KR0123115Y1 - Automatic test device for wafer handler - Google Patents
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Abstract
본 고안은 카세트 위치에 따라 공정 진행과 공정 종료로 구성되는 카세트 위치 감지 신호(CP 신호) 및 인덱서에 장착된 카세트를 인식하는 카세트 감지 신호(CS 신호)를 입력받아 인덱서 제어 신호를 출력하여 웨이퍼의 반송 신뢰성을 테스트하는 웨이퍼 반송 자동 테스트 장치에 있어서, 제1신호 지연 수단(40); 카운팅 수단(20); 표시 수단(30); 프리셋 수단(50); 비교 수단(60); 제2신호 지연 수단(80); 인덱서 제어 신호 발생 수단(100,110); 리셋 스위치를 포함하여 구성되어 반도체 장비의 연속적인 웨이퍼 반송 테스트가 용이하며, 작업자의 매뉴얼 작업을 최소화할 수 있고, 또한, 작업자가 원하는 갯수의 로트를 프리셋하여 원하는 갯수의 로트에 도달하면 자동으로 장비의 테스트를 중단시키는 특유의 효과가 있는 웨이퍼 반송 자동 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention receives a cassette position detection signal (CP signal) consisting of a process progress and a process end according to the cassette position and a cassette detection signal (CS signal) for recognizing a cassette mounted on the indexer, and outputs an indexer control signal to produce a wafer. An automatic wafer transfer test apparatus for testing transfer reliability, comprising: first signal delay means (40); Counting means 20; Display means 30; Preset means 50; Comparing means 60; Second signal delay means (80); Indexer control signal generating means (100,110); It includes a reset switch, which facilitates continuous wafer transfer testing of semiconductor equipment, minimizes manual operation of the operator, and also presets the desired number of lots by the operator to automatically operate the equipment when the desired number of lots is reached. It relates to a wafer transfer automatic test apparatus having a unique effect of stopping the test.
Description
제1도는 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 반송 자동 테스트 장치의 회로 구성도.1 is a circuit diagram of an automatic wafer transfer tester according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10 : 카세트 위치 감지 신호 발생부10: cassette position detection signal generator
11 : 카세트 위치 감지 신호 발생 스위치11: cassette position detection signal generation switch
12 : RS 래치 20 : 카운팅부12: RS latch 20: Counting unit
21,22 : 카운터 30 : 표시부21,22: counter 30: display unit
31,32 : 7세그먼트 구동기 33,34 : 7세그먼트31,32: 7 segment driver 33,34: 7 segment
40,80 : 신호 지연부40,80: signal delay unit
41,81 : 이중 리트리거러블 단안정 멀티바이브레이터41,81: Dual Retriggerable Monostable Multivibrator
42,82 : 단안정 멀티바이브레이터 50 : 프리셋부42,82: Monostable multivibrator 50: Preset
51,52 : BCD 스위치 60 : 비교부51,52: BCD switch 60: comparison unit
90 : 카세트 감지 신호 발생부 91 : 카세트 감지 신호 발생 스위치90: cassette detection signal generator 91: cassette detection signal generation switch
100 : NOR 게이트 110 : 릴레이부100: NOR gate 110: relay unit
본 고안은 반도체 제조 분야에 관한 것으로, 특히 반도체 장비중 웨이퍼 반송 자동 테스트 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to the field of semiconductor manufacturing, and more particularly, to an automatic wafer transfer test apparatus for semiconductor equipment.
일반적으로, 반도체 장비의 신뢰성(reliability)을 측정하기 위한 하나의 방법으로서 웨이퍼 반송 테스트를 실시할 때, 측정자가 그 장비의 연속 진행을 위해서 항상 매뉴얼 작업을 수행하여 왔다.In general, when performing a wafer transfer test as a method for measuring the reliability of semiconductor equipment, the measurer has always performed manual work for the continuous progress of the equipment.
이하, 반도체 장비 중 식각 장비를 그 일례로 종래 기술을 설명한다.Hereinafter, the conventional technique will be described as an example of the etching equipment of the semiconductor equipment.
먼저, 식각 장비에서는 웨이퍼 식각을 수행하기 위하여 웨이퍼 자동 반송 장치가 사용되는데, 이때 1로트(lot)당 웨이퍼 25장을 기준으로 단위 공정이 이루어진다. 즉, 25장의 웨이퍼 반송이 끝나면 다시 반송이 이루어지도록 하기 위하여 작업자가 카세트(cassette)를 교체한 후, 다시 시작 키(start-key)를 온(on)시켜야 하고, 웨이퍼 반송을 계속하려면 작업자가 카세트가 장착되는 2개의 인덱서(index)를 모두 번갈아 가며 계속 이동해 카세트를 올려놓고 반송이 끝날 때마다 카세트를 계속 이동해야 반송이 이루어지게 된다. 즉, 종래의 식각 장비는 웨이퍼 반송이 끝나서 작업자가 웨이퍼 카세트를 들어낸 후 다른 카세트를 올려놓고 시작 키를 온 하거나, 반송 테스트를 실시할 때 인덱서의 카세트를 반송이 끝날 때마다 수동으로 교대로 들었다 놓아야만 다시 반송이 이루어지게 된다.First, in an etching apparatus, an automatic wafer transfer device is used to perform wafer etching. In this case, a unit process is performed based on 25 wafers per lot. In other words, after 25 wafer transfers are completed, the operator must replace the cassette and turn on the start-key again so that the transfer can be performed again. The two indexers to be mounted (index) to move alternately to keep the cassette placed on the cassette every time the conveyance is finished, the transfer will be made. In other words, the conventional etching equipment, after the wafer transfer is finished, the operator lifts the wafer cassette, puts another cassette, turns on the start key, or alternately lifts the cassette of the indexer each time the transfer is completed when the transfer test is performed. Only after it is released will the conveyance take place again.
따라서, 장비의 신뢰성을 측정하기 위해서 많은 반송을 하고자 할 때에는 작업자가 그 장비의 연속 진행을 위해서, 즉 항시 매뉴얼 작업을 위하여 장비에 계속 상주해야 하며, 또한 연속적으로 이루어지는 동작상의 에러(error)를 측정할 수 없는 문제점을 초래했다.Therefore, in order to measure the reliability of the equipment, a large number of conveyances must be carried out by the operator for continuous operation of the equipment, that is, for manual work at all times, and also for measuring continuous operational errors. It caused an impossible problem.
상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 고안은 반도체 장비의 연속적인 웨이퍼 반송 테스트가 용이하여, 매뉴얼 작업을 최소화하며, 특히 프리셋 기능을 가져 공장 자동화에 필요한 웨이퍼 반송 자동 테스트 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention devised to solve the above problems is to facilitate the continuous wafer transfer test of semiconductor equipment, to minimize manual work, and in particular to have a preset function to provide an automatic wafer transfer test apparatus required for factory automation. .
본 고안으로부터 제공되는 특징적인 웨이퍼 반송 자동 테스트 장치는, 카세트의 우치에 따라 공정 진행과 공정 종료로 구성되는 카세트 위치 감지 신호 및 인덱서에 장착된 카세트를 인식하는 카세트 감지 신호를 입력 받아 인덱서 제어 신호를 출력하여 웨이퍼의 반송 신뢰성을 테스트하는 웨이퍼 반송 자동 테스트 장치에 있어서, 하나의 로트 단위로 공정 상태를 제어하도록 상기 카세트의 위치를 감지하는 상기 카세트 위치 감지 신호를 입력받아 상기 카세트 위치 감지 신호가 공정 종료를 나타내면 상기 카세트 위치 감지 신호를 소정의 시간 동안 지연시켜 출력하고, 상기 카세트 위치 감지 신호가 공정 진행을 나타내면 출력단을 리셋시키는 제1신호 지연 수단; 상기 카세트 위치 감지 신호의 반전값을 클럭으로 입력받아 공정 로트의 수를 카운트하는 카운팅 수단; 상기 카운팅 수단에 의하여 카운트된 로트의 수를 표시하는 표시 수단; 상기 테스트에 예정된 로트의 수를 미리 설정하는 프리셋 수단; 상기 카운팅 수단의 출력과 상기 프리셋 수단의 출력을 비교하는 비교 수단; 상기 비교 수단에서 상기 프리셋 수단의 출력과 상기 카운팅 수단의 출력이 동일하지 않고 상기 제1신호 지연 수단이 지연된 상기 카세트 위치 감지 신호를 출력하는 경우에 소정 시간동안 상기 카세트 위치 감지 신호를 지연시키고, 그 이외의 경우에 출력단을 리셋시키는 제2신호 지연 수단; 상기 카세트 감지 신호 또는 상기 제2신호 지연 수단으로부터 소정의 시간 동안 지연된 상기 카세트 위치 감지 신호에 따라 인덱서 제어 신호를 발생시키는 인덱서 제어 신호 발생 수단; 및 상기 카운팅 수단을 리셋시키는 리셋 스위치를 포함하여 이루어진다.The characteristic wafer transfer automatic test apparatus provided from the present invention receives an indexer control signal by receiving a cassette position detection signal consisting of a process progress and a process termination and a cassette detection signal for recognizing a cassette mounted on the indexer according to the cassette pitch. An automatic wafer transfer test apparatus for outputting and testing a wafer transfer reliability, wherein the cassette position detection signal is terminated by receiving the cassette position detection signal for detecting the position of the cassette so as to control the process state in one lot unit. A first signal delay means for delaying and outputting the cassette position detection signal for a predetermined time, and resetting the output stage if the cassette position detection signal indicates process progression; Counting means for receiving the inverted value of the cassette position detection signal as a clock to count the number of process lots; Display means for displaying the number of lots counted by the counting means; Preset means for presetting the number of lots scheduled for the test; Comparison means for comparing an output of the counting means and an output of the preset means; Delaying the cassette position detection signal for a predetermined time in the comparison means when the output of the preset means and the counting means output the cassette position detection signal which is not the same and the first signal delay means outputs the delay; Second signal delay means for resetting the output stage in other cases; Indexer control signal generation means for generating an indexer control signal in accordance with the cassette position detection signal delayed for a predetermined time from the cassette detection signal or the second signal delay means; And a reset switch for resetting the counting means.
이하, 첨부된 도면 제1도를 참조하여 반도체 장비 중 식각 장비를 일례로 본 고안의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings of FIG. 1 as an example of an etching apparatus.
도시된 웨이퍼 반송 자동 테스트 장치는 장비 내의 카세트 위치 감지 신호(CP 신호) 발생부(10)로부터 출력되는 공정 진행과 공정 종료로 구성되는 카세트 위치 감지 신호(CP 신호) 및 카세트 감지 신호 발생 스위치(91)를 통하여 인덱서에 장착된 카세트를 인식하는 카세트 감지 신호(CS 신호)를 입력받아 장비 내의 인덱서 제어기를 구동시키는 인덱서 제어 신호를 발생시킨다. 본 웨이퍼 반송 자동 테스트 장치는 크게 1로트 단위로 공정 상태를 제어하도록 카세트 위치를 감지하는 카세트 위치 감지 신호(CP 신호)를 입력받아 카세트 위치 감지 신호(CP 신호)가 공정 종료를 나타내는 논리값 '1'이면 카세트 위치 감지 신호(CP 신호)를 3초 내지 5초 동안 지연시켜 출력하고, 한편 카세트 위치 감지 신호(CP 신호)가 공정 진행을 나타내는 논리값 '0'이면 출력단을 리셋(reset) 시키는 제1신호 지연부(40); 카세트 위치 감지 신호(CP 신호)의 반전값을 클럭으로 입력받는 제1카운터(21) 및 제1카운터(21)의 최상위 출력값을 클럭으로 입력받는 제2카운터(22)를 구비하여 공정로트의 수를 1부터 99까지 카운트하는 카운팅부(20); 카운팅부(20) 내의 2개의 카운터(21,22) 각각의 출력을 입력받는 7세그먼트 구동기(31,32) 및 그 출력을 각각 입력받는 7세그먼트(33,34)를 구비하여 카운트된 로트의 수를 시각적으로 표시하는 표시부(30); 테스트할 로트의 수를 미리 설정하는 프리셋(preset)부(50); 카운팅부(20)의 출력과 프리셋부(50)의 출력을 비교하는 비교부(60); 비교부(60)에서 프리셋부(50)의 출력과 카운팅부(20)의 출력이 동일하지 않음을 의미하는 신호를 출력하고, 동시에 제1신호 지연부(40)가 지연된 카세트 위치 감지 신호(CP 신호)를 출력하면 다시 3초 내지 5초 동안 그를 지연시키며, 한편 그 이외의 경우에는 출력단을 리셋하는 제2신호 지연부(80); 카세트 감지 신호(CS 신호) 및 제2신호 지연부(60)로부터 6초 내지 10초 동안 지연된 카세트 위치 감지 신호(CP 신호)를 입력받는 NOR 게이트(100); NOR 게이트(100)의 출력 신호에 따라 릴레이를 구동시켜 인덱서 제어 신호를 출력하는 릴레이부(110); 카운팅부(20)를 리셋시키는 리셋 스위치를 포함한다.In the illustrated automatic wafer transfer test apparatus, the cassette position detection signal (CP signal) and the cassette detection signal generation switch composed of a process progress and a process end output from the cassette position detection signal (CP signal) generation unit 10 in the equipment 91 A cassette detection signal (CS signal) for recognizing a cassette mounted on the indexer is input to generate an indexer control signal for driving the indexer controller in the equipment. The automatic wafer transfer tester receives a cassette position detection signal (CP signal) that detects the cassette position to control the process state in units of 1 lot, and the cassette position detection signal (CP signal) indicates a logic value '1'. ', The cassette position detection signal (CP signal) is delayed and output for 3 to 5 seconds, and if the cassette position detection signal (CP signal) is a logic value' 0 'indicating the progress of the process, the output stage is reset. One signal delay unit 40; The first counter 21 receives the inverted value of the cassette position detection signal (CP signal) as a clock and the second counter 22 receives the highest output value of the first counter 21 as a clock. Counting unit 20 for counting from 1 to 99; Number of lots counted with seven segment drivers 31 and 32 that receive the output of each of the two counters 21 and 22 in the counting unit 20 and seven segments 33 and 34 that receive the output thereof, respectively. A display unit 30 for visually displaying the; A preset unit 50 for presetting the number of lots to be tested; A comparator 60 for comparing the output of the counting unit 20 with the output of the preset unit 50; The comparator 60 outputs a signal indicating that the output of the preset unit 50 and the counting unit 20 are not the same, and at the same time, the first signal delay unit 40 delays the cassette position detection signal CP. The second signal delay unit 80 for delaying the signal for 3 to 5 seconds, and resetting the output stage in other cases; A NOR gate 100 receiving a cassette detection signal (CS signal) and a cassette position detection signal (CP signal) delayed for 6 to 10 seconds from the second signal delay unit 60; A relay unit 110 driving a relay according to an output signal of the NOR gate 100 to output an indexer control signal; It includes a reset switch for resetting the counting unit 20.
이때, 카세트 위치 감지 신호 발생부(10)는 카세트 위치 감지 신호 발생 스위치(11)로부터 발생되는 카세트 위치 감지 신호의 채터링 현상을 방지하기 위하여 카세트 위치 감지 신호 발생 스위치(11)의 양출력을 각각 셋(set) 및 리셋(reset) 신호로 하는 RS 래치(12)를 구비한다.At this time, the cassette position detection signal generation unit 10 respectively outputs both outputs of the cassette position detection signal generation switch 11 to prevent chattering of the cassette position detection signal generated from the cassette position detection signal generation switch 11. The RS latch 12 serves as a set and reset signal.
또한, 제1 및 제2신호 지연부(40,80)는 각각 도면에 도시된 바와 같이 입력되는 신호에 따라 비반전 출력단(Q)으로 하나의 펄스를 발생시키는 이중 리트리거러블 단안정 멀티바이브레이트(dual retriggerable mono stable multivibrator)(41,81); 이중 리트리거러블 단안정 멀티바이브레이터(41,81)의 반전 출력을 트리거로 입력받아 3초 내지 5초 동안 하나의 펄스를 발생시키는 단안정 멀티바이브레이터(42,82)를 구비함으로써 상술한 바와 같은 동작을 할 수 있게 된다.In addition, the first and second signal delay units 40 and 80 are dual retriggerable monostable multivibrates that generate one pulse to the non-inverting output terminal Q according to the input signal as shown in the figure, respectively. dual retriggerable mono stable multivibrator (41, 81); Operation as described above by providing a monostable multivibrator (42,82) for receiving the inverted output of the dual retriggerable monostable multivibrator (41,81) as a trigger to generate one pulse for 3 to 5 seconds Will be able to.
즉, 종래의 식각 장비에서 웨이퍼 반송이 끝나서 작업자가 웨이퍼 카세트를 들어낸 후 다른 카세트를 올려놓고 시작 키를 온시키거나, 반송 테스트를 실시할 때 인덱서의 카세트를 반송이 끝날 때마다 수동으로 교대로 들었다 놓기만 하면 다시 반송이 이루어지는 것에 착안하여 카세트 인식 신호인 카세트 센싱 신호를 전기적 회로를 이용하여 6초 내지 10초 동안 지연시킴으로써 마치 수동적으로 카세트를 조작한 것처럼 되어 작업자가 없이도 원하는 수(1 내지 99)의 로트의 반송이 자동적/연속적으로 이루어지도록 한 것이다. 또한, 프리셋부(50)를 이용함으로써 작업자가 원하는 수의 로트가 연속적으로 테스트되고, 원하는 갯수의 로트에 도달하면 자동으로 장비의 테스트를 중단하게 된다.That is, in the conventional etching equipment, after the wafer transfer is completed, the operator lifts the wafer cassette, puts another cassette on, turns on the start key, or alternately manually moves the indexer cassette every time the transfer is finished. By paying attention to the fact that it is conveyed by simply releasing and releasing, the cassette sensing signal, which is a cassette recognition signal, is delayed for 6 to 10 seconds by using an electric circuit, so that it is as if the cassette has been manually operated. ) Lot is to be carried out automatically or continuously. In addition, by using the preset unit 50, the number of lots desired by the operator is continuously tested, and when the desired number of lots is reached, the test of the equipment is automatically stopped.
여기서, 카운팅부(20), 표시부(30), 프리셋부(50), 비교부(60), 카세트 위치 감지 신호(CP 신호) 발생부(10), 카세트 감지 신호(CS 신호) 발생부(90), 릴레이부(110)는 공지의 구성이므로 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 단, 카운팅부(20)는 카세트 락(lock)이 걸릴 때마다 카운트를 수행하는데, 보통 1로트의 공정 시간은 대부분 1시간 이상으로서, 이때의 클럭 상태를 노이즈가 강한 논리 '0'으로 하는, 즉 공정 신호의 반전값을 클럭으로 하여 노이즈에 강하도록 한다.Here, the counting unit 20, the display unit 30, the preset unit 50, the comparison unit 60, cassette position detection signal (CP signal) generator 10, cassette detection signal (CS signal) generator 90 ), Since the relay unit 110 is well known, a detailed description thereof will be omitted. However, the counting unit 20 performs a count every time the cassette lock is applied. Usually, the process time of one lot is usually 1 hour or more, and the clock state at this time is set to a logic of strong noise '0'. In other words, the inverted value of the process signal is used as a clock so as to be resistant to noise.
이상에서와 같이 본 고안은 반도체 장비의 연속적인 웨이퍼 반송 테스트가 용이하며, 작업의 매뉴얼 작업을 최소화할 수 있고, 또한 작업자가 원하는 수의 로트를 미리 설정하여 원하는 갯수의 로트에 도달하면 자동으로 장비의 테스트를 중단시키는 특유의 작용을 통해 공장 자동화를 이룰 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention facilitates continuous wafer transfer testing of semiconductor equipment, minimizes manual work of the operation, and also automatically sets the desired number of lots by the operator in advance when the desired number of lots is reached. The unique effect of stopping the test is to achieve factory automation.
Claims (3)
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019940016962U KR0123115Y1 (en) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | Automatic test device for wafer handler |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019940016962U KR0123115Y1 (en) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | Automatic test device for wafer handler |
Publications (2)
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|---|---|
| KR960006341U KR960006341U (en) | 1996-02-17 |
| KR0123115Y1 true KR0123115Y1 (en) | 1999-02-18 |
Family
ID=19387963
Family Applications (1)
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- 1994-07-08 KR KR2019940016962U patent/KR0123115Y1/en not_active IP Right Cessation
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| KR960006341U (en) | 1996-02-17 |
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Payment date: 20040326 Year of fee payment: 7 |
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| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |