KR0117460Y1 - Lead screw cleaning tool - Google Patents
Lead screw cleaning toolInfo
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Abstract
본 고안은 리이드 스크류용 크리닝 공구에 관한 것이다.The present invention relates to a cleaning tool for lead screw.
본 고안은 몸체의 양 측면을 관통하며 내면에 리이드 스크류에 대응하는 암나사가 형성된 관통공과 관통공으로부터 몸체외부로 연장하는 배출구를 가진 일체로 성형된 크리닝 공구를 제공한다.The present invention provides an integrally formed cleaning tool having a through hole having a female thread corresponding to a lead screw on an inner surface thereof and having an outlet opening extending out of the body from the through hole.
본 고안을 사용함으로써 리이드 스크류 크리닝 작업이 간편해지며 오염의 염려가 없어져 장비의 가동율 향상과 제품의 품질 향상에도 기여할 수 있다.This design simplifies lead screw cleaning and eliminates the risk of contamination, contributing to improved equipment utilization and product quality.
Description
제 1도는 본 고안의 리이드 스크류 크리닝 공구의 사시도.1 is a perspective view of a lead screw cleaning tool of the present invention.
제 2도는 본 고안의 리이드 스크류 크리닝 공구의 단면도.2 is a cross-sectional view of the lead screw cleaning tool of the present invention.
제 3도는 본 고안의 리이드 스크류 크리닝 공구의 사용상태도.3 is a state of use of the lead screw cleaning tool of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1 : 크리닝 공구 2 : 몸체1: cleaning tool 2: body
3 : 관통공 4 : 배출구3: through-hole 4: outlet
5 : 나사산 10 : 리이드 스크류5: thread 10: lead screw
11 : 커플링 12 : 모터11 coupling 12 motor
본 고안은 반도체 제조용 노광장치의 크리닝 장비에 관한 것이며, 특히 노광장치의 리이드 스크류의 크리닝 공구에 관한 것이다.The present invention relates to cleaning equipment of an exposure apparatus for semiconductor manufacturing, and more particularly, to a cleaning tool of the lead screw of the exposure apparatus.
반도체 제조용 노광장치는 스테이지(Stage)의 오동작을 방지하기 위해 주기적으로 크리닝(Cleaning)을 실시하고 있다. 이때 리이드 스크류(Lead Screw)는 통상 작업자가 수작업으로 렌즈 페이퍼(Lens Paper)를 사용하여 리이드 스크류를 회전시키면서 스크류상의 그리스(Grease)를 제거하는 것이 일반적인 크리닝 방식이다. 이때 작업자의 손으로부터 리이드 스크류로 염분이나 먼지 등 웨이퍼에 치명적인 성분들이 침입하게 되어 노광장치 내부를 오염시킨다는 문제가 지적되어 왔으나 별다른 방법이 없어서 작업자에게 세심한 주의를 요하는 정도로 기존의 방식이 그대로 사용되고 있는 실정이다.The exposure apparatus for semiconductor manufacturing performs cleaning periodically to prevent the malfunction of the stage. At this time, the lead screw is a general cleaning method in which a worker removes grease on the screw while rotating the lead screw by using a lens paper. At this time, it has been pointed out that fatal components such as salt or dust enter the wafer from the operator's hand and contaminate the inside of the exposure apparatus, but there is no special method, and the existing method is used as it requires careful attention to the operator. It is true.
본 고안은 이러한 기존의 리이드 스크류 크리닝 방법을 개선하기 위해 안출된 것으로 리이드 스크류에 작업자의 손이 닿지 않으면서도 리이드 스크류의 그리스를 깨끗하게 크리닝할 수 있는 리이드 스크류용 크리닝 공구를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to improve such a conventional lead screw cleaning method, and an object of the present invention is to provide a cleaning tool for a lead screw that can clean the grease of the lead screw without touching the lead screw.
본 고안은 내부에 리이드 스크류에 대응하는 암나사가 형성되고 중간의 일측에 그리스 배출구를 형성한 일체형 몸체의 크리닝 공구를 제공한다.The present invention provides a cleaning tool of a unitary body in which a female thread corresponding to the lead screw is formed inside and a grease outlet is formed at one side of the middle.
이하 첨부도면을 참조하여 본 고안의 리이드 스크류 크리닝 공구를 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the lead screw cleaning tool of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제 1도에 본 고안의 리이드 스크류 크리닝 공구의 사시도가 도시되어 있다. 본 고안의 공구(1)는 몸체(2)의 양 측면의 중앙을 관통하여 리이드 스크류의 나사에 대응하는 암나사가 성형된 관통공(3)이 형성되어 있으며, 일측에는 그리스가 배출될 배출구(4)가 형성된 일체의 원통형 공구이다.1 is a perspective view of a lead screw cleaning tool of the present invention. The tool 1 of the present invention has a through hole 3 formed with a female thread corresponding to the screw of the lead screw through a center of both sides of the body 2, and one side of the outlet port 4 through which grease is discharged. Is a unitary cylindrical tool.
제 2도에 본 고안의 크리닝 공구(1)의 단면도가 도시되어 있다.2 is a cross-sectional view of the cleaning tool 1 of the present invention.
도시된 바와 같이, 크리닝 공구(1)의 몸체(2) 중앙을 관통하여 암나사가 형성된 관통공(3)에 형성되어 있고 그 길이방향의 중간부근에 암나사가 형성된 관통공(3)에 형성되어 있고 그 길이방향의 중간부근에 암나사의 나사산(5)에 대응하는 부분에 맞추어 그리스 배출구(4)가 형성되어 있다. 제 1도에는 배출구(4)가 원기둥형태로 형성된 것으로 도시되어 있으나 다양한 형태로 형성될 수 있을 것이며 그리스가 관통공(3)에서 외부로 배출될 수 있으면 충분하다.As shown in the drawing, it is formed in the through hole 3 through which the female thread penetrates the center of the body 2 of the cleaning tool 1, and is formed in the through hole 3 in which the female screw is formed near the middle of the longitudinal direction. The grease discharge port 4 is formed in the vicinity of the middle part of the longitudinal direction in accordance with the portion corresponding to the screw thread 5 of the female thread. Although FIG. 1 shows that the outlet 4 is formed in a cylindrical shape, it may be formed in various forms, and it is sufficient that grease can be discharged to the outside from the through hole 3.
본 고안에 따라 구성된 크리닝 공구를 사용하여 리이드 스크류를 크리닝하는 방법이 제 3도에 간략히 도시되어 있다. 도시된 바와같이 본 고안의 크리닝 공구(1)를 리이드 스크류(10)의 분리가능한 일종단에 나사 체결하듯 나합시켜 리이드 스크류(10)를 회전시킴으로써 본 고안의 크리닝 공구(1)가 리이드 스크류(10)를 따라 회전하면서 리이드 스크류(10)의 그리스(old grease)를 그리스 배출구(4)로 배출시키게 되며 이로써 크리닝 작업이 간단히 끝나게 된다.A method of cleaning the lead screw using a cleaning tool constructed in accordance with the present invention is shown briefly in FIG. As shown in the drawing, the cleaning tool 1 of the present invention is screwed into a separable one end of the lead screw 10 to rotate the lead screw 10 so that the cleaning tool 1 of the present invention has a lead screw 10. Rotating along) causes the grease (lead grease) of the lead screw (10) to be discharged to the grease outlet (4), thereby simplifying the cleaning operation.
본 고안은 제 1도에는 도시의 편의상 원통형으로 도시하였거나 기타의 어떠한 형상이어도 무방하며 그 내부를 관통하는 리이드 스크류에 대응하는 암나사가 형성된 관통공(3)과 암나사에 수직하거나 경사지게 몸체(2)의 외면에서 관통공(3)까지 배출구(4)를 관통시킴으로써 여하한 형태로 구성하여도 무방하다. 또한 제 2도에는 배출구(4)가 관통공(3)의 나사산 하나에 대응하는 위치에 형성된 것으로 도시되어 있으나 하나이상의 나사산 또는 골의 영역을 커버하도록 하여도 무방하며 하나 이상의 배출구(4)를 형성하여도 무방하다. 따라서 도면들에 도시된 본 고안의 실시예는 도시의 목적을 위한것일 뿐 본 고안을 그것에 한정하려는 것을 아니다. 본 고안은 반도체 노광장치용으로 설명되었으나 다른 장치들의 리이드 스크류 크리닝용으로도 사용될 수 있으며 따라서 반도체의 노광장치로 그 용도를 한정하는 것도 아니다.The present invention is shown in FIG. 1 for the convenience of illustration in the form of a cylinder or any other shape, and the through-hole (3) formed with a female thread corresponding to the lead screw penetrating therein and the body (2) perpendicular or inclined to the female screw. The discharge port 4 may be penetrated from the outer surface to the through hole 3 in any form. In addition, although FIG. 2 shows that the outlet port 4 is formed at a position corresponding to one of the threads of the through hole 3, the outlet port 4 may cover one or more threads or valleys, and at least one outlet port 4 is formed. You may. Therefore, the embodiments of the present invention shown in the drawings are for the purpose of illustration only and are not intended to limit the present invention thereto. Although the present invention has been described for a semiconductor exposure apparatus, it can also be used for lead screw cleaning of other apparatuses, and thus the use of the semiconductor exposure apparatus is not limited.
본 고안의 크리닝 공구(1)를 사용함으로써 리이드 스크류의 크리닝 작업이 간편해지고, 청결해지므로 정비시간 감소 및 고장방지로 장비의 가동율을 증대시킬 수 있으며 스테이지의 정확한 동작으로 제품의 품질 향상에도 기여할 수 있다.By using the cleaning tool (1) of the present invention, cleaning of the lead screw becomes simple and clean, so that the operation rate of the equipment can be increased by reducing maintenance time and preventing troubles, and it can contribute to the improvement of product quality by the accurate operation of the stage. have.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940026156U KR0117460Y1 (en) | 1994-10-07 | 1994-10-07 | Lead screw cleaning tool |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019940026156U KR0117460Y1 (en) | 1994-10-07 | 1994-10-07 | Lead screw cleaning tool |
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| KR960015596U KR960015596U (en) | 1996-05-17 |
| KR0117460Y1 true KR0117460Y1 (en) | 1998-06-01 |
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ID=19395005
Family Applications (1)
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| KR2019940026156U KR0117460Y1 (en) | 1994-10-07 | 1994-10-07 | Lead screw cleaning tool |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR0117460Y1 (en) |
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1994
- 1994-10-07 KR KR2019940026156U patent/KR0117460Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960015596U (en) | 1996-05-17 |
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