JPWO2020247138A5 - - Google Patents

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前述の実施形態は、明確な理解のために多少詳しく説明されているが、一定の変更および修正を添付の特許請求の範囲の範囲内で実践できることは明らかであろう。したがって、本実施形態は、限定ではなく例示と見なされるべきであり、実施形態は本明細書に述べられる詳細に限定されるべきではなく、添付の特許請求の範囲および均等物の範囲内で修正されてもよい。本開示は以下の適用例を含む。
［適用例１］
調節方法であって、
第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第１のセットについて、第２の無線周波数発生器に関連する複数の反射パラメータ値にアクセスすることと、
前記複数の反射パラメータ値を無線周波数経路の少なくとも一部のコンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の反射パラメータ値から複数の負荷インピーダンスパラメータ値を計算することであって、前記無線周波数経路は、前記第２の無線周波数発生器とプラズマチャンバの電極との間にあることと、
前記第２の無線周波数発生器によって生成される無線周波数信号の複数の周波数変調パラメータを受信することと、
前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の周波数変調パラメータの値を決定することであって、前記複数の周波数変調パラメータの前記値は、前記コンピュータベースのモデルの入力における反射係数パラメータを最小化するように決定されることと
前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第２のセットの間、前記複数の周波数変調パラメータの前記値に従って前記第２の無線周波数発生器を制御することと
を含む、方法。
［適用例２］
適用例１に記載の方法であって、
前記複数の反射パラメータ値に前記アクセスすること、前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記計算すること、前記周波数変調パラメータの前記値を前記決定すること、および前記第２の無線周波数発生器を前記制御することは、前記プラズマチャンバ内の基板の処理中に実行される、方法。
［適用例３］
適用例１に記載の方法であって、
前記複数の反射パラメータ値は、複数の電圧反射係数値を含み、前記反射係数パラメータは、平均電力反射係数である、方法。
［適用例４］
適用例１に記載の方法であって、
前記動作の１つまたは複数のサイクルの第２のセットは、前記動作の１つまたは複数のサイクルの第１のセットの後に続く、方法。
［適用例５］
適用例１に記載の方法であって、
前記第１のセットは、前記第１の無線周波数発生器の動作の２つ以上のサイクルを含み、前記複数の反射パラメータ値の各々は、前記第１のセットの前記２つ以上のサイクルにわたって計算された複数の反射係数値の平均である、方法。
［適用例６］
適用例１に記載の方法であって、
前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第３のセットについて、前記複数の反射パラメータ値に前記アクセスすること、前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記計算すること、および前記複数の周波数変調パラメータの前記値を前記決定することを繰り返すことと、
前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第４のセットの間、前記第２の無線周波数発生器を前記制御することを繰り返すことと
をさらに含み、
前記第３のセットは、前記第２のセットの後に続き、前記第４のセットは、前記第３のセットの後に続く、
方法。
［適用例７］
適用例１に記載の方法であって、
前記複数の反射パラメータ値は、複素電圧および複素電流の複数の値を含む、方法。
［適用例８］
適用例１に記載の方法であって、
前記コンピュータベースのモデルは、複数の回路要素を含み、前記複数の回路要素のうちの２つの隣接する回路要素は、接続を介して互いに結合され、前記コンピュータベースのモデルは、前記無線周波数経路のインピーダンスと実質的に同じインピーダンスを有する、方法。
［適用例９］
適用例１に記載の方法であって、
前記コンピュータベースのモデルは、複数の回路要素を含み、前記複数の回路要素のうちの２つの隣接する回路要素は、接続を介して互いに結合され、前記複数の回路要素は、前記無線周波数経路の複数の回路構成要素を表し、前記無線周波数経路の前記複数の回路構成要素と同じ方式で接続される、方法。
［適用例１０］
適用例１に記載の方法であって、
前記無線周波数経路は、
前記第２の無線周波数発生器をマッチネットワークの分岐部と結合する無線周波数ケーブルと、
前記分岐部と、
前記マッチネットワークと前記プラズマチャンバを結合する無線周波数伝送ラインと、
前記プラズマチャンバの電極と
を含む、方法。
［適用例１１］
適用例１に記載の方法であって、
前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、マッチネットワークに対する静電容量を決定することをさらに含み、前記マッチネットワークは、前記第２の無線周波数発生器と前記プラズマチャンバとの間、および前記第１の無線周波数発生器と前記プラズマチャンバとの間に結合される、方法。
［適用例１２］
適用例１に記載の方法であって、
前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに前記適用することは、
前記コンピュータベースのモデルの出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を逆伝播し、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第１の複数の反射パラメータ入力値の計算を容易にすることであって、前記第１の複数の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの量が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定されることと、
前記第１の複数の反射パラメータ入力値の第１の平均を計算することと、
前記コンピュータベースのモデルの前記出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を逆伝播し、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第２の複数の反射パラメータ入力値の計算を容易にすることであって、前記第２の複数の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの前記値が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定されることと、
前記第２の複数の反射パラメータ入力値の第２の平均を計算することと、
前記第２の平均が前記第１の平均よりも低いかどうかを決定することと
を含む、方法。
［適用例１３］
適用例１に記載の方法であって、
受信される前記複数の周波数変調パラメータは、前記第１の無線周波数発生器の動作の前記１つまたは複数のサイクルのうちの１つに関連する周期関数を表す、方法。
［適用例１４］
適用例１３に記載の方法であって、
前記周期関数は、台形関数、正弦関数、パルス関数、および鋸歯状関数のうちの１つである、方法。
［適用例１５］
調節方法であって、
レシピ開発中、
第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルのセットについて、第２の無線周波数発生器に関連する複数の反射パラメータ値にアクセスすることと、
前記複数の反射パラメータ値を無線周波数経路の少なくとも一部のコンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の反射パラメータ値から複数の負荷インピーダンスパラメータ値を計算することであって、前記無線周波数経路は、前記第２の無線周波数発生器とプラズマチャンバの電極との間にあることと、
前記第２の無線周波数発生器によって生成される無線周波数信号の複数の周波数変調パラメータを受信することと、
前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の周波数変調パラメータの値を決定することであって、前記複数の周波数変調パラメータの前記値は、前記コンピュータベースのモデルの入力における１つまたは複数の反射係数パラメータを最小化するように決定されることと、
別のプラズマチャンバ内での基板の処理中、
前記レシピ開発中に決定された前記複数の周波数変調パラメータの前記値に従って第３の無線周波数発生器を制御することであって、前記第３の無線周波数発生器を前記制御することは、第４の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルのセットの間に実施されることと
を含む、方法。
［適用例１６］
適用例１５に記載の方法であって、
前記レシピ開発中に最小化される前記１つまたは複数の反射係数パラメータは、平均電力反射係数を含み、前記複数の反射パラメータ値は、電圧反射係数の複数の値を含む、方法。
［適用例１７］
適用例１５に記載の方法であって、
前記第３の無線周波数発生器は、前記第２の無線周波数発生器と同じ動作周波数を有するように指定され、前記第４の無線周波数発生器は、前記第１の無線周波数発生器と同じ動作周波数を有するように指定される、方法。
［適用例１８］
適用例１５に記載の方法であって、
前記第１の無線周波数発生器の動作の前記１つまたは複数のサイクルのセットは、前記第１の無線周波数発生器の動作の２つ以上のサイクルを含み、前記複数の反射パラメータ値の各々は、前記第１の無線周波数発生器の動作の前記２つ以上のサイクルにわたって決定される複数の反射係数値の平均である、方法。
［適用例１９］
適用例１５に記載の方法であって、
前記複数の反射パラメータ値は、複素電圧および複素電流の複数の値を含む、方法。
［適用例２０］
適用例１５に記載の方法であって、
前記複数の周波数変調パラメータは、台形関数、または正弦関数、または矩形関数、または三角形関数を定義する、方法。
［適用例２１］
適用例１５に記載の方法であって、
前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、マッチネットワークに対する静電容量を決定することをさらに含み、前記マッチネットワークは、前記第３の無線周波数発生器と前記他のプラズマチャンバとの間、および前記第４の無線周波数発生器と前記他のプラズマチャンバとの間に結合される、方法。
［適用例２２］
適用例１５に記載の方法であって、
前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに前記適用することは、
前記コンピュータベースのモデルの出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を逆伝播し、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第１の複数の反射パラメータ入力値を計算することであって、前記第１の複数の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの量が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定されることと、
前記第１の複数の反射パラメータ入力値の第１の平均を計算することと、
前記コンピュータベースのモデルの前記出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を逆伝播し、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第２の複数の反射パラメータ入力値を計算することであって、前記第２の複数の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの前記値が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定されることと、
前記第２の複数のパラメータ入力値の第２の平均を計算することと、
前記第２の平均が前記第１の平均よりも低いと決定することと
を含む、方法。
［適用例２３］
調節方法であって、
レシピ開発中、
第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルのセットについて、第２の無線周波数発生器に関連する複数の反射パラメータ値にアクセスすることと、
前記複数の反射パラメータ値を前記第２の無線周波数発生器とプラズマチャンバの電極との間の無線周波数経路の少なくとも一部のコンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の反射パラメータ値から複数の負荷インピーダンスパラメータ値を計算することと、
前記第２の無線周波数発生器によって生成される無線周波数信号の複数の周波数変調パラメータを受信することであって、前記複数の周波数変調パラメータは、前記無線周波数信号の周波数変動を含むことと、
前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の周波数変調パラメータの値を決定することであって、前記複数の周波数変調パラメータの前記値は、前記コンピュータベースのモデルの入力における１つまたは複数の反射係数パラメータを最小化するように決定されることと、
別のプラズマチャンバ内での基板の処理中、
前記レシピ開発中に決定された前記複数の周波数変調パラメータの前記値に従って第３の無線周波数発生器を制御することであって、前記第３の無線周波数発生器を前記制御することは、前記複数の周波数変調パラメータの前記値を前記第３の無線周波数発生器の動作のベースライン周波数に適用することを含むことと
を含む、方法。
［適用例２４］
適用例２３に記載の方法であって、
前記複数の周波数変調パラメータは、台形関数、または正弦関数、または矩形関数、または三角形関数を定義する、方法。
［適用例２５］
適用例２３に記載の方法であって、
前記レシピ開発中に最小化される前記１つまたは複数の反射係数パラメータは、平均電力反射係数を含み、前記複数の反射パラメータ値は、電圧反射係数の複数の値を含む、方法。
［適用例２６］
適用例２３に記載の方法であって、
前記ベースライン周波数は、前記第３の無線周波数発生器に関連する電力ベースのパラメータを最小化するために使用される、方法。
［適用例２７］
調節方法であって、
レシピ開発中、
第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルのセットについて、第２の無線周波数発生器に関連する複数の反射パラメータ値にアクセスすることであって、前記複数の反射パラメータ値の各々は、前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの各々のビンに対応することと、
前記複数の反射パラメータ値を無線周波数経路の少なくとも一部のコンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の反射パラメータ値から複数の負荷インピーダンスパラメータ値を計算することであって、前記無線周波数経路は、前記第２の無線周波数発生器とプラズマチャンバの電極との間にあることと、
前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、複数の周波数変調パラメータの値を決定することであって、前記複数の周波数変調パラメータの前記値は、前記ビンの各々について前記コンピュータベースのモデルの入力における反射係数パラメータの複数の値を最小化するように決定されることと、
別のプラズマチャンバ内での基板の処理中、
前記レシピ開発中に決定された前記複数の周波数変調パラメータの前記値に従って第３の無線周波数発生器を制御することであって、前記第３の周波数発生器を前記制御することは、第４の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルのセットの間に実施されることと
を含む、方法。
［適用例２８］
適用例２７に記載の方法であって、
前記反射係数パラメータは、電力反射係数パラメータを含む、方法。
［適用例２９］
適用例２７に記載の方法であって、
前記第１の無線周波数発生器の動作の前記１つまたは複数のサイクルのセットは、前記第１の無線周波数発生器の動作の２つ以上のサイクルを含み、前記複数の反射パラメータ値の各々は、前記第１の無線周波数発生器の動作の前記２つ以上のサイクルにわたって決定される複数の反射係数値の平均である、方法。
［適用例３０］
適用例２７に記載の方法であって、
前記複数の周波数変調パラメータは、前記第３の無線周波数発生器によって出力される無線周波数信号の平均周波数と、前記第３の無線周波数発生器によって出力される前記無線周波数信号の周波数変動とを含み、前記周波数変動は、前記第４の無線周波数発生器によって生成される無線周波数信号の各ビンに対するものである、方法。
［適用例３１］
適用例２７に記載の方法であって、
前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値は、前記コンピュータベースのモデルに適用されてマッチネットワークに対する静電容量を決定し、前記マッチネットワークは、前記第３の無線周波数発生器と前記他のプラズマチャンバとの間、および前記第４の無線周波数発生器と前記他のプラズマチャンバとの間に結合される、方法。
［適用例３２］
適用例２７に記載の方法であって、
前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに前記適用することは、
前記コンピュータベースのモデルの出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値の第１の値を逆伝播し、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第１の反射パラメータ入力値の計算を容易にすることであって、前記第１の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの量が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定されることと、
前記コンピュータベースのモデルの前記出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値の前記第１の値を逆伝播し、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第２の反射パラメータ入力値を計算することであって、前記第２の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの前記値が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定されることと、
前記第２の反射パラメータ入力値が前記第１の反射パラメータ入力値よりも低いかどうかを決定することと
を含む、方法。

Claims (42)

  1. 調節方法であって、
    第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第１のセットについて、第２の無線周波数発生器に関連する複数の反射パラメータ値にアクセスすることと、
    前記複数の反射パラメータ値を無線周波数経路の少なくとも一部のコンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の反射パラメータ値から複数の負荷インピーダンスパラメータ値を計算することであって、前記無線周波数経路は、前記第２の無線周波数発生器とプラズマチャンバの電極との間にあることと、
    前記第２の無線周波数発生器によって生成される無線周波数信号の複数の周波数変調パラメータを受信することと、
    前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の周波数変調パラメータの値を決定することであって、前記複数の周波数変調パラメータの前記値は、前記コンピュータベースのモデルの入力における反射係数パラメータを最小化するように決定されることと
    前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第２のセットの間、前記複数の周波数変調パラメータの前記値に従って前記第２の無線周波数発生器を制御することと
    を含む、方法。
  2. 請求項１に記載の方法であって、
    前記複数の反射パラメータ値に前記アクセスすること、前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記計算すること、前記周波数変調パラメータの前記値を前記決定すること、および前記第２の無線周波数発生器を前記制御することは、前記プラズマチャンバ内の基板の処理中に実行される、方法。
  3. 請求項１に記載の方法であって、
    前記複数の反射パラメータ値は、複数の電圧反射係数値を含み、前記反射係数パラメータは、平均電力反射係数である、方法。
  4. 請求項１に記載の方法であって、
    前記動作の１つまたは複数のサイクルの第２のセットは、前記動作の１つまたは複数のサイクルの第１のセットの後に続く、方法。
  5. 請求項１に記載の方法であって、
    前記第１のセットは、前記第１の無線周波数発生器の動作の２つ以上のサイクルを含み、前記複数の反射パラメータ値の各々は、前記第１のセットの前記２つ以上のサイクルにわたって計算された複数の反射係数値の平均である、方法。
  6. 請求項１に記載の方法であって、
    前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第３のセットについて、前記複数の反射パラメータ値に前記アクセスすること、前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記計算すること、および前記複数の周波数変調パラメータの前記値を前記決定することを繰り返すことと、
    前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第４のセットの間、前記第２の無線周波数発生器を前記制御することを繰り返すことと
    をさらに含み、
    前記第３のセットは、前記第２のセットの後に続き、前記第４のセットは、前記第３のセットの後に続く、
    方法。
  7. 請求項１に記載の方法であって、
    前記複数の反射パラメータ値は、複素電圧および複素電流の複数の値を含む、方法。
  8. 請求項１に記載の方法であって、
    前記コンピュータベースのモデルは、複数の回路要素を含み、前記複数の回路要素のうちの２つの隣接する回路要素は、接続を介して互いに結合され、前記コンピュータベースのモデルは、前記無線周波数経路のインピーダンスと実質的に同じインピーダンスを有する、方法。
  9. 請求項１に記載の方法であって、
    前記コンピュータベースのモデルは、複数の回路要素を含み、前記複数の回路要素のうちの２つの隣接する回路要素は、接続を介して互いに結合され、前記複数の回路要素は、前記無線周波数経路の複数の回路構成要素を表し、前記無線周波数経路の前記複数の回路構成要素と同じ方式で接続される、方法。
  10. 請求項１に記載の方法であって、
    前記無線周波数経路は、
    前記第２の無線周波数発生器をマッチネットワークの分岐部と結合する無線周波数ケーブルと、
    前記分岐部と、
    前記マッチネットワークと前記プラズマチャンバを結合する無線周波数伝送ラインと、
    前記プラズマチャンバの電極と
    を含む、方法。
  11. 請求項１に記載の方法であって、
    前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、マッチネットワークに対する静電容量を決定することをさらに含み、前記マッチネットワークは、前記第２の無線周波数発生器と前記プラズマチャンバとの間、および前記第１の無線周波数発生器と前記プラズマチャンバとの間に結合される、方法。
  12. 請求項１に記載の方法であって、
    前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに前記適用することは、
    前記コンピュータベースのモデルの出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を逆伝播し、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第１の複数の反射パラメータ入力値の計算を容易にすることであって、前記第１の複数の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの量が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定されることと、
    前記第１の複数の反射パラメータ入力値の第１の平均を計算することと、
    前記コンピュータベースのモデルの前記出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を逆伝播し、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第２の複数の反射パラメータ入力値の計算を容易にすることであって、前記第２の複数の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの前記値が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定されることと、
    前記第２の複数の反射パラメータ入力値の第２の平均を計算することと、
    前記第２の平均が前記第１の平均よりも低いかどうかを決定することと
    を含む、方法。
  13. 請求項１に記載の方法であって、
    受信される前記複数の周波数変調パラメータは、前記第１の無線周波数発生器の動作の前記１つまたは複数のサイクルのうちの１つに関連する周期関数を表す、方法。
  14. 請求項１３に記載の方法であって、
    前記周期関数は、台形関数、正弦関数、パルス関数、および鋸歯状関数のうちの１つである、方法。
  15. 調節コントローラであって、
    プロセッサであって、
    第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第１のセットについて、第２の無線周波数発生器に関連する複数の反射パラメータ値にアクセスし、
    前記複数の反射パラメータ値を無線周波数経路の少なくとも一部のコンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の反射パラメータ値から複数の負荷インピーダンスパラメータ値を計算し、前記無線周波数経路は、前記第２の無線周波数発生器とプラズマチャンバの電極との間にあり、
    前記第２の無線周波数発生器によって生成される無線周波数信号の複数の周波数変調パラメータを受信し、
    前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の周波数変調パラメータの値を決定し、前記複数の周波数変調パラメータの前記値は、前記コンピュータベースのモデルの入力における反射係数パラメータを最小化するように決定され、
    前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第２のセットの間、前記複数の周波数変調パラメータの前記値に従って前記第２の無線周波数発生器を制御するように構成されたプロセッサと、
    前記プロセッサに結合されたメモリデバイスと、
    を含む、調節コントローラ。
  16. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記複数の反射パラメータ値の前記アクセス、前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値の前記計算、前記周波数変調パラメータの前記値の前記決定、および前記第２の無線周波数発生器の前記制御は、前記プラズマチャンバ内の基板の処理中に発生する、調節コントローラ。
  17. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記複数の反射パラメータ値は、複数の電圧反射係数値を含み、前記反射係数パラメータは、平均電力反射係数である、調節コントローラ。
  18. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記動作の１つまたは複数のサイクルの第２のセットは、前記動作の１つまたは複数のサイクルの第１のセットの後に続く、調節コントローラ。
  19. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記第１のセットは、前記第１の無線周波数発生器の動作の２つ以上のサイクルを含み、前記複数の反射パラメータ値の各々は、前記第１のセットの前記２つ以上のサイクルにわたって計算された複数の反射係数値の平均である、調節コントローラ。
  20. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記プロセッサは、
    前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第３のセットについて、前記複数の反射パラメータ値への前記アクセス、前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値の前記計算、および前記複数の周波数変調パラメータの前記値の前記決定を繰り返し、
    前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第４のセットの間、前記第２の無線周波数発生器の前記制御を繰り返すように構成され、
    前記第３のセットは、前記第２のセットの後に続き、前記第４のセットは、前記第３のセットの後に続く、調節コントローラ。
  21. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記複数の反射パラメータ値は、複素電圧および複素電流の複数の値を含む、調節コントローラ。
  22. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記コンピュータベースのモデルは、複数の回路要素を含み、前記複数の回路要素のうちの２つの隣接する回路要素は、接続を介して互いに結合され、前記コンピュータベースのモデルは、前記無線周波数経路のインピーダンスと実質的に同じインピーダンスを有する、調節コントローラ。
  23. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記コンピュータベースのモデルは、複数の回路要素を含み、前記複数の回路要素のうちの２つの隣接する回路要素は、接続を介して互いに結合され、前記複数の回路要素は、前記無線周波数経路の複数の回路構成要素を表し、前記無線周波数経路の前記複数の回路構成要素と同じ方式で接続される、調節コントローラ。
  24. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記無線周波数経路は、
    前記第２の無線周波数発生器をマッチネットワークの分岐部と結合する無線周波数ケーブルと、
    前記分岐部と、
    前記マッチネットワークと前記プラズマチャンバを結合する無線周波数伝送ラインと、
    前記プラズマチャンバの電極と
    を含む、調節コントローラ。
  25. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記プロセッサは、前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、マッチネットワークに対する静電容量を決定するように構成され、前記マッチネットワークは、前記第２の無線周波数発生器と前記プラズマチャンバとの間、および前記第１の無線周波数発生器と前記プラズマチャンバとの間に結合される、調節コントローラ。
  26. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用するために、前記プロセッサは、
    前記コンピュータベースのモデルの出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を逆伝播して、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第１の複数の反射パラメータ入力値の計算を容易にし、前記第１の複数の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの量が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定され、
    前記第１の複数の反射パラメータ入力値の第１の平均を計算し、
    前記コンピュータベースのモデルの前記出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を逆伝播して、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第２の複数の反射パラメータ入力値の計算を容易にし、前記第２の複数の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの前記値が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定され、
    前記第２の複数の反射パラメータ入力値の第２の平均を計算し、
    前記第２の平均が前記第１の平均よりも低いかどうかを決定するように構成されている、調節コントローラ。
  27. 請求項１５に記載の調節コントローラであって、
    受信される前記複数の周波数変調パラメータは、前記第１の無線周波数発生器の動作の前記１つまたは複数のサイクルのうちの１つに関連する周期関数を表す、調節コントローラ。
  28. 請求項２７に記載の調節コントローラであって、
    前記周期関数は、台形関数、正弦関数、パルス関数、および鋸歯状関数のうちの１つである、調節コントローラ。
  29. プラズマシステムであって、
    第１の無線周波数信号を生成するように構成された第１の無線周波数発生器と、
    第２の無線周波数信号を生成するように構成された第２の無線周波数発生器と、
    前記第１および第２の無線周波数信号を受信するために前記第１および第２の無線周波数発生器に結合されたインピーダンス整合回路であって、前記第１および第２の無線周波数信号に基づいて修正された無線周波数信号を出力するように構成されているインピーダンス整合回路と、
    前記修正された無線周波数信号を受信するために前記インピーダンス整合回路に結合されたプラズマチャンバと、
    前記第１および第２の無線周波数発生器に結合されたコンピュータであって、前記コンピュータは、
    前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第１のセットについて、前記第２の無線周波数発生器に関連する複数の反射パラメータ値にアクセスし、
    前記複数の反射パラメータ値を無線周波数経路の少なくとも一部のコンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の反射パラメータ値から複数の負荷インピーダンスパラメータ値を計算し、前記無線周波数経路は、前記第２の無線周波数発生器とプラズマチャンバの電極との間にあり、
    前記第２の無線周波数発生器によって生成される無線周波数信号の複数の周波数変調パラメータを受信し、
    前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、前記複数の周波数変調パラメータの値を決定し、前記複数の周波数変調パラメータの前記値は、前記コンピュータベースのモデルの入力における反射係数パラメータを最小化するように決定され、
    前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第２のセットの間、前記複数の周波数変調パラメータの前記値に従って前記第２の無線周波数発生器を制御するように構成されたコンピュータと、
    を含む、プラズマシステム。
  30. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記複数の反射パラメータ値の前記アクセス、前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値の前記計算、前記周波数変調パラメータの前記値の前記決定、および前記第２の無線周波数発生器の前記制御は、前記プラズマチャンバ内の基板の処理中に発生する、プラズマシステム。
  31. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記複数の反射パラメータ値は、複数の電圧反射係数値を含み、前記反射係数パラメータは、平均電力反射係数である、プラズマシステム。
  32. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記動作の１つまたは複数のサイクルの第２のセットは、前記動作の１つまたは複数のサイクルの第１のセットの後に続く、プラズマシステム。
  33. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記第１のセットは、前記第１の無線周波数発生器の動作の２つ以上のサイクルを含み、前記複数の反射パラメータ値の各々は、前記第１のセットの前記２つ以上のサイクルにわたって計算された複数の反射係数値の平均である、プラズマシステム。
  34. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記コンピュータは、
    前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第３のセットについて、前記複数の反射パラメータ値への前記アクセス、前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値の前記計算、および前記複数の周波数変調パラメータの前記値の前記決定を繰り返し、
    前記第１の無線周波数発生器の動作の１つまたは複数のサイクルの第４のセットの間、前記第２の無線周波数発生器の前記制御を繰り返すように構成され、
    前記第３のセットは、前記第２のセットの後に続き、前記第４のセットは、前記第３のセットの後に続く、プラズマシステム。
  35. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記複数の反射パラメータ値は、複素電圧および複素電流の複数の値を含む、プラズマシステム。
  36. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記コンピュータベースのモデルは、複数の回路要素を含み、前記複数の回路要素のうちの２つの隣接する回路要素は、接続を介して互いに結合され、前記コンピュータベースのモデルは、前記無線周波数経路のインピーダンスと実質的に同じインピーダンスを有する、プラズマシステム。
  37. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記コンピュータベースのモデルは、複数の回路要素を含み、前記複数の回路要素のうちの２つの隣接する回路要素は、接続を介して互いに結合され、前記複数の回路要素は、前記無線周波数経路の複数の回路構成要素を表し、前記無線周波数経路の前記複数の回路構成要素と同じ方式で接続される、プラズマシステム。
  38. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記無線周波数経路は、
    前記第２の無線周波数発生器をマッチネットワークの分岐部と結合する無線周波数ケーブルと、
    前記分岐部と、
    前記マッチネットワークと前記プラズマチャンバを結合する無線周波数伝送ラインと、
    前記プラズマチャンバの電極と
    を含む、プラズマシステム。
  39. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記コンピュータは、前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用することによって、マッチネットワークに対する静電容量を決定するように構成され、前記マッチネットワークは、前記第２の無線周波数発生器と前記プラズマチャンバとの間、および前記第１の無線周波数発生器と前記プラズマチャンバとの間に結合される、プラズマシステム。
  40. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を前記コンピュータベースのモデルに適用するために、前記コンピュータは、
    前記コンピュータベースのモデルの出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を逆伝播して、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第１の複数の反射パラメータ入力値の計算を容易にし、前記第１の複数の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの量が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定され、
    前記第１の複数の反射パラメータ入力値の第１の平均を計算し、
    前記コンピュータベースのモデルの前記出力から前記コンピュータベースのモデルを介して前記複数の負荷インピーダンスパラメータ値を逆伝播して、前記コンピュータベースのモデルの前記入力での第２の複数の反射パラメータ入力値の計算を容易にし、前記第２の複数の反射パラメータ入力値は、前記複数の周波数変調パラメータの前記値が前記コンピュータベースのモデルに利用可能であるときに決定され、
    前記第２の複数の反射パラメータ入力値の第２の平均を計算し、
    前記第２の平均が前記第１の平均よりも低いかどうかを決定するように構成されている、プラズマシステム。
  41. 請求項２９に記載のプラズマシステムであって、
    受信される前記複数の周波数変調パラメータは、前記第１の無線周波数発生器の動作の前記１つまたは複数のサイクルのうちの１つに関連する周期関数を表す、プラズマシステム。
  42. 請求項４１に記載のプラズマシステムであって、
    前記周期関数は、台形関数、正弦関数、パルス関数、および鋸歯状関数のうちの１つである、プラズマシステム。
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