KR0128240Y1 - 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치에 관한 것으로, 특히 제품 이송 밀대를 유동하지 않도록 고정함과 아울러 밀대의 불평형 시 장비 에러를 발생시킴으로써 제품(다이 본딩된 리드 프레임을 말함) 이송중의 구겨짐 현상을 일소하고, 또 장비 동작을 원활히 하여 불량율을 줄임과 아울러 장비의 다운 타임을 감소시킴을 목적으로 하는 본 고안은 본 고안의 고정된 본체 프레임의 일측에 고정 설치된 가이드 봉과, 이 가이드 봉에 결합되는 리니어 모션 가이드와, 이 리니어 모션 가이드에 결합되어 가이드 봉을 따라 직선 이동하도록 설치된 가이드 블록과, 상기 가이드 블록에 연결 설치되는 제품 이송 밀대와, 상기 가이드 블록을 구동시키기 위하여 그 피스톤 로드가 가이드 블록에 고정된 복동식 에어 실린더로 구성되어 있으며, 제품 이송 밀대를 지지하는 지지대의 일측에는 제품 이송 밀대와 WIP가 수평을 이루지 않는 경우 장비 에러를 발생시켜 장비의 동작을 정지시키는 잼 센서가 부착되어 있고, 복동식 에어 실린더의 양측에는 에어 실린더의 구동을 제어하기 위한 홈 센서와 리버서 센서가 각각 설치되어 이 센서가 센싱될 때에만 구동하도록 구성되어 있다.

Description

크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치

제1도는 종래 장치의 설치 위치를 보인 평면도.

제2도는 종래 장치의 구성 및 작용을 보인 제1도의 A부 상세 단면도.

제3도는 본 고안 장치의 설치 위치를 보인 평면도.

제4도는 본 고안 장치의 구성 및 작용을 보인 제3도의 B부 상세 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 본체 프레임 3 : WIP

21 : 가이드 봉 22 : 가이드 블록

23 : 제품 이송 밀대 24 : 지지대

25 : 리니어 모션 가이드 26 : 복동식 에어 실린더

27 : 잼 센서 28 : 홈 센서

29 : 리버서 센서

본 고안은 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치에 관한 것으로, 특히 제품 이송 밀대를 유동하지 않도록 고정함과 아울러 밀대의 불평형 시 장비 에러를 발생시킴으로써 제품(다이 본딩된 리드 프레임을 말함) 이송중의 구겨짐 현상을 일소하고, 또 장비 동작을 원활히 하여 불량율을 줄임과 아울러 장비의 다운 타임을 감소시키도록 한 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 패키지를 제조함에 있어서는 반도체 칩을 리드 프레임이라는 구조물에 부착 고정하는 다이 본딩을 행한 후 이와 같이 된 리드 프레임을 소정 시간 동안 경화시키며, 경화된 리드 프레임을 와이어 본더로 이동시켜 상기 칩과 리드 프레임의 리드를 전기적으로 연결시키는 와이어 본딩 공정을 수행하게 된다.

이후, 와이어 본딩된 리드 프레임을 트랜스퍼 몰딩함으로써 반도체 패키지를 제조하게 된다.

이와 같은 일련의 반도체 패키지 제조 공정에서 각각의 공정은 온-라인 상태로 각각 연계되어 진행되게 되는데 이를 위하여 다이 본더로부터 크린 큐어 장비로, 다시 경화된 리드 프레임을 와이어 본더로 이송시켜 공정을 진행하고 있다.

즉, 다이 본더로부터 크린 큐어 장비로 이송되어 경화된 리드 프레임이 별도의 이송장치에 의해 자동으로 와이어 본더로 이송되어 와이어 본딩 공정이 수행되는 것이다.

이를 위하여 크린 큐어 장비에는 경화 완료된 리드 프레임을 와이어 본더로 이송시키기 위한 소위 제품 이송용 푸셔장치가 구비되어 있다.

이와 같은 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치가 제1도 및 제2도에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 살펴보면 다음과 같다.

도면에서 1은 장비 본체 프레임을 보인 것이고, 2는 뚜껑을 보인 것이며, 3은 WIP를, 4는 셔틀을 각각 보인 것이다.

도시한 바와 같이 푸셔장치는 상기 뚜껑(2)의 일측에 구성되어 있으며, 제품 이송 밀대(5)가 부싱(6)에 지지되어 있고, 상기 부싱(6)은 가이드 바(7)를 따라 좌우로 이동하도록 되어 있다.

또한 상기 가이드 바(7)의 하부에는 부싱(6)을 구동시키기 위한 드라이버(8)가 설치되어 있고, 상기 드라이버(8)는 하부에 지지되어 있는 로터리 실린더(9)에 의하여 구동하도록 되어 있으며, 이 로터리 실린더(9)는 그 상부에 센서판(10)에 설치된 센서(11)에 의해 컨트롤되도록 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 종래의 장치는 다이 본딩된 제품이 크린 큐어 장비로 이송되어 경화되어 경화된 후, 와이어 본더로 이송될 때 상기 제품 이송 밀대(5)가 동작하여 제품을 이송시키게 되는 데 로터리 실린더(9)의 구동이 드라이버(8)를 통해 부싱(6)으로 전달되고 이에 결합된 제품 이송 밀대(5)가 움직이면서 제품을 이송시키는 것이다.

이때 로터리 실린더(9)는 센서(11)의 제어에 의해 180도씩 회전 구동하게 되고, 이에 따라 제품 이송 밀대(5)가 동작되는 것이다.

그러나 상기한 바와 같은 종래의 장치에 있어서는 제품 이송 밀대(5)가 뚜껑에 지지되어 있으므로 뚜껑(2)이 움직일 때마다 WIP(3) 매거진과 수평이 맞지 않아 정확한 제품 이송이 이루어지지 않게 되어 제품의 구겨짐이 발생하는 등 불량 발생의 소자가 있었고, 또 로터리 실린더(9)로 구성되어 있어 회전 시 발생되는 열로 인한 부하를 받아 구동이 원활하게 이루어지지 않는 문제가 있었으며, 제품 이송 밀대(5)를 동작시키는 홀더가 부싱(6)으로 장착되므로 고열로 인하여 찌꺼기가 많이 끼임으로써 제대로 끝까지 밀어 주지 못하고 원위치로 돌아가는 데도 문제가 있었다.

따라서 제품 이송중의 불량이 다량으로 발생되었으며 이로 인해 장비의 다운 타임(down time)이 길어지는 문제가 있었다.

이를 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 제품 이송 밀대를 유동하지 않고 직선적으로 이동하도록 함과 아울러 밀대의 불평형 시 장비 에러를 발생시킴으로써 제품 이송 중의 구겨짐 현상을 일소하고, 또 장비 동작을 원활하게 하여 불량률을 줄임과 아울러 장비의 다운 타임을 감소시키도록 한 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 고정된 본체 프레임의 일측에 고정 설치된 가이드 봉과, 이 가이드 봉에 결합되는 리니어 모션 가이드와, 이 리니어 모션 가이드에 결합되어 가이드 봉을 따라 직선 이동하도록 설치된 가이드 블록과, 상기 가이드 블록에 연결 설치되는 제품 이송 밀대와, 상기 가이드 블록을 구동시키기 위하여 그 피스톤 로드가 가이드 블록에 고정된 복동식 에어 실린더로 구성함을 특징으로 하는 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치가 제공된다.

이하, 상기한 바와 같은 본 고안에 의한 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치를 첨부 도면에 의거하여 보다 상세히 설명한다.

첨부한 제3도는 본 고안 장치의 설치 위치를 보인 평면도이고, 제4도는 본 고안 장치의 구성 및 작용을 보인 제3도의 B부 상세 단면도로서, 이에 도시한 바와 같이 본 고안에 의한 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치는 고정된 본체 프레임(1)의 일측에 고정 설치된 가이드 봉(21)과, 이 가이드 봉(21)에 결합되는 리니어 모션 가이드(Linear Motion Guide)(25)와, 이 리니어 모션 가이드(25)에 결합되어 가이드 봉(21)을 따라 직선 이동하도록 설치된 가이드 블록(22)과, 상기 가이드 블록(22)에 연결 설치되는 제품 이송 밀대(23)와, 상기 가이드 블록(22)을 구동시키기 위하여 그 피스톤 로드가 가이드 블록(22)에 고정된 복동식 에어 실린더(26)로 구성되어 상기 제품 이송 밀대(23)가 유동하지 않고 직선적으로 이동하도록 구성한 것으로, 도면에서 종래와 동일한 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하였다.

그리고 본 고안은 상기 제품 이송 밀대(23)를 지지하는 지지대(24)의 일측에 제품 이송 밀대(23)와 WIP(3)가 수평을 이루지 않는 경우 이를 감지하여 장비 에러를 발생시킴으로써 장비 동작을 정지시키는 잼 센서(27)가 부착되어 제품 이송 중의 구겨짐 불량을 최소화하도록 구성되어 있다.

또한 본 고안은 상기 복동식 에어 실린더(26)의 양측에 에어 실린더의 구동을 제어하기 위한 홈 센서(28)와 리버서 센서(29)를 설치하여 이 센서가 센싱될 때에만 상기 복동식 에어 실린더(26)가 구동되도록 함으로써 오동작을 최소화하고, 오동작 시에는 장비 에러를 발생시켜 구동하지 못하도록 구성되어 있다.

또한 본 고안은 가이드 봉(21)을 따라 좌우로 왕복 운동하는 가이드 블록(22)이 리니어 모션 가이드(25)를 통해 가이드 봉(21)에 안내되도록 함으로써 가이드 블록(22)과 이에 결합된 제품 이송 밀대(23)가 유동되지 않고 직선적으로 이동하도록 함과 아울러 가이드 블록(22)을 복동식 에어 실린더(26)에 의하여 구동함으로써 그 동작이 원활하게 이루어지도록 구성되어 있다.

즉, 본 고안은 종래 본체 프레임(1)의 뚜껑에 구성되어 뚜껑의 유격으로 제품이 WIP(3)에 정확히 입력되지 못하고 구겨지는 문제를 해소하기 위하여 본체 프레임(1)의 일측에 가이드 봉(21)을 유동하지 않도록 고정 설치하고, 이 가이드 봉(21)에 리니어 모션 가이드(25)를 통해 가이드 블록(22)이 직선 왕복 안내되도록 함과 아울러 가이드 블록(22)을 복동식 에어 실린더(26)로 구동시킴으로써 가이드 블록(22)에 결합된 제품 이송 밀대(23)를 이동시키는 것이며, 이때 제품 이송 밀대(23)가 동작을 할 때 제품 이송 밀대(23)와 WIP(3)가 수평이 맞지 않을 경우 잼 센서(27)에 의한 감지로 장비가 정지되고 더 이상 진행되지 못하도록 구성함으로써 불량률을 줄이고, 보다 원활히 동작함과 아울러 이로 인한 장비 다운 타임을 줄일 수 있도록 구성한 것이다.

이와 같이 구성된 본 고안에 의한 제품 이송용 푸셔장치는 종래와 같이 다이 본딩되어 인입된 제품이 경화되면, 경화된 제품을 와이어 본더로 이송시키는 작용을 하게 되는데 복동식 에어 실린더(26)가 구동하는 것에 의하여 그 구동이 리니어 모션 가이드(25)를 통해 가이드 봉(21)에 안내되는 가이드 블록(22)으로 전달되고, 이에 따라 가이드 블록(22)에 연결된 제품 이송 밀대(23)가 전진하면서 제품을 WIP(3) 및 셔틀부를 통해 와이어 본더로 이송시키는 것이다.

이와 같은 작용에서 외부의 어떠한 요인으로 제품 이송 밀대(23)와 WIP(3)의 수평이 맞지 않게 되면 이 상태가 잼 센서(27)에 의해 감지되어 장비 에러를 발생시킴으로써 장비는 동작 중단하게 된다.

이와 같이 에러가 발생되면 별도로 구성된 동작 프로그램에 의해 제품 이송 밀대(23)는 원래의 위치로 되돌아오고, 장비는 정지되어 조치를 취하도록 되어 있다.

즉, 잼 등의 발생 시 장비가 곧바로 정지하게 됨으로써 이로 인한 제품 이송 중의 구겨짐 불량을 최소화할 수 있는 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안에 의하면 장치 자체가 유동하지 않는 곳에 고정되어 있으므로 제품 이송 밀대의 동작 시 유동이 거의 없게 되고, 이에 따라 제품 이송 밀대와 WIP와의 수평이 잘 맞아 제품이 구겨지는 현상을 완전히 없앨 수 있고, 장비의 오동작을 줄일 수 있으며, 오동작 시 장비가 자동적으로 정지됨으로써 장비의 오동작으로 야기되는 불량을 방지할 수 있다.

또한 상기 가이드 블록은 리니어 모션 가이드를 통하여 가이드 봉에 안내되도록 하고 이 가이드 블록에 상기 제품 이송 밀대를 결합함과 아울러 가이드 블록을 복동식 에어 실린더에 의하여 구동시키는 것이므로 제품 이송 밀대가 유동되지 않으며 전혀 무리가 가지 않게 되는 등 장비의 원활성을 도모할 수 있다.

따라서 본 고안에 의하면 불량률을 제로화시킬 수 있고, 장비 가동률 또한 매우 높게 유지할 수 있는 것이다.

Claims (3)

1. 고정된 본체 프레임의 일측에 고정 설치된 가이드 봉과, 이 가이드 봉에 결합되는 리니어 모션 가이드와, 이 리니어 모션 가이드에 결합되어 가이드 봉을 따라 직선 이동하도록 설치된 가이드 블록과, 상기 가이드 블록에 연결 설치되는 제품 이송 밀대와, 상기 가이드 블록을 구동시키기 위하여 그 피스톤 로드가 가이드 블록에 고정된 복동식 에어 실린더로 구성함을 특징으로 하는 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제품 이송 밀대를 지지하는 지지대의 일측에는 제품 이송 밀대와 WIP가 수평을 이루지 않는 경우 장비 에러를 발생시켜 장비의 동작을 정지시키는 잼 센서가 부착됨을 특징으로 하는 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 복동식 에어 실린더의 양측에는 에어 실린더의 구동을 제어하기 위한 홈 센서와 리버서 센서가 각각 설치되어 이 센서가 센싱될 때에만 구동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 크린 큐어 장비의 제품 이송용 푸셔장치.