JPWO2020170596A1 - 光デバイス - Google Patents
光デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2020170596A1 JPWO2020170596A1 JP2021501635A JP2021501635A JPWO2020170596A1 JP WO2020170596 A1 JPWO2020170596 A1 JP WO2020170596A1 JP 2021501635 A JP2021501635 A JP 2021501635A JP 2021501635 A JP2021501635 A JP 2021501635A JP WO2020170596 A1 JPWO2020170596 A1 JP WO2020170596A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- electrode
- mirror
- optical
- electrode layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 352
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 101
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims abstract description 99
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 11
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000002366 time-of-flight method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4817—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements relating to scanning
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1326—Liquid crystal optical waveguides or liquid crystal cells specially adapted for gating or modulating between optical waveguides
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133553—Reflecting elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/134309—Electrodes characterised by their geometrical arrangement
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/295—Analog deflection from or in an optical waveguide structure]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
- G01S17/89—Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
- G01S17/93—Lidar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/13306—Circuit arrangements or driving methods for the control of single liquid crystal cells
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/12—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
- G02F2201/124—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode interdigital
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/18—Function characteristic adaptive optics, e.g. wavefront correction
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/50—Phase-only modulation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Geometry (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
Description
以下、一例として、2次元スキャンを行う光スキャンデバイスの構成を説明する。ただし、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明および実質的に同一の構成に対する重複する説明を省略することがある。これは、以下の説明が不必要に冗長になることを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、本発明者らは、当業者が本開示を十分に理解するために添付図面および以下の説明を提供するのであって、これらによって特許請求の範囲に記載の主題を限定することを意図するものではない。以下の説明において、同一または類似する構成要素については、同じ参照符号を付している。
図2は、1つの導波路素子10の断面の構造および伝搬する光の例を模式的に示す図である。図2では、図1に示すX方向およびY方向に垂直な方向をZ方向とし、導波路素子10のXZ面に平行な断面が模式的に示されている。導波路素子10において、一対のミラー30とミラー40が光導波層20を挟むように配置されている。光導波層20のX方向における一端から導入された光22は、光導波層20の上面(図2における上側の表面)に設けられた第1のミラー30および下面(図2における下側の表面)に設けられた第2のミラー40によって反射を繰り返しながら光導波層20内を伝搬する。第1のミラー30の光透過率は第2のミラー40の光透過率よりも高い。このため、主に第1のミラー30から光の一部を出力することができる。
複数の導波路素子10が一方向に配列された導波路アレイにおいて、それぞれの導波路素子10から出射される光の干渉により、光の出射方向は変化する。各導波路素子10に供給する光の位相を調整することにより、光の出射方向を変化させることができる。以下、その原理を説明する。
それぞれの導波路素子10から出射される光の位相を制御するために、例えば、導波路素子10に光を導入する前段に、光の位相を変化させる位相シフタが設けられ得る。本実施形態における光スキャンデバイス100は、複数の導波路素子10のそれぞれに接続された複数の位相シフタと、各位相シフタを伝搬する光の位相を調整する第2調整素子とを備える。各位相シフタは、複数の導波路素子10の対応する1つにおける光導波層20に直接的にまたは他の導波路を介して繋がる導波路を含む。第2調整素子は、複数の位相シフタから複数の導波路素子10へ伝搬する光の位相の差をそれぞれ変化させることにより、複数の導波路素子10から出射される光の方向(すなわち、第3の方向D3)を変化させる。以下の説明では、導波路アレイと同様に、配列された複数の位相シフタを「位相シフタアレイ」と称することがある。
図16は、回路基板(たとえば、チップ)上に光分岐器90、導波路アレイ10A、位相シフタアレイ80A、および光源130などの素子を集積した光スキャンデバイス100の構成例を示す図である。光源130は、例えば、半導体レーザなどの発光素子であり得る。この例における光源130は、自由空間における波長がλである単一波長の光を出射する。光分岐器90は、光源130からの光を分岐して複数の位相シフタにおける導波路に導入する。図16に示す例において、チップ上には電極62Aと、複数の電極62Bとが設けられている。導波路アレイ10Aには、電極62Aから制御信号が供給される。位相シフタアレイ80Aにおける複数の位相シフタ80には、複数の電極62Bから制御信号がそれぞれ送られる。電極62A、および複数の電極62Bは、上記の制御信号を生成する不図示の制御回路に接続され得る。制御回路は、図16に示すチップ上に設けられていてもよいし、光スキャンデバイス100における他のチップに設けられていてもよい。
本開示の前述の各実施形態における光スキャンデバイスは、ほぼ同一の構成で、光受信デバイスとしても用いることができる。光受信デバイスは、光スキャンデバイスと同一の導波路アレイ10Aと、受信可能な光の方向を調整する第1調整素子とを備える。導波路アレイ10Aの各第1のミラー30は、第3の方向から第1の反射面の反対側に入射する光を透過させる。導波路アレイ10Aの各光導波層20は、第2の方向に第1のミラー30を透過した光を伝搬させる。第1調整素子が各導波路素子10における前記光導波層20の屈折率および厚さ、ならびに光の波長の少なくとも1つを変化させることにより、受信可能な光の方向を変化させることができる。さらに、光受信デバイスが、光スキャンデバイスと同一の複数の位相シフタ80、または80aおよび80bと、複数の導波路素子10から複数の位相シフタ80、または80aおよび80bを通過して出力される光の位相の差をそれぞれ変化させる第2調整素子を備える場合には、受信可能な光の方向を2次元的に変化させることができる。
液晶材料を含む光導波層20に外部から電界を印加することにより、光デバイス100から出射される光の方向を変化させることができる。液晶を駆動させるためには、一般に、光導波層20内の少なくとも一部に配向処理が施される。従来の配向処理として、例えば、光導波層20内の当該少なくとも一部に、ポリイミドなどの樹脂層が設けられる。当該樹脂層は、配向膜と呼ばれる。ラビング処理などの方法によって当該配向膜上に所望のキズを付けると、液晶材料の配向方向はキズに沿って並ぶ。これにより、電界が与えられていないときの液晶材料の初期配向が実現される。
ここでは、光が導波する領域内の液晶材料を駆動させることにより、光スキャンを実施する例を説明する。
以下の説明において、実施形態1に示す例と同じ構成については、説明を省略する。
以下の説明において、実施形態1に示す例と同じ構成については、説明を省略する。
以下の説明において、実施形態3に示す例と同じ構成については、説明を省略する。
以下の説明において、実施形態1に示す例と同じ構成については、説明を省略する。
以下の説明において、実施形態5に示す例と同じ構成については、説明を省略する。
本実施例1では、実施形態1において説明した光デバイス100を用いて液晶材料23の配向状態を確認した。ミラー30およびミラー40には、Nb2O5およびSiO2の誘電体層が交互に積層された誘電体多層膜ミラーが用いられた。ミラー30の光透光性は、ミラー40の光透光性よりも高い。波長940nmの光の垂直入射では、ミラー30の反射率は99.6%に設計され、ミラー40の反射率は99.9%に設計された。複数の誘電体部材24は、SiO2から形成された。複数の誘電体部材24の各々のZ方向における高さは約1μmとし、Y方向における幅は約30μmとした。複数の誘電体部材24はY方向に沿って等間隔に配置された。1つ以上の光導波領域20gの各々のY方向における幅は5μmとした。ミラー30上に、フォトリソグラフィの技術を用いて、ITOから形成された電極パターンが設けられた。電極層60aにおける複数の電極のY方向における幅は、それぞれ、複数の非導波領域20nのY方向における幅よりも狭くした。電極層60aにおける複数の電極の各々のY方向における幅は約20μmとした。電極層60aにおける複数の電極のX方向における長さは、1つ以上の光導波領域20gのX方向における長さと略同じ長さとした。1つ以上の光導波領域20gは、アレイ状に配置された。電極層60aにおける複数の電極は、かみ合うように配置された2つの櫛歯状の電極から形成された。当該複数の電極は、それぞれ、Z方向から見たとき、複数の非導波領域20nに重なるように設けられた。電極層60bにおける単一の電極は、ミラー40上にITOを成膜することによって設けられた。
本実施例2では、実施形態2において説明した光デバイス100を用いて液晶材料23の配向状態を確認した。本実施例2では、実施例1とは異なり、電極層60bが複数の電極を含む。電極層60bにおける当該複数の電極は、電極層60aにおける複数の電極と同様に設計された。
本実施例3では、実施形態3において説明した光デバイス100を用いて液晶材料23の配向状態を確認した。本実施例3では、実施例1に加えて、電極層60aにおいて、2つの櫛歯状の電極の隙間に、他の電極が設けられた。当該2つの櫛歯状の電極が図10Aおよび図10Bに示す複数の第1の電極60a1に相当し、当該他の電極が図10Aおよび図10Bに示す1つ以上の第2の電極60a2に相当する。当該他の電極のX方向に延びる1つ以上の部分は、それぞれ、Z方向から見たとき、1つ以上の光導波領域20gの少なくとも一部に重なる。当該1つ以上の部分は、それぞれ1つ以上の光導波領域20gのY方向における幅の5μmよりも狭くした。当該複数の部分の各々のY方向における幅は3μmとした。
本実施例4では、実施形態4において説明した光デバイス100を用いて液晶材料23の配向状態を確認した。本実施例4では、実施例3とは異なり、電極層60bにおける複数の電極が、電極層60aと同様に、複数の第1の電極60b1および1つ以上の第2の電極60b2を含む。電極層60bにおける複数の第1の電極60b1および1つ以上の第2の電極60b2は、電極層60aにおける複数の第1の電極60a1および1つ以上の第2の電極60a2と同様に設計された。
本実施例5では、実施形態5および実施形態6において説明した光デバイス100の具体的な構成を説明する。本実施例5では、実施例1に加えて、複数の第1の電極60a1上にSiO2から形成された絶縁層50aが設けられた。絶縁層50aのZ方向における厚さは約200μmである。絶縁層50a上に、複数の第3の電極60a3が、複数の第1の電極60a1に略直交するように設けられた。電極層60aにおける複数の第1の電極60a1および複数の第3の電極60a3の各々の幅は約20μmとし、隣接する任意の2つの電極の間隔は約50μmとした。図14Aでは、複数の第3の電極60a3として3つの電極のみが示されているが、1つ以上の光導波領域20gのX方向における長さを調整するのと同様に、複数の第3の電極60a3の数を増やしてもよい。また、電極の幅および間隔についても、本実施例5と異なっていてもよい。
10A :導波路アレイ
20 :光導波層
20a :導波路
20g :光導波領域
20n :非導波領域
22 :光
23 :液晶材料
24 :誘電体部材
30 :第1のミラー
32 :第1の反射面
40 :第2のミラー
42 :第2の反射面
50a :絶縁層
50b :絶縁層
60a :電極層
60a1 :第1の電極
60a2 :第2の電極
60a3 :第3の電極
60b :電極層
60b1 :第1の電極
60b2 :第2の電極
60b3 :第3の電極
62A :電極
62B :電極
70 :支持部材
80 :位相シフタ
80A :位相シフタアレイ
90 :光分岐器
100 :光スキャンデバイス、光デバイス
101 :方向
102 :方向
110 :第1駆動回路
130 :光源
210 :第2駆動回路
300 :LiDARシステム
310 :ビームスポット
400 :光検出器
500 :制御ユニット、制御回路
600 :信号処理回路
Claims (10)
- 第1の方向および前記第1の方向に交差する第2の方向に沿って拡がる第1の反射面を備え、透光性を有する第1のミラーと、
前記第1の反射面に対向する第2の反射面を備える第2のミラーと、
前記第1のミラーと前記第2のミラーとの間に位置する光導波層であって、
前記第2の方向に沿って並ぶ複数の非導波領域、および前記複数の非導波領域の間に位置する1つ以上の光導波領域を含み、
前記光導波領域は、液晶材料を含み、且つ前記第1の方向に沿って光を伝搬させる、光導波層と、
前記光導波層を介して互いに対向する2つの電極層であって、少なくとも一方が前記第2の方向に沿って並ぶ複数の電極を含む、2つの電極層と、を備え、
前記複数の電極は、前記第1の反射面または前記第2の反射面に垂直な方向から見たとき、前記複数の非導波領域の少なくとも一部に重なる電極を含む、光デバイス。 - 前記2つの電極層に含まれる前記複数の電極の各々に接続された制御回路をさらに備え、
前記制御回路は、動作中、前記複数の電極のうちの一部の電極と他の少なくとも一部の電極とに電位差を設ける第1の動作、および前記2つの電極層の一方に含まれる電極と、前記2つの電極層の他方に含まれる電極との間に電位差を設ける第2の動作の少なくとも一方を実行する、請求項1に記載の光デバイス。 - 前記2つの電極層の一方は、前記光導波層と前記第1の反射面との間、第1のミラーの内部、または、前記第1のミラーの前記第1の反射面とは反対の側の面上に位置し、
前記2つの電極層の他方は、前記光導波層と前記第2の反射面との間、第2のミラーの内部、または、前記第2のミラーの前記第2の反射面とは反対の側の面上に位置する、請求項1または2に記載の光デバイス。 - 前記1つ以上の光導波領域は、前記第2の方向における幅が5μm以下である光導波領域を含む、請求項1から3のいずれかに記載の光デバイス。
- 前記2つの電極層に含まれる各電極に接続された制御回路をさらに備え、
前記複数の電極は、前記第1の反射面または前記第2の反射面に垂直な方向から見たとき、前記複数の非導波領域の少なくとも一部にそれぞれ重なり、
前記制御回路は、動作中、前記複数の電極のうちの隣接する任意の2つの電極に電位差を設ける第1の動作、および前記2つの電極層の一方に含まれる電極と、前記2つの電極層の他方に含まれる電極との間に電位差を設ける第2の動作の少なくとも一方を実行する、請求項1に記載の光デバイス。 - 前記複数の電極は、前記第1の反射面または前記第2の反射面に垂直な方向から見たとき、前記複数の非導波領域の少なくとも一部にそれぞれ重なる複数の第1の電極と、前記1つ以上の光導波領域の少なくとも一部にそれぞれ重なる1つ以上の第2の電極とを含む、請求項1から4のいずれかに記載の光デバイス。
- 前記2つの電極層に含まれる各電極に接続された制御回路をさらに備え、
前記複数の電極は、前記第1の反射面または前記第2の反射面に垂直な方向から見たとき、前記複数の非導波領域の少なくとも一部にそれぞれ重なる複数の第1の電極と、前記1つ以上の光導波領域の少なくとも一部にそれぞれ重なる1つ以上の第2の電極とを含み、
前記制御回路は、動作中、前記複数の第1の電極のうちの隣接する任意の2つの電極に電位差を設ける第1の動作、および前記2つの電極層の一方に含まれる電極と、前記2つの電極層の他方に含まれる電極との間に電位差を設ける第2の動作の少なくとも一方を実行する、請求項1に記載の光デバイス。 - 前記2つの電極層の一方は、前記複数の電極を含み、
前記2つの電極層の他方は、単一の電極を含む、請求項1から7のいずれかに記載の光デバイス。 - 前記2つの電極層の両方が、前記複数の電極を含む、請求項1から7のいずれかに記載の光デバイス。
- 前記複数の非導波領域は、互いに隣り合う第1の非導波領域および第2の非導波領域を含み、
前記複数の電極は、互いに隣り合う2つの第1の電極を含み、
前記第1の反射面または前記第2の反射面に垂直な方向から見たとき、前記2つの第1の電極の一方と前記第1の非導波領域は、互いに少なくとも部分的に重なり、
前記第1の反射面または前記第2の反射面に垂直な方向から見たとき、前記2つの第1の電極の他方と前記第2の非導波領域は、互いに少なくとも部分的に重なる、請求項1から9のいずれかに記載の光デバイス。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019026288 | 2019-02-18 | ||
JP2019026288 | 2019-02-18 | ||
PCT/JP2019/050336 WO2020170596A1 (ja) | 2019-02-18 | 2019-12-23 | 光デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020170596A1 true JPWO2020170596A1 (ja) | 2021-12-16 |
JPWO2020170596A5 JPWO2020170596A5 (ja) | 2022-12-28 |
Family
ID=72144632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021501635A Pending JPWO2020170596A1 (ja) | 2019-02-18 | 2019-12-23 | 光デバイス |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210356565A1 (ja) |
JP (1) | JPWO2020170596A1 (ja) |
CN (1) | CN113412448A (ja) |
WO (1) | WO2020170596A1 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0643504A (ja) * | 1992-04-07 | 1994-02-18 | Sharp Corp | 光スイッチ素子及びそれに用いられる液晶光方向性結合器 |
JP2003241240A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 導波路型液晶光スイッチ |
US8463080B1 (en) * | 2004-01-22 | 2013-06-11 | Vescent Photonics, Inc. | Liquid crystal waveguide having two or more control voltages for controlling polarized light |
US8995038B1 (en) * | 2010-07-06 | 2015-03-31 | Vescent Photonics, Inc. | Optical time delay control device |
CN106170732B (zh) * | 2014-02-18 | 2019-10-01 | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 | 偏振无关式电光感应波导 |
EP3614202B1 (en) * | 2017-04-20 | 2023-05-03 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical scanning device, optical receiving device, and optical detection system |
US10209509B1 (en) * | 2017-07-28 | 2019-02-19 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical scanning device that includes mirrors and optical waveguide region |
CN107577093B (zh) * | 2017-09-20 | 2020-12-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示模组及光波导显示装置 |
-
2019
- 2019-12-23 JP JP2021501635A patent/JPWO2020170596A1/ja active Pending
- 2019-12-23 CN CN201980091219.8A patent/CN113412448A/zh active Pending
- 2019-12-23 WO PCT/JP2019/050336 patent/WO2020170596A1/ja active Application Filing
-
2021
- 2021-08-02 US US17/391,051 patent/US20210356565A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113412448A (zh) | 2021-09-17 |
US20210356565A1 (en) | 2021-11-18 |
WO2020170596A1 (ja) | 2020-08-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11619858B2 (en) | Optical device and optical detection system | |
JP7445872B2 (ja) | 光検出システム | |
US11953726B2 (en) | Optical device | |
WO2019130721A1 (ja) | 光デバイス | |
WO2020217645A1 (ja) | 光デバイス、光検出システムおよびその製造方法 | |
CN116261670A (zh) | 光设备及光检测系统 | |
US20220019022A1 (en) | Optical device and photodetection system | |
JPWO2020170596A1 (ja) | 光デバイス | |
JP2021135427A (ja) | 光デバイス | |
JP7394395B2 (ja) | 光デバイスおよび光検出システム | |
WO2021149437A1 (ja) | 光デバイスおよび光検出システム | |
WO2022113427A1 (ja) | 光デバイスおよび光検出システム | |
WO2023218703A1 (ja) | 光デバイスおよび光検出システム | |
WO2021153103A1 (ja) | 光デバイス、光検出システム、および光ファイバ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221219 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240416 |