KR0122280Y1 - 반도체소자 검사기의 소자흡착장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체소자 검사기의 소자흡착장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 생산완료된 반도체소자의 성능검사를 하는 검사기에서 TSOP(Thin Small Outline Package)소자를 흡착, 이송시키는데 적당하도록 한 것이다.

이를위해, 본 고안은 흡착패드(3)가 고정된 승강봉(15)을 이송블럭(9)에 고정된 에어실린더(10)의 동작으로 승,하강시키면서 소자(8)를 흡착 이송하도록 된것에 있어서, 로드(1)에 고정되며 내부에 압축공기통로(12)와 통하여지는 공간부(13)가 구비된 승강블럭(11)과, 상기 공간부내에 일단이 스프링(16)으로 탄력 설치되며 내부에는 공간부와 통하여지도록 중공부(15a)를 갖는 승강봉(15)과, 상기 승강봉의 최하단에 고정되어 소자를 흡착하는 흡착패드(3)와, 상기 에어실린더의 동작으로 승강블럭이 승,하강할 때 이를 안내하는 가이드수단으로 구성하여서 된 것이다.

Description

반도체소자 검사기의 소자흡착장치

제1도는 종래의 장치를 나타낸 종단면도.

제2도는 본 고안을 나타낸 종단면도로써,

(a)는 초기 상태도.

(b)는 흡착패드가 하강하여 소자와 접속되기 직전의 상태도.

(c)는 공간부내의 진공으로 승강봉이 스프링을 압축시키면서 상승된 상태도.

제3도는 제2도 (a)의 A-A선 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 로드 3 : 흡착패드

8 : 소자 9 : 이송블럭

10 : 에어실린더 11 : 승강블럭

12 : 압축공기통로 13 : 공간부

15 : 승강봉 15a : 중공부

18 : 고정편 19 : 승강편

본 고안은 반도체소자 검사기의 소자흡착장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 생산완료된 반도체소자의 성능검사를 하는 검사기에서 TSOP(Thin Small Outline Package)소자를 흡착, 이송시키는데 적당하도록 한 것이다.

근래에는 부품의 경박단소화 추세에 따라 반도체소자 또한 그 두께가 점진적으로 얇아지고 있는데, 그 중 대표적인 소자가 TSOP(Thin Small Outline Package)소자이다.

상기 TSOP(Thin Small Outline Package)소자는 그 두께가 약 1mm 정도로써, 제조공정에서 생산완료하여 성능을 검사하는 테스트공정간에 상면 또는 하면에 충격을 가할 경우 소자의 특성이 저하되고, 가해지는 충격이 심한 경우에는 몰딩된 칩(Chip)이 파손되므로 검사기내부에서의 이송간에 소자에충격이 가해지지 않도록 세심한 주의가 요구된다.

첨부도면 제1도는 검사기에서 소자를 흡착이송시키는 종래의 장치를 나타낸 종단면이다.

그 구조는 이송수단에 의해 이송되는 이송블럭에 에어실린더(도시는 생략함)가 고정되어 있고 상기 에어실린더의 로드(1)하단에 형성된 공간부(2)내에는 최하단에 연질의 흡착패드(3)가 고정된 승강봉(4)이 스프링(5)으로 탄력설치되어 있으며 상기 흡착패드(3)의 일측으로는 압축공기를 흡착패드의 내부로 공급하기 위한 호스(6)가 연결되어 있다.

따라서 이송수단에 의해 이송블럭이 이송되어 흡착패드(3)가 트레이(7)내에 담겨진 소자(8)의 직상부로 이송완료되면 에어실린더에 압축공기가 공급되어 로드(1)가 하강되므로 제1도의 일점쇄선과 같이 승강봉(4)의 최하단에 고정된 흡착패드(3)가 소자(8)의 상면과 접속되는데, 이때 흡착패드가 소자의 접속위치보다 더 하강될 경우에는 승강봉(4)이 공간부(2)내에 삽입된 스프링(5)을 압축시키면서 공간부내로 상승하게 된다.

이와같이 승강봉(4)이 하강하여 흡착패드(3)가 소자(8)의 상면과 접속된 상태에서 호스(6)를 통해 공기를 흡입하면 흡착패드내에 진공이 형성되므로 트레이(7)내의 소자(8)가 흡착패드(3)에 흡착된다.

이에따라 에어실린더가 동작하여 승강봉(4)을 초기 상태로 상승시킴과 동시에 이송수단에 의해 이송블럭을 소자의 이송위치로 이동시키게 되므로 소자를 원하는 위치(또 다른 트레이 또는 위치결정블럭등)에 안착시킬 수 있게 된다.

그러나 이러한 종래의 장치는 흡착패드(3)가 트레이(7)에 담겨진 소자(8)의 상면에 완전히 접속된 상태에서 소자를 흡착하게 되므로 합성수지 몰드물로 된 트레이의 제조시 발생되는 공차등으로 인해 흡착패드와 소자의 접속높이가 각각 달라질 경우에는 승강봉(4)이 공간부(2)내에 삽입된 스프링(5)을 압축시키며 상승하면서 소자의 상면에 충격을 가하게 되므로 소자의 특성이 변하게 됨음 물론 심한 경우에는 소자가 파괴되는 문제점이 있었다.

본 고안은 종래의 이와같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 그 구조를 개선하여 흡착패드가 소자의 상면과 접속되기 전에 공기를 흡입하여 소자를 흡착시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 흡착패드가 고정된 승강봉을 에어실린더에 의해 승,하강시켜 소자를 흡착이송하도록 된것에 있어서, 로드에 고정되며 내부에 압축공기통로와 통하여지는 공간부가 구비된 승강블럭과, 상기 공간부내에 일단이 스프링으로 탄력 설치되며 내부에는 공간부와 통하여지도록 중공부를 갖는 승강봉과, 상기 승강봉의 최하단에 고정되어 소자를 흡착하는 흡착패드와, 상기 에어실린더의 동작으로 승강블럭이 승,하강할때 이를 안내하는 가이드수단으로 구성된 반도체소자 검사기의 소자흡착장치가 제공된다.

이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 첨부된 도면 제2도 및 제3도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제2도는 본 고안을 나타낸 종단면도이고 제3도는 제2도(a)의 A-A선 단면도로써, 본 고안은 이송블럭(9)에 에어실린더(10)가 고정되어 있고 상기 에어실린더의 로드(1)에는 승강블럭(11)이 고정되어 있으며 상기 승강블럭의 내부에는 압축공기통로(12)와 통하여지는 공간부(13)가 구비되어 있다.

상기 압축공기통로(12)의 입구에는 공간부(13)내부를 진공상태로 하기 위한 호스(14)가 연결된다.

그리고 상기 공간부(13)내에는 중공부(15a)를 갖는 승강봉(15)의 일단이 삽입되어 스프링(16)으로 탄력 설치되어 있고 상기 승강봉(15)에는 공간부의 내주면과 기밀을 유지하기 위해 실링부재(17)가 고정되어 있으며 상기 승강봉(15)의 최하단에는 소자(8)를 흡착하는 흡착패드(3)가 고정된다.

따라서 호스(14)-압축공기통로(12)-공간부(13)-중공부(15a)-흡착패드(3)의 공기통로가 형성된다.

상기 에어실린더(10)의 동작으로 승,하강하는 승강블럭(11)은 가이드수단에 의해 안정된 동작을 하는데, 본 고안의 일 실시예에서는 제3도에 도시한 바와 같이 이송블럭(9)에 고정편(18)을 고정하고 승강블럭(11)에는 고정편을 감싸는 승강편(19)을 고정하도록 구성하였으나, 반드시 이에 국한하는 것은 아니고 이와는 반대로 구성할 수도 있다.

이와같이 구성된 본 고안의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저 제2도의 (a) 및 제3도에 도시한 바와 같이 에어실린더(10)가 오프되어 흡착패드(3)가 상사점에 위치된 상태에서 이송수단에 의해 이송블럭(9)이 소자(8)가 담겨진 트레이(7)측으로 이동하여 흡착패드(3)가 소자(8)의 직상부에 위치되면 이송블럭의 이동이 중단된다.

이러한 상태에서 에어실린더(10)가 온되면 로드(1)의 인출로 인해 승강봉(15)이 결합된 승강블럭(11)이 가이드수단인 고정편(18)과 승강편(19)에 의해 안내되어 안정되게 하강되므로 흡착패드(3)가 하사점에 위치된다.

즉, 제2도의 (b)와 같이 흡착패드(3)가 하사점에 위치되면 압축공기통로(12)를 통해 공기를 흡입하게 되므로 흡착패드(3)가 소자(8)의 상면과 접속되는 순간 흡착패드(3)와 소자(8)사이에 진공이 발생되고, 이에따라 소자는 일점쇄선으로 도시한 바와 같이 흡착패드(3)에 진공 흡착되므로 소자(8)에 가해지는 충격이 최소화된다.

이와같이 트레이(7)에 담겨진 소자(8)가 흡착패드(3)에 흡착되고 나면 흡착패드의 하방이 소자로 인해 폐쇄되어 공간부(13)내에는 진공이 발생되어 압력이 저하되므로 공간부의 최하단에 접속되어 있던 실링부재(17)가 스프링(16)을 압축시키면서 제2도의 (c)와 같이 상승되고, 이에따라 흡착패드(3)가 고정된 승강봉(15)도 상승되므로 트레이(7)에서 소자(8)가 완전히 분리된다.

그후, 에어실린더(10)가 오프되면 하강되었던 로드(1)가 상승되므로 승강블럭(11)이 최초의 상태와 같이 상사점에 위치된다.

에어실린더(10)의 동작으로 승강봉(15)의 최하단에 고정된 흡착패드(3)가 하강한 다음 트레이(7)내에 담겨져 있던 1개의 소자(8)를 흡착하여 다시 상승하고 나면 이송수단에 의해 이송블럭(9)이 소자(8)의 이송위치인 위치결정블럭(도시는 생략함)으로 이동된다.

이송수단에 의해 이송블럭(9)이 소자(8)의 이송위치로 이동완료하고 에어실린더(0)가 온되면 전술한 바와 같이 흡착패드(3)가 하사점에 도달하여 흡착패드에 흡착된 소자(8)를 위치결정블럭의 내부에 위치된 안착봉(도시는 생략함)의 직상부에 위치시킨다.

이러한 상태에서 압축공기통로(12)를 통해 유입되던 진공을 해제하면 흡착패드(3)에서 소자(8)가 분리되어 안착봉에 얹혀지므로 안착봉의 하강으로 소자가 위치결정 블럭에서 얼라인된다.

전술한 바와 같은 동작으로 트레이(7)내에 담겨져 있던 1개의 소자(8)를 위치결정 블럭으로 이송시키고 나면 에어실린더(10)가 오프되어 승강봉(15)을 상사점에 위치시킴과 동시에 이송수단에 의해 이송블럭(9)을 제2도의 (a)와 같은 초기 상태로 이동시키게 되므로 트레이에 담겨진 나머지 소자를 순차적으로 위치결정블럭측에 안전되게 이송시킬 수 있게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 고안장치는 흡착패드가 트레이에 담겨진 소자의 상면과 접속되기 직전에 압축공기를 유입하여 소자를 흡착하게 되므로 소자의 흡착에 따른 충격을 최소화하게 됨은 물론 흡착완료후에는 공간부내의 진공발생으로 승강봉이 약간 상승되어 소자를 트레이에서 완전히 분리시킨 다음 동작이 수행되므로 소자를 더욱 안전한 상태에서 이송시키게 되는 효과를 얻게 된다.

Claims (1)

1. 에어실린더의 로드(1)에 고정되어 승하강하고 압축공기통로(12)와 이 압축공기통로에 연통되도록 공간부(11)가 형성되어 있는 승강블럭(11)과, 상기 승강블럭에 이동이 가능하게 결합되고 내부 중공부(15a)의 상단이 공간부 내에 위치되어 압축공기통로와 통하여지며 하단에는 흡착패드(3)가 고정되어 있는 승강봉(15)과, 상기 승강봉의 원주면에 고정되고 상기 승강블럭의 공간부에 위치하여 승강봉의 이동거리를 제한하는 실링부재(17)와, 상기 실링부재와 공간부 상면벽 사이에 설치되어 승강봉을 하방으로 밀어주는 스프링(18)으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사기의 소자흡착장치.