JPWO2020049916A1 - クライオポンプおよびクライオパネル - Google Patents
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- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 39
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 33
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 73
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 53
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 19
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 74
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 30
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 6
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 6
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2210/00—Working fluid
- F05B2210/10—Kind or type
- F05B2210/12—Kind or type gaseous, i.e. compressible
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
Description
Claims (11)
- クライオポンプ吸気口を通じて被排気気体が直線的に到達可能な露出領域と、前記クライオポンプ吸気口を通じて被排気気体が直線的に到達不能な非露出領域と、を備えるクライオパネルアセンブリを備え、
前記非露出領域は、非凝縮性気体を吸着可能な吸着領域を有し、前記露出領域は、取り外し可能な保護面で被覆されていることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記取り外し可能な保護面を提供するように前記露出領域に剥離可能に接着された樹脂製または金属製の保護層をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記露出領域には複数の保護層が積層されていることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- 前記クライオパネルアセンブリは、前記非凝縮性気体を吸着不能とする第1のクライオパネル基材と、前記非凝縮性気体を吸着不能とする第2のクライオパネル基材と、を備え、
前記第2のクライオパネル基材が、前記取り外し可能な保護面を提供するように前記第1のクライオパネル基材に取り外し可能に装着されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記非露出領域の少なくとも一部が前記取り外し可能な保護面で被覆されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記クライオポンプ吸気口から軸方向に筒状に延在し、前記クライオパネルアセンブリを囲むように配置された放射シールドと、
前記放射シールドを冷却する高温冷却ステージと、前記クライオパネルアセンブリを冷却する低温冷却ステージとを備え、前記低温冷却ステージが前記高温冷却ステージよりも低温に冷却される冷凍機と、をさらに備えることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記クライオパネルアセンブリは、各々が前記露出領域および前記非露出領域を有する複数のクライオパネルと、軸方向に柱状に配列された複数の伝熱体と、を備え、前記複数のクライオパネルおよび前記複数の伝熱体が軸方向に積み重ねられていることを特徴とする請求項6に記載のクライオポンプ。
- 前記クライオパネルアセンブリは、前記クライオパネルアセンブリのうち軸方向に最も上方に配置されたトップクライオパネルを備え、
前記トップクライオパネルは、第1のクライオパネル基材と、前記取り外し可能な保護面を提供する第2のクライオパネル基材とを備え、前記第2のクライオパネル基材は、その裏面が前記第1のクライオパネル基材の前面と接触し、前記第1のクライオパネル基材の前面の全体を覆うようにして、前記第1のクライオパネル基材に取り外し可能に装着されていることを特徴とする請求項6または7に記載のクライオポンプ。 - 前記クライオパネルアセンブリは、前記低温冷却ステージよりも軸方向上方に配置され、逆円錐状の外周部を有する少なくとも1つの上部クライオパネルを備え、前記取り外し可能な保護面で被覆された前記露出領域は、前記逆円錐状の外周部に設けられていることを特徴とする請求項6から8のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記クライオパネルアセンブリは、前記低温冷却ステージよりも軸方向下方に配置された少なくとも1つの下部クライオパネルを備え、前記取り外し可能な保護面で被覆された前記露出領域は、前記少なくとも1つの下部クライオパネルの外周部に設けられていることを特徴とする請求項6から9のいずれかに記載のクライオポンプ。
- クライオパネル基材と、前記クライオパネル基材の少なくとも一部を被覆する取り外し可能な保護面と、を備えることを特徴とするクライオパネル。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018167177 | 2018-09-06 | ||
JP2018167177 | 2018-09-06 | ||
PCT/JP2019/030302 WO2020049916A1 (ja) | 2018-09-06 | 2019-08-01 | クライオポンプおよびクライオパネル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020049916A1 true JPWO2020049916A1 (ja) | 2021-08-12 |
JP7311522B2 JP7311522B2 (ja) | 2023-07-19 |
Family
ID=69722430
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020541069A Active JP7311522B2 (ja) | 2018-09-06 | 2019-08-01 | クライオポンプ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210190057A1 (ja) |
JP (1) | JP7311522B2 (ja) |
KR (1) | KR102597866B1 (ja) |
CN (1) | CN112601888B (ja) |
TW (1) | TWI712738B (ja) |
WO (1) | WO2020049916A1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0718410B2 (ja) * | 1987-10-01 | 1995-03-06 | 日電アネルバ株式会社 | クライオポンプ |
JP2512129B2 (ja) * | 1989-01-20 | 1996-07-03 | 株式会社日立製作所 | クライオポンプ |
JP2010516939A (ja) * | 2007-01-17 | 2010-05-20 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 圧力バーストが生じない大容量クライオポンプ |
JP2012237263A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ及びその製造方法 |
JP2018127943A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3571460B2 (ja) * | 1996-05-30 | 2004-09-29 | 日東電工株式会社 | 再剥離型感圧接着シ―ト類 |
JPH10184540A (ja) | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Anelva Corp | クライオポンプ |
US20100143724A1 (en) * | 2005-03-24 | 2010-06-10 | Johnson Michael A | Corrosion resistant metallized films and methods of making the same |
US20080138558A1 (en) * | 2006-12-07 | 2008-06-12 | Sassan Hojabr | Peelable multilayer surface protecting film and articles thereof |
JP6045056B2 (ja) * | 2010-11-30 | 2016-12-14 | 日東電工株式会社 | 表面保護シート |
JP5557786B2 (ja) * | 2011-04-05 | 2014-07-23 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプのための蓋構造、クライオポンプ、クライオポンプの立ち上げ方法、及びクライオポンプの保管方法 |
US20150364720A1 (en) * | 2013-01-31 | 2015-12-17 | Konica Minolta, Inc. | Gas barrier film |
JP6053588B2 (ja) * | 2013-03-19 | 2016-12-27 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、及び非凝縮性気体の真空排気方法 |
CN106014916B (zh) * | 2015-03-31 | 2018-07-03 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵 |
CN106704145B (zh) * | 2016-11-30 | 2019-02-19 | 上海华力微电子有限公司 | 一种具有再生功能的低温泵系统 |
JP6871751B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2021-05-12 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
-
2019
- 2019-08-01 CN CN201980055451.6A patent/CN112601888B/zh active Active
- 2019-08-01 KR KR1020217005153A patent/KR102597866B1/ko active IP Right Grant
- 2019-08-01 WO PCT/JP2019/030302 patent/WO2020049916A1/ja active Application Filing
- 2019-08-01 JP JP2020541069A patent/JP7311522B2/ja active Active
- 2019-08-30 TW TW108131179A patent/TWI712738B/zh active
-
2021
- 2021-03-05 US US17/193,682 patent/US20210190057A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0718410B2 (ja) * | 1987-10-01 | 1995-03-06 | 日電アネルバ株式会社 | クライオポンプ |
JP2512129B2 (ja) * | 1989-01-20 | 1996-07-03 | 株式会社日立製作所 | クライオポンプ |
JP2010516939A (ja) * | 2007-01-17 | 2010-05-20 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 圧力バーストが生じない大容量クライオポンプ |
JP2012237263A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ及びその製造方法 |
JP2018127943A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202010940A (zh) | 2020-03-16 |
TWI712738B (zh) | 2020-12-11 |
KR20210044228A (ko) | 2021-04-22 |
WO2020049916A1 (ja) | 2020-03-12 |
CN112601888B (zh) | 2022-09-23 |
KR102597866B1 (ko) | 2023-11-02 |
JP7311522B2 (ja) | 2023-07-19 |
US20210190057A1 (en) | 2021-06-24 |
CN112601888A (zh) | 2021-04-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220518 |
|
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