JPWO2022003870A5 - - Google Patents

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Claims (42)

  1. 造形物を形成する加工システムであって、
    エネルギービームを第1照射位置に集光する第1光学系と、
    前記第1照射位置に造形材料を供給可能な材料供給装置と
    を有し、
    前記材料供給装置により供給された前記造形材料に、前記第1光学系からの前記エネルギービームを照射することにより前記造形物を形成可能であり、
    前記第1光学系からの前記エネルギービームを第2光学系により前記造形物の表面に照射して前記造形物を加工する
    加工システム。
  2. 前記第2光学系は、前記エネルギービームを前記第1光学系の光軸に交差する交差方向に偏向させる偏向部材を含み、
    前記第1光学系を含む第1収容部材と、
    前記第2光学系を含む第2収容部材と
    を更に有し、
    前記第2収容部材は、前記第1収容部材に対して脱着可能であり、
    前記第1光学系の光軸と交わる方向の前記第2収容部材の最大幅は、前記第1光学系の光軸と交わる方向の前記第1収容部材の最大幅よりも短い
    請求項1に記載の加工システム。
  3. 前記造形物の表面は、前記第2光学系の光軸を挟み込む又は取り囲むように前記光軸側を向いた筒状の内壁面を含み、
    前記造形物の表面に前記エネルギービームが照射される期間の少なくとも一部において、前記第2光学系により前記エネルギービームが集光される第2照射位置に前記内壁面の少なくとも一部が配置される
    請求項1又は2に記載の加工システム。
  4. 前記第2光学系に気体を供給する気体供給装置と、
    前記第2光学系を収容空間に収容する第2収容部材と
    を更に備え、
    前記気体供給装置は、前記収容空間に気体を供給することで、前記第2光学系に気体を供給する
    請求項1から3のいずれか一項に記載の加工システム。
  5. 前記第2光学系は、複数の光学部材を含み、
    前記収容空間に面する前記第2収容部材の内壁には、前記複数の光学部材が並ぶ方向に沿って延びる溝が形成されており、
    前記第2収容部材に供給された気体は、前記溝を介して流れる
    請求項4に記載の加工システム。
  6. 前記第2光学系は結像光学系を含む
    請求項1から5のいずれか一項に記載の加工システム。
  7. 前記結像光学系は、前記第1光学系により前記第1照射位置に形成された前記エネルギービームの像を、第2照射位置に形成する
    請求項6に記載の加工システム。
  8. 前記第2光学系により前記エネルギービームが集光される前記第2照射位置は、前記第1照射位置から前記第1光学系の光軸に交差する交差方向に沿って離れている
    請求項7に記載の加工システム。
  9. 前記第2光学系は、前記エネルギービームを前記第1光学系の光軸に交差する交差方向に偏向させる偏向部材を含む
    請求項1から8のいずれか一項に記載の加工システム。
  10. 前記第1光学系を含む第1収容部材と、
    前記第2光学系を含む第2収容部材と
    を更に有し、
    前記第2収容部材は、前記第1収容部材に対して脱着可能である
    請求項1から9のいずれか一項に記載の加工システム。
  11. 前記第1光学系の光軸と交わる方向の前記第2収容部材の最大幅は、前記第1光学系の光軸と交わる方向の前記第1収容部材の最大幅よりも短い
    請求項10に記載の加工システム。
  12. 前記第2収容部材は、前記第1収容部材の取付部に対して脱着可能な第1部材と、前記第2光学系を保持する第2部材とで構成される
    請求項2、10又は11に記載の加工システム。
  13. 前記取付部には、前記造形材料を遮蔽するためのカバー部材が取り付け可能である
    請求項12に記載の加工システム。
  14. 前記第2収容部材が前記第1収容部材に取り付けられていない場合には、前記材料供給装置により供給された前記造形材料に、前記第1光学系からの前記エネルギービームを照射することにより前記造形物を形成する加工が可能であり、
    前記第2収容部材が前記第1収容部材に取り付けられている場合には、前記第1光学系からの前記エネルギービームを前記第2光学系により前記造形物の表面に照射して、前記造形物の表面を滑らかにするための加工が可能である
    請求項2及び10から13のいずれか一項に記載の加工システム。
  15. 前記第2光学系は、前記造形物の表面に対して前記エネルギービームが斜入射するように、前記エネルギービームを前記造形物の表面に照射する
    請求項1から14のいずれか一項に記載の加工システム。
  16. 前記第2光学系と前記造形物との相対的な位置関係を変更する位置変更装置を更に備える
    請求項1から15のいずれか一項に記載の加工システム。
  17. 前記位置変更装置は、前記第1光学系と前記造形物との相対的な位置関係を維持したまま、前記第2光学系と前記造形物との相対的な位置関係を変更する
    請求項16に記載の加工システム。
  18. 前記第2光学系は、前記第1光学系に対して移動可能となるように前記第1光学系に取り付けられている
    請求項16又は17に記載の加工システム。
  19. 前記位置変更装置は、第1位置変更装置であり、
    前記第1光学系と前記造形物との相対的な位置関係を変更する第2位置変更装置を更に備える
    請求項16から18のいずれか一項に記載の加工システム。
  20. 前記第2位置変更装置は、前記第1光学系と前記第2光学系との相対的な位置関係を維持したまま、前記第1光学系と前記造形物との相対的な位置関係を変更する
    請求項19に記載の加工システム。
  21. 前記造形物の表面は、前記第2光学系の光軸を挟み込む又は取り囲むように前記光軸側を向いた筒状の内壁面を含み、
    前記造形物の表面に前記エネルギービームが照射される期間の少なくとも一部において、前記第2光学系の少なくとも一部が前記内壁面の少なくとも一部によって取り囲まれる
    請求項1から20のいずれか一項に記載の加工システム。
  22. 前記第2光学系は、前記第1光学系からの前記エネルギービームを平行ビームに変換する第3光学系と、前記第3光学系からの前記エネルギービームを第2照射位置に照射する第4光学系とを含む
    請求項1から21のいずれか一項に記載の加工システム。
  23. 前記第3光学系は、前記第2光学系の光軸に沿った方向において間の距離を変更可能な少なくとも二つの光学部材を含む
    請求項22に記載の加工システム。
  24. 前記第2照射位置は、前記第1照射位置から前記第1光学系の光軸に交差する交差方向に沿って離れており、
    前記第4光学系は、前記第3光学系からの前記エネルギービームを前記交差方向に沿って偏向することで、前記第3光学系からの前記エネルギービームを前記第2照射位置に照射する偏向部材を含む
    請求項22又は23に記載の加工システム。
  25. 前記第2光学系に気体を供給する気体供給装置を更に備える
    請求項1から24のいずれか一項に記載の加工システム。
  26. 前記第2光学系を収容空間に収容する第2収容部材を更に備え、
    前記気体供給装置は、前記収容空間に気体を供給することで、前記第2光学系に気体を供給する
    請求項25に記載の加工システム。
  27. 前記第2光学系は、複数の光学部材を含み、
    前記収容空間に面する前記第2収容部材の内壁には、前記複数の光学部材が並ぶ方向に沿って延びる溝が形成されており、
    前記第2収容部材に供給された気体は、前記溝を介して流れる
    請求項26に記載の加工システム。
  28. 前記溝には、隣り合う二つの光学部材の間において前記溝を介して流れる気体を遮る障壁部材が形成されている
    請求項5又は26に記載の加工システム。
  29. 前記気体供給装置は、前記第1光学系を収容する第1収容部材に取り付けられたカバー部材の内部空間に前記気体を供給可能であり、
    前記カバー部材には、前記内部空間に供給された前記気体が前記内部空間から流出する流出口が形成されており、
    前記材料供給装置は、材料供給口から前記第1照射位置に前記造形材料を供給し、
    前記カバー部材は、前記流出口が前記材料供給口から所定距離以下の範囲に位置するように配置される
    請求項4及び26から28のいずれか一項に記載の加工システム。
  30. エネルギービームを物体に照射する第1光学系と、
    前記第1光学系を収容する第1収容部材と
    前記第1光学系からの前記エネルギービームの照射位置に造形材料を供給する材料供給装置と、
    第1収容部材に取り付け可能な、前記第1光学系からの前記エネルギービームを集光する第2光学系を収容する第2収容部材と
    を備える加工システム。
  31. エネルギービームを物体に照射する第1光学系と、
    前記第1光学系を収容する第1収容部材と
    前記第1光学系からの前記エネルギービームの照射位置に造形材料を供給する材料供給装置と
    を備え、
    前記第1収容部材には、前記第1光学系からの前記エネルギービームを集光する第2光学系を収容する第2収容部材を前記第1収容部材に取り付けるための取付部が形成されている
    加工システム。
  32. エネルギービームを物体に照射する第1光学系と、
    前記第1光学系を収容する第1収容部材と
    を備え、
    前記第1収容部材には、前記第1光学系からのエネルギービームを集光する第2光学系を収容する第2収容部材を前記第1収容部材に取り付けるための取付部が形成されている
    加工システム。
  33. エネルギービームを第1照射位置に集光する第1光学系と、前記第1照射位置に造形材料を供給可能な材料供給装置と備え、前記材料供給装置により前記造形材料を供給して、前記第1光学系からの前記エネルギービームにより、造形物を形成する加工システムに取り付け可能な光学装置であって、
    前記第1光学系からの前記エネルギービームを前記造形物の表面に照射して前記造形物を加工するための第2光学系を有する
    光学装置。
  34. エネルギービームを物体に照射する第1光学系と、前記第1光学系を収容する第1収容部材と、前記第1光学系からの前記エネルギービームの照射位置に造形材料を供給する材料供給装置とを備える加工システムに取り付け可能な光学装置であって、
    前記第1収容部材に取り付け可能な、前記第1光学系からのエネルギービームを集光する第2光学系を収容する第2収容部材を有する
    光学装置。
  35. 造形物を形成する加工システムであって、
    エネルギービームを第1照射位置に集光する第1光学系と、前記第1照射位置に造形材料を供給可能な材料供給装置とを備え、前記材料供給装置により供給された前記造形材料に、前記第1光学系からのエネルギービームを照射することにより前記造形物を形成可能な第1加工装置と、
    エネルギービームを第2光学系により前記造形物の表面に照射して前記造形物を加工する第2加工装置と
    を有する加工システム。
  36. 造形物を形成する加工方法であって、
    第1光学系を用いて、エネルギービームを第1照射位置に集光することと、
    材料供給装置を用いて、前記第1照射位置に造形材料を供給することと
    を含み、
    前記材料供給装置により供給された前記造形材料に、前記第1光学系からの前記エネルギービームを照射することにより前記造形物を形成可能であり、
    前記加工方法は更に、前記第1光学系からの前記エネルギービームを第2光学系により前記造形物の表面に照射して前記造形物を加工することを含む
    加工方法。
  37. 第1収容部材に収容された第1光学系を用いて、エネルギービームを物体に照射することと、
    材料供給装置を用いて、前記第1光学系からの前記エネルギービームの照射位置に造形材料を供給することと、
    第2収容部材に収容された第2光学系を用いて、前記第1光学系からの前記エネルギービームを集光することと
    を含み、
    前記第2収容部材は、前記第1収容部材に取り付け可能である
    加工方法。
  38. 第1収容部材に収容された第1光学系を用いて、エネルギービームを物体に照射することと、
    材料供給装置を用いて、前記第1光学系からの前記エネルギービームの照射位置に造形材料を供給することと、
    第2収容部材に収容された第2光学系を用いて、前記第1光学系からの前記エネルギービームを集光することと
    を含み、
    前記第1収容部材には、前記第2収容部材を前記第1収容部材に取り付けるための取付部が形成されている
    加工方法。
  39. 第1収容部材に収容された第1光学系を用いて、エネルギービームを物体に照射することを含み、
    第2収容部材に収容された第2光学系を用いて、前記第1光学系からの前記エネルギービームを集光することと
    を含み、
    前記第1収容部材には、前記第2収容部材を前記第1収容部材に取り付けるための取付部が形成されている
    加工方法。
  40. 加工システムに取り付け可能な光学装置を用いた加工方法であって、
    前記加工方法は、
    第1光学系を用いて、エネルギービームを第1照射位置に集光することと、
    材料供給装置を用いて、前記第1照射位置に造形材料を供給することと
    を含み、
    前記加工方法は、前記材料供給装置により前記造形材料を供給して、前記第1光学系からの前記エネルギービームにより、造形物を形成し、
    前記加工方法は、前記光学装置が有する第2光学系を用いて、前記第1光学系からの前記エネルギービームを前記造形物の表面に照射して前記造形物を加工することを更に含む
    加工方法。
  41. 加工システムに取り付け可能な光学装置を用いた加工方法であって、
    第1収容部材に収容された第1光学系を用いて、エネルギービームを物体に照射することと、
    材料供給装置を用いて、前記第1光学系からの前記エネルギービームの照射位置に造形材料を供給することと、
    前記光学装置が有し且つ前記第1収容部材に取り付け可能な第2収容部材に収容された第2光学系を用いて、前記第1光学系からのエネルギービームを集光することと
    を含む加工方法。
  42. 造形物を形成する加工方法であって、
    エネルギービームを第1照射位置に集光する第1光学系と、前記第1照射位置に造形材料を供給可能な材料供給装置とを備え、前記材料供給装置により供給された前記造形材料に、前記第1光学系からのエネルギービームを照射することにより前記造形物を形成可能な第1加工装置を用いて、前記造形物を造形することと、
    エネルギービームを第2光学系により前記造形物の表面に照射して前記造形物を加工する第2加工装置を用いて、前記造形物を加工することと
    を含む加工方法。
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