KR0113531Y1

KR0113531Y1 - Wafer cassette

Info

Publication number: KR0113531Y1
Application number: KR2019940016826U
Authority: KR
Inventors: 유해산; 김용표; 지재풍; 곽성호
Original assignee: 김주용; 현대전자산업주식회사
Priority date: 1994-07-07
Filing date: 1994-07-07
Publication date: 1998-04-16
Also published as: KR960006351U

Abstract

본 고안은 반도체 웨이퍼 카세트의 안착 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 카세트의 중심을 항상 일정하게 유지하기 위하여 기준점을 설정함으로써 웨이퍼의 장착시 이탈을 방지하고 웨이퍼의 깨짐을 방지하는 웨이퍼 카세트의 안착장치에 관한 것으로 좌, 우에 대칭되게 각각 장착되어 일단에 돌출부가 직각으로 형성되고 내면 중앙에 소정의 홈을 단차로 형성하여 웨이퍼 카세트의 좌, 우, 상, 하를 고정하는 좌, 우 스톱퍼(2, 4); 상기 좌, 우 스톱퍼(2,4)의 후방에 위치하여 좌, 우로 각각 직각 육각기둥으로 설치되어 상기 웨이퍼 카세트 전위부(14)의 H형 돌출부(16)나 웨이퍼 카세트의 후위부(18)와 밀착하여 상기 웨이퍼 카세트의 전, 후를 고정하는 기준 스톱퍼(6); 일단에 돌출편이 직각으로 형성되며, 상기 기준 스톱퍼(6) 사이에 장착된 후면 스톱퍼(8)에 삽입되어 상기 웨이퍼 카세트의 후위부(18)가 상기 기준 스톱퍼(6) 방향으로 장착되는 경우 그 전위부(14)의 내면과 상기 돌출편이 밀착되어 고정하는 풀러(10); 및 상기 좌, 우 스톱퍼(2,4), 기준 스톱퍼(6)와 풀러(10)를 고정지지하며, 중앙에 소정의 홈이 관통되어 형성된 밑판(12)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a device for mounting a semiconductor wafer cassette, and more particularly, to a device for mounting a wafer cassette to prevent separation during wafer mounting and to prevent cracking of the wafer by setting a reference point to always maintain the center of the wafer cassette. Left and right stoppers (2, 4), which are mounted symmetrically on the left and right sides, have protrusions formed at right angles at one end, and have predetermined grooves at the center of the inner surface to fix the left, right, top, and bottom of the wafer cassette. ; Located at the rear of the left and right stoppers 2 and 4, the left and right stoppers are installed at right angles to the left and right, respectively, so that the H-shaped protrusion 16 of the wafer cassette dislocation portion 14 or the rear portion 18 of the wafer cassette are formed. A reference stopper 6 for tightly fixing the front and the rear of the wafer cassette; The protruding piece is formed at right angles at one end thereof, and is inserted into the rear stopper 8 mounted between the reference stoppers 6 so that the rear part 18 of the wafer cassette is mounted in the direction of the reference stopper 6 when the potential thereof is displaced. A puller 10 in which the inner surface of the portion 14 and the protruding piece are in close contact and fixed; And a bottom plate 12 fixedly supporting the left and right stoppers 2 and 4, the reference stopper 6 and the puller 10, and having a predetermined groove penetrated in the center thereof.

Description

Wafer cassette seating device

제1도는 웨이퍼 카세트의 구조를 나타내는 사시도.1 is a perspective view showing the structure of a wafer cassette.

제2도는 웨이퍼 카세트의 배면도.2 is a rear view of the wafer cassette.

제3도는 웨이퍼 카세트의 평면도.3 is a plan view of a wafer cassette.

제4도는 웨이퍼 카세트의 의 측면도.4 is a side view of a wafer cassette.

제5도는 조정편이 설치된 웨이퍼 카세트의 정면도.5 is a front view of a wafer cassette provided with an adjusting piece.

제6도는 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트의 안착장치의 사시도.6 is a perspective view of a mounting apparatus of a wafer cassette according to the present invention.

제7도는 웨이퍼 카세트의 후위부를 전방향으로 하여 웨이퍼 카세트의 안착장치에 장착된 상태를 나타내는 정면도.Fig. 7 is a front view showing a state where the rear portion of the wafer cassette is attached to the seating apparatus of the wafer cassette in the forward direction.

제8도는 웨이퍼 카세트의 전위부를 전방향으로 하여 웨이퍼 카세트의 안착장치에 장착한 상태를 나타내는 측면도.Fig. 8 is a side view showing a state in which the potential portion of the wafer cassette is attached to the seating apparatus of the wafer cassette in a forward direction.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

2 : 좌 스톱퍼 4 : 우 스톱퍼2: left stopper 4: right stopper

6 : 기준 스톱퍼 8 : 후위 스톱퍼6: reference stopper 8: back stopper

10 : 풀러 12 : 밑판10: puller 12: base plate

14 : 웨이퍼 카세트 전위부 16 : H형 돌출부14 wafer cassette potential portion 16 H-shaped protrusion

18 : 웨이퍼 카세트 후위부 20 : 슬롯18: Wafer cassette rear 20: slot

22 : 조정편 24 : 웨이퍼 카세트22: adjustment piece 24: wafer cassette

26 : 웨이퍼26: wafer

본 고안은 반도체 웨이퍼 카세트(wafer cassette)의 안착 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 카세트의 중심을 항상 일정하게 유지하기 위하여 기준점을 설정함으로써 웨이퍼의 장착시 이탈을 방지하고 웨이퍼의 깨짐을 방지하는 웨이퍼 카세트의 안착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a seating apparatus for a semiconductor wafer cassette, and more particularly, to setting a reference point in order to keep the center of the wafer cassette constant at all times. It relates to a seating device.

종래 기술을 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The prior art will be described with reference to the drawings.

제1도는 웨이퍼 카세트의 구조를 나타내는 사시도이며, 제2도는 웨이퍼 카세트의 배면도이며, 제3도는 웨이퍼 카세트의 평면도이며, 제4도는 웨이퍼 카세트의 측면도이며, 제5도는 조정편이 설치된 웨이퍼 카세트의 정면도이며, 도면에서 14는 웨이퍼 카세트 전위부, 16은 H형 돌출부, 18은 웨이퍼 카세트 후위부, 20은 슬롯(slot), 22는 조정편, 24는 웨이퍼 카세트, 26은 웨이퍼를 각각 나타낸다.1 is a perspective view showing the structure of a wafer cassette, FIG. 2 is a rear view of the wafer cassette, FIG. 3 is a plan view of the wafer cassette, FIG. 4 is a side view of the wafer cassette, and FIG. 5 is a front view of the wafer cassette provided with the adjusting piece. In the drawing, 14 denotes a wafer cassette potential portion, 16 denotes an H-shaped protrusion, 18 denotes a wafer cassette rear portion, 20 denotes a slot, 22 denotes an adjusting piece, 24 denotes a wafer cassette, and 26 denotes a wafer.

일반적으로 웨이퍼 카세트는 제3도에 도시된 바와 같이 중심선을 기준으로하여 웨이퍼 카세트(24)의 전단상부에서 중심선까지의 거리(A)와 웨이퍼 카세트(24)의 후단 상부에서 중심선까지의 거리(B)는 같다. 그러나 제4도에 도시된 바와 같이 웨이퍼 카세트(24)의 전단 하부에서 중심선까지의 거리(C)와 웨이퍼 카세트(24)의 후단 하부에서 중심선까지 거리(D)는 다르기 때문에 웨이퍼 카세트(24)가 놓이는 방향에 따라 전단에서 첫 슬롯(20)까지의 거리(E)와 후단에서 첫 슬롯(20)까지의 거리(F)가 다르므로 카세트는 항상 한 방향으로만 위치되어야 한다.Generally, the wafer cassette has a distance A from the top of the wafer cassette 24 to the center line and the distance B from the top of the rear end of the wafer cassette 24 to the center line with respect to the center line as shown in FIG. 3. ) Is the same. However, as shown in FIG. 4, since the distance C from the lower end of the wafer cassette 24 to the center line and the distance D from the lower end of the wafer cassette 24 to the center line are different, the wafer cassette 24 Since the distance E from the front end to the first slot 20 and the distance F from the rear end to the first slot 20 differ depending on the direction in which the cassette is placed, the cassette should always be located in one direction.

종래에는 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제5도에 도시된 바와 같은 조정편(22)을 이용하여 웨이퍼 카세트의 전위부 하부에 조정편(22)의 홈을 삽입시킨다.Conventionally, in order to solve the above problem, the groove of the adjusting piece 22 is inserted into the lower portion of the dislocation portion of the wafer cassette by using the adjusting piece 22 as shown in FIG.

그리하여, 웨이퍼 카세트(24)를 놓는 방향에 관계없이 기준면을 항상 일정하게하여 웨이퍼의 전방이 전위부(14)가 되거나 후위부(18)가 되는 것에 관계없이 슬롯의 위치를 항상 일정하게 된다.Thus, the reference plane is always made constant regardless of the direction in which the wafer cassette 24 is placed so that the position of the slot is always made constant regardless of whether the front of the wafer becomes the front portion 14 or the rear portion 18.

그러나, 종래의 웨이퍼 카세트의 조정편은 웨이퍼 카세트를 조정편 홈에 작업자가 직접 삽입시키게 되어 있어, 불편하고 조정편이 웨이퍼 카세트의 한쪽으로 몰리게 되어 웨이퍼 카세트를 똑바로 안착시키기가 불편하며, 웨이퍼 카세트의 중심이 맞지않아 웨이퍼를 로딩할 때 깨지는 문제점이 있었다.However, in the conventional wafer cassette adjusting piece, the operator inserts the wafer cassette directly into the adjusting piece groove, which is inconvenient, and the adjusting piece is pushed to one side of the wafer cassette, making it difficult to settle the wafer cassette straight. This did not fit, there was a problem breaking when loading the wafer.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼 카세트의 좌, 우와 앞, 뒤를 고정하여 기준위치에서 슬롯까지의 거리가 항상 일정하게 유지하여 웨이퍼 카세트를 안착시키는 웨이퍼 카세트 안착장치를 제공함에 그 목적을 두고 있다.Therefore, the present invention has been devised to solve the above problems, the wafer cassette seating device for fixing the left, right, front, back of the wafer cassette to seat the wafer cassette at a constant distance from the reference position to the slot at all times The purpose is to provide.

본 고안은 상기 목적을 달성하기 위하여 웨이퍼 카세트 안착장치에 있어서, 좌, 우에 대칭되게 각각 장착되어 일단에 돌출부가 직각으로 형성되고 내면 중앙에 소정의 홈을 단차로 형성하여 웨이퍼 카세트의 좌, 우, 상, 하를 고정하는 좌, 우 스톱퍼; 상기 좌, 우 스톱퍼의 후방에 위치하여 좌, 우로 각각 직각육각기둥으로 설치되어 상기 웨이퍼 카세트의 후위부의 돌출된 H 돌출부나 웨이퍼 카세트의 전위부와 밀착하여 상기 웨이퍼 카세트의 전, 후를 고정하는 기준 스톱퍼; 일단에 돌출편이 직각으로 형성되며, 상기 기준 스톱퍼 사이에 장착된 후면 스톱퍼에 삽입되어 웨이퍼 카세트의 전위부가 상기 기준 스톱퍼 방향으로 장착되는 경우 그 전위부의 내면과 상기 돌출편이 밀착되어 고정하는 풀러; 및 상기 좌, 우 스톱퍼, 기준 스톱퍼와 풀러를 고정지지하며, 중앙에 소정의홈이 관통되어 형성된 밀판을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 안착장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention has a wafer cassette seating apparatus, each of which is mounted symmetrically on the left and right sides, so that protrusions are formed at right angles at one end thereof, and a predetermined groove is formed at the center of the inner surface of the wafer cassette at left, right, Left and right stoppers for fixing the top and bottom; Located at the rear of the left and right stopper and installed at right and left hexagonal pillars, respectively, the reference is fixed to the front and rear of the wafer cassette by closely contacting the protruding portion of the wafer cassette or the protruding portion of the wafer cassette. Stopper; A puller at one end formed at right angles, the puller being inserted into a rear stopper mounted between the reference stoppers so that the inner surface of the potential portion and the protrusion are in close contact and fixed when the potential portion of the wafer cassette is mounted in the direction of the reference stopper; And the left, right stopper, the reference stopper and the puller is fixed, and provided in the center is a wafer cassette seating apparatus comprising a compact plate formed by passing through a predetermined groove.

이하, 도면을 참조하여 본 고안의 일실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

제6도는 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트의 안착장치의 사시도이며, 제7도는 웨이퍼 카세트의 후위부를 전방향으로하여 웨이퍼 카세트의 안착장치에 장착한 상태를 나타내는 정면도이며, 제8도는 웨이퍼 카세트의 전위부를 전방향으로하여 웨이퍼 카세트의 안착장치에 장착한 상태를 나타내는 측면도이며, 도면에서 2는 좌 스톱퍼(stopper), 12는 밑판을 각각 나타낸다. 제8도에 도시된 바와 같이, 본 고안의 일실시예의 구성은 다음과 같다.FIG. 6 is a perspective view of a wafer cassette mounting apparatus according to the present invention, and FIG. 7 is a front view showing a state in which the rear portion of the wafer cassette is mounted to the seating apparatus of the wafer cassette in a forward direction, and FIG. 8 is a potential portion of the wafer cassette. It is a side view which shows the state mounted to the mounting apparatus of a wafer cassette in the front direction, In the figure, 2 is a left stopper, and 12 is a bottom plate, respectively. As shown in Figure 8, the configuration of one embodiment of the present invention is as follows.

웨이퍼 카세트(24)의 전, 후, 좌, 우를 고정하기 위하여 한 쪽끝을 돌출부로 형성하고 내면의 중앙이 소정의 단차로 형성된 좌, 우 스톱퍼(2,4)를 밑판(12)의 좌, 우에 설치하고 웨이퍼 카세트(24)의 전, 후를 고정하기 위한 정육각형 형태의 후위 스톱퍼(8)가 형성되어 있으며, 상기 후위 스톱퍼(8)에 삽입되어 웨이퍼 카세트의 전위부(14)가 안착장치의 뒤로 갈 경우 웨이퍼 카세트 전위부(14) 안쪽면과 접할 수 있도록 하는 소정의 돌출편이 형성된 풀러(10)와 웨이퍼 카세트(24)와 밀착되어 그 위치의 기준점을 설정하는 기준 스톱퍼(6)와 상기 스톱퍼(2,4,8)들과 풀러(10)와 일체로 결합하고 지지하며, 중앙이 ' ' 형상으로 홈을 형성하여 관통되도록 한 밑판(12)으로 이루어져 있다.In order to fix the left, right, front, and rear sides of the wafer cassette 24, one end is formed as a protrusion, and the left and right stoppers 2, 4, the center of the inner surface of which is formed with a predetermined step, are disposed on the left, A rear hexagon stopper 8 is formed on the right side and fixed to the front and rear of the wafer cassette 24, and the rear end stopper 8 is inserted into the rear stopper 8 so that the potential portion 14 of the wafer cassette is placed on the seating device. The reference stopper 6 and the stopper, which are brought into close contact with the puller 10 and the wafer cassette 24 in which a predetermined protrusion is formed so as to be in contact with the inner surface of the wafer cassette dislocation portion 14, and sets a reference point at the position. (2, 4, 8) and the puller 10 is integrally coupled and supported, and the center is composed of a base plate 12 through which a groove is formed to form a ''.

상기와 같이 구성되는 본 고안의 일실시예는 제9도에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 카세트의 후위부(18)를 전방으로하여 웨이퍼 카세트의 안착장치에 장착하게 되면 웨이퍼 카세트의 후위부(18)는 좌, 우 스톱퍼(2,4)의 돌출부에 밀착하고 웨이퍼 카세트의 전위부(14)는 그 외면이 기준 스톱퍼(6)에 밀착되며, 그 내면은 풀러(10)의 돌출편의 내면에 밀착되게 된다. 또한, 웨이퍼 카세트 전위부(14)를 전방으로하여 웨이퍼 카세트의 안착장치에 장착하게 되면 웨이퍼 카세트 전위부(14)는 상기 좌, 우 스톱퍼(2,4)의 돌출부에 밀착하게 되며, 웨이퍼 카세트의 후위부(18)는 상기 기준 스톱퍼(6)에 밀착되게 한다.As shown in FIG. 9, when the rear portion 18 of the wafer cassette is mounted to the seating apparatus of the wafer cassette, the rear portion 18 of the wafer cassette is mounted as shown in FIG. Is in close contact with the protrusions of the left and right stoppers 2 and 4, and the dislocation part 14 of the wafer cassette is in close contact with the reference stopper 6, and its inner surface is in close contact with the inner surface of the protrusion of the puller 10. do. In addition, when the wafer cassette dislocation portion 14 is mounted to the mounting apparatus of the wafer cassette with the wafer cassette dislocation portion 14 forward, the wafer cassette dislocation portion 14 is brought into close contact with the protrusions of the left and right stoppers 2 and 4, The rear part 18 is brought into close contact with the reference stopper 6.

웨이퍼 카세트의 후위부(18)가 기준 스톱퍼(6)와 밀착되는 경우 웨이퍼 카세트의 후위부(18)는 제1도에 도시된 바와 같이 H형 돌출부(16)로 이루어져 있기 때문에 웨이퍼 카세트의 후위부(18)는 후위 스톱퍼(8)와 풀러(10)에 접촉하지 않게 된다.When the rear portion 18 of the wafer cassette is in close contact with the reference stopper 6, the rear portion 18 of the wafer cassette is formed by the H-shaped protrusion 16 as shown in FIG. 18 is not in contact with the rear stopper 8 and the puller 10.

따라서, 웨이퍼 카세트(24)를 전, 후 방향에 관계없이 웨이퍼 카세트의 안착장치에 장착하면 웨이퍼 카세트 전위부(14)가 안착장치의 뒷면에 장착될 경우는 기준 스톱퍼(6)에 전위부(14)의 돌출된 H형 돌출부(16)가 밀착되고 후위부(18)가 안착장치의 뒷면에 장착될 경우에는 기준 스톱퍼(6)에 앞면이 직접 밀착되어 제3도에 도시된 바와 같은 웨이퍼 카세트의 전단 상부에서 중심선까지의 거리(A)와 웨이퍼 카세트의 후단 상부에서 중심선까지의 거리(B)가 같도록 설정되어 웨이퍼 카세트의 중심은 일정하게 되고 웨이퍼의 로딩시 웨이퍼 카세트의 진동이 방지된다.Therefore, when the wafer cassette 24 is mounted on the mounting apparatus of the wafer cassette regardless of the front and rear directions, when the wafer cassette potential portion 14 is mounted on the rear side of the mounting apparatus, the potential portion 14 is attached to the reference stopper 6. In the case where the protruding H-shaped protrusion 16 of FIG. 6 is closely attached and the rear portion 18 is mounted at the rear side of the seating device, the front face is directly adhered to the reference stopper 6 so that the wafer cassette as shown in FIG. The distance A from the front top to the center line and the distance B from the top of the rear end to the center line of the wafer cassette are set to be the same so that the center of the wafer cassette is constant and vibration of the wafer cassette is prevented during loading of the wafer.

웨이퍼 카세트에 로딩된 웨이퍼(26)는 밑판(12)의 홈을 통하여 웨이퍼 플래트 존이 정렬되도록하여 웨이퍼(26)를 정확하게 이송함으로써 반도체 제조공정이 원활히 수행될 수 있다.The wafer 26 loaded in the wafer cassette allows the wafer flat zone to be aligned through the grooves of the bottom plate 12 so that the wafer 26 can be accurately transported to facilitate the semiconductor manufacturing process.

상기에서 언급한 바와 같이 본 고안은 웨이퍼 카세트의 장착 방향에 관계없이 항상 일정하게 웨이퍼 카세트의 중심을 유지함으로써 웨이퍼 로딩시 중심이 맞지않아 웨이퍼가 떨어져 깨지는 것을 방지하여, 웨이퍼 카세트를 흔들림이 없이 고정 지지할 수 있는 우수한 효과가 있다.As mentioned above, the present invention maintains the center of the wafer cassette constantly at all times regardless of the mounting direction of the wafer cassette, thereby preventing the wafer from falling off due to misalignment during wafer loading, thereby holding and supporting the wafer cassette without shaking. There is an excellent effect that can be done.

Claims

In the seating apparatus of the wafer cassette, the left and right sides are mounted symmetrically, and the protrusions are formed at right angles at one end thereof, and a predetermined groove is formed at the center of the inner surface at a step to fix the left, right, top, and bottom of the wafer cassette. Right stopper 2,4; Located in the rear of the left and right stoppers (2, 4) and installed in a hexagonal column to the left and right, respectively, in close contact with the H-shaped protrusion (16) of the wafer cassette potential portion (14) or the rear portion (18) of the wafer cassette. A reference stopper 6 to fix the wafer cassette before and after; The protruding piece is formed at right angles at one end thereof, and is inserted into the rear stopper 8 mounted between the reference stoppers 6 so that the rear part 18 of the wafer cassette is mounted in the direction of the reference stopper 6 when the potential thereof is displaced. A puller 10 in which the inner surface of the portion 14 and the protruding piece are in close contact and fixed; And a bottom plate 12 fixedly supporting the left and right stoppers 2 and 4, the reference stopper 6 and the puller 10, and having a predetermined groove penetrated in the center thereof. Seat of cassette.