KR0121036Y1 - Material transfer and setting apparatus of laser mariking machine - Google Patents

Material transfer and setting apparatus of laser mariking machine Download PDF

Info

Publication number
KR0121036Y1
KR0121036Y1 KR2019940034209U KR19940034209U KR0121036Y1 KR 0121036 Y1 KR0121036 Y1 KR 0121036Y1 KR 2019940034209 U KR2019940034209 U KR 2019940034209U KR 19940034209 U KR19940034209 U KR 19940034209U KR 0121036 Y1 KR0121036 Y1 KR 0121036Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pair
laser
guide
laser marking
transfer
Prior art date
Application number
KR2019940034209U
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR960025413U (en
Inventor
박명순
Original Assignee
박명순
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 박명순 filed Critical 박명순
Priority to KR2019940034209U priority Critical patent/KR0121036Y1/en
Publication of KR960025413U publication Critical patent/KR960025413U/en
Application granted granted Critical
Publication of KR0121036Y1 publication Critical patent/KR0121036Y1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742Mechanical parts of transfer devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67282Marking devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

본 고안은 반도체의 제조공정중에서도 제조되는 반도체 IC의 표면에 제조처 및 제품의 성능, 또는 상품명 등을 레이저로 표시하기 위하여 사용되는 자동화된 레이저 마킹시스템에 있어서, 공급되는 재료를 안전하게 파지하여 정확하게 이송시키도록 함과 동시에 레이저 발진기에 의한 마킹공정이 이루어지도록 셋팅하도록 하는 레이저 마팅기의 재료 이송 및 셋팅장치에 관한 것이며, 이는 각각 구동모우터에 의해 정.역회전작동되고 브라켓트에 의해 지지되는 한쌍의 스크류지지대와, 이의 스크류지지대에 각각 체결되어 스크류지지대의 회전작동에 의해 좌,우슬라이드 작동되는 한쌍의 이송부재와, 상기 이송부재에 각각 구비되어 유압실린더의 진퇴작동으로 승강작동되는 한쌍의 클립퍼와, 상기 클립퍼와 유압실린더 사이에 구비되어 유압실린더의 작동에 따라 승강작동이 되면서도 양 클립퍼가 이의 상,하면에 구비되는 가이드면을 따라 이동하면서 벌어졌다 오므라졌다하여 재료를 파지하거나 또는 파지된 재료를 놓게 하도록 하는 한쌍의 가이드지지대로 구성됨으로써 재료를 레이저발진기으로측으로 이송 및 셋팅하도록 하는 것이다.The present invention is an automated laser marking system that is used to mark the manufacturer, product performance, or brand name, etc., on the surface of a semiconductor IC manufactured during a semiconductor manufacturing process with a laser. The present invention relates to a material conveying and setting device of a laser marking machine which allows the marking process by a laser oscillator to be set at the same time, and is a pair of forward and reverse rotations operated by a driving motor and supported by a bracket. A pair of transfer members fastened to the screw support, its screw support and left and right slide operated by the rotation of the screw support, and a pair of clippers provided on the transfer member to move up and down by moving the hydraulic cylinder, respectively; Is provided between the clipper and the hydraulic cylinder of the hydraulic cylinder The material is made up of a pair of guide supports which allow the clipper to move and move along the guide surface provided on the upper and lower surfaces thereof while holding and lifting the material. It is to feed and set to oscillator side.

Description

레이저 마팅기의 재료이송 및 셋팅장치Material transfer and setting device of laser marking machine

제 1도는 본 고안이 적용되는 레이저 마팅기의 전체적인 구성을 보인 개략도.1 is a schematic view showing the overall configuration of a laser marking machine to which the present invention is applied.

제 2도는 본 고안에 관한 재료이송 및 셋팅수단의 구성을 보인 평면구성도.Figure 2 is a plan view showing the configuration of the material transfer and setting means according to the present invention.

제 3도는 본 고안 제 2도의 정면구성도.3 is a front configuration diagram of the second invention of the present invention.

제 4도는 본 고안 제 3도의 작동상태를 보인 구성도.4 is a configuration showing the operating state of the third invention of the present invention.

제 5도는 본 고안 제 2도의 측단면 구성도.Figure 5 is a side cross-sectional view of the second design of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

A : 재료공급수단 B : 레이저마킹수단A: material supply means B: laser marking means

C : 재료회수수단 100.100A : 스크류지지대C: Material recovery means 100.100A: Screw support

110 : 브라켓트 111 : 나사부110: bracket 111: screw portion

112.112a : 구동모우터 200.200A :이송부재112.112a: Drive motor 200.200A: Transfer member

210 : 몸체 211 : 슬라이더210: body 211: slider

212 : 가이드레일 220.221 : 클립퍼212: guide rail 220.221: clipper

222 : 스프링 223.223a : 로울러222: spring 223.223a: roller

230 : 유압실린더 300.300A : 가이드지지대230: Hydraulic cylinder 300.300A: guide support

310.320 : 가이드면310.320: Guide surface

본 고안은 반도체의 제조공정중에서도 제조되는 반도체 IC의 표면에 제조처 및 제품의 성능, 또는 상품명등을 레이저로 표시하기 위하여 사용되는 자동화된 레이저 마킹시스템에 있어서, 공급되는 재료를 안전하게 파지하여 정확하게 이송시키도록 함과 동시에 레이저 발진기에 의한 마킹공정이 이루어지도록 셋팅하도록 하는 레이저 마팅기의 재료 이송 및 셋팅장치에 관한 것으로, 특히 재료를 레이저 발진기가 구비되는 위치까지 이송하는 공정과 레이저 발진기에 의해 마킹작업이 이루어지도록 재료를 고정하도록 하는 세팅공정을 기계적인 장치를 이용하여 연속적이고도 자동적으로 이루어지도록 하여 생산성을 향상시키도록 함과 동시에 마킹효율을 향상시키도록 한 것이다.The present invention is an automated laser marking system that is used to display the manufacturer, product performance, or brand name on the surface of a semiconductor IC manufactured during a semiconductor manufacturing process with a laser. The present invention relates to a material transfer and setting device of a laser marking machine which is set to perform a marking process by a laser oscillator, and in particular, a process of transferring material to a position where a laser oscillator is provided and marking operation by a laser oscillator. In order to achieve this, the setting process for fixing the material is performed continuously and automatically by using a mechanical device to improve productivity and at the same time improve the marking efficiency.

일반적으로 반도체 IC는 물론이고 트랜지스터등과 같은 각종 전자부품을 제조한 후에는 이의 표면에 제조처는 물론이고 제품의 성능 및 상품명등을 표시하고 있는 것이었으며, 특히 이러한 반도체의 IC등은 그 특성이나 성능등이 세계적으로 공통된 규격화로 되어 있기 때문에 이에 맞는 표시를 필수적으로 하여야만 하는 것이었다.In general, after manufacturing various electronic components such as transistors, as well as semiconductor ICs, the surface and the performance and brand names of the products as well as the manufacturer are displayed on the surface thereof. Since the performance and the like are common in the world, it was necessary to make the marking appropriate.

따라서 이러한 반도체 및 전자부품들은 그 제조과정에서 이들의 표면에 잉크방식이나 또는 레이저방식 등으로 각종 표시내용을 인쇄 또는 각인하고 있는 것이었다.Therefore, these semiconductor and electronic components were printing or imprinting various display contents on the surface of the semiconductor and electronic parts by ink method or laser method.

근래에는 잉크방식에서 나타나는 여러가지 문제점으로 레이저 마킹기를 주로 사용하고 있는 것이었고, 이와 같은 레이저 마킹기는 레이저 빔을 발진시켜 반도체등의 부품 표면에 각종 표시내용을 각인하게 되는 것이었고, 또한 상기와 같은 반도체등의 부품은 그 크기가 극히 소형이면서도 정밀한 부품임에 따라 취급의 주의를 요하는 것이기 때문에 대체적으로 기계적인 장치를 이용하여 자동적인 방법으로 이송 및 마킹등의 공정을 행하고 있는 것이었다.Recently, the laser marking machine is mainly used because of various problems in the ink method. Such a laser marking machine oscillates a laser beam to imprint various display contents on the surface of a component such as a semiconductor. Such parts are extremely small in size and precise, and require careful handling, so they are generally carried out by a mechanical device for automatic feeding and marking.

즉, 일정한 단계의 공정까지 제조된 재료, 다시 말해서 리드프레임에 집적된 회로를 보호하기 위하여 패키지 몰드된 재료를 레이저 발진기가 구비된 위치까지 자동적으로 이송하여 이의 표면상에 레이저를 발진시켜 설정된 각종 표시를 각인하는 것이고, 또한 각인이 완료된 재료를 다시 다음 공정으로 이송시키는 작동을 반복하게 되는 것이었다.That is, in order to protect the material manufactured to a certain step process, that is, the package-molded material to the position provided with the laser oscillator in order to protect the circuit integrated in the lead frame, the various marks set by oscillating the laser on its surface It was to mark and to repeat the operation of conveying the finished material back to the next process.

이러한 레이저 마킹시스템에 있어서, 레이저 발진기는 기기의 본체에 고정된 위치에서 마킹공정을 수행하게 됨에 따라 공급되는 재료를 레이저 발진기가 구비되는 위치까지 정확하게 이송시켜야 함은 물론 이의 레이저 마킹 작업이 이루어지는 동안 재료를 유동없이 셋팅한 상태를 유지하여야만 하는 것이 필연적으로 요구되는 것이었다.In such a laser marking system, as the laser oscillator performs the marking process at a fixed position on the main body of the device, the material to be supplied must be accurately transferred to the position where the laser oscillator is provided, as well as during the laser marking operation thereof. It was inevitably required to maintain the setting without flow.

따라서 종래의 레이저 마킹시스템에 있어서도 상기와 같이 공급되는 재료를 레이저 발진기가 구비되는 위치까지 이송하도록 함은 물론 마킹공정이 이루어지는 동안 재료를 셋팅하도록 하는 장치가 알려져 있으나, 이는 그 구성이 복잡하여 기기를 제조하는데 따른 제조성이 저하되는 문제점이 있을뿐 아니라 구동방식도 복잡하여 이송 및 셋팅에 따른 속도가 저하되는 등 그 생산성이 좋지못한 문제점이 있는 것이었다.Therefore, in the conventional laser marking system, an apparatus for transferring the material supplied as described above to a position where the laser oscillator is provided as well as setting the material during the marking process is known. Not only is there a problem that the manufacturability deteriorates due to manufacturing, but also the driving method is complicated, and thus the productivity is not good, such as a decrease in speed due to the feeding and setting.

또한 이러한 문제점으로 재료의 정확한 위치에 레이저 마킹을 하지 못하는등 불량품이 많이 발생하는 문제점도 있었을뿐 아니라 사용성에도 많은 문제점이 노출되고 있는 것이었다.In addition, these problems were not only a laser marking in the exact position of the material, but also a lot of defects occur, as well as many problems were exposed to usability.

따라서 본 고안은 상기와 같은 사정을 고려하여 이루어진 것으로 그 목적은 레이저 마킹시스템에서 별도의 공급수단에 의해 공급되는 재료를 레이저 발진기가 구비되는 위치까지 정확하고도 안전하게 이송시키도록 함과 동시에 레이저 마킹공정이 이루어지는 동안 재료를 유동없이 안전하게 셋팅할 수 있도록 함으로써 마킹효율을 향상시키도록 하는 레이저 마킹기의 재료 이송 및 셋팅장치를 제공함에 있다.Therefore, the present invention has been made in consideration of the above circumstances, and its purpose is to ensure that the laser marking system accurately and safely transfers the material supplied by the separate supply means to the position where the laser oscillator is provided, and at the same time, the laser marking process. It is to provide a material transfer and setting device of the laser marker to improve the marking efficiency by allowing the material to be set safely without flow during this process.

본 고안의 다른 목적은 재료를 이송하는 공정과 셋팅하는 공정을 기계적인 장치를 이용하여 연속적이고도 자동적으로 이루어지도록 함으로써 생산성의 증대와 더불어 사용성을 향상시키도록 하는 레이저 마킹시스템의 재료 이송 및 셋팅장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a material conveying and setting device for a laser marking system which improves productivity and improves usability by continuously and automatically performing a process of transferring a material and a setting process using a mechanical device. In providing.

이러한 목적은 개선된 재료 이송 및 셋팅장치를 제공함으로써 달성되는데, 즉 별도의 장치에 의해 하나씩 공급되는 재료를 유동없이 파지하여 이송시키도록 함과 동시에 마킹공정이 이루어지는 지점에 정확하고도 안전하게 위치되도록 하여 마킹공정에 따른 재료의 셋팅이 이루어지도록 하는 것이고, 또한 레이저 마킹공정이 이루어지고 난 제품은 자동으로 배출되도록 하는 것이다.This object is achieved by providing an improved material transfer and setting device, i.e., to grasp and transfer the material fed one by one by means of a separate device without flow, while at the same time accurately and securely positioning the marking process. The setting of the material according to the marking process is made, and also the product after the laser marking process is discharged automatically.

그리고 이러한 일련의 공정들이 기계적인 장치에 의해 연속적이고도 자동적으로 이루어지도록 하는 것이 특징인 것이다.This series of processes is characterized by continuous and automatic processing by mechanical devices.

계속해서 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Subsequently, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부도면의 제1도는 본 고안의 적용되는 레이저 마킹시스템의 전체적인 구성을 개략적으로 보인 구성도를 나타내고 있다.Figure 1 of the accompanying drawings shows a schematic view showing the overall configuration of the laser marking system to which the present invention is applied.

이는 별도의 장치에 의해 공급되는 리드프레임을 하나씩 레이저 마킹수단으로 공급시키도록 하는 재료공급수단(A)과, 상기 재료공급수단(A)으로 부터 재료를 공급받아 레이저 발진기(10)로 레이저 빔을 발진시켜 재료의 표면에 각종 표시부를 각인할 수 있도록 정밀하게 재료를 이송 및 셋팅하는 재료이송 및 셋팅수단(B)과, 또한 상기 재료이송 및 셋팅수단(B)으로 부터 마킹공정이 이루어진 재료를 다음 공정으로 보내기 위하여 회수하는 재료회수수단(C)으로 구성되어 있다.It is a material supply means (A) for supplying the lead frame supplied by a separate device to the laser marking means one by one, and receives the material from the material supply means (A) and the laser beam to the laser oscillator (10) The material transfer and setting means (B) for precisely transferring and setting the material so that the various markings can be imprinted on the surface of the material by oscillation, and the material from which the marking process has been performed from the material transfer and setting means (B) is next. It consists of the material recovery means C collect | recovered in order to send to a process.

따라서 본체의 일측 저면으로 부터 카트리지내에 수납되는 다수의 재료중 별도의 장치에 의해 하나씩 수직으로 상승공급되는 재료를 재료공급수단(A)에서 안내레일을 통해 재료이송 및 셋팅수단(B)으로 수평이송시키게 되는 것이고, 이와 같이 하나씩 연속적으로 공급되는 재료를 재료이송 및 셋팅수단(B)에서 다시 하나씩 파지하여 레이저 발진기(D)가 구비되는 위치까지 정확하게 이송하게 되는 것이며, 또한 이같이 이송된 재료를 마킹공정이 이루어지는 동안 유동없이 셋팅하게 되는 것이다.Therefore, the material which is vertically fed up by one of the plurality of materials contained in the cartridge from the bottom of one side of the main body by a separate device is transferred horizontally from the material supply means (A) to the material transfer and setting means (B). In this way, the materials continuously fed one by one are gripped again by the material transfer and setting means (B) one by one, and then precisely transferred to the position where the laser oscillator (D) is provided. It is set without flow during this process.

그리고 상기 재료이송 및 셋팅수단(B)에서 마킹공정이 이루어지고난 제품은 재료회수수단(C)에 의해 회수되어져 다음 공정으로 보내지게 되는 것이다.In addition, the product having the marking process in the material transfer and setting means (B) is recovered by the material recovery means (C) and sent to the next process.

이러한 레이저 마킹시스템에 있어서, 본 고안은 재료공급수단(A)에서 공급되는 재료를 레이저 발진기가 구비되는 위치까지 이송하도록 함은 물론 이의 레이저 발진기에서 레이저 마킹공정이 이루어지는 동안 재료를 셋팅하도록 하는 재료이송 및 셋팅수단(B)에 관한 것이다.In this laser marking system, the present invention not only transfers the material supplied from the material supply means (A) to the position where the laser oscillator is provided, but also sets the material during the laser marking process in the laser oscillator thereof. And setting means (B).

본 고안의 재료이송 및 셋팅수단(B)은 첨부도면의 제2도 이하에서 상세히 나타내고 있다.Material transfer and setting means (B) of the present invention is shown in detail below the second figure of the accompanying drawings.

즉, 상기 재료이송 및 셋팅수단(B)은 본체의 지지틀(10)에 일정간격으로 고정설치되는 양측브라켓트(110)에 가로질러 구비되는 한쌍의 스크류지지대(100)(100A)와, 이의 양스크류지지대(100)(100A)에 각각 체결되어 좌.우슬라이드 작동되는 이송부재(200)(200A)와, 상기 양스크류지지대(100)(100A)사이의 하부에 각각 구비되어 양이송부재는(200)(200A)를 각각 지지하면서 이송부재(200)(200A)에 구비되는 한쌍의 클립퍼를 오므라들게 하거나 벌어지게 작동시키는 한쌍의 가이드지지대(300)(300A)로 구성되어 있다.That is, the material transfer and setting means (B) is a pair of screw supports (100, 100A) provided across the bracket (110) that is fixed to the support frame 10 of the main body at a predetermined interval, and the amount thereof Each of the screw members 100 and 100A is fastened to the left and right slide operation members 200 and 200A, respectively, and is provided at a lower portion between the both screw supports 100 and 100A. It consists of a pair of guide support 300 (300A) to retract or open the pair of clippers provided in the transfer member 200 (200A) while supporting each of the 200 (200A).

이들은 하나씩 각각 한조로 구성되어 상호 연동되면서 별도로 작동되어지는 것이며, 다시 말해서 재료를 이송 및 셋팅하는 수단이 병열로 구비되어 있다.These are composed of a set of each one is operated separately while interlocking, that is, the means for transferring and setting the material is provided in parallel.

상기 스크류지지대(100)(100A)는 외연에 길이방향으로 나사부(111)를 가지는 봉체형으로 구비되어 있고, 이들의 일측단에는 각각 구동모우터(112)(112a)가 구비되어 있어 스크류지지대(100)(100A)를 회전구동시키게 될 것이다.The screw support 100 (100A) is provided in a rod-like shape having a threaded portion 111 in the longitudinal direction on the outer periphery, one end of each of the drive motors 112, 112a are provided with a screw support ( 100) 100A will be rotated.

또한 상기 이송부재(200)(200A)는 상호 동일한 구성을 가지고 있기 때문에 그 하나만을 설명하기로 한다.In addition, since only one of the transfer members 200 and 200A has the same configuration, only one of them will be described.

즉, 상기 이송부재(200)는 그 몸체(210)가 스크류지지대(100)에 체결되어 이를 따라 좌, 우슬라이드 작동되는 것이고, 이의 몸체(210)의 저면에는 슬라이더(211)가 구비되어 있어 본체에 고정된 고정브라켓트(101)의 가이드레일(102)을 따라 슬라이드되면서 지지되는 것이며, 또한 그 일측면에는 수직방향으로 한쌍의 가이드레일(212)(212a)이 구비되어 있다.That is, the conveying member 200 is that the body 210 is fastened to the screw support 100 and accordingly left, right slide operation, the bottom of the body 210 is provided with a slider 211 body It is supported while sliding along the guide rail 102 of the fixing bracket 101 fixed to the, and one side is provided with a pair of guide rails (212, 212a) in the vertical direction.

상기 가이드레일(212)(212a)에는 각각 클립퍼가 구비되는데, 이의 클립퍼는 재료의 상부를 잡아주는 상부클립퍼(220)와 재료의 하부를 잡아주는 하부클립퍼(221)로 구성되어 있고, 이들 사이에는 상호간격을 유지하도록 하기 위하여 일정한 탄성을 가지는 스프링(222)이 구비되어 있다.Each of the guide rails 212 and 212a is provided with a clipper, the clipper of which is comprised of an upper clipper 220 for holding an upper portion of a material and a lower clipper 221 for holding a lower portion of a material. Spring 222 having a constant elasticity is provided between them to maintain a mutual gap.

또한 상기 상.하클립퍼(220)(221)의 각 하부에는 가이드지지대(300)에 지지되는 공회전로울러(223)(223a)가 구비되어 있다.In addition, each lower portion of the upper and lower clippers 220 and 221 is provided with idle rollers 223 and 223a supported by the guide support 300.

상기 가이드지지대(300)는 그 하부에 고정브라켓트(101)에 고정설치되는 유압실린더(230)가 구비되어 있어 이의 진퇴작동에 따라 승강작동되는 것이며, 또한 가이드지지대(300)의 일측면에는 길이방향으로 가이드면(310)(320)이 상.하로 구비되어 있어 전술한 공회전로울러(223)가 각각 접면되어 구동되는 것이다.The guide support 300 is provided with a hydraulic cylinder 230 fixed to the fixing bracket 101 at the bottom thereof is to be moved up and down in accordance with its advancing operation, and in one side of the guide support 300 in the longitudinal direction The guide surfaces 310 and 320 are provided up and down, so that the above-described idle rollers 223 are folded and driven, respectively.

이때 상기 가이드면(310)(320)은 길이방향에서 양측으로는 소정구간까지 수평구간(a)을 가지면서 이들의 중심부 소정위치에는 내측으로 오목한 구간(b)을 갖추어 구성되어 있다.In this case, the guide surfaces 310 and 320 have horizontal sections a from both sides in the longitudinal direction to predetermined sections, and are provided with sections b inwardly concave at predetermined locations in the center thereof.

따라서 상.하클립퍼(220)(221)의 공회전로울러(223)가 이들의 가이드면(320)을 타고 좌,우슬라이드 작동시 각 구간(a)(b)의 위치에 따라 승강작동이 이루어질 것이다.Therefore, the idling roller 223 of the upper and lower clipper 220, 221 is a lifting operation is performed according to the position of each section (a) (b) when the left and right slide operation on their guide surface 320. will be.

또한 상기 가이드지지대(300)는 그 양단이 본체의 지지틀(10)에 고정된 양브라켓트(11)에 구비되어 이에 지지된채로 승강작동되는데, 즉 가이드지지대(300)의 양단에는 슬라이더(330)가 구비되어 있어 양측 브라켓트(11)의 내측에 각각 수직방향으로 구비되는 가이드레일(12)에 지지됨으로써 이를 따라 승강작동되는 것이다.In addition, the guide support 300 is provided with both brackets 11 fixed at both ends of the support frame 10 of the main body, and the lifting operation is supported, that is, the slider 330 at both ends of the guide support 300 Is provided is supported by the guide rails 12 which are provided in the vertical direction in each of the inner side of the bracket (11) is to be moved up and down accordingly.

따라서 이와 같이 구성되는 본 고안의 작용효과를 도면에 준하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Therefore, the operational effects of the present invention configured as described above will be described in detail with reference to the drawings.

본 고안은 첨부도면에서 보는 바와 같이 재료, 즉 리드프레임(I)이 횡방향으로 구비되는 한쌍의 안내레일(400)(410) 사이의 가이드홈에 삽입된채로 일측으로 공급되어 지면, 이의 재료를 본 고안에 의해 레이저 발진기(D)가 구비되는 위치까지 이송시킴과 동시에 이의 레이저 발진기(D)에서 마킹공정이 이루어지는 동안 재료를 셋팅하고 있다가 레이저 마킹공정이 완료되면 이의 제품을 다음 공정으로 이송시키는 작동을 반복하게 되는 것이다.When the present invention is supplied to one side while being inserted into the guide groove between the pair of guide rails 400 and 410 provided with the material, that is, the lead frame I in the transverse direction, as shown in the accompanying drawings, the material thereof According to the present invention, the laser oscillator (D) is transferred to a position provided with the material and the material is set while the marking process is performed in the laser oscillator (D). When the laser marking process is completed, the product is transferred to the next process. It will repeat the operation.

첨부도면의 제4도는 재료를 이송하기 위하여 재료의 이송시작점으로 본 고안이 작동되는 상태를 보인 구성도로서, 이때에는 유압실린더(230)가 후진한 상태를 유지함에 따라 재료를 파지하는 클립퍼(220)(221)들이 하강한 상태에서 구동모우터(112)가 역회전작동되어 이송부재(200)를 우측으로 이송시키는 상태인 것이다.4 is a configuration diagram showing a state in which the present invention operates as a starting point of material transfer to transfer material, in which case the hydraulic cylinder 230 holds the clipper as it is held in a backward state ( In the state in which the 220 and 221 are lowered, the driving motor 112 is reversely rotated to transfer the transfer member 200 to the right.

즉, 유압실린더(230)가 후진함에 따라 가이드지지대(300)가 하강을 하게되고, 이에 따라 가이드지지대(300)에 체결되어 있는 상,하클립퍼(220)(221)도 동시에 동일한 간격만큼 하강을 하게되는 것이다.That is, as the hydraulic cylinder 230 moves backward, the guide support 300 descends, and accordingly, the upper and lower clippers 220 and 221 fastened to the guide support 300 also descend by the same interval at the same time. Will be.

이때 상,하클립퍼(220)(221)의 공회전로울러(223)(223a)가 가이드지지대(300)의 가이드면(310)(320)중에서도 수평구간(a)에 위치하게 됨에 따라 양클립퍼(220)(221)는 벌어진 상태를 유지하게 되는 것이다.At this time, the idler rollers 223 and 223a of the upper and lower clippers 220 and 221 are positioned in the horizontal section a among the guide surfaces 310 and 320 of the guide support 300, respectively. 220 and 221 is to maintain the open state.

이러한 상태는 한쌍의 이송부재(200)(200A)가 좌,우슬라이드 작동될 시 상호 간섭을 받지않도록 하기위한 것인데, 즉 하나의 이송부재가 재료를 이송하는 동안에 또 다른 이송부재는 다른 재료를 이송하기 위하여 최초의 위치로 이송하는데 따른 상호 간섭을 피하도록 하는 것이고, 이와 같이 한쌍의 이송부재(200)(200A)를 구비하여 일정한 시차를 가지면서 상호 작동되도록 하는 것은 작업성을 향상시키도록 하기 위한 것이다.This state is to prevent mutual interference when the pair of transfer members 200 and 200A are operated left and right, that is, while one transfer member transfers the material, another transfer member transfers the other material. In order to avoid mutual interference due to the transfer to the first position in order to provide a pair of transfer members (200, 200A) as described above to operate with a certain time difference to improve the workability will be.

상기와 같은 작동으로 이송부재(200)가 최초의 시작점, 즉 도면에서는 우측으로 이동한 상태에서 후진한 유압실린더(230)가 전진작동을 하게되면, 전술한 역작동으로 양클립퍼(220)(221)가 상승하여 그 끝단이 안내레일(400)(410)의 사이로 상승하게 되는 것이고, 이때 양클립퍼(220)(221)는 이들 사이로 공급되는 재료의 후면에 위치하게 된다.In the above operation, when the conveying member 200 moves forward to the first starting point, that is, the right side in the drawing, when the hydraulic cylinder 230 moves forward, both of the clippers 220 as the aforementioned reverse operation ( 221 is raised so that the end is to rise between the guide rails 400, 410, wherein both clipper 220, 221 is located on the back of the material supplied between them.

이러한 상태에서 구동모우터(112)가 정회전작동을 하게 되고, 이에 따라 스크류지지대(100)가 회전되면서 이와 몸체(210)로 나사체결된 이송부재(200)를 우에서 좌로 이동시키게 되는 것이다.In this state, the driving motor 112 performs the forward rotation operation, and thus, the screw support 100 is rotated to move the transfer member 200 screwed into the body 210 from the right side to the left side.

이때 양클립퍼(220)(221)는 이들 사이에 재료(I)의 후면을 위치시킨 상태에서 재료를 밀면서 이송시키게 되는 것이고, 계속해서 이송되는 이송부재(200)가 가이드지지대(300)의 오목한 구간(b)에 위치되는 순간 양클립퍼(220)(221)는 오므라들게 되는 것인데, 즉, 이들 사이에 구비되는 스프링(222)의 탄성력에 의해 양클립퍼(220)(221)는 항상 오므라들려는 힘을 가지게 되는 것이고, 이때 이의 하단부에 구비되는 공회전로울러(223)(223a)들이 오목한 가이드면(310)(320)에 도달됨으로써 이들 사이의 간격이 좁아져 양클립퍼(220)(221)는 오므라들게 되는 것이다.In this case, both clippers 220 and 221 are to be transported while pushing the material in a state in which the rear side of the material (I) between them, the conveying member 200 is continuously conveyed concave of the guide support 300 The moment the clip (220) (221) is located in the section (b) is to be retracted, that is, the clipper (220, 221) is always retracted by the elastic force of the spring 222 provided between them The lifting force is to be lifted, and the idle rollers 223 and 223a provided at the lower end thereof reach the concave guide surfaces 310 and 320 so that the gap therebetween is narrowed so that both clippers 220 and 221 are separated. ) Is retracted.

따라서 양클립퍼(220)(221)가 오므라들게 됨으로써 재료의 후면을 파지하게 되는 것이고, 이러한 상태에서 재료를 이송시키게 되는 것이다.Therefore, both clippers 220 and 221 are retracted to grip the back side of the material, and the material is transferred in this state.

이와 같이 재료를 양클립퍼(220)(221)가 완전히 파지한 상태에서 이송시키게 되는 것이며, 이송시키는 재료가 레이저 발진기(D)의 하부위치에 도달되어지면 구동모우터(112)가 작동을 정지하게 되는 것이고, 이때 통상에 서와 같이 레이저 발진기(D)에서 레이저가 발진되어 재료의 표면에 설정된 내용의 표시부를 마킹하게 되는 것이다.In this way, the material is transferred in a state in which both clippers 220 and 221 are completely gripped. When the material to be transferred reaches the lower position of the laser oscillator D, the driving motor 112 stops operation. At this time, the laser is oscillated in the laser oscillator (D) as usual, it is to mark the display of the content set on the surface of the material.

이때 상기 재료는 리드프레임에 집적된 회로를 보호하기 위하여 패키지 몰드된 재료임에 따라 여러개의 대상물이 등간격으로 구비되어 있는 것이었고, 이에 따라 일정한 간격만큼 이송하였다가 다시 셋팅을 하는 작동을 반복함으로써 리드프레임상에 구비되는 다수의 재료들을 순차적으로 레이저 마킹을 하게 되는 것이다.At this time, the material was packaged in order to protect the circuit integrated in the lead frame, so that several objects were provided at equal intervals. Laser marking of a plurality of materials provided on the lead frame is performed sequentially.

상기와 같이 레이저 마킹공정이 완료되면 구동모우터(112)가 비교적 고속으로 회전되어져 마킹완료된 제품을 다음 공정으로 이송시키게 되는 것이다.When the laser marking process is completed as described above, the driving motor 112 is rotated at a relatively high speed to transfer the finished product to the next process.

한편 상기와 같은 본 고안의 작동이 각각 별도로 제어되는 한쌍으로 이루어지면서 일정한 시차를 가지고 작동되어 짐에 따라 레이저 발진기측으로는 재료가 연속적이고도 자동적으로 공급되어져 마킹작업이 이루어지게 되는 것이다.On the other hand, as the operation of the present invention as described above is made in a pair controlled separately, the operation is made with a constant parallax, so that the material is continuously and automatically supplied to the laser oscillator, and the marking operation is performed.

그러므로 이와 같이된 본 고안은 레이저 마킹시스템에 있어서, 재료를 레이저 발진기측으로 공급하는 작동을 연속적이고도 자동적으로 공급하게 되는 효과를 가지게 됨은 물론 레이저 발진기에서 레이저 마킹이 이루어지는 동안 재료를 유동없이 파지한 상태로 셋팅을 이룰수가 있게 되는 효과를 가지게 되는 것이다.Therefore, the present invention has the effect of continuously and automatically supplying the operation of supplying the material to the laser oscillator side in the laser marking system as well as holding the material without flow during the laser marking in the laser oscillator. It will have the effect of being able to make settings.

이러한 효과는 재료의 공급이 일정한 속도를 가지면서 연속적이고도 자동적으로 이루어지게 됨으로써 생산성이 그만큼 향상되어 지는 것이고, 또한 레이저 마킹공정이 이루어지는 동안 재료를 정확한 위치에 유동없이 안전하게 셋팅하게 됨으로써 마킹성능이 향상되어 지는 것이다.This effect is to improve the productivity by supplying the material at a constant speed and continuously and automatically. Also, the marking performance is improved by safely setting the material in the correct position without flow during the laser marking process. To lose.

또한 이러한 효과외에도 모든 공정이 자동적으로 이루어지기 때문에 작업성은 물론이고 사용성도 향상되어지는 효과를 가지게 됨은 물론 본 고안에 따른 기기의 구성도 간단해짐으로써 기기의 제조에 따른 제조성 및 구동성도 향상되어 지는 효과를 가지게 되는 것이다.In addition to this effect, since all processes are automatically performed, not only workability but also usability are improved, as well as the configuration of the device according to the present invention is simplified, and the manufacturability and driveability of the device are also improved. It will have an effect.

Claims (1)

반도체 제조공정중 제조되는 제품의 제조처, 상품명 및 성능등의 각종 표시부를 레이저 마킹하도록 하는 레이저 마킹시스템에 있어 재료를 레이저 발진기측으로 이송 및 셋팅하는 것에 있어서, 상기 재료이송 및 셋팅수단은 지지틀(10)의 전면에 일정간격으로 고정설치되는 양 브라켓트(110)에 가로질러 구비되고 일측단의 구동모우터(112)(112a)의 동력에 의해 회전작동되며 외연에 나사부(111)를 가지는 한쌍의 스크류지지대(100)(100A)와; 상기 가이드지지대(100)(100A)와 본체에 고정된 고정브라켓트(101)에 각각 체결되고, 이들에 지지되어 좌.우슬라이드 작동되는 몸체(210)와, 이의 몸체(210)의 일측면에 구비되는 한쌍의 가이드레일(212)(212a)과, 이의 가이드레일에 체결되어 승강안내되고 하부에 가이드지지대(300)(300A)에 접면되어 안내되는 공회전로울러(223)(223a)를 가지면서 재료를 파지하는 상.하클립퍼(220)(221)를 갖춘 한쌍의 이송부재(200)(200A)와; 상기 고정브라켓트(101)에 고정설치되는 유압실린더(230)에 의해 승강작동되고 상,하면에 이송부재의 공회전로울러(223)(223a)가 접면되어 상,하작동을 하도록 하는 가이드면(310)(320)을 가지며 양측의 가이드레일(330)에 의해 지지되는 한쌍의 가이드지지대(300)(300A)로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 마킹기의 재료이송 및 셋팅장치.In a laser marking system for laser marking various displays such as the manufacturer, brand name, and performance of a product manufactured during a semiconductor manufacturing process, the material conveying and setting means includes a support frame ( 10) is provided across both brackets 110 fixedly installed at a predetermined interval on the front surface and rotated by the power of the driving motors 112 and 112a at one end, and has a pair of screws 111 on the outer edge thereof. A screw support (100) (100A); Fastened to the guide bracket 100, 100A and the fixing bracket 101 fixed to the main body, respectively, and are supported by these left and right slide body 210 and provided on one side of the body 210 The material has a pair of guide rails (212) (212a) and the idle rollers (223, 223a) which are fastened and guided by being guided to their guide rails and are guided in contact with the guide support (300) (300A) at the bottom. A pair of conveying members 200 and 200A having upper and lower clippers 220 and 221 to be gripped; Lifting operation by the hydraulic cylinder 230 fixed to the fixing bracket 101 and the guide surface 310 to the upper and lower idle rollers (223, 223a) of the transfer member is folded to operate up and down Material transfer and setting device of the laser marking machine having a 320 and consists of a pair of guide supports (300, 300A) supported by the guide rails (330) on both sides.
KR2019940034209U 1994-12-15 1994-12-15 Material transfer and setting apparatus of laser mariking machine KR0121036Y1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019940034209U KR0121036Y1 (en) 1994-12-15 1994-12-15 Material transfer and setting apparatus of laser mariking machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019940034209U KR0121036Y1 (en) 1994-12-15 1994-12-15 Material transfer and setting apparatus of laser mariking machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960025413U KR960025413U (en) 1996-07-22
KR0121036Y1 true KR0121036Y1 (en) 1998-08-01

Family

ID=19401497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019940034209U KR0121036Y1 (en) 1994-12-15 1994-12-15 Material transfer and setting apparatus of laser mariking machine

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR0121036Y1 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
KR960025413U (en) 1996-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE141889T1 (en) OBJECT TRANSFER DEVICE
JP5786091B2 (en) Thin glass material cutting device
ATE168639T1 (en) METHOD AND DEVICE FOR LOADING A PACKAGING MACHINE WITH CUTTINGS OF PACKAGING MATERIAL
JP2006315901A (en) Method and apparatus for cutting and splitting glass substrate
WO1996011494A1 (en) Apparatus and method for bonding tape
KR0121036Y1 (en) Material transfer and setting apparatus of laser mariking machine
JP2023529809A (en) Continuous glass transfer type glass printing machine
JPH07112298A (en) Automatic working method of both ends of long size work and device therefor
EP1602601B1 (en) Container carrying conveyor apparatus
JPH01133625A (en) Work carrier and sheet material working machine provided with its work carrier
JPS6179526A (en) Supplying and collecting device of parts in assembly line
KR0121037Y1 (en) Material transferring apparatus of laser marking machine
CN109250555B (en) Volume-to-volume holographic anti-counterfeiting high-precision positioning gold stamping die-cutting machine
CN219944978U (en) Positioning and feeding combined laser marking mechanism
JP3355769B2 (en) Conveyor device
JP5094599B2 (en) Slide transfer device for transferring characters etc. to the side of molded products
JPS62192219A (en) Work feeding system for press
CN220943699U (en) Material conveying device for processing automobile parts
KR200155611Y1 (en) Transfering and setting device of laser or ink marking apparatus
KR20130020505A (en) Press machine
JPH11245093A (en) Punching method and punching device therefor
KR200263594Y1 (en) Device for the automatic supplying of cardboard
KR100413564B1 (en) A Tire Conveyor of Trimming Machine and Method Thereby
KR100431632B1 (en) Device for the automatic supplying of cardboard
KR100407070B1 (en) Auto machine for printing propaganda goods

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090413

Year of fee payment: 12

EXPY Expiration of term