source temperature controller)가 설치된 반도체 제조설비의 내부에 생성된 열을 강제 방출시키도록 하는 반도체 제조설비의 냉각장치가 개시되어 있다.
본 고안은, STC(Source Temperature Controller)가 설치되는 반도체 제조설비의 내부에 생성된 열을 강제 방출하여 일정한 온도를 유지하도록 팬이 설치된 반도체 제조설비의 냉각장치에 있어서, 상기 팬의 모터에 전원을 공급하도록 하는 전선의 소정 부위에 분리 및 체결이 용이하도록 암·수 소켓이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
따라서, 전원공급라인을 소켓이음으로 연결시키고, 팬케이스를 통해 체결토록 함으로써 팬의 분리 및 설치가 용이하며, 이에 따라 교체작업에 다른 시간적 손실을 줄이게 되는 효과가 있다.
Description
제1도는 종래의 반도체 제조설비의 냉각장치를 나타낸 사시도이다.
제2도는 본 고안의 일 실시예에 따른 냉각장치가 설치된 반도체 제조설비를 나타낸 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10, 20 : 반도체 제조설비 12, 22 : 팬
14, 24 : 팬구멍 16, 26 : 팬 모터
18, 28 : 전원공급라인 30 : 암 소켓
32 : 수 소켓 34 : 팬 케이스
36 : 나사구멍 38 : 볼트
본 고안은 반도체 제조설비의 냉각장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 STC(Source Temperature Controller)가 설치된 반도체 제조설비의 내부에 생성된 열을 강제 방출시키도록 하는 반도체 제조설비의 냉각장치에 관한 것이다.
제1도를 참조하여 종래의 반도체 제조설비의 냉각장치를 설명하면, 확산공정 등에 사용되는 반도체 제조설비(10) 내부는 반도체 제조에 사용되는 소정 용액(도시 안됨)을 원활히 공급하기 위해 적정온도로 유지되도록 되어 있으며, 이렇게 적정 온도를 유지시키는 장치로는 상기 용액을 적정의 온도로 가열하는 STC(도시 안됨)가 설치되어 있고, 이 STC에 의해 가열된 온도를 적정한 온도 상태로 유지되게끔 냉각시키는 팬(12)이 설치되어 있다.
이러한 팬(12)은 반도체 제조설비(10)의 측벽 소정 부위에 형성된 팬구멍(140에 일체로 설치되어 제조설비(10) 내부에 생성된 열을 강제 방출토록 되어 있으며, 또한 협소한 공간에 상기 팬(12)을 일체로 형성함에 따라 팬 모터(16)를 구동시키기 위한 전원공급라인은 전원공급단자(도시 안됨)와 팬 모터(16) 사이에서 직접 연결되어 용접되어 있다.
이렇게 형성됨에 따라 팬(12)을 장시간 사용하게 되면 팬 모터(16)의 노화 현상이나 기타 작동을 저해하는 요인으로 인해 제기능을 수행할 수 없게 되어 팬(12)을 교체하여 사용하게 된다.
그러나, 이러한 팬을 교체하기 위해서는 전원공급 단자와 용접으로 연결된 전원공급선 소정 부위를 절단하여 교체하게 되고, 교체한 팬을 부착할 때에도 절단된 부위를 다시 용접하여야 하는 시간적 손실과 작업하기 번거로운 문제점이 있었다.
본 고안자는 전술한 종래의 문제점을 해결하고자 본 고안을 안출하게 되었다.
본 고안의 목적은 반도체 제조설비의 내부에 생성된 열을 방출시키는 팬을 교체하기 용이하도록 형성한 반도체 제조설비의 냉각장치를 제공함에 있다.
상기 본 고안의 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 반도체 제조설비의 냉각장치는, STC(Source Temperature Controller)가 설치되는 반도체 제조설비의 내부에 생성된 열을 강제 방출하여 일정한 온도를 유지하도록 팬이 설치된 반도체 제조설비의 냉각장치에 있어서, 상기 팬의 모터에 전원을 공급하도록 하는 전선의 소정 부위에 분리 및 체결이 용이하도록 암·수 소켓이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 팬을 보호하도록 하고, 체결구에 의해 상기 반도체 제조설비에 설치되기 용이하도록 중앙에 구멍이 형성되어 있는 팬 케이스가 설치되는 것이 팬을 안정되게 고정한다는 점에서 바람직하다.
이하, 본 고안에 따른 반도체 제조설비의 냉각장치의 바람직한 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제2도는 본 고안의 바람직한 일 실시예를 도시한 것이다. 제2도를 참조하여 서명하면, 반도체 제조설비(20)의 측벽 소정 부위에 팬(22) 설치를 위한 팬구멍(24)이 형성되어 있고, 이렇게 형성된 팬구멍(24)의 측벽 주연 부위에 암 나사부를 이루는 나사구멍이 형성되어 있다.
그리고, 반도체 제조설비(20)의 측벽에 형성된 팬구멍(24)의 내측으로부터 팬 모터(26)에 전원을 공급하도록 하는 전원공급라인(28)이 돌출되어 있으며, 이 전원공급라인(28)의 끝단부에 암 소켓(30)이 형성되어 있다.
한편, 팬(22)을 구동시키는 팬 모터(26)의 소정 부위에 전원 투입을 위한 전원공급라인(28)이 연결되어 있고, 이 전원공급라인(28)의 끝단부에 상기 암 소켓(30)과 짝을 이루는 수 소켓(32)이 형성되어 있다.
이에 따라 암 소켓(300과 수 소켓(32)이 상호 소켓이음됨에 따라 전원공급장치(도시 안됨)로부터 팬 모터(26)에 전원이 공급되도록 형성되어 있으며, 이러한 소켓이음에 의해 암·수 소켓(30, 32)이 분리 및 체결이 용이하도록 되어 있다.
한편, 팬(22)의 외츠에는 팬(22)을 보호하도록 하고, 팬(22)이 적정 위치에 놓일 수 있도록 지지하는 팬케이스(34)가 형성되어 있으며, 이 팬케이스(34)의 소정 부위, 즉 팬구멍(24)의 주연에 형성된 나사구멍(36)과 대응하는 위치에 구멍(도시 안됨)이 형성되어 있다.
따라서, 암·수 소켓(30, 32)을 소켓이음시키고, 제조설비(20)에 형성된 팬구멍(24)을 통해 팬 모터(26)를 삽입시키면 팬케이스(34)의 소정 부위에 형성된 구멍이 제조설비(20)의 측벽에 형성된 나사구멍(36)과 일치되어지고, 이 구멍을 통하여 볼트(38)를 삽입하여 체결토록 함으로서 제조설비(20)에 팬(22)을 설치할 수 있게 된다.
이렇게 구성된 본 고안은 전원공급라인을 소켓이음으로 연결시키고, 팬케이스를 통해 체결토록 함으로써 팬의 분리 및 설치가 용이하며, 이에 따라 교체작업에 다른 시간적 손실을 줄이게 되는 이점이 있다.
본 고안은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 고안의 사상과 범위내에서 다양한 변형이나 수정이 가능함은 본 고안이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 이러한 변형이나 수정이 첨부된 실용신안 등록 청구범위에 속함은 당연하다.
Claims (2)
- STC(Source Temperature Controller)가 설치되는 반도체 제조설비의 내부에 생성된 열을 강제 방출하여 일정한 온도를 유지하도록 팬이 설치된 반도체 제조설비의 냉각장치에 있어서, 상기 팬의 모터에 전원을 공급하도록 하는 전선의 소정 부위에 분리 및 체결이 용이하도록 암·수 소켓이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 냉각장치.
- 제1항에 있어서, 상기 팬을 보호하도록 하고, 체결구에 의해 상기 반도체 제조설비에 설치되기 용이하도록 중앙에 구멍이 형성되어 있는 팬 케이스가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 냉각장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950044633U KR0131995Y1 (ko) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | 반도체 제조설비의 냉각장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950044633U KR0131995Y1 (ko) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | 반도체 제조설비의 냉각장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970046960U KR970046960U (ko) | 1997-07-31 |
| KR0131995Y1 true KR0131995Y1 (ko) | 1998-12-01 |
Family
ID=19436341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019950044633U KR0131995Y1 (ko) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | 반도체 제조설비의 냉각장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0131995Y1 (ko) |
-
1995
- 1995-12-20 KR KR2019950044633U patent/KR0131995Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970046960U (ko) | 1997-07-31 |
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