KR0124966Y1 - 웨이퍼의 테이프 부착장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼의 테이프 부착장치에 관한 것으로, 웨이퍼에 테이프를 연속적으로 부착하기 위해 상기 테이프를 한스텝씩 이송시킬 때 절단부분에 의해 테이프가 일그러지거나 겹치더라도 웨이퍼에 부착될 때는 완전히 펼쳐지도록 하여 웨이퍼의 테이프 부착상태를 양호하게 할 수 있도록 한 것이다.

이를 위해 본 고안은 복수개의 가이드 롤러(9)(9a)(9b)중 우측 가이드롤러(9)와 프레임(4) 사이에 외향된 한쌍의 경사롤러(11)를 설치하여 웨이퍼(5)에 테이프(2)를 부착할 때 상기 경사롤러(11)가 회전하면서 테이프를 펼쳐주도록 한 것이다.

Description

웨이퍼의 테이프 부착장치

제1도는 종래 장치를 나타낸 평면 개략도.

제2도는 종래 장치를 나타낸 정면 개략도.

제3도는 본 고안 장치를 나타낸 평면 개략도.

제4도는 본 고안 장치를 나타낸 요부 정면 개략도.

제5도는 본 고안 장치를 구성하는 경사롤러의 구동상태를 나타낸 블록도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2 : 테이프 4 : 프레임

5 : 웨이퍼 9 : 가이드롤러

11 : 경사롤러

본 고안은 웨이퍼의 테이프 부착장치에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼에 테이프를 부착할 때 상기 테이프가 일그러지거나 겹치는 것을 방지할 수 있도록 한 것이다.

일반적으로 웨이퍼(wafer)에는 절단에 의해 단위편이 형성되도록 패턴이 만들어져 있는데, 상기 패턴대로 웨이퍼를 절단할 때 각 단위편이 이탈되지 않도록 웨이퍼에는 테이프 부착장치에 의해 테이프가 부착되어 있다.

종래 테이프 부착장치는 첨부도면 제1도 내지 제2도에 도시된 바와 같이, 본체내에 설치되어 두루마리 테이프(이하 테이프라 약칭함)(2)가 장착되는 테잎 장착롤러(1)와, 모터(도시는 생략함)의 구동력을 한 스텝씩 전달받아 회전하면서 테이프(2)를 공급하여 주는 공급롤러(3)와, 상기 공급롤러에 의해 공급되어 이송되는 테이프(2)를 받쳐주는 프레임(4)과, 상기 테이프(2)가 한 스텝 이송완료되면 모터의 구동력을 받아 회전 이동되면서 웨이퍼(5)의 표면 및 프레임(4)의 표면에 테이프(2)를 부착시키는 이동롤러(6)와, 상기 테이프(2)가 웨이퍼(5)와 프레임(4)에 부착되면 하향이동되어 부착된 부분의 테이프만 절단하는 커터(7)와, 상기 공급롤러(3)와 함께 회전하면서 웨이퍼(5)와 프레임(4)에 부착되고 남은 테이프를 배출시키는 배출롤러(8)와, 상기 배출롤러에 의해 테이프가 배출될 때 이를 안내하는 복수개의 가이드롤러(9)(9a)(9b)와, 상기 배출롤러(8)와 동일 회전수만큼 회전하면서 배출된 테이프를 감는 테이프 감김롤러(10)로 구성되어 있다.

따라서 본체내에 설치된 테이프 장착롤러(1)에 테이프(2)를 장착시킨 다음 상기 테이프의 끝단을 인출시켜 제2도와 같이 테이프 감김롤러(10)에 고정시킨다.

이와같은 상태에서 작동 버튼을 선택하면 공급롤러(3)의 회전에 의해 테이프(2)가 한 스텝씩 공급됨과 함께 배출롤러(8)의 회전에 의해 상기 테이프가 공급된 길이만큼 배출되는데, 이 때 이동롤러(6)가 이동하면서 웨이퍼(5)와 프레임(4)표면에 테이프(2)를 부착시킨다.

즉, 공급롤러(3)와 배출롤러(8)가 모터(도시는 생략함)의 한 스텝 구동력을 받아 일정 회전수만큼 화살표 방향으로 회전하면 테이프 장착롤러(1)에 장착된 테이프(2)가 상기 공급롤러(3) 및 배출롤러(8)의 회전수에 비례된 길이만큼 풀리면서 공급됨과 함께 배출되어 테이프 감김롤러(10)에 감기는데, 이 때 링형태의 프레임(4)이 이송되는 테이프(2)를 받쳐준다.

이와　같이 하여 테이프(2)가 일정 길이만큼 공급 및 배출 완료되면 웨이퍼(5)가 도시하지 않은 별도의 수단에 의해 프레임(4) 사이로 위치됨과 동시에 이동롤러(6)가 테이프(2)의 상부면과 접속된 상태로 하여 제2도의 일점 쇄선과 같이 좌측으로 회전되면서 이동되었다가 다시 원위치되므로 상기 테이프(2)가 웨이퍼(5)와 프레임(4)의 표면에 부착된다.

상기에서 테이프(2)가 웨이퍼(5)와 프레임(4)에 부착되는 것은 테이프(2)의 도면상 저면부에 접착제가 도포되어 있으므로 가능하다.

한편, 테이프(2)가 웨이퍼(5)와 프레임(4)에 부착되면 곧바로 커터(7)가 하강하여 부착된 부분의 테이프(2)만을 절단한 다음 다시 상승함과 동시에 테이프(2)가 부착된 웨이퍼(5)가 다음 공정으로 위치 이동되는데, 이 때 프레임(4)이 함께 이동되므로 웨이퍼(5)가 안정되게 이동한다.

이상에서 설명된 작용은 테이프(2)를 웨이퍼(5)와 프레임(4)에 부착하는 1싸이클을 설명하는 것이고 기기가 작동되는 동안에는 상기 1싸이클 작용이 계속해서 반복수행되는데, 이 때 배출롤러(8)의 회전에 의해 이송되어 배출되는 테이프에는 웨이퍼(5)에 부착하기 위해 절단한 부분만큼의 원형구멍이 형성되어 있고 상기 배출롤러(8)에 의해 배출되기 위해 이송되는 테이프는 복수개의 가이드롤러(9)(9a)(9b)에 안내를 받는다.

상기 작용설명에서 공급롤러(3), 배출롤러(8), 이동롤러(6), 커터(7)의 동작은 콘트롤러(도시는 생략함)의 제어신호에 의해 서로 복합적으로 이루어지도록 되어 있다.

그러나 종래 이와같은 웨이퍼의 테이프 부착장치는 웨이퍼에 테이프를 부착하고 남은 테이프를 1스텝 이송시켜 새로운 테이프 부분이 다른 웨이퍼에 부착될 수 있도록 이송시킬때에는 상기 테이프에 도면상 좌측으로 당기는 힘이 작용하므로 처음 웨이퍼에 테이프를 부착하기 위해 절단된 테이프 부분의 원형구멍에 의해 테이프가 폭방향으로 수축되면서 원형 구멍은 타원형이 됨과 함께 다음 웨이퍼에 부착될 새로운 테이프 부분이 일그러지거나 겹치게 되고 이에 따라 상기 다음 웨이퍼에 부착되는 테이프의 부착상태가 양호하지 못하는 문제점이 있었다.

본 고안은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 웨이퍼에 계속해서 테이프를 부착하기 위해 상기 테이프를 한스텝씩 이송시킬 때 절단 부분에 의해 테이프가 일그러지거나 겹치더라도 웨이퍼에 부착될 때는 완전히 펼쳐지도록 하여 웨이퍼의 테이프 부착상태를 양호하게 하는 데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안 형태에 따르면, 복수개의 가이드 롤러중 우측 가이드롤러와 프레임 사이에 외향된 한쌍의 경사롤러를 설치하여 웨이퍼에 테이프를 부착할 때 상기 경사롤러가 회전하면서 테이프를 펼쳐주도록 한 본 고안 웨이퍼의 테이프 부착장치가 제공된다.

이하, 본 고안을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제3도 내지 제5도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제3도는 본 고안 장치를 나타낸 평면 개략도이고 제4도는 요부 정면 개략도이며 제5도는 경사롤러의 구동상태를 나타낸 블록도로서, 본 고안 구성중 종래 구성과 동일한 부분은 생략하고 다만 도면상에 종래와 동일 부호로 하여 표기하였다.

이하, 본 고안의 요부구성을 설명하면 복수개의 가이드롤러(9)(9a)(9b)중 우측 가이드롤러(9)와 프레임(4) 사이에 외향된 한쌍의 경사롤러(11)를 설치하여 이동롤러(6)의 이동에 따라 웨이퍼(5)에 테이프(2)를 부착할 때 상기 경사롤러(11)가 회전하면서 테이프를 펼쳐주도록 한다.

따라서 웨이퍼(5)에 테이프(2)가 부착되어 상기 테이프가 커터(8)에 의해 절단되면 공급롤러(3)와 배출롤러(8)가 일정 회전수만큼 회전된 다음 정지하므로 새로운 테이프가 다음 웨이퍼에 부착될 수 있도록 이송 완료된다.

상기에서 테이프를 이송시킬때는 기설명된 바와같이 웨이퍼(5)에 테이프(2)를 부착함에 따라 구멍이 형성되어 있어 이 구멍에 의해 테이프가 길이방향으로 늘어남으로 일그러지거나 겹치게 되는데, 이 부분은 새로운 테이프를 다음 웨이퍼에 부착시키기 위해 이동롤러(6)가 일점쇄선과 같이 좌측으로 이동할 때 한쌍의 경사롤러(11)가 회전함으로 펼쳐진다.

즉, 테이프(2)를 웨이퍼(5)의 표면에 부착시켜 주기 위하여 이동롤러(6)가 콘트롤러의 제어신호에 의해 구동되는 모터의 구동력을 받아 회전하면서 좌측으로 이동할 때 복수개의 가이드 롤러(9)(9a)(9b)중 우측 가이드롤러(9)와 프레임(4) 사이에 외향되도록 설치된 한쌍의 경사롤러(11)도 상기 이동롤러(6)가 좌측으로 이동완료될 때까지 회전하므로 일그러져 있거나 겹쳐있는 테이프(2)를 폭방향으로 펼쳐준다.

상기에서 한쌍의 경사롤러(11)의 회전에 따라 테이프(2)가 폭방향으로 펼쳐지는 것은 상기 한쌍의 경사롤러(11)가 외향되게 설치되어 있으므로 제3도의 화살표 방향으로 경사롤러(11)가 회전할 때 테이프(2)와 마찰력이 일어남으로 가능하다.

그러므로 본 고안은 웨이퍼에 테이프를 연속적으로 부착하기 위해 상기 테이프를 한 스텝씩 이송시킬 때 절단부분에 의해 테이프가 일그러지거나 겹치더라도 웨이퍼에 부착될때는 완전히 펼쳐지므로 웨이퍼의 테이프 부착상태가 양호하고 이에 따라 웨이퍼의 단위편 형성 공정시 불량율을 저감시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 복수개의 가이드 롤러(9)(9a)(9b)중 우측 가이드롤러(9)와 프레임(4) 사이에 외향된 한쌍의 경사롤러(11)를 설치하여 웨이퍼(5)에 테이프(2)를 부착할 때 상기 경사롤러(11)가 회전하면서 테이프를 펼쳐주도록 함을 특징으로 하는 웨이퍼의 테이프 부착장치.