JPWO2025041202A5 - - Google Patents
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- JPWO2025041202A5 JPWO2025041202A5 JP2024531409A JP2024531409A JPWO2025041202A5 JP WO2025041202 A5 JPWO2025041202 A5 JP WO2025041202A5 JP 2024531409 A JP2024531409 A JP 2024531409A JP 2024531409 A JP2024531409 A JP 2024531409A JP WO2025041202 A5 JPWO2025041202 A5 JP WO2025041202A5
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例７
図８及び表１に示されるように、１）第一接続部２４及び第二接続部２６の境界領域Ｂからのずれ角θ１を４５°とし、かつ、２）ジャンパ２２の厚さの外側ゾーンヒータ回路１６の厚さに対する比を３．０としたこと以外は、例１と同様にして、マルチゾーンセラミックヒータ１０の作製及び評価を行った。結果は表１に示されるとおりであった。
図８及び表１に示されるように、１）第一接続部２４及び第二接続部２６の境界領域Ｂからのずれ角θ１を４５°とし、かつ、２）ジャンパ２２の厚さの外側ゾーンヒータ回路１６の厚さに対する比を３．０としたこと以外は、例１と同様にして、マルチゾーンセラミックヒータ１０の作製及び評価を行った。結果は表１に示されるとおりであった。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2023/029889 WO2025041202A1 (ja) | 2023-08-18 | 2023-08-18 | マルチゾーンセラミックヒータ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2025041202A1 JPWO2025041202A1 (ja) | 2025-02-27 |
| JP7642159B1 JP7642159B1 (ja) | 2025-03-07 |
| JPWO2025041202A5 true JPWO2025041202A5 (ja) | 2025-07-30 |
Family
ID=94609155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024531409A Active JP7642159B1 (ja) | 2023-08-18 | 2023-08-18 | マルチゾーンセラミックヒータ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20250063636A1 (ja) |
| JP (1) | JP7642159B1 (ja) |
| TW (1) | TW202510629A (ja) |
| WO (1) | WO2025041202A1 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6352663B2 (ja) * | 2014-03-28 | 2018-07-04 | 日本特殊陶業株式会社 | 積層発熱体 |
| JP6251461B1 (ja) * | 2016-03-29 | 2017-12-20 | 日本碍子株式会社 | 静電チャックヒータ |
| JP6758143B2 (ja) * | 2016-09-29 | 2020-09-23 | 日本特殊陶業株式会社 | 加熱装置 |
| JPWO2019008889A1 (ja) * | 2017-07-07 | 2020-05-21 | 住友電気工業株式会社 | 半導体基板加熱用の基板載置台 |
| JP6987995B2 (ja) * | 2018-07-31 | 2022-01-05 | 京セラ株式会社 | ヒータ |
| JP7252825B2 (ja) * | 2019-05-20 | 2023-04-05 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
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2023
- 2023-08-18 JP JP2024531409A patent/JP7642159B1/ja active Active
- 2023-08-18 WO PCT/JP2023/029889 patent/WO2025041202A1/ja active Pending
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2024
- 2024-04-26 TW TW113115607A patent/TW202510629A/zh unknown
- 2024-05-28 US US18/675,244 patent/US20250063636A1/en active Pending