JPWO2020115943A1 - データ処理装置、方法、及び半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
401、501 表
Claims (10)
- 特徴値を用いて予測モデルを求めるデータ処理装置において、
Nを自然数とした場合、順位付けされたN個の第一の特徴量を1位からN位の順位に並び替える第一の工程と、
N個の第一のデータ群を作成する第二の工程と、
前記第一のデータ群の各々の予測性能を評価する第一の評価指標値を求める第三の工程と、
前記第一の評価指標値を基に前記第一の特徴量の一部を削除する第四の工程と、
前記第一の特徴量の中で前記削除された特徴量以外の特徴量である第二の特徴量の順位を前記第一の評価指標値を用いて更新する第五の工程と、
前記第二の特徴量の個数と同数の第二のデータ群を作成する第六の工程と、
前記第二のデータ群の各々の予測性能を評価する第二の評価指標値を求める第七の工程と、
前記第一の評価指標値の最小値と前記第二の評価指標値の最小値が同じ場合、前記第二の特徴量を用いて予測モデルを求め、
前記第一の評価指標値の最小値と前記第二の評価指標値の最小値が異なる場合、前記第二の評価指標値を基に前記第二の特徴量の一部を削除するとともに前記第二の特徴量の中で前記削除された特徴量以外の特徴量である第三の特徴量の順位を前記第二の評価指標値を用いて更新する第八の工程を実行する演算装置を備え、
N番目の前記第一のデータ群は、前記第一の特徴量の1位から前記N位までの特徴量を有し、
Mを前記第二の特徴量の個数とした場合、M番目の前記第二のデータ群は、前記第二の特徴量の1位からM位までの特徴量を有することを特徴とするデータ処理装置。 - 請求項1に記載のデータ処理装置において、
前記第一の評価指標値は、AICを用いて求められた値であることを特徴とするデータ処理装置。 - 請求項1に記載のデータ処理装置において、
前記第五の工程は、前記N番目の前記第一のデータ群に対応する前記第一の評価指標値から(N−1)番目の前記第一のデータ群に対応する前記第一の評価指標値を減じた値を用いて前記第二の特徴量の順位を更新することを特徴とするデータ処理装置。 - 特徴値を用いて求められた予測モデルにより処理結果が予測される半導体製造装置において、
Nを自然数とした場合、順位付けされたN個の第一の特徴量を1位からN位の順位に並び替える第一の工程と、
N個の第一のデータ群を作成する第二の工程と、
前記第一のデータ群の各々の予測性能を評価する第一の評価指標値を求める第三の工程と、
前記第一の評価指標値を基に前記第一の特徴量の一部を削除する第四の工程と、
前記第一の特徴量の中で前記削除された特徴量以外の特徴量である第二の特徴量の順位を前記第一の評価指標値を用いて更新する第五の工程と、
前記第二の特徴量の個数と同数の第二のデータ群を作成する第六の工程と、
前記第二のデータ群の各々の予測性能を評価する第二の評価指標値を求める第七の工程と、
前記第一の評価指標値の最小値と前記第二の評価指標値の最小値が同じ場合、前記第二の特徴量を用いて予測モデルを求め、
前記第一の評価指標値の最小値と前記第二の評価指標値の最小値が異なる場合、前記第二の評価指標値を基に前記第二の特徴量の一部を削除するとともに前記第二の特徴量の中で前記削除された特徴量以外の特徴量である第三の特徴量の順位を前記第二の評価指標値を用いて更新する第八の工程を実行する制御装置を備え、
N番目の前記第一のデータ群は、前記第一の特徴量の1位から前記N位までの特徴量を有し、
Mを前記第二の特徴量の個数とした場合、M番目の前記第二のデータ群は、前記第二の特徴量の1位からM位までの特徴量を有することを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項4に記載の半導体製造装置において、
前記第一の評価指標値は、AICを用いて求められた値であることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項4に記載の半導体製造装置において、
前記第五の工程は、前記N番目の前記第一のデータ群に対応する前記第一の評価指標値から(N−1)番目の前記第一のデータ群に対応する前記第一の評価指標値を減じた値を用いて前記第二の特徴量の順位を更新することを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項4ないし請求項6のいずれか一項に記載の半導体製造装置において、
前記予測モデルは、プラズマ処理装置のプラズマ処理結果を予測することを特徴とする半導体製造装置。 - 特徴値を用いて予測モデルを求めるデータ処理方法において、
Nを自然数とした場合、順位付けされたN個の第一の特徴量を1位からN位の順位に並び替える第一の工程と、
N個の第一のデータ群を作成する第二の工程と、
前記第一のデータ群の各々の予測性能を評価する第一の評価指標値を求める第三の工程と、
前記第一の評価指標値を基に前記第一の特徴量の一部を削除する第四の工程と、
前記第一の特徴量の中で前記削除された特徴量以外の特徴量である第二の特徴量の順位を前記第一の評価指標値を用いて更新する第五の工程と、
前記第二の特徴量の個数と同数の第二のデータ群を作成する第六の工程と、
前記第二のデータ群の各々の予測性能を評価する第二の評価指標値を求める第七の工程と、
前記第一の評価指標値の最小値と前記第二の評価指標値の最小値が同じ場合、前記第二の特徴量を用いて予測モデルを求め、
前記第一の評価指標値の最小値と前記第二の評価指標値の最小値が異なる場合、前記第二の評価指標値を基に前記第二の特徴量の一部を削除するとともに前記第二の特徴量の中で前記削除された特徴量以外の特徴量である第三の特徴量の順位を前記第二の評価指標値を用いて更新する第八の工程とを有し、
N番目の前記第一のデータ群は、前記第一の特徴量の1位から前記N位までの特徴量を有し、
Mを前記第二の特徴量の個数とした場合、M番目の前記第二のデータ群は、前記第二の特徴量の1位からM位までの特徴量を有することを特徴とするデータ処理方法。 - 請求項8に記載のデータ処理方法において、
前記第一の評価指標値は、AICを用いて求められた値であることを特徴とするデータ処理方法。 - 請求項8に記載のデータ処理方法において、
前記第五の工程は、前記N番目の前記第一のデータ群に対応する前記第一の評価指標値から(N−1)番目の前記第一のデータ群に対応する前記第一の評価指標値を減じた値を用いて前記第二の特徴量の順位を更新することを特徴とするデータ処理方法。
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